JPH11301809A - カセット排出装置 - Google Patents

カセット排出装置

Info

Publication number
JPH11301809A
JPH11301809A JP11234998A JP11234998A JPH11301809A JP H11301809 A JPH11301809 A JP H11301809A JP 11234998 A JP11234998 A JP 11234998A JP 11234998 A JP11234998 A JP 11234998A JP H11301809 A JPH11301809 A JP H11301809A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cassette
identification number
work
unit
discharge device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11234998A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiro Yokoyama
圭郎 横山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP11234998A priority Critical patent/JPH11301809A/ja
Publication of JPH11301809A publication Critical patent/JPH11301809A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】カセット排出作業の高効率化と管理精度の向上
を図ることができるカセット排出装置を提供する。 【解決手段】ワークを収納したカセット2を無人搬送車
に受け渡すためのカセット排出装置1であって、カセッ
ト2を投入するための投入部10と、カセット2を無人
搬送車に受け渡すための排出部11と、投入部と排出部
の間に配置され、カセットを一時的に収容するバッファ
部12と、カセットの識別番号とこのカセットの収納デ
ータとを関連付けて記憶する記憶部と、排出部11に配
置され、カセットの識別番号を検出する識別番号検出装
置13と、識別番号検出装置13により検出された識別
番号のカセットに対応する収納データを記憶部から検索
する検索部と、排出部11に配置され、検索部により検
索された収納データを対応する識別番号のカセットに記
録する記録部14とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、無人搬送車にカセ
ットを受け渡すためのカセット排出装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】ワークの搬送をカセットで行う製造工程
において、例えば不良により廃棄となったワークをカセ
ットから抜き取り、歯抜け状態となったカセット同士を
詰め替えて満杯カセットにする作業は、一般に人手によ
り行われている。そして、従来、この作業は、現場の任
意の場所で行われ、満杯になったカセットは無人搬送車
で搬送せず、保管庫や指定のラインに作業者が運んでい
た。
【0003】無人搬送車で搬送する場合も、直接人手に
よりカセットを無人搬送車に乗せて、目的とするライン
に移送していた。搬送するカセット数が多い場合には、
無人搬送車を管理している制御用コンピュータから、あ
らかじめ複数台の無人搬送車をカセット詰め替え場所に
呼ぶようにしていた。
【0004】また、カセット管理をする場合でも、個々
のカセットに収納した製品番号、終了工程、行き先アド
レスを記入した帳票を付けて、在庫管理していた。そし
て、カセットを詰め替える度に、カセットと製品番号、
終了工程、行き先アドレスを確認しながら、帳票への記
入作業を繰り返し行っていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、カセット数を節約するために、たとえば不良
品となったワークを抜いて、歯抜け状態になったカセッ
ト複数個から満杯状態になるように1つのカセットにワ
ークを詰め替えるといった作業が頻繁に発生する。
【0006】このような場合、カセット排出装置とし
て、無人搬送車に受け渡す投入・排出部のみであると、
頻繁に作業者がカセットの乗せ替えをしなければなら
ず、作業者が乗せ替え場所に拘束され、作業効率の低下
の原因となっていた。
【0007】また、カセットの投入部ですぐに無人搬送
車を呼ぶと、カセット排出装置がトラブルで止まった場
合やカセットを抜き取った場合など、不要に無人搬送車
を呼んでしまい、カセットが無いのに無人搬送車が来る
といった、他のラインに影響を与える問題点があった。
【0008】また、カセットに帳票を付けて、保管庫や
ラインを移動させると移動中に帳票がなくなった場合、
そのカセットの中味が不明になってしまうという問題点
もあった。
【0009】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、カセット排出作業の高
効率化と管理精度の向上を図ることができるカセット排
出装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカセット排出装
置は、ワークを収納したカセットを無人搬送車に受け渡
すためのカセット排出装置であって、カセットを投入す
るための投入部と、カセットを無人搬送車に受け渡すた
めの排出部と、前記投入部と前記排出部の間に配置さ
れ、カセットを一時的に収容するバッファ部と、カセッ
トの識別番号と該カセットの収納データとを関連付けて
記憶する記憶手段と、前記排出部に配置され、カセット
の識別番号を検出する識別番号検出手段と、該識別番号
検出手段により検出された識別番号のカセットに対応す
る収納データを前記記憶手段から検索する検索手段と、
前記排出部に配置され、前記検索手段により検索された
収納データを対応する識別番号のカセットに記録する記
録手段とを具備することを特徴としている。
【0011】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、満杯状態でない複数のカセット内のワークを
1つのカセットにまとめるためのワーク入れ替え部を更
に具備することを特徴としている。
【0012】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記ワーク入れ替え部におけるワーク入れ替
え作業は、人手により行われることを特徴としている。
【0013】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記ワーク入れ替え部は、前記投入部の前段
に配置されていることを特徴としている。
【0014】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記ワーク入れ替え部におけるワーク入れ替
え作業中に、カセットの識別番号に対応して、該カセッ
トへのワークの収納データを前記記憶手段に入力するた
めの入力手段を更に具備することを特徴としている。
【0015】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記収納データは、カセット内のワークの終
了した最終工程を示すデータと、カセット内のワークの
次の行き先を示すアドレスデータを含むことを特徴とし
ている。
【0016】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記バッファ部は、カセットを2個まで収容
可能であることを特徴としている。
【0017】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記排出部にカセットが有るか無いかを検出
するカセット有無検出手段を更に具備することを特徴と
している。
【0018】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、カセットは、該カセットの識別番号を記録し
たバーコードラベルを備え、前記識別番号検出手段はバ
ーコードリーダーであることを特徴としている。
【0019】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、カセットはIDタグを備え、前記記録手段は
前記IDタグに前記収納データを書き込むIDライタで
あることを特徴としている。
【0020】また、この発明に係わるカセット排出装置
において、前記排出部に無人搬送車を呼ぶための指示手
段を更に具備することを特徴としている。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0022】(第1の実施形態)図1は、本発明のカセ
ット排出装置を用いたワーク搬送システムの一実施形態
の全体構成を示す図である。
【0023】本実施形態では、ワークとしてのガラス基
板をカセット2に収納し、そのカセット2を無人搬送車
3で、保管庫4や洗浄、成膜などの処理を施すライン5
のローダ部51へ受け渡す。ローダ部51では、受け渡
されたカセット2から、そのラインにガラス基板が投入
され、ラインのアンローダ部52でカセット2に再び回
収される。無人搬送車3の制御としては、専用のコンピ
ュータが各ラインのローダ部、アンローダ部にユニーク
に付けられたポジションNoを記憶していて、各ローダ
部やアンローダ部から指示された信号を受け取るとそこ
のポジションに速く行ける無人搬送車を送るように制御
している。このようなワーク搬送システムについて述べ
る。
【0024】図1において、1は詰め替え作業を完了し
たカセットを払い出すカセット排出装置、2はカセット
である。カセット2にはワークであるガラス基板が収納
されている。3はカセットを運搬する無人搬送車で、複
数台あり、常に同じ方向にレール上を進むことができ
る。4はカセットを保管しておく保管庫、5は洗浄処理
や成膜処理を施す各製造ラインで、ローダ部51とアン
ローダ部52とを備えている。ローダ部51は無人搬送
車3で搬送されたカセット2を受け取り、カセット2内
のガラス基板を一枚ずつライン内に投入する。アンロー
ダ部52はライン内を流れてきたガラス基板をカセット
2に回収し、そのカセット2を無人搬送車3に受け渡
す。6は部分的に空きのある歯抜け状態のカセットや不
良品を収納したカセットを受け入れるカセット受け入れ
装置で、7は作業者が受け入れられたカセットの詰め替
え作業をするカセット詰替作業場である。ここで、カセ
ットの詰め替え作業とは、複数の部分的に空きのあるカ
セットを1つの満杯のカセットにまとめる作業を指す。
【0025】図2は、ガラス基板収納用カセット2の外
観図である。
【0026】図2において、2aはカセット本体、8は
IDタグ、9はカセット識別番号を示すバーコードラベ
ルである。1つのカセットには、30枚のガラス基板を
収納することができる。
【0027】また、IDタグ8には、カセット2に収納
されたガラス基板の基板番号や、終了工程、行き先アド
レスを示すデータが記憶されている。
【0028】図3は、カセット排出装置1の外観図であ
る。
【0029】図3において、10は詰め替え作業を完了
したカセット2を投入するためのカセット投入部、11
は無人搬送車3にカセット2を受け渡すためのカセット
排出部、12はいくつかの詰め替え作業を完了したカセ
ットを蓄えるカセットバッファ部であり、カセット2は
矢印の方向へ順序良く掃き出されて行く。バッファ部1
2にはカセット2が2つまで蓄えられるようになってい
る。
【0030】また、13はカセットに貼られたバーコー
ドラベル9を読むバーコードリーダー、14はカセット
に固定されたIDタグ8にデータを書き込むIDリーダ
/ライタ、15はカセット排出部11にカセットが有る
か無いかを検知するリミットセンサー、16はカセット
排出制御コンピュータである。
【0031】図4は、カセット排出制御コンピュータ1
6の構成を示すブロック図である。
【0032】バーコードリーダ13、IDリーダ/ライ
タ14、リミットセンサー15のそれぞれが、外部との
信号のやり取りをする入出力インターフェース20に繋
がれており、CPU21と、メモリ22と、CRT23
とを備えている。
【0033】図5は、本実施形態でのネットワーク構成
図である。
【0034】16はカセット排出装置1に配置され、サ
ーバー20からカセット2内のガラス基板の収納状態を
示す収納データを検索し、データをIDタグ8に書き込
むための制御をするカセット排出制御コンピュータ、2
0はカセット内の収納データの記憶手段であるファイル
サーバー、21はカセット2内の収納データをファイル
サーバー20に書き込むためのカセット収納データ入力
用コンピュータ、22は各無人搬送車3の、カセットを
ラインや保管庫に運搬する動作を制御する無人搬送車制
御用コンピュータである。これらコンピュータは構内L
ANやイーサネット等のネットワーク30を介しての相
互通信手段を備えている。
【0035】図6は、カセット収納データ入力用コンピ
ュータ21の表示画面例を示した図である。
【0036】コンピュータ21は、カセット詰替作業場
7の付近に設置され、詰め替えたカセット情報をサーバ
に登録する。ここで、キーボードからカセットNoを入
力すると、サーバーからそのカセットに対応する基板番
号、終了工程、行き先アドレス等を検索し表示する。ま
た、キーボードで任意に基板番号等の入力変更が可能
で、登録機能によりそのデータをサーバーに登録でき
る。
【0037】画面例では、カセットNo「C001」に
ガラス基板を合計19枚収納した状態で、カセットの1
段目には基板番号「A10001」が、2段目には基板
番号「A10002」が収納されている状態を示してい
る。また、このカセットの終了工程は「成膜」で、この
カセットの行き先を示す行き先アドレスは「保管庫1」
であることを示す。
【0038】図7は、カセットの排出処理動作を示すフ
ローチャートである。このフローチャートを使用して処
理内容を説明する。
【0039】まず、ステップS10で、作業者は、部分
的に空きができて歯抜けになったカセットや、30枚に
満たないカセットを満杯カセットにするため、複数のカ
セットから1つの満杯カセットに詰め替えする。
【0040】ステップS20で詰め替え作業時に、収納
したカセットの識別番号と段数と基板の基板番号をカセ
ット収納データ入力用コンピュータ21で入力する。図
6を例にとると、カセット番号「C001」の段数19
に製品番号「A10051」の基板を詰め替えたところ
である。作業者はすべての詰め替え作業が終了するまで
(ステップS30でYES)、上記ステップS10とS
20を繰り返し、カセット収納データ入力用コンピュー
タ21で登録作業をする。登録されたデータは、ネット
ワーク30を経由してサーバー20に蓄積される。
【0041】ステップS40で、作業が完了したカセッ
ト2をカセット排出装置1の投入部10にセットする。
カセット2はバッファ部12、排出部11へと移送され
る。排出部11にカセットが有る場合は、バッファ部1
2に一時的に止まり、数個のカセット2を装置上に溜め
ることが可能である。
【0042】ステップS50で、カセット2が排出部1
1に来たら、リミットセンサー15からカセット有りの
検出信号をカセット排出制御コンピュータ16が受け取
る。
【0043】次にステップS60で、カセット排出制御
コンピュータ16は上記信号をトリガーにして、バーコ
ードリーダ13で排出部11にあるカセットのカセット
番号を示したバーコードラベル9を読み取る。
【0044】次にステップS70で、カセット排出制御
コンピュータ16は読み取ったカセット番号をキーにし
て、サーバーから、そのカセット番号に収納された基板
番号、終了工程、行き先アドレスなどの収納データを検
索する。
【0045】次にステップS80で、検索された収納デ
ータをIDリーダー/ライター14によりカセットのI
Dタグ8に書き込む。
【0046】次のステップS90で、無人搬送車3をカ
セット排出装置に呼ぶために、カセット排出制御コンピ
ュータ16から無人搬送車制御用コンピュータ22に指
示信号を送る。
【0047】無人搬送車制御用コンピュータ22は、無
人搬送車3をカセット排出装置1に送り、カセット2を
指定の行き先アドレスに運搬していく。
【0048】また、上記の処理フローは満杯カセットに
ついてのものであるが、詰め替えにより空になったカセ
ットについても、空データとしてカセット収納データを
登録し、同様なカセット排出処理を行う。
【0049】(第2の実施形態)第1の実施形態におけ
る、カセット収納データ入力用コンピュータ21の入力
機能を、カセット排出制御コンピュータ16に組込んだ
一体型のコンピュータにしてもよい。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カセット投入部、バッファ部、カセット排出部を備える
ことにより、カセット詰め替え作業の作業者は、常にカ
セット排出装置に着いて居る必要がなく、装置が空にな
るまで別作業ができる。
【0051】また、カセット排出部にカセットが来てか
ら無人搬送車を呼ぶようにしているので、バッファ部、
投入部のカセットを抜き取っても、無人搬送車はそのカ
セットを取りに来ず、無駄に無人搬送車を呼ぶことを防
止できる。
【0052】また、IDタグに、基板番号だけでなく、
そのカセットの終了工程や行き先アドレスが書き込まれ
ているので、無人搬送車がトラブルで稼働できなくて
も、市販されている液晶付ハンディタイプのターミナル
等で、どこでもIDタグの内容を見ることが可能で、作
業者がカセットの終了工程や行き先アドレスの確認をす
ることができ、人手でカセットを移動し、生産の継続が
可能である。
【0053】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のカセット排出装置を用いたワーク搬送
システムの一実施形態の全体構成を示す図である。
【図2】ガラス基板収納用カセットの外観図である。
【図3】カセット排出装置の外観図である。
【図4】カセット排出制御コンピュータの構成を示すブ
ロック図である。
【図5】第1の実施形態でのネットワーク構成図であ
る。
【図6】カセット収納データ入力用コンピュータの表示
画面例を示した図である。
【図7】カセットの排出処理動作を示すフローチャート
である。
【符号の説明】
1 カセット排出装置 2 カセット 3 無人搬送車 4 カセット保管庫 5 製造ライン 8 IDタグ 9 バーコードラベル 10 カセット投入部 11 カセット排出部 12 カセットバッファ部 13 バーコードリーダー 14 IDリーダー/ライター 15 リミットセンサー 16 カセット排出制御コンピュータ 51 ローダ部 52 アンローダ部

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを収納したカセットを無人搬送車
    に受け渡すためのカセット排出装置であって、 カセットを投入するための投入部と、 カセットを無人搬送車に受け渡すための排出部と、 前記投入部と前記排出部の間に配置され、カセットを一
    時的に収容するバッファ部と、 カセットの識別番号と該カセットの収納データとを関連
    付けて記憶する記憶手段と、 前記排出部に配置され、カセットの識別番号を検出する
    識別番号検出手段と、 該識別番号検出手段により検出された識別番号のカセッ
    トに対応する収納データを前記記憶手段から検索する検
    索手段と、 前記排出部に配置され、前記検索手段により検索された
    収納データを対応する識別番号のカセットに記録する記
    録手段とを具備することを特徴とするカセット排出装
    置。
  2. 【請求項2】 満杯状態でない複数のカセット内のワー
    クを1つのカセットにまとめるためのワーク入れ替え部
    を更に具備することを特徴とする請求項1に記載のカセ
    ット排出装置。
  3. 【請求項3】 前記ワーク入れ替え部におけるワーク入
    れ替え作業は、人手により行われることを特徴とする請
    求項2に記載のカセット排出装置。
  4. 【請求項4】 前記ワーク入れ替え部は、前記投入部の
    前段に配置されていることを特徴とする請求項2に記載
    のカセット排出装置。
  5. 【請求項5】 前記ワーク入れ替え部におけるワーク入
    れ替え作業中に、カセットの識別番号に対応して、該カ
    セットへのワークの収納データを前記記憶手段に入力す
    るための入力手段を更に具備することを特徴とする請求
    項2に記載のカセット排出装置。
  6. 【請求項6】 前記収納データは、カセット内のワーク
    の終了した最終工程を示すデータと、カセット内のワー
    クの次の行き先を示すアドレスデータを含むことを特徴
    とする請求項1に記載のカセット排出装置。
  7. 【請求項7】 前記バッファ部は、カセットを2個まで
    収容可能であることを特徴とする請求項1に記載のカセ
    ット排出装置。
  8. 【請求項8】 前記排出部にカセットが有るか無いかを
    検出するカセット有無検出手段を更に具備することを特
    徴とする請求項1に記載のカセット排出装置。
  9. 【請求項9】 カセットは、該カセットの識別番号を記
    録したバーコードラベルを備え、前記識別番号検出手段
    はバーコードリーダーであることを特徴とする請求項1
    に記載のカセット排出装置。
  10. 【請求項10】 カセットはIDタグを備え、前記記録
    手段は前記IDタグに前記収納データを書き込むIDラ
    イタであることを特徴とする請求項1に記載のカセット
    排出装置。
  11. 【請求項11】 前記排出部に無人搬送車を呼ぶための
    指示手段を更に具備することを特徴とする請求項1に記
    載のカセット排出装置。
JP11234998A 1998-04-22 1998-04-22 カセット排出装置 Withdrawn JPH11301809A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11234998A JPH11301809A (ja) 1998-04-22 1998-04-22 カセット排出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11234998A JPH11301809A (ja) 1998-04-22 1998-04-22 カセット排出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11301809A true JPH11301809A (ja) 1999-11-02

Family

ID=14584475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11234998A Withdrawn JPH11301809A (ja) 1998-04-22 1998-04-22 カセット排出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11301809A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4094233B2 (ja) ウェーハ加工装置
US6705523B1 (en) System and method for delivering supplies to a production line
JP3709876B2 (ja) 組立生産ラインの部品供給システム及びその供給方法
EP3076395A1 (en) Flash memory rewriting architecture having no external latch
CN211786739U (zh) 刀具管理系统
WO2012073878A1 (ja) 自動分析装置
US7630164B2 (en) Library apparatus, having radio tags for arranging plurality of tape drives
CN115744014A (zh) 一种巷道仓储管理方法、系统及设备
JP2001031221A (ja) カセット、カセット排出装置、カセット管理システム、カセットへのデータ登録方法
JP2001217299A (ja) 半導体搬送設備の特殊ロット搬送制御システム及び方法と装置並びに記録媒体
JPH11301809A (ja) カセット排出装置
CN102472759B (zh) 物品输送系统、检体处理系统
JP3774836B2 (ja) ロットの搬送システム及びロットの搬送方法
TWI790522B (zh) 容器管理系統、容器管理裝置及容器管理方法
CN110577067B (zh) 原烟配方高架库装箱站的空箱传输方法、系统、中央控制终端
JPH06291500A (ja) 電子部品実装方法
JPH05314733A (ja) ライブラリ装置の制御方法
JP4170036B2 (ja) タンクローリー出荷管理システム
JPH11184513A (ja) 制御システム及びその通信方法
JPH0317613B2 (ja)
JPH1153439A (ja) 製造装置のレシピ自動決定方法
CN115818095A (zh) 一种物料管理系统、物料管理方法及计算机可读存储介质
JP2774911B2 (ja) 半導体ウエハ搬送装置
JP2005053661A (ja) 物流システム
JPH10144740A (ja) 半導体装置の製造方法及び製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20050705