JP2001031221A - カセット、カセット排出装置、カセット管理システム、カセットへのデータ登録方法 - Google Patents

カセット、カセット排出装置、カセット管理システム、カセットへのデータ登録方法

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JP2001031221A
JP2001031221A JP11212172A JP21217299A JP2001031221A JP 2001031221 A JP2001031221 A JP 2001031221A JP 11212172 A JP11212172 A JP 11212172A JP 21217299 A JP21217299 A JP 21217299A JP 2001031221 A JP2001031221 A JP 2001031221A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被処理物を収納するカセットの管理を適確に
行うことのできる、カセット,カセット排出装置,カセ
ット管理システム,カセットへのデータ登録方法を提供
する。 【解決手段】 ガラス基板収納用カセット2に、カセッ
トの識別番号を示すバーコードラベル9およびカセット
の識別番号,ガラス基板の最終工程,カセットの行き先
を示すデータを記憶するIDタグ8を設ける。たとえ
ば、カセットを搬送する無人搬送車がトラブルで稼働で
きなくなっても、IDタグ8の内容をハンディタイプタ
ーミナル等で見ることにより、被処理物の終了工程,カ
セットの行き先が確認でき、人手でカセットを移動し、
生産を継続することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物を収納す
るカセット、そのカセットの排出装置,カセット管理シ
ステム,カセットへのデータ登録方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来は、個々のカセットに、収納した被
処理物の製品番号,被処理物の終了工程,カセットの行
き先アドレス等の収納データを記入した帳票を付けて、
在庫管理していた。カセットを詰め替える度に、カセッ
トと、製品番号,終了工程,行き先アドレス等を確認し
ながら、帳票への記入作業を繰り返し行っていた。
【0003】または、カセットに記憶手段を備え、書込
み手段により前記記憶手段に製品番号,終了工程,行き
先アドレス等の収納データを書き込むことで、カセット
管理を行っていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
従来例では、カセットに帳票を付けて、保管庫やライン
を移動させると移動中に帳票がなくなった場合、そのカ
セットの中味が不明になってしまっていた。
【0005】また、被処理物をカセットごと高温多湿処
理装置に投入する場合、耐久性によりカセットから記憶
手段を取り外し、処理終了後、記憶手段を再度取付けて
いた。
【0006】これによりいくつもある記憶手段の取付け
間違いによりカセットと記憶手段との対応の特定ができ
ず、生産効率の低下を引き起こすという問題があった。
【0007】本発明は、このような状況のもとでなされ
たもので、カセットの管理を適確に行うことができるカ
セット,カセット排出装置,カセット管理システム,カ
セットへのデータ登録方法を提供することを目的とする
ものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、カセットを次の(1)〜(4)のとお
りに構成し、カセット排出装置を次の(5)のとおりに
構成し、カセット管理システムを次の(6)のとおりに
構成し、カセットへのデータ登録方法を次の(7),
(8)のとおりに構成する。
【0009】(1)被処理物を収納するカセットであっ
て、当該カセットを識別する識別符号を示す識別手段
と、当該カセットにかかるデータを記憶する記憶手段と
を備えたカセット。
【0010】(2)前記(1)記載のカセットにおい
て、前記識別手段はバーコードラベルであるカセット。
【0011】(3)前記(1)記載のカセットにおい
て、前記識別手段は刻印であるカセット。
【0012】(4)前記(1)記載のカセットにおい
て、前記記憶手段に記憶するデータは、当該カセットの
識別符号,当該カセットに収納された被処理物を識別す
るための識別符号,その被処理物の終了工程,そのカセ
ットの行き先アドレス、を示すデータであるカセット。
【0013】(5)被処理物を収納するカセットを排出
するカセット排出装置であって、前記カセットが有する
識別手段よりそのカセットを識別する識別符号を読み取
る識別符号読取り手段と、この識別符号読取り手段で読
み取って識別符号にもとづいてデータベースから前記カ
セットにかかるデータを検索するデータ検索手段と、こ
のデータ検索手段で検索した前記カセットにかかるデー
タをそのカセットの記憶手段に書き込むデータ書込み手
段とを備えたカセット排出装置。
【0014】(6)前記(1)記載のカセットを搬送す
る無人搬送車と、この無人搬送車の通路に沿って配置さ
れた、前記カセットを受け入れるカセット受入装置、前
記カセットを排出する前記(5)記載のカセット排出装
置、前記カセットに収納された被処理物を受け入れその
処理を行うライン、前記カセットを保管するカセット保
管庫を備えたカセット管理システムであって、当該カセ
ット管理システム内における前記カセットの管理をその
カセットの記憶手段に記憶されたデータにもとづいて行
うカセット管理システム。
【0015】(7)被処理物を収納するカセットへ所要
のデータを登録するカセットへのデータ登録方法であっ
て、前記カセットが有する識別手段よりそのカセットを
識別する識別符号を読み取るステップAと、このステッ
プAで読み取った識別符号にもとづいてデータベースか
ら前記カセットにかかるデータを検索するステップB
と、このステップBで検索した前記カセットにかかるデ
ータを前記カセットが有する記憶手段に書き込むステッ
プCとを備えたカセットへのデータ登録方法。
【0016】(8)前記(7)記載のカセットへのデー
タ登録方法において、前記カセットにかかるデータは、
そのカセットを識別する識別符号,そのカセットに収納
された被処理物を識別するための識別符号,その被処理
物の終了工程,そのカセットの行き先アドレス、を示す
データであるカセットへのデータ登録方法。
【0017】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態をカセッ
ト管理システムの実施例により詳しく説明する。なお本
発明はカセット管理システムの形に限らず、カセット,
カセット排出装置,カセットへのデータ登録方法の形で
同様に実施することができる。
【0018】
【実施例】(実施例1)図1は、実施例1である“カセ
ット管理システム”の全体構成を示すブロック構成図で
ある。
【0019】本実施例では、被処理物としてガラス基板
をカセットに収納し、そのカセットを搬送手段としての
無人搬送車にて、保管庫や、洗浄や成膜などの処理を施
すラインのローダ部へ受け渡す。ローダ部では、受け渡
されたカセットから、そのラインにガラス基板が投入さ
れ、ラインのアンローダ部でカセットに再び回収され
る。無人搬送車の制御を行う専用のコンピュータは、各
ラインのローダ部、アンローダ部にユニークに付けられ
たポジションNoを持っていて、各ローダ部やアンロー
ダ部から指示された信号を受け取るとそこのポジション
に速く行ける無人搬送車を送るように制御している。こ
のようなカセット管理システムについて述べる。
【0020】図中、1は詰め替え作業を完了したカセッ
トを払い出すカセット排出装置、2はカセットでありガ
ラス基板が収納されている。3はカセットを運搬する無
人搬送車で、複数台あり常に同じ方向にレール17上を
進むことができる。4はカセットを保管しておく保管
庫、5は洗浄処理や成膜処理を施す各製造ラインで、各
々ローダ部51とアンローダ部52がある。ローダ部5
1は無人搬送車で搬送されたカセットを製造ラインに受
け取り、カセット内のガラス基板を一枚ずつライン内に
投入する。アンローダ部52はライン内を流れてきたガ
ラス基板をカセットに回収し、そのカセットを無人搬送
車に受け渡す。6は歯抜け状態のカセットや不良品のカ
セットを受入れるカセット受入装置で、7は作業者が受
入れられたカセットの詰め替え作業をするカセット詰替
作業場である。
【0021】図2は、ガラス基板収納用カセットの外観
図である。
【0022】図中、2はカセット本体、8がIDタグ、
9はカセットの識別番号を示すバーコードラベルであ
る。番号に限らず適宜の符号であってもよい。1つのカ
セットには、30枚のガラス基板を収納することができ
る。
【0023】IDタグ8には、カセット番号とそのカセ
ットに収納されたガラス基板の基板番号(番号に限らず
適宜の符号であってもよい)や、ガラス基板の終了工
程,カセットの行き先アドレスを示すデータが記憶され
る。
【0024】図3は、カセット排出装置1の外観図であ
る。
【0025】図中、10は詰め替え作業を完了したカセ
ットのカセット投入部、11は無人搬送車にカセットを
受け渡すカセット排出部、12はいくつかの詰め替え作
業を完了したカセットを蓄えるカセットバッファ部であ
り、カセットは矢印の方向へ順序よく掃き出されて行
く。図中のバッファ部12にはカセットが2つまで蓄え
られるようになっている。
【0026】また、13はカセットに貼られたバーコー
ドラベルを読むバーコードリーダ、14はカセットに固
定されたIDタグ8にデータを書き込むIDリーダ/ラ
イタ、15はカセット排出部11にカセットの有無を検
知するリミットセンサ、16はカセット排出用コンピュ
ータである。
【0027】図4は、カセット排出用コンピュータ16
の構成を示すブロック図である。
【0028】カセット排出装置1に設けられた、バーコ
ードリーダ13,IDリーダ/ライタ14等を含む外部
との信号のやり取りする入出力インターフェース20が
繋がれ、CPU21,メモリ22,CRT23から構成
される。
【0029】図5は、本実施例でのネットワーク構成図
である。
【0030】図中、16は前記カセット排出装置1に付
随し、サーバからカセット内の収納データを検索し、デ
ータを書き込むための制御をするカセット排出用コンピ
ュータ、50はカセット内の収納データを記憶するファ
イルサーバ、51はカセット内の収納データをファイル
サーバ50に書き込むカセット収納データ入力用コンピ
ュータ、52は各無人搬送車のカセットをライン5や保
管庫4に運搬する動作を制御する無人搬送車制御用コン
ピュータであり、これらコンピュータは構内LANやイ
ーサネット(登録商標)等のネットワーク53を介して
の相互通信手段を備えている。
【0031】図6は、前記カセット収納データ入力用コ
ンピュータ51の表示画面例である。
【0032】コンピュータ51は、カセット詰替作業場
付近に設置され、詰め替えたカセット情報をサーバ50
に登録する。ここで、キーボードよりカセットNoを入
力すると、ファイルサーバ50よりそのカセットに対応
する基板番号,終了工程,行き先アドレス等を検索し表
示する。また、キーボードで任意に基板番号等の入力変
更が可能で、登録機能によりそのデータをファイルサー
バ50に登録できる。
【0033】画面例では、カセットNo「C001」に
ガラス基板を合計19枚収納した状態で、カセット段数
1段目には基板番号「A10001」が、2段目には基
板番号「A10002」が収納されている。また、この
カセットの終了工程は「成膜」で、このカセットの行き
先を示す行き先アドレスは「保管庫A」であることを示
す。
【0034】図7はカセット排出処理フローを示す図
で、本フローを使用して処理内容を説明する。
【0035】まず、ステップ10で、作業者は歯抜けに
なり、30枚に満たないカセットを満杯カセットにする
ため、複数のカセットから1つの満杯カセットに詰め替
えする。ステップ20で詰め替え作業時に、収納したカ
セットの段数と基板の基板番号をカセット収納データ入
力用コンピュータ51で入力する。図6を例にとると、
カセット番号「C001」の段数19に製品番号「A1
0051」の基板を詰め替えたところである。作業者は
すべて作業が終了するまで、前記ステップ10と20を
繰り返し、ステップ30で、カセット収納データ入力用
コンピュータ51で登録作業をする。登録されたデータ
は、ネットワーク30経由でサーバ50に蓄積される。
【0036】ステップ40で、作業完了したカセットを
カセット排出装置の投入部10にセットする。カセット
はバッファ部12、排出部11へと移送される。排出部
11にカセットがある場合は、バッファ部12に一時的
に止まり2個までのカセットを装置上に溜めることが可
能である。
【0037】ステップ50で、カセットが排出部11に
来たら、リミットセンサ15よりカセットの有無の検出
信号をカセット排出用コンピュータ16が受け取る。
【0038】次にステップ60で、カセット排出用コン
ピュータ16は前記信号をトリガにして、バーコードリ
ーダ13で排出部11にあるカセットのカセット番号を
示したバーコードラベル9を読み取る。
【0039】次にステップ70で、カセット排出用コン
ピュータ16は読み取ったカセット番号をキーにして、
ファイルサーバ50から、そのカセット番号に収納され
た基板番号,終了工程,行き先アドレスなどの収納デー
タをデータベース手段にて検索する。
【0040】次にステップ80で、検索された収納デー
タとステップ60で読み取ったカセット番号とをIDリ
ーダ/ライタ14によりカセットのIDタグ8に書き込
む。
【0041】次のステップ90で、無人搬送車をカセッ
ト排出装置1に呼ぶため、カセット排出用コンピュータ
16の指示手段で無人搬送車制御用コンピュータ52に
指示信号を送る。
【0042】無人搬送車制御用コンピュータ52は、無
人搬送車3をカセット排出装置1に送り、カセットを指
定の行き先アドレスに運搬していく。
【0043】また、前述の処理フローは満杯カセットに
ついてだが、詰め替えにより空になった空カセットにつ
いても、空データとしてカセット収納データを登録し、
同様に空の収納データとカセット番号を一緒にIDタグ
8に書き込みカセット排出処理を行う。
【0044】以上説明したように、本実施例によれば、
IDタグの収納データとして、基板番号だけでなく、そ
のカセットの終了工程や行き先アドレスが書き込まれて
いるので、無人搬送車がトラブルで稼働できなくても、
市販されている液晶付ハンディタイプのターミナル等
で、どこでもIDタグの内容を見ることができるので、
作業者はカセットの終了工程や行き先アドレスをすぐに
確認でき、人手でカセットを移動し、生産を継続するこ
とができる。
【0045】また、誤ってIDタグが外されても、ID
タグにカセット番号が記憶されているため、カセット本
体のバーコードラベルを見ることで、カセットの特定が
すぐに可能である。
【0046】(実施例2)実施例1の構成において、特
にクリーン度が要求される製造ラインの場合、発埃の原
因になるカセットの識別番号を示すバーコードラベル9
の代わりに、カセットに取付けたプレートやカセット本
体に識別番号を刻印し、読取り手段として光学系を用い
た画像処理装置を使用してもよい。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被処理物を収納するカセットの管理を、適確に行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例1の全体構成を示すブロック図
【図2】 ガラス基板収納用カセットの外観図
【図3】 カセット排出装置の外観図
【図4】 カセット排出用コンピュータの構成を示すブ
ロック図
【図5】 実施例1におけるネットワーク構成図
【図6】 カセット収納データ入力用コンピュータの表
示画面例を示す図
【図7】 カセット排出処理フローを示す図
【符号の説明】
2 カセット 8 IDタグ 9 バーコードラベル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/68 B65D 85/38 R

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被処理物を収納するカセットであって、
    当該カセットを識別する識別符号を示す識別手段と、当
    該カセットにかかるデータを記憶する記憶手段とを備え
    たことを特徴とするカセット。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のカセットにおいて、前記
    識別手段はバーコードラベルであることを特徴とするカ
    セット。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のカセットにおいて、前記
    識別手段は刻印であることを特徴とするカセット。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のカセットにおいて、前記
    記憶手段に記憶するデータは、当該カセットの識別符
    号,当該カセットに収納された被処理物を識別するため
    の識別符号,その被処理物の終了工程,そのカセットの
    行き先アドレス、を示すデータであることを特徴とする
    カセット。
  5. 【請求項5】 被処理物を収納するカセットを排出する
    カセット排出装置であって、前記カセットが有する識別
    手段よりそのカセットを識別する識別符号を読み取る識
    別符号読取り手段と、この識別符号読取り手段で読み取
    って識別符号にもとづいてデータベースから前記カセッ
    トにかかるデータを検索するデータ検索手段と、このデ
    ータ検索手段で検索した前記カセットにかかるデータを
    そのカセットの記憶手段に書き込むデータ書込み手段と
    を備えたことを特徴とするカセット排出装置。
  6. 【請求項6】 請求項1記載のカセットを搬送する無人
    搬送車と、この無人搬送車の通路に沿って配置された、
    前記カセットを受け入れるカセット受入装置、前記カセ
    ットを排出する請求項5記載のカセット排出装置、前記
    カセットに収納された被処理物を受け入れその処理を行
    うライン、前記カセットを保管するカセット保管庫を備
    えたカセット管理システムであって、当該カセット管理
    システム内における前記カセットの管理をそのカセット
    の記憶手段に記憶されたデータにもとづいて行うことを
    特徴とするカセット管理システム。
  7. 【請求項7】 被処理物を収納するカセットへ所要のデ
    ータを登録するカセットへのデータ登録方法であって、
    前記カセットが有する識別手段よりそのカセットを識別
    する識別符号を読み取るステップAと、このステップA
    で読み取った識別符号にもとづいてデータベースから前
    記カセットにかかるデータを検索するステップBと、こ
    のステップBで検索した前記カセットにかかるデータを
    前記カセットが有する記憶手段に書き込むステップCと
    を備えたことを特徴とするカセットへのデータ登録方
    法。
  8. 【請求項8】 請求項7記載のカセットへのデータ登録
    方法において、前記カセットにかかるデータは、そのカ
    セットを識別する識別符号,そのカセットに収納された
    被処理物を識別するための識別符号,その被処理物の終
    了工程,そのカセットの行き先アドレス、を示すデータ
    であることを特徴とするカセットへのデータ登録方法。
JP11212172A 1999-07-27 1999-07-27 カセット、カセット排出装置、カセット管理システム、カセットへのデータ登録方法 Withdrawn JP2001031221A (ja)

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