JPH0682744B2 - 自動マスク搬送装置 - Google Patents
自動マスク搬送装置Info
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- JPH0682744B2 JPH0682744B2 JP12365786A JP12365786A JPH0682744B2 JP H0682744 B2 JPH0682744 B2 JP H0682744B2 JP 12365786 A JP12365786 A JP 12365786A JP 12365786 A JP12365786 A JP 12365786A JP H0682744 B2 JPH0682744 B2 JP H0682744B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、半導体露光装置においてマスクを自動的に交
換してマスクアライナへ搬送する自動マスク搬送装置に
関する。なお、本明細書において「マスク」はパターン
転写用原版を指し、レチクルを含むものとする。
換してマスクアライナへ搬送する自動マスク搬送装置に
関する。なお、本明細書において「マスク」はパターン
転写用原版を指し、レチクルを含むものとする。
［発明の背景］ IC,LSI,超LSI等の半導体の製造上解決しなければならな
い事項の一つとして、マスクまたはレチクルへの塵埃付
着の問題がある。マスクに形成された超微細な回路パタ
ーンをウエハに転写するとき、マスクに塵埃が付着して
いるとウエハに転写された回路パターンの損害につなが
り、後工程を経て製品化されたLSI等の半導体装置の性
能を低下させるばかりでなく、最悪の場合半導体装置の
機能全体を損なわせてしまう。
い事項の一つとして、マスクまたはレチクルへの塵埃付
着の問題がある。マスクに形成された超微細な回路パタ
ーンをウエハに転写するとき、マスクに塵埃が付着して
いるとウエハに転写された回路パターンの損害につなが
り、後工程を経て製品化されたLSI等の半導体装置の性
能を低下させるばかりでなく、最悪の場合半導体装置の
機能全体を損なわせてしまう。
［従来の技術］ 従来の半導体製造装置においては作業員が直接手によっ
てマスクまたはレチクルをマスクホルダに充填しなけれ
ばならないため、人体からの塵埃がマスクまたはレチク
ルに付着する可能性が大きい。さらに近年マスクの直径
が大きくなってきたことに伴ない手で扱いにくくなって
きており、作業員の取扱い上の不注意により、マスクに
傷を付けたり破損の恐れもある。
てマスクまたはレチクルをマスクホルダに充填しなけれ
ばならないため、人体からの塵埃がマスクまたはレチク
ルに付着する可能性が大きい。さらに近年マスクの直径
が大きくなってきたことに伴ない手で扱いにくくなって
きており、作業員の取扱い上の不注意により、マスクに
傷を付けたり破損の恐れもある。
また、従来、マスクをセットする際、その露光領域に於
て、マスク上に設けられたマスクに対してウエハの位置
を合せる為の位置整合マークが観察用顕微鏡の視野中央
に入るように、マスクの位置合せが作業者によって行な
われているが、こういった作業も人間の介在を極端にき
らうクリーンルームでは省略したい作業である。
て、マスク上に設けられたマスクに対してウエハの位置
を合せる為の位置整合マークが観察用顕微鏡の視野中央
に入るように、マスクの位置合せが作業者によって行な
われているが、こういった作業も人間の介在を極端にき
らうクリーンルームでは省略したい作業である。
ところで、このようなマスクまたはレチクルの自動搬送
装置は、既にいくつかが開発され使用されている（特開
昭57−64930号、特開昭55−62729号、特開昭52−143771
号など）。
装置は、既にいくつかが開発され使用されている（特開
昭57−64930号、特開昭55−62729号、特開昭52−143771
号など）。
前記マスクの自動搬送装置において、マスクは、マスク
カセットに収納されたカセットキャリアに複数収納され
ている。露光工程の変更時、マスクを交換する際、どの
マスクと交換するのかを指定する必要がある。指定方法
としてはコンソール等によりオペレータがキー入力して
交換すべきマスクが収納されたキャリア内のスロットナ
ンバーを指定する方法がある。この場合、従来のマスク
自動搬送装置において、マスクキャリア内の各スロット
にどのようなカセットが入っており、そのカセットにど
のようなマスクが収納されているかを予め管理しておく
必要があった。近年露光工程およびICの種類の増加によ
り使用マスクの枚数が増加してきたため、このような従
来の自動マスク搬送装置におけるマスク管理は容易では
なかった。また、前記従来の自動搬送装置にキャリアに
カセットを収納する際には、オペレータがカセットを区
別してキャリアに収納しなければならなかった。またマ
スクカセットにどのようなマスクが入っているかを事前
にチェックしなければならずこのようなチェックはオペ
レータが行なっていたため前述のように人体からの塵埃
がマスクに付着するという問題があった。
カセットに収納されたカセットキャリアに複数収納され
ている。露光工程の変更時、マスクを交換する際、どの
マスクと交換するのかを指定する必要がある。指定方法
としてはコンソール等によりオペレータがキー入力して
交換すべきマスクが収納されたキャリア内のスロットナ
ンバーを指定する方法がある。この場合、従来のマスク
自動搬送装置において、マスクキャリア内の各スロット
にどのようなカセットが入っており、そのカセットにど
のようなマスクが収納されているかを予め管理しておく
必要があった。近年露光工程およびICの種類の増加によ
り使用マスクの枚数が増加してきたため、このような従
来の自動マスク搬送装置におけるマスク管理は容易では
なかった。また、前記従来の自動搬送装置にキャリアに
カセットを収納する際には、オペレータがカセットを区
別してキャリアに収納しなければならなかった。またマ
スクカセットにどのようなマスクが入っているかを事前
にチェックしなければならずこのようなチェックはオペ
レータが行なっていたため前述のように人体からの塵埃
がマスクに付着するという問題があった。
［発明の目的］ 本発明は、前記従来技術の欠点を除去すると同時に自動
でマスクのIDを読取り間違ったマスクが搬送されること
を防止してマスクの誤納入防止を可能とした自動マスク
搬送装置の提供を目的とする。
でマスクのIDを読取り間違ったマスクが搬送されること
を防止してマスクの誤納入防止を可能とした自動マスク
搬送装置の提供を目的とする。
［発明の構成］ この目的を達成するため本発明は、マスクを収納してい
るマスクカセットをカセットキャリアに複数個収納し、
指定されたマスクを収納しているマスクカセットのケー
ス本体から前記マスクを搭載している底板と共に前記マ
スクを取り出した後、前記マスク搬送機構で半導体露光
装置へ搬送する自動マスク搬送装置において、前記マス
クおよび前記マスクカセットの底板のそれぞれに識別用
IDコードを設け、前記マスクおよび前記底板のIDコード
を読み取るための読取手段をマスク搬送経路上に設け、
前記読取手段の読み取り結果に応じて搬送中のマスクの
正誤を判別することにより指定したマスクを搬送するよ
うに前記搬送機構を制御する制御手段を備えたことを特
徴とする。
るマスクカセットをカセットキャリアに複数個収納し、
指定されたマスクを収納しているマスクカセットのケー
ス本体から前記マスクを搭載している底板と共に前記マ
スクを取り出した後、前記マスク搬送機構で半導体露光
装置へ搬送する自動マスク搬送装置において、前記マス
クおよび前記マスクカセットの底板のそれぞれに識別用
IDコードを設け、前記マスクおよび前記底板のIDコード
を読み取るための読取手段をマスク搬送経路上に設け、
前記読取手段の読み取り結果に応じて搬送中のマスクの
正誤を判別することにより指定したマスクを搬送するよ
うに前記搬送機構を制御する制御手段を備えたことを特
徴とする。
［実施例］ 第１図は本発明に係る自動マスク搬送装置の斜視図であ
る。複数のマスクカセット１がカセットキャリア２内に
収納されている。フォークユニット３がカセットキャリ
ア２に対向する位置に設けられ、マスクカセット１内の
マスクをカセット底板とともにカセットキャリア２の所
定のスロットから取出す。このフォークユニット３はガ
イド９に沿って上下に移動可能なエレベータユニット４
に装着されている。５はエレベータユニット４の上下位
置を検知するためのフォトスイッチ、６はエレベータユ
ニット４の上下位置を割出すインデックス板、７はマス
クを半導体露光装置（アライナ）のローディングステー
ション（図示しない）に受渡すためのマスクハンドユニ
ットである。フォークユニット３により取出されたマス
クの搬送路上にはIDコードリーダ８が設けられている。
る。複数のマスクカセット１がカセットキャリア２内に
収納されている。フォークユニット３がカセットキャリ
ア２に対向する位置に設けられ、マスクカセット１内の
マスクをカセット底板とともにカセットキャリア２の所
定のスロットから取出す。このフォークユニット３はガ
イド９に沿って上下に移動可能なエレベータユニット４
に装着されている。５はエレベータユニット４の上下位
置を検知するためのフォトスイッチ、６はエレベータユ
ニット４の上下位置を割出すインデックス板、７はマス
クを半導体露光装置（アライナ）のローディングステー
ション（図示しない）に受渡すためのマスクハンドユニ
ットである。フォークユニット３により取出されたマス
クの搬送路上にはIDコードリーダ８が設けられている。
マスクカセット１は、第２図に示すように、マスク14を
搭載した底板12と、この底板12を収容するるケース本体
10からなる。マスク14の上面および底板12の上面には各
々マスク識別用IDコード16およびカセット識別用IDコー
ド18が取付けられている。これらのIDコード16,18は例
えばバーコードまたは磁気ストライプからなり、これら
を読取る前記IDコードリーダ８はバーコードリーダまた
は磁気ヘッドにより構成される。
搭載した底板12と、この底板12を収容するるケース本体
10からなる。マスク14の上面および底板12の上面には各
々マスク識別用IDコード16およびカセット識別用IDコー
ド18が取付けられている。これらのIDコード16,18は例
えばバーコードまたは磁気ストライプからなり、これら
を読取る前記IDコードリーダ８はバーコードリーダまた
は磁気ヘッドにより構成される。
上記構成の自動マスク搬送装置において、中央制御装置
（CPU）を介してマスク交換指令が出されると、フォー
クユニット３が指定されたマスクをカセットキャリア２
の所定のスロットからマスクカセットの底板12とともに
取出す。取出されたマスク14および底板12は、マスクア
ライナに送られる前に、IDコードリーダ８により各々の
識別用IDコード16,18が読取られ正しいマスクかどうか
がチェックされる。このようなチェック機能を有する本
発明に係る自動マスク交換装置の回路を第３図に示す。
20は中央制御装置（CPU）であり装置全体の動作シーケ
ンスを制御する。シーケンスプログラムはROM42に記憶
されている。RAM40に動作制御に必要なデータの読出し
および書込みが行なわれる。CPU20はROM42およびRAM40
とともにアドレスバス、データバスからなるバスライン
21を介してインターフェイス回路24に連絡される。イン
ターフェエス回路24は、内部バスラインデータを出力す
るバスバッファ23と、I/Oアドレスを出力するデコーダ2
2と、周辺回路との間で並列にデータを入出力可能な複
数のデータポートを有するパラレルポート26と、周辺装
置との間でシリアルにデータを通信可能な複数のデータ
ポートを有するシリアルポート28と、パラレルポート26
の出力データにより装置駆動用各モータを動作させるモ
ータドライバ30とにより構成されている。27は内部バス
ラインでありバスバッファ23からパラレルポート26およ
びシリアルポート28にバスデータを送る。モータドライ
バ30は、マスクハンドユニット７（第１図）の駆動用モ
ータ36と、フォークユニット３（第１図）の駆動用モー
タ37と、エレベータユニット４（第１図）の駆動用モー
タ39とに各々連絡されている。パラレルポート26にはエ
レベータユニット４の上下インデックス位置を検知する
フォトスイッチ５（第１図）およびマスクIDデータ、シ
ーケンス等を表示する表示回路33が連結される。フォト
スイッチ５の検知信号はパラレルポート26に入力され、
内部バスライン27、バスバッファ23、バスライン21を介
してCPU20にデータ入力され、ROM42に内蔵されたシーケ
ンスによりインデックス位置が判断される、シリアルポ
ート28はマスクアライナのシリアルポート48に連結さ
れ、動作シーケンス上のデータ通信が行なわれる。シリ
アルポート28はさらにIDコードリーダ８（第１図）およ
びコンソール46に連結され、マスク14およびカセット底
板12の各IDコード16,18（第２図）の読取りデータおよ
びコンソールからのキー入力データを内部バスライン2
7、バスバッファ23、バスライン21を介してCPU20の内部
レジスタに入力し、さらにCPU20からRAM40にデータを送
る。
（CPU）を介してマスク交換指令が出されると、フォー
クユニット３が指定されたマスクをカセットキャリア２
の所定のスロットからマスクカセットの底板12とともに
取出す。取出されたマスク14および底板12は、マスクア
ライナに送られる前に、IDコードリーダ８により各々の
識別用IDコード16,18が読取られ正しいマスクかどうか
がチェックされる。このようなチェック機能を有する本
発明に係る自動マスク交換装置の回路を第３図に示す。
20は中央制御装置（CPU）であり装置全体の動作シーケ
ンスを制御する。シーケンスプログラムはROM42に記憶
されている。RAM40に動作制御に必要なデータの読出し
および書込みが行なわれる。CPU20はROM42およびRAM40
とともにアドレスバス、データバスからなるバスライン
21を介してインターフェイス回路24に連絡される。イン
ターフェエス回路24は、内部バスラインデータを出力す
るバスバッファ23と、I/Oアドレスを出力するデコーダ2
2と、周辺回路との間で並列にデータを入出力可能な複
数のデータポートを有するパラレルポート26と、周辺装
置との間でシリアルにデータを通信可能な複数のデータ
ポートを有するシリアルポート28と、パラレルポート26
の出力データにより装置駆動用各モータを動作させるモ
ータドライバ30とにより構成されている。27は内部バス
ラインでありバスバッファ23からパラレルポート26およ
びシリアルポート28にバスデータを送る。モータドライ
バ30は、マスクハンドユニット７（第１図）の駆動用モ
ータ36と、フォークユニット３（第１図）の駆動用モー
タ37と、エレベータユニット４（第１図）の駆動用モー
タ39とに各々連絡されている。パラレルポート26にはエ
レベータユニット４の上下インデックス位置を検知する
フォトスイッチ５（第１図）およびマスクIDデータ、シ
ーケンス等を表示する表示回路33が連結される。フォト
スイッチ５の検知信号はパラレルポート26に入力され、
内部バスライン27、バスバッファ23、バスライン21を介
してCPU20にデータ入力され、ROM42に内蔵されたシーケ
ンスによりインデックス位置が判断される、シリアルポ
ート28はマスクアライナのシリアルポート48に連結さ
れ、動作シーケンス上のデータ通信が行なわれる。シリ
アルポート28はさらにIDコードリーダ８（第１図）およ
びコンソール46に連結され、マスク14およびカセット底
板12の各IDコード16,18（第２図）の読取りデータおよ
びコンソールからのキー入力データを内部バスライン2
7、バスバッファ23、バスライン21を介してCPU20の内部
レジスタに入力し、さらにCPU20からRAM40にデータを送
る。
第４図にRAM40のメモリエリアのマップ50を示す。メモ
リエリアマップ50は、マスクIDデータ用エリア50aと、
マスクカセットIDデータ用エリア50bと、エラーマスクI
Dデータ用エリア50cと、エラーマスクカセットIDデータ
用エリア50dと、コンソール入力データ用エリア50eおよ
びその他のデータエリア50fとに区分され、各データエ
リア50a〜50fはフラグにより分類可能である。IDコード
リーダ８の読取りデータ、その他必要なデータをRAM40
に入力することによりROM42のシーケンスに従ってCPU20
が装置を以下に説明するように自動的に制御する。
リエリアマップ50は、マスクIDデータ用エリア50aと、
マスクカセットIDデータ用エリア50bと、エラーマスクI
Dデータ用エリア50cと、エラーマスクカセットIDデータ
用エリア50dと、コンソール入力データ用エリア50eおよ
びその他のデータエリア50fとに区分され、各データエ
リア50a〜50fはフラグにより分類可能である。IDコード
リーダ８の読取りデータ、その他必要なデータをRAM40
に入力することによりROM42のシーケンスに従ってCPU20
が装置を以下に説明するように自動的に制御する。
上記構成の回路による自動マスク搬送装置の動作シーケ
ンスのフローチャートを第５図および第６図に示す。第
５図は取り出したマスクおよびマスクカセットのチェッ
クを行なう場合の動作フローを示す。CPU20により交換
するマスクが指定されると、フォークユニット３が指定
されたマスクが収納されたカセットキャリア２のスロッ
トの位置に移動しマスクケースの底板とマスクとを抜出
す（ステップａ）。次に、IDコードリーダ８が、抜出さ
れたマスクのマスクIDコード16（第２図）を読取り（ス
テップｂ）これをRAM40のマスクIDコード用エリア50に
格納する（ステップｃ）。さらにIDコードリーダ８はマ
スクカセット底板のカセットIDコード18（第２図）を読
取り（ステップｄ）これをRAM40のマスクカセットIDデ
ータ用エリア50bに格納する（ステップｅ）。次に、CPU
20がRAM40に格納されたマスクIDデータとカセットIDデ
ータを読取り両データを比較して一致しているかどうか
を調べる（ステップｆ）。両方のIDコードデータが一致
し指定したマスクが正しく取出されたことが確認される
とマスク搬送動作が続けられる（ステップｇ）。両方の
IDコードが不一致の場合には、このマスクIDコードをRA
M40のエラーマスクIDデータ用エリア50cに入力し（ステ
ップｈ）、その後マスクIDの検索動作（後述）を行なう
（ステップｉ）。
ンスのフローチャートを第５図および第６図に示す。第
５図は取り出したマスクおよびマスクカセットのチェッ
クを行なう場合の動作フローを示す。CPU20により交換
するマスクが指定されると、フォークユニット３が指定
されたマスクが収納されたカセットキャリア２のスロッ
トの位置に移動しマスクケースの底板とマスクとを抜出
す（ステップａ）。次に、IDコードリーダ８が、抜出さ
れたマスクのマスクIDコード16（第２図）を読取り（ス
テップｂ）これをRAM40のマスクIDコード用エリア50に
格納する（ステップｃ）。さらにIDコードリーダ８はマ
スクカセット底板のカセットIDコード18（第２図）を読
取り（ステップｄ）これをRAM40のマスクカセットIDデ
ータ用エリア50bに格納する（ステップｅ）。次に、CPU
20がRAM40に格納されたマスクIDデータとカセットIDデ
ータを読取り両データを比較して一致しているかどうか
を調べる（ステップｆ）。両方のIDコードデータが一致
し指定したマスクが正しく取出されたことが確認される
とマスク搬送動作が続けられる（ステップｇ）。両方の
IDコードが不一致の場合には、このマスクIDコードをRA
M40のエラーマスクIDデータ用エリア50cに入力し（ステ
ップｈ）、その後マスクIDの検索動作（後述）を行なう
（ステップｉ）。
第６図はマスクIDの検索動作を示すフローチャートであ
る。この自動マスク搬送装置を動作させる場合、カセッ
トキャリア２に予めマスクが収納されていない空のマス
クカセットを収容しておく。前述のマスクIDおよびマス
クカセットIDが不一致の場合、このマスクを空のマスク
カセットに収納する（ステップｊ）。その後すべてのマ
スクカセットに対し第５図のフローチャートで示す動作
を繰返すことにより指定されたマスクIDの検索動作を行
なう（ステップｋ）。
る。この自動マスク搬送装置を動作させる場合、カセッ
トキャリア２に予めマスクが収納されていない空のマス
クカセットを収容しておく。前述のマスクIDおよびマス
クカセットIDが不一致の場合、このマスクを空のマスク
カセットに収納する（ステップｊ）。その後すべてのマ
スクカセットに対し第５図のフローチャートで示す動作
を繰返すことにより指定されたマスクIDの検索動作を行
なう（ステップｋ）。
次に、指定したマスクIDがあったかどうかを判断し（ス
テップｌ）、指定したマスクIDがあればそのマスクが入
っていたマスクカセットのIDコードデータをRAM40のエ
ラーマスクカセットIDデータ用エリア50dに格納する
（ステップｏ）。続いて指定したマスクをカセット底板
とともに搬送しマスクをアライナにセットする（ステッ
プｐ）。マスク収納時には、RAM40に記憶したデータに
基づきマスクIDと同一のマスクカセットにマスクを収納
する（ステップq,r）。一方、ステップ１において、指
定したマスクIDがない場合に、すべてのマスクカセット
について検索動作を行なったかどうかを認識し（ステッ
プｍ）、なおマスクIDがない場合には表示回路33（第３
図）にエラー表示を行なう（ステップｎ）。
テップｌ）、指定したマスクIDがあればそのマスクが入
っていたマスクカセットのIDコードデータをRAM40のエ
ラーマスクカセットIDデータ用エリア50dに格納する
（ステップｏ）。続いて指定したマスクをカセット底板
とともに搬送しマスクをアライナにセットする（ステッ
プｐ）。マスク収納時には、RAM40に記憶したデータに
基づきマスクIDと同一のマスクカセットにマスクを収納
する（ステップq,r）。一方、ステップ１において、指
定したマスクIDがない場合に、すべてのマスクカセット
について検索動作を行なったかどうかを認識し（ステッ
プｍ）、なおマスクIDがない場合には表示回路33（第３
図）にエラー表示を行なう（ステップｎ）。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明に係る自動マスク搬送装置
においては、マスクおよびマスクカセットの両方にIDコ
ードを設け、マスク搬送路上にIDコードリーダを配置し
てマスク搬送中にマスクおよびマスクカセトのIDコード
を読取ることによりマスクの自動チェック動作およびカ
セットキャリア内のマスクの自動検索動作が可能とな
る。従って、指定したマスク以外のマスクを誤ってマス
クアライナへ搬送することは防止される。マスクアライ
ナを動作させる前に本装置によりマスクIDとマスクカセ
ットIDとを一致させてカセットキャリア内の各スロット
に収納し各スロットのデータRAMに格納することにより
マスクの自動管理が可能となりマスクへの塵埃付着等の
問題は発生せず、マスク交換動作の信頼性が向上する。
においては、マスクおよびマスクカセットの両方にIDコ
ードを設け、マスク搬送路上にIDコードリーダを配置し
てマスク搬送中にマスクおよびマスクカセトのIDコード
を読取ることによりマスクの自動チェック動作およびカ
セットキャリア内のマスクの自動検索動作が可能とな
る。従って、指定したマスク以外のマスクを誤ってマス
クアライナへ搬送することは防止される。マスクアライ
ナを動作させる前に本装置によりマスクIDとマスクカセ
ットIDとを一致させてカセットキャリア内の各スロット
に収納し各スロットのデータRAMに格納することにより
マスクの自動管理が可能となりマスクへの塵埃付着等の
問題は発生せず、マスク交換動作の信頼性が向上する。
なお、CPUにフロッピーディスク装置等の外部メモリを
接続しカセットキャリア内のマスクおよびマスクカセッ
トのデータをフロッピーに収納しフロッピーメディアの
形式でマスク管理することもできる。
接続しカセットキャリア内のマスクおよびマスクカセッ
トのデータをフロッピーに収納しフロッピーメディアの
形式でマスク管理することもできる。
第１図は本発明に係る自動マスク搬送装置の斜視図、第
２図は本発明に係るマスクカセットの外観図、第３図は
本発明に係る自動マスク搬送装置の電気回路図、第４図
は第３図の回路内のRAMのデータエリア説明図、第５図
はマスクおよびマスクカセットのチェック動作のフロー
チャート、第６図はマスクIDの検索動作のフローチャー
トである。 1:マスクカセット、2:カセットキャリア、8:IDコードリ
ーダ、10:ケース本体、12:底板、14:マスク、16,18:ID
コード。
２図は本発明に係るマスクカセットの外観図、第３図は
本発明に係る自動マスク搬送装置の電気回路図、第４図
は第３図の回路内のRAMのデータエリア説明図、第５図
はマスクおよびマスクカセットのチェック動作のフロー
チャート、第６図はマスクIDの検索動作のフローチャー
トである。 1:マスクカセット、2:カセットキャリア、8:IDコードリ
ーダ、10:ケース本体、12:底板、14:マスク、16,18:ID
コード。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 21/68 Ｔ 8418−4Ｍ
Claims (7)
- 【請求項１】マスクを収納しているマスクカセットをカ
セットキャリアに複数個収納し、指定されたマスクを収
納しているマスクカセットのケース本体から前記マスク
を搭載している底板と共に前記マスクを取り出した後、
前記マスクを搬送機構で半導体露光装置へ搬送する自動
マスク搬送装置において、前記マスクおよび前記マスク
カセットの底板のそれぞれに識別用IDコードを設け、前
記マスクおよび前記底板のIDコードを読み取るための読
取手段をマスク搬送経路上に設け、前記読取手段の読み
取り結果に応じて搬送中のマスクの正誤を判別すること
により指定したマスクを搬送するように前記搬送機構を
制御する制御手段を備えたことを特徴とする自動マスク
搬送装置。 - 【請求項２】前記IDコードはバーコードであり、前記読
取手段はバーコードリーダであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の自動マスク搬送装置。 - 【請求項３】前記IDコードは磁気記録手段により表示さ
れ、前記読取手段は磁気ヘッドからなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の自動マスク搬送装置。 - 【請求項４】前記制御手段は、動作シーケンスプログラ
ムを記憶したROMと、IDコードデータの読取り書込みが
可能なRAMと、該ROMおよびRAMに従って動作シーケンス
を制御するためのCPUからなることを特徴とする特許請
求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の自
動マスク搬送装置。 - 【請求項５】前記RAMは、フラグにより分類可能なマス
クIDデータ用エリアと、マスクカセットIDデータ用エリ
アと、エラーマスクIDデータ用エリアと、エラーマスク
カセットIDデータ用エリアと、コンソール入力データ用
エリアとを有することを特徴とする特許請求の範囲第４
項記載の自動マスク搬送装置。 - 【請求項６】前記IDコード読取手段により読取ったマス
クIDコードおよびマスクカセットIDコードを前記RAMの
所定のデータエリアに収納し、両IDコードが一致してい
る場合にはマスク搬送動作を行い、両IDコードが不一致
の場合には両IDコードデータをエラー用データエリアに
格納するとともに指定したマスクの検索動作を行なうよ
うに前記ROMのシーケンスプログラムを構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第５項記載の自動マスク搬送
装置。 - 【請求項７】前記カセットキャリアに予め空のマスクカ
セットを収納し、前記マスクIDコードおよびマスクカセ
ットIDコードが不一致の場合に、該マスクを前記空のマ
スクカセットに収納するとともに、カセットキャリア内
の残りのマスクカセットに対し指定されたマスクがある
かどうかの検索を行なうように前記ROMのシーケンスプ
ログラムを構成したことを特徴とする特許請求の範囲第
６項記載の自動マスク搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12365786A JPH0682744B2 (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 自動マスク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12365786A JPH0682744B2 (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 自動マスク搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62281439A JPS62281439A (ja) | 1987-12-07 |
| JPH0682744B2 true JPH0682744B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=14866043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12365786A Expired - Lifetime JPH0682744B2 (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 自動マスク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682744B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103324037B (zh) * | 2013-07-04 | 2015-01-07 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种曝光装置及其曝光方法 |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP12365786A patent/JPH0682744B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62281439A (ja) | 1987-12-07 |
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