經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 3〇5975 at _B7 ~ Ι·Ι·..画II I I ·. .....I ' ~ ' 五、發明説明（1 ) 〔產業上之利用領域〕 本發明係關於—種液晶顯示體（以下稱爲LCD )用 基板之檢査裝置，該裝fi之目的在於檢査形成於L C D用 的玻璃基板上之電路的電氣特性。 〔先前之技術〕 例如，驅動TFT型LCD的金素的電路係使用形成 有圚案的基板。此類之圖案電路係藉由成膜裝置等之處理 裝置，而來配列成矩陣形狀。各個圖案電路係分別地持有 電極墊片。並且，使探針分別地接觸於這些電極墊片，然 後再從測試器將測試信號分別地傅送到各圖案電路，最後 根據回到測試器的信號來判定電路是否良好。 當在進行如此的探針檢査時，必須正確地使電極墊片 和探針的位置一致。因此，在LCD用基板的角落部標記 上例如十字型記號等之對準標記，再根據此對準檩記的檢 出結果，使電極墊片和探針的位置能夠一致。 一般，檢査裝置係具備有：將基板搬入或搬出檢査裝 置的裝載部；及檢査從裝載部所接受到的基板之檢査部。 裝載部係可從卡匣內將基板一片一片地取出、或者裝入。 此裝載部係具備有：載置卡匣的卡匣載置部：及搬送裝B ，該裝置係將被載置於此卡匣載置部的卡匣內之L C D用 的基板取出後搬送到檢査部。此搬送裝置係具有：一片一 片地吸著固定基板的手臂，此手臂係可以在X軸、Y軸、 Z軸之各軸方向上移動，且能夠在z軸的周園旋轉。 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^ —I I I 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本f ) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印¾ A7 ___B7 五、發明説明（2 ) 檢査部係具備有：固定基板的載置台；及持有多數個 探針的檢査面板。並且，此基板載置台係可以在X軸、γ 軸，Z軸的各軸方向上移動，且能夠在z軸的周園旋轉。 基板載置台係在位置對準後被移動到檢査面板的正下方。 另外，在檢査部的位置對準狀況與探針的接觸等的檢査狀 況係使用設置在檢査部的正面之顯示裝B來予以監視。 對於檢査裝置而言，係具有種種的型類，依據L C D 用基板的檢査規模來予以分類的話，則分別有：藉由操作 人員將卡匣搬入•搬出卡匣載置部的型式之檢査裝置：及 利用自動搬送車（AGV )將卡匣自動地搬入•搬出卡匣 載置部的型式之檢査裝置。特別是在檢査數量多，且大型 的•重量重的LCD之情況時，對於操作人員而言，在進 行卡匣的搬入/搬出作業時將會造成很大的負擔，因此通 常採用具備有自動搬送車的自動搬入/搬出系統。此類之 自動化所對應的檢査裝置，係可不必經由操作人員的操作 而能夠自動地進行卡匣的搬入及搬出的工作，使得操作人 員能夠專心地監視檢査部，而來減輕作業人員的負擔。 〔發明所欲解決之課題〕 近年來有關LC D的生產技術方面有明顯的進步，使 用的數置有大幅度的成長，同時其種類也趨向於多樣化’ 並且顯示畫面有朝向大型化的趨勢。隨著L c D用基板的 種類，及檢査數量的急速增多，而導致處理1" C D用基板 的業務日益增加，對於操作人員而言’在進行供給卡匣之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨》X 2们公釐）-5 - ----------批衣------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 305975 A7 B7 五、發明説明（3 ) 手動作業時將是一件莫大的負擔。因此，近年來著重於訴 求LCD用基板之生產的全自動化，及藉由主電腦來統合 管理L C D用基板。並且，更進一步地在促進檢査裝置之 卡匣的搬入•搬出作業的全自動化。 但是，另一方面在追求L C D用基板更大型輕薄化的 同時，在支撑基板時容易產生彎曲變形，而導致無法輕易 地來處理基板。因此，對於習知的自動化檢査裝置而言， 便無法完全脫離藉由操作人員的監視及手動操作。此外， 在謀求L C D用基板大型化的同時，檢査裝置本身隨之增 大，並且檢査部與裝載部之間的距離也隨之增長，因此操 作人員在進行監視及手動操作時必須頻繁地往返於裝載部 與檢査部之間，而致使降低了工作效率。 另外，對於習知之裝B而言，係藉由主電腦來統合管 理L C D用基板的生產，當基板供給到檢査裝置時，檢査 裝置係根據被記錄於主電腦之基板的生產順序，種類，及 檢査內容來執行檢査的作業。但是，萬—將不同於記錄內 容的種類之L C D用基板供給到檢査裝置的話，則便會進 行與原本預計之檢査不同的檢査作業，或者是產生重蜃地 檢査同樣的基板等之問題。 本發明有鑑於上述習知者所產生之種種的問題，而以 能夠提供一種：即使是在生產大型1" CD用基板時，也不 會產生問題，而能夠在確實，安定’高效率的環境下來進 行檢査作業之液晶顯示髏用基板的檢査裝置° 本紙張尺度適用中阐國家標孳（CNS ) A4現格（210X 297公缓） I 裝— I 線 *' (請先閱讀背面之注意事項再瑣寫本頁) A7 A7 經濟部t央棣率局員工消費合作杜印製 B7 五、發明説明（4 ) 〔用以解決課題之手段〕 本發明係有關於一種液晶顯示體用基板之檢査裝置， 係具備有： 承載收納多數片的液晶顯示體用基板的裝載部；及 具有載置上述基板的載置台，且使接觸構件接觸導通 於被形成在此載置台上的電極片，而將測試信號送往基板 的圖案電路，來進行檢査其電氣特性之檢査部；及 具有爲了搬送上述基板的手臂部，藉由此手臂部從上 述裝載部的卡匣一片一片地取出，而來載置於上述檢査部 的載置台的同時，從上述檢査部的載置台取出經檢査過的 基板後收容於上述裝載部的卡匣內之搬送手段：其特徽爲 具備有： 上述裝載部，係至少具有監視藉由上述搬送手段來搬 送基板的狀況的同時，控制上述搬送手段的搬送動作之第 1控制手段：及 上述裝載部，係於監視基板的檢査狀況的同時，控制 檢査動作之第2控制手段。 藉由自動搬送車將收容有多數個基板的卡匣搬入至裝 載部的話，則此刻藉由裝載部的驅動搬送裝置將卡匣內的 基板一片一片的取出，之後再將基板搬送到檢査部。此時 ，在檢査部作動第1控制手段，藉由此第1控制手段來監 視搬送裝置的搬送狀況的同時，可以操作搬送裝置。然後 ，若利用搬送裝置將基板搬運到檢査部的話，則此刻在檢 査部將執行其基板的電氣性的檢査。這個時候在檢査部將 本紙張尺度逷用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） ------^---^------ir------,^- (請先閲讀背面之注意事項再蟥寫本頁) ^05975 at B7 五、發明説明（5 ) 會作劻第2控制手段，藉由此第2控制手段來監視基板在 檢査部近傍的檢査狀況的同時，能夠操作檢査部。若完成 在檢査部之檢査作業的話，則將會驅動搬送裝置，從檢査 部將基板搬出後，同時把下一個預檢査的基板搬入檢査部 ，並且將檢査完成的液晶顯示體用基板搬回到卡匣內。此 時也可以在藉由第1控制手段來監視其運作的狀況的同時 ，能夠操作搬送裝置。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，若利用自動搬送車將收容有多數個基板的卡匣搬 入到裝載部的話，則可藉由裝載部的驅動搬送裝置來將卡 匣內的基板一片一片地取出，然後再搬送到檢査部。此刻 ，在裝載部將會作動第1控制手段，藉由此第1控制手段 的攝像手段，來攝取搬送裝置的搬送狀況，並將此攝取到 的影像藉由畫像處理手段來進行畫像處理，之後再將其影 像顯示於設K在裝載部近傍的顯示裝置，藉此可以在監視 位於裝載部近傍的搬送狀況的同時能夠操作搬送裝置。然 後，若再藉由搬送裝置將基板搬運到檢査裝置的話，則可 在檢査部來進行其基板的電氣性的檢査。此時，在檢査部 藉由第2控制手段的攝像手段所攝取到檢査状況的影像， 可利用晝像處理手段來進行畫像處理，然後再將其影像顯 示於設置在檢査部近傍的顯示裝e，藉此可以在監視位於 檢査部近傍的檢査狀況的同時能夠操作檢査部。若在檢査 部完成其檢査作業的話，則將會驅動搬送裝置，而來取出 檢査部的基板，同時將下一個預測的基板載置於檢査部， 然後再把檢査完成的基板送回卡匣內。此刻，也可以藉由 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公釐）—8 _ — A7 A7 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 B7 五、發明説明（6 ) 第1控制手段來監視其狀況，同時操作搬送裝置。 本發明係有關於一種液晶顯示體用基板之檢査裝置， 係具備有： 承載收納多數片的液晶顯示體用基板的裝載部；及 具有載置上述基板的載置台，且使接觸構件接觸導通 於被形成在此載B台上的電極片，而將測試信號送往基板 的圖案電路，來進行檢査其電氣特性之檢査部：及 具有爲了搬送上述基板的手臂部，藉由此手臂部從上 述裝載部的卡匣一片一片地取出，而來載置於上述檢査部 的載置台的同時，從上述檢査部的載置台取出經檢査過的 基板後收容於上述裝載部的卡匣內之搬送手段；其特徵爲 具備有： 上述卡匣係至少具有包含被收容的基板的共通之檢査 資訊的第1識別符號； 上述基板，係至少具有包含基板個別的檢査資訊的第 2識別符號： 爲了讀取上述第1識別符號，而在上述裝載部設置有 第1讀取手段：及 爲了讀取上述第2識別符號，而從上述裝載部的卡匣 到上述檢査部之間的搬送路徑上設e有第2讀取手段。 利用本發明的話，則將卡匣搬入裝載部時，藉由第1 讀取手段來讀取用以作爲其檢査賫訊的卡匣第1識別符號 。然後，再利用搬送裝置來一片一片地取出位於卡®內的 液晶顯示體用基板，之後將液晶顯示體用基板搬送到檢査 本紙張尺度適用中國國家標孪（CNS ) Λ4現格（2丨Ο X 297公釐）-9 - ---------种衣------，1T------" (請先閲讀背面之注意事項再填寫本f ) A7 305975 __B7_________ 五、發明説明（7 ) 部。此刻，藉由第2讀取手段來讀取用以作爲其檢査資訊 之位於搬送經路的液晶顯示體用基板的第2識別符號。隨 後在檢査部進行檢査液晶顯示體用的基板的同時，可以根 據第1、第2讀取手段的讀取內容來正確且確實地進行液 晶顯示體用基板之電氣性的檢査。 〔發明之實施形態〕 以下，一邊參照添附的圇面，一邊將說明有關本發明 之種種適宜的實施形態。 如圖1〜圖3所示，檢査裝S1 〇係具備有： 裝載和卸載LCD用基板S的裝載部11:及 檢査從此裝載部11所接受的LCD用基板S之檢査 部1 2。 裝載部1 1與檢査部1 2係以鄰接的方式來予以設置 0 如圖4所示，裝載部1 1係具備有卡匣載置部1 3及 檢査裝B1 4。在本實施形態的裝載部1 1設置有3個卡 匣載置部1 3，且在各卡匣載置部1 3上放置有一個卡匣 C。並且，在各卡匣C內收容有1組（例如2 5片）的基 板0 搬送裝置1 4 ，係一片一片地取出被放fi於卡匣載B 部I 3的卡匣C內之LCD用基板S，主要是爲了將基板 S搬入檢査部1 2的同#，將檢査完成的基板S從檢査部 搬出。並且，卡匣C的正面係爲了使基板S進出容易而形 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS > ,Μ現格（210X 297公釐）-⑺— . ^^衣 . 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 A7 _B7_ _ 五、發明説明（8 ) 成有開口部。另外，在卡匣C的內側面係以一定的間隔（ 例如1 0圆的間隔）設置有支撑溝，且爲了水平支撑'基板 S而形成有溝槽2 5。此外，在各卡匣載置部1 3設置有 基板整列機構7 8，將收容於卡匣C的基板S予以一次整 列。再者，於各卡匣載置部13設置有反射方式的感知器 4 9 ，來檢測出卡匣C是否已經分別地被放置於各卡匣載 置部1 3。 .如圖4所示，爲了能夠使卡匣載置部13與自動搬送 車1 5之間自動地接受卡匣C，而在溝孔道1 6的周圍安 裝有各種的感知器1 7A，1 7B，1 8A，4 9。在裝 載部1 1的另一側設置有3個卡匣載置部1 3，卡匣C係 分別地被載置於各卡匣載置部1 3。此外，對於本實施形 態之裝載部1 1而言，係構成有3個卡匣C，但是也可以 形成有接受4個以上的卡匣C。 此外，在各卡匣載置部1 3的正面上形成有一對平行 的溝孔道1 6。此溝孔道1 6係形成有使自動搬送車1 5 的手臂15A進入的空間。若使在溝孔道16內之夾持卡 匣C的手臂15A下降的話，則卡匣C將會移動到卡匣載 置部1 3上。如此一來，卡匣C係以跨座溝孔道1 6的狀 態載e於卡匣載置部13上。此外，自動搬送車15係藉 由主霣腦4 0來予以進行控制。並且，在各卡匣載置部 13分別地設置有檢測卡匣C的方向之反射式的感知器 4 9。又，在卡匣載置部1 3設置有卡合於卡匣C的角落 部之位置決定構件。 ^紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2丨〇 乂 公釐）-n · ----.------^------1T------Μ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A 7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作杜印裝 五 、發明説明 ( 9 ) 1 另外， 在 裝載 部 1 1 的 側 面 設 B 有 爲 了 檢 測 出 白 動 搬 1 1 送 車 1 5的 手 臂1 5 A 之 手 臂 檢 測 裝 置 1 7 0 此 臂 檢 測 1 I 裝 置 1 7 ， 係 具備 有 « t 1 1 具有由 發 光二 極 體 等 而 形 成 之 發 光 元 件 的 發 光 部 請 先 閲 1 1 I 1 7 A :及 讀 背 1 | I 具有接 受 來自 此 發 光 部 1 7 A 的 光 線 之 受 光 元 件 的 受 1 1 光 部 1 7 A 等 而構 成 之 光 線 感 知 器 0 事 項 再 1 1 這些發 光 部1 7 A 及 受 光 部 1 7 B 係 以 夾 持 白 動 搬 送 填 寫 本 1 Λ 1 車 1 5的手 臂 1 5 A 的 方 式 來 設 置 於 溝 孔 道 1 6 的 兩 側 0 頁 1 1 若手臂 1 5 A 遮 蔽 了 連 結 發 光 部 1 7 A 及 受 光 部 1 1 1 7 B之間 的 光軸 的 話 f 則 信 號 將 被 傳 送 至 裝 置 控 制 器 1 1 2 0 ，而來 檢 測出 手 臂 1 5 A 的 侵 入 〇 並 且 ， 在 裝 置 部 訂 | 1 1 的側面 將 通信 手 段 1 8 A 設 S 於 各 溝 孔 道 1 6 的 下 方 1 I 0 此 通信手 段 1 8 A 係 在 白 動 搬 送 車 1 5 之 間 進 行 光 通 信 1 1 I ， 藉 由此通 信 手段 1 8 A 與 設 置 在 白 動 搬 送 車 1 5 的 通 信 1 1 手 段 泉 1 8 B 之 間所 進 行 的 光 通 信 而 來 執 行 卡 匣 C 的 搬 入 1 9 出的動 作 Ο 1 1 另外， 在 卡匣 載 置 部 1 3 的 載 置 面 設 « 有 物 髏 檢 測 裝 1 1 置 1 9 °此 物 體檢 測 裝 S 1 9 > 係 具 備 有 ： 配 設 於 正 面 側 1 | 的 發 光部1 9 A ； 及 配 設 於 最 裹 側 的 受 光 部 1 9 B 0 若 卡 1 I 匣 C 或是其 它 的物 體 遮 蔽 了 連 結 發 光 部 1 9 A 與 受 光 部 1 1 I 1 9 B的光 軸 的話 > 則 可 利 用 此 物 體 檢 測 裝 匱 1 9 予 以 檢 1 1 測 出 。並且 9 若在 白 動 搬 送 車 1 5 之 間 進 行 卡 匣 C 的 搬 送 1 1 作 業 的話， 則 可藉 由 設 6 在 卡 匣 移 載 部 1 3 的 反 射 式 感 知 1 1 本紙張又度適用中國國家標隼（CNS)A4規格（210<2们公釐）_ 1? 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 305975 a? B7 五、發明説明（10 ) 器4 9來檢測出卡匣C的搬運狀況。 並且，將所接受到卡匣的信號俥送到裝載控制器2 0 ，再藉由裝載驅動部2 1來作動搬送裝置1 4。另外，在 搬入卡匣C後，若發光部19A，受光部19B之間的光 線被遮蔽的話，則除卡匣C以外的物體將被視爲侵入裝載 部1 1內的障礙物，而將此信號傳送給裝載控制器2 0 ， 來阻止裝載驅動部2 1繼續動作，同時亮起警告燈（圖中 未示），及響起警鈴來通知有異常的狀況發生。 另外，在卡匣載置部1 3設置有爲了計算被收容於卡 匣C內之LCD用基板S的數量之計數裝置2 2。此計數 裝置2 2係由發光部2 2A及受光部2 2B而構成，兩者 2 2A，2 2B係配設於形成在溝孔道1 6的兩側之開口 部2 3。 發光部2 2 A及受光部2 2 B係被連結於溝孔道1 6 的下方，並藉由球狀螺栓（圇中未示）使昇降於開口部 2 3內。而計數裝B2 2係根據在開口部2 3進行昇降時 ，檢測光線所被遮斷的次數，來計算出基板S的枚數。 如圖4所示，在卡匣C的上面配置有條碼2 4。並且 ，將LCD用的基板S，以一個組合爲單位’來作爲管理 用的資訊，例如有；使用者名，基板S的枚數’種類，檢 査的種類（斷線檢査，機能檢査等之種類）等的識別賫訊 (檢査資趴）寫入條碼2 4 °此外，用以作爲卡匣識別記 號，除了條碼之外，也是可以藉由文字資訊來顯示於卡匣 C上0 $张足度通用中國國家標隼（CNS ,丨Λ4規格（21()><297公| ) — I:】_ " ~ . : . 裝 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五 、發明説明 ( 11 ) 1 I 另 —. 方 面 9 在 裝 載 部 1 1 的 上 方 設 置 有 > 例 如 由 1 1 I 〇 C R 等 而 構 成 之 卡 匣 m 別 裝 S ( 第 1 讀 取 手 段 ) 2 5 0 1 1 此 卡 匣 識 別 裝 置 2 5 的 功 能 係 在 於 爲 了 讀 取 被 顯 示 於 卡 匣 1 1 請 1 I C 的 條 碼 ( 或 是 文 字 資 訊 ) 2 4 者 0 先 閲 1 1 讀 1 | 如 圓 5 所 示 9 卡 匣 識 別 裝 置 2 5 係 連 接 於 裝 載 控 制 器 背 面 1 之 1 2 0 的 輸 入 側 > 並 且 裝 載 控 制 器 2 0 係 經 由 介 面 2 0 A 與 注 意 盡 1 主 電 腦 連 接 上 0 另 外 9 此 裝 載 控 制 器 2 0 係 藉 由 主 電 腦 Ψ 項 再 1 填 1 4 0 來 予 以 備 份 而 形 成 — 個 控 制 電 路 0 寫 本 裝 I 又 9 裝 載 控 制 器 2 0 也 被 連 接 上 檢 査 控 制 器 2 6 J 使 11 1 1 1 得 在 相 互 交 信 後 進 行 檢 査 時 > 得 以 執 行 連 繫 的 作 動 0 並 且 1 1 9 在 此 檢 査 控 制 器 2 6 上 將 連 接 有 檢 査 驅 動 部 2 7 9 及 1 1 訂 I 測 試 系 統 2 8 等 之 構 件 0 此 檢 査 控 制 器 2 6 係 藉 由 主 電 腦 4 0 來 予 以 備 份 > 而 形 成 1 個 控 制 電 路 Ο 另 外 ， 在 裝 載 部 1 1 1 1 設 置 有 第 1 控 制 手 段 2 9 〇 此 第 1 控 制 手 段 2 9 9 係 1 I 其 主 要 之 巨 的 在 於利 用 搬 運 裝 置 1 4 來 監 視 搬 送 的 狀 況 的 ..泉 同 時 * 得 以 控 制 送 裝 置 1 4 的 動 作 〇 1 I 如 圖 4 所 示 > 第 1 控 制 手 段 2 9 係 具 備 有 • 1 1 1 攝 取 掀 送 裝 置 1 4 的 厭 送 狀 況 之 C C D 攝 影 饿 2 9 A 1 1 » 及 1 耋 像 處 理 裝 置 2 9 B 9 該 裝 B 係 由 處 理 來 白 C C D 攝 1 1 影 機 2 9 A 的 信 號 之 0 C R 等 而 構 成 • 及 I 顯 示 裝 置 2 9 C 胲 裝 置 係 根 據 此 晝 像 處 理 裝 匿 1 I 2 9 B 的 處 理 信 號 來 顯 示 出 影 像 0 1 1 | 另 外 9 C C D 攝 影 機 2 9 A 係 被 設 置 於 裝 載 部 1 1 的 1 1 本紙張尺度適用中國國家標搫（CNS)A4规格（2丨OX2()7公釐）· μ - 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（l2 ) 上方。並且，將顯示裝S2 9C設置於裝載部1 1的正面 。此外，藉由安置於裝載部1 1的近傍之攝影機2 9A及 顯示裝置2 9 C，來監視卡匣C的搬入與搬出狀況，進而 來操作搬送裝e 1 4 ° 攝影機2 9 A係爲了使對物鏡頭部能夠於前後左右方 向上轉動，而內藏有驅動裝® °此攝影機係因能夠於全方 位進行正逆旋轉，所以除了可以監視搬入，搬出作業之外 ，也能夠監視利用自動搬送車15所進行的卡匣C的搬入 與搬出狀況等之裝載部11內的全體狀況。 又，在畫像處理裝置2 9 B與顯示裝置2 9 C之間設 置有裝戴控制器2 0 ，若經由此裝載控制器2 0將紅色， 綠色，藍色等的顏色信號傳送至顯示裝置2 9 C的話，則 在顯示裝置2 9 C將會顯示出彩色的影像。並且，顯示裝 S2 9 C可藉由驅動機構（圖中未示）來改變其畫面的顯 示方位。 又，此顯示裝置2 9 C亦可作爲操作面板來使用。因 此，在裝載部1 1有任何的問題發生時，可藉由手動開關 的切換，將自動運轉切換成手動運轉。一邊觀察在顯示裝 置2 9 C的搬運狀況，一邊遵從操作面板的指示，來操作 裝載驅動部2 1 ，藉此便能夠順利進行搬送的作業。如此 一來，即使是使用大型的檢査裝B 1 0 ，也能夠提昇手動 作業的作業性。若藉由一邊觀察顯示裝置2 9 C，一邊在 裝載部1 1內進行手動的操作的話，則可使裝載部1 1內 的搬送裝fi 1 4等之構成機器能夠移動到所望的位置，並 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210X 297公釐）_ 15 - ------^---扯衣------1T------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 305975 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A1 B7五、發明説明（I3) 且可以容易地進行在裝載部11內的構成機器的維修工作 0 搬送裝置1 4，係在卡匣載置部1 3上的卡匣c與檢 査部1 3之間進行搬送基板S的作業，同時具備有上下二 段的搬送手臂14A，14B。搬送手臂14A，14B 係藉由裝載驅動部2 1來移動於X軸，Y軸，及Z軸之各 軸的方向上，甚至可以旋軸於Z軸的周圍。 如圖2所示，搬送裝置1 4係沿著延伸於X軸方向的 平行軌道5 2上，藉由球狀螺栓機構來予以移動。此球狀 螺栓機構係構成裝載部2 1的一部份，具備有螺旋軸桿 5 4及馬達5 5。搬送裝置1 4的本體5 1係具備有螺帽 5 3，此螺帽5 3係螺合於螺旋軸桿5 4。此螺旋軸桿 5 4係設置有停止構件5 6。並且，也可以利用输送帶機 構來代替螺旋軸桿5 4 ，而來移動搬送裝匱1 4。 搬送手臂1 4A，1 4B係形成同樣的形狀，且形成 相互獨立之驅動方式。例如，上手臂14A係從卡匣C內 將基板S取出，然後再將基板S搬運到檢査部12的載置 台上。相對的，下手臂1 4 B係從載置台將檢査完成之基 板S搬出。在以下的說明中將上手臂14A稱之爲裝載手 臂，而將下手臂1 4 B稱之爲卸載手臂。並且，在各手臂 1 4 A，1 4 B的上面形成有孔口，經由分別地安裝在其 背面側的吸引配管及眞空排裝β，來將手臂上的LCD用 基板S予以眞空吸著。 如圚3所示，在搬送手臂14A， 14B的下方設置 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS ) Λ4規格（2Ι0Χ2()7公釐）_ 16 _ 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 、-» 泉 經濟部中央標準扃員工消費合作社印製 A7 _B7___ 五、發明説明（14) 有預先對準機構6 3，藉由此預先對準機構6 3，將由卡 匣C所受取的基板S，在引渡到檢査部1 2的載S台之前 ，事先標上記號。在此預先對準機構6 3的載置面上形成 有眞空吸著孔，利用此吸著孔來將基板S予以吸著固定。 搬送裝置1 4的滑件本雅5 1係跨坐於平行軌道5 2 上，使滑行於X軸方向。各手臂1 4 A，1 4B係設置在 連結於軸5 8的構件5 9的上面，並且藉由馬達5 7與構 件5 9同時旋轉於Z軸的周園。此外，各手臂1 4A， 1 4 B係連接於軸6 1 ，並藉由馬達6 0予以進行昇降的 動作。又，驅動複數個手臂的驅動用馬達6 2係安裝於構 件5 9上，而以個別獨立的方式來驅動各手臂1 4 A， 1 4 B 〇 如圖5〜圖7所示，基板識別裝置（第2讀取手段） 3 1係設置於從卡匣載置部1 3到檢査部1 2的基板搬送 路徑內。此基板識別裝置31，係在於讀取形成在搬送基 板S的角落部之識別符號3 0，然後再將此讀取信號傳送 給檢査控制器2 6。並且，此檢査控制器2 6係經由測試 系統2 8將讀取信號傳送給主電腦4 0。而檢査控制器 2 6係根據來自主電腦4 0的指令，來分別地控制檢査驅 動部27 ，晝像處理部34 ，及顯示裝置34C。另外， 在讀取從顯示文字資訊的基板S所俥送出的檢査資訊時， 以採用OCR爲宜。又，此識別符號3 0係被寫入有顯示 基板S的種類或檢査內容等之檢査資訊。並且，對於用以 作爲基板識別符號3 〇而言，係以使用條碼爲主流，但也 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨()乂2()7公釐> _ 17 _ 一 ' ----：--J---^------.玎------λ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（15 ) 是可以採用文字資訊。 如圚8所示，基板載置台3 2係被設計成可在檢査部 1 2內旋轉於X軸，γ軸，及z軸的各方向上。基板載置 台3 2係以旋轉可能的方式來予以支撑。並且，基板載置 台3 2的基嫌3 2 A係被搭載於Y軸平台7 3的上面。Y 平台7 3係具備有：螺旋軸桿7 4 ，導軌7 5及Y馬達 8 0。螺旋軸桿7 4及導軌7 5係從Y平台7 3的端部到 另一端部之間來予以設置。Y馬達8 Q係使螺旋軸桿7 4 能夠進行正逆旋轉。並且，在基板載置台3 2的側部設置 有CCD攝影機3 4 A。此攝影機3 4 A的對物鏡頭係對 向於上方的檢査面板3 3。此攝影機3 4 A係由第2控制 手段來予以控制。 另外，Y平台7 3係搭載於X平台7 6的上面。X平 台7 6係具備有：螺旋軸桿7 7 ，導軌7 8及X馬達8 1 。螺旋軸桿7 7及導軋7 8係從X平台8 1的端部到另一 端部之間來予以設置。X馬達8 1係使螺旋軸桿7 7能夠 進行正逆旋轉。 如圖9所示，對準機構8 2係設置於檢査部1 2內的 標記位置。此對準機構8 2 ，係細長延伸於X軸，而固定 於平板8 3。此對準機構8 2係到著於圖中基板載B台 3 2上以假想線所示之位K (對準位B)時，從基板Si 檢測出2個對準記號Μ 1，Μ 2 (參照圖8 )，然後以這些 對準符號Mt，1^2作爲基準點來調整基板s的位置。 對準機構8 2係具備有：被收容於細長形狀的度鼸 18 - ----.------^------ir------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 305975 Α7 Β7 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印装 五、發明説明（16 ) 8 2 A內的一端部位之照明用的光源8 2 b ;及 被配設於此光源8 2B側的第1反射銳8 2C :及 與第1反射鏡8 2C保持一定距離，並且以相互對向 配置的方式來予以設置之第2反射鏡8 2D ;及 位於反射鏡8 2 C，8 2 D之間，而且配置成比兩反 射鏡8 2C，8 2D的位置稍微高之第3反射鏡8 2E : 及 使第3反射鏡8 2 E進退移動於第1反射鏡8 2 C與 第2反射鏡8 2 D之間的《磁柱塞（plunger) 8 2 F而 構成者。在第1反射鏡8 2 C的下方配設有作爲第2監視 控制手段的CCD攝影機3 4A。並且，在筐體8 2A的 下方形成有開口，此開口係藉由平板8 3來予以形成封閉 的狀態。 第1反射鏡8 2C的鏡面，係對於CCD攝影機 3 4 A的鏡頭光軸形成4 5°的角度，並且對向於第2反 射鏡8 2 D及第3反射鏡8 2 E。此第1反射鏡8 2 C係 被形成爲使來自光源8 2 B的光線透過的鏡片。 第2反射鏡8 2D與第3反射鏡8 2 E皆與第1反射 鏡8 2 C形成相反的傾斜方向，第2反射鏡8 2 D與第3 反射鏡8 2 E之間的距離係與基板S的對準記號Mi，M2 之間的距離一致。此外，在平板8 3形成有位於各反射鏡 8 2C，8 2D，8 2E的下方之開口部。並且，這些開 口部也是可以形成爲一體化之細長的形狀。 檢測對準記號M i，Μ 2的情況，係如圓9所示，在對 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝 •V9 -泉 本纸張尺度通用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 19 經濟部中央標準局員工消費合作社印获 A7 _ B7 五、發明説明（17 ) 準位置藉由驅動手段8 2 F使第3反射鏡8 2 E朝筐體 8 2 A的上方後退。在此狀態下若開啓光源8 2 B的話， 則其光線係透過第1反射鏡8 2 C而到達第2反射銳 8 2D，在此將行進方向變更爲9 0° ，再經由開口部 8 2 C到達右側的對準記號M i來予以照明。來自此對準 記號Mi的反射光線係藉由第2反射鏡8 2D及第1反射 鏡8 2 C來改變其行進方向，並且經由開口部8 2 A而到 達CCD攝影機3 4 A。藉此，對準記號Mi係藉由 CCD攝影機3 4A來予以攝影影像。另一方面，在檢測 左側的對準記號M2的情況時，使第3反射鏡8 2 E進出 於筐體8 2A內。藉此，光源8 2B係經由第3反射鏡 8 2 E來照明其下方的對準記號M2 ，同樣的其對準記號 M2係藉由CCD攝影機3 4 A來予以攝取其影像。 爲了可以在檢査部12內進行監視檢査狀況的同時， 能夠操作檢査部1 2 ，而設置有第2控制手段3 4。此第 2控制手段3 4係具備有：在檢査部1 2內攝取基板S與 探針（圖中未示）的影像之CCD攝影機3 4A :及 處理來自CCD攝影機3 4 A的信號之畫像處理裝置 3 4 B :及 顯示此晝像處理裝S3 4 B的處理晝像之顯示裝g 3 4 C而構成者。 此顯示裝S3 4 C係配置於靠近檢査部1 2的位B， 主要是在監視檢査部1 2內的狀況，而來操作檢査部i 2 。並且，顯示裝匱3 4 C的耋面係與顯示裝置2 9 C同樣 n n ^ 裝 訂 泉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS ) A4规格（2丨〇:<297公釐） 20 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 _ B7五、發明説明（18 ) 地可以左右轉動，同時能夠上下昇降。此外，在畫像處理 裝置3 4 B與顯示裝置3 4 C之間連接有檢査控制器2 6 ，經由此檢査控制器2 6將紅色，綠色及藍色的色彩信號 傅送到顯示裝置3 4 C，此顯示裝置3 4 C的耋面係以彩 色畫面來予以表示。另外，此顯示裝置3 4C也可以作爲 操作面板來使用。因此，在裝載部12有任何的問題發生 時，可藉由手動開關的切換，將自動運轉切換成手動運轉 。一邊觀察在顯示裝置3 4 C的搬運狀況，一邊遵從操作 面板的指示，來操作裝載驅動部2 7 ，藉此便能夠順利進 行搬送的作業。如此一來，即使是使用大型的檢査裝置 1 0 ，也能夠提昇手動作業的作業性。若藉由一邊觀察顯 示裝置2 9 C，一邊在裝載部1 2內進行手動的操作的話 ，則可使裝載部1 2內的基板載置台3 2等之構成機器能 夠移動到所望的位置，並且可以容易地進行在裝載部1 2 內的構成機器的維修工作。 又，CCD攝影機3 4A係在於攝取被固定在檢査位 g之平板8 3上的檢査面板3 3之探針的影像。並且根據 形成檢査時之基準的2根探針，來決定基板載置台3 2的 位置。當基板S移動到檢査部1 2之探針的正下方後，使 基板載S台上昇，然後再使基板S的電極片與探針接觸， 而來進行電路的檢査。並且，基板載置台3 2與探針之間 的距離係藉由例如由靜電容量感知器等所構成之高感度的 感知器（圖中未示）來檢測出。 如圖7所示，在檢査部1 2設置有具備符號附加手段 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X297公煃）_ y _ ----------种衣------1T------A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印«. A7 _______B7___ 五、發明説明（19 ) 的標記用筆頭3 5A之檩記手段3 5。藉由此檫記用筆頭 3 5 A在檢査完成的LCD用基板S的角落部樓記上適宜 的記號。此檫記手段3 5的鼷動部（圖中未示）係藉由檢 査控制器2 6來予以控制其動作。筆頭3 5 A係靥於一種 :將雷射光照射於基板S的角落部而來予以標記上記號 3 6之雷射識別機。例如：檢査完成之基板S係藉由搬送 裝S14的卸載手臂14B使其歸回到卡匣C內，之後， 再藉由裝載手臂1 4 A從卡匣C內將檢査完成的基板S搬 送到基板載置台3 2之前，利用第2條碼檢測器3 1來檢 測其標記符號3 6，然後根據其檢測結果來驅動裝載驅動 部21 ，再使基板S歸回到原來的卡匣C。此外，標記用 筆頭3 5 A係除了使用雷射識別機之外，也能夠使用可檫 記墨水符號之墨水式筆頭。 其次，一邊參照圖1 0之流程圖，一邊說明有關使用 上述基板檢査裝置來檢査LC D用基板S的情況。 首先，由主電腦4 0對於自動搬送車1 5傳送基板供 給指令信號。若自動搬送車15接受到指令信號的話，則 手臂1 5 A從前一工程接受到以一個卡匣爲單位的基板S ，然後再移動到檢査裝置1 0，其通信手段1 8 B係停止 於與檢査裝置10的通信手段18A成對峙的位置°附帶 說明，形成檢査對象的LCD用基板S的尺寸爲： 厚 1 . 1 咖 X 長 5 5 0mmX 宽 6 5 0mm。 再其次，若使自動搬送車1 5經由通信手段1 8A ’ 1 8 B與檢査裝HI 〇之間進行通信的話，則此刻檢査裝 ;---裝------訂一------泉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公缝） 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 305975 A7 _ B7五、發明説明（2〇 ) 置10將會形成接受卡匣c的態勢。藉此，驅動夾持卡匣 C的手臂1 5 A，利用手臂1 5 A開始將卡匣C搬入卡匣 載置部1 3 °在開始進行卡匣的搬入時，首先，卡匣檢測 裝置1 7先檢測出卡匣C的入侵，再經由裝載控制器2 〇 將檢測信號傳送給主m腦4 0。若主電腦4 0檢測出有卡 匣C搬入的話，則經由裝載控制器2 0將信號傳送給裝載 驅動部2 1。藉此來作動搬送裝置1 4 ，然後卡匣C係被 搬入卡匣載置部1 3。（工程步驟S 1 )。 當卡匣搬入時，藉由第1控制手段2 9的CCD攝影 機2 9 A來攝取利用自動搬送車1 5所進行的卡匣C的搬 入作業之影像。CCD攝影機2 9 A係將攝像信號傳送給 畫像處理裝置（OCR) 2 9 B。畫像處理裝置2 9 B若 接受其信號的話，則會將其信號經由畫像處理後傳送給裝 載控制器2 0。裝載控制器2 0係更進一步地處理耋像處 理信號，然後再俥送到顯示裝置2 9 C。此顯示裝置 2 9 C係將搬入作業的情況，以彩色畫面來予以顯示出。 如此一來，操作人員可以在監視位於裝載部11近傍的搬 入狀況的同時，能夠操作搬送裝S1 4。並且，因爲顯示 裝置2 9 C的耋面可以旋轉於左右方向，且能夠調整其高 度，所以可以將其畫面調整到易見的角度，及高度。 當卡匣搬入時，藉由物體檢測裝置1 9 ，在卡匣載置 部1 3檢測出有卡匣C的話，則驅動裝載驅動部2 1的同 時，將卡匣C移載到卡匣載置部13上面。但是此刻，物 體檢測裝置1 9若在卡匣C的通過範園外檢測出卡匣C以 ------：---ΐ衣------.玎------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNSM4規格（2UTX 297公釐）.23 - A7 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印策 五、 發明説明 ( 21 ) 1 | 外 的 物 體 時 9 則 此 刻 將 會 判 斷 成 有 障 礙 物 的 入 侵 而 使 裝 1 I 載 驅 動 部 2 1 緊 急 的 停 止 0 1 1 | 若 所 檢 測 出 的 物 體 不 是 障 礙 物 而 是 卡 匣 C 且 將 此 卡 V 請 1 1 匣 C 載 置 於 載 置 部 的 話 > 則 藉 由 第 1 識 別 裝 置 2 5 從 卡 匣 先 閱 讀 1 1 C 來 讀 取 條 碼 2 4 ( 工 程 步 驟 S 2 ) 〇 主 電 腦 4 0 係 根 據 背 面 之 1 1 此 讀 取 信 號 來 判 m 卡 匣 C 是 否 爲 所 設 定 的 數 置 ( X 程 步 驟 意 事 [ S 3 ) 0 若 判 斷 結 果 爲 不 包 含 所 必 須 檢 査 卡 匣 C 的 基 板 S 項 再 1 填 1 之 錯 誤 的 數 量 時 > 主 電 腦 4 0 係 由 白 動 控 制 操 作 模 式 切 換 寫 本 百 裝 I 至 手 段 操 作 > 並 將 此 切 換 模 式 顯 示 出 及 響 起 警 報 ( 工 程 步 JH 1 1 1 驟 2 0 ) 〇 操 作 人 員 係 在 看 到 此 顯 示 或 聽 到 警 報 後 > 立 即 1 1 將 此 錯 誤 的 卡 匣 C 從 載 置 部 1 3 取 出 0 1 1 另 一 方 面 > 若 判 斷 結 果 爲 包 含 所 必 須 檢 査 卡 匣 C 的 基 訂 i 板 S 之 正 確 的 數 量 時 主 電 腦 4 0 係 將 此 指 令 信 號 傳 送 給 1 | 裝 載 控 制 器 2 0 而 裝 載 控 制 器 2 0 再 將 信 號 傳 送 給 雕 動 1 I 部 2 1 > 而 來 驅 動 控 制 搬 送 裝 置 1 4 0 並 且 裝 載 控 制 器 1 1 ..泉 2 0 會 將 卡 匣 C 的 慨 入 終 了 信 號 傳 送 給 主 電 腦 4 0 0 1 Μα TO 送 裝 置 1 4 > 係 將 裝 載 手 臂 1 4 A 插 入 卡 C 內 ί 1 1 僅 取 出 — 片 基 板 S ( 工 程 步 驟 S 4 ) 0 其 次 使 手 臂 ! 1 1 5 A 旋 轉 1 8 0 〇 > 將 固 定 於 手 臂 1 5 A 的 基 板 S 朝 向 1 檢 査 部 1 2 ( 工 程 步 驟 5 ) 0 使 搬 送 裝 置 1 4 朝 向 載 置 台 1 I 3 2 7 而 來 移 動 於 X 軸 方 向 0 在 此 移 動 的 途 中 9 藉 由 預 先 \ I 對 準 機 構 6 3 來 將 基 板 S 檩 上 記 號 ( 工 程 步 驟 S 6 ) 〇 1 1 1 標 記 後 f 再 將 基 板 S 搬 送 至 所 定 的 位 置 0 若 搬 送 裝 置 1 1 1 4 到 達 所 定 的 位 匮 的 話 赁 則 第 2 讀 取 裝 匱 ( 基 板 m 別 裝 1 1 本紙張尺k適用中國國家標孽（CNS ) Λ4規格（210 χ 29*7公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作.杜印製 A7 B7五、發明説明（22 ) 置）3 1會朝向基板S移動。基板S在所定位置待機的期 間，基板識別裝置3 1會一邊掃描基板S，一邊來讀取識 別符號3 0 ，3 6 (工程步驟S 7 )。此讀取信號係經由 檢査控制器2 7被俥送給主電腦4 0 ，再由主氰腦4 0來 判斷基板S是否已完成檢査（工程步驟S 8)。若基板S 被判斷爲已完成檢査的話，則將基板S送回卡匣C(工程 步驟2 1 )。如此一來，便可以防止重複地檢査。 若基板S被判斷爲未檢査物時，藉由主電腦4 0來判 斷其基板S是否爲檢査預定物。（工程步驟S9)。若基 板S被判斷爲預定檢査以外的東西時，主電腦4 0係由自 動控制操作模式切換至手段操作，並將此切換模式顯示出 及響起簪報（工程步驟2 0 )。操作人員係在看到此顯示 或聽到警報後，立即將此錯誤的卡匣C從載置部13取出 0 另一方面，若其基板S被判斷爲必須檢査物的情況時 ，則主電腦4 0係將其信號俥送給檢査控制器2 6 ，之後 ，搬送裝置1 4再使其基板S搬入到測試部1 2內（工程 步驟S10)。然後，若基板S被放置於載置台的話，則 檢査驅動部2 7及測試系統2 8係根據其判斷結果，來執 行基板S的測試檢査（工程步驟S 1 1 )。 此外，測試檢査及識別符號的讀取狀況係被表示於顯 示裝B3 4 C上。並且，當搬送裝S1 4及預先對準機構 6 3在作動的期間，藉由第1控制手段2 9的CCD攝影 機2 9 A來攝取其一連串動作的影像，再將其攝影信號經 本紙張尺度i4用t國國家標羋（CNS ) Λ4現格（2丨Ο X 297公趁）_ 95 . ' ------^---种衣------1Τ------,1 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（23 ) 由畫像處理裝置2 9 B及裝載控制器2 0來予以進行處理 ，然後再使其一連串的動作以彩色畫面來表示於顯示裝置 2 9 C上。如此一來，操作人員便可以在監視位於裝載部 1 1近傍的搬送狀況的同時，操作搬送裝置1 4。 藉由基板識別裝S3 1所進行之讀取的作業完成後， 使裝載手臂1 4 A進出於載S台3 2 ，來將基板S放置於 載置台3 2上。載置台3 2係移動至對準位置後，藉由對 準機構8 2來進行基板S的對準位置作業。並且，當載置 台3 2移動到檢査面板8 3的下方時，依照從各條碼所讀 取的檢査內容來執行基板S的檢査作業。 在試體檢査中，藉由第2控制手段3 4的CCD攝影 機3 4 A來攝取基板S之各標記狀況及檢査狀況的影像。 C C D攝影機3 4 A係將其攝像信號傳送給畫像處理裝置 3 4 B，再利用此金像處理裝置3 4 B來進行畫像的處理 ，然後經由檢査控制器將所攝取的影像以彩色畫面來表示 於顯示器3 4 C。藉此，在監視位於檢査部1 2近傍的檢 査狀況的同時，可以操作檢査部1 2。並且，這個時候也 可以藉由第1控制手段2 9，在監視裝載部1 1的卡匣C 之搬入狀況的同時，能夠操作搬送裝置1 4。此外，顯示 裝置2 4 C，3 4 C的畫面係可以左右旋轉，且能夠調整 高度。 在進行試體檢査中，當裝載手臂1 4 A將下一個基板 S取出後，移動到對準位置待機。然後，若檢査完成的話 ，則藉由標記筆3 5 A在完成檢査的基板S上予以作上記 各紙張尺度適用中國國家標牟（CNS M4現格（210X297公趁）_ .7(3 - ---------种衣------1τ-------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（24 ) 號（工程步驟S 1 2 )。作上記號後，將搬送裝置1 4的 裝卸手臂1 4 B插入檢査部1 2 ，從載置台3 2拿起基板 S，然後再從檢査部1 2搬出基板S (工程步驟S 1 3 — 1)。並且，藉由待機中的裝卸手臂14A來搬送未處理 的基板S，並予以放置於載置台3 2 (工程步驟S 1 3 — 2 )。最後，使裝載手臂1 4A歸回到裝載部1 1 (工程 步驟 S 1 3 - 3 )。 其次，使卸載手臂14B旋轉180。，而使得藉由 卸載手臂1 4 B所被夾持的基板S朝向卡匣載置部1 3的 方向（工程步驟S 1 4 )。然後再使搬送裝置1 4朝卡匣 C的X軸方向移動。 藉由第1識別裝置2 5係從卡匣C中來讀取條碼2 4 (工程步驟S 1 5 )。主電腦40 ，係根據此讀取信號來 判斷卡匣C的收容的基板S數量是否正確（工程步驟 S16)。若卡匣C所收容之完成檢査的基板S數量爲不 正確的情況時，則讀取下一個卡匣C的條碼（工程步驟 S15) °若卡匣C所收量的基板S數量被判斷爲正確的 數量的話，則讀取下一個基板S的條碼30 (工程步驟 S 1 7 ) 〇 另外，使用感知器來檢測出收容基板S的卡匣溝槽， 並且判斷其收容位B是否正確（工程步驟S 1 8 )。若檢 測出的溝槽爲不正確的情況時，則重複地進行檢査，一直 到找出正確的溝槽爲止。最後，再將完成檢査的基板S收 容於正確的溝漕內（工程步騄S19) ° 本紙張尺度i4用中國國家櫺率（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 27 - -----------I------1T------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 五 發明説明 ( 25 ) 1 1 並 且 ss 雕 動卸 載 手 臂 1 4 B 9 藉 由 此 卸 載 手 臂 1 4 B 1 1 從 移 動 至 標 記位 B 的 載 S 台 3 2 上 取 出 完 成 檢 査 的 基 板 1 1 S ， 同 時 將 已 經搬 送 來 的 基 板 S 放 置 於 載 置 台 3 2 上 Ο 1 1 請 1 | 然 後 ， 若 在卡 匣 內 之 全 部 的 基 板 S 完 成 檢 査 的 話 9 則 先 閲 I 1 讀 I 從 測 試 系 統 2 8將 其 檢 査 終 了 信 號 傳 送 給 主 腦 4 0 Ο 並 背 t6 1 I 且 ， 若 派 送 裝 置1 4 將 完 成 檢 査 之 基 板 S 全 部 地 收 容 於 卡 冬 意 1 事 1 匣 C 內 的 話 > 則從 裝 載 控 制 器 2 0 將 其 信 號 傳 送 給 主 電 腦 項 再 1 填 1 0 藉 此 9 主 電 腦係 傳 送 搬 出 指 令 給 白 動 搬 送 車 1 5 > 再 藉 寫 本 裝 由 白 動 搬 送 車 1 5 將 完 成 檢 査 的 基 板 S 出 檢 査 裝 置 1 0 頁 1 1 0 此 搬 出 作 業 ，係 可 以 藉 由 第 1 控 制 手 段 2 9 來 進 行 監 視 1 1 0 搬 出 後 9 利 用自 動 搬 送 車 1 5 將 卡 匣 C 4*1 做 送 到 下 — 個 工 1 I 程 〇 訂 1 I 〔 發 明 之 效 果 ] 1 1 1 I 茲 由 上 述 的說 明 可 知 利 用 本 發 明 之 裝 置 的 話 ， 即 使 1 1 ，泉 1 是 隨 著 裝 置 的 大型 化 而 增 大 了 從 裝 載 部 到 檢 査 部 之 間 的 距 離 > 也 能 夠 使 在檢 査 部 的 檢 査 狀 況 拉 近 監 視 ， 同 時 在 裝 載 1 1 部 的 搬 送 狀 況 係可 以 於 近 距 離 進 行 監 視 9 因 此 能 夠 在 確 實 1 I 且 安 全 的 狀 況 下操 作 Μ/ι 戴 送 俄 構 及 檢 査 Mi 俄 構 0 1 I 另 外 在 裝載 部 及 檢 査 部 發 生 問 題 時 因 爲 可 以 一 邊 1 1 I 在 監 視 送 動 作及 檢 査 動 作 的 同 時 一 邊 進 行 手 動 操 作 ， 1 所 以 能 夠 提 昇 作業 性 ί 減 輕 操 作 者 的 作 業 童 〇 1 1 此 外 9 因 爲可 以 使 第 1 及 第 2 控 制 手 段 之 各 顯 示 裝 置 1 1 的 顯 示 畫 面 於 水平 方 向 進 行 旋 m ♦ 同 時 能 夠 於 上 下 方 向 進 1 1 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨Oa297公缝> _ 28 - 305975 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 26 ) 1 | 行 昇 降 ， 因 此 可 以 令 顯 示 畫 面 處 於 易 見 的 狀 態 下 進 行 調 整 1 1 的 作 業 〇 1 1 再 者 可 以 藉 由 第 1 讀 取 手 段 以 組 爲 單 位 來 管 理 I 1 請 1 I 基 板 S ί 且 能 夠 藉 由 第 2 讀 取 手 段 ， 以 — 片 爲 單 位 來 管 理 先 閲 1 1 讀 1 基 板 S 0 背 1 1 之 1 又 9 因 爲 可 以 根 據 來 白 第 1 及 第 2 讀 取 手 段 的 檢 測 信 意 1 事 號 來 實 行 檢 査 所 以 能 夠 將 在 卡 匣 C 與 基 板 S 上 之 檢 査 資 項 再 1 填 1 訊 予 以 進 行 雙 重 的 檢 査 y 進 而 可 以 在 不 產 生 雄 3FB 誤 的 狀 態 下 窝 本 裝 1 經 常 保 持 正 確 的 檢 査 0 頁 1 1 並 且 9 在 檢 査 過 的 基 板 上 標 記 號 9 妖 j\\\ 後 藉 由 第 2 讀 取 1 1 手 段 來 讀 取 經 標 記 過 的 記 號 如 此 —. 來 便 能 夠 確 實 地 防 止 1 1 重 複 的 檢 査 0 訂 1 又 > 若 利 用 此 檢 査 裝 置 的 話 9 則 對 於 今 後 曰 益 增 加 之 1 | L C D 用 基 板 的 管 理 業 務 而 言 ， 能 夠 舒 解 操 作 人 員 的 工 作 1 I 量 0 1 1 ..泉 1 C |-1 圃 面 之 簡 單 說 明 1 1 第 1 圖 係 表 示 基 板 檢 査 裝 置 之 全 體 概 要 分 解 立 體 圖 0 1 1 第 2 圚 係 表 示 裝 載 部 之 送 捕 俄 構 的 平 面 圖 0 1 1 第 3 圚 係 表 示 裝 載 部 之 搬 送 機 構 的 側 面 圖 0 1 I 第 4 圖 係 表 示 卡 匣 載 置 部 之 主 要 部 份 的 立 體 圖 0 I 第 5 圓 係 表 示 有 關 本 發 明 之 實 施 形 態 的 基 板 檢 査 裝 置 1 1 I 的 方 塊 圖 0 1 1 I 第 6 圖 係 表 示 基 板 搬 送 中 之 手 臂 部 份 的 立 體 圖 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公缝% — A7 B7 五、發明説明（27 ) 第7圖係表示作記號用筆及載®台的立體圖。 第8圖係表示載置台之驅動機構的分解立體圖。 送 搬 。 的 圖板 面基 斷用 份 D 部 C 之 L 構之 機置 記裝 標査 及檢 台板 置基。 載示圊 示表程 表係流 係圖的 fflo 例 9 1 一 第第之 序 程 扣水 I 訂 旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國®家標準（CNS ) Λ4规格（210X W公t ) 30