JPH09329774A - 液晶表示基板外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示パネルを品種ごとに自動的に分類す
ることが可能な技術を提供すること。 【解決手段】 液晶表示基板毎の情報を収集し管理する
基板情報管理手段と、前記液晶表示基板上の基板ナンバ
ーを読み取る基板ナンバー読み取り手段と、該基板ナン
バー読み取り手段が読み取った基板ナンバーに基づい
て、当該液晶表示基板の品種情報を前記基板情報管理手
段から検索し取得する検索取得手段と、前記基板取り出
し手段が取り出した液晶表示基板の外観検査を行い、そ
の検査結果を入力するための検査結果入力手段と、該検
査結果入力手段から入力される検査結果を前記基板情報
管理手段に転送する基板情報転送手段と、前記品種情報
および前記検査結果に基づいて、前記液晶表示基板を品
種および検査結果ごとに分類する分類手段とを具備する
液晶表示基板外観検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示基板外観
検査装置に関し、特に、製造工程からカセットに格納さ
れて搬入される液晶表示基板の外観検査および品種ごと
の分類に伴う移載作業を自動的に行うための技術に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶表示パネル（液晶ガラス基
板，液晶表示基板）の製造ラインでは、出荷時の最終検
査として、目視によって液晶表示基板割れや汚れ等の検
査を行う、いわゆる、外観検査を行うことが一般的に行
われている。

【０００３】また、液晶表示パネルは製造工程からカセ
ットに格納した状態で搬入されるので、この液晶表示パ
ネルを１枚毎にトレーに収納し、このトレーを複数枚毎
にまとめた状態にして出荷していた。

【０００４】また、このとき、製造工程では複数の仕様
（品種）の液晶表示パネルが製造されており、この液晶
表示パネルが出来上がった順番に外観検査を行うための
工程に搬入されてくるので、この工程では前述する外観
検査およびトレーへの詰め替えと共に、品種毎に液晶表
示パネルを仕分けると言うことが行われていた。

【０００５】次に、液晶表示パネルの搬入から搬出（払
い出し）まで作業手順を順番に説明すると、まず、液晶
表示パネルは前工程である製造工程からカセットに格納
されて品種を記載した伝票と共に搬入される。

【０００６】作業者は搬入に伴う受付を行った後、カセ
ットから１枚づつ液晶表示パネルを取り出し、目視によ
る外観検査を行うと共に、各液晶表示パネルごとに印刷
されており、製造年月や品種等の情報を含む基板ナンバ
ーを読み取る。

【０００７】このとき、検査した液晶表示パネルが良品
であるならば、作業者はこの液晶表示パネルをトレーに
詰め替えると共に、基板ナンバーに基づいて品種ごとに
仕分けをした後、その基板ナンバーを所定の記録用紙に
記録する。

【０００８】一方、検査した液晶表示パネルが不良品で
あった場合は、作業者はその液晶表示パネルを不良品用
の収集箱に投入した後、その液晶表示パネルの基板ナン
バーと不良品であったこととを所定の記録用紙に記入す
る。

【０００９】前述した手順で搬入された液晶表示パネル
の外観検査および仕分けを行い、その結果を集計し報告
するのは日報によって行われていた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。

【００１１】従来の外観検査では、前述するように、外
観検査をはじめとして、品種ごとの仕分け、カセットか
らトレーへの詰め替え、および、基板ナンバーの記録等
の作業を全て作業者が行っていたので、作業ミス等によ
って、液晶表示パネルの角を作業台等に当てることによ
る、基板の角等が欠けてしまういわゆるチッピング等の
不良が多数発生するという問題があった。

【００１２】また、検査結果の集計はその日の作業が終
了した後、記録用紙に記入された結果を集計することに
より行っていたので、製造装置等の異常が原因となる不
良が多発した場合であっても、その結果を製造工程に速
やかにフィードバック出来ないと言う問題があった。

【００１３】液晶表示パネルの品種が多くなった場合、
作業者に対する負担が増大することになるので、不良の
発生確率が増大するという問題があった。

【００１４】本発明の目的は、液晶表示パネルを品種ご
とに自動的に分類することが可能な技術を提供すること
にある。

【００１５】本発明の他の目的は、液晶表示パネルをカ
セットからトレーへ自動的に詰め替えることが可能な技
術を提供することにある。

【００１６】本発明の他の目的は、液晶表示パネルの検
査結果を速やかに製造工程にフィードバックすることが
可能な技術を提供することにある。

【００１７】本発明の他の目的は、品種ごとに分類した
液晶表示パネルを払い出す際に、自動的に品種および数
量等を記入したカードを発行することが可能な技術を提
供することにある。

【００１８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００２０】（１）液晶表示基板毎の情報を収集し管理
する基板情報管理手段と、前記液晶表示基板上の基板ナ
ンバーを読み取る基板ナンバー読み取り手段と、該基板
ナンバー読み取り手段が読み取った基板ナンバーに基づ
いて、当該液晶表示基板の品種情報を前記基板情報管理
手段から検索し取得する検索取得手段と、前記基板取り
出し手段が取り出した液晶表示基板の外観検査を行い、
その検査結果を入力するための検査結果入力手段と、該
検査結果入力手段から入力される検査結果を前記基板情
報管理手段に転送する基板情報転送手段と、前記品種情
報および前記検査結果に基づいて、前記液晶表示基板を
品種および検査結果ごとに分類する分類手段とを具備す
る液晶表示基板外観検査装置。

【００２１】（２）液晶表示基板毎の情報を収集し管理
する基板情報管理手段と、基板格納手段から前記液晶表
示基板を１枚ずつ取り出す基板取り出し手段と、該基板
取り出し手段が取り出した前記液晶表示基板上の基板ナ
ンバーを読み取る基板ナンバー読み取り手段と、該基板
ナンバー読み取り手段が読み取った基板ナンバーに基づ
いて、当該液晶表示基板の品種情報を前記基板情報管理
手段から検索し取得する検索取得手段と、前記基板取り
出し手段が取り出した液晶表示基板を外観検査を行う前
記作業者のもとに搬送する搬送手段と、前記作業者の検
査結果を入力するための検査結果入力手段と、該検査結
果入力手段から入力される検査結果を前記基板情報管理
手段に転送する基板情報転送手段と、前記品種情報およ
び前記検査結果に基づいて、前記液晶表示基板を品種お
よび検査結果ごとに分類する分類手段と、該分類手段が
分類した前記液晶表示基板を払い出す払い出し手段とを
具備する液晶表示基板外観検査装置。

【００２２】（３）前述する（２）に記載の液晶表示基
板外観検査装置において、前記払い出し手段は、前記液
晶表示基板の払い出しと共に、前記品種情報に基づいた
カードを印刷する印刷手段を具備する。

【００２３】（４）製造工程で製造された液晶表示基板
に傷および汚れ等がないかを検査する作業者と対向して
配置される外観検査装置の背面カバーにおいて、前記背
面カバーは、反射防止加工が施されていると共に、前記
液晶基板の表面に写ることになる部分が前記作業者から
遠ざかるように配置される。

【００２４】前述する（１）および（２）の手段によれ
ば、基板取り出し手段が基板格納手段から液晶表示基板
を１枚ずつ取り出し、基板ナンバー読み取り手段がこの
液晶表示基板上の基板ナンバーを読み取った後、搬送手
段が液晶表示基板を外観検査を行う作業者のもとに搬送
すると共に、分類手段が検索取得手段の得た液晶表示基
板の品種情報および外観検査の検査結果に基づいて、液
晶表示基板を品種別に分類し、その後払い出し手段が払
い出し先別に、自動的に液晶表示基板を払い出すので、
作業者が特別の指示を与えることなく自動的に液晶表示
基板の分類および払い出しができる。

【００２５】また、検査結果入力手段から入力された検
査結果は、基板情報転送手段によって直ちに基板情報管
理手段に転送されるので、外観検査の結果を速やかに製
造工程にフィードバックできる。

【００２６】前述する（３）の手段によれば、払い出し
手段が液晶表示基板の払い出しと共に、検索取得手段が
得た液晶表示基板の品種情報に基づいたカードを印刷す
るので、自動的に品種および数量等を記入したカードを
発行できる。

【００２７】前述する（４）の手段によれば、作業者が
外観検査を行う外観検査部の背面カバーは、反射防止加
工が施されている黒色のカバーであると共に、作業者が
搬送手段上の液晶表示基板の表面を観たときに基板表面
に写ることになるカバー部分は、作業者から遠ざかるよ
うに配置されているので、液晶表示基板の表面に写り込
むカバーからの反射光を減少でき、液晶表示基板上の汚
れおよび傷等を容易に発見できる。

【００２８】また、液晶表示基板上の汚れおよび傷等を
容易に発見できるので、作業効率を向上できる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明
する。

【００３０】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。

【００３１】図１は本発明の一実施の形態の外観検査装
置の概略構成を説明するための斜視図であり、１はカセ
ット投入部、２は基板抜き取り部、３は文字読み取り
部、４は表側検査部、５は検査結果入力端末（検査結果
入力手段）、６は基板反転部ａ、７は裏側検査部、８は
基板収納部、９は制御用パソコン（検索取得手段、基板
情報転送手段）、１０はバーコードプリンタ（印刷手
段）、１１は仕分け払い出し部（払い出し手段）、１２
は基板反転部ｂ、１３は仕分けロボット（分類手段）、
１４は液晶基板（液晶表示基板）、１５は作業者、１６
はシーケンサを示す。

【００３２】なお、本実施の形態の外観検査装置は、製
造工程で製造された液晶基板１４の表面についている傷
や汚れ等の有無を検査する、いわゆる、外観検査工程で
用いられる装置である。

【００３３】また、図中に示す矢印は、液晶基板１４の
移動方向（流れ方向）もしくは各装置の動作方向を示す
ものである。

【００３４】本実施の形態の外観検査装置の動作を説明
するにあたり、液晶基板１４の表側とは基板ナンバーが
印刷ないし刻印されている側の面、裏側とは前述の表側
と反対の側の面を指すものとする。

【００３５】図１において、カセット投入部１は、製造
工程で製造した液晶基板１４を格納したカセットを投入
するところであり、詳細な構成については後述する。

【００３６】基板抜き取り部２は、カセット投入部１に
投入された液晶基板１４をカセットから１枚づつ抜き出
し、次の文字読み取り部３に投入する部分であり、３軸
ロボットとこのロボットを制御する制御装置とから構成
される。なお、詳細については後述する。

【００３７】文字読み取り部３は、液晶基板１４に印刷
されている基板ナンバーを読み取り、文字情報に変換す
る部分であり、詳細については後述する。なお、基板ナ
ンバーは当該液晶基板１４の製造年月日、品種等に関す
る情報を有している。

【００３８】表側検査部４は、作業者１５が目視により
液晶基板１４の表側の外観検査を行うための部分であ
り、詳細については後述する。

【００３９】検査結果入力端末５は、作業者１５が液晶
基板１４の外観検査の結果を入力するための入力装置で
あり、制御用パソコン９に接続されている。また、検査
結果入力端末５は表側と裏側との検査結果をそれぞれ入
力するために、専用の入力端末が２台設置される。

【００４０】基板反転部ａ６，基板反転部ｂ１２は、作
業者１５に液晶基板１４の裏側の外観検査を行い易くす
るために液晶基板１４を裏返すための基板反転装置であ
る。この基板反転装置は、たとえば、液晶基板１４の移
動方向に対して垂直となる方向の回転軸を有する平板も
しくは矩形枠に、吸着パッドと平板もしくは矩形枠を回
転軸を中心として１８０°回転させる回転駆動部とを取
り付けておき、図示しない搬送装置の移動タイミングに
合わせて、吸着パッドによる液晶基板１４の吸着、平板
もしくは矩形枠の１８０°の回転、液晶基板１４の吸着
解除を順番に行うことにより、液晶基板１４の表側と裏
側とを反転させる。

【００４１】裏側検査部７は、基板反転部ａ６によって
反転された液晶基板１４の裏側を作業者１５が検査する
ための部分であり、その構成は前述する表側検査部４と
同じである。

【００４２】基板収納部８は、図示しない搬送機で１枚
づつ搬送されてくる液晶基板１４を順番に１枚づつトレ
ーに格納する部分であり、詳細については後述する。

【００４３】制御用パソコン９は、本実施の形態の外観
検査装置の動作、液晶基板１４の種別および検査結果等
に関する情報の管理を行うと共に、製造工場全体の情報
を管理する管理システム（上位の情報処理装置）と周知
の通信手段によって接続されており、検査結果等の液晶
基板１４に関する情報のやりとりを行う。なお、本実施
の形態では、イーサネットで接続されている。

【００４４】バーコードプリンタ１０は、仕分け払い出
し部１１から払い出される液晶基板１４に関する情報
（たとえば、検査年月日、数量、品種等の情報）をバー
コードとして印刷するための、バーコード印刷用が可能
な周知のプリンターである。

【００４５】仕分け払い出し部１１は、たとえば、仕分
けロボット１３が品種別に仕分けした液晶基板１４を払
い出すための部分であり、払い出しと共にバーコードプ
リンタ１０から払い出し品に関する情報のバーコードが
印刷されたカードが発行される。

【００４６】仕分けロボット１３は、基板収納部８で１
枚づつトレーに収納された液晶基板１４を、トレーと共
に基板収納部８から仕分け払い出し部に仕分けしながら
移動させるための４軸ロボットである。

【００４７】液晶基板１４は、検査対象である周知の液
晶基板であり、作業者１５は、特に、外観検査工程での
作業を行う作業者のことであり、図示しない制御装置に
より制御される。

【００４８】シーケンサ１６は、本実施の形態の外観作
業装置に用いられている各装置を制御し、その各装置を
所定の手順で動作させるための周知のシーケンサであ
る。また、シーケンサ１６は制御用パソコン９とも接続
されている。

【００４９】次に、図２に液晶基板の搬送手順を説明す
るための図を示し、以下、図１および図２に基づいて、
本実施の形態の外観検査装置における液晶基板１４の搬
送手順を説明する。

【００５０】カセット投入部１に基板の入ったカセット
が投入されたことを図示しないセンサが検知すると、ま
ず、このセンサからシーケンサ１６に検知信号が出力さ
れる。

【００５１】検知信号を受け取ったシーケンサ１６は、
基板抜き取り部２から遠い投入位置（基板入りカセット
投入ポジション）に投入されたカセットを、基板抜き取
り部２にもっとも近い位置（基板入りカセット抜き取り
ポジション）に移動させる指示をカセット投入部１に出
し、カセット基板抜き取り部２に近い位置に移動させ
る。

【００５２】シーケンサ１６がカセットの移動の完了を
検知すると、次に、シーケンサは基板抜き取り部２に対
して、カセットに格納されている液晶基板１４を１枚ず
つ抜き取り、文字読み取り部３に移動させる指示を行
う。

【００５３】この指示を受けた基板抜き取り部２は、カ
セットから１枚ずつ液晶基板１４を抜き出し、この液晶
基板１４を文字読み取り部３に移動する。

【００５４】文字読み取り部３では、文字読み取りカメ
ラで基板ナンバーを読み取る。この後、この液晶基板１
４は図示しない搬送手段によって矢印で示す方向に搬送
され、表面検査部４に送られる。また、文字読み取りカ
メラで読み取られた基板ナンバーは文字読み取り部３で
文字情報に変換された後に、制御用パソコン９に転送さ
れる。

【００５５】なお、図示しない搬送手段については後述
する。

【００５６】表面検査部４では、図１に示すように、作
業者１５が搬送されてくる液晶基板１４の表側の検査を
随時行い、その結果を検査結果入力端末５に入力する。
表面検査の終了した液晶基板１４は、搬送手段によって
基板反転部ａ６まで搬送され、この基板反転部ａ６で液
晶基板１４の表裏の反転を行った後、再び、搬送手段に
戻され、次の裏側検査部７に送られる。

【００５７】裏側検査部７では、表面検査部４と同様
に、作業者１５が搬送されてくる液晶基板１４の裏側の
検査を随時行い、その結果を裏側検査部７に設置される
検査結果入力端末５に入力する。ただし、裏側検査部７
に搬送されてくる液晶基板１４は、基板反転部ａ６によ
って表裏が反転されているので、作業者１５は表側検査
部４での検査と同様に、搬送手段で搬送されてくる液晶
基板１４の上側を向いている面を検査するのみでよい。

【００５８】裏面検査の終了した液晶基板１４は、搬送
手段によって基板反転部ｂ１２まで搬送され、この基板
反転部ｂ１２で再び液晶基板１４の表裏が反転された
後、搬送手段に戻され、基板収納部８に送られる。

【００５９】基板収納部８では、順次、搬送手段によっ
て搬送されてくる液晶基板１４を１枚づつトレーに格納
する。トレーに格納された液晶基板１４は、仕分けロボ
ット１３によって、たとえば、品種毎のグループに仕分
けられ、仕分け払い出し部１１に載置される。

【００６０】仕分け払い出し部１１では、予め設定され
た数量（枚数）の液晶基板１４が載置されると、その数
量の液晶基板１４を払い出し単位として、払い出しを行
う。

【００６１】次に、図３に本実施の形態の外観検査装置
における情報の流れを説明するためのブロック図を示
し、以下、図３に基づいて、本実施の形態の外観検査装
置における情報の流れを説明する。

【００６２】ただし、図３において、図３（ａ）は管理
システムと外観検査装置とで交換される液晶基板の品種
情報の流れを説明するための図であり、図３（ｂ）は管
理システムと外観検査装置とで交換される液晶基板の検
査結果に関する情報の流れを説明するための図である。

【００６３】なお、本実施の形態では、制御用パソコン
９を含む工場全体に設置される各情報処理装置は、周知
のクライアント／サーバ型のシステム構成を採用してい
る。

【００６４】図３において、３１は管理システム、３２
は基板ナンバーファイルサーバ（基板情報管理手段）、
３３は文字読み取り装置（基板ナンバー読み取り手段）
を示す。

【００６５】管理システム３１は、たとえば、液晶基板
１４の各製造工程に配置される情報処理装置（制御用パ
ソコン９を含む）を所定台数ごとに管理するワークステ
ーション等の情報処理装置と、この複数台のワークステ
ーション等を管理する情報処理装置、すなわち、工場全
体を管理する情報処理装置とを含めた情報処理装置シス
テムであり、これらの情報処理装置はそれぞれ周知のイ
ーサネットによって接続されている。

【００６６】基板ナンバーファイルサーバ３２は、管理
システム３１を構成する情報処理装置の内の１台であ
り、液晶基板１４に関する情報を格納しているサーバで
ある。

【００６７】文字読み取り装置３３は、図１および図２
の文字読みとり部３に配置される文字読み取りカメラ
と、該カメラで撮影した基板ナンバーの画像を周知の文
字認識技術を用いてテキストデータである文字情報に変
換する文字認識装置とから構成される文字読み取り装置
である。

【００６８】また、文字読み取り装置３３は、文字認識
により得られた基板ナンバーを制御用パソコン９に転送
するために、たとえば、周知の通信回線であるＲＳ２３
２Ｃで制御用パソコン９と接続されている。

【００６９】また、制御用パソコン９は、出荷時に必要
となる出荷カードを作成する際に必要となる日付、品種
および数量等の情報をバーコードプリンタ１０に転送す
るために、たとえば、周知のプリンタ専用の通信回線で
接続されている。

【００７０】さらには、仕分けロボット１３に仕分け先
の情報を転送するために、制御用パソコン９は仕分けロ
ボット１３と、たとえば、ＲＳ２３２Ｃで接続されてい
る。

【００７１】図３（ａ）に基づいて、管理システム３１
と本実施の形態の外観検査装置とで交換される液晶基板
の品種情報の流れ、すなわち、管理システム３１内の基
板ナンバーファイルサーバ３２、文字認識装置３３、制
御用パソコン９、仕分けロボット１３およびバーコード
プリンタ１０間での情報の流れを説明する。

【００７２】まず、文字読み取り装置３２で液晶基板１
４に印刷された基板ナンバーが文字情報として認識され
ると、その基板ナンバーは通信回線を介して制御用パソ
コン９に転送される。

【００７３】制御用パソコン９は、転送された基板ナン
バーを有する液晶基板１４に関する情報を得るため、管
理システム３１を構成する基板ナンバーファイルサーバ
３２に対して、得られた基板ナンバーに対応する基板ナ
ンバーファイルの検索指示を通信回線を介して転送し、
その応答情報として、品種、ランクおよび製造工程で使
用された製造装置等の液晶基板１４に関する情報が格納
される基板ナンバーファイルを基板ナンバーファイルサ
ーバ３２から受け取る。

【００７４】なお、本実施の形態の外観検査装置では、
基板ナンバーは少なくとも当該基板ナンバーを有する液
晶基板１４が払い出されるまでは、制御用パソコン９が
保持する構成となっている。

【００７５】また、前述する基板ナンバーファイルサー
バ３２と制御用パソコン９との情報のやりとりは、たと
えば、周知のクライアント／サーバシステムにおける検
索技術を用いることにより実現できるので、詳細につい
ては省略する。

【００７６】次に、制御用パソコン９は、基板ナンバー
ファイルサーバ３２から受け取った基板ナンバーファイ
ルを、一旦、メモリ内に格納した後、この基板ナンバー
ファイルに基づいて、制御用パソコン９が仕分け先を決
定し、その仕分け先に該当する位置に液晶基板１４を搬
送するための仕分け先情報を仕分けロボット１３に送
る。

【００７７】ただし、仕分けロボット１３に送る仕分け
先情報は、当該液晶基板１４が仕分けられる時とする。

【００７８】仕分けロボット１３は、制御用パソコン９
から送られた仕分け先情報に基づいて、該当する液晶基
板１４を仕分け払い出し部１１の仕分け先位置に搬送す
る。

【００７９】また、制御用パソコン９は、本実施の形態
の外観検査装置に投入された液晶基板数すなわち文字読
み取りが完了した液晶基板数と、作業者による外観検査
結果とから仕分け払い出し部１１に所定枚数の液晶基板
が払い出されたかを監視し、払い出し枚数が所定枚数に
達した場合には、制御用パソコン９はその液晶基板の払
い出しの指示と共に、日付、品種および数量等の情報を
バーコード情報に変換した後、該バーコード情報をバー
コードプリンタ１０に出力する。

【００８０】バーコードプリンタ１０は、受信したバー
コード情報に基づき、該バーコードを記載したカード
（管理カード）を印刷する。

【００８１】次に、図３（ｂ）に基づいて、管理システ
ム３１と本実施の形態の外観検査装置とで交換される液
晶基板１４の検査結果に関する情報の流れを説明する
と、作業者１５が検査結果入力端末５から入力した検査
結果は、まず、シーケンサ１６に入力される。

【００８２】シーケンサ１６は入力された検査結果を、
その検査結果に対応する信号形式で制御用パソコン９に
出力する。

【００８３】シーケンサ１６からの検査結果を受け取っ
た制御用パソコン９は、その信号に基づいて検査結果を
決定した後、その検査結果をメモリに格納すると共に、
管理システム３１と制御用パソコン９とを接続する通信
回線を介して、検査結果を管理システム３１に転送す
る。

【００８４】なお、検査結果を実際に受信するのは、管
理システム３１内を構成するサーバであり、たとえば、
前述する基板ナンバーファイルサーバ３２内に基板ナン
バーファイルに格納することにより、液晶基板１４に関
する情報を一元的に管理できる。

【００８５】検査結果を受信した管理システム３１は、
たとえば、製造工程で使用された製造装置ごとに不良品
の発生数もしくは発生率を監視し、不良品の発生数もし
くは不良率が所定の値を超えたならば、警告を発すると
共に該当する製造装置を管理する情報処理装置に製造装
置を停止させる等の指示を与えることにより、製造装置
等の動作異常に伴う不良品の発生数の増加を最小限に抑
えることができる。

【００８６】したがって、製造原価を低減できる。

【００８７】次に、図４から図１２に本実施の形態の外
観検査装置を構成する各機能部の詳細な構成を説明する
ための図を示し、以下、各図に基づいて、対応する機能
部の詳細な構成および動作を説明する。

【００８８】まず、図４に本実施の形態の外観検査装置
のカセット投入部を説明するための斜視図を示し、以
下、図４に基づいて、本実施の形態の外観検査装置のカ
セット投入部を説明する。

【００８９】ただし、図４において、４１は基板入りカ
セット投入ポジション、４２は基板入りカセット仮置き
ポジション、４３は基板抜き取りポジション、４４は空
カセット仮置きポジション、４５は空カセット取り出し
ポジション、４６はトラバーサ、４７は基板抜き取りロ
ボット（基板抜き出し手段）、４８はカセット位置決め
コマ、４９は基板入りカセット（基板収納手段）、５０
は空カセットを示す。

【００９０】基板入りカセット投入ポジション４１は、
本実施の形態の外観検査装置への液晶基板１４の投入位
置であり、特に、カセット投入部１における投入ポジシ
ョンである。

【００９１】すなわち、図１中の矢印で示すように、基
板入りカセット投入ポジション４１に投入した基板入り
カセット４９は、順番に、基板入りカセット仮置きポジ
ション４２、基板抜き取りポジション４３、空カセット
仮置きポジション４４、空カセット取り出しポジション
４５の位置にトラバーサ４６で移動される。

【００９２】トラバーサ４６は、ＤＣリバーシブルモー
タまたはエアシリンダを駆動源として、水平方向の往復
動作をすることによって、たとえば、カセット等を移載
する移載装置であり、本実施の形態では、基板入りカセ
ット４９を投入位置から抜き出しを行う位置にまで移動
させる。

【００９３】基板抜き取りロボット４７は、後述するよ
うに、液晶基板１４を１枚づつカセットから抜き取るた
めのロボットであり、３軸ロボットと、その制御装置と
から構成される。

【００９４】カセット位置決めコマ４８は、基板入りカ
セット９を所定の位置からずれないように固定するため
の位置決め用のコマであり、その詳細な形状は図４中の
Ａ部詳細に示すように、Ｌ字型をした所定の高さを有す
る角柱であり、Ｌ字型の内側に傾斜部分を有する。

【００９５】特に、カセット位置決めコマ４８の形状を
Ｌ字型にすると共に、そのＬ字型の内側を図４Ａ部に示
すように所定の傾斜角（傾斜部分）を有する形状とする
ことにより、基板入りカセット４９を投入するときに、
大まかな位置合わせをするのみで、正確な位置にそのカ
セットを設置できるという効果がある。

【００９６】また、トラバーサ４６に要求される位置合
わせ精度が緩和されるので、位置合わせ精度の低い安価
なトラバーサ４６を使用できるという効果もある。

【００９７】基板入りカセット９は前の工程（製造工
程）での出荷形式であり、空カセット１０は液晶基板１
４を抜いてしまった後のカセットである。

【００９８】次に、図５に本実施の形態のカセット投入
部の動作を説明するための図を示し、以下、図５に基づ
いて、カセット投入部の動作を説明する。

【００９９】まず、図５（ａ）に示すように、基板入り
カセット投入ポジション４１に基板入りカセット４９が
投入されると、図示しないセンサが基板入りカセットの
投入を検知し、シーケンサ１６に検知信号を伝達する。

【０１００】検知信号を受け取ったシーケンサ１６は、
トラバーサ４６に取り付けられるエアシリンダ１０１に
圧縮空気を供給するための図示しないコンプレッサーを
動作させてエアシリンダー５１を上昇させることによ
り、図５（ｂ）に示すように、エアシリンダー５１の先
端に取り付けられるカセット搭載プレート５２上の基板
入りカセット４９をカセット位置決めコマ４８より高く
持ち上げる。

【０１０１】次に、シーケンサ１６はトラバーサ４６を
移動させるための図示しないモータに電流を供給するこ
とにより、図５（ｃ）に示すように、トラバーサ４６を
図５の左側の方向、すなわち、基板抜き取りポジション
４３まで移動させる。

【０１０２】この後、シーケンサ１６はエアシリンダ５
１に圧縮空気を供給するためのコンプレッサーを停止さ
せ圧縮空気を抜くことにより、図５（ｄ）に示すよう
に、基板入りカセット４９を基板抜き取りポジション４
３に置く。

【０１０３】なお、前述する動作は基板入りカセット４
９が無い場合に、基板入りカセット４９を投入したとき
の動作を示したものである。一方、基板入りカセット投
入ポジション２２あるいは基板抜き取りポジション４３
に基板入りカセット４９がある場合は、同一の移動手順
で隣接する右側のポジションに移動するところのみが、
前述する移動手順と異なるのみである。

【０１０４】また、前述する図示しないセンサは、たと
えば、静電容量センサ、光センサ、磁気センサ、スイッ
チ等の基板入りカセット４９の投入が検出できるものな
らば、非接触型、接触型等の種類にかかわらず使用でき
ることは言うまでもない。

【０１０５】次に、図６に本実施の形態の基板抜き取り
部の概略構成を説明するための斜視図を示し、以下、図
６に基づいて、本実施の形態の基板抜き取り部の概略構
成を説明する。

【０１０６】ただし、６１は文字読み取りカメラ、６２
は基板位置決めピンを示す。

【０１０７】文字読み取りカメラ６１は文字読み取り用
のカメラであり、その出力は図示しない周知の文字認識
装置に入力される。すなわち、文字読み取りカメラ６１
は、液晶基板１４に印刷されている基板ナンバーを画像
情報に変換した後、図示しない文字認識装置にその画像
情報を転送する。

【０１０８】文字認識装置は受信した画像情報を周知の
文字認識技術によってテキスト情報である文字情報に変
換した後、その文字情報を制御用パソコン９に転送する
構成となっている。

【０１０９】基板位置決めピン６２は、液晶基板１４に
印刷もしくは刻印されいる基板ナンバー部分を文字読み
取りカメラ６１の読み取り範囲に正確に位置合わせする
ための位置合わせ用のピンであり、たとえば、この基板
位置決めピン６２はエアシリンダに接続されており、シ
ーケンサ１６がエアシリンダへの空気の供給・停止を制
御することによって、基板位置決めピン６２を前後に動
作させる。

【０１１０】このとき、前後への移動に伴い、液晶基板
１４の各辺を固定するための２本づつの基板位置決めピ
ン６２の向きが変化しないように、基板位置決めピン６
２は所定の移動レールに沿って移動するように構成され
ている。

【０１１１】液晶基板１４の位置合わせを行うときは、
たとえば、大まかな位置合わせは基板抜き取りロボット
４７によって行い、その後、液晶基板１４の４辺をこの
基板位置決めピン６２で四方から押さえることによっ
て、液晶基板１４の正確な位置合わせを行う。

【０１１２】なお、図中に示す直線の矢印は、液晶基板
１４を固定する時の基板位置決めピン６２の移動方向を
示し、曲線で示す矢印は、基板抜き取りロボット４７の
回転方向を示す。

【０１１３】次に、図７に基板抜き取りロボットの動作
を説明するための図を示し、以下、この図に基づいて、
基板抜き取りロボット４７の動作を説明すると、まず、
基板抜き取り部１の基板入りカセット投入ポジション４
１に投入された基板入りカセット９は、図示しない搬送
手段によって基板抜き取りポジション４３に移動される
（図７（ａ）に示す状態）。

【０１１４】次に、基板抜き取りロボット７は、図７
（ｂ）に示すように、まず、アームが基板入りカセット
９に入っている液晶基板１４の内で一番下に位置する液
晶基板１４と同じ高さになるまで、アームを上昇させ
る。次に、アームを基板入りカセット９側に前進させ、
アームの先端部分に取り付けられた吸着パッドが液晶基
板１４のほぼ中央に位置させる。

【０１１５】次に、図７（ｃ）に示すように、基板抜き
取りロボット７はアームを僅かに上昇させると共に、吸
着パッドに液晶基板１４を吸着させる。ただし、このと
きのアームの上昇量は、基板入りカセット９の内側に設
けられる突起から液晶基板１４が離れる程度でよい。

【０１１６】次に、図７（ｄ）に示すように、基板抜き
取りロボット７はアームを後退させることにより、液晶
基板１４を基板入りカセット９から抜き出す。

【０１１７】次に、図７（ｅ）に示すように、アームを
シリンダを回転中心として１８０度回転させた後、図７
（ｆ）に示すように、再びアームを前進させることによ
って基板入りカセット９から抜き出した液晶基板１４を
文字読み取り部３に搬送する。

【０１１８】図８は本実施の形態の搬送手段における液
晶基板の固定方法を説明するための図であり、特に、図
８（ａ）は本実施の形態の搬送手段と吸着パッドとの位
置関係を説明するための斜視図、図８（ｂ）は本実施の
形態の吸着パッド４１と液晶基板との位置関係を説明す
るための上面図である。

【０１１９】図８において、８１は搬送機、８２は吸着
パッド、８３は小型のガラス基板（小型の液晶基板）、
８４は大型のガラス基板（大型の液晶基板）を示してい
る。

【０１２０】吸着パッド８２は液晶基板１４を固定する
ための吸着パッドであり、たとえば、図示しない真空ポ
ンプが接続され、この真空ポンプで吸着パッド８２と液
晶基板１４とが接触している接触面を真空に保持するこ
とによって、液晶基板１４を固定する。

【０１２１】図８（ａ）から明らかなように、本実施の
形態の外観検査装置においては、吸着パッドの数は液晶
基板１４が１枚に対して吸着パッド４３が３個で固定す
るという構成となる。また、隣接する液晶基板１４が接
触しないように、搬送機に所定の間隔を有して取り付け
られている。

【０１２２】なお、本実施の形態の外観検査装置におい
ては、吸着パッドの数は液晶基板１４が１枚に対して吸
着パッド８２が３個で固定するという構成であるが、３
個に限定されることはなく、液晶基板１４を固定できる
ならば１個以上でよいことは言うまでもない。

【０１２３】また、図８（ｂ）に示すように、吸着パッ
ド８２の取り付け位置は、本実施の形態の外観検査装置
に投入される液晶基板の内でもっとも小さい液晶基板１
４（小型のガラス基板８３）の内側となるような位置に
取り付けられている。

【０１２４】したがって、本実施の形態の外観検査装置
に投入される液晶基板１４の内でもっとも大きい液晶基
板１４（大型のガラス基板８４）が投入された場合であ
っても、図８（ｂ）に示すように、液晶基板１４の内側
に吸着パッドが位置するので、種々のサイズの液晶基板
１４に対応できる。

【０１２５】次に、図９に本実施の形態の搬送手段の概
略構成および動作を説明するための側面図を示し、以
下、図９に基づいて、本実施の形態の搬送手段の動作を
説明する。

【０１２６】図９において、９１は１枚目の液晶基板、
９２は２枚目の液晶基板、９３はエアシリンダを示し、
１枚目の液晶基板９１および２枚目の液晶基板９２は、
移動の様子を説明するための特定した液晶基板１４であ
る。

【０１２７】エアシリンダ９３は、たとえば、周知のエ
アシリンダを用いており、図示しないシーケンサによっ
て制御されるコンプレッサーから供給される圧縮空気に
よって動作する。また、図９から明らかなように、エア
シリンダ９３は、突き上げピン６３を配置した水平板に
接続されており、このエアシリンダ９３の伸縮（上昇，
下降）に伴い突き上げピン６３が搬送機８１で搬送され
る液晶基板１４を搬送機８１から一時的に持ち上げると
いう構造になっている。

【０１２８】なお、図９に示す搬送手段は、液晶基板１
４を図９の左から右に移動させる構成となっている。

【０１２９】本実施の形態の搬送手段は、図９（ａ）に
示すように、まず、エアシリンダ９３が上昇している時
すなわち突き上げピン６３が搬送機６３の搬送面よりも
上に出ている時に、１枚目の液晶基板９１が左端の突き
上げピン６３上に投入される。

【０１３０】次に、図９（ｂ）に示すように、エアシリ
ンダ９３は下降すなわち突き上げピン６３を搬送機８１
の搬送面より下げる。このとき、図示しないシーケンサ
は吸着パッド８２に接続する図示しない真空ポンプを動
作させることによって、液晶基板１４を吸着パッド８２
に固定（吸着）する。

【０１３１】次に、図９（ｃ）に示すように、図示しな
いシーケンサは搬送機８１に接続する図示しないモータ
を駆動することによって、搬送機８１を右側に１ステッ
プ分移動させる。ただし、このときエアシリンダ９３は
下降させたままである。なお、搬送機８１を１ステップ
分移動させるということは、図９（ｃ）に示すように、
隣接する突き上げピン６３分の距離だけ搬送機８１を移
動させるということである。

【０１３２】次に、図９（ｄ）に示すように、シーケン
サは、まず、図示しない真空ポンプの動作を停止させる
ことにより吸着パッドによる液晶基板１４の吸着を解除
した後、エアシリンダ９３を上昇させることにより、液
晶基板１４を再び搬送機８１から浮かせる。

【０１３３】次に、図９（ｅ）に示すように、エアシリ
ンダ９３を下降させたままで、シーケンサは搬送機８１
を左側に１ステップ分移動させる。なお、この動作は、
前述する図９（ｃ）で搬送機８１を右側に移動させた分
を戻すという動作に相当する。

【０１３４】次に、図９（ｆ）に示すように、２枚目の
液晶基板９２を投入する。

【０１３５】以上に示す動作を繰り返すことにより、左
側から投入された液晶基板１４を、順次、右側に移動さ
せる。

【０１３６】次に、図１０に本実施の形態の基板収納部
の概略構成を説明するための斜視図、図１１に本実施の
形態の基板収納部の動作を説明するための図を示し、以
下、図１０および図１１に基づいて、本実施の形態の基
板収納部の概略構成およびその動作を説明する。

【０１３７】なお、図９では位置決めピン１０２は液晶
基板１４を両側から挟み込むような構成となっている
が、これは図面を分かりやすくするために便宜上このよ
うな記載としたものであり、本実施の形態の外観検査装
置では液晶基板１４を四方から挟み込む構成となってい
る。しかしながら、トレーの大きさに余裕があるならば
対向する２方向から液晶基板１４を挟み込む構成として
もよいことは言うまでもなく、さらには、位置決めを必
要としない場合には位置決めピン１０２を用いなくとも
よいことは言うまでもない。

【０１３８】図１０において、１０１は収納機、１０２
は位置決めピン、１０３は最上段トレー、１０４は空ト
レーを示しており、収納機１０１は、制御用パソコン９
に接続されており、制御用パソコンによって動作が制御
されている。また、収納機１０１は液晶基板１４と向か
い合う側の面に吸着パッドを有しており、この吸着パッ
ドによって液晶基板１４を吸着した後、収納機１０１を
空トレー１０４のあるところまで移動させることによっ
て、液晶基板１４を空トレー１０４の最上段の位置する
最上段トレー１０４に格納する。

【０１３９】位置決めピン１０２は、収納機１０１の吸
着パッドで液晶基板１４を吸着する前に、液晶基板１４
の位置を空トレー１０３の収納部に正しく収まるように
するために位置決めをするためのピンであり、本実施の
形態においては、前述する基板抜き取り部の基板位置決
めピン６２と同じ構成である。

【０１４０】すなわち、図示しない制御用シーケンサに
よって制御されたエアーポンプからの圧縮空気によって
動作するエアーシリンダに接続されており、このエアー
シリンダーの伸縮で位置決めピン１０２の位置を移動さ
せることによって、液晶基板１４を四方から挟み込むよ
うにして、その位置を調整する。

【０１４１】最上段トレー１０３は、複数枚積み重ねら
れた空トレー１０４の内で、一番上に位置するトレーで
あり、収納機１０２はこの最上段トレー１０３に液晶基
板１４を収納する構成となっている。

【０１４２】次に、基板収納部の動作を説明すると、ま
ず、図１１（ａ）に示すように、搬送機８１によって液
晶基板１４が収納機１０１の下に運ばれてきたならば、
図１１（ｂ）に示すように、シーケンサは吸着パッド８
２の吸着を解除した後、エアシリンダ１０１を上昇させ
ることにより、液晶基板１４を搬送機８１から浮かせ
る。この後、シーケンサは位置決めピン１０２で液晶基
板１４を挟み込むことにより、液晶基板１４の位置を所
定の位置に合わせる。

【０１４３】次に、図１１（ｃ）に示すように、シーケ
ンサは位置決めピン１０２による挟み込みを解除させる
と共に、収納機１０１を下降させて収納機１０１に配置
される吸着パッド１１１を動作させ、液晶基板１４を吸
着させる。

【０１４４】次に、図１１（ｄ）に示すように、シーケ
ンサは収納機１０１を図中の矢印に示すように、すなわ
ち、収納機１０１を一旦上昇させた後、空トレー１０４
がある方向（右方向）に移動させ、空トレー１０４のあ
る位置に収納機１０１が達したならば、収納機１０１を
下降させた後、吸着パッド１１１の吸着を解除すること
により、液晶基板１４を最上段トレー１０３に格納す
る。このとき、シーケンサはエアシリンダ１０１を下降
させた後、搬送機８１を左側に移動させる。

【０１４５】次に、図示しないが、シーケンサは収納機
１０１を再び上昇させた後、左側に移動させることによ
って、図１１（ａ）に示す位置に戻す。

【０１４６】以上に示す手順を繰り返し行うことによっ
て、順番に搬送されてくる液晶基板１４を空トレー１０
４の内、最上段のトレーである最上段トレー１０３に格
納する。

【０１４７】図１１はカセット投入部の概略構成および
その動作を説明するための図であり、１２１はカセット
搭載プレート、１２２はカセット投入テーブルを示す。

【０１４８】図５において、カセット搭載プレート１２
１はトラバーサ４６に取り付けられたエアシリンダ１０
１の先端部分に取り付けられた平板であり、エアシリン
ダ１０１を上昇することにより、カセット搭載プレート
１２１上に基板入りカセット４９を搭載し、また、エア
シリンダ１０１を下降させることにより、搭載している
基板入りカセット４９を所定の位置に移動させる構成と
なっている。

【０１４９】カセット投入テーブル１２２は、基板入り
カセット４９の投入および空カセット５０を取り出し等
を行うためのテーブルであり、所定の間隔毎にカセット
位置決めコマ４８が配置されている。

【０１５０】次に、図１２に本実施の形態の外観検査部
の概略構成を説明するための図を示し、その構成を説明
する。図１２において、図１２（ａ）は改善前の外観検
査部の概略構成を説明するための図、図１２（ｂ）は改
善後すなわち本実施の形態の外観検査部の概略構成を説
明するための図である。

【０１５１】また、図１２において、１２１は照明装
置、１２２は透明の装置背面カバー（外観検査装置の背
面カバー）、１２３は突き上げピン、１２４は黒色の反
射防止カバーを示しており、照明装置１２１は本実施の
形態においては、たとえば、周知の蛍光灯を使用する。

【０１５２】透明の装置背面カバー１２２は、たとえ
ば、厚手のビニール等からなり、その一端部分は照明装
置１２１に固定されており、他端部分は搬送装置に固定
されている。

【０１５３】突き上げピン１２３は、搬送装置に設置さ
れるピンであり、詳細については後述するものとする。

【０１５４】黒色の反射防止カバー１２４は、たとえ
ば、黒色の厚手のビニール等からなると共に、その表面
は周知の反射防止処理が施されているカバーであり、図
１２（ｂ）に示すように、その一端部分は照明装置１２
１に固定されと共に、他端部分は搬送装置に固定されと
共に、その中央部分は作業者から遠ざかるように、たと
えば、周知の支柱等の支持材で固定されている。

【０１５５】また、図１２中に示す白抜きの矢印は照明
装置１２１から出射光（照明光）を示し、通常の矢印は
反射光を示す。

【０１５６】図１２（ａ）に示すように、改善前の外観
検査部は照明装置１２１からの出射光による液晶基板１
４の表面で反射する反射光と共に、たとえば、装置の背
面すなわち透明の装置背面カバー１２２を透過した光、
照明装置１２１から出射され光が透明の装置背面カバー
１２２で反射した光、および、装置の周囲を照明するた
めの図示しない照明装置から出射された光が透明の装置
背面カバー１２２で反射した光等が液晶基板１４の表面
で乱反射し、この反射光が作業者の眼に入射することに
なるので、基板表面の小さな傷および汚れ等を検査しに
くいという問題があった。

【０１５７】一方、図１２（ｂ）に示す改善後の外観検
査部は、黒色の反射防止カバー１２４で覆われているの
で、前述する乱反射を防止できる。すなわち、カバーが
黒色であるので、外観検査部の背面方向からの光を遮断
できると共に、カバーに反射防止の処理が施されている
ので、照明装置１２１から出射された光および外観検査
部の周囲を照明するための光がカバーで反射し、液晶基
板１４に入射することを防止できる。

【０１５８】また、黒色の反射防止カバー１２４は、特
に、その中央部分が図示しない支持材によって作業者か
ら遠ざかるように配置されているので、照明装置１２１
から出射された光がカバー表面で反射するのを大幅に低
減できる。

【０１５９】したがって、液晶基板１４の表面には黒色
の反射防止カバー１２４の黒色が写り込むので、作業者
は基板表面の微小な傷や汚れ等を容易に発見できる。ま
た、基板表面の微小な傷や汚れ等の発見が容易となるの
で、作業者の負担を軽減できるという効果もある。

【０１６０】以上説明したように、本実施の形態の外観
検査装置によれば、シーケンサ１６がカセット投入部
１、カセットから基板を１枚づつ抜き出す基板抜き取り
部２、液晶基板に印刷もしくは刻印される基板ナンバー
を読み取る文字読み取り部３、基板反転部ａ６、基板反
転部ｂ１２および液晶基板１４を１枚づつ空トレー１０
４に格納する基板収納部８を制御して自動的に液晶基板
を搬送すると共に、制御用パソコン９が文字読み取り部
３の文字読み取り装置３３から転送された基板ナンバー
に基づいて、基板ナンバーファイルサーバ３２が有する
基板ナンバーファイルを検索し、その結果に基づいて、
トレーに納めた液晶基板１４をトレーごと仕分けし払い
出す仕分け払い出し部１１、および、払い出し時に発行
するカードに必要となる仕分け先および品種等の情報を
管理するので、自動的に液晶基板１４の外観検査を行え
る。

【０１６１】また、検査結果入力端末５から入力された
検査結果は、制御用パソコン９を介して直ちに管理シス
テム３１に転送されるので、外観検査の結果を速やかに
製造工程にフィードバックできる。

【０１６２】したがって、不良品の発生数および発生率
を大幅に低減できる。

【０１６３】また、基板ナンバーファイルに検査結果を
格納するという構成となっているので、工場管理者等や
他の工程を管理する管理者であっても、不良発生原因と
なった製造装置を速やかに特定できる。

【０１６４】また、本実施の形態の外観検査部の背面カ
バーは、反射防止加工が施されている黒色のカバーであ
ると共に、作業者１５が搬送機上の液晶基板１４の表面
を観たときに基板表面に写ることになるカバー部分を、
作業者から離れるようにすることによって、液晶基板１
４の表面に写り込むカバーからの反射光を減少できるの
で、液晶基板１４上の汚れおよび傷等を容易に発見でき
る。

【０１６５】また、液晶基板１４上の汚れおよび傷等を
容易に発見できるので、作業効率を向上できるという効
果もある。

【０１６６】なお、本実施の形態においては、作業者１
５が液晶基板１４の外観検査を行う構成としたが、これ
に限定されることはなく、たとえば、周知のテレビカメ
ラで液晶基板１４の表面を撮像し、この表面画像を制御
用パソコン９で画像解析することによって、外観検査を
行い、その結果を基板ナンバーファイルサーバ３２に転
送する構成にすることにより、作業者１５という外観検
査における曖昧さを排除できると共に、外観検査を行う
ためのスペースおよびそこまで液晶基板１４を搬送する
ための搬送機が必要なくなるという効果がある。

【０１６７】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【０１６８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。

【０１６９】（１）液晶表示パネルを品種ごとに自動的
に分類することができる。

【０１７０】（２）液晶表示パネルをカセットからトレ
ーへ自動的に詰め替えることができる。

【０１７１】（３）液晶表示パネルの検査結果を速やか
に製造工程にフィードバックすることができる。

【０１７２】（４）品種ごとに分類した液晶表示パネル
を払い出す際に、自動的に品種および数量等を記入した
カードを発行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の外観検査装置の概略構
成を説明するための斜視図でありる。

【図２】本実施の形態の外観検査装置における液晶基板
の搬送手順を説明するための図である。

【図３】本実施の形態の外観検査装置における情報の流
れを説明するためのブロック図である。

【図４】本実施の形態の外観検査装置のカセット投入部
を説明するための斜視図である。

【図５】本実施の形態のカセット投入部の動作を説明す
るための図である。

【図６】本実施の形態の基板抜き取り部の概略構成を説
明するための斜視図である。

【図７】基板抜き取りロボットの動作を説明するための
図である。

【図８】本実施の形態の搬送手段における液晶基板の固
定方法を説明するための図である。

【図９】本実施の形態の搬送手段の概略構成および動作
を説明するための側面図である。

【図１０】本実施の形態の基板収納部の概略構成を説明
するための斜視図である。

【図１１】本実施の形態の基板収納部の動作を説明する
ための図である。

【図１２】本実施の形態の外観検査部の概略構成を説明
するための図である。

【符号の説明】

１…カセット投入部、２…基板抜き取り部、３…文字読
み取り部、４…表側検査部、５…検査結果入力端末、６
…基板反転部ａ、７…裏側検査部、８…基板収納部、９
…制御用パソコン、１０…バーコードプリンタ、１１…
仕分け払い出し部、１２…基板反転部ｂ、１３…仕分け
ロボット、１４…液晶基板、１５…作業者、１６…シー
ケンサ、３１…管理システム、３２…基板ナンバーファ
イルサーバ、３３…文字読み取り装置、４１…基板入り
カセット投入ポジション、４２…基板入りカセット仮置
きポジション、４３…基板抜き取りポジション、４４…
空カセット仮置きポジション、４５…空カセット取り出
しポジション、４６…トラバーサ、４７…基板抜き取り
ロボット、４８…カセット位置決めコマ、４９…基板入
りカセット、５０…空カセット、５１…エアシリンダ、
５２…カセット搭載プレート、６１…文字読み取りカメ
ラ、６２…基板位置決めピン、８１…搬送機、８２…吸
着パッド、８３…小型のガラス基板、８４…大型のガラ
ス基板、９１…１枚目の液晶基板、９２…２枚目の液晶
基板、９３…エアシリンダ、１０１収納機、１０２…位
置決めピン、１０３…最上段トレー、１０４…空トレ
ー、１２１…照明装置、１２２…透明の装置背面カバ
ー、１２３…黒色の反射防止カバー。

フロントページの続き (72)発明者 丹羽 進 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 引場 正行 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 片岡 功一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示基板毎の情報を収集し管理する
   基板情報管理手段と、前記液晶表示基板上の基板ナンバ
   ーを読み取る基板ナンバー読み取り手段と、該基板ナン
   バー読み取り手段が読み取った基板ナンバーに基づい
   て、当該液晶表示基板の品種情報を前記基板情報管理手
   段から検索し取得する検索取得手段と、前記基板取り出
   し手段が取り出した液晶表示基板の外観検査を行い、そ
   の検査結果を入力するための検査結果入力手段と、該検
   査結果入力手段から入力される検査結果を前記基板情報
   管理手段に転送する基板情報転送手段と、前記品種情報
   および前記検査結果に基づいて、前記液晶表示基板を品
   種および検査結果ごとに分類する分類手段とを具備する
   ことを特徴とする液晶表示基板外観検査装置。
2. 【請求項２】 液晶表示基板毎の情報を収集し管理する
   基板情報管理手段と、基板格納手段から前記液晶表示基
   板を１枚ずつ取り出す基板取り出し手段と、該基板取り
   出し手段が取り出した前記液晶表示基板上の基板ナンバ
   ーを読み取る基板ナンバー読み取り手段と、該基板ナン
   バー読み取り手段が読み取った基板ナンバーに基づい
   て、当該液晶表示基板の品種情報を前記基板情報管理手
   段から検索し取得する検索取得手段と、前記基板取り出
   し手段が取り出した液晶表示基板を外観検査を行う前記
   作業者のもとに搬送する搬送手段と、前記作業者の検査
   結果を入力するための検査結果入力手段と、該検査結果
   入力手段から入力される検査結果を前記基板情報管理手
   段に転送する基板情報転送手段と、前記品種情報および
   前記検査結果に基づいて、前記液晶表示基板を品種およ
   び検査結果ごとに分類する分類手段と、該分類手段が分
   類した前記液晶表示基板を払い出す払い出し手段とを具
   備することを特徴とする液晶表示基板外観検査装置。
3. 【請求項３】 前記払い出し手段は、前記液晶表示基板
   の払い出しと共に、前記品種情報に基づいたカードを印
   刷する印刷手段を具備することを特徴とする請求項２に
   記載の液晶表示基板外観検査装置。
4. 【請求項４】 製造工程で製造された液晶表示基板に傷
   および汚れ等がないかを検査する作業者と対向して配置
   される外観検査装置の背面カバーにおいて、前記背面カ
   バーは、反射防止加工が施されていると共に、前記液晶
   基板の表面に写ることになる部分が前記作業者から遠ざ
   かるように配置されることを特徴とする外観検査装置の
   背面カバー。