KR100490054B1

KR100490054B1 - Probe Frames for Array Testers

Info

Publication number: KR100490054B1
Application number: KR1019970040650A
Authority: KR
Inventors: 이상경
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-08-25
Filing date: 1997-08-25
Publication date: 2005-09-05
Also published as: KR19990017655A

Abstract

이 발명은 사각 형태의 외각 프레임에 내부에 위치한 하나의 프레임이 가로 방향으로 상기 외각 프레임의 마주보는 두 프레임에 연결되어 있으며, 해당하는 가로 방향의 프레임에 일정 간격으로 프로브 핀이 형성되어 있는 구조를 가지며, 모듈레이션을 이용하여 TFT-LCD를 측정할 때, 이웃하는 TFT-LCD를 측정할 때 프레임의 걸림이 없이 자연스럽게 측정할 수 있도록 하여 개핑(gapping) 시간을 줄일 수 있고, 4매용 또는 6매용의 프로브 프레임을 따로 제작할 필요없도록 하여 작업 효율을 향상시키도록 하는 효과가 있다.The present invention has a structure in which one frame located inside a rectangular outer frame is connected to two opposite frames of the outer frame in a horizontal direction, and a probe pin is formed at a predetermined interval in a corresponding horizontal frame. When measuring the TFT-LCD using modulation, it is possible to measure the neighboring TFT-LCD naturally without the frame jam, thereby reducing the gapping time, and the four or six sheets There is an effect to improve the work efficiency by eliminating the need to make a separate probe frame.

Description

Probe Frames for Array Testers

이 발명은 어레이 테스터(array tester)용 프로브 프레임(probe frame)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면, 4매 또는 6매 그라스(glass)의 어레이를 검사하기 위해 사각 형태의 외각 프레임과 상기 사각 형태를 반으로 구분짓는 가로 방향의 내부 프레임을 가진 어레이 테스터용 프로브 프레임에 관한 것이다.The present invention relates to a probe frame for an array tester, and more specifically, to the rectangular frame and the rectangular form for inspecting an array of four or six glass. A probe frame for an array tester having a transversely divided internal frame in half.

일반적으로, 박막 트랜지스터(TFT:Thin Film Transistor) 액정 표시 소자(LCD:Liquid Crystal Display)의 제작에 있어서, 박막 트랜지스터 액정 표시 소자의 전기적인 특성 및 전기적인 광학 특성을 평가하기 위해 여러 종류의 테스트가 수행되고 있다.In general, in the fabrication of thin film transistor (TFT) liquid crystal displays (LCDs), various types of tests are performed to evaluate electrical and electrical optical characteristics of the thin film transistor liquid crystal display devices. Is being performed.

그중 어레이 테스트(test)는 정전기에 의해 제품의 파손을 방지하기 위해 설치된 쇼팅 바(shorting bar)에 프로브 프레임의 프로브 핀을 접촉시키고, 신호를 인가하여 ITO(Indium Tin Oxide) 전극에서 출력하는 신호를 검사하여 양/불을 판정한다.Among them, the array test is made by contacting the probe pin of the probe frame with a shorting bar installed to prevent the product from being damaged by static electricity, and applying a signal to output a signal output from an indium tin oxide (ITO) electrode. Examine to determine whether it is good or bad.

그러므로, 상기와 같은 어레이 테스트를 위해서는 프로브 프레임이 TFT가 제작된 그라스 위에 얹히는 구조가 되어야 한다.Therefore, in order to perform the array test as described above, the probe frame should be structured on the glass on which the TFT is manufactured.

상기에서 ITO 전극에서 출력하는 신호를 검사하기 위해서는 ITO 전극에서 출력하는 신호를 감지하는 모듈레이터(modulator) 즉, 센서(sensor)를 필요로 한다.In order to inspect the signal output from the ITO electrode, a modulator (sensor) that senses the signal output from the ITO electrode is required.

첨부한 도 1은 종래의 6매 그라스용 프로브 프레임의 구조를 나타낸 상태도이다.1 is a state diagram showing the structure of a conventional six-glass probe frame.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 프로브 프레임은 사각 형태의 프레임이 테두리를 이루고, 내부에 동일한 크기의 6개의 사각 셀(cell)을 가지기 위해 가로 방향의 프레임(1)이 하나, 세로 방향의 프레임(2, 3) 2개가 테두리에 접촉되어 있으며, 가로 방향의 3개의 프레임의 각 프레임에 일정 간격으로 3개의 프로브 핀(4)이 형성되어 있는 구조이다.As shown in FIG. 1, in the conventional probe frame, a frame of a rectangular shape forms an edge, and in order to have six rectangular cells of the same size therein, one frame 1 in a horizontal direction is disposed in a vertical direction. Two frames 2 and 3 are in contact with the rim, and three probe pins 4 are formed at predetermined intervals in each frame of the three frames in the horizontal direction.

그래서, 그라스에 제작된 6개의 TFT에 대한 종래의 어레이 테스트는 우선 프로브 프레임의 각 셀에 각 TFT가 위치하도록 그라스 위에 얹는다.Thus, the conventional array test for six TFTs fabricated in the glass is first placed on the glass so that each TFT is located in each cell of the probe frame.

그런다음, 모듈레이터를 6개의 셀중 해당 셀에 위치하도록 하여 그라스에 밀차시켜 상기 프로브 핀(8)이 쇼트 방에 접촉되도록 한 다음, 해당 TFT를 검사한다.Then, the modulator is placed in the corresponding cell of the six cells so as to be pushed to the glass so that the probe pin 8 is in contact with the shot chamber, and the corresponding TFT is examined.

그리고, 모듈레이터를 다음 셀에 위치한 TFT를 검사하기 위해 모듈레이터를 들어 올려 옮긴 후 다음 셀에 내려서 해당 TFT를 검사한다.Then, the modulator is lifted up and moved to the next cell to check the TFT located in the next cell, and the next cell is inspected.

상기와 같은 동작을 6번 반복하여 6개의 TFT를 모두 검사한다.The above operation is repeated six times to inspect all six TFTs.

또한, 그라스에 4개의 TFT가 제작된 경우에, 4매 그라스용 프로브 프레임을 사용하므로써 상기와 같은 검사동작을 4번 반복해야 한다.In the case where four TFTs are produced in the glass, the above inspection operation must be repeated four times by using the four glass probe frames.

따라서, 종래의 어레이 테스트는 모듈레이터를 들어 올려 옮기는 과정이 많으므로 검사시간이 길어지고, 4매 TFT를 검사할 때와 6매 TFT 또는 그외의 매수의 TFT를 검사하기 위해서 프로브 프레임을 교체하는 효율성 저하와 가격 상승을 유발시키는 문제점이 있다.Therefore, the conventional array test has a lot of process of lifting and moving the modulator, which increases the inspection time, and decreases the efficiency of replacing the probe frame to inspect four TFTs and six TFTs or other TFTs. And there is a problem that causes the price rise.

따라서, 이 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 동일한 크기의 2개의 직사각형을 가지는 형태의 프로브 프레임으로 4매 또는 6매 또는 그외 매수의 TFT의 양/불을 용이하게 검사할 수 있도록 하는 어레이 테스트용 프로브 프레임을 제공한다.Accordingly, the present invention is to solve the conventional problem, it is possible to easily check the quantity / non-payment of 4 or 6 or other number of TFTs with a probe frame of the shape having two rectangles of the same size Probe frame for array testing is provided.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서의 프로브 프레임은Probe frame as a means for achieving the above technical problem is

사각 형태의 외각 프레임에 내부에 위치한 하나의 프레임이 가로 방향으로 상기 외각 프레임의 마주보는 두 프레임에 연결되어 있으며, 해당하는 가로 방향의 프레임에 일정 간격으로 프로브 핀이 형성되어 있는 구조를 가진다.One frame located inside the quadrangular outer frame is connected to two frames facing each other in the horizontal direction, and has a structure in which probe pins are formed at predetermined intervals in the corresponding horizontal frame.

상기한 구성에 의하여, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.By the above-described configuration, a person having ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임의 상태도이다. 2 is a state diagram of a probe frame for an array tester according to an embodiment of the present invention.

첨부한 도 2에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임은,As shown in FIG. 2, the probe frame for an array tester according to an embodiment of the present invention,

외측에 사각 모양으로 외곽 프레임(10)이 형성되어 있고 내측에 내부 면적을 양분하는 일직선의 프레임(20)이 가로 방향으로 상기 외곽 프레임(10)의 마주보는 프레임에 연결되어 있으며 상기 프레임(20)과 상기 외곽 프레임(10)의 가로 방향의 프레임 하나에 일정 간격으로 형성되어 있는 프로브 핀(30)이 형성되어 있다.The outer frame 10 is formed in a square shape on the outside and a straight frame 20 dividing the inner area inside is connected to the frame facing the outer frame 10 in the horizontal direction and the frame 20 And probe pins 30 formed at predetermined intervals in one frame in the horizontal direction of the outer frame 10.

도 3은 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임을 이용하여 검사되어지는 TFT가 제작된 그라스의 상태도이다.3 is a state diagram of a glass in which a TFT to be inspected using a probe frame for an array tester according to an embodiment of the present invention is manufactured.

첨부한 도 3에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임을 이용하여 검사되어지는 TFT는 그리스(40) 위에 4매 또는 6매가 제작되어 있으며, 도시하지 않은 패드의 외측에 쇼팅 바(50)가 형성되어 있다.As shown in FIG. 3, four or six TFTs to be inspected using the probe frame for the array tester according to the embodiment of the present invention are fabricated on the grease 40, and on the outside of the pad (not shown). The shorting bar 50 is formed.

이하, 이 발명의 바람직한 실시예를 첨부한다. 그러나, 하기한 실시예는 이 발명의 바람직한 한 실시예일 뿐 이 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention are attached. However, the following examples are only preferred embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to the following examples.

우선, TFT-LCD의 양/불을 판정하기 위해, 도 2에 도시된 프로브 프레임을 도 3에 도시한 그라스(40)에 얹는다.First, in order to determine the amount / non-reflection of the TFT-LCD, the probe frame shown in FIG. 2 is placed on the glass 40 shown in FIG.

이때, 상기 그라스(40)에 제작된 TFT-LCD가 상기 프로브 프레임의 셀에 드러나도록 해야한다.At this time, the TFT-LCD fabricated in the glass 40 should be exposed to the cells of the probe frame.

상기 프로브 프레임은 2개의 직사각형 셀을 가지도록, 직사각 형태로 외곽 프레임(10)이 형성되어 있고, 내부에 위치한 하나의 프레임(20)이 가로 방향으로 상기 외곽 프레임(10)의 마주보는 프레임에 연결되어 있으며, 상기 프레임(20)과 상기 외곽 프레임(10)의 아래측 가로방향 프레임에 일정 간격으로 3개의 프로브 핀(30)이 형성되어 있다.The probe frame has an outer frame 10 formed in a rectangular shape to have two rectangular cells, and one frame 20 located therein is connected to a frame facing the outer frame 10 in a horizontal direction. Three probe pins 30 are formed at predetermined intervals in the horizontal frame below the frame 20 and the outer frame 10.

상기와 같은 구조를 가지는 프로브 프레임의 셀에 모듈레이션은 위치하고, 상기 그라스(40)에 밀착하여 상기 그라스(40)에 제작된 소정 TFT-LCD의 불량 여부를 측정한다.The modulation is located in the cell of the probe frame having the above structure, and close to the glass 40 to measure whether the predetermined TFT-LCD manufactured in the glass 40 is defective.

그런다음, 모듈레이션은 자연스럽게 옆측으로 이동하여 다음 TFT-LCD의 불량 여부를 측정한다.Then, the modulation naturally moves sideways to measure the failure of the next TFT-LCD.

따라서, 모듈레이션은 이 발명의 어레이 테스터용 프로브 프레임의 구조에 따라 상기 그라스(40)에 제작된 4매 또는 6매의 TFT-LCD를 빠르고 쉽게 측정할 수 있다. Accordingly, modulation can quickly and easily measure four or six TFT-LCDs fabricated in the glass 40 according to the structure of the probe frame for the array tester of the present invention.

이 발명은 모듈레이션을 이용하여 TFT-LCD를 측정할 때, 이웃하는 TFT-LCD를 측정할 때 프레임의 걸림이 없이 자연스럽게 측정할 수 있도록 하여 개핑(gapping) 시간을 줄일 수 있고, 4매용 또는 6매용의 프로브 프레임을 따로 제작할 필요없도록 하여 작업 효율을 향상시키도록 하는 효과가 있다.The present invention can reduce the gapping time by measuring the TFT-LCD using modulation, and naturally measuring the frame of the adjacent TFT-LCD without jamming the frame. There is an effect to improve the work efficiency by eliminating the need to make a separate probe frame.

도 1은 종래의 프로브 프레임의 상태도이고,1 is a state diagram of a conventional probe frame,

도 2는 이 발명의 실시예에 따른 어레이 테스터용 프로브 프레임의 상태도이고,2 is a state diagram of a probe frame for an array tester according to an embodiment of the present invention;

Claims

One frame located inside a rectangular outer frame is connected to two opposite frames of the outer frame in a horizontal direction, and has two or more probe pins formed at predetermined intervals in a corresponding horizontal frame. Probe frame for array testers.

The method of claim 1, wherein the probe pin

At least one of the frame located inside and the horizontal frame of the outer frame is at least one probe frame for array tester, characterized in that formed at regular intervals.