JPH0943291A - 処理方法及び処理装置並びに処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理体の処理に直接関係しないものの接近
や侵入を確実に報知して安全性を向上させることができ
る処理装置を提供する。 【構成】 本処理装置１は、ＬＣＤ用基板Ｓが搬出入さ
れる搬出入部２と、この搬出入部２において搬出入され
るＬＣＤ用基板Ｓを認識するカセットセンサ６と、この
カセットセンサ６により認識されるＬＣＤ用基板Ｓをそ
の通過領域で検出しあるいはその通過領域以外で侵入物
体を検出する物体検出センサ７と、この物体検出センサ
７により侵入物体を検出した時に異常信号を送信する信
号コントローラ８と、この信号コントローラ８の異常信
号に基づいて警告を発する警告灯９とを備えたことを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、処理方法及び処理装置
並びに処理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハや液晶表示体（Ｌ
ＣＤ）用基板等の被処理体を製造する場合には、ＣＶＤ
装置、エッチング装置などを処理装置を用いてそれぞれ
の処理を行なって、被処理体の表面に多数の電気回路を
組み込み、その後検査装置を用いて被処理体の電気的特
性検査を行なうようにしている。このような処理を行な
う装置として、例えば、特開平２−２５７６４号公報等
に開示され検査装置がある。この検査装置は、未検査の
ＬＣＤ用基板が複数収納されたカセットからＬＣＤ用基
板を１枚ずつ自動的に取り出し、ＬＣＤ用基板表面に形
成された電気回路を自動的に検査するようにしたもので
ある。

【０００３】上記検査装置は、一般に、ＬＣＤ用基板を
ロード、アンロードするローダ部と、このローダ部から
受け取ったＬＣＤ用基板の電気的検査を行なうプローバ
部とを備えている。このローダ部は、例えばカセットを
載置するカセット載置部と、このカセット載置部に載置
されたカセット内のＬＣＤ用基板を１枚ずつ取り出して
プローバ部へ搬送する搬送装置とを備えている。プロー
バ部は、ローダ部の搬送装置から受け取ったＬＣＤ用基
板を保持する基板載置台と、この基板載置台上に載置さ
れたＬＣＤ用基板の各電極パッドと電気的に接触するプ
ローブ針を有するプローブボードとを備えている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の検査装置等の処理装置の場合には、処理装置が
稼動している間に、オペレータや作業車などが処理装置
（特に、ＬＣＤ用基板の搬出入部）に対して必要以上に
接近したり、場合によってはオペレータの手などが処理
作業領域内に侵入したりしても、処理装置はそのまま稼
動して作業を継続する虞があった。特に、最近ではＬＣ
Ｄ用基板が大型化する傾向にあり、例えば６００ｍｍ角
サイズのＬＣＤ用基板が供給されるようになって来てい
る。これに伴ってその処理装置も大型化して来ており、
処理装置の稼動中にオペレータが装置全体を監視するこ
とが難しく、特に上述のような異物の接近や侵入を常時
監視することは困難であるため、その安全対策が処理装
置の課題になっている。

【０００５】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、被処理体の処理に直接関係しないものの接
近や侵入を確実に知ることができ、安全性を向上させる
ことができる処理方法及び処理装置並びに処理システム
を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の処理装置は、被処理体が搬出入される搬出入部と、こ
の搬出入部において搬出入される被処理体を認識する認
識手段と、この認識手段により認識される被処理体をそ
の通過領域で検出しあるいはその通過領域及び／または
その領域以外で侵入物体を検出する物体検出手段と、こ
の物体検出手段により上記侵入物体を検出した時に異常
信号を送信する信号制御手段と、この信号制御手段の異
常信号に基づいて警告を発する警告発生手段とを備えた
ことを特徴とするものである。

【０００７】また、本発明の請求項２に記載の処理装置
は、請求項１に記載の発明において、上記搬出入部から
被処理体を搬送制御手段の制御下で１枚ずつ搬送する搬
送部と、この搬送部を介して搬送された上記被処理体を
処理制御手段の制御下で処理する処理部と設け、上記搬
送制御手段は上記異常信号に基づいて上記搬送部の作業
を停止させることを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明の請求項３に記載の処理装置
は、請求項２に記載の発明において、上記処理制御手段
は上記異常信号に基づいて処理中の被処理体を処理終了
まで処理を継続させることを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項４に記載の処理装置
は、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明に
おいて、上記物体検出手段は、上記被処理体をその通過
領域で検出する第１検出部と、上記侵入物体を上記通過
領域以外で検出する第２検出部を有することを特徴とす
るものである。

【００１０】また、本発明の請求項５に記載の処理装置
は、請求項１〜請求項４のいずれか一つに記載の発明に
おいて、上記被処理体の処理履歴及び事故履歴を磁気的
に記録する磁気記録手段を設けたことを特徴とするもの
である。

【００１１】また、本発明の請求項６に記載の処理方法
は、被処理体を搬出入部に搬入する際に、上記搬出入部
へ搬入される被処理体を認識手段により認識する認識工
程と、この認識工程で認識された被処理体をその通過領
域で検出しあるいはその通過領域及び／またはその領域
以外で侵入物体を物体検出手段により検出する物体検出
工程と、この物体検出工程で侵入物体を検出した時に警
告発生手段により警告を発する警告発生工程とを備えた
ことを特徴とするものである。

【００１２】また、本発明の請求項７に記載の処理シス
テムは、被処理体を処理する処理装置と、この処理装置
において被処理体を自動的に搬出入する自動搬送車と、
これら両者を統合管理するホストコンピュータとを備
え、上記処理装置は、被処理体が搬出入される搬出入部
と、この搬出入部から被処理体を搬送制御手段の制御下
で１枚ずつ搬送する搬送部と、この搬送部を介して搬送
された上記被処理体を処理制御手段の制御下で処理する
処理部とを有し、且つ、上記搬出入部において搬出入さ
れる被処理体を認識する認識手段と、この認識手段によ
り認識される被処理体をその通過領域で検出しあるいは
その通過領域及び／またはその領域以外で侵入物体を検
出する物体検出手段と、この物体検出手段により上記侵
入物体を検出した時に異常信号を送信する信号制御手段
と、この信号制御手段の異常信号に基づいて警告を発す
る警告発生手段とを設け、上記信号制御手段の異常信号
に基づき、上記ホストコンピュータは上記自動搬送車に
よる搬出入作業を停止させる一方、上記搬送制御手段は
上記搬送部の作業を停止させると共に上記処理制御手段
は処理中の被処理体を処理終了まで処理を継続させるこ
とを特徴とするである。

【００１３】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、処理
装置の搬出入部へ被処理体を搬入する際に、この搬出入
部において搬出入される被処理体を認識手段が認識する
と共にその認識信号を信号制御手段へ送信する。また、
この認識手段により認識された被処理体が搬出入部へ搬
入される際に物体検出手段がその被処理体を検出すると
共にその検出信号を信号制御手段へ送信する。すると、
認識手段及び物体検出手段の双方が信号を受信した信号
制御手段は異常信号を送信すことがない。しかし、例え
ば、信号制御手段が認識手段の検出信号を受信せず、物
体検出手段から侵入物体の検出信号を受信すると、異常
信号を警告発生手段へ送信し、警告発生手段から警告を
発してオペレータに注意を喚起することができる。

【００１４】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、請求項１に記載の発明において、例えば、信号制
御手段が認識手段の信号を受信せず、物体検出手段から
侵入物体の検出信号を受信すると、信号制御手段は異常
信号を搬送制御手段にも送信し、搬送制御手段を介して
被処理体の搬送部の作業を停止させることができる。

【００１５】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項２に記載の発明において、例えば、信号制
御手段が認識手段の信号を受信せず、物体検出手段から
侵入物体の検出信号を受信すると、信号制御手段は異常
信号を処理制御手段にも送信し、処理制御手段を介して
処理部において処理中の被処理体の処理を終了するまで
そのまま継続させ、処理中でなければ即時停止させるこ
とができる。

【００１６】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項〜請求項３のいずれか一つに記載の発明に
おいて、上記物体検出手段は、上記被処理体をその通過
領域で検出する第１検出部と、上記物体を上記通過領域
以外で検出する第２検出部を有するため、第１検出部の
みで搬出入時の被処理体を検出した時には警告を発生す
ることがなく、第１検出部及び／または第２検出部にお
いて侵入物体を検出した時には信号制御手段を介して異
常信号を送信することができる。

【００１７】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項４のいずれか一つに記載の発明
において、上記被処理体の処理履歴及び事故履歴を磁気
的に記録する磁気記録手段を設けたため、被処理体の処
理内容、処理枚数などを磁気記録手段に記録することが
できると共に、異常発生の時間、回数などを磁気記録手
段に記録し、処理装置の稼動状況を確認することができ
る。

【００１８】また、本発明の請求項６に記載の発明によ
れば、被処理体を搬出入部に搬入する際に、搬出入部へ
搬入される被処理体を認識手段により認識し、その被処
理体をその通過領域で物体検出手段により検出すると、
警告を発することがない。しかし、例えば、認識手段が
被処理体を認識せず、物体検出手段が侵入物体を検出す
ると、警告発生手段により警告を発し、オペレータに注
意を喚起することができる

【００１９】また、本発明の請求項７に記載の発明によ
れば、ホストコンピュータによる管理下で、自動搬送車
から処理装置の搬出入部へ被処理体を搬入する際に、こ
の搬出入部において搬出入される被処理体を認識手段が
認識し、その認識信号を信号制御手段へ送信する。ま
た、この認識手段により認識された被処理体が搬出入部
へ搬入される際に物体検出手段がその被処理体を通過領
域内で検出し、その検出信号を信号制御手段へ送信す
る。すると、認識手段及び物体検出手段の双方の信号を
受信した信号制御手段は異常信号を送信すことがない。
しかし、例えば、信号制御手段が認識手段から信号を受
信せず、物体検出手段から侵入物体の検出信号を受信す
ると、信号制御手段は警告発生手段、搬送制御手段、処
理制御手段及びホストコンピュータへ異常信号を送信す
る。これに基づいて処理装置では警告発生手段が警告を
発してオペレータに注意を喚起し、また、搬送制御手段
を介して被処理体の搬送部での搬送作業を停止させると
共に、処理部において被処理体を処理している最中であ
ればその処理を終了するまで処理制御手段を介して処理
中の被処理体の処理をそのまま継続さることができる。
この時、ホストコンピュータではその異常を自動搬送車
に通知して自動搬送車による作業を停止させることがで
きる。

【００２０】

【実施例】以下、図１〜図６に示すＬＣＤ用基板の検査
装置を例に挙げて本発明の処理装置及び検査システムを
説明する。本実施例の検査装置１は、ＬＣＤ用基板Ｓの
搬出入から検査まで全自動で行なうことができるもの
で、例えば図１、図２に示すように、被処理体としての
ＬＣＤ用基板Ｓをカセット単位で搬入、搬出する搬出入
部２と、この搬出入部２からＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ
搬送するローダ部３と、このローダ部３を介して搬送さ
れたＬＣＤ用基板Ｓを検査するプローバ部４とを備え、
他の処理装置と共にホストコンピュータ５０（図５参
照）によって統合管理されている。

【００２１】また、上記検査装置１は、図１、図２に示
すように、搬出入部２において自動搬送車５との間で自
動的に搬出入されるＬＣＤ用基板Ｓを収納したカセット
Ｃを認識する認識手段、例えばカセットセンサ６と、こ
のカセットセンサ６により認識されたカセットＣをその
通過領域で検出しあるいはその通過領域及び／またはそ
の領域以外で侵入物体を検出する物体検出手段、例えば
物体検出センサ７と、この物体検出センサ７により外部
から侵入する物体例えばオペレータの手やその他の侵入
障害物を検出した時に異常信号を送信する信号制御手
段、即ち信号コントローラ８と、この信号コントローラ
８の異常信号に基づいて警告を発する警告発生手段、例
えば警告灯９とを備えている。

【００２２】そして、上記搬出入部２にはカセットＣを
載置する上述のカセット載置部１０が２箇所に設けられ
ており、これらのカセット載置部１０は正面側から奥行
方向（図２の上側）に向けて所定間隔をあけて縦列に２
箇所配置されている。このカセット載置部１０は必要に
応じて更に増設することができる。そして、各カセット
載置部１０には自動搬送車５のアーム（図示せず）が侵
入する溝空間１１が装置正面に対して平行に形成され、
この溝空間１１内でカセットＣを保持したアームが昇降
し、カセットＣが溝空間１１を跨いだ状態でカセット載
置部１０上へカセットＣを載置するようにしてある。こ
の自動搬送車５はホストコンピュータ５０との交信に基
づいて前工程のＬＣＤ用基板Ｓをカセット単位で搬出入
部２まで搬送し、検査後にはＬＣＤ用基板Ｓをカセット
単位で後工程へ搬送するようにしてある。また、図示し
てないが、カセット載置部１０にはカセットＣのコーナ
ー部に係合する位置決め部材、及びカセットＣの向きを
検出する向き検出装置がそれぞれ設けられている。

【００２３】また、自動搬送車５には例えば断線検査、
特性検査などの検査内容を検査装置１へ光情報として伝
達する情報伝達部１２Ａが設けられ、また、搬出入部の
側面には情報伝達部１２Ａの光情報を受信してその情報
を電気信号に変換する信号交換部１２Ｂが設けられてい
る。即ち、情報伝達部１２Ａと信号変換部１２Ｂとの間
で光信号を授受し、光情報を信号変換部１２Ｂで電気的
な信号に変換してカセットＣ内の電気的検査を後述の読
取装置と連繋して過誤なく行なうようにしてある。この
光通信はデジタル化してＰＣＭ化することにより多数の
情報を伝達することができる。

【００２４】また、上記カセットＣを検出するカセット
センサ６は、例えば赤外線を発光する光電変換素子など
からなる発光素子を有する発光部６Ａと、この発光部６
Ａからの光線を受光する受光素子を有する受光部６Ｂと
を備えたラインセンサとして構成されている。これら発
光部６Ａ及び受光部６Ｂは溝空間１１の両側にカセット
Ｃを挟むように配設され、これら両者６Ａ、６Ｂ間での
光線の遮断によりカセットＣを検出し、それを認識する
と共にその検出信号を上述のように信号コントローラ８
へ送信するようにしてある。また、カセットセンサ６と
してバーコードリーダを用い、このバーコードリーダに
よりカセットＣに設けられたバーコードを読取ることに
よりカセットＣを認識するようにしても良い。

【００２５】上記物体検出センサ７は、図１〜図３に示
すように、例えば赤外線を発光する光電変換素子を有す
る発光部７Ａと、この発光部７Ａからの赤外線をその対
向位置で受光する受光素子を有する受光部７Ｂとを備え
た一対のラインセンサとして構成されている。発光部７
Ａはカセット載置部１０の装置正面側端に配設されてい
ると共に、受光部７ＢはカセットＣをカセット載置部１
０の最奥端に配設されている。また、物体検出センサ７
の高さは搬出入口の高さをカバーする丈に形成されてい
る。従って、物体検出カセンサ７は、搬出入部２の搬出
入口の正面全領域で物体を検出できるようにしてあり、
搬出入部２の両端部間をカセットＣなどの侵入物体が発
光部７Ａと受光部７Ｂ間を横断する時に、両者７Ａ、７
Ｂ間で遮断される赤外線によりカセットＣなどの侵入物
体を検出すると共にその検出信号を上述のように信号コ
ントローラ８へ送信するようにしてある。

【００２６】更に、上記発光部７Ａは、図２に示すよう
に、上述のようにカセットＣが搬出入時に通過する領域
をカバーする第１発光部７１Ａと、その通過領域以外の
領域をカバーする第２発光部７２Ａからなり、受光部７
Ｂもこれに対応して第１、第２受光部７１Ｂ、７２Ｂか
らなっている。そして、第１発光部７１Ａ及び第１受光
部７１Ｂは例えば第１検出部７１として下方に配置さ
れ、第２発光部７２Ａ及び第２受光部７２Ｂが第２検出
部７２として第１検出部の上方に配置されている。そし
て、第１検出部７１の検出信号と第２検出部７２の検出
信号は次に説明するように信号コントローラ８において
異なった作用をするようにしてある。

【００２７】上記信号コントローラ８は、図１に示すよ
うに、カセットセンサ６及び物体検出センサ７からの信
号に基づいて異常信号を警告灯９及び後述のマイクロコ
ンピュータ及びその周辺回路を有するローダコントロー
ラ及びプローバコントローラへ送信するようにしてあ
る。つまり、カセットセンサ６によりカセットＣを検出
し、更に物体検出センサ７が第１検出部７１でのみカセ
ットＣを検出した時には、搬出入時のカセットＣである
と判断して各センサ６、７からの信号を処理し、異常信
号を送信せず、警告灯９を点燈しないようにしてある。

【００２８】ところが、例えば、カセットセンサ６がカ
セットＣを検出せず、物体検出センサ７の第１検出部７
１及び／または第２検出部７２でオペレータの手やその
他の侵入物体を検出した時には、カセットＣ以外の物体
が接近しあるいは侵入しものとして判断し、信号コント
ローラ８がその信号を処理し、異常信号を警告灯９へ送
信し、警告灯９を点燈するなどしてオペレータに注意を
喚起するようにしてある。また、カセットセンサ６がカ
セットＣを検出し、物体検出センサ７がカセットＣの搬
出入通過領域から外れ、第２検出部７２でカセットＣを
検出した場合には、信号コントローラ８により搬出入異
常として判断し、異常信号を送信するようにしてある。
従って、カセットセンサＣは搬出入部２内へ搬入される
カセットＣを検出するセンサとして機能し、物体検出セ
ンサ７は搬出入部２へ接近し、侵入する物体を検出する
非常用のセンサとして機能し、また、信号コントローラ
８はカセットセンサ６及び物体検出センサ７の検出信号
に基づいて異常信号の送信をＯＮ、ＯＦＦするスイッチ
として機能するようになっている。

【００２９】また、上記搬出入部２のカセット載置部１
０にはカセットＣ内に収納されたＬＣＤ用基板Ｓの収納
枚数を計数する計数装置１３が配設されている。この計
数装置１３は発光部１３Ａ及び受光部１３Ｂからなり、
これら両者１３Ａ、１３Ｂは溝空間１１の両側に形成さ
れた開口部１４に配設されている。そして、発光部１３
Ａと受光部１３Ｂは溝空間１１の下方で連結され、図示
しないボールネジなどの駆動機構（図示せず）により開
口部１４において昇降するように構成されている。従っ
て、計数装置１３が開口部１４において昇降する間に光
線が遮断された回数などを計数することによりＬＣＤ用
基板Ｓの収納枚数を計数するようにしてある。尚、カセ
ットＣは、例えば図２に示すように、正面前面が開口
し、内側面に２５段の支持溝Ｃ₁が上下方向に所定間隔
（例えば、１０ｍｍ）をもって形成され、２５枚のＬＣ
Ｄ用基板Ｓを水平に収納するようにしてあり、ＬＣＤ用
基板Ｓを２５枚単位で搬出入部２において搬入、搬出す
るものである。

【００３０】また、図２に示すように上記カセットＣの
上面のコーナー部には例えばバーコード１５が設けられ
ていると共に上記搬出入部２の上方には第１光学文字読
取装置（第１ＯＣＲ）１６が配設され、第１ＯＣＲ１６
によりバーコード１５を読取るようにしてある。このバ
ーコード１５にはＬＣＤ用基板Ｓをロット単位で管理す
る情報、例えば、ユーザー名、ＬＣＤ用基板Ｓの枚数、
種類、検査の種類（断線検査、機能検査等の種類）など
を表わす検査情報が書き込まれている。また、第１ＯＣ
Ｒ１６は図１に示すようにローダ部３のローダコントロ
ーラ１７が接続され、更にインターフェース１７Ａを介
してホストコンピュータ５０に接続されている。従っ
て、ローダコントローラ１７はホストコンピュータ５０
の管理下でローダ部３を制御するようにしてある。ま
た、ローダコントローラ１７はプローバ部４のプローバ
コントローラ１８にも接続され、相互に交信して検査時
に連繋作動するようにしてある。このプローバコントロ
ーラ１８はプローバ部４を制御するようにしてある。ま
た、プローバコントローラ１８はテストシステム１９に
接続され、テストシステム１９からの指令に基づいてプ
ローバ部４を制御するようにしてある。

【００３１】従って、第１ＯＣＲ１６がバーコード１５
の読取り信号をローダコントローラ１７へ送信すると、
ローダコントローラ１７は後述の基板搬送ロボット２０
を制御してカセットＣ内のＬＣＤ用基板Ｓをプローバ部
４へ搬送すると共に、検査済みのＬＣＤ用基板Ｓをプロ
ーバ部４からカセットＣ内へ収納するようにしてある。
そして、この動作は第１ＯＣＲ１６の読取り内容に従っ
てロット単位で行なうようにしてある。カセット内の全
ＬＣＤ用基板Ｓの検査が終了すると、ローダコントロー
ラ１７はインターフェース１７Ａを介してホストコンピ
ュータ５０へその旨の信号を送信すると、ホストコンピ
ュータ５０は自動搬送車５と交信し、検査済みのカセッ
トＣの搬出指令を出すようにしてある。

【００３２】また、上記ローダ部３には図３、図４に示
すようにＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ搬送する基板搬送ロ
ボット２０が配設されている。この基板搬送ロボット２
０はＸ方向に沿って配設された細長形状の基台２１上に
配設されている。基台２１にはＸ方向に向けて延設され
た一対のガイドレール２２が配設されている。そして、
基板搬送ロボット２０は後述するように両ガイドレール
２２の左端及び右端位置においてＬＣＤ用基板Ｓを受け
渡しするようにしてある。また、基台２１上には基板搬
送ロボット２０をＸ方向で往復移動させる水平ボールネ
ジ２３が両ガイドレール２２の間に配設されている。水
平ボールネジ２３の右端には駆動モータ２４が取り付け
られ、この駆動モータ２４により水平ボールネジ２３を
介して基板搬送ロボット２０がガイドレール２２に従っ
て往復移動するようにしてある。

【００３３】また、基板搬送ロボット２０には、ガイド
レール２２に従ってＸ方向で往復移動する移動台２５
と、この移動台２５においてＺ方向に昇降可能に支持さ
れた台座２６と、この台座２６に取り付けられた多関節
アーム２７と、この多関節アーム２７の先端に回転可能
に連結された基板保持ハンド２８とが設けられている。
台座２６には下方へ延びる垂直ボールネジ２９が連結さ
れ、この垂直ボールネジ２９は移動台２５を貫通してい
る。この移動台２５上には駆動モータ３０が配設され、
この駆動モータ３０のウォームギア３１が垂直ボールネ
ジ２９と噛合している。そして、駆動モータ３０の回転
をウォームギア３１を介して垂直ボールネジ２９に伝達
すると共に、台座２６をＺ方向で昇降するようにしてあ
る。また、多関節アーム２７は、回転軸を中心に回転し
て基板保持ハンド２８を搬出入部２及びプローバ部４の
いずれの方向にも向くようにしてあると共に、基板保持
ハンド２８を水平方向で屈伸してカセットＣ内及びプロ
ーバ部４内へ進出するようにしてある。尚、３２は台座
２６をＺ方向にガイドするガイド部材である。

【００３４】更に、図２に示すように上記ローダ部３に
は基板搬送ロボット２０によるＬＣＤ用基板Ｓの搬送状
況を監視する監視手段３３が設けられている。この監視
手段３３は、主としてローダ部３での搬送状況を撮像す
るＣＣＤカメラ３３Ａ（図２参照）と、このＣＣＤカメ
ラ３３Ａからの信号を画像処理するＯＣＲなどからなる
画像処理装置３３Ｂと、この画像処理装置３３Ｂの処理
信号に基づく画像を表示する表示装置３３Ｃとを備えて
いる。図２に示すようにＣＣＤカメラ３３Ａはローダ部
３の上方に配設され、表示装置３３Ｃはローダ部３の正
面に配設されており、これら両者により装置本体の正面
においてＬＣＤ用基板Ｓの搬送状況を監視するようにし
てある。しかも、その表示画面が同図に示すように左右
に回転すると共に、上下に昇降できるようにしてある。
また、上記画像処理装置３３Ｂと表示装置３３Ｃの間に
はローダコントローラ１７が介在し、このローダコント
ローラ１７を介して赤、緑、青のカラー信号を表示装置
３３Ｃへ送信し、表示装置３３Ｃにカラー画像を表示す
るようにしてある。また、ＣＣＤカメラ３３Ａは、図２
に示すように全方位に正逆回転可能になっており、ＬＣ
Ｄ用基板Ｓの搬送状況の他、搬出入部２及びローダ部３
全体を監視できるようにしてある。また、この表示装置
３３Ｃは操作パネルとしても用いられ、パネル表示に従
ってローダ駆動部１８を操作するようにしてある。

【００３５】また、上記プローバ部４には図３に示すよ
うにＸ方向の中央位置にＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を
行なう検査部３４が配設されている。また、この検査部
３４のＸ方向の両側にはローダ部３と検査部３４との間
でＬＣＤ用基板Ｓを受け渡す受渡し部３５Ａ、３５Ｂが
配設されている。図３における左側の受渡し部３５Ａ及
び右側の受渡し部３５Ｂはそれぞれ左ステージ３６Ａ及
び右ステージ３６Ｂを備え、各ステージ３６Ａ、３６Ｂ
が基台３７上においてＸ方向で移動するように構成され
ている。この基台３７上にはＸ方向に向けて一対のガイ
ドレール３８が配設されている。これらのガイドレール
３８の左端部は左側の受渡し部３５Ａ位置まで延設さ
れ、それぞれの右端部は右側の受渡し部３５Ｂの位置ま
で延設されている。

【００３６】そして、上記基台３７上には左右のステー
ジ３６Ａ、３６Ｂが下面で螺合する第１ボールネジ３９
Ａ、３９Ｂがそれぞれ配設されている。左側の第１ボー
ルネジ３９Ａは一対のガイドレール３８間で外側寄り
（図３では下側寄り）に配設され、右側の第１ボールネ
ジ３９Ｂは一対のガイドレール３８間でローダ部３より
に配設され、左右のボールネジ３９Ａ、３９Ｂは互いに
干渉しないようにしてある。また、左右の第１ボールネ
ジ３９Ａ、３９Ｂの外端には駆動モータ４０Ａ、４０Ｂ
がそれぞれ取り付けられ、各駆動モータ４０Ａ、４０Ｂ
の正逆回転により各ボールネジ３９Ａ、３９Ｂを介して
左右のステージ３６Ａ、３６ＢがＸ方向でガイドレール
３８に従って個別に往復移動するようにしてある。ま
た、左右の受渡し部３５Ａ、３５Ａにはローダ部３から
左右のステージ３６Ａ、３６Ｂ上に受け取ったＬＣＤ用
基板Ｓをアライメントするアライメント機構のＣＣＤカ
メラ４１Ａ、４１Ｂがそれぞれ配設されている。各ＣＣ
Ｄカメラ４１Ａ、４１ＢによりＬＣＤ用基板Ｓのクロス
マークなどからなるアライメントマークを撮像しながら
ＬＣＤ用基板Ｓをアライメントするようにしてある。各
ＣＣＤカメラ４１Ａ、４１Ｂは、図１、図５に示すうよ
うに、画像処理部４２Ａ、４２Ｂを介して表示装置４３
に接続され、アライメント状況を表示装置４３によって
監視できるようにしてある。

【００３７】また、左右のステージ３６Ａ、３６Ｂ上に
はＬＣＤ用基板Ｓを例えば真空チャック方式で着脱可能
に載置する基板載置台４４Ａ、４４ＢがＹ方向で往復移
動可能に配設されている。そして、左右のステージ３６
Ａ、３６Ｂ上にはそれぞれの基板載置台４４Ａ、４４Ｂ
が下面で螺合する第２ボールネジ４５Ａ、４５Ｂがそれ
ぞれ配設されている。左側の第２ボールネジ４５Ａは左
ステージ３６Ａ上に配設された一対のガイドレール４６
Ａ間に配設され、右側の第２ボールネジ４５Ｂは右ステ
ージ３６Ｂ上に配設された一対のガイドレール４６Ｂ間
に配設されている。また、左右の第２ボールネジ４５
Ａ、４５Ｂの外端（図１では下側）には駆動モータ４５
Ａ、４５Ｂがそれぞれ取り付けられ、各駆動モータ４５
Ａ、４５Ｂの正逆回転により各ボールネジ４５Ａ、４５
Ｂを介して基板載置台４４Ａ、４４ＢがＹ方向でガイド
レール４６Ａ、４６Ｂに従って個別に往復移動するよう
にしてある。

【００３８】また、左右のステージ３６Ａ、３６Ｂは基
板載置台４４Ａ、４４ＢをＺ方向で昇降させる昇降機構
（図示せず）を備えている。そして、例えば左ステージ
３６Ａ上のＬＣＤ用基板Ｓを検査する場合には、左ステ
ージ３６Ａが上述した駆動機構により検査部３４の検査
位置へ移動し、ここで昇降機構により基板載置台４４Ａ
がＺ方向で上昇し、検査部３４のプローブ針にＬＣＤ用
基板Ｓの電極パッドが接触して電気的検査を行なうよう
にしてある。

【００３９】そして、上述したローダ部３の駆動機構及
びプローバ部４の駆動機構は、図１、図５に示すよう
に、ローダコントローラ１７及びプローバコントローラ
１８の制御下でそれぞれ駆動するようにしてある。そし
て、ローダコントローラ１７は、信号コントローラ８か
ら異常信号を受信しない時にはローダ部３の駆動機構即
ち基板搬送ロボット２０が動作中であればそのまま正常
な動作として継続するように基板搬送ロボット２０を制
御し、信号コントローラ８から信号を受信した時に基板
搬送ロボット２０の動作を停止制御するようにしてあ
る。一方、プローバコントローラ１８は、信号コントロ
ーラ８から信号を受信しない時にはプローバ部４におけ
る動作をそのまま継続し、信号コントローラ８から異常
信号を受信した時に検査部３４においてＬＣＤ用基板Ｓ
の検査中である場合にはそのＬＣＤ用基板Ｓの検査が終
了するまでそのまま検査を継続するようにしてある。

【００４０】また、図５に示すように各コントローラ１
７、１８には、固定ディスク、フロッピーディスクなど
からなる記憶手段４７が接続され、この記憶手段４７に
ローダ部３及びプローバ部４におけるＬＣＤ用基板Ｓの
処理履歴及び事故履歴等を記録するようにしてある。ま
た、各コントローラ１７、１８は互いに接続され、互い
に連繋して作動するようにしてある。

【００４１】また、図１に示すようにＬＣＤ用基板Ｓの
コーナー部にはバーコード（図示せず）が設けられてい
ると共にカセット載置部１０からプローバ部４に至るＬ
ＣＤ用基板Ｓの搬送経路には例えば第２ＯＣＲ４８が配
設され、第２ＯＣＲ４８によりバーコードを読取るよう
にしてある。このバーコードにはＬＣＤ用基板Ｓを枚葉
単位で管理する情報、例えば、ＬＣＤ用基板Ｓの種類、
検査の種類（断線検査、機能検査等の種類）などを表わ
す検査情報が書き込まれている。また、第２ＯＣＲ４８
には図１に示すようにプローバコントローラ１８が接続
され、更に、このプローバコントローラ１８には上述の
ようにプローバ部４、テストシステム１９などが接続さ
れている。このテストシステム１９はホストコンピュー
タ５０に接続され、ホストコンピュータ５０の制御下で
作動するようにしてある。また、プローバコントローラ
１８はテストシステム１９の制御下でプローバ部３を駆
動させるようにしてある。

【００４２】従って、第２ＯＣＲ４８がバーコードの読
取り信号をプローバコントローラ１８へ送信すると、プ
ローバコントローラ１８は検査部３４内で基板載置台４
４Ａ、４４Ｂのインデックス送りなどの移動を制御する
ようにしてある。一方、テストシステム１９はプローバ
コントローラ１８から受信信号に基づいてプローブボー
ドへ電圧を印加してバーコード１５に書き込まれた電気
的検査を行なうようにしてある。これらの動作は第２Ｏ
ＣＲ４８の読取り内容に従って枚葉単位で行なうように
してある。ロット単位の検査が終了すると、その旨の信
号をホストコンピュータ５０へ送信するようにしてあ
る。

【００４３】次に、本発明の処理方法を上記検査装置１
の動作と共に説明する。ＬＣＤ用基板を検査する場合に
は、まず、ホストコンピュータ５０と自動搬送車５との
間で無線通信を行ない、ホストコンピュータ５０から自
動搬送車５に対してＬＣＤ用基板の供給指令を送信す
る。自動搬送車５は、この指令により前工程からカセッ
ト単位でＬＣＤ用基板Ｓを受け取って検査装置１まで走
行し、その情報伝達部１２Ａが図１で示す検査装置１の
信号変換部１２Ｂと対峙した位置で停止する。然る後、
自動搬送車５が情報伝達部１２Ａ、信号変換部１２Ｂを
介して検査装置１との間で光通信すると、検査装置１の
プローバコントローラ１８へ検査内容を通知すると共に
検査装置１ではカセットＣの受け入れ態勢ができる。

【００４４】その後カセットＣを保持した自動搬送車５
のアームが駆動し、アームを介してカセットＣの搬入を
開始すると、まずカセットセンサ６が搬入されるカセッ
トＣを認識し、その検出信号を信号コントローラ８へ送
信する（認識工程）。その後、カセットＣが搬出入部２
のカセット載置部１０上へ侵入してカセットＣが搬出入
時の通過領域を通過すると、物体検出センサ７の第１検
出部７１でカセットＣを検出し、第１検出部７１から検
出信号を信号コントローラ８へ送信する（物体検出工
程）。信号コントローラ８ではカセットセンサ６及び物
体検出センサ７の第１検出部７１から検出信号を受信す
ると、第１検出部７１の信号に基づいて信号を制御し、
警告灯９などへは信号を送信せず、検査装置１は正常に
駆動する。

【００４５】ところが、カセットＣの搬出入時あるいは
それ以外の時に、カセットＣとは関係のない物体、例え
ばオペレータの手などが図６で示すように搬出入部２内
へ侵入すると、カセットセンサ６では第１検出部７１及
び／または第２検出部７２においてその物体を検出し
（物体検出工程）、検出信号を信号コントローラ８へ送
信する。信号コントローラ８では物体検出センサ７の検
出信号を受信すると、その検出信号を制御して異常信号
を警告灯９へ送信し、警告灯９を点燈してオペレータに
警告を発する（警告工程）。

【００４６】また、これと同時に、信号コントローラ８
はローダコントローラ１７及びプローバコントローラ１
８へ異常信号を送信する。これによりローダコントロー
ラ１７は異常信号に基づいて基板搬送ロボット２０を緊
急停止させる。一方、プローバコントローラ１８は異常
信号を受信した時、検査部３４においてＬＣＤ用基板Ｓ
の電気的検査を行なっている最中であれば、その検査が
終了するまで検査を続行し、検査終了後に左右いずれか
のステージ３６Ａ、３６Ｂをそれぞれに対応する受渡し
部３５Ａ、３５Ｂへ戻した後、プローバ部４での作業を
停止する。

【００４７】また、カセットセンサ６及び物体検出セン
サ７の第１検出部７１の双方においてカセットＣを本来
の通過領域で検出しても、物体検出センサ７の第２検出
部７においても他の侵入物体を検出すれば、信号コント
ローラ８ではそれぞれの信号を制御して異常信号を上述
した各部位へ送信し、オペレータに注意を喚起する。ま
た、カセットＣの搬出入時に、カセットＣが本体のルー
トを通らず、例えば本来にルートよりも高い位置からカ
セット載置部１０へ到達すると、そのカセットＣを物体
検出センサ７の第２検出部７２で検出し、信号コントロ
ーラ８から異常信号を送信し、警告灯９を介してオペレ
ータに注意を喚起する。これにより自動搬送車５による
搬出入作業に異常のあることを知ることができる。

【００４８】さて、搬出入されるカセットＣ以外の侵入
物体を検出することなく自動搬送車５により正常な動作
でカセットＣをカセット載置部１０上へ載置すると、第
１ＯＣＲ１６がカセットＣのバーコード１５を読取り、
ＬＣＤ用基板Ｓをロット単位で識別する。すると、第１
ＯＣＲ１６は読取り信号をローダコントローラ１７へ送
信し、ローダコントローラ１７により搬送ロボット２０
を駆動制御する。また、ローダコントローラ１７はカセ
ットＣの搬入終了信号をホストコンピュータ５０へ送信
する。

【００４９】カセットＣの搬入と並行して基板搬送ロボ
ット２０が移動してカセットＣと対峙し、多関節アーム
２７を屈伸して基板保持ハンド２８によりカセットＣ内
のＬＣＤ用基板Ｓを１枚取り出した後、基板搬送ロボッ
ト２０は例えばＬＣＤ用基板Ｓをプローバ部４の左受渡
し部３５Ａへ移動する。ここでは、第２ＯＣＲ４８が基
板保持ハンド２８に保持されたＬＣＤ用基板Ｓのバーコ
ードを読取り、その信号をプローバコントローラ１８へ
送信する。プローバコントローラ１８は上記読取り信号
に即した信号をテストシステム１９へ送信することによ
りＬＣＤ用基板Ｓの検査内容を連絡する。また、この信
号を受けてテストシステム１９は検査を開始する旨の信
号をホストコンピュータ５０へ送信する。従って、第１
ＯＣＲ１６によりＬＣＤ用基板Ｓをロット単位で管理
し、第２ＯＣＲ４８によりＬＣＤ用基板Ｓを枚葉単位で
管理する。

【００５０】第２ＯＣＲ４８による読取りが終了する
と、基板保持ハンド２８が基板載置台４４Ａに向けて進
出し、ＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台４４Ａ上へ引き渡
す。するとプローバコントローラ１８の制御下で基板載
置台４４Ａは駆動モータ４５Ａ及び第２ボールネジ４５
Ａを介して移動しＣＣＤカメラ４１Ａを介してＬＣＤ用
基板Ｓのアライメントを行ない、更に、駆動モータ４０
Ａ及び第１ボールネジ３９Ａを介して検査部３４へ移動
し、ここで各バーコード１５から読取った検査内容に従
ってＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を行なう。この時、検
査部３４内の検査状況は第２監視手段４９により監視す
る。尚、検査が終わると、基板載置台４４Ａ上のＬＣＤ
用基板Ｓに検査済みのマーキングを行い。このマークを
第２ＯＣＲ４８により検出するとにより再検査を防止す
るようにすることができる。

【００５１】そして、カセットＣ内の全てのＬＣＤ用基
板Ｓの検査が終了すると、テストシステム１９からホス
トコンピュータ５０にその旨の信号を送信する。また、
基板搬送ロボットー２０が検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを
全てカセットＣ内へ収納すると、ローダコントローラ１
７からホストコンピュータ５０へその旨の信号を送信す
る。これによりホストコンピュータ５０は自動搬送車５
に搬出指令を送信し、自動搬送車５により検査済みのＬ
ＣＤ用基板Ｓを検査装置１外へ搬出する。この搬出作業
は監視手段３３によって監視することができる。搬出後
は、自動搬送車５によりカセットＣを後工程へ搬送す
る。

【００５２】以上説明したように本実施例によれば、自
動搬送車５によりカセットＣを搬出入部２において自動
的に搬出入することができるため、ＬＣＤ用基板Ｓが大
型化してもオペレータによる搬出入作業がなく、オペレ
ータの安全を確保することができる。そして、自動搬送
車５からカセットＣがカセット載置部１０へ搬出入され
る時に、カセットセンサ６がカセットＣの存在を認識し
て検出し、検出信号を信号コントローラ８へ送信すると
共に、物体検出センサ７がそのカセットＣを第１検出部
７１において検出し、その検出信号を信号コントローラ
８へ送信すると、信号コントローラ８では上述の２つの
信号に基づいて信号を制御し、警告灯９などへ信号を送
信せず、警告灯９を点燈することなくローダ部３及びプ
ローバ部４では通常の作業を行なうことができる。

【００５３】そして、本実施例によれば、カセットセン
サ６がカセットＣの存在を検出しない時に、搬出入部２
内へカセットＣ以外の物体が侵入し、その侵入物体を物
体検出センサ７が第１検出部７１及び／または第２検出
部７２において検出した場合（カセットＣの通過領域及
び／またはその領域以外の領域を通過し、あるいは接近
する物体をそれぞれの領域で検出した場合）には、物体
検出センサ７からの信号に基づいて信号コントローラ８
が異常信号を警告灯９へ送信し、警告灯９を点燈し、オ
ペレータに注意を喚起することができる。これにより、
警告灯９を点燈してオペレータに注意を喚起することが
できるため、搬出入部２内への異物の侵入を常時監視す
ることができ、検査装置１の安全性を向上させることが
できる。

【００５４】しかも、この異常信号により基板搬送ロボ
ット２０を停止させることができるため、仮にオペレー
タの手が基板搬送ロボット２０と接触する位置に侵入し
ても基板搬送ロボット２０によって傷つける虞がなく、
更に安全を向上させることができる。また、その他の侵
入物体を検出すれば、基板搬送ロボット２０及びその侵
入物体を損傷する虞がない。更に、この異常信号により
検査中のＬＣＤ用基板Ｓはその検査を終了した後、プロ
ーバ部４内の作業を停止するようにしたため、ＬＣＤ用
基板Ｓの検査中であれば、そのまま検査が終了するまで
その検査継続し、それまでの検査を無駄にすることがな
い。

【００５５】また、本実施例によれば、物体検出センサ
７を第１検出部７１と第２検出部７２に分割し、第１検
出部７１では搬出入時のカセットＣを検出し、第２検出
部７２では搬出入部２内に侵入するカセット以外の物体
を検出するようにしたため、搬出入部２内への侵入物体
を第２検出部７２によって確実に検出することができ
る。

【００５６】更に、本実施例によれば、ＬＣＤ用基板Ｓ
の検査履歴及び事故履歴を磁気的に記録する磁気記録手
段４７を設けたため、磁気記録手段４７にＬＣＤ用基板
Ｓの検査履歴及び事故履歴を残し、検査装置１の検査実
績をいつでも検討することができる。

【００５７】ところで、上記実施例では、全自動タイプ
の検査装置について説明したが、カセットＣをオペレー
タが搬出入するマニュアルタイプの検査装置についても
上記カセットセンサ６、物体検出センサ７、信号コント
ローラ８及び警告灯９を用いることができる。また、信
号コントローラ８をローダコントローラ１７、プローバ
コントローラ１８から独立させても良く、この場合には
緊急時の操作パネルなどを設け、この操作パネルを操作
することにより各コントローラ１７、１８を介してロー
ダ部３、プローバ部４を緊急停止することができる。ま
た、単にオペレータに警告を発するだけならば、上記各
部材６、７、８、９をセットにして既設の検査装置に取
り付けるだけでその目的を達成することができる。

【００５８】また、上記実施例では、物体検出センサ７
を第１検出部７１と第２検出部７２に分割したものにつ
いて説明したが、搬出入時のカセットの通過領域でカセ
ットを検出する第１検出部にはセンサを設けず、第２検
出部に相当する部分にのみセンサを設け、この部分で侵
入物体だけを検出するようにしても良い。このようにす
れば、コストを低減することができる。

【００５９】尚、上記実施例では、検査装置及びそのシ
ステムについて説明したが、本発明は上記実施例に何等
制限されるものではなく、例えばＣＶＤ装置、エッチン
グ装置などを処理装置及びその処理システムについても
広く適用することができる。また、上記実施例の各構成
要素は必要に応じて適宜設計変更することができる。

【００６０】

【発明の効果】本発明の請求項１及び請求項６に記載の
発明によれば、被処理体の搬出入部内へ被処理体とは直
接関係しないもののが侵入したり接近した場合に、その
侵入物体を検出して警告を発するようにしたため、被処
理体の処理に直接関係しないものの接近や侵入を報知
し、安全性を向上させることができる処理装置及び処理
方法を提供することができる。

【００６１】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、被処理体の搬出入部内へ被処理体とは直接関係し
ないもののが侵入したり接近した場合に、その侵入物体
を検出して警告を発すると共に、被処理体の搬送部の作
業を停止させるようにしたため、被処理体の処理に直接
関係しないものの接近や侵入を確実に報知して安全性を
向上させることができると共に、その侵入物体及び搬送
部を損傷する虞がない処理装置を提供することができ
る。

【００６２】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、被処理体の搬出入部内へ被処理体とは直接関係し
ないもののが侵入したり接近した場合に、その侵入物体
を検出して警告を発する一方、被処理体の搬送部の作業
を停止させると共に処理部での作業が継続中であればそ
の作業が終了するまで作業を継続させるにしたため、被
処理体の処理に直接関係しないものの接近や侵入を確実
に報知して安全性を向上させることができると共に、そ
の侵入物体及び搬送部を損傷する虞がなく、しかも被処
理体の損失を軽減することができる処理装置を提供する
ことができる。

【００６３】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、物体検出手段は、上記被処理体をその通過領
域で検出する第１検出部と、上記物体を上記通過領域以
外で検出する第２検出部を有するため、搬出入部内への
侵入物体を第２検出部によって確実に検出することがで
きる処理装置を提供することができる。

【００６４】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項４のいずれか一つに記載の発明
において、磁気記録手段に被処理体の処理履歴及び事故
履歴を残し、処理装置の処理実績をいつでも検討するこ
とができる処理装置を提供することができる。

【００６５】また、本発明の請求項７に記載の発明によ
れば、ホストコンピュータとの通信により自動搬送車か
ら被処理体を自動的に搬出入するようにすると共に、搬
出入部内へ被処理体とは直接関係しないもののが侵入し
たり接近した場合に、その物体を検出して警告を発する
一方、被処理体の搬送部の作業を停止させると共に処理
部での作業が継続中であればその作業が終了するまで作
業を継続させるにしたため、オペレータの搬出入作業を
なくしオペレータの安全性を向上させることができると
共に、搬出入部内へ被処理体とは直接関係しないものの
が侵入したり接近した場合に、その侵入物体を検出して
警告を発する一方、被処理体の搬送部の作業を停止させ
ると共に処理部での作業が継続中であればその作業が終
了するまで作業を継続させるにしたため、被処理体の処
理に直接関係しないものの接近や侵入を確実に報知して
安全性を向上させることができると共に、その物体及び
搬送部を損傷する虞がなく、しかも被処理体の損失を軽
減することができる処理システムを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の処理装置の一実施例であるＬＣＤ用基
板の検査装置を示す構成図である。

【図２】図１に示す検査装置の搬出入部及びローダ部を
示す部分斜視図である。

【図３】図１に示す検査装置の平面図である。

【図４】図３に示す検査装置の搬出入部及びローダ部の
一部を破断して示す側面図である。

【図５】図１に示す検査装置の制御系を示すブロック図
である。

【図６】図２に示す検査装置の物体検出センサによる物
体の検出を説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１ 検査装置 ２ 搬出入部 ３ ローダ部（搬送部） ４ プローバ部（処理部） ５ 自動搬送車 ６ カセットセンサ ７ 物体検出センサ ８ 信号コントローラ ９ 警告灯（警告手段） １７ ローダコントローラ（搬送制御手段） １８ プローバコントローラ（処理制御手段） ４７ 磁気記録手段 ５０ ホストコンピュータ Ｓ ＬＣＤ用基板（被処理体）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体が搬出入される搬出入部と、こ
   の搬出入部において搬出入される被処理体を認識する認
   識手段と、この認識手段により認識される被処理体をそ
   の通過領域で検出しあるいはその通過領域及び／または
   その領域以外で侵入物体を検出する物体検出手段と、こ
   の物体検出手段により上記侵入物体を検出した時に異常
   信号を送信する信号制御手段と、この信号制御手段の異
   常信号に基づいて警告を発する警告発生手段とを備えた
   ことを特徴とする処理装置。
2. 【請求項２】 上記搬出入部から被処理体を搬送制御手
   段の制御下で１枚ずつ搬送する搬送部と、この搬送部を
   介して搬送された上記被処理体を処理制御手段の制御下
   で処理する処理部と設け、上記搬送制御手段は上記異常
   信号に基づいて上記搬送部の作業を停止させることを特
   徴とする請求項１に記載の処理装置。
3. 【請求項３】 上記処理制御手段は上記異常信号に基づ
   いて処理中の被処理体を処理終了まで処理を継続させる
   ことを特徴とする請求項２に記載の処理装置。
4. 【請求項４】 上記物体検出手段は、上記被処理体をそ
   の通過領域で検出する第１検出部と、上記侵入物体を上
   記通過領域以外で検出する第２検出部を有することを特
   徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の処
   理装置。
5. 【請求項５】 上記被処理体の処理履歴及び事故履歴を
   磁気的に記録する磁気記録手段を設けたことを特徴とす
   る請求項１〜請求項４のいずれか一つに記載の処理装
   置。
6. 【請求項６】 被処理体を搬出入部に搬入する際に、上
   記搬出入部へ搬入される被処理体を認識手段により認識
   する認識工程と、この認識工程で認識された被処理体を
   その通過領域で検出しあるいはその通過領域及び／また
   はその領域以外で侵入物体を物体検出手段により検出す
   る物体検出工程と、この物体検出工程で侵入物体を検出
   した時に警告発生手段により警告を発する警告発生工程
   とを備えたことを特徴とする処理方法。
7. 【請求項７】 被処理体を処理する処理装置と、この処
   理装置において被処理体を自動的に搬出入する自動搬送
   車と、これら両者を統合管理するホストコンピュータと
   を備え、上記処理装置は、被処理体が搬出入される搬出
   入部と、この搬出入部から被処理体を搬送制御手段の制
   御下で１枚ずつ搬送する搬送部と、この搬送部を介して
   搬送された上記被処理体を処理制御手段の制御下で処理
   する処理部とを有し、且つ、上記搬出入部において搬出
   入される被処理体を認識する認識手段と、この認識手段
   により認識される被処理体をその通過領域で検出しある
   いはその通過領域及び／またはその領域以外で侵入物体
   を検出する物体検出手段と、この物体検出手段により上
   記侵入物体を検出した時に異常信号を送信する信号制御
   手段と、この信号制御手段の異常信号に基づいて警告を
   発する警告発生手段とを設け、上記信号制御手段の異常
   信号に基づき、上記ホストコンピュータは上記自動搬送
   車による搬出入作業を停止させる一方、上記搬送制御手
   段は上記搬送部の作業を停止させると共に上記処理制御
   手段は処理中の被処理体を処理終了まで処理を継続させ
   ることを特徴とする処理システム。