KR102533802B1 - 절삭 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제) 절삭 블레이드를 스핀들의 선단에 장착된 블레이드 마운트에 신속히 또한 확실하게 장착 가능한 블레이드 교환 장치를 구비한 절삭 장치를 제공하는 것이다.
(해결 수단) 블레이드 교환 장치를 구비한 절삭 장치로서, 그 블레이드 교환 장치는, 절삭 블레이드의 원형 기대를 자유롭게 착탈할 수 있도록 유지하는 유지부와, 유지부를 지지하고, 그 절삭 블레이드의 삽입공을 블레이드 마운트의 보스부와 대면하는 착탈 장착 위치로 이동시키는 이동 지지부와, 그 이동 지지부에 대하여 그 유지부를 자유롭게 기울어지도록 연결하는 연결 기구를 포함하는 블레이드 착탈부를 구비한다. 그 연결 기구는, 그 유지부의 복수 지점에서 그 유지부를 반대 방향으로 잡아당기면서 그 이동부에 고정하는 복수의 탄성 부재쌍을 포함하고, 그 복수의 탄성 부재의 작용하는 힘이 균형을 이뤄 그 유지부를 경동 가능하게 공중에 지지한다.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}
본 발명은, 블레이드 교환 장치를 구비한 절삭 장치에 관한 것이다.
복수의 디바이스가 표면에 형성된 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼, 수지 패키지 기판 등의 판상의 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭 가공하여 칩으로 분할하는 절삭 장치가 알려져 있다. 절삭 블레이드의 절삭날은 사용함에 따라 소모되기 때문에, 정기적으로 교환할 필요가 있다.
절삭 블레이드를 교환할 때에는, 절삭 블레이드를 절삭 장치의 스핀들의 선단에 장착된 블레이드 마운트의 보스부에 삽입하여 고정 너트로 고정하는데, 블레이드 마운트의 보스부에 절삭 블레이드를 끼워 맞추는 데에는 다소의 기술을 필요로 하여, 절삭 블레이드를 비스듬히 삽입하거나 하면, 블레이드 마운트에 흠집이 나거나, 절삭 블레이드가 비스듬히 고정되거나 하기 때문에, 정상적인 가공을 실시할 수 없게 된다는 우려가 있다.
그 때문에, 절삭 블레이드의 교환 작업을 기계로 실시하는 자동 블레이드 교환 장치가 개발되었다 (예를 들어, 일본 특허공보 제2617876호 및 일본 공개특허공보 2007-208114호 참조). 자동 블레이드 교환 장치에 의해, 절삭 블레이드의 교환을 신속히 할 수 있게 되었다.
일본 특허공보 제2617876호 일본 공개특허공보 2007-208114호
그러나, 종래의 자동 블레이드 교환 장치에서는, 절삭 블레이드를 블레이드 마운트의 보스부에 착탈하는 자동 블레이드 교환 장치의 유지부의 축심이 보스부의 축심과 일직선 상이 되도록 위치 조정을 정확히 할 필요가 있어, 이 위치 조정에 상당히 공수가 소요된다는 과제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 절삭 블레이드를 스핀들의 선단에 장착된 블레이드 마운트에 신속히 또한 확실하게 장착 가능한 블레이드 교환 장치를 구비한 절삭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 절삭 장치로서, 스핀들의 선단에 장착된 블레이드 마운트에 고정되는 절삭 블레이드로 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛과, 그 절삭 유닛을 그 스핀들의 축심 방향으로 이동하는 이동 기구와, 중앙에 삽입공을 갖는 원형 기대 (基臺) 와 그 원형 기대의 외주연에 고정된 절삭날을 포함하는 절삭 블레이드를 그 블레이드 마운트에 착탈하여 교환하는 블레이드 교환 장치를 구비하고, 그 블레이드 마운트는, 그 절삭 블레이드의 그 삽입공에 삽입 통과되고, 그 스핀들의 축심 방향으로 연장되는 보스부와, 그 보스부의 후방에서 그 보스부와 일체적으로 직경 방향으로 돌출되어 형성되고, 그 절삭 블레이드가 맞부딪치는 플랜지부를 포함하고, 그 블레이드 교환 장치는, 그 절삭 블레이드의 그 원형 기대를 자유롭게 착탈할 수 있도록 유지하는 제 1 유지부와, 그 제 1 유지부를 지지하고, 그 절삭 블레이드의 그 삽입공을 그 블레이드 마운트의 그 보스부와 대면하는 착탈 장착 위치로 이동시키는 이동 지지부와, 그 이동 지지부에 대하여 그 제 1 유지부를 자유롭게 기울어지도록 연결하는 제 1 연결 기구를 포함하는 블레이드 착탈부를 구비하고, 그 제 1 연결 기구는, 그 제 1 유지부의 복수 지점에서 그 제 1 유지부를 반대 방향으로 잡아당기면서 그 이동 지지부에 고정하는 복수의 제 1 탄성 부재쌍을 포함하고, 그 복수의 제 1 탄성 부재쌍의 작용하는 힘이 균형을 이뤄 그 제 1 유지부를 경동 (傾動) 가능하게 공중에 지지하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다.
바람직하게는, 그 블레이드 교환 장치는, 그 블레이드 마운트의 그 보스부에 삽입된 그 절삭 블레이드를 그 보스부에 고정하는 고정 너트를 자유롭게 착탈할 수 있도록 유지하는 제 2 유지부와, 그 이동 지지부에 배치 형성되고 그 보스부에 끼워 맞춰진 그 고정 너트를 회전하는 회전 수단과, 그 이동 지지부에 대하여 그 제 2 유지부를 자유롭게 기울어지도록 연결하는 제 2 연결 기구를 포함하는 너트 회동부 (回動部) 를 추가로 구비하고 있다.
바람직하게는, 복수의 제 1 탄성 부재쌍은 서로 끌어당기는 탄성 부재의 탄성력이 동등한 코일 스프링쌍으로 구성된다. 바람직하게는, 제 1 유지부는, 절삭 블레이드의 원형 기대를 파지하는 복수의 파지 클로 또는 원형 기대를 흡인 유지하는 흡인부를 구비하고 있다.
바람직하게는, 제 1 연결 기구는, 유지한 절삭 블레이드의 원형 기대의 삽입공의 중앙에 대응하는 위치를 제 1 유지부의 축심으로 한다. 바람직하게는, 고정 너트는 복수의 핀공을 갖고, 너트 회동부의 제 2 유지부는 고정 너트의 핀공에 삽입 가능한 복수의 핀을 갖고 있다.
블레이드 교환 장치를 구비한 본 발명의 절삭 장치에 의하면, 절삭 블레이드의 원형 기대를 유지하는 블레이드 교환 장치의 제 1 유지부가 제 1 연결 기구에 의해 자유롭게 기울어지도록 제 1 이동부에 연결되어 있기 때문에, 제 1 유지부에 의해 파지 또는 흡인 유지한 절삭 블레이드가 블레이드 마운트의 보스부에 대하여 다소 기울어져 있었다고 해도, 절삭 블레이드의 삽입공을 보스부에 삽입할 때 보스부를 따라 절삭 블레이드의 각도가 자연히 조정되어, 절삭 블레이드를 확실하게 블레이드 마운트에 장착할 수 있다.
또, 블레이드 교환 장치의 너트 회동부에 의해 고정 너트를 블레이드 마운트의 보스부에 체결하거나 보스부로부터 분리할 때에, 제 2 유지부가 제 2 연결 기구에 의해 제 2 이동부에 자유롭게 기울어지도록 연결되어 있기 때문에, 제 2 유지부에 의해 고정한 고정 너트가 블레이드 마운트의 보스부에 대하여 다소 기울어져 있었다고 해도, 고정 너트를 보스부에 삽입할 때 보스부를 따라 고정 너트의 각도가 자연히 조정되어, 고정 너트를 확실하게 블레이드 마운트의 보스부에 장착할 수 있다.
도 1 은, 본 발명 실시형태의 절삭 장치의 사시도이다.
도 2 는, 블레이드 교환 장치의 사시도이다.
도 3 은, 도 3(A) 는 절삭 유닛의 분해 사시도, 도 3(B) 는 절삭 유닛의 일부 단면 측면도이다.
도 4 는, 제 1 실시형태의 블레이드 착탈부의 사시도이다.
도 5 는, 제 1 실시형태의 블레이드 착탈부를 이동부에 고정한 상태의 도 4 의 화살표 A 방향에서 본 일부 단면 측면도이다.
도 6 은, 제 2 실시형태의 블레이드 착탈부의 사시도이다.
도 7 은, 제 3 실시형태의 블레이드 착탈부의 사시도이다.
도 8 은, 제 4 실시형태의 블레이드 착탈부의 연결 기구를 나타내는 모식도이다.
도 9 는, 너트 회동부의 분해 사시도이다.
도 10 은, 도 10(A) 는 너트 회동부의 사시도, 도 10(B) 는 도 10(A) 의 10B - 10B 선 단면도이다.
도 11 은, 도 9 의 상태를 90°회전한 너트 회동부의 분해 사시도이다.
도 12 는, 도 12(A) 는 도 10(A) 를 90°회전한 상태의 너트 회동부의 사시도, 도 12(B) 는 도 12(A) 의 12B - 12B 선 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1 을 참조하면, 본 발명 실시형태에 관련된 블레이드 교환 장치 (72) 를 구비한 절삭 장치 (2) 의 사시도가 나타나 있다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (2) 는, 각 구성 요소를 지지하는 장치 기대 (4) 를 구비하고 있다. 장치 기대 (4) 의 상면에는, X 축 방향 (가공 이송 방향) 으로 긴 사각형상의 개구 (4a) 가 형성되어 있다.
이 개구 (4a) 내에는, X 축 이동 테이블 (6) 과, 그 X 축 이동 테이블 (6) 을 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 이동 기구 (도시 생략) 와, X 축 이동 기구를 덮는 방진 방적 커버 (8) 가 형성되어 있다. 그 X 축 이동 기구는, X 축 방향에 평행한 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (도시 생략) 을 구비하고 있고, X 축 가이드 레일에는, X 축 이동 테이블 (6) 이 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
X 축 이동 테이블 (6) 의 하면측에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, X 축 가이드 레일에 평행한 X 축 볼 나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다. X 축 볼 나사의 일단부에는, X 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. X 축 펄스 모터에 의해 X 축 볼 나사를 회전시키면, X 축 이동 테이블 (6) 은 X 축 가이드 레일을 따라 X 축 방향으로 이동한다.
X 축 이동 테이블 (6) 상에는, 피가공물을 흡인, 유지하기 위한 척 테이블 (10) 이 형성되어 있다. 척 테이블 (10) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향) 에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (10) 은, 상기 서술한 X 축 이동 기구에 의해 X 축 방향으로 가공 이송된다.
척 테이블 (10) 의 표면 (상면) 은, 피가공물을 흡인, 유지하는 유지면 (10a) 으로 되어 있다. 이 유지면 (10a) 은, 척 테이블 (10) 의 내부에 형성된 유로 (도시 생략) 를 통해 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 척 테이블 (10) 의 주위에는, 피가공물을 고정하기 위한 클램프 (10b) 가 형성되어 있다.
피가공물은, 예를 들어, 반도체 웨이퍼이고, 환상 프레임에 유지된 테이프 상에 첩착 (貼着) 되어, 환상 프레임과 일체로 취급된다. 환상 프레임과 테이프를 사용하여 피가공물을 취급하면, 반송할 때에 발생하는 충격 등으로부터 그 피가공물을 보호할 수 있다. 또한, 그 테이프를 확장하면, 절삭 가공된 피가공물을 분할하거나, 분할 후의 칩의 간격을 넓히거나 할 수 있다. 또한, 환상 프레임과 테이프를 사용하지 않고, 피가공물을 단체 (單體) 로 절삭 가공해도 된다.
개구 (4a) 로부터 떨어진 장치 기대 (4) 의 전방의 모서리부에는, 장치 기대 (4) 로부터 측방으로 돌출된 돌출부 (12) 가 형성되어 있다. 돌출부 (12) 의 내부에는 공간이 형성되어 있고, 이 공간에는, 승강 가능한 카세트 엘리베이터 (16) 가 설치되어 있다. 카세트 엘리베이터 (16) 의 상면에는, 복수의 피가공물을 수용 가능한 카세트 (18) 가 탑재된다.
개구 (4a) 에 근접하는 위치에는, 상기 서술한 피가공물을 척 테이블 (10) 로 반송하는 반송 유닛 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 반송 유닛에 의해 카세트 (18) 로부터 꺼내진 피가공물은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (10a) 에 재치 (載置) 된다.
장치 기대 (4) 의 상면에는, 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛 (14) 을 지지하는 지지 구조 (20) 가, 개구 (4a) 의 상방으로 튀어나오도록 배치되어 있다. 지지 구조 (20) 의 전면 상부에는, 절삭 유닛 (14) 을 Y 축 방향 (산출 이송 방향) 및 Z 축 방향으로 이동시키는 절삭 유닛 이동 기구 (22) 가 형성되어 있다.
절삭 유닛 이동 기구 (22) 는, 지지 구조 (20) 의 전면에 배치되고 Y 축 방향에 평행한 1 쌍의 Y 축 가이드 레일 (24) 을 구비하고 있다. Y 축 가이드 레일 (24) 에는, 절삭 유닛 이동 기구 (22) 를 구성하는 Y 축 이동 플레이트 (26) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다. Y 축 이동 플레이트 (26) 의 이면측 (후면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Y 축 가이드 레일 (24) 에 평행한 Y 축 볼 나사 (28) 가 나사 결합되어 있다.
Y 축 볼 나사 (28) 의 일단부에는, Y 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. Y 축 펄스 모터에 의해 Y 축 볼 나사 (28) 를 회전시키면, Y 축 이동 플레이트 (26) 는, Y 축 가이드 레일 (24) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.
Y 축 이동 플레이트 (26) 의 표면 (전면) 에는, Z 축 방향에 평행한 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (30) 이 형성되어 있다. Z 축 가이드 레일 (30) 에는, Z 축 이동 플레이트 (32) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
Z 축 이동 플레이트 (32) 의 이면측 (후면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Z 축 가이드 레일 (30) 에 평행한 Z 축 볼 나사 (34) 가 나사 결합되어 있다. Z 축 볼 나사 (34) 의 일단부에는, Z 축 펄스 모터 (36) 가 연결되어 있다. Z 축 펄스 모터 (36) 에 의해 Z 축 볼 나사 (34) 를 회전시키면, Z 축 이동 플레이트 (32) 가, Z 축 가이드 레일 (30) 을 따라 Z 축 방향으로 이동한다.
Z 축 이동 플레이트 (32) 의 하부에는, 피가공물을 가공하는 절삭 유닛 (14) 과, 촬상 유닛 (38) 이 고정되어 있다. 절삭 유닛 이동 기구 (22) 에 의해, Y 축 이동 플레이트 (26) 를 Y 축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛 (14) 및 촬상 유닛 (38) 은 산출 이송되고, Z 축 이동 플레이트 (32) 를 Z 축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛 (14) 및 촬상 유닛 (38) 은 승강한다.
40 은 세정 유닛이고, 절삭 유닛 (14) 에 의해 절삭 가공이 실시된 피가공물은, 반송 기구 (도시 생략) 에 의해 척 테이블 (10) 로부터 세정 유닛 (40) 으로 반송된다. 세정 유닛 (40) 은, 통형상의 세정 공간 내에서 피가공물을 흡인 유지하는 스피너 테이블 (42) 을 구비하고 있다. 스피너 테이블 (42) 의 하부에는, 스피너 테이블 (42) 을 소정의 속도로 회전시키는 모터 등의 회전 구동원이 연결되어 있다.
스피너 테이블 (42) 의 상방에는, 피가공물을 향하여 세정용의 유체 (대표적으로는, 물과 에어를 혼합한 이류체) 를 분사하는 분사 노즐 (44) 이 배치 형성되어 있다. 피가공물을 유지한 스피너 테이블 (42) 을 회전시키면서 분사 노즐 (44) 로부터 세정용의 유체를 분사하면, 절삭 가공 후의 피가공물을 세정할 수 있다. 세정 유닛 (40) 에 의해 세정된 피가공물은, 반송 기구 (도시 생략) 에 의해 카세트 (18) 내에 수용된다.
절삭 유닛 (14) 은, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 하우징 (48) 중에 수용된 스핀들을 갖고 있다. 스핀들의 세경 선단부 (50) 는 선단으로 갈수록 가늘어지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있고, 스핀들 선단부 (스핀들 테이퍼부) (50) 의 단면 (端面) 에는 나사공 (52) 이 형성되어 있다.
54 는 블레이드 마운트이고, 원통상 보스부 (56) 와, 보스부 (56) 의 후방에서 보스부 (56) 와 일체적으로 직경 방향으로 돌출되어 형성된 플랜지부 (턱부) (58) 로 구성된다. 이 플랜지부 (58) 에 보스부 (56) 에 장착된 절삭 블레이드가 맞부딪친다.
원통상 보스부 (56) 의 외주에는 수나사 (60) 가 형성되어 있음과 함께, 그 내주에는 암나사 (62) 가 형성되어 있다. 블레이드 마운트 (54) 는 또한 테이퍼상의 걸어맞춤공 (64) 을 갖고 있다. 블레이드 마운트 (54) 의 걸어맞춤공 (64) 을 스핀들 테이퍼부 (50) 에 삽입하고, 나사 (68) 를 블레이드 마운트 (54) 의 걸어맞춤공 (64) 을 통과하여 나사공 (52) 에 나사 결합하여 단단히 조임으로써, 블레이드 마운트 (54) 가 스핀들 테이퍼부 (50) 에 장착된다.
절삭 블레이드 (66) 는 중앙에 삽입공 (66b) 을 갖는 원형 기대 (66a) 의 외주에 전기 주조된 절삭날 (66c) 이 고정되어 있는 소위 허브 블레이드이다. 70 은 고정 너트이고, 내주에 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 형성된 수나사 (60) 에 나사 결합하는 암나사 (71) 가 형성되어 있다. 고정 너트 (70) 는 또한, 표면에 4 개의 핀공 (76) 을 갖고 있다. 이들 핀공 (76) 내에는, 도 10 에 나타낸 너트 회동부 (86) 의 핀 (164) 이 삽입된다.
절삭 블레이드 (66) 를 스핀들에 장착하려면, 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 삽입하고, 절삭 블레이드에 겹쳐 고정 너트 (70) 의 암나사 (71) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 형성된 수나사 (60) 에 나사 결합하여 단단히 조임으로써, 절삭 블레이드 (66) 가 블레이드 마운트 (54) 의 플랜지부 (58) 와 고정 너트 (70) 로 협지되어 스핀들 테이퍼부 (50) 에 장착된다.
도 1 을 다시 참조하면, 장치 기대 (4) 의 Y 축 방향 전방측에는 X 축 방향으로 신장되는 오목부 (75) 가 형성되어 있고, 이 오목부 (75) 중에 블레이드 교환 장치 (72) 가 배치 형성되어 있다. 도 2 의 확대도에 나타내는 바와 같이, 오목부 (75) 중에는 X 축 방향으로 신장되는 1 쌍의 가이드 레일 (76) 이 고정되어 있고, 블레이드 교환 장치 이동 기구 (78) 에 의해 이들 레일 (76) 에 안내되어 X 축 방향으로 이동 가능하도록 블레이드 교환 장치 (72) 가 배치 형성되어 있다.
블레이드 교환 장치 이동 기구 (78) 는, X 축 방향으로 신장되는 볼 나사 (80) 와, 블레이드 교환 장치 (72) 의 X 축 이동 블록 (이동 지지부) (74) 에 장착되고 볼 나사 (80) 에 나사 결합하는 도시되지 않은 너트와, 볼 나사 (80) 의 일단에 연결된 펄스 모터 (82) 로 구성된다.
블레이드 교환 장치 (72) 의 이동 기구 (78) 의 펄스 모터 (82) 를 구동하면 볼 나사 (80) 가 회전하고, 볼 나사 (80) 에 나사 결합된 너트가 장착된 블레이드 교환 장치 (72) 의 X 축 이동 블록 (74) 이 X 축 방향으로 이동한다.
블레이드 교환 장치 (72) 는, X 축 이동 블록 (74) 에 장착된 1 쌍의 에어 실린더 (90, 96) 와, 에어 실린더 (90) 의 피스톤 (제 1 이동부) (92) 에 장착된 블레이드 착탈부 (84) 와, 에어 실린더 (96) 의 피스톤 (제 2 이동부) (98) 에 장착된 너트 회동부 (86) 를 포함한다. 에어 실린더 (96) 의 제 2 이동부 (98) 내에는 모터가 내장되어 있고, 너트 회동부 (86) 는 Y 축 방향으로 이동 가능함과 함께 모터에 의해 회전 가능하게 구성되어 있다.
블레이드 교환 장치 (72) 에 대향하여 블레이드 랙 (100) 이 장치 기대 (4) 에 장착되어 있다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 랙 (100) 에는 절삭 블레이드 (66) 가 삽입되는 1 쌍의 원주상 볼록부 (102, 104) 가 돌출되도록 형성되어 있고, 원주상 볼록부 (104) 의 근원에는 링상 수용부 (106) 가 배치되어 있다.
도 2 에 나타낸 상태에서는, 블레이드 랙 (100) 의 원주상 볼록부 (102) 에 새로운 절삭 블레이드 (66) 가 장착되어 있고, 블레이드 교환 장치 (72) 의 블레이드 착탈부 (84) 가 유지한 교환해야 할 절삭 블레이드 (66) 를, 블레이드 랙 (100) 의 원주상 볼록부 (104) 에 삽입하려고 하는 상태가 나타나 있다. 절삭 블레이드 (66) 를 교환할 때에는, 블레이드 교환 장치 (72) 의 너트 회동부 (86) 는 블레이드 마운트 (54) 로부터 분리한 고정 너트 (70) 를 항상 유지하고 있다.
다음으로, 도 4 ∼ 도 12 를 참조하여, 블레이드 교환 장치 (72) 의 상세 구성에 대해 설명한다. 도 4 를 참조하면, 블레이드 교환 장치 (72) 의 블레이드 착탈부 (84) 의 사시도가 나타나 있다. 도 5 는 블레이드 착탈부 (84) 를 이동부 (92) 에 고정한 상태의 도 4 의 화살표 A 방향에서 본 일부 단면 측면도이다.
블레이드 착탈부 (84) 의 유지부 (110) 는 대경 유지부 (112) 와 소경부 (114) 로 구성되어 있고, 대경 유지부 (112) 에 형성된 개구 (113) 내에는 3 개의 파지 클로 (118) 가 반경 방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다.
108 은 환상의 고정 플레이트이고, 고정 플레이트 (108) 의 내주공 (109) 중에 유지부 (110) 의 소경부 (114) 가 삽입되어 있다. 유지부 (110) 의 대경 유지부 (112) 의 측면에는 1 쌍의 장착 플레이트 (120a, 120b) 가 고정되어 있고, 장착 플레이트 (120a) 에는 1 쌍의 핀 (124a) 이 이간하여 고정되어 있다.
장착 플레이트 (120b) 에도 장착 플레이트 (120a) 와 동일하게, 1 쌍의 핀 (124b) 이 고정되어 있다 (도 5 참조). 한편, 환상의 고정 플레이트 (108) 에는, 회전 방향 180°이간한 위치에 1 쌍의 핀 (122a, 122b) 이 고정되어 있다.
장착 플레이트 (120a) 에 고정된 1 쌍의 핀 (124a) 과 환상의 고정 플레이트 (108) 에 고정된 핀 (122a) 사이에, 각각 탄성력이 동등한 1 쌍의 코일 스프링 (126a) 이 연결되어 있다. 1 쌍의 코일 스프링 (126a) 은 유지부 (110) 를 반대 방향으로 잡아당기면서 고정 플레이트 (108) 에 고정하고 있다. 코일 스프링 (126a) 과 코일 스프링 (126b) 의 탄성력은 동등하게 조정되어 있다.
동일하게, 장착 플레이트 (120b) 에 고정된 1 쌍의 핀 (124b) 과 환상의 고정 플레이트 (108) 에 고정된 핀 (122b) 사이에, 각각 탄성력이 동등한 1 쌍의 코일 스프링 (126b) 이 연결되어 있다. 1 쌍의 코일 스프링 (126b) 도 유지부 (110) 를 반대 방향으로 잡아당기면서 고정 플레이트 (108) 에 고정하고 있다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 유지부 (110) 의 소경부 (114) 의 바닥면에는 U 형상 부재 (116) 가 고정되어 있다. U 형상 부재의 일방의 측부 (116a) 에는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 핀 (128a) 이 이간하여 고정되어 있다. 동일하게, U 형상 부재 (116) 의 타방의 측부 (116b) 에도 1 쌍의 핀 (128b) 이 이간하여 고정되어 있다.
한편, 환상의 고정 부재 (108) 에는, 회전 방향 180°이간하여 1 쌍의 핀 (130a, 130b) 이 고정되어 있다. 도 5 를 참조하면 분명한 바와 같이, U 형상 부재 (116) 의 일방의 측부 (116a) 에 고정된 1 쌍의 핀 (128a) 과 환상의 고정 부재 (108) 에 고정된 핀 (130a) 사이에 1 쌍의 코일 스프링 (132a) 이 연결되어 있다.
동일하게, U 형상 부재 (116) 의 타방의 측부 (116b) 에 고정된 1 쌍의 핀 (128b) 과 환상의 고정 부재 (108) 에 고정된 핀 (130b) 사이에 1 쌍의 코일 스프링 (132b) 이 연결되어 있다.
여기서, 1 쌍의 코일 스프링 (132a) 은 동일한 탄성력 (스프링력) 을 갖고 있고, 1 쌍의 코일 스프링 (132b) 도 동일한 탄성력 (스프링력) 을 갖고 있다. 코일 스프링쌍 (132a) 은 서로 반대 방향으로 잡아당기면서 유지부 (110) 의 소경부 (114) 를 환상의 고정 플레이트 (108) 에 고정하고 있다. 동일하게, 코일 스프링쌍 (132b) 은, 코일 스프링쌍 (132a) 의 반대측에서, 서로 반대 방향으로 잡아당기면서 유지부 (110) 의 소경부 (114) 를 환상의 고정 부재 (108) 에 고정하고 있다. 코일 스프링 (132a) 과 코일 스프링 (132b) 의 탄성력은 동등하게 조정되어 있다.
도 5 는 도 4 의 A 방향 화살표에서 본 단면도이므로, 도 5 에서 상방에 장설 (張設) 된 4 개의 코일 스프링 (126a, 126b) 과 하방에 장설된 4 개의 코일 스프링 (132a, 132b) 은 서로 직교하는 방향으로 배치 형성되어 있고, 이들 코일 스프링 (126a, 126b, 132a, 132b) 에 의해 유지부 (110) 는 고정 플레이트 (108) 에 공중에 지지된 상태로 고정되어 있어, 자유롭게 기울어지는 연결 기구 (115) 를 구성한다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 환상의 고정 부재 (108) 는 도시되지 않은 나사에 의해 이동부 (92) 의 선단에 고정되어 있다. 따라서, 연결 기구 (115) 는 대경 유지부 (112) 를 이동부 (92) 에 대하여 자유롭게 기울어지도록 연결하기 때문에, 연결 기구 (115) 를 구성하는 복수의 코일 스프링 (126a, 126b, 132a, 132b) 의 작용하는 힘이 균형을 이뤄 대경 유지부 (112) 를 경동 가능하게 공중에 지지할 수 있다.
도 6 을 참조하면, 본 발명 제 2 실시형태의 블레이드 착탈부 (84A) 의 사시도가 나타나 있다. 본 실시형태에서는, 도 4 및 도 5 에 나타낸 제 1 실시형태의 파지 클로 (118) 대신에 유지부 (110) 의 대경 유지부 (112) 에 4 개의 흡반 (흡인부) (134) 이 장착되어 있다.
이들 흡반 (134) 에 의해 절삭 블레이드 (66) 의 원형 기대 (66a) 를 흡인하여 유지한다. 본 실시형태의 다른 구성은 도 4 및 도 5 에 나타낸 제 1 실시형태의 블레이드 착탈부 (84) 의 구성과 동일하고, 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여, 그 설명을 생략한다.
도 7 을 참조하면, 본 발명 제 3 실시형태의 블레이드 착탈부 (84B) 의 사시도가 나타나 있다. 본 실시형태의 블레이드 착탈부 (84B) 는, 흡반 (134) 이 장착된 유지부 (112A) 를 블레이드 착탈부 (84B) 의 중심으로부터 편방으로 어긋나게 한 것이고, 이와 같은 구성에서도 이동부 (92) 에 대하여 유지부 (112A) 를 이동부 (92) 에 자유롭게 기울어지도록 연결하는 연결 기구 (115) 는 유효하게 작용한다.
본 실시형태는, 예를 들어 절삭 장치의 기존의 부품이 방해를 하여 블레이드 교환 장치 (72) 의 대경 유지부 (112) 를 도 6 에 나타내는 바와 같이 블레이드 착탈부 (84A) 의 중심에 위치하게 할 수 없는 경우에 효과적이다. 흡반 (134) 대신에 파지 클로 (118) 를 구비하고 있는 구성이어도 된다.
도 8 을 참조하면, 본 발명 제 4 실시형태의 유지부 (110) 를 이동부 (90) 에 고정되는 고정 부재 (108A) 에 대하여 자유롭게 기울어지도록 연결하는 연결 기구 (115A) 의 모식도가 나타나 있다. 본 실시형태의 연결 기구 (115A) 에서는, 원주 방향으로 서로 120°이간한 3 개의 코일 스프링 (138) 에 의해 유지부 (110) 를 고정 부재 (108A) 에 대하여 자유롭게 기울어지도록 연결하고 있다. 이와 같은 구성에서도, 3 개의 코일 스프링 (138) 의 작용하는 힘이 균형을 이뤄 유지부 (110) 를 경동 가능하게 공중에 지지할 수 있다.
다음으로, 도 9 ∼ 도 12 를 참조하여, 너트 회동부 (86) 의 상세 구성에 대해 설명한다. 도 9 는 너트 회동부의 분해 사시도, 도 10(A) 는 너트 회동부 (86) 의 사시도, 도 10(B) 는 도 10(A) 의 10B - 10B 선 단면도이다.
또, 도 11 은 도 9 를 90°회전한 상태의 너트 회동부 (86) 의 분해 사시도, 도 12(A) 는 도 10(A) 를 90°회전한 상태의 너트 회동부 (86) 의 사시도, 도 12(B) 는 도 12(A) 의 12B - 12B 선 단면도이다.
142 는 회전축이고, 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 이동부 (98) 의 선단에 베어링 (170) 을 개재하여 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. 본 실시형태에서는, 이동부 (98) 는 에어 실린더 (96) 에 의해 도 1 및 도 2 에서 Y 축 방향으로 이동 가능하고, 이동부 (98) 내에 모터가 배치 형성되어 회전축 (142) 을 회전한다.
144 는 개구를 갖는 개구가 형성된 플레이트이고, 도 10(B) 에 가장 잘 나타나는 바와 같이, 회전축 (142) 은 개구가 형성된 플레이트 (144) 내에 삽입되어 있다. 회전축 (142) 에는 원주 방향으로 180°이간하여 1 쌍의 맞부딪침 핀 (146) 이 고정되어 있다.
160 은 재킷이고, 4 개의 핀 (164) 이 고정된 유지부 (160a) 와 측부 (160b) 를 갖고 있다. 측부 (160b) 에는 맞부딪침 핀 (146) 이 삽입되는 1 쌍의 개구 (162) 가 형성되어 있다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 재킷 (160) 을 회전축 (142) 에 씌우고, 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 나사 (168) 에 의해 재킷 (160) 을 개구가 형성된 플레이트 (144) 에 고정한다. 이로써, 재킷 (160) 과 개구가 형성된 플레이트 (144) 는 일체로 이동한다.
보다 상세하게는, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 재킷 (160) 의 돌출부 (161) 에는 나사공 (163) 이 형성되어 있고, 개구가 형성된 플레이트 (144) 에 형성된 둥근 구멍 (165) 에 나사 (168) 를 삽입하여 재킷 (160) 의 나사공 (163) 에 나사 결합함으로써, 재킷 (160) 은 개구가 형성된 플레이트 (144) 에 고정된다. 도 10(B) 및 도 12(B) 에 나타내는 172 는 회전축 (142) 에 고정되고, 베어링 (170) 을 밀폐하는 시일이다.
도 9 및 도 11 에 가장 잘 나타나는 바와 같이, 회전축 (142) 에는 원주 방향으로 180°이간하여 1 쌍의 핀 (148) 이 고정되어 있다. 회전축 (142) 에는 또한, 도 10(B) 에 가장 잘 나타나는 바와 같이, 회전 방향으로 180°이간하여 1 쌍의 핀 (156) 이 고정되어 있다.
한편, 개구가 형성된 플레이트 (144) 에는, 도 10(A) 및 도 12(B) 에 가장 잘 나타나는 바와 같이, 회전축 (142) 의 측방으로 서로 이간하여 1 쌍의 핀 (150), 합계로 4 개의 핀 (150) 이 개구가 형성된 플레이트 (144) 에 고정되어 있다. 그리고, 회전축 (142) 에 고정된 핀 (148) 과 고정된 1 쌍의 핀 (150) 에 걸쳐 코일 스프링 (152) 이 연결되어 있다.
1 쌍의 코일 스프링 (152) 은 그 탄성력 (스프링력) 이 동등하게 설정되어 있고, 개구가 형성된 플레이트 (144) 와 일체화된 유지부 (160a) 를 갖는 재킷 (160) 을 서로 반대 방향으로 잡아당기면서 이동부 (98) 에 고정하고 있다.
개구가 형성된 플레이트 (144) 에는 또한, 도 11 및 도 12(A) 에 가장 잘 나타나는 바와 같이, 회전축 (142) 의 측방으로 1 쌍의 핀 (154), 합계로 4 개의 핀 (154) 이 상기 서술한 4 개의 핀 (150) 과 90°이간하여 고정되어 있다.
그리고, 회전축 (142) 에 고정된 핀 (156) 과 개구가 형성된 플레이트 (144) 에 고정된 1 쌍의 핀 (154) 에 걸쳐 코일 스프링 (158) 이 연결되어 있다. 이들 코일 스프링 (152 및 158) 은 재킷 (160) 의 유지부 (160a) 를 서로 반대 방향으로 잡아당기면서 이동부 (98) 에 자유롭게 기울어지도록 고정하고 있다. 즉, 연결 기구 (145) 를 구성하는 복수의 코일 스프링 (152, 158) 의 힘이 균형을 이뤄, 재킷 (160) 의 유지부 (160a) 를 경동 가능하게 공중에 지지하고 있다.
또한, 도 9, 도 10(A), 도 11, 도 12(A) 에서는, 제 2 이동부 (98) 가 간략화된 형태로 나타나 있지만, 실제로는, 제 2 이동부 (98) 는, 도 2, 도 10(B) 및 도 12(B) 에 나타내는 바와 같이 원통 형상을 하고 있다.
회전축 (142) 에 대하여 재킷 (160) 의 기울기나 회전은, 코일 스프링이 연신되는 범위에 있어서 자유롭게 할 수 있지만, 고정 너트 (70) 를 회전시킬 때, 회전축 (142) 의 회전력을 핀 (164) 에 전달하기 위해, 회전축 (142) 에 대한 재킷 (160) 의 회전을 규제할 필요가 있다.
그래서, 회전축 (142) 을 회전시키면 맞부딪침 핀 (146) 이 재킷의 개구 (162) 의 측방에 맞부딪침으로써, 코일 스프링을 개재하지 않고 회전축 (142) 의 회전력을 재킷 (160) 에 직접 전달할 수 있다.
다음으로, 상기 서술한 블레이드 교환 장치 (72) 의 작용에 대해 설명한다. 스핀들 선단부 (50) 에 고정된 절삭 블레이드 (66) 를 교환할 때에는, 먼저 블레이드 교환 장치 (72) 의 이동 기구 (78) 를 구동하여 블레이드 교환 장치 (72) 의 너트 회동부 (86) 가 스핀들 선단부 (50) 와 동일 축선 상에 정렬하도록 한다.
이 상태에서, 에어 실린더 (96) 를 작동하여 이동부 (98) 를 도 1 및 도 2 에서 Y 축 방향으로 신장하고, 또한 모터에 의해 회전축 (142) 을 약간만 회전하여 유지부 (160a) 에 장착된 핀 (164) 을 고정 너트 (70) 의 핀공 (76) 에 삽입시킨다.
이 때, 복수의 코일 스프링 (152, 158) 을 사용한 연결 기구 (145) 에 의해 유지부 (160a) 는 자유롭게 기울어지도록 지지되어 있기 때문에, 회전축 (142) 이 보스부의 축에 대하여, 각도나 위치가 다소 어긋나 있어도 너트 회동부 (86) 의 핀 (164) 이 고정 너트 (70) 의 핀공 (76) 안으로 기울기를 따르면서 삽입되고, 핀 (164) 을 고정 너트 (70) 의 핀공 (76) 안으로 삽입한 상태에서 모터에 의해 회전축 (142) 을 회전함으로써, 보스부 (56) 에 나사 결합한 고정 너트 (70) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 로부터 용이하게 분리할 수 있다.
고정 너트 (70) 를 분리한 후에는, 블레이드 교환 장치 (72) 를 X 축 방향으로 이동하여 블레이드 착탈부 (84) 를 스핀들 선단부 (50) 의 축심과 일치시키고, 에어 실린더 (90) 에 의해 이동부 (92) 를 Y 축 방향으로 이동하고, 파지 클로 (118) 에 의해 절삭 블레이드 (66) 의 원형 기대 (66a) 를 파지하여 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 마운트 (54) 로부터 분리한다.
절삭 블레이드 (66) 의 분리시에는, 직경 방향으로 열린 파지 클로 (118) 를 블레이드 마운트 (54) 에 장착된 절삭 블레이드 (66) 의 원형 기대 (66a) 에 맞닿게 하고 나서 파지 클로 (118) 를 반경 방향 내측으로 이동함으로써, 파지 클로 (118) 에 의해 절삭 블레이드 (66) 의 원형 기대 (66a) 를 용이하게 파지할 수 있다.
도 1 및 도 2 에 나타낸 블레이드 교환 장치 (72) 의 상태는, 분리한 고정 너트 (70) 를 너트 회동부 (86) 에 의해 유지하고, 분리한 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 랙 (100) 의 원주상 볼록부 (104) 에 삽입하려고 하는 상태를 나타내고 있다.
분리한 절삭 블레이드 (66) 를 원주상 볼록부 (104) 에 삽입한 후, 블레이드 교환 장치의 이동 기구 (78) 를 구동하여, 블레이드 착탈부 (84) 를 새로운 절삭 블레이드 (66) 가 삽입되어 있는 원주상 볼록부 (102) 에 대면시키고, 블레이드 착탈부 (84) 의 파지 클로 (118) 에 의해 절삭 블레이드 (66) 의 원형 기대 (66a) 를 유지하여 원주상 볼록부 (102) 로부터 새로운 절삭 블레이드 (66) 를 꺼낸다.
이어서, 블레이드 교환 장치 (72) 의 이동 기구 (78) 를 구동하여 블레이드 교환 장치 (72) 를 X 축 방향으로 이동하고, 블레이드 착탈부 (84) 를 스핀들 선단부 (50) 와 대면시킨다. 이 상태로 에어 실린더 (90) 를 구동함으로써, 이동부 (92) 를 Y 축 방향으로 이동하여 파지 클로 (118) 에 의해 파지한 새로운 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 삽입한다.
이 때, 대경 유지부 (112) 에 의해 유지한 절삭 블레이드 (66) 가 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 대하여 다소 기울어져 있었다고 해도, 대경 유지부 (112) 는 경동 가능한 연결 기구 (115) 에 의해 공중에 유지되어 있기 때문에, 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 를 따라 삽입하려고 하는 절삭 블레이드 (66) 의 삽입공 (66b) 의 각도가 자연히 조정되어, 맞물리지 않고 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 장착할 수 있다.
새로운 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 장착한 후에는, 블레이드 교환 장치 (72) 의 너트 회동부 (86) 가 유지하고 있는 고정 너트 (70) 를 블레이드 마운트 (54) 의 보스부 (56) 에 형성된 수나사 (60) 에 나사 결합하여 단단히 조임으로써, 절삭 블레이드 (66) 를 블레이드 마운트 (54) 에 고정한다.
블레이드 마운트에 절삭 블레이드를 착탈할 때, 이동부 (92) 가 아닌, 절삭 유닛의 이동 기구 (22) 를 구동시켜, 블레이드 교환 장치의 제 1 유지부를 향하여 블레이드 마운트를 진퇴시켜도 된다.
또, 동일하게 고정 너트를 블레이드 마운트에 착탈할 때에도, 절삭 유닛 이동 기구 (22) 를 구동시켜 제 2 유지부를 향하여 블레이드 마운트를 진퇴시켜도 된다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 블레이드 교환 장치의 이동부를 생략할 수 있어, 저렴하고, 고장 지점의 삭감을 실현하는 것도 가능해진다.
14 : 절삭 유닛
50 : 스핀들 선단부
54 : 블레이드 마운트
56 : 보스부
58 : 플랜지부
66 : 절삭 블레이드
66a : 원형 기대
66b : 삽입공
66c : 절삭날
70 : 고정 너트
72 : 블레이드 교환 장치
76 : 핀공
84 : 블레이드 착탈부
86 : 너트 회동부
92, 98 : 이동부
100 : 블레이드 랙
102, 104 : 원주상 볼록부
110 : 유지부
112 : 대경 유지부
115 : 연결 기구
126a, 126b, 132a, 132b : 코일 스프링
134 : 흡반
142 : 회전축
144 : 개구가 형성된 플레이트
152, 158 : 코일 스프링
160 : 재킷
160a : 유지부
164 : 핀

Claims (9)

  1. 절삭 장치로서,
    스핀들의 선단에 장착된 블레이드 마운트에 고정되는 절삭 블레이드로 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛과,
    그 절삭 유닛을 그 스핀들의 축심 방향으로 이동하는 이동 기구와,
    중앙에 삽입공을 갖는 원형 기대와 그 원형 기대의 외주연에 고정된 절삭날을 포함하는 절삭 블레이드를 그 블레이드 마운트에 착탈하여 교환하는 블레이드 교환 장치를 구비하고,
    그 블레이드 마운트는,
    그 절삭 블레이드의 그 삽입공에 삽입 통과되고, 그 스핀들의 축심 방향으로 연장되는 보스부와, 그 보스부의 후방에서 그 보스부와 일체적으로 직경 방향으로 돌출되어 형성되고, 그 절삭 블레이드가 맞부딪치는 플랜지부를 포함하고,
    그 블레이드 교환 장치는,
    그 절삭 블레이드의 그 원형 기대를 자유롭게 착탈할 수 있도록 유지하는 제 1 유지부와, 그 제 1 유지부를 지지하고, 그 절삭 블레이드의 그 삽입공을 그 블레이드 마운트의 그 보스부와 대면하는 착탈 장착 위치로 이동시키는 이동 지지부와, 그 이동 지지부에 대하여 그 제 1 유지부를 자유롭게 기울어지도록 연결하는 제 1 연결 기구를 포함하는 블레이드 착탈부를 구비하고,
    그 제 1 연결 기구는, 그 제 1 유지부의 복수 지점에서 그 제 1 유지부를 반대 방향으로 잡아당기면서 그 이동 지지부에 고정하는 복수의 제 1 탄성 부재쌍을 포함하고,
    그 복수의 제 1 탄성 부재쌍의 작용하는 힘이 균형을 이뤄 그 제 1 유지부를 경동 가능하게 공중에 지지하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 이동 지지부는, 그 절삭 블레이드의 그 삽입공을 그 블레이드 마운트의 그 보스부와 대면시킨 그 제 1 유지부를 그 보스부의 축심 방향과 평행 방향으로 진퇴시켜, 그 절삭 블레이드를 그 보스부에 끼워 맞춤 또는 그 보스부로부터 이탈시키는 그 제 1 이동부를 구비하고,
    그 제 1 유지부는, 그 이동 지지부의 그 제 1 이동부에, 그 제 1 연결 기구에 의해 자유롭게 기울어지도록 연결되는, 절삭 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    그 블레이드 교환 장치는, 그 블레이드 마운트의 그 보스부에 삽입된 그 절삭 블레이드를 그 보스부에 고정하는 고정 너트를 자유롭게 착탈할 수 있도록 유지하는 제 2 유지부와, 그 이동 지지부에 배치 형성되고 그 보스부에 끼워 맞춰진 그 고정 너트를 회전하는 회전 수단과, 그 이동 지지부에 대하여 그 제 2 유지부를 자유롭게 기울어지도록 연결하는 제 2 연결 기구를 포함하는 너트 회동부를 추가로 구비한, 절삭 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    그 이동 지지부는, 고정 너트를 그 블레이드 마운트의 그 보스부와 대면시킨 그 제 2 유지부를 그 보스부의 축심 방향과 평행 방향으로 진퇴시켜, 그 고정 너트를 그 보스부에 끼워 맞춤 또는 그 보스부로부터 이탈시키는 제 2 이동부를 구비하고,
    그 제 2 유지부는, 그 이동 지지부의 그 제 2 이동부에, 그 제 2 연결 기구에 의해 자유롭게 기울어지도록 연결되는, 절삭 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    그 복수의 제 1 탄성 부재쌍은 서로 끌어당기는 그 탄성 부재의 탄성력이 동등한 코일 스프링쌍으로 구성되는, 절삭 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    그 제 1 유지부는, 그 절삭 블레이드의 그 원형 기대를 파지하는 복수의 파지 클로를 구비하는, 절삭 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    그 제 1 유지부는, 그 절삭 블레이드의 그 원형 기대를 흡인 유지하는 흡인부를 구비하는, 절삭 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    그 제 1 연결 기구는, 유지한 그 절삭 블레이드의 그 원형 기대의 그 삽입공의 중앙에 대응하는 위치를 그 제 1 유지부의 축심으로 하는, 절삭 장치.
  9. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    그 고정 너트는 복수의 핀공을 갖고, 그 너트 회동부의 그 제 2 유지부는 그 고정 너트의 그 핀공에 삽입 가능한 복수의 핀을 갖는, 절삭 장치.
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