KR102533415B1 - 고정핀과 함께 제공되는 레티클 포드 및 레티클 고정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리드 및 다중 핀 어셈블리를 갖는 레티클 포드를 개시한다. 핀 어셈블리는 리드의 천장에 대해 상대적으로 이동 가능한 이동식 부재 및 리드의 천장과 탄성 부재 사이에 이동식 부재를 배열하도록 구성된 탄성 부재를 포함한다. 레티클 포드가 레티클을 수용하지 않고 제공되는 경우, 레티클 포드의 천장은 이동식 부재가 제 1 수위에 머무르는 것으로 결정한다. 레티클 포드에 레티클이 제공되는 경우, 탄성 부재는 이동식 부재와 협력하여 상기 이동식 부재가 제 1 수위보다 높은 제 2 수위에서 레티클을 유지한다.

Description

고정핀과 함께 제공되는 레티클 포드 및 레티클 고정 방법{RETICLE POD PROVIDED WITH HOLDING PINS AND METHOD FOR HOLDING RETICLE}
본 발명은 레티클 포드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부 레티클 포드와 상호 작용할 수 있는 고정핀 어셈블리가 제공된 레티클 포드에 관한 것이다.
극자외선(EUV) 제조 공정과 관련된 레티클은 전용 EUV 내부 포드에 의한 보호가 필요한다. 레티클 내부 포드의 리드과 베이스가 서로 맞물릴 때 레티클을 제자리에 고정하고 레티클 내부 포드에서 움직이지 않도록 하기 위해, 공지의 접근 방식은 레티클 내부 포드가 레티클 외부 포드에 수용될 때 발생되는 외력을 사용해 과도한 힘을 흡수하는 적절한 메커니즘으로 내부 포드 내에 레티클을 고정시킨다. 따라서, 레티클 내부 포드에 제공된 고정핀 어셈블리가 중요한 역할을 한다.
특허 번호 TW201931007로 발행된 공개 공보에는 레티클 내부 포드의 리드에 제공된 고정핀 어셈블리가 개시되어 있으며, 이는 외부 포드 리드의 하향 가압면에 의해 수직 하방으로 이동하도록 강제될 수 있어 레티클을 핀으로 누르게 한다. 하향 가압면이 하방으로 가압되는 경우, 고정핀의 가압 부재가 고정핀 어셈블리의 커버의 상부면과 평행해진다. 이 고정핀은 일체형 부재이며, 고정핀은 외부 포드 리드가 고정핀과 직접 접촉할 때 가압력을 전달한다.
그러나, 레티클 포드의 각 구성 요소는 일부 불가피한 제조 요인(예를 들어, 표면 편향)으로 인해 기계적 공차를 가질 수 있음을 인식해야 한다. 상기 공보에 개시된 레티클 포드의 경우, 기계적 공차는 레티클 포드 리드의 두께, 베이스, 고정핀의 길이, 고정핀의 가압면의 평탄도, 레티클 지지핀의 높이뿐만 아니라 고정핀 커버의 높이에서도 발생할 수 있다. 이러한 기계적 공차의 합은 이상적이지 않은 레티클 포지셔닝으로 이어질 수 있다. 예를 들어, 레티클은 4 개의 고정핀에 의해 적소에 고정될 수 없고, 이는 심지어 레티클 포드의 기밀 밀봉에도 영향을 미친다. 이 문제는 레티클이 레티클 포드에 수용될 때 레티클이 고정핀을 들어 올릴 수 있는 경우에 발생할 수 있으며, 그런 다음 고정핀과 고정핀 커버에 축적된 공차로 인해 올려진 고정핀이 상단 커버 구조물과 충돌한다. 그 결과, 포드 리드가 들어 올려져 리드와 베이스 사이에 갭이 생기며, 이는 기밀 밀봉에 부정적이다.
레티클 포드에 요구되는 정밀성의 관점에서, 레티클 보관을 만족시키고 기밀 씰링 능력을 달성하기 위해 기계적 공차를 개선할 수 있는 고정핀 설계의 개발이 요구된다.
본 발명의 목적은 리드 및 상기 리드 상에 제공된 하나 이상의 핀 어셈블리를 갖는 레티클 포드를 제공하는 것이다. 핀 어셈블리는 리드의 천장에 대해 상대적으로 이동 가능하도록 구성된 이동식 부재와, 상기 이동식 부재가 탄성 부재와 리드의 천장 사이에 위치되도록 구성된 탄성 부재를 포함한다. 리드의 천장은 레티클 포드가 레티클을 수용하지 않을 때 이동식 부재가 제 1 수위에 위치해 있는 것으로 결정하도록 구성된다. 탄성 부재는 레티클 포드가 레티클을 수용할 때 레티클을 유지하기 위해 이동식 부재가 제 2 수위에 위치하도록 이동식 부재와 협력하도록 구성되고, 제 2 수위는 제 1 수위보다 높다.
본 발명의 또 다른 목적은 리드 및 상기 리드 상에 제공된 하나 이상의 핀 어셈블리를 갖는 레티클 포드를 제공하는 것이다. 핀 어셈블리는 리드의 천장에 대해 상대적으로 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성된 이동식 부재를 포함하고, 이동식 부재는 캡 및 리드에 형성된 구멍을 관통하고 및 상기 리드의 바닥면에서 튀어 나오는 핀; 및 상기 리드의 외부에 장착되고 상기 이동식 부재의 캡이 도달할 수 있는 최고 수위를 결정하는 커버를 포함한다. 레티클이 레티클 포드에 수용될 때 핀이 레티클의 상부면에 닿고; 캡이 직접 또는 간접적으로 외력을 받을 때 캡은 핀이 레티클을 유지하도록 강제한다.
본 발명의 또 다른 목적은 레티클 포드에 레티클을 고정하는 방법을 제공하는 것으로, 상기 레티클 포드는 리드와 베이스를 포함하고, 상기 리드에 핀과 캡을 포함하는 하나 이상의 핀 어셈블리가 제공된다. 상기 방법은: 리드의 바닥면 밖으로 튀어 나오면서 리드의 구멍 내에서 움직일 수 있도록 핀을 구성하는 단계; 리드가 도달할 수 있는 최고 수위를 결정하기 위해 리드의 외부에 장착된 커버를 제공하는 단계; 핀이 레티클의 상부면에 접촉하여 핀을 상승시키도록 레티클 포드 내에서 레티클을 수용하는 단계; 및 캡이 핀을 강제하여 레티클을 누르게 하여 레티클 포드 내에서 레티클을 안정시키도록 캡에 직접 또는 간접적으로 외력을 가하는 단계를 포함한다.
본 발명의 내용에 포함됨.
본 발명은 첨부 도면 및 하기의 명세서를 참조로 보다 철저히 이해될 수 있다. 도면을 참조로 제한적이고 배타적인 의도가 아닌 다양한 예들을 설명할 것이다. 도면에 표시된 요소는 구조 및 관련 원리를 설명하기 위해 반드시 실제 크기로 예시된 것은 아니다.
도 1은 레티클 외부 포드 및 내부에 수용된 레티클 포드를 나타내는 분해도이다.
도 2a 및 도 2b는 레티클이 있거나 없는 본 발명에 따른 핀 어셈블리의 실시예를 도시한 도 1의 점선 면을 따른 횡단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 핀 어셈블리의 상술한 실시예에서의 각각의 구성 요소를 도시한다.
도 4는 상술한 핀 어셈블리와 레티클 사이의 상호 작용을 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 핀 어셈블리의 다른 실시예를 도시한다.
도 6a 및 도 6b는 레티클이 있거나 없는 핀 어셈블리의 다른 실시예를 도시한 도 1의 점선 면에 따른 횡단면도이다.
도 7a 내지 도 7c는 핀 어셈블리의 상술한 실시예에서의 각각의 구성 요소를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따른 핀 어셈블리의 또 다른 실시예를 도시한다.
첨부 도면을 참조로 본 발명의 보다 완전한 설명을 아래에 제공하며, 예시적인 실시예를 설명하기 위해 예가 제공된다. 그럼에도 불구하고, 본 발명의 청구된 주제는 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 포함되거나 청구된 주제의 구성은 본 명세서에 개시된 임의의 예시적인 실시예에 국한되지 않아야 한다. 예시적인 실시예는 단지 예로서 제공된다. 마찬가지로, 본 발명은 청구되거나 포함된 주제에 대해 상당히 넓은 범위를 제공하도록 의도된다. 게다가, 예를 들어, 청구된 주제는 방법, 장치 또는 시스템으로 구현될 수 있다. 따라서, 특정 실시예는 예를 들어 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어, 또는 이들의 (논-소프트웨어로 알려진) 임의의 조합의 형태일 수 있다.
본 설명에서 사용된 "실시예"라는 용어는 반드시 정확히 동일한 실시예를 지칭하는 것은 아니며, 본 설명에서 사용된 "다른(일부/특정) 실시예"라는 용어는 반드시 다른 실시예를 지칭하는 것은 아니다. 이 설명의 목적은 예시적인 실시예의 전부 또는 일부의 조합을 포함하는 예를 사용하여 청구된 주제를 설명하는 것이다.
도 1은 레티클 포드를 나타내는 분해도이다. 상기 레티클 포드는 외부 포드(100) 및 내부 포드(110)를 포함하는 EUV 포드일 수 있다. "외부 포드" 및 "내부 포드"라는 용어는 공간적 관계를 설명하는 데 사용되며 일반적으로 "레티클 포드"는 문맥에 따라 외부 포드 또는 내부 포드를 지칭할 수 있음을 알 수 있다. 외부 포드(100)는 리드(101) 및 베이스(102)가 있고, 둘 다 내부 포드(110)를 수용하기 위해 서로 맞물릴 수 있다. 내부 포드(110)는 내부에 레티클(120)을 수용하도록 구성된 리드(111) 및 베이스(112)가 있다. 내부 포드(110)의 리드(111)에는 내부 포드(110)의 리드(111)의 외부가 외부 포드(100)의 리드(101) 내부와 상호 작용할 수 있는 방식으로 구성된 다중 핀 어셈블리가 제공되어 상기 핀 어셈블리가 리드(111)의 내부에 가압력을 전달하도록 한다. 핀 어셈블리에 대한 자세한 내용은 다음 단락에서 설명한다.
또한, 외부 포드(100) 및 내부 포드(110)는 자세한 내용이 있으나 여기서 생략하며, 본 발명의 관련 부분에 대해서만 설명한다. 도시 및 설명하지 않았음에도 불구하고, 당업자는 일부 구성에서 외부 포드(100)의 리드(101)에 센서가 제공될 수 있음을 알 수 있다. 베이스(102)에는 밸브가 제공될 수 있다. 내부 포드(110)의 리드(111)에는 필터 채널이 제공될 수 있다. 내부 포드(112)의 베이스(112)는 레티클 수용 영역을 정의할 수 있다.
도 2a 및 2b는 도 1에서 점선으로 정의된 평면에 따른 횡단면도으로서, 도 2a는 레티클 포드에 수용된 레티클이 없는 핀 어셈블리를 도시한 반면, 도 2b는 레티클 포드에 수용된 레티클(R)이 있는 핀 어셈블리를 예시한다.
도 2a는 레티클 포드의 리드(111)와 베이스(112)가 내부에 어떠한 레티클도 수용하지 않고 서로 맞물리는 경우를 도시한다. 리드(111)는 상대적으로 얇은 두께를 갖는 천정(113)과 상기 천정(113)을 둘러싸는 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 슈라우드부를 갖는다. 리드(111)는 주로 슈라우드부에 의해 베이스(112)의 상향면과 맞물려 레티클 수용 공간의 효과적인 기밀 밀봉 또는 반기밀 밀봉이 내부 포드(110)에 형성된다. 베이스(112)에는 여러 개의 지지 어셈블리가 제공된다. 도 2a 도시된 바와 같이, 각각의 지지 어셈블리는 하나의 지지핀(114) 및 2 개의 제한핀(115)을 포함한다. 이러한 지지 어셈블리는 레티클 수용 영역을 정의하고 레티클을 베이스(112) 위로 약간 올릴 수 있다.
리드(111)에는 다중 핀 어셈블리가 제공된다. 예를 들어, 핀 어셈블리는 리드(111)의 네 모서리 부근에 제공될 수 있다. 횡단면도는 주로 리드(111)의 천장(113)에 제공되는 단일 핀 어셈블리를 나타낸다. 핀 어셈블리는 커버(200), 탄성 부재(201) 및 이동식 부재(202)를 포함한다.
도 2a와 도 3a를 참조한다. 커버(200)는 비교적 얇은 천정과 비교적 두꺼운 벽이 있다. 천장은 일반적으로 평평하고 벽에는 커버(200)를 리드(111)의 천장(113) 외부에 있는 장착 위치에 장착하기 위한 공지의 접근을 허용하는 한 쌍의 장착 구멍(2001)이 있다. 커버(200)의 천장과 벽 및 리드 천장(113)은 함께 탄성 부재(201) 및 이동식 부재(202)의 일부를 수용하기 위한 수용 공간을 형성한다. 커버(200)와 리드 천장(113) 사이에 기밀 밀봉 수단이 제공될 수 있다. 커버(200)의 높이는 커버(200)와 탄성 부재(201) 사이에 갭을 형성하도록 적절히 선택될 수 있다.
도 2a와 도 3b를 참조한다. 탄성 부재(201)는 슬리브(2011)와 상기 슬리브로부터 전개되는 한 쌍의 마운팅 윙(2012)이 있다. 슬리브(2011)에는 천정과 벽이 있고, 슬리브(2011)의 바닥은 밀봉되어 있지 않다. 슬리브의 천장(2011)은 제 1 자석(M1)을 배치하기 위해 그 위에 형성된 딥(dip)을 더 갖는다. 마운팅 윙(2012)은 슬리브(2011)의 벽에서 연장되며 상술한 장착 구멍(2001)에 대응하는 장착 구멍(2014)을 가지고 있다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 탄성 부재(201)의 마운팅 윙(2012)의 일부가 커버(200)와 리드 천장(113) 사이에 끼워진다. 슬리브(2011) 크기는 슬리브(2011)와 커버(200) 사이에 갭이 형성되도록 선택될 수 있으며, 이러한 갭은 슬리브(2011)의 변형, 예를 들어, 수직 및 측면 변형을 어느 정도 허용한다.
도 2a와 도 3c를 참조한다. 이동식 부재(202)는 캡(2021)과 핀(2022)이 있다. 캡(2021)은 상대적으로 직경이 크다. 핀(2022)은 캡(2021)의 바닥에서 연장되어 리드 천장(113)의 핀홀을 관통하여 천장(113) 내부에서 튀어 나온다. 도면에 도시된 바와 같이, 레티클 포드가 레티클을 수용하지 않는 경우, 탄성 부재(201)와 이동식 부재(202) 사이의 제 1 수위(L1)에 위치한 갭이 형성된다. 캡(2021)은 탄성 부재(2010)와 리드 천장(113) 사이에 수용되며, 캡(2021)의 바디 크기는 슬리브(2011)의 부피보다 약간 작아서 캡(2021)이 슬리브(2011) 내에서 수직으로 이동 가능하며, 이는 또한 핀 돌출의 정도를 결정한다. 리드 천장(113)에는 캡(2021)의 바닥과 결합하기 위한 플랜지가 더 형성된다.
이 실시예에서, 탄성 부재(201)는 이동식 부재(202)가 도달할 수 있는 최고 수위를 결정할 수 있고, 리드(111)의 천장(113)은 수용된 레티클이 없을 때 이동식 부재(201)가 도달할 수 있는 최저 수위를 결정할 수 있다. 다른 실시예에서, 커버(200)도 또한 최고 수위를 결정할 수 있다. 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 탄성 부재(201)의 슬리브(2011)는 변형 가능하고, 탄성 부재(2011)의 상단 내부는 이동식 부재(202)의 상방 이동 범위를 제한할 수 있다. 도시된 바와 같이, 슬리브(2011)의 상단 내부에도 캡(2021)과 일치시키기 위해 그 위에 범프가 형성된다. 대안으로, 커버(200)의 상부도 또한 이동식 부재(202)의 상방 이동 범위를 제한하기 위해 사용될 수 있다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 레티클을 수용하지 않은 상태에서, 이동식 부재(202)는 자체 무게로 천장(113)에 얹혀 캡(2021)이 천장(113)에 접하고, 핀(2022)의 원위 단부가 대시선으로 표시된 제 1 수위(L1)에 도달한다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 레티클이 수용된 상태에서, 레티클 두께로 인해 상대적으로 더 높은 제 2 수위(L2)에 도달하도록 핀이 올려져 캡(2021)이 천장(113)을 떠나 탄성 부재(201)의 상단을 향해 이동되며, 이는 반드시 접촉을 유발하지 않는다. 이동식 부재(202)는 여전히 움직일 수 있다. 즉, 상승된 이동식 부재(202)와 탄성 부재(201)의 상단 사이에 작은 갭이 있을 수 있으며, 이때 레티클은 고정되지 않는다. 상승된 이동식 부재(202)가 탄성 부재(201)의 상단과 유연하게 접촉하여 슬리브(2011)를 약간 변형시키는 일부 가능한 경우에, 탄성 부재(201)와 커버(200)는 여전히 사이에 작은 갭으로 또는 둘 다 유연한 접촉 상태로 이격될 수 있다. 도 2a에서 탄성 부재(201)와 이동식 부재(202) 사이의 갭은 일반적으로 도 2b의 두 수위(L1 및 L2) 사이의 거리와 동일할 수 있다.
도 4는 레티클 외부 포드 리드(예를 들어, 도 1의 리드(101))가 레티클 포드 상에 장착되는 경우를 예시한다. 리드(101)의 내부에는 핀 어셈블리에 대응하는 다중 가압 부재(400)가 제공된다. 가압 부재(400)의 원위 단부에는 제 2 자석(M2)이있어 가압 부재(400)의 원위 단부가 해당 핀 어셈블리에 근접하거나 접촉할 때 상기 제 2 자석(M2)이 핀의 제 1 자석(M1)에 상당히 인접할 수 있게 된다. 제 1 자석(M1)과 제 2 자석(M2)은 서로 마주 보는 동일한 극을 가지므로 두 개의 배타적인 자석이 서로 반발하여 탄성 부재(201)를 강제하여 하방으로 변형시키고 이동식 부재를 낮은 수위 쪽으로 밀어낸다. 그런 다음, 핀(2022)은 레티클을 단단히 고정하기 위해 레티클의 상부면에 가압력을 가한다. 일부 가능한 구성에서, 핀(2022)은 레티클의 에지에 가압력을 가하도록 구성될 수 있다.
도 5는 커버(200) 및 이동식 부재(202)가 상술한 실시예와 유사하지만, 상술한 탄성 부재(201)가 없고 제 1 자석이 대신 캡에 놓인 본 발명의 다른 실시예를 도시한다. 이 실시예는 수직 변형을 제공하기 위해 이동식 부재(202)와 레티클 포드 리드(111)의 천장(113) 사이에 유지되는 또 다른 탄성 부재(500)를 제공한다. 이 구성에서, 커버(200) 상단은 이동식 부재(202)가 도달할 수 있는 최고 수위를 결정하고, 탄성 부재(500)는 이동식 부재(202)가 도달할 수 있는 최저 수위를 결정한다. 구체적으로, 탄성 부재(500)는 환형 탄성 부재로 커버(200)의 내부에 형성된 연결 부재(501)와 연결된다. 예를 들어, 환형 탄성 부재의 횡단면은 상기 연결 부재(501)와 일치하기 위한 리세스를 갖는다.
도 4의 가압 부재(400)가 도 5의 핀 어셈블리에 접근하는 제 2 자석(M2)을 가지면, 이동식 부재(202)는 낮은 수위로 이동하도록 강제되어 탄성 부재(500)를 변형시킨다. 탄성 부재(500)의 변형은 레티클의 상부면에 작용하는 과도한 함몰을 방지하기 위해 이동식 부재(202)의 하방력을 완화할 수 있다.
상술한 실시예는 복합 재료로 구성된 핀 어셈블리에 의해 제공되는 비접촉(간접) 가압 메커니즘을 예시한다. 본 발명에 따른 핀 어셈블리의 다음 실시예는 접촉(직접) 가압 메커니즘을 예시한다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 핀 어셈블리의 다른 실시예로서, 모두 도 1에서 점선으로 정의된 평면에 따른 횡단면도이다. 도 6a는 레티클을 수용하지 않는 레티클 포드의 핀 어셈블리를 도시하고 도 6b는 레티클이 내부에 수용된 레티클 포드의 핀 어셈블리를 도시한다.
도 6a는 레티클 포드 리드(111)가 레티클을 수용하지 않고 베이스(112)와 맞물리는 경우를 예시한다. 리드(111)는 두께가 얇고, 천정(113)을 둘러싸는 상대적으로 두꺼운 슈라우드부가 있다. 리드(111)는 주로 슈라우드부에 의해 베이스(112)의 상향면과 맞물려서 레티클 수용 공간의 효과적인 기밀 밀봉 또는 반기밀 밀봉이 내부 포드(110)에 형성된다. 베이스(112)에는 여러 개의 지지 어셈블리가 제공된다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 각각의 지지 어셈블리는 지지핀(114) 및 2 개의 제한핀(l15)을 포함한다. 이러한 지지 어셈블리는 레티클 수용 영역을 정의하고 레티클을 베이스(112) 위로 약간 올릴 수 있다.
리드(111)에는 다중 핀 어셈블리가 제공된다. 예를 들어, 핀 어셈블리가 리드(111)의 네 모서리 부근에 제공될 수 있다. 횡단면도는 주로 리드(111)의 천장(113)에 제공되는 단일 핀 어셈블리를 나타낸다. 핀 어셈블리는 커버(600), 탄성 부재(601) 및 이동식 부재(602)를 포함한다.
도 6a와 도 7a를 참조한다. 커버(600)는 상대적으로 얇은 천장과 상대적으로 두꺼운 벽이 있다. 천장은 일반적으로 평평하고 벽에는 커버(600)를 리드(111)의 천장(113) 외부에 있는 장착 위치에 장착하기 위한 공지의 접근 방식을 허용하는 한 쌍의 장착 구멍(6001)이 형성되어 있다. 커버(600)의 천장 및 벽 뿐만 아니라 리드 천장(113)은 함께 탄성 부재(601) 및 이동식 부재(602)의 일부를 수용하기 위한 수용 공간을 형성한다. 상기 수용 공간은 커버(600)의 천정 중앙에 구멍(6002)이 개방되어 있기 때문에 밀폐되지 않으며, 이는 수용 공간이 커버(600)의 외부와 연통됨을 의미한다. 커버(600)의 높이와 구멍(6002)의 크기는 커버(600)와 탄성 부재(601) 사이에 갭을 형성하도록 적절하게 선택될 수 있다.
도 6a와 도 7b를 참조한다. 탄성 부재(601)는 슬리브(6011)와 슬리브로부터 연장되는 한 쌍의 마운팅 윙(6012)이 있다. 슬리브(6011)는 천장과 벽이 있고 슬리브(6011)의 바닥은 밀봉되어 있지 않다. 슬리브(6011)의 천장은 범프가 천장에 더 형성되며, 범프(6013) 크기는 구멍(6002) 직경보다 약간 작다. 마운팅 윙(6012)은 슬리브(6011)의 벽에서 연장되고 장착 구멍(6014)이 상기 장착 구멍(6001)에 대응한다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 탄성 부재(601)의 마운팅 윙(6012)의 일부가 커버(600)와 리드 천장(113) 사이에 끼워진다. 슬리브(6011) 크기는 슬리브(6011)와 커버(600) 사이에 갭을 형성하도록 선택될 수 있으며, 이러한 갭은 슬리브(6011)의 변형, 예를 들어, 수직 및 측면 변형을 어느 정도 허용한다. 또한, 범프(6013)는 커버(600)의 구멍(6002)에서 노출되며, 특히 범프(6013)는 아무런 힘이 가해지지 않고도 커버(600) 천장의 상향면에서 튀어 나온다. 도시된 범프(6013)는 위로 평평한 표면이 있다; 그러나, 대신 경사면 또는 곡면이 될 수 있다. 다수의 지지 블록(6015)이 범프(6013)의 주변에 더 형성될 수 있으며, 지지 블록(6015)은 커버(600)의 내부에 접하여 슬리브(6011)를 안정시킨다. 공기가 구멍(6002)을 통해 레티클 포드로 들어가는 것을 방지하기 위해 커버(600)와 마운팅 윙(6012) 사이에 기밀 밀봉 수단이 제공되어야 함이 주목된다.
도 6a와 도 7c를 참조한다. 이동식 부재(602)는 캡(6021) 및 핀(6022)이 있다. 캡(6021)은 비교적 직경이 크다. 핀(6022)은 캡(6021)의 바닥에서 뻗어 있고 리드 천장(113)의 핀홀을 관통하여 천장(113) 내부에서 튀어 나온다. 도면에 도시된 바와 같이, 레티클 포드가 레티클을 수용하지 않는 경우, 제 1 수위(L1)에 위치한 탄성 부재(601)와 이동식 부재(602) 사이에 갭이 형성된다. 또한, 레티클 포드가 레티클(R)을 수용하지 않는 경우, 수용시 레티클(R)의 상부면과 리드 천장(113)의 하향면 사이 거리보다 큰 소정 량으로 핀(6022)이 천장(113)의 하향면에서 튀어 나온다. 캡(6021)은 탄성 부재(6010)와 리드 천장(113) 사이에 수용되며, 캡(6021)의 바디 크기는 슬리브(6011)의 부피보다 약간 작아서 캡(6021)이 슬리브(6011) 내에서 수직으로 움직일 수 있으며, 이는 또한 핀 돌출의 정도를 결정한다. 리드 천장(113)은 캡(6021)의 바닥과 결합하기 위해 그 위에 형성된 플랜지를 더 갖는다. 이동식 부재(602)는 탄성 부재(601)보다 상대적으로 단단한 재료로 제조될 수 있다.
이 실시예에서, 탄성 부재(601)는 이동식 부재(602)가 도달할 수 있는 최고 수위를 결정하고, 리드(111)의 천장(113)은 이동식 부재(602)가 도달할 수 있는 최저 수위를 결정한다. 다른 실시예에서, 커버(600)도 또한 최고 수위를 결정할 수 있다. 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 탄성 부재(601)의 슬리브(6011)는 변형 가능하고, 탄성 부재(6011)의 상단 내부는 이동식 부재(602)의 상방 이동 범위를 제한할 수 있다. 도시된 바와 같이, 슬리브(6011)의 상단 내부는 또한 캡(6021)과 일치시키기 위해 그 위에 범프가 형성된다. 대안으로, 커버(600)의 상단도 또한 이동식 부재(602)에 대한 상방 이동 범위를 제한하는데 사용될 수 있다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 레티클을 수용하지 않은 상태에서, 이동식 부재(602)는 자체 무게로 천장(113)에 얹혀 캡(2021)이 천장(113)에 접하고, 핀(2022)의 원위 단부가 대시선으로 표시된 제 1 수위(L1)에 도달한다. 도 6b에 도시된 바와 같이, 레티클이 수용된 상태에서, 레티클 두께로 인해 상대적으로 더 높은 제 2 수위(L2)에 도달하도록 핀이 올려져 캡(6021)이 천장(113)을 떠나 탄성 부재(601)의 상단을 향해 이동되며, 이는 반드시 접촉을 유발하지 않는다. 이동식 부재(602)는 여전히 움직일 수 있다. 즉, 상승된 이동식 부재(602)와 탄성 부재(601)의 상단 사이에 작은 갭이 있을 수 있으며, 이때 레티클이 유지되지 않는다. 상승된 이동식 부재(602)가 탄성 부재(601)의 상단과 유연하게 접촉하여 슬리브(6011)를 약간 변형시키는 몇몇 가능한 경우에, 범프(6013)도 또한 약간 상승된다. 도 6a에서 탄성 부재(601)와 이동식 부재(602) 사이의 갭은 일반적으로 도 6b의 두 수위(L1 및 L2) 사이의 거리와 동일할 수 있다.
도 6b는 레티클 외부 포드 리드(예를 들어, 도 1의 리드(101))가 레티클 포드 상에 장착되는 경우를 추가로 예시한다. 리드(101)의 내부에는 핀 어셈블리에 대응하는 다중 가압 부재(604)가 제공된다. 가압 부재(604)의 원위 단부는 편평한 표면을 가지고 있어, 가압 부재(604)의 원위 단부가 대응하는 핀 어셈블리에 근접하거나 접촉할 때, 편평한 표면이 대응하는 노출된 범프(6013)와 접촉해 상기 범프를 밟을 수 있다. 탄성 부재(601)의 변형은 가압 부재(604)에 의해 가해지는 힘의 영향을 받으며, 변형된 탄성 부재(601)는 이동식 부재(602)를 낮은 수위로 밀어낸다. 그 다음, 핀(6022)은 레티클을 단단히 고정하기 위해 레티클의 상부면에 가압력을 가한다. 일부 가능한 구성에서, 핀(6022)은 레티클의 에지에 가압력을 가하도록 구성될 수 있다.
다른 가능한 실시예에서, 가압 부재(604)의 원위 단부는 반드시 평평한 표면 일 필요는 없다. 가압 부재(604)의 단부는 커버(600)의 구멍(6002)과 일치하도록 구성되어 가압 부재(604)가 커버(600)에 약간 들어갈 수 있도록 한다. 범프(6013)가 반드시 커버(600)의 상단면 밖으로 튀어 나올 필요는 없다. 범프(6013)는 구멍(6002) 아래의 수위에 있을 수 있다. 대안으로, 커버(600)는 범프(6013)보다 더 클 수 있다.
도 8은 커버(800), 제 1 탄성 부재(801), 이동식 부재(802) 및 제 2 탄성 부재(803)를 포함하는 본 발명에 따른 핀 어셈블리의 다른 실시예를 도시한다. 커버(800)는 도 7a의 앞선 커버(600)와 유사하다. 제 1 탄성 부재(801)는 커버(800)의 천장과 이동식 부재(802)의 캡 사이에 배치되고, 제 1 탄성 부재(801)는 커버(800)의 천장과 이동식 부재(802)의 캡 모두와 접촉한다. 제 2 탄성 부재(803)는 이동식 부재(802)와 리드 천장(113) 사이에 배치되고, 제 2 탄성 부재(803)는 이동식 부재(802) 및 리드 천장(113)과 접촉한다.
제 1 탄성 부재(801)는 천장에 범프가 형성되고, 범프는 커버(800)의 구멍을 통해 노출되어 커버(800)의 천장 밖으로 튀어 나온다. 제 1 탄성 부재(801)는 지지 블록(8011) 또는 그 측면에 형성된 도 7b의 상술한 지지 블록(6015)과 유사한 지지 환형부를 가질 수 있으며, 이동식 부재(802)를 안정시키기 위해 커버(800)의 내부에 접하도록 구성된다. 제 1 탄성 부재(801)는 이동식 부재(802)의 캡에 미리 장착된 후 커버(800)를 씌워 접촉을 완료할 수 있다. 구체적으로, 제 2 탄성 부재(803)는 오링(O-ring)일 수 있으며, 이동식 부재(802)는 제 2 탄성 부재(803)와 매칭되도록 바닥에 적절한 구조가 형성될 수 있다. 이에 의해, 커버(800) 및 제 1 탄성 부재(801)는 레티클이 상승될 때 이동식 부재(802)가 도달할 수 있는 최고 수위를 결정할 수 있고, 제 2 탄성 부재(803)는 상기 가압 부재에 의해 가압될 때 도달할 수 있는 최저 수위를 결정할 수 있다. 다른 가능한 실시예에서, 제 1 탄성 부재(801)에는 상술한 제 1 자석(M1)이 제공될 수 있고, 제 1 탄성 부재(801)의 범프 상단이 커버(800)의 천장 아래에 있을 수 있다.
상술한 실시예에서, 탄성 부재(201, 601) 및 이동식 부재(202, 602)는 서로 별개의 부재인 반면, 탄성 부재(801) 및 이동식 부재(802)는 서로 연결된다. 그럼에도 불구하고, 다른 가능한 실시예 및 해석에서, 탄성 부재는 이동식 부재의 캡의 일부로 간주될 수 있다. 즉, 전체로서 또는 일부로서 탄성 부재는 전체 이동식 부재의 일부로 간주될 수 있다. 따라서, 이동식 부재의 캡에 힘을 가하는 것은 상기 탄성 부재에 힘을 가하는 것과 동일할 수 있다.
상술한 실시예에서, 상기 탄성 부재는 가압 부재로부터 과도한 가압력을 흡수하기 위한 탄성 또는 연질 재료로 형성된다. 탄성 부재는 20 내지 80 범위의 쇼어 듀로 미터(Shore Durometer)와 같이 상대적으로 작은 경도를 갖는 재료로 제조될 수 있다. 대안으로, 탄성 부재 경도는 다공성 또는 중공 구조와 같은 재료의 구조적 특징을 변경함으로써 달성될 수 있다.
상술한 실시예의 설명을 고려하여, 본 발명은 기계 플랫폼에 의해 정보를 식별할 수 있는 레티클 포드 및 이러한 레티클 포드를 식별하는 방법을 개시하여, 레이저 감지 방식이 제공되는 처리 장치가 레티클 포드 정보 식별, 제조 공정에서 데이터 조작 개선을 더 제공할 수 있도록 한다.
100 외부 포드
101 내부 포드
102 베이스
110 내부 포드
111 리드
112 베이스
113 천정
114 지지핀
115 제한핀
120 레티클
200 커버
2001 장착 구멍
201 탄성 부재
2011 슬리브
2012 마운팅 윙
2014 장착 구멍
202 이동식 부재
2021 캡
2022 핀
400 가압 부재
500 탄성 부재
501 연결 부재
600 커버
6001 장착 구멍
6002 구멍
601 탄성 부재
6011 슬리브
6012 마운팅 윙
6013 범프
6014 장착 구멍
6015 지지 블록
602 이동식 부재
6021 캡
6022 핀
604 가압 부재
800 커버
801 제 1 탄성 부재
8011 지지 블록
802 이동식 부재
803 제 2 탄성 부재
M1 제 1 자석
M2 제 2 자석
L1 제 1 수위
L2 제 2 수위
R 레티클

Claims (24)

  1. 리드 및 상기 리드 상에 제공된 하나 이상의 핀 어셈블리를 갖는 레티클 포드로서, 상기 핀 어셈블리는:
    상기 리드의 천정에 대해 상대적으로 이동 가능하도록 구성된 이동식 부재; 및
    이동식 부재가 탄성 부재와 리드의 천정 사이에 유지되도록 이동식 부재를 수용하는 수용 공간을 정의하기 위하여 리드의 천정에 장착되도록 구성된 탄성 부재를 포함하고,
    상기 리드의 천장은 레티클 포드가 레티클을 수용하지 않을 때 이동식 부재가 제 1 수위에 위치해 있다고 결정하도록 구성되고; 상기 탄성 부재는 레티클 포드가 레티클을 수용할 때 레티클을 유지하기 위해 이동식 부재가 제 2 수위에 위치하도록 이동식 부재와 협력하도록 구성되며, 상기 제 2 수위는 상기 제 1 수위보다 높은 레티클 포드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    레티클 포드가 레티클을 수용하지 않을 때 제 1 수위에 위치된 이동식 부재와 탄성 부재 사이에 갭이 형성되는 레티클 포드.
  3. 제 2 항에 있어서,
    갭은 제 1 수위과 제 2 수위 사이의 거리와 실질적으로 동일한 레티클 포드.
  4. 제 2 항에 있어서,
    탄성 부재는 레티클 포드가 레티클을 수용할 때 상기 레티클을 유지하기 위해 상기 탄성 부재가 상기 이동식 부재와 상호 작용하도록 직접 또는 간접적으로 외력을 받도록 더 구성되는 레티클 포드.
  5. 제 1 항에 있어서,
    이동식 부재는 캡과 핀이 있으며, 상기 캡은 탄성 부재와 리드의 천장 사이에 제한되고, 상기 핀은 상기 캡으로부터 레티클 포드의 내부로 뻗어 있는 레티클 포드.
  6. 제 1 항에 있어서,
    리드에는 하나 이상의 커버가 제공되고, 상기 커버는 상기 리드에 장착되어 상기 리드에 연결된 탄성 부재를 덮는 레티클 포드.
  7. 제 6 항에 있어서,
    탄성 부재는 슬리브와 한 쌍의 마운팅 윙이 있으며, 상기 한 쌍의 마운팅 윙은 리드의 천장에 연결되도록 구성되고, 상기 리드의 슬리브 및 천장은 이동식 부재를 부분적으로 수용하기 위한 수용 공간을 형성하는 레티클 포드.
  8. 제 1 항에 있어서,
    탄성 부재는 슬리브와 한 쌍의 마운팅 윙이 있으며, 상기 한 쌍의 마운팅 윙은 리드의 천장에 연결되도록 구성되고, 상기 리드의 슬리브 및 천장은 이동식 부재를 부분적으로 수용하기 위한 수용 공간을 형성하는 레티클 포드.
  9. 제 8 항에 있어서,
    슬리브는 커버를 향하는 천장이 있고, 상기 슬리브의 천장에 제 1 자석이 배치되는 레티클 포드.
  10. 제 9 항에 있어서,
    리드를 갖는 레티클 외부 포드를 더 포함하고, 상기 레티클 외부 포드의 리드에는 핀 어셈블리에 대응하는 하나 이상의 가압 부재가 제공되며, 상기 가압 부재에는 제 2 자석이 제공되고,
    상기 제 1 자석 및 제 2 자석은 가압 부재가 대응하는 핀 어셈블리에 비접촉 가압을 제공하여 이동식 부재가 레티클 포드의 내부를 향해 이동하게 강제하는 방식으로 구성되는 레티클 포드.
  11. 제 1 항에 있어서,
    리드는 상기 리드에 연결된 탄성 부재를 부분적으로 노출시키기 위해 장착된 하나 이상의 커버를 갖는 레티클 포드.
  12. 제 11 항에 있어서,
    탄성 부재는 슬리브와 한 쌍의 마운팅 윙이 있으며, 상기 한 쌍의 마운팅 윙은 리드의 천장에 연결되도록 구성되고, 리드의 슬리브 및 천장은 이동식 부재를 부분적으로 수용하기 위한 수용 공간을 형성하며, 커버의 구멍을 통해 슬리브의 천장이 노출되는 레티클 포드.
  13. 제 12 항에 있어서,
    슬리브의 천장이 커버의 천장으로부터 튀어 나온 레티클 포드.
  14. 제 12 항에 있어서,
    리드를 갖는 레티클 외부 포드를 더 포함하고, 상기 레티클 외부 포드의 리드에는 가압 부재가 대응하는 핀 어셈블리의 슬리브의 천장에 접촉식 가압을 제공하여 이동식 부재가 레티클 포드의 내부를 향해 이동하게 강제하도록 핀 어셈블리에 대응하는 하나 이상의 가압 부재가 제공되는 레티클 포드.
  15. 리드 및 상기 리드 상에 제공된 하나 이상의 핀 어셈블리를 갖는 레티클 포드로서, 상기 핀 어셈블리는:
    상기 리드의 천정에 대해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 캡과 상기 리드에 형성된 구멍을 관통하여 상기 리드의 바닥면에서 튀어 나오는 핀을 포함하는 이동식 부재; 및
    이동식 부재를 수용하는 수용 공간을 정의하기 위하여 리드의 외부에 장착되는 커버 및 이동식 부재가 리드의 천정과 탄성 부재 사이에 유지되도록 이동식 부재의 캡을 둘러싸도록 구성되는 탄성 부재를 포함하고,
    커버와 탄성 부재는 함께 이동식 부재의 캡이 도달할 수 있는 최고 수위를 결정하고,
    레티클이 레티클 포드에 수용되면 핀이 레티클의 상부면에 접촉하고; 상기 캡이 직접 또는 간접적으로 외력을 받으면, 상기 캡은 핀이 레티클을 유지하도록 강제하는 레티클 포드.
  16. 제 15 항에 있어서,
    탄성 부재는 리드의 구멍을 밀봉하는 레티클 포드.
  17. 제 15 항에 있어서,
    레티클 포드가 레티클을 수용하지 않을 때 핀의 길이량이 바닥면에서 튀어 나오며, 상기 길이량은 레티클 포드에 수용될 때 레티클의 상부면과 리드의 바닥면 사이 거리보다 적어도 더 큰 레티클 포드.
  18. 제 15 항에 있어서,
    레티클 포드가 레티클을 수용할 때 레티클 외부 포드에 의해 외력이 가해지는 레티클 포드.
  19. 제 18 항에 있어서,
    캡에는 제 1 자석이 제공되고, 외력은 레티클 포드가 레티클을 수용할 때 제 1 자석에 가해지는 반발력인 레티클 포드.
  20. 제 19 항에 있어서,
    레티클 외부 포드는 핀 어셈블리에 대응하는 하나 이상의 가압 부재가 제공된 리드를 갖고, 상기 가압 부재에는 제 2 자석이 제공되며, 상기 제 1 자석 및 상기 제 2 자석은 가압 부재가 대응하는 핀 어셈블리에 비접촉 가압을 제공하여 이동식 부재가 레티클 포드의 내부를 향해 이동하도록 강제하는 방식으로 구성되는 레티클 포드.
  21. 제 15 항에 있어서,
    커버와 리드의 외부에 의해 정의되는 수용 공간은 커버의 내부에 연결되는 환형 탄성 부재인 다른 탄성 부재를 수용하는 레티클 포드.
  22. 리드와 베이스를 포함하고, 상기 리드에 핀과 캡을 포함하는 하나 이상의 핀 어셈블리가 제공되는 레티클 포드에 레티클을 고정하는 방법으로서, 상기 방법은:
    리드의 바닥면에서 튀어 나오면서 리드의 구멍 내에서 핀이 움직일 수 있도록 구성하는 단계;
    캡이 탄성 부재와 리드 사이에 유지되도록 캡과 캡 주위의 탄성 부재를 수용하는 수용 공간을 정의하고 리드가 도달할 수 있는 최고 수위를 결정하기 위해 리드의 외부에 장착된 커버를 제공하는 단계;
    핀이 레티클의 상부면에 접촉하여 핀을 상승시키도록 레티클 포드 내에서 레티클을 수용하는 단계; 및
    캡이 핀을 강제하여 레티클을 누르게 하여 레티클 포드 내에서 레티클을 안정시키도록 캡에 직접 또는 간접적으로 외력을 가하는 단계를 포함하는 레티클을 고정하는 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    간접적으로 외력을 가하는 방식은 핀 어셈블리에 제 1 자석 및 상기 핀 어셈블리와 상호 작용하는 가압 부재에 제 2 자석을 제공하는 단계를 포함하며, 상기 제 1 자석과 제 2 자석은 서로 인접할 때 서로 반발하는 레티클을 고정하는 방법.
  24. 제 22 항에 있어서,
    직접적으로 외력을 가하는 방식은 탄성 부재가 핀 어셈블리의 캡을 누르도록 강제하기 위해 핀 어셈블리와 상호 작용하는 가압 부재에 의해 탄성 부재의 범프와 접촉하는 단계를 포함하는 레티클을 고정하는 방법.
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