JPH08285911A

JPH08285911A - 液晶表示体用基板の検査装置

Info

Publication number: JPH08285911A
Application number: JP7109043A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Motoda; 和郎元田; Tamio Kubota; 民雄窪田
Original assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-04-10
Filing date: 1995-04-10
Publication date: 1996-11-01

Abstract

(57)【要約】【目的】常に正確且つ確実に液晶表示体用基板の電気
的検査を行なうことができるＬＣＤ用基板Ｓの検査装置
を提供する。【構成】本ＬＣＤ用基板Ｓの検査装置１０は、複数の
ＬＣＤ用基板Ｓが収納されたカセット内のＬＣＤ用基板
Ｓを１枚ずつロード、アンロードする搬送装置１４を有
するローダ部１１と、このローダ部１１からのＬＣＤ用
基板Ｓの電気的検査を行なうプローバ部１２とを備え、
上記カセットＣに検査情報を表わすバーコード２４を設
けると共にローダ部１１にバーコード２４を読取る第１
バーコードリーダ２５を設け、且つＬＣＤ用基板Ｓにバ
ーコード３０を設けると共にカセットＣからプローバ部
１２に至る搬送経路にバーコード３０を読取る第２バー
コードリーダ３１を設け、第１、第２バーコードリーダ
２５、３１の読取り内容に基づいて電気的検査を行なう
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示体（ＬＣＤ）
用基板の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＴＦＴ型ＬＣＤには、その部品と
してＬＣＤの画素をＯＮ、ＯＦＦ駆動する電気回路が形
成されたガラス基板がＬＣＤ用基板として用いられてい
る。そして、このＬＣＤ用基板には複数の電気回路が成
膜装置等の処理装置を用いてマトリックス状に形成され
ている。マトリックス状に配列された個々の電気回路に
は、その周辺に電気的接点となる電極パッドが多数形成
されている。そして、個々の電気回路の良否を判定する
ための電気的検査はＬＣＤ用基板の状態のまま検査装置
によって行なわれている。尚、電気的検査を行なう場合
には、ＬＣＤ用基板を正確に位置決めした後行なう必要
があるため、ＬＣＤ用基板上のコーナー部には例えばク
ロスマークなどからなるアライメントマークが形成され
ている。

【０００３】上記検査装置は、一般に、ＬＣＤ用基板を
ロード、アンロードするローダ部と、このローダ部から
受け取ったＬＣＤ用基板の電気的検査を行なうプローバ
部とを備えている。ローダ部へのカセットの供給はオペ
レータが行なうようにしている。ローダ部はカセット内
に例えば２５枚収納されたＬＣＤ用基板を１枚ずつロー
ド、アンロードするように構成されている。このローダ
部は、例えばカセットを載置するカセット載置部と、こ
のカセット載置部に載置されたカセット内のＬＣＤ用基
板を１枚ずつ取り出してプローバ部へ搬送する搬送装置
とを備えている。この搬送装置は、ＬＣＤ用基板を１枚
ずつ吸着保持するアームを有している。このアームはＸ
方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向で移動できるように構
成されている。また、プローバ部は、ローダ部の搬送装
置から受け取ったＬＣＤ用基板を保持する基板載置台
と、この基板載置台上に載置されたＬＣＤ用基板の各電
極パッドと電気的に接触するプローブ針を有するプロー
ブボードとを備えている。基板載置台は、Ｘ方向、Ｙ方
向、Ｚ方向及びθ方向で移動可能で、ローダ部から受け
取ったＬＣＤ用基板をアライメントした後プローブボー
ドの下方へ移動させ、ＬＣＤ用基板の各電気回路の電極
をそれぞれに対応したプローブボードの各プローブ針に
電気的に接触させて電気的検査を行なうように構成され
ている。そして、プローバ部におけるアライメント状況
やプローブ針の接触などの検査状況はプローバ部の正面
に設けられた表示装置により監視するようにしている。

【０００４】ところで、従来はＬＣＤ自体の技術がＣＲ
Ｔの技術のように必ずしも成熟しておらず、その普及数
量もＣＲＴと比較すれば必ずしも多くはなかった。とこ
ろが、最近では、ＬＣＤの生産技術の進歩が著しく、普
及数量が格段に多くなると共にその種類も多様化し、し
かも、表示画面が急激に大型化して来ている。これに伴
って、ＬＣＤ用基板の種類、検査数量共に急激に多くな
り、ＬＣＤ用基板の取り扱い業務が増大し、しかもオペ
レータがカセットを供給するマニュアル作業ではオペレ
ータへの作業負担が過大になって来ている。そのため、
ＬＣＤ用基板の生産を全自動化し、ＬＣＤ用基板をホス
トコンピュータにより統合管理するようになって来てい
る。これに伴って、検査装置におけるカセットの搬入、
搬出作業の全自動化が促進されつつある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査装置の場合には、ＬＣＤ用基板の生産をホストコン
ピュータにより統合管理しているため、ＬＣＤ用基板を
検査装置に供給すれば、検査装置ではホストコンピュー
タに登録されているＬＣＤ用基板の生産順序、種類、検
査内容に従って検査するが、万一登録内容と違った種類
のＬＣＤ用基板が検査装置へ供給されると、本来の検査
とは違った検査をしてしまうなどという課題があった。

【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、常に正確且つ確実に液晶表示体用基板の電
気的検査を行なうことができる液晶表示体用基板の検査
装置を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の液晶表示体用基板の検査装置は、複数の液晶表示体用
基板が収納されたカセット内の液晶表示体用基板を１枚
ずつロード、アンロードする搬送装置を有するローダ部
と、このローダ部からの液晶表示体用基板の電気的検査
を行なうプローバ部とを備えた検査装置において、上記
カセットに検査情報を表わす第１識別符号を設けると共
に上記ローダ部に第１識別符号を読取る第１読取手段を
設け、且つ上記液晶表示体用基板に第２識別符号を設け
ると共に上記カセットからプローバ部に至る搬送経路に
第２識別符号を読取る第２読取手段を設け、第１、第２
読取手段の読取り内容に基づいて電気的検査を行なうこ
とを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明の請求項２に記載の液晶表示
体用基板の検査装置は、請求項１に記載の発明におい
て、検査済みの液晶表示体用基板に第２読取手段により
読取り可能な符号を付ける符号付加手段を設けたもので
ある。

【０００９】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、ロー
ダ部へカセットを搬入すると、そのカセットの第１識別
符号を第１読取手段装置によりその検査情報としてカセ
ット単位で読取る。そして、搬送装置によりカセット内
の液晶表示体用基板を１枚ずつ取り出してプローバ部へ
液晶表示体用基板を搬送する。この時、搬送経路におい
て液晶表示体用基板の第２識別符号を第２読取手段によ
りその検査情報として枚葉単位で読取る。その後、プロ
ーバ部において液晶表示体用基板の検査を行なう時に
は、第１、第２読取手段の読取り内容に基づいて液晶表
示体用基板の電気的検査を正確且つ確実に行なう。

【００１０】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、請求項１に記載の発明において、検査済みの液晶
表示体用基板に上記第２読取手段により読取り可能な符
号を付ける符号付加手段を設けたため、符号付加手段に
より検査済みの液晶表示体用基板に符号を付し、万一、
検査済みの液晶表示体用基板を再検査しようとしても第
２読取手段が検査済みの符号を検出し、液晶表示体用基
板の重複検査を防止する。

【００１１】

【実施例】以下、図１〜図４に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例の検査装置１０は、例えば図
１に示すように、ＬＣＤ用基板Ｓをロード、アンロード
するローダ部１１と、このローダ部１１から受け取った
ＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を行なうプローバ部１２と
を備えて構成されている。そして、これらのローダ部１
１とプローバ部１２は互いに隣合って並設されている。
更に、ローダ部１１は、ＬＣＤ用基板Ｓを例えば２５枚
単位で収納するカセットＣを載置する、カセット載置部
１３（図２参照）と、このカセット載置部１３上に載置
されたカセットＣ内のＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ取り出
してプローバ部１２へ搬送する搬送装置１４とを備えて
いる。上記カセットＣの正面にはＬＣＤ用基板Ｓを出し
入れする開口部が全面に形成されている。また、カセッ
トＣの内側面には上下方向で所定間隔（例えば、１０mm
の間隔）をあけた支持溝が形成され、各支持溝によりＬ
ＣＤ用基板Ｓを水平に支持するようにしてある。

【００１２】また、本実施例の検査装置１０は、図１、
図２に示すように、自動搬送車１５との間でカセットＣ
を自動的に授受するように構成されている。即ち、ロー
ダ部１１の正面（図２では下側）を基準にした右側には
カセットＣを載置する上述のカセット載置部１３が２箇
所に設けられており、これらのカセット載置部１３は正
面側から奥行方向（図１の右側）に向けて所定間隔をあ
けて縦列に２箇所配置されている。このカセット載置部
１３は必要に応じて更に増設することができる。そし
て、各カセット載置部１３には自動搬送車１５のアーム
（図示せず）が侵入する溝空間１６が装置正面に対して
平行に形成され、この溝空間１６内でカセットＣを保持
したアームが昇降し、カセットＣが溝空間１６を跨いだ
状態でカセット載置部１３上へカセットＣを載置するよ
うにしてある。尚、上記自動搬送車１５は図示しないホ
ストコンピュータとの交信に基づいて前工程のＬＣＤ用
基板Ｓをカセット単位で検査装置１０まで搬送し、検査
後には後工程へ搬送するようにしてある。また、図示し
てないが、カセット載置部１３にはカセットＣのコーナ
ー部に係合する位置決め部材、及びカセットＣの向きを
検出する向き検出装置がそれぞれ設けられている。

【００１３】また、ローダ部１１の側面にはカセットＣ
を検出するカセット検出装置１７が配設されている。こ
のカセット検出装置１７は、発光ダイオードなどからな
る発光素子を有する発光部１７Ａと、この発光部１７Ａ
からの光線を受光する受光素子を有する受光部１７Ｂと
を備えたラインセンサとして構成されている。これら発
光部１７Ａ及び受光部１７Ｂは溝空間１６の両側にカセ
ットＣを挟むように配設され、これら両者１７Ａ、１７
Ｂ間での光線の遮断によりカセットＣを検出し、それを
認識するようにしてある。また、ローダ部１１の側面に
は自動搬送車１５との間で例えば光通信を行なう通信手
段１８Ａが各溝空間１６の下方に位置させて配設され、
この通信手段１８Ａが自動搬送車１５に設けられた通信
手段１８Ｂとの間で光通信を行なうことによりカセット
Ｃの搬入、搬出動作を行なうようにしてある。

【００１４】また、カセット載置部１３の載置面には物
体検出装置１９が外側に偏倚させて配設されている。こ
の物体検出装置１９は、例えば正面側に配設された発光
部１９Ａと、最奥側に配設された受光部１９Ｂとを備
え、両者１９Ａ、１９Ｂ間の光線によりカセットＣ及び
それ以外の物体を検出するラインセンサとして構成され
ている。即ち、自動搬送車１５との間でカセットＣの授
受を行なうと、発光部１９Ａからの光線が遮断され、カ
セットＣを授受した旨の信号を図示しないローダコント
ローラ２０へ送信し、後述する搬送装置１４のローダ駆
動部２１を作動させるようにしてある。更に、カセット
Ｃの通過範囲から外れた位置で光線が遮断されれば、カ
セット検出装置１７によりカセットＣを検出してもカセ
ットＣ以外の物体が障害物としてローダ部１１内に侵入
した旨の信号をローダコントローラ２０へ送信し、ロー
ダ駆動部２１の作動を阻止すると共にパイロットライト
等の警告灯（図示せず）を点燈したり、警告ブザーを鳴
らして異常を知らせるようにしてある。また、ローダコ
ントローラ２０はインターフェース２０Ａを介してホス
トコンピュータ（図示せず）に接続され、ホストコンピ
ュータの制御下で作動するようにしてある。

【００１５】上記カセット載置部１３にはカセットＣ内
に収納されたＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数する計数
装置２２が配設されている。この計数装置２２は発光部
２２Ａ及び受光部２２Ｂからなり、これら両者２２Ａ、
２２Ｂは溝空間１６の両側に形成された開口部２３に配
設されている。そして、発光部２２Ａと受光部２２Ｂは
溝空間１６の下方で連結され、図示しないボールネジな
どの駆動機構（図示せず）により開口部２３において昇
降するように構成されている。従って、計数装置２２が
開口部２３において昇降する間に光線が遮断された回数
などを計数することによりＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を
計数するようにしてある。

【００１６】また、図２に示すように上記カセットＣの
上面のコーナー部には第１識別符号として例えばバーコ
ード２４が設けられていると共に上記ローダ部１１の上
方には第１読取手段例えば第１バーコードリーダ２５が
配設され、第１バーコードリーダ２５によりバーコード
２４を読取るようにしてある。このバーコード２４には
ＬＣＤ用基板Ｓをロット単位で管理する情報、例えば、
ユーザー名、ＬＣＤ用基板Ｓの枚数、種類、検査の種類
（断線検査、機能検査等の種類）などを表わす検査情報
が書き込まれている。また、第１バーコードリーダ２５
は図１に示すようにローダコントローラ２０が接続さ
れ、更にインターフェース２０Ａを介してホストコンピ
ュータに接続されている。従って、ローダコントローラ
２０はホストコンピュータの制御下で作動するようにし
てある。また、ローダコントローラ２０はプローバコン
トローラ２６にも接続され、相互に交信して検査時に連
繋作動するようにしてある。このプローバコントローラ
２６はプローバ駆動部２７及びテストシステム２８に接
続されている。

【００１７】従って、第１バーコードリーダ２５がバー
コード２４の読取り信号をローダコントローラ２０へ送
信すると、ローダコントローラ２０はローダ駆動部２１
を介して搬送装置１４を駆動させ、カセットＣ内のＬＣ
Ｄ用基板Ｓをプローバ部１２へ搬送すると共に、検査済
みのＬＣＤ用基板Ｓをプローバ部１２からカセットＣ内
へ収納するようにしてある。そして、この動作は第１バ
ーコードリーダ２５の読取り内容に従ってロット単位で
行なうようにしてある。従って、例えばカセットＣ内の
収納枚数が２５枚以下であれば、その２５枚以下につい
てそれぞれの収納位置からＬＣＤ用基板Ｓを取り出し、
空き部分からの取り出しを行なわないようにしてある。
カセット内の全ＬＣＤ用基板Ｓの検査が終了すると、ロ
ーダコントローラ２０はインターフェース２０Ａを介し
てホストコンピュータへその旨の信号を送信すると、ホ
ストコンピュータは自動搬送車１５と交信し、検査済み
のカセットＣの搬入指令を出すようにしてある。

【００１８】更に、上記ローダ部１１には、主として上
記搬送装置１４による搬送状況を監視すると共に上記搬
送装置１４を操作する第１制御手段２９が設けられてい
る。この第１制御手段２９は、図１に示すように、自動
搬送車１５による作業状況を撮像するＣＣＤカメラ２９
Ａ（図２参照）と、このＣＣＤカメラ２９Ａからの信号
を画像処理するＯＣＲなどからなる画像処理装置２９Ｂ
と、この画像処理装置２９Ｂの処理信号に基づく画像を
表示する表示装置２９Ｃとを備えている。図２に示すよ
うにＣＣＤカメラ２９Ａはローダ部１１の上方に配設さ
れ、表示装置２９Ｃはローダ部１１の正面に配設されて
おり、これら両者によりローダ部１１の近隣位置におい
てカセットＣの搬入、搬出状況を監視できると共に搬送
装置１４を操作するようにしてある。しかも、その表示
画面が同図に示すように左右に回転すると共に、上下に
昇降できるようにしてある。また、上記画像処理装置２
９Ｂと表示装置２９Ｃの間にはローダコントローラ２０
が介在し、このローダコントローラ２０を介して赤、
緑、青のカラー信号を表示装置２９Ｃへ送信し、表示装
置２９Ｃにカラー画像を表示するようにしてある。ま
た、ＣＣＤカメラ２９Ａは、図２に示すように全方位に
正逆回転可能になっており、搬入、搬出作業の他、ロー
ダ部１１内全体を監視できるようにしてある。また、こ
の表示装置２９Ｃは操作パネルとしても用いられる。そ
のため、ローダ部１１において何等かのトラブルが発生
した場合には、マニュアルスイッチに切り換えることに
より自動運転を手動運転に切り換え、表示装置２９Ｃに
おいて搬送状況を見ながら操作パネルの表示に従ってロ
ーダ駆動部２１を手動操作して搬送作業を行なうことが
でき、大型化した検査装置１０であってもマニュアル作
業の作業性が向上する。また、表示装置２９Ｃを見なが
らローダ部１１内を手動操作することによりローダ部１
１内の搬送装置１４等の構成機器を所望の位置に移動さ
せることができ、ローダ部１１内の構成機器のメンテナ
ンスを容易に行なうことができる。

【００１９】上記搬送装置１４は、図２に示すように、
カセット載置部１３上のカセットＣとプローバ部１３と
の間でＬＣＤ用基板Ｓを搬送するもので、同図に示すよ
うに、上下に２枚の搬送アーム１４Ａ、１４Ｂを備えて
いる。これらの搬送アーム１４Ａ、１４Ｂは、上述のよ
うにローダ駆動部２１を介してカセットＣの配列方向
（Ｘ方向）、これに直交するＹ方向、上下方向及びθ方
向へ移動できるようにしてある。このローダ駆動部２１
はボールネジ機構あるいはベルト機構などによって構成
されている。また、２枚の搬送アーム１４Ａ、１４Ｂ
は、いずれも同一形状に形成され、互いに独立して駆動
するようにしてある。そして、例えば上方の搬送アーム
１４ＡはカセットＣ内からＬＣＤ用基板Ｓを取り出し、
プローバ部１２の基板載置台上へＬＣＤ用基板Ｓをロー
ドするアームとして用いられ、また、下方の搬送アーム
１４Ｂは基板載置台から検査済みのＬＣＤ用基板Ｓをア
ンロードするアームとして用いられる。従って、以下の
説明では上方の搬送アーム１４Ａをロードアーム１４Ａ
と称し、下方の搬送アーム１４Ｂをアンロードアーム１
４Ｂと称する。また、各アーム１４Ａ、１４Ｂの上面に
は孔が形成され、それぞれの裏面側に取り付けられた図
示しない吸引配管及び真空排気装置を介してアーム上の
ＬＣＤ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。

【００２０】また、搬送装置１４の下方にはプリアライ
メント機構（図示せず）が配設され、このプリアライメ
ント機構によりカセットＣから受け取ったＬＣＤ用基板
Ｓをプローバ部１２の基板載置台に引き渡す前にプリア
ライメントするようにしてある。このプリアライメント
機構の載置面には真空吸着用の孔が形成され、この孔に
よりＬＣＤ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。

【００２１】また、図３に示すようにＬＣＤ用基板Ｓの
コーナー部には第２識別符号として例えばバーコード３
０が設けられていると共にカセット載置部１３からプロ
ーバ部１２に至るＬＣＤ用基板Ｓの搬送経路には第２読
取手段例えば第２バーコードリーダ３１が配設され、第
２バーコードリーダ３１によりバーコード３０を読取る
ようにしてある。このバーコード３０にはＬＣＤ用基板
Ｓを枚葉単位で管理する情報、例えば、ＬＣＤ用基板Ｓ
の種類、検査の種類（断線検査、機能検査等の種類）な
どを表わす検査情報が書き込まれている。また、第２バ
ーコードリーダ３１には図１に示すようにプローバコン
トローラ２６が接続され、更に、このプローバコントロ
ーラ２６には上述のようにプローバ駆動部２７、テスト
システム２８などが接続されている。このテストシステ
ム２８はホストコンピュータに接続され、ホストコンピ
ュータの制御下で作動するようにしてある。また、プロ
ーバコントローラ２６はテストシステム２８の制御下で
プローバ駆動部２７を駆動させるようにしてある。

【００２２】上記プローバ部１２には基板載置台３２が
プローバ部１２に形成された空間内に配設されている。
この基板載置台３２は、プローバ部１２内において、プ
ローバ駆動部２７を介してＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及び
θ方向で移動可能にしてある。また、プローバ部１２に
はアライメント機構（図示せず）及びプローブボード３
３（図１参照）が配設され、基板載置台３２がアライメ
ント機構及びプローブボード３３の下方において移動し
てＬＣＤ用基板Ｓのアライメントや電気的検査を行なう
ようにしてある。

【００２３】従って、第２バーコードリーダ３１がバー
コード３０の読取り信号をプローバコントローラ２６へ
送信すると、プローバコントローラ２６はプローバ駆動
部２７を介して基板載置台３２のインデックス送りなど
の移動を制御するようにしてある。一方、テストシステ
ム２８はプローバコントローラ２６から受信信号に基づ
いてプローブボード３３へ電圧を印加してバーコード２
４、３０に書き込まれた電気的検査を行なうようにして
ある。これらの動作は第２バーコードリーダ３１の読取
り内容に従って枚葉単位で行なうようにしてある。ロッ
ト単位の検査が終了すると、その旨の信号をホストコン
ピュータへ送信するようにしてある。

【００２４】また、上記プローバ部１２には検査状況を
監視すると共に上記プローバ部１２を操作する第２制御
手段３４が設けられている。この第２制御手段３４は、
ＣＣＤカメラ３４Ａ、画像処理装置３４Ｂ、表示装置３
４Ｃとを備え、第１制御手段２９と同様に構成されてい
る。但し、ＣＣＤカメラ３４Ａはプローバ部１２内での
アライメント時のＬＣＤ用基板Ｓ、図１に示すプローブ
針３３Ａなどを撮像するように基板載置台３２に取り付
けられ（図４参照）、表示装置３４Ｃはプローバ部１２
の正面に配設されている。

【００２５】更に、例えば図４に示すようにプローバ部
１２には符号付加手段としてマーキング手段３５が配設
され、そのペン３５Ａによって検査済みのＬＣＤ用基板
Ｓのコーナー部に符号として適宜のインクマーク３６を
付けるようにしてある。このマーキング手段は２５はプ
ローバコントローラ２６の制御下で駆動部（図示せず）
を介してペン２５ＡをＬＣＤ用基板Ｓのコーナー部へ打
ち付けてインクマーク３６を付けるようにしてある。こ
のインクマーク３６は検査の重複を防止するために付け
るものである。即ち、検査済みのＬＣＤ用基板Ｓが搬送
装置１４のアンロードアーム１４ＢによりカセットＣ内
に戻され、再度、ロードアーム１４ＢがこのカセットＣ
から検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを搬送して来た場合に
は、基板載置台３２へそのＬＣＤ用基板Ｓを引き渡す前
に第２バーコードリーダ３１によりそのインクマーク３
６を検出し、その検出結果に基づいてローダ駆動部２１
を逆駆動させて元のカセットＣへそのＬＣＤ用基板Ｓを
戻すようにしてある。

【００２６】次に動作について説明する。ＬＣＤ用基板
を検査する場合には、まず、ホストコンピュータから自
動搬送車１５に対してＬＣＤ用基板の供給指令が送信さ
れる。自動搬送車１５は、この指令により前工程からカ
セット単位でＬＣＤ用基板Ｓを受け取って検査装置１０
まで走行し、その通信手段１８Ｂが図１で示す検査装置
１０の通信手段１８Ａと対峙した位置で停止する。然る
後、自動搬送車１５が通信手段１８Ａ、１８Ｂを介して
検査装置１０との間で通信すると、検査装置１０ではカ
セットＣの受け入れ態勢ができる。これによりカセット
Ｃを保持した自動搬送車１５のアームが駆動し、アーム
を介してカセットＣの搬入を開始すると、まずカセット
検出装置１７がそのカセットＣを検出し、カセットＣの
搬入を検出し、ローダコントローラ２０を介してローダ
駆動部２１が始動する。この時、第１制御手段２９のＣ
ＣＤカメラ２９ＡがカセットＣの搬入動作を撮像し、そ
の撮像信号を画像処理装置２９Ｂ及びローダコントロー
ラ２１介して表示装置２９Ｃへ送信し、表示画面に搬入
動作をカラー表示する。

【００２７】搬入時に、カセット載置部１３において物
体検出装置１９がそのカセットＣを検出するとローダ駆
動部２１はそのまま駆動すると共にカセットＣをカセッ
ト載置部１３上へ載置する。ところがこの時、物体検出
装置１９がカセットＣと共に、カセットＣの通過範囲外
でカセットＣ以外の物体を検出すると、この物体が検査
に不要な障害物の侵入と判断し、ローダ駆動部２１を緊
急停止させる。

【００２８】障害物を検出することなくカセットＣを載
置すると、第１バーコードリーダ２５がカセットＣのバ
ーコード２４を読取り、ＬＣＤ用基板Ｓをロット単位で
識別する。すると、第１バーコードリーダ２５は読取り
信号をローダコントローラ２０へ送信し、ローダコント
ローラ２０によりローダ駆動部２１を介して搬送装置１
４を駆動制御する。また、ローダコントローラ２０はカ
セットＣの搬入終了信号をホストコンピュータへ送信す
る。

【００２９】ロード駆動部２１の駆動により搬送装置１
４が移動してカセットＣと対峙し、ロードアーム１４Ａ
によりカセットＣ内のＬＣＤ用基板Ｓを１枚取り出した
後、搬送装置１４はＬＣＤ用基板Ｓをプローバ部１２へ
の引渡位置へ移動する。ここでは、第２バーコードリー
ダ３１がロードアーム１４Ａに保持されたＬＣＤ用基板
Ｓのバーコード３０を読取り、その信号をプローバコン
トローラ２６へ送信する。プローバコントローラ２６は
上記読取り信号に即した信号をテストシステム２８へ送
信することによりＬＣＤ用基板Ｓの検査内容を連絡す
る。また、この信号を受けてテストシステム２８は検査
を開始する旨の信号をホストコンピュータへ送信する。
従って、第１バーコードリーダ２５によりＬＣＤ用基板
Ｓをロット単位で管理し、第２バーコードリーダ３１に
よりＬＣＤ用基板Ｓを枚葉単位で管理する。

【００３０】第２バーコードリーダ３１による読取りが
終了すると、ロードアーム１４Ａが基板載置台３２に向
けて進出し、ＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台３２上へ引き
渡す。するとプローバコントローラ２６の制御下で基板
載置台３２はプローバ駆動部２７を介してアライメント
位置へ移動し、アライメント機構を介してＬＣＤ用基板
Ｓのアライメントを行ない、更に、プローブボード３３
の下方へ移動し、ここで各バーコード２４、３０から読
取った検査内容に従ってＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を
行なう。この時のプローバ部１２内の状況は第２制御手
段３４により監視する。この電気的検査の間に、ロード
アーム１４Ａは次のＬＣＤ用基板Ｓを取り出し、アライ
メント位置で待機している。

【００３１】そして、検査が終わると、基板載置台３２
がアライメント位置へ戻る。ここで、マーキング手段３
５のペン３５Ａが駆動し、検査済みのインクマーク３６
をＬＣＤ用基板Ｓのコーナー部に付ける。その後、搬送
装置１４のアンロードアーム１４Ｂが駆動してマーキン
グ後のＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台３２から引き取ると
共に、既に搬送して来たＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台３
１上へ引き渡す。この時、基板載置台３２へ引き渡すＬ
ＣＤ用基板Ｓが検査済みのものであれば、第２バーコー
ドリーダ３１がそのインクマーク３６を検出し、その検
出信号をローダコントローラ２０へ送信し、ローダ駆動
部２１を逆駆動させ、そのＬＣＤ用基板ＳをカセットＣ
の元の場所へ戻す。

【００３２】そして、カセットＣ内の全てのＬＣＤ用基
板Ｓの検査が終了すると、テストシステム２８からホス
トコンピュータにその旨の信号を送信する。また、搬送
装置１４が検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを全てカセットＣ
内へ収納すると、ローダコントローラ２０からホストコ
ンピュータへその旨の信号を送信する。これによりホス
トコンピュータは自動搬送車１５に搬出指令を送信し、
自動搬送車１５により検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを検査
装置１０外へ搬出する。この搬出作業は第１制御手段２
９によって監視することができる。搬出後は、自動搬送
車１５によりカセットＣを後工程へ搬送する。

【００３３】以上説明したように本実施例によれば、ロ
ーダ部１１に第１バーコードリーダ２５を設けると共
に、カセットＣからプローバ部１２に至る搬送経路に第
２バーコードリーダ３１を設け、第１バーコードリーダ
２５によりカセットＣ上面の検査情報を表わすバーコー
ド２４をロット単位で読取ると共に、第２バーコードリ
ーダ３１によりＬＣＤ用基板Ｓ面の検査情報を表わすバ
ーコード３０を枚葉単位で読取り、第１、第２バーコー
ドリーダ２５、３１の読取り内容に基づいて電気的検査
を行なうようにしたため、ＬＣＤ用基板Ｓの検査内容を
ダブルチェックし、検査内容を誤ることなく常に正確且
つ確実にＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を行なうことがで
きる。しかも、オペレータは益々増大するＬＣＤ用基板
Ｓの管理業務から解放することができる。更に、自動搬
送車１５により検査装置１０カセットＣを自動的に供給
するようにしても、過誤なく、確実且つ正確な電気的検
査を行なうことができる。

【００３４】また、本実施例によれば、検査済みのＬＣ
Ｄ用基板Ｓに第２バーコードリーダ３１により読取り可
能なインクマーク３６を付けるマーキング手段３５を設
けたため、検査済みのＬＣＤ用基板Ｓの重複検査を確実
に防止することができる。

【００３５】尚、本発明は、上記実施例に何等制限され
るものではなく、各構成要素は必要に応じて適宜設計変
更することができる。例えば、本実施例では読取手段及
び識別符号としてバーコードリーダ及びバーコードを用
いたものについて説明したが、光学的文字読取装置及び
文字情報や、光磁気などを用いることができる。また、
上記実施例では全自動化検査装置１０について説明した
が、それ以外の検査装置、即ち、搬入、搬出をオペレー
タが行なうマニュアルタイプの検査装置についても本発
明を適用できる。

【００３６】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の発明によれ
ば、検査内容を誤ることなく常に正確且つ確実にＬＣＤ
用基板Ｓの電気的検査を行なうことができる液晶表示体
用基板の検査装置を提供することができる。

【００３７】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、請求項１に記載の発明において、検査済みの液晶
表示体用基板の重複検査を確実に防止することができる
液晶表示体用基板の検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示すブロック図
である。

【図２】図１に示す検査装置のローダ部の要部を中心に
示す斜視図である。

【図３】図１に示す検査装置のローダ部からプローバ部
へＬＣＤ用基板を引き渡す状態を示す斜視図である。

【図４】図１に示す検査装置のプローバ部において検査
済みのＬＣＤ用基板にマーキングする状態を示す斜視図
である。

【符号の説明】

１０検査装置１１ローダ部１２プローバ部１４搬送装置２４バーコード（第１識別符号）２５第１バーコードリーダ（第１読取手段）３０バーコード（第２識別符号）３１第２バーコードリーダ（第２読取手段）３５マーキング手段（符号付加手段）３６インクマーク（符号）ＣカセットＳＬＣＤ用基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ // Ｈ０１Ｌ 29/786 Ｈ０１Ｌ 29/78 ６２４

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の液晶表示体用基板が収納されたカ
セット内の液晶表示体用基板を１枚ずつロード、アンロ
ードする搬送装置を有するローダ部と、このローダ部か
らの液晶表示体用基板の電気的検査を行なうプローバ部
とを備えた検査装置において、上記カセットに検査情報
を表わす第１識別符号を設けると共に上記ローダ部に第
１識別符号を読取る第１読取手段を設け、且つ上記液晶
表示体用基板に第２識別符号を設けると共に上記カセッ
トからプローバ部に至る搬送経路に第２識別符号を読取
る第２読取手段を設け、第１、第２読取手段の読取り内
容に基づいて電気的検査を行なうことを特徴とする液晶
表示体用基板の検査装置。
【請求項２】検査済みの液晶表示体用基板に第２読取
手段により読取り可能な符号を付ける符号付加手段を設
けたことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示体用基
板の検査装置。