KR100490054B1 - 어레이테스터용프로브프레임 - Google Patents

어레이테스터용프로브프레임 Download PDF

Info

Publication number
KR100490054B1
KR100490054B1 KR1019970040650A KR19970040650A KR100490054B1 KR 100490054 B1 KR100490054 B1 KR 100490054B1 KR 1019970040650 A KR1019970040650 A KR 1019970040650A KR 19970040650 A KR19970040650 A KR 19970040650A KR 100490054 B1 KR100490054 B1 KR 100490054B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frame
probe
tft
array
glass
Prior art date
Application number
KR1019970040650A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19990017655A (ko
Inventor
이상경
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1019970040650A priority Critical patent/KR100490054B1/ko
Publication of KR19990017655A publication Critical patent/KR19990017655A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100490054B1 publication Critical patent/KR100490054B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/69—Arrangements or methods for testing or calibrating a device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

이 발명은 사각 형태의 외각 프레임에 내부에 위치한 하나의 프레임이 가로 방향으로 상기 외각 프레임의 마주보는 두 프레임에 연결되어 있으며, 해당하는 가로 방향의 프레임에 일정 간격으로 프로브 핀이 형성되어 있는 구조를 가지며, 모듈레이션을 이용하여 TFT-LCD를 측정할 때, 이웃하는 TFT-LCD를 측정할 때 프레임의 걸림이 없이 자연스럽게 측정할 수 있도록 하여 개핑(gapping) 시간을 줄일 수 있고, 4매용 또는 6매용의 프로브 프레임을 따로 제작할 필요없도록 하여 작업 효율을 향상시키도록 하는 효과가 있다.

Description

어레이 테스터용 프로브 프레임
이 발명은 어레이 테스터(array tester)용 프로브 프레임(probe frame)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면, 4매 또는 6매 그라스(glass)의 어레이를 검사하기 위해 사각 형태의 외각 프레임과 상기 사각 형태를 반으로 구분짓는 가로 방향의 내부 프레임을 가진 어레이 테스터용 프로브 프레임에 관한 것이다.
일반적으로, 박막 트랜지스터(TFT:Thin Film Transistor) 액정 표시 소자(LCD:Liquid Crystal Display)의 제작에 있어서, 박막 트랜지스터 액정 표시 소자의 전기적인 특성 및 전기적인 광학 특성을 평가하기 위해 여러 종류의 테스트가 수행되고 있다.
그중 어레이 테스트(test)는 정전기에 의해 제품의 파손을 방지하기 위해 설치된 쇼팅 바(shorting bar)에 프로브 프레임의 프로브 핀을 접촉시키고, 신호를 인가하여 ITO(Indium Tin Oxide) 전극에서 출력하는 신호를 검사하여 양/불을 판정한다.
그러므로, 상기와 같은 어레이 테스트를 위해서는 프로브 프레임이 TFT가 제작된 그라스 위에 얹히는 구조가 되어야 한다.
상기에서 ITO 전극에서 출력하는 신호를 검사하기 위해서는 ITO 전극에서 출력하는 신호를 감지하는 모듈레이터(modulator) 즉, 센서(sensor)를 필요로 한다.
첨부한 도 1은 종래의 6매 그라스용 프로브 프레임의 구조를 나타낸 상태도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 프로브 프레임은 사각 형태의 프레임이 테두리를 이루고, 내부에 동일한 크기의 6개의 사각 셀(cell)을 가지기 위해 가로 방향의 프레임(1)이 하나, 세로 방향의 프레임(2, 3) 2개가 테두리에 접촉되어 있으며, 가로 방향의 3개의 프레임의 각 프레임에 일정 간격으로 3개의 프로브 핀(4)이 형성되어 있는 구조이다.
그래서, 그라스에 제작된 6개의 TFT에 대한 종래의 어레이 테스트는 우선 프로브 프레임의 각 셀에 각 TFT가 위치하도록 그라스 위에 얹는다.
그런다음, 모듈레이터를 6개의 셀중 해당 셀에 위치하도록 하여 그라스에 밀차시켜 상기 프로브 핀(8)이 쇼트 방에 접촉되도록 한 다음, 해당 TFT를 검사한다.
그리고, 모듈레이터를 다음 셀에 위치한 TFT를 검사하기 위해 모듈레이터를 들어 올려 옮긴 후 다음 셀에 내려서 해당 TFT를 검사한다.
상기와 같은 동작을 6번 반복하여 6개의 TFT를 모두 검사한다.
또한, 그라스에 4개의 TFT가 제작된 경우에, 4매 그라스용 프로브 프레임을 사용하므로써 상기와 같은 검사동작을 4번 반복해야 한다.
따라서, 종래의 어레이 테스트는 모듈레이터를 들어 올려 옮기는 과정이 많으므로 검사시간이 길어지고, 4매 TFT를 검사할 때와 6매 TFT 또는 그외의 매수의 TFT를 검사하기 위해서 프로브 프레임을 교체하는 효율성 저하와 가격 상승을 유발시키는 문제점이 있다.
따라서, 이 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 동일한 크기의 2개의 직사각형을 가지는 형태의 프로브 프레임으로 4매 또는 6매 또는 그외 매수의 TFT의 양/불을 용이하게 검사할 수 있도록 하는 어레이 테스트용 프로브 프레임을 제공한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서의 프로브 프레임은
사각 형태의 외각 프레임에 내부에 위치한 하나의 프레임이 가로 방향으로 상기 외각 프레임의 마주보는 두 프레임에 연결되어 있으며, 해당하는 가로 방향의 프레임에 일정 간격으로 프로브 핀이 형성되어 있는 구조를 가진다.
상기한 구성에 의하여, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 2는 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임의 상태도이다.
첨부한 도 2에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임은,
외측에 사각 모양으로 외곽 프레임(10)이 형성되어 있고 내측에 내부 면적을 양분하는 일직선의 프레임(20)이 가로 방향으로 상기 외곽 프레임(10)의 마주보는 프레임에 연결되어 있으며 상기 프레임(20)과 상기 외곽 프레임(10)의 가로 방향의 프레임 하나에 일정 간격으로 형성되어 있는 프로브 핀(30)이 형성되어 있다.
도 3은 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임을 이용하여 검사되어지는 TFT가 제작된 그라스의 상태도이다.
첨부한 도 3에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임을 이용하여 검사되어지는 TFT는 그리스(40) 위에 4매 또는 6매가 제작되어 있으며, 도시하지 않은 패드의 외측에 쇼팅 바(50)가 형성되어 있다.
이하, 이 발명의 바람직한 실시예를 첨부한다. 그러나, 하기한 실시예는 이 발명의 바람직한 한 실시예일 뿐 이 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
우선, TFT-LCD의 양/불을 판정하기 위해, 도 2에 도시된 프로브 프레임을 도 3에 도시한 그라스(40)에 얹는다.
이때, 상기 그라스(40)에 제작된 TFT-LCD가 상기 프로브 프레임의 셀에 드러나도록 해야한다.
상기 프로브 프레임은 2개의 직사각형 셀을 가지도록, 직사각 형태로 외곽 프레임(10)이 형성되어 있고, 내부에 위치한 하나의 프레임(20)이 가로 방향으로 상기 외곽 프레임(10)의 마주보는 프레임에 연결되어 있으며, 상기 프레임(20)과 상기 외곽 프레임(10)의 아래측 가로방향 프레임에 일정 간격으로 3개의 프로브 핀(30)이 형성되어 있다.
상기와 같은 구조를 가지는 프로브 프레임의 셀에 모듈레이션은 위치하고, 상기 그라스(40)에 밀착하여 상기 그라스(40)에 제작된 소정 TFT-LCD의 불량 여부를 측정한다.
그런다음, 모듈레이션은 자연스럽게 옆측으로 이동하여 다음 TFT-LCD의 불량 여부를 측정한다.
따라서, 모듈레이션은 이 발명의 어레이 테스터용 프로브 프레임의 구조에 따라 상기 그라스(40)에 제작된 4매 또는 6매의 TFT-LCD를 빠르고 쉽게 측정할 수 있다.
이 발명은 모듈레이션을 이용하여 TFT-LCD를 측정할 때, 이웃하는 TFT-LCD를 측정할 때 프레임의 걸림이 없이 자연스럽게 측정할 수 있도록 하여 개핑(gapping) 시간을 줄일 수 있고, 4매용 또는 6매용의 프로브 프레임을 따로 제작할 필요없도록 하여 작업 효율을 향상시키도록 하는 효과가 있다.
도 1은 종래의 프로브 프레임의 상태도이고,
도 2는 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임의 상태도이고,
도 3은 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임을 이용하여 검사되어지는 TFT가 제작된 그라스의 상태도이다.

Claims (2)

  1. 사각 형태의 외각 프레임에 내부에 위치한 하나의 프레임이 가로 방향으로 상기 외각 프레임의 마주보는 두 프레임에 연결되어 있으며, 해당하는 가로 방향의 프레임에 일정 간격으로 2 이상의 프로브 핀이 형성되어 있는 구조를 가지는 어레이 테스터용 프로브 프레임.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 프로브 핀은
    내부에 위치한 프레임과 외각 프레임의 가로 방향 프레임 중 적어도 하나에 2 이상이 일정 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 프로브 프레임.
KR1019970040650A 1997-08-25 1997-08-25 어레이테스터용프로브프레임 KR100490054B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970040650A KR100490054B1 (ko) 1997-08-25 1997-08-25 어레이테스터용프로브프레임

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970040650A KR100490054B1 (ko) 1997-08-25 1997-08-25 어레이테스터용프로브프레임

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990017655A KR19990017655A (ko) 1999-03-15
KR100490054B1 true KR100490054B1 (ko) 2005-09-05

Family

ID=37304466

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970040650A KR100490054B1 (ko) 1997-08-25 1997-08-25 어레이테스터용프로브프레임

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100490054B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100892592B1 (ko) * 2007-06-22 2009-04-08 주식회사 파이컴 전기적 검사 장치 및 전기적 검사 장치의 조립 방법
TW200912348A (en) * 2007-06-22 2009-03-16 Phicom Corp Electric inspection apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61170672A (ja) * 1985-01-25 1986-08-01 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
KR890005524A (ko) * 1987-09-29 1989-05-15 고다까 토시오 어라이먼트 기능을 갖는 액정표시체의 프로우브 장치 및 액정 표시체의 위치맞춤 방법
KR970062700A (ko) * 1996-02-06 1997-09-12 허기호 Lcd 검사용 프로브 블록
KR19990003791A (ko) * 1997-06-26 1999-01-15 구자홍 액정표시패널의 탐침패드

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61170672A (ja) * 1985-01-25 1986-08-01 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
KR890005524A (ko) * 1987-09-29 1989-05-15 고다까 토시오 어라이먼트 기능을 갖는 액정표시체의 프로우브 장치 및 액정 표시체의 위치맞춤 방법
KR970062700A (ko) * 1996-02-06 1997-09-12 허기호 Lcd 검사용 프로브 블록
KR19990003791A (ko) * 1997-06-26 1999-01-15 구자홍 액정표시패널의 탐침패드

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990017655A (ko) 1999-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100281058B1 (ko) 액정표시장치
CN100416344C (zh) 主动元件阵列基板、液晶显示面板与两者的检测方法
KR940006156B1 (ko) 액정표시소자 제조방법
JP4394660B2 (ja) 能動素子配列基板、液晶表示パネル及びその検査方法
KR20070118977A (ko) 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 검사 방법
EP0493025B1 (en) An active matrix substrate inspecting device
KR20020050037A (ko) 신호라인 검사를 위한 액정표시장치
WO2006062812A2 (en) Line short localization in lcd pixel arrays
KR0142014B1 (ko) 표시장치의 검사장치 및 검사방법
JPH0558662B2 (ko)
US20060103415A1 (en) Array substrate inspecting method and array substrate inspecting device
KR100490054B1 (ko) 어레이테스터용프로브프레임
KR20060020652A (ko) 어레이 기판의 검사 방법
JP2007171428A (ja) 表示パネルの製造方法、検査方法および検査装置
JP2008065152A (ja) 液晶表示パネル、検査装置、および検査方法
KR20070035317A (ko) 전계 검출 센서
KR100471782B1 (ko) 액정표시장치의불량검출방법
KR102016076B1 (ko) 평판 표시 소자의 검사 장치 및 검사 방법
KR100632680B1 (ko) 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 검사방법
KR20060020651A (ko) 어레이 기판의 검사 방법
KR20050107751A (ko) 박막 트랜지스터 능동 매트릭스 기판의 검사 장치 및 방법
JP2004045763A (ja) 液晶表示パネル検査方法及びその検査装置
KR200179140Y1 (ko) 액정표시장치
KR100911104B1 (ko) 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 및 그 제조방법
JP2612444B2 (ja) 液晶表示装置用基板検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120416

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee