JP3627869B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、複数の検査装置を備えた検査ラインにより多面付け板状製品の各種検査工程を一貫して行う検査システムに係り、特にカラーフィルタ基板の検査システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、製品の各種検査工程を一貫して行う検査システムとして特開平5−143759号公報に記載のものが知られている。この公報に記載のシステムは磁気カードを検査するもので、カード供給用ストッカにセットされた磁気カードをフィーダにより検査工程搬送機構に供給した後、複数の検査装置や測定装置を経てデリバリへと磁気カードを搬送し、その途中で検査と測定を繰り返すように構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で挙げた検査システムでは、品質判定後に製品を良品と不良品との2種類に分類するだけであるので、カラーフィルタ基板のように多面付けであって、一部の面のみに不良がある場合に不良品の面を捨てて良品の面のみを使用することを行うような板状製品に対してはこの2種類に分けるタイプのデリバリを適用するのは不便である。
【0004】
また、上記の検査システムにおいては、6個のマガジンを備えた回転式のオートチェンジャーからフィーダにより磁気カードを1枚ずつ吸着して供給するようにし、一つのマガジンが空になると次のマガジンに切り替わるように構成されている。しかしながら、カラーフィルタ基板のような大型板状製品を格納するカセットをフィーダに使用した場合には、カセットから製品を全て搬出した後に、当該カセットを交換する必要があり、カセットの交換時間が無駄になるという問題点が発生する。
【0005】
また、検査装置別に検査処理時間が異なるので、これらを単に接続して一貫した検査ラインを構成するのには無理がある。すなわち、1つの検査装置が別の製品を検査中である場合や、当該検査装置が故障中であった場合に、検査工程がスムースに流れないという問題点がある。また、検査装置を製造ラインに続けて設置すると、製造速度を検査処理時間に合わせて遅らせる必要があり、十分な生産性が得られないという問題点がある。
【0006】
本発明は、検査を終えた多面付けのカラーフィルタ基板を各面の良否によって仕分けることができ、さらには各種検査工程をスムースに行うことができる一貫した検査システムを提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、複数の検査装置を備えた1本の検査ラインにより多面付けのカラーフィルタ基板の各種検査工程を一貫して行う検査システムであって、カラーフィルタ基板を複数枚格納するカセットを使用してカラーフィルタ基板を各検査装置に搬入するとともに各検査装置から搬出するようにし、4つ以上のデリバリを備えた仕分け装置を検査ラインの最終段階に配置しておき、この仕分け装置により検査済みのカラーフィルタ基板を仕分けするようにし、しかも、検査ラインの前に設けた製品保管庫からカセットを検査ラインに搬入するとともに、隣接する検査装置の間にカセットの一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して次の検査装置にカセットを搬入するようにし、最後の検査装置と仕分け装置の間に一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して仕分け装置にカセットを搬入するようにし、さらに、検査ラインの第一段階に画像検査装置を配置して当該装置によりカラーフィルタに関する大部分の欠陥種を最初に検出するようにしたことを基本構成としている。
【0008】
そして、仕分け装置に、カセットをセットするためのフィーダを複数設けることが好ましく、さらには各検査装置に、カセットをセットするためのフィーダを複数設けることが好ましい。
【0009】
【作用】
上述の構成からなる本発明の検査システムでは、カラーフィルタ基板を格納したカセットを検査ラインに順次供給して一貫した検査工程を行うことができる。そして、最終段階の仕分け装置に4つ以上のデリバリを設けておくことで、多面付けカラーフィルタ基板を各面の良否によって仕分けることが可能となる。例えば2面付けのカラーフィルタ基板では、検査後に4種類(イ.2面とも良品、ロ.一方のみが良品、ハ.他方のみが良品、ニ.2面とも不良品)の組合せが生じる。同様に3面付けのカラーフィルタ基板では8種類、4面付けのカラーフィルタ基板では16種類という具合に組合せが生じる。したがって、面付け数に対応させてこのように4つ以上のデリバリを仕分け装置に設けておくことで検査済みのカラーフィルタ基板を各面の良否によって仕分けることができる。そして、カセットをセットするためのフィーダを上記仕分け装置に複数設けておくことにより、カセットを仕分け装置の前で滞留させることなくスムースに受け入れることができ、カセットの入れ換えに要する時間の無駄を省くことができる。
【0010】
また、検査ラインにカセットの一時保管庫を設けておくことにより、1つの検査装置において当該検査装置が別のカラーフィルタ基板を検査中である場合や当該検査装置が故障中である場合に、搬送されてきたカラーフィルタ基板が一時保管庫に保管され、当該検査装置が空いた段階で一時保管庫より当該検査装置に搬送されて検査が行われる。
【0011】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。
【0012】
図1は本発明に係る検査システムの一実施例を示す全体ブロック図である。本実施例での検査対象製品は4面付けのカラーフィルタ基板である。このカラーフィルタ基板はカセットに例えば20枚格納されて各検査装置へ搬送される。このブロック図により各構成部分の作動について順を追って説明する。
【0013】
(1)画像検査装置21から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は製品保管庫10にカセット搬送の指示を出し、製品保管庫10からカセットが画像検査装置21のフィーダF1 (又はF2 )へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、画像検査装置21は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。画像検査装置21にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。ここで使用する画像検査装置21は、カラーフィルタ基板にレーザー光等を照射してその透過光や反射光をCCDカメラ等で検出して基板上の着色パターンの突起、異物付着、白抜け等の欠陥を検出できるものである。
(2)画像検査を終えた製品を格納したカセットは画像検査装置21のデリバリDよりAGV(自動搬送車)で搬出され、カラーフィルタの膜厚検査装置22のフィーダF1 (又はF2 )へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、膜厚検査装置22は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。膜厚検査を終了した後、品質情報管理装置へ測定結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットは膜厚検査装置22のデリバリDよりAGVで搬出され、一時保管庫11に搬入されて一時保管される。なお、画像検査装置21と膜厚検査装置22は処理速度がほぼ同じなので、これらの間には一時保管庫を設置していない。それにも関わらずフィーダを2つ設けているのはちょっとした停止した場合の無駄時間を吸収できるようにするためである。また、将来どちらかの処理速度がアップした時にも保管庫とAGVを増設すれば済むためでもある。
(3)ムラ検査装置23から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫11にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫11からカセットがムラ検査装置23のフィーダF1 (又はF2 )へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、ムラ検査装置23は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。ムラ検査装置23にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットはムラ検査装置23のデリバリDよりAGVで搬出され、一時保管庫12に搬入されて一時保管される。ここでいうムラ検査装置23は、カラーフィルタの細部を検査するもので、前記の画像検査装置21で発見できない細かいムラ欠陥を検査する装置である。
(4)目視検査装置24から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫12にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫12からカセットが目視検査装置24のフィーダF1 (又はF2 )へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、目視検査装置24は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。目視検査装置24にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットは目視検査装置24のデリバリDよりAGVで搬出され、一時保管庫13に搬入されて一時保管される。ここでいう目視検査装置24は、前記画像検査装置21、前記ムラ検査装置23で発見できない全体的なイメージの欠陥を検査するもので、光源によりカラーフィルタの背面及び上面から光を照射して直接目視により検査する装置である。以上の各検査装置ではデリバリDが1つであるが、さらに搬送効率を向上させために2つにしてもよい。
(5)仕分け装置25から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫13にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫13からカセットが仕分け装置25のフィーダF1 (又はF2 )へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、仕分け装置25は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。仕分けを終了した後、品質別に出荷ケースに格納された製品は各デリバリD1 ,D2 ・・・Dn よりAGVで搬出され、図示していない出荷待ちエリアにて出荷を待つ。併せて品質情報管理装置からの品質情報をもとに、出荷製品情報を作成して品質情報管理装置へ送信する。そして、フィーダF1 (又はF2 )の空カセットは洗浄装置に搬送され洗浄される。ここでいう仕分け装置25は、多面付けのカラーフィルタ基板における各面の品質情報である総合判定にしたがって各カラーフィルタ基板をデリバリ(デリバリNo)に仕分けする装置である。併せて前記出荷製品情報に基づき出荷先、品質情報等の情報をラベルにプリント出力し、出荷ケースを出荷待ちエリアへ搬出する時にこのラベルを出荷ケースに自動的に貼り付ける。なお、品名、宛先等のラベルを作成し貼る装置はラベラーとして市販品がある。
【0014】
上記の各種検査装置(仕分け装置を含む)は基本的に次の動作を行う。
▲1▼製品を格納したカセットが検査装置のフィーダに有るか無いかを確認する。
▲2▼無ければカセットの搬入を要求し、続いて搬入されるカセット内のカラーフィルタ基板に関する品質情報を要求する。
▲3▼検査装置の処理動作を行う。
▲4▼検査を終了したカラーフィルタ基板の品質情報を更新する。
▲5▼前記カセットが空になったらフィーダを切り換える。
【0015】
図2は各種検査装置(仕分け装置を含む)の動作フロー図であり、以下同図を参照して各ステップ毎に説明する。
【0016】
(1)フィーダF1 (又はF2 )にカセットが有るか無いかを確認する。両方ともにカセットが有れば何れかのカセットが搬出されるまで待つ。
(2)カセットが無ければ、フィーダF1 (又はF2 )へのカセットの搬入要求を保管庫管理装置に送信する。
(3)フィーダF1 (又はF2 )におけるカセットの搬入完了を確認する。
(4)搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を品質情報管理装置に要求する。
(5)搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を受信する。
(6)フィーダF1 (又はF2 )用のメモリに品質情報を記憶する。
(7)検査装置の処理動作に入る。
(8)カセットが空になったかどうかを確認する。
(9)フィーダを切り換える。(空カセットは排出される。)
(10)品質情報の更新要求を製品情報管理装置へ送信する。
(11)検査装置の番号を送信する。
(12)更新するカセットの受注番号、カセット番号を送信する。
(13)更新する品質情報を送信して(1)へ戻る。
なお、最終段階の仕分け装置には図の(A)で示すステップはない。
【0017】
図3は保管庫管理装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【0018】
(1)製品予定表をもとに出庫順番のデータを入力する。手入力でもよいが、一般的には生産管理用のコンピュータから予定データを入手して、納期順に出庫順番を決める。そして、受注ナンバと対応させてカセット毎の各種データを記憶する。ここで図4に例示した製品予定表について説明する。データは出庫順番、受注ナンバ、カセットナンバ、保管アドレスより構成されており、さらに保管アドレスの上位に保管庫ナンバを配置し、中位にカセットが保管庫にあるのかフィーダにあるのかを示すフィーダナンバ(0又は1)を配置し、下位に保管庫内のロケーションを示すアドレスを配置する。
(2)画像検査装置21からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
(3)搬入要求があれば、製品保管庫10に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、画像検査装置21の空きフィーダに搬送する指示を製品保管庫に送信する。
(4)当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを0から1に更新する。そして、画像検査及び膜厚検査を終えた製品を順次膜厚検査装置22のデリバリに移動する。フィーダにあるカセット中のカラーフィルタ基板がすべてデリバリにあるカセットに移動したら、カセットの保管アドレスのフィーダナンバを1から0に更新し、カセットナンバもデリバリのカセットに合わせて更新する。
(5)ムラ検査装置23からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
(6)搬入要求があれば、一時保管庫11に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、ムラ検査装置23の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫11に送信する。
(7)当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを0から1に更新する。そして、ムラ検査を終えた製品を順次ムラ検査装置23のデリバリに移動する。フィーダにあるカセット中のカラーフィルタ基板がすべてデリバリにあるカセットに移動したら、カセットの保管アドレスのフィーダナンバを1から0に更新し、カセットナンバもデリバリのカセットに合わせて更新する。
(8)目視検査装置24からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
(9)搬入要求があれば、一時保管庫12に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、目視検査装置24の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫12に送信する。
(10)当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを0から1に更新する。そして、目視検査を終えた製品を順次目視検査装置24のデリバリに移動する。フィーダにあるカセット中のカラーフィルタ基板がすべてデリバリにあるカセットに移動したら、カセットの保管アドレスのフィーダナンバを1から0に更新し、カセットナンバもデリバリのカセットに合わせて更新する。
(11)仕分け装置25からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
(12)搬入要求があれば、一時保管庫13に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、仕分け装置25の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫13に送信する。
(13)当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを0から1に更新する。そして、仕分けを終えた製品は、検査の総合判定に基づいて、仕分け装置25の各デリバリに移動する。その後、カセットの保管アドレスのフィーダナンバを1から0に更新する。そして、この時のカセットナンバは、カラーフィルタ基板が搭載され仕分け装置25のフィーダに搬送されたカセットのカセットナンバとなる。
【0019】
図5は品質情報管理装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【0020】
(1)品質情報の送信要求が有るかどうかを確認する。
(2)要求が有るならば、要求している検査装置の番号を確認する。
(3)搬入したカセットの受注番号、カセット番号を確認する。
(4)受注番号、カセット番号に基づいて、品質情報管理装置内の記憶メモリから品質情報を抽出して検査装置に送信する。
(5)品質情報の更新要求が有るかどうかを確認する。
(6)要求が有るならば、要求している検査装置の番号を確認する。
(7)更新するカセットの受注番号、カセット番号を確認する。
(8)更新するカセットの品質情報を受信する。
(9)受注番号、カセット番号に基づいて、品質情報管理装置内の記憶メモリの品質情報を更新する。
(10)検査結果のOR演算を行い総合判定結果を求める。
(11)出荷製品情報の受信要求が有るかどうかを確認する。
(12)要求が有るならば、出荷製品の受注番号、得意先番号、出荷ケース番号等を確認する。
(13)出荷製品情報を受信する。
(14)出荷製品情報を品質情報管理装置の該当製品のファイルに記憶する。
【0021】
図6は品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報の一例を示す図である。この図を参照してデータ面から検査システムの概要を説明する。
【0022】
営業担当者は製品の注文を受けると営業用の端末から、製品の受注番号、得意先番号、製品番号、納期等を入力する。これらのデータはホストコンピュータに記録・登録される。そして、ホストコンピュータから製造工程の生産管理コンピュータへデータが送信され製造予定表が作成される。この予定に合わせてカラーフィルタ基板が製造され、製造されたカラーフィルタ基板を格納したカセットが製品保管庫に搬送されて保管される。そして、本検査システムの品質情報管理装置内の記憶メモリに生産情報が入力される。
【0023】
この品質情報管理装置内の記憶メモリには、カセット内に格納されているカラーフィルタ基板の基板番号と、基板内の面付けに従った面付け番号と、この面付け番号ごとに展開された検査結果等の各種データが記憶される。本実施例の場合、カラーフィルタ基板は4面付けであり、所定の面から1,2,3,4と面付け番号(A,B,C,Dでもよい)を付してある。また、カセットには20枚のカラーフィルタ基板が格納されているので、1台のカセットの中には20×4面があることになり、したがってデータは80行となる。
【0024】
面付け番号の後ろには、画像検査装置21での検査結果の欄、膜厚検査装置22での測定結果の欄、ムラ検査装置23での検査結果の欄、目視検査装置24での検査結果の欄が順に設けられている。さらにその後ろには、上記4つの検査結果をまとめた総合判定の欄が設けられている。総合判定の欄では4つのビットを設け、各ビットを4つの判定結果にそれぞれ対応させてある。つまり、画像検査結果はビット3、膜厚測定結果はビット2、ムラ検査結果はビット1、目視検査結果はビット0に対応させている。各判定結果において不良は1とし良品は0とする。そして、総合判定の欄に1つでも不良を示す1があれば仕分け部の欄を1とする。この仕分け部でのデータに従い、仕分け装置での基板の分配先をどのデリバリにするかを決定する。ここでは、面付け番号1はデリバリNo.のビット0、面付け番号2はビット1、面付け番号3はビット2、面付け番号4はビット3に対応させている。つまり、仕分け部の欄のデータの並びがデリバリナンバ(デリバリNo.)になる。
【0025】
図7は検査システムにおける製品の仕分け装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【0026】
(1)品質情報管理装置内の記憶メモリにおける基板内面付け番号別の総合判定結果を使用して基板内の面付け番号別の仕分け部情報を求める。すなわち、前記したように総合判定の欄の4つのビットに1つでも1があると仕分け部の欄を1とする。
(2)上記で求めた仕分け情報に基づいて基板別の仕分けをするために、仕分け装置の複数のデリバリの中より該当するデリバリナンバを求める。
(3)基板毎に求めたデリバリナンバのデリバリに基板を搬送して出荷ケースに格納する。
(4)このデリバリ用のカウンタを1増加する。
(5)このデリバリに対応する出荷情報の記憶メモリに基板の製品履歴を書き込む。
(6)カウンタが出荷ケースに収まる所定枚数の20になったかどうかを確認する。
(7)所定枚数になったならば、出荷情報に基づき出荷先、製品名、品質情報のみをラベルにプリント出力し、このラベルを出荷ケースに貼る。
(8)出荷情報の受信要求を品質情報管理装置に送信する。
(9)受注番号、得意先番号、出荷ケース番号等の出荷情報を品質情報管理装置に送信する。
(10)このデリバリ用のカウンタをクリアしてもとに戻る。
【0027】
図8は品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた出荷情報を示す図である。以下にこの概要を説明する。
【0028】
同図に示すように、出荷情報はカラーフィルタ基板の各種データを出荷ケース毎にまとめたファイルの形態で管理される。ファイルの上部には出荷先(得意先の住所又は得意先指定の場所)、出荷ケース番号、製品名、品質情報等が記録されている。中段から下段にかけては各基板の製品情報と製品履歴に関する詳細データが記録されている。基板毎の製品情報としては、受注番号、得意先番号、製品番号があり、製品履歴としては、製造及び検査時のカセット番号、その中での基板番号、そして面別判定結果、仕分け部がある。この面別判定結果には多面付けのカラーフィルタ基板におけるどの面が不良品であるかが示されている。なお、カセット番号は、カセットが変更される度に更新した記録をすべて記載してもよい。
【0029】
図9はカラーフィルタ基板の搬送に使用するカセットの一例を示すもので、(a)は斜視図、(b)は正面図である。
【0030】
図示のように、カセットCは上面板31と下面板32とこれらを支える8本の支柱33とから構成されている。上面板31は「□」形状で、格納したカラーフィルタ基板GBの有無を上から確認できるようになっており、その両脇の部分には人が持ち運べるように取っ手34が抜いてある。また、下面板32は「H」形状で、下側からローラ等のメカで基板GBを取り出せるようになっている。また、支柱33には基板GBを支えるための爪35が上向きに形成されている。このように上向きの爪35で基板GBを支えるようにすると、接触部が少ないので基板GBを汚さずに済む。さらにこの爪35を樹脂で形成すると基板GBを傷つけずに済む。カセットCには、固有ナンバをバーコード等で表示しておく。これによりフィーダ、デリバリのバーコードスキャナ等で容易に記録並びにデータの更新ができる。
【0031】
図10は仕分け装置の概要構成を示すもので、(a)は平面図、(b)は側面図である。
【0032】
本実施例の仕分け装置では、図10(a)の平面図に示すように、レール41に沿って2個のフィーダF(F1 ,F2 )と16個のデリバリD(D1 ,D2 ,D3 ・・・D16)が一列に配置されている。このようにフィーダFとデリバリDを一列に設けることにより搬送ボックス42に対するカセットCの出し入れが片側からだけで済むので機構が簡単になる。もちろん、デリバリDが多くなったら立体的にしてフィーダFとデリバリDを面として2次元的に配置すればよい。2個のフィーダFの後方にはAGV(自動搬送車)による搬送ラインがあり、AGVは空のフィーダFにカセットCを供給する。搬送ボックス42は、フィーダF(F1 又はF2 )にセットされたカセットCからカラーフィルタ基板を1枚取り出した後、レール41上を移動して品質情報管理装置の品質情報のデリバリナンバに従ったデリバリDの正面で停止し、そのデリバリDにセットされている出荷ケース43に基板を搬入する。各デリバリDの後ろには搬送ベルト44がそれぞれ設けられており、出荷ケース43は満杯になった時点でこの搬送ベルト44上に移動して出荷待ちエリアへ搬出される。
【0033】
この出荷時の動作を図10(b)の側面図で説明すると、搬送ボックス42から出荷ケース43内に基板が1枚入る度に▲1▼に示す如く当該出荷ケース43は次の基板が入る位置まで上昇する。すなわち、出荷ケース43には最上段から順に基板が格納される。このようにして満杯になった出荷ケース43は▲2▼に示す如く搬送ベルト44上に移動して搬出され、同時に▲3▼に示す如く次の出荷ケース43が下方から上昇してくる。そして、次の出荷ケース43にもその最上段から順に基板が搬入される。
【0034】
図11は仕分け装置の要部を示す平面図、図12は同じく側面図である。
【0035】
搬送ボックス42は、ガイド部材45を備えた搬送台46によりレール41上をスライド可能である。搬送台46の上には基板GBを一時保管するためのローラ47が複数設けられており、これらのローラ47は基板GBの裏面の縁とのみ接触するように搬送台46の両側に配設されている。これらのローラ47のうちフィーダやデリバリの出入口側にあるローラは一本の軸で繋がった駆動ローラ47aであり、その連結軸を細くすることで基板GBの中央が汚れたり傷ついたりしないようにしている。また、搬送台46の前方には回転ソレノイド48を設け、搬送ボックス42に一時格納した基板GBが搬送中に落ちないようにストッパー49を回転して基板GBの落下を防止するようになっている。さらに、搬送台46の後ろ側にはプッシャー50を設け、デリバリで出荷ケースへ基板GBを排出する時に押出し棒51により基板GBの後方より押すようになっている。このプッシャー50の先端には基板GBを傷つけないようにゴム等の弾性体を用いている。このように構成された搬送ボックス42は搬送レール41上をスライドしてフィーダやデリバリの前に移動する。このように下側からのローラ搬送方式やプッシャー50で基板GBを押す方式を用いると、ニップローラで基板をニップして搬送する場合のように基板をこすらないため、カラーフィルタ面にニップローラの痕が付かずに良い。
【0036】
図11及び図12は搬送ボックス42がフィーダF1 の前に位置した状態である。フィーダF1 の載置台52にセットされるカセットCの下には駆動ローラ53と補助ローラ54が配置されているが、これらの図では、カセットCから基板GBが排出されるのに従って当該カセットCが途中まで降下し、駆動ローラ53と補助ローラ54がカセットC内に入った時の状態を示している。また、フィーダF1 と搬送ボックス42との間には、カセットCと搬送ボックス42との間で基板GBの受け渡しを行う駆動ローラ55が配置されている。
【0037】
図13はフィーダにセットされたカセットから仕分け装置の搬送ボックスへ基板を搬出する動作フローを示す図である。
【0038】
図13の(a)は、フィーダの載置台52にセットされたカセットCから既に数枚の基板GBの搬出を終え、カセットCが降下して一番下にある基板GBにフィーダの駆動ローラ53が接触した時点での状態を示しており、搬送ボックス42内には基板GBがない状態である。この時、回転ソレノイド48はストッパー49を閉じている。(b)は、回転ソレノイド48が回転してストッパー49を開け、カセットC内の一番下の基板GBがフィーダの駆動ローラ53により移動を開始し、フィーダと搬送ボックス42との間の駆動ローラ55がさらに橋渡しして基板GBを搬送ボックス42へ送り込んでいる状態である。(c)はフィーダと搬送ボックス42との間の駆動ローラ55が橋渡した基板GBを搬送ボックス42の内の駆動ローラ47aがさらに搬送ボックス42内へ送り込んでいる状態である。図13(d)は搬送ボックス42内に基板GBを取り込み、回転ソレノイド48が回転しストッパー49を閉じた状態である。この状態で搬送ボックス42はレール41上を移動して品質情報管理装置からの品質情報内のデリバリナンバに対応するデリバリの正面へ移動する。一方、カセットCは載置台52により一段降下して次の基板GBが搬出されるのを待つ。ここで、駆動ローラを3本持つことで、基板の大きさが変わってもローラ間より大きなサイズならば搬送可能である。
【0039】
図14は仕分け装置の搬送ボックスからデリバリの出荷ケースへ基板を搬入する動作フローを示す図である。
【0040】
図14の(a)は、デリバリの載置台56にセットされた出荷ケース43に既に数枚の基板GBが搬入され、出荷ケース43が上昇して一番下にある基板GBのもう一段下のところと搬送ボックス42内の基板GBが同じ高さになった時点での状態を示しており、搬送ボックス42内では次の基板GBが停止している状態である。この時、回転ソレノイド48はストッパー49を閉じて基板GBが落ちないようにしている。(b)は、回転ソレノイド48が回転してストッパー49を開け、出荷ケース43内の一番下にある基板GBのもう一段下の基板格納位置に向けて搬送ボックス42内の基板GBが駆動ローラ47aにより移動を開始し、デリバリと搬送ボックス42との間の駆動ローラ55がさらに橋渡しして基板GBを出荷ケース43へ送り込んでいる状態である。この時、プッシャー50の押出し棒51により基板GBを押すようにしてもよいが、押す場合には駆動ローラ47a,55と同期を取るようにする。同期させて駆動すると、押出し棒51が駆動ローラ47a,55に接触したとしても駆動ローラ47a,55を傷つけることがなく、従って駆動ローラ47a,55が基板GBを傷つけることがないが、同期させないと、押出し棒51が駆動ローラ47a,55に当たって傷つけたり、基板GBが駆動ローラ47a,55の回転より速く移動し擦れて傷つく恐れがある。(c)は、デリバリと搬送ボックス42との間の駆動ローラ55が橋渡しした基板GBをプッシャー50の押出し棒51がさらに出荷ケース43内へ送りこんでいる状態である。(d)は出荷ケース43内に基板GBを送り込んだ後、プッシャー50の押出し棒51が搬送ボックス42内に戻り、回転ソレノイド48が回転してストッパー49を閉じた状態である。この状態で搬送ボックス42はレール41上を移動して、次の基板GBを受け取るためにフィーダに戻る。一方、出荷ケース43は載置台56により一段上昇して次の基板GBが搬入されるのを待つ。
【0041】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、次に記載の効果を奏する。
【0042】
請求項1記載の検査システムでは、カセットに複数のカラーフィルタ基板を格納して検査ライン上を搬送することにより、検査ラインの最初でカセットの交換をする必要がなく、カセットを順次供給して各検査工程をスムースに行うことができ、さらに検査ラインの最終段階に設ける仕分け装置にデリバリを4つ以上設けることにより、多面付けのカラーフィルタ基板の検査工程を一貫して行った後、各面の良否によるカラーフィルタ基板の仕分けを行うことができるので、出荷作業が簡単になるという効果があり、さらには、隣接する検査装置の間に一時保管庫を設けてカラーフィルタ基板を一時的に保管することにより、各検査装置で要する処理時間の差を無視でき、また途中の検査装置が故障した時でも故障機の前後では検査を別途進めることができることから、各種検査工程を一貫してスムースに行うことができるという効果がある。
【0043】
請求項2記載の検査システムでは、カセットをセットするためのフィーダを仕分け装置に複数設けたことにより、カセットを仕分け装置の前で滞留させることなくスムースに受け入れることができ、カセットの入れ換えに要する時間の無駄を省いて検査済みのカラーフィルタ基板の仕分けをスムースに行うことができる。
【0045】
請求項3記載の検査システムでは、カセットをセットするためのフィーダを各検査装置に複数設けたことにより、カセットを検査装置の前で滞留させることなくスムースに受け入れることができ、カセットの入れ換えに要する時間の無駄を省いて検査処理をスムースに行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る検査システムの一実施例を示す全体ブロック図である。
【図2】各種検査装置(仕向け装置を含む)の動作フロー図である。
【図3】保管庫管理装置の処理を示す動作フロー図である。
【図4】製品予定表の一例を示す図である。
【図5】品質情報管理装置の処理を示す動作フロー図である。
【図6】品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報の一例を示す図である。
【図7】検査システムにおける製品の仕分け装置の処理を示す動作フロー図である。
【図8】品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた出荷情報を示す図である。
【図9】カラーフィルタ基板の搬送に使用するカセットの一例を示す図であり、(a)は斜視図、(b)は正面図である。
【図10】仕分け装置の概要構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は側面図である。
【図11】仕分け装置の要部を示す平面図である。
【図12】仕分け装置の要部を示す側面図である。
【図13】フィーダにセットされたカセットから仕分け装置の搬送ボックスへ基板を搬出する動作フローを示す図である。
【図14】仕分け装置の搬送ボックスからデリバリの出荷ケースへ基板を搬入する動作フローを示す図である。
【符号の説明】
F フィーダ
D デリバリ
GB カラーフィルタ基板(板状製品)
C カセット
10 製品保管庫
11,12,13 一時保管庫
21 画像検査装置
22 膜厚検査装置
23 ムラ検査装置
24 目視検査装置
25 仕分け装置
Claims (3)
- 複数の検査装置を備えた1本の検査ラインにより多面付けのカラーフィルタ基板の各種検査工程を一貫して行う検査システムであって、カラーフィルタ基板を複数枚格納するカセットを使用してカラーフィルタ基板を各検査装置に搬入するとともに各検査装置から搬出するようにし、4つ以上のデリバリを備えた仕分け装置を検査ラインの最終段階に配置しておき、この仕分け装置により検査済みのカラーフィルタ基板を仕分けするようにし、しかも、検査ラインの前に設けた製品保管庫からカセットを検査ラインに搬入するとともに、隣接する検査装置の間にカセットの一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して次の検査装置にカセットを搬入するようにし、最後の検査装置と仕分け装置の間に一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して仕分け装置にカセットを搬入するようにし、さらに、検査ラインの第一段階に画像検査装置を配置して当該装置によりカラーフィルタに関する大部分の欠陥種を最初に検出するようにしたことを特徴とする検査システム。
- 仕分け装置に、カセットをセットするためのフィーダを複数設けたことを特徴とする請求項1記載の検査システム。
- 各検査装置に、カセットをセットするためのフィーダを複数設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の検査システム。
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