KR940015570A - 액정 표시소자의 전극패턴 검사장치 - Google Patents

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KR940015570A
KR940015570A KR1019920026575A KR920026575A KR940015570A KR 940015570 A KR940015570 A KR 940015570A KR 1019920026575 A KR1019920026575 A KR 1019920026575A KR 920026575 A KR920026575 A KR 920026575A KR 940015570 A KR940015570 A KR 940015570A
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KR1019920026575A
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허중범
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이헌조
주식회사 금성사
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Abstract

본 발명은 액정 표시소자의 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 특히 검사공정과 검사시간 및 검사인원을 축소하고 검사시 전극패턴에 이물, 불순물이 혼입되는 것을 방지하여 검사의 신뢰도를 향상시킬 수 있게 한 것이다.
일반적으로 유리판의 전극패턴을 탐침으로 검사하여 쇼트 및 오픈 유무를 검출 모니터에 표시케 하는데 이러한 검사장치는 통상 별도로 구비되어 있어 검사공정과 시간 및 검사작업 인원이 증가하는 것이고, 유리판의 운반에 따라 그 전극패턴에 이물질등이 혼입되어 검사의 신뢰도를 저하시키는 것이었다.
본 발명은 박리공정 직후의 통과라인에 센서가 설치된 감지부와, 탐침이 연결된 지지대와 함께 모니터가 설치된 검사부와, 검사완료된 유리판을 이송시키는 반출부로 구성한 것이다.

Description

액정 표시소자의 전극패턴 검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 검사장치의 평면도, 제5도는 본 발명 검사장치의 측면도.

Claims (3)

  1. 박리공정 직후의 통과라인(12)상에 유리판(2)이 감지되는 감지부(20)와, 유리판(2)에 형성된 전극패턴(3)이 검사되는 검사부(21)와, 검사완료된 유리판(2)을 언로더부에 이송케 하는 반출부(22)로 구성된 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 전극패턴 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지부(20)에는 감지센서(23)가 설치되어 유리판(2)이 감지되는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 전극패턴 검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 전극패턴(3)에 접촉, 쇼트 및 오픈 유무를 검출하여 모니터(11)에 신호를 인가시키는 탐침(10)을 지지대(24)에 연결하고 지지(24)는 검사부(21)에서 상, 하 운동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 전극패턴 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920026575A 1992-12-30 1992-12-30 액정 표시소자의 전극패턴 검사장치 KR940015570A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980020101A (ko) * 1996-09-05 1998-06-25 손욱 액정표시소자의 ito 박막 패턴의 단락 및 오픈 검사방법
KR100829739B1 (ko) * 2002-05-31 2008-05-16 삼성에스디아이 주식회사 평판표시소자의 전극단락 검출장치 및 전극단락 검출방법

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