JPH11184513A

JPH11184513A - 制御システム及びその通信方法

Info

Publication number: JPH11184513A
Application number: JP35565597A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Mizuno; 義弘水野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 1997-12-24
Publication date: 1999-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】ワークの個別情報を、各処理工程において確
実に受信し、且つ、次の処理工程に確実に通信する制御
システム及びその通信方法の提供。【解決手段】ラインコントローラ（以下、ＬＣ）１及
び各制御ユニット（以下、ＣＵ）４は、それぞれ自装置
内部に、同一のデータアドレス構造を有する共有メモリ
エリア（以下、ＳＭＥ）を有する。各ＣＵ４は、自ユニ
ットが有するＳＭＥ内の所定のメモリエリアにだけ当該
自ユニットに関するデータを書き込むことができる。Ｌ
Ｃ１は、各ＣＵ４のＳＭＥの所定エリアをスキャンした
結果に応じて、ＣＵ４のＳＭＥからデータを読み取り、
その得られたデータを、ＬＣ１が有するＳＭＥ内に記憶
する。ＬＣ１は、自装置内のＳＭＥに記憶した各ＣＵ４
に関するデータを対象となるＣＵ４のＳＭＥに書き込
む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、複数の処
理工程からなる製造ラインを、複数の制御ユニットによ
り制御する制御システム及びその通信方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、工業製品の組み立て工場や食
料品の製造工場等に代表されるように、製品を量産する
製造ラインにおいては、そのラインに投入する半製品
（半完成品）や完成した製品を、所定の数量を単位とし
て扱う「ロット」という概念で管理するのが一般的であ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ロット
単位で製品を扱う場合において、例えば、その製品につ
いての製造ラインにおける最終ロットや、或いは、製造
過程における検査や完成時の検査による不良品の選別等
により、製品が所定の数量を満たさない端数ロット（端
数の製品を有するロット）となることが多い。

【０００４】このように端数ロットが発生したときに、
次のロットを製造ラインに投入すると、端数ロットと次
のロットの製品とが、製造過程において混在する可能性
が高い。そのため、オペレータは、次のロットを製造ラ
インに投入するタイミング（以下、ロット間隔）を管理
し、ロット間における製品の混在を防止している。

【０００５】具体的には、オペレータは、現在対象とし
ているロットの終了間際になると、製造ラインの操業を
一時停止し、混在が生じないように次のロットの製品と
の間隔を空けなければならないという問題がある。ま
た、製造ラインで完成した製品を収納する装置において
も、端数ロットの製品と次のロットの製品とが混在が生
じないタイミングで、オペレータが収納カセット（コン
テナ）を交換しなければならないという問題がある。

【０００６】そこで、本発明は、ワークの個別情報を、
各処理工程において確実に受信し、且つ、次の処理工程
に確実に通信する制御システム及びその通信方法の提供
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の制御システムは、以下の構成を備えるこ
とを特徴とする。

【０００８】即ち、ワークに所定の処理を施す複数の処
理工程を、複数の制御ユニットにより制御する制御シス
テムであって、前記制御システムは、前記複数の制御ユ
ニット間の通信を管理する通信管理装置を備え、前記複
数の制御ユニットは、自ユニットが制御する処理工程に
おけるワークを次の処理工程に移管するときに、該ワー
クに関する情報を、前記通信管理装置を介して、該次の
処理工程を制御する制御ユニットに通信する通信手段を
備えることを特徴とする。

【０００９】また、例えば前記複数の制御ユニットは、
自ユニットが制御する処理工程においてワークに関する
情報が変化したときに、その変化した情報を、前の処理
工程を制御する制御ユニットから入手したワークに関す
る情報に反映し、前記次の処理工程を制御する制御ユニ
ットに通信することを特徴とする。

【００１０】また、例えば前記ワークに関する情報に
は、そのワークを識別する識別情報が含まれ、好ましく
は前記識別情報には、そのワークが属するロット情報が
含まれるとよい。

【００１１】上述した目的を達成するため、本発明の制
御システムの通信方法は、以下の構成を備えることを特
徴とする。

【００１２】即ち、ワークに所定の処理を施す複数の処
理工程を、複数の制御ユニットにより制御する制御シス
テムにおける通信方法であって、前記制御システムに、
前記複数の制御ユニット間の通信を管理する通信管理装
置を設け、前記複数の制御ユニットが、自ユニットが制
御する処理工程におけるワークを次の処理工程に移管す
るときに、該ワークに関する情報を、前記通信管理装置
を介して、該次の処理工程を制御する制御ユニットに通
信することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る製造ラインの
制御装置の実施形態を、図面を参照して詳細に説明す
る。

【００１４】［第１の実施形態］はじめに、本発明の第
１の実施形態について説明する。

【００１５】図１は、本発明の第１の実施形態としての
製造ラインシステムの全体構成を示すブロック構成図で
ある。

【００１６】同図に示す製造ラインシステムにおいて、
制御ユニット４は、当該製造ラインを構成する作業ステ
ーション２０を制御する、所謂プログラマブルコントロ
ーラ(ＰＬＣ)等の制御装置である。本実施形態におい
て、当該製造ラインシステムは、制御ユニット４−１か
ら制御ユニット４−Ｎを備えている（Ｎは自然数）。こ
こで、作業ステーションとは、当該製造ラインにて行わ
れる複数の製造工程の中の１工程、或いは所定の複数工
程が行われる作業エリアまたは自動機の単位をいう。図
１では、個々の作業ステーション２０−１から２０−Ｎ
を破線で表わしており、当該製造ラインにおいて加工さ
れるワーク（基板）は、制御ユニット４−１から制御ユ
ニット４−Ｎの順番で順次管理されながら所定の加工処
理を施される。

【００１７】ラインコントローラ１は、当該製造ライン
システムの全体動作を管理すると共に、後述するよう
に、制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎに関す
るデータの共有処理を行う。ラインコントローラ１に
は、例えば、ホストコンピュータ、或いは制御ユニット
４と同様にＰＬＣを使用してもよい。２は、ラインコン
トローラ１に接続された、例えば、ハードディスク等の
記憶装置である。

【００１８】各作業ステーション２０−１から２０−Ｎ
を制御する制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎ
には、前工程から送られてくるワークに所定の加工処理
を施す加工装置５（５−１から５−Ｎ）や、所定の加工
処理を施したワークを次工程の作業ステーションに搬送
する搬装装置６（６−１から６−Ｎ）等が接続されてい
る。尚、加工装置５は、搬装装置６からワークを受け取
って一時的に保持すると共に、加工済のワークを搬装装
置６に排出する（払い出す）前に一時的に保持するため
の収納部を備えている。また、先頭工程の制御ユニット
４−１には、当該製造ラインにワークを供給する供給ユ
ニット９が接続されている。一方、最終工程の制御ユニ
ット４−Ｎには、当該製造ラインにて完成したワークを
コンテナ等に収納する収納ユニット１０が接続されてい
る。

【００１９】この通信ネットワーク３は、従来よりよく
用いられるリング型の共有メモリ方式のもので、このネ
ットワーク３に接続されている各ステーション制御ユニ
ット４から、各自の制御ユニットの共有メモリの特定エ
リアへの書込みが可能で、また他の制御ユニットの共有
メモリの全エリアを読み取ることができ、また、親局で
あるラインコントローラ１でも各制御ユニットの共有メ
モリの特定エリアへの書き込み及び読込みが可能なネッ
トワークである。また、このネットワーク３は、共有メ
モリ方式のものであればバス型接続のものでも良い。

【００２０】ここで、共有メモリのデータのリフレッシ
ュについて、図１８を用いて説明する。

【００２１】図１８は、共有メモリ方式のデータのリフ
レッシュ方法を説明する図である。

【００２２】各共有メモリ２０４は、データメモリ格納
エリア２０４ａとリンクエリア格納エリア２０４ｂを備
えており、これらは、それぞれ後述する図１９及び図２
０に示したデータ構造と同一のデータ構造を有してい
る。ここで、データメモリ格納エリア２０４ａは、各ス
テーションにおいて、動作制御に用いるためのデータの
格納エリアであり、リンクエリア格納エリア２０４ｂ
は、各動作制御に影響することなく各制御ユニットのデ
ータメモリ格納エリア２０４ａの内容を同じにするため
のものである。

【００２３】子局、すなわち制御ユニット４−１〜４−
ｎでは、それぞれのステーションにおいて状態の変化が
あったときに、データメモリ格納エリア２０４ａにおい
て対応する自制御ユニットの該当するアドレスの部分を
書き換える。制御ユニット４−１について考えると、作
業ステーション２０−１において変化した状態に関する
データを、制御ユニット４−１に関連するＢ０００Ｈ〜
Ｂ０４ＦＨの該当するアドレスの部分を書き換える。

【００２４】また、データメモリ格納エリア２０４ａの
リフレッシュは、以下のようにして行う。まず、リンク
エリア格納エリア２０４ｂに格納されたデータをデータ
メモリ格納エリア２０４ａに伝達し、自制御ユニット４
に関するデータを除き、データメモリ格納エリア２０４
ａ側のデータを上書きする。すなわち、制御ユニット４
−１においては、データメモリ格納エリア２０４ａのデ
ータを、制御ユニット４−１に関連するアドレスＢ００
０Ｈ〜Ｂ０４ＦＨの部分を除いて、リンクエリア格納エ
リア２０４ｂに格納されたデータで上書きする。一方、
制御ユニット４−１に関連するアドレスＢ０００Ｈ〜Ｂ
０４ＦＨの部分に関しては、リンクエリア格納エリア２
０４ｂ側に格納されたデータをデータメモリ格納エリア
２０４ａのデータで上書きする。全てのアドレスに対し
て処理が終わると、データメモリ格納エリア２０４ａの
データはリフレッシュされる。その後、このリフレッシ
ュされたデータは、リンクエリア格納エリア２０４ｂに
返され、データメモリ格納エリア２０４ａとリンクエリ
ア格納エリア２０４ｂとのデータは一致することにな
る。

【００２５】なお、以上の説明は、子局の制御ユニット
４に対する説明として行ったが、親局であるラインコン
トローラ１内部のデータリフレッシュに関しても同様に
行われる。

【００２６】上述説明は、一つの共有メモリ２０４の中
のデータのリフレッシュに関するものであるが、次に、
制御ユニット間のデータリフレッシュについて説明す
る。

【００２７】まず、ラインコントローラ１は、各制御ユ
ニット４に対して、それぞれの制御ユニット４に関する
データを読み出しに行く。具体的には、各リンクエリア
格納エリア２０４ｂに対してデータを読み出しに行く。
そして、読み出されたデータによって、ラインコントロ
ーラ１のリンクエリア格納エリア２０４ｂのデータが書
き換えられる。

【００２８】次に、書き換えられたラインコントローラ
１のリンクエリア格納エリア２０４ｂのデータが子局で
ある各制御ユニット４−１〜４−ｎに対して送信され、
各制御ユニット４−１〜４−ｎのそれぞれのリンクエリ
ア格納エリア２０４ｂのデータが書き換えられ、結果と
して、常に、ラインコントローラ１と制御ユニット４−
１〜４−ｎの共有メモリ２０４のデータは同一の内容に
保たれる。したがって、各制御ユニット４は、自身の共
有メモリ２０４によって、他のステーションの状態を知
ることができるので、それぞれの操作制御時に制御ユニ
ット４間でデータの授受をする必要がなくなる。

【００２９】なお、上記例では、ラインに接続される全
ての制御ユニットに設けられたメモリの内容を、全ての
制御ユニットが共有するようにしたが、ラインにおいて
前後に配置された処理装置のみのデータによってワーク
の処理が可能ならば、その関係にある制御ユニットに関
しては、前後の制御ユニットが有するデータを共有すれ
ば良いことになる。

【００３０】＜制御ユニット＞次に、制御ユニット４の
構成及び動作について説明する。

【００３１】図２は、本発明の第１の実施形態としての
ネットワークで使用される制御ユニットの構成を示すブ
ロック図であり、図１に示した制御ユニット４−１〜制
御ユニット４−Ｎはそれぞれ同じ構成を備えている。

【００３２】図中、２０１は、プログラムメモリ２０２
に予め格納している制御プログラムに従って、制御ユニ
ット４の全体を制御するマイクロプロセッサ等のＣＰＵ
である。２０２は、ＣＰＵ２０１により実行される制御
プログラムを予め格納しているプログラムメモリであ
り、例えば、ＲＯＭが使用される。２０３は、ＲＡＭで
あり、ＣＰＵ２０１による各種制御の実行時に、各種デ
ータを一時記憶するワークエリアとして使用される。ま
た、ＲＡＭ２０３内の記憶エリアには、制御ユニット４
−１〜制御ユニット４−Ｎに関するデータがラインコン
トローラ１により書き込まれる共有メモリエリア２０４
を有する。

【００３３】２０５は、外部装置との入出力信号をイン
タフェースする入出力インタフェース（Ｉ／Ｏ−Ｉ／
Ｆ）である。本実施形態において、制御ユニット４のＣ
ＰＵ２０１は、入出力インタフェース２０５を介して加
工装置５及び搬装装置６等の動作を制御する。

【００３４】２０７は、操作盤であり、作業者が操作可
能な各種キースイッチや、パイロットランプ、表示器等
が配置されている。

【００３５】２０８は、センサ群であり、加工装置５及
び搬装装置６等が処理しているワークの位置や状態を検
出し、その検出結果に応じた信号を入出力インタフェー
ス２０５に入力する。センサ群２０８には、後述する基
板の位置決め・排出センサ９０２と、到着センサ９０３
とを含んでいる。

【００３６】ＲＡＭ２０３内の共有メモリエリア２０４
には、ワード（１６ビット）単位でデータを記憶するエ
リアと、ビット（１ビット）単位でデータを記憶するエ
リアとが設定されており、これらの記憶エリア（詳細は
後述する）は、他の制御ユニット４との間で後述する情
報を共有するために使用される。また、制御ユニット４
は、後述するトラッキングデータを保持するレジスタ
（不図示）を有している。

【００３７】また、制御ユニット４が有する上記のＣＰ
Ｕ２０１から操作盤２０７までの各ブロックは、内部バ
ス２１０で接続されている。

【００３８】ここで、共有メモリエリア２０４における
ビットマップ及びワードマップの全体について図１９及
び図２０を参照して説明する。

【００３９】図１９は、本発明の第１の実施形態として
の共有メモリエリア２０４におけるビットマップを示す
図である。また、図２０は、本発明の第１の実施形態と
しての共有メモリエリア２０４におけるワードマップを
示す図である。

【００４０】通信ネットワーク３に接続された各ステー
ション制御ユニット４は、共有メモリエリア（以下、共
有メモリと称す）２０４を、他のステーション制御ユニ
ットとの間で情報を伝達するための、ワード（１６ビッ
ト）単位でデータを記憶するエリアと、ビット（１ビッ
ト）単位でデータを記憶するエリアとを備えている。更
に各制御ユニットは、トラッキングデータを記憶して保
持するための内部レジスタを有している。

【００４１】次に、共有メモリ２０４のデータ構成につ
いて詳述する。図１９及び図２０は、共有メモリ２０４
のデータ構成を示しており、図１９はビット単位でデー
タを記憶するエリア（以下、「ビットマップ」と称す）
を示し、図２０はワード単位でデータを記憶するエリア
（以下、「ワードマップ」と称す）を示している。

【００４２】ビットマップ、ワードマップは、ともに子
局としての制御ユニット４−１〜４−ｎの各情報と、親
局としてのラインコントローラ１から各制御ユニット４
−１〜４−ｎヘ伝達する情報を格納する。ラインコント
ローラ１および制御ユニット４−１〜４−ｎは、共通の
データが格納された共有メモリ２０４を有することにな
る。したがって、ラインコントローラ１および制御ユニ
ット４−１〜４−ｎにおける共有メモリ２０４のデータ
フォーマットは同じであり、各ステーション毎にベース
アドレスに対応するアドレス分、各データのアドレスが
同一メモリ空間内でシフトして割り付けられている。

【００４３】次に、制御ユニット４の共有メモリエリア
２０４内部に設定された記憶エリアのデータ構成につい
て、制御ユニット４−１及び制御ユニット４−２を例と
して、図３から図６を参照して説明する。

【００４４】図３（図５）は、本発明の第１の実施形態
としての制御ユニット４−１（４−２）が管理するリン
クビット情報のデータ構成を示す図である。また、図４
（図６）は、本発明の第１の実施形態としての制御ユニ
ット４−１（４−２）が管理するリンクワード情報のデ
ータ構成を示す図である。

【００４５】図面記載の便宜上、図３から図６では簡略
化して表現しているが、各制御ユニット４が有する共有
メモリエリア２０４には、全制御ユニット分のメモリエ
リアが用意されており、個々の制御ユニットのデータフ
ォーマットは同一である。異なるのは、各データのアド
レスが各制御ユニット毎に所定のアドレス分だけＲＡＭ
２０３のメモリ空間内でシフトして割り付けられている
ことである。

【００４６】即ち、制御ユニット４−１では、図３及び
図４に示すようにベースアドレスとして、”Ｗ０００ｈ
（以下、ｈは１６進数を表わす）”と”Ｂ０００ｈ”が
割り付けられている。例えば、制御ユニット４−１の共
有メモリエリア２０４において、図３に示すように、操
作盤情報２０７で作業者が設定した”自動”運転の指示
情報は、共有メモリエリア２０４のアドレス”Ｂ０００
ｈ”番地から３ビット目に設定されており、そのアドレ
スは”Ｂ００３ｈ”である。また、図４に示すように、
リンクワード情報の”排出基板ＩＤ”は、共有メモリエ
リア２０４のアドレス”Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ”に格
納される。一方、制御ユニット４−２の共有メモリエリ
ア２０４においては、図６のリンクワード情報のベース
アドレスが”Ｗ０３０ｈ”であり、図５のリンクビット
情報のベースアドレスは”Ｂ０５０ｈ”で割り付けられ
ている。このように、共有メモリエリア２０４のデータ
構成自体は同一であり、メモリエリアが異なっているこ
とがわかる。

【００４７】＜ラインコントローラ＞ここで、親局であ
るラインコントローラ１について説明する。上述したよ
うに、ラインコントローラ１は、各制御ユニット４間で
データを共有するためのリンクスキャン処理及びデータ
の書き込み処理を行っている。

【００４８】また、ラインコントローラ１は、一般的な
ホストコンピュータやＰＬＣが使用可能であり、ライン
コントローラ１の内部構成は、基本的には制御ユニット
４の内部構成と同様であるため、詳細な説明は省略す
る。

【００４９】図７は、本発明の第１の実施形態としての
ラインコントローラが管理するリンクビット情報のデー
タ構成を示す図であり、ベースアドレスは”Ｂ４００
ｈ”に設定されている。また、ラインコントローラ１
は、このリンクビット情報以外に、各制御ユニット４と
同様に、制御ユニット４−１から制御ユニット４−Ｎに
関するデータを記憶する共有メモリエリアを有してい
る。

【００５０】＜ワークの搬送動作＞次に、ラインコント
ローラ１及び各制御ユニット４により行われるワークの
搬送動作について、一例として、作業ステーション２０
−１から作業ステーション２０−２にワークである基板
９０１が搬送される動作に伴うデータ共有処理について
説明する。

【００５１】図８は、本発明の第１の実施形態としての
制御ユニット４−１及び４−２、そしてラインコントロ
ーラ間における制御フラグの受け渡しを説明するタイミ
ングチャートである。また、図９から図１１は、本発明
の第１の実施形態としての作業ステーション２０−１と
作業ステーション２０−２との間での基板の搬送を説明
する図である。

【００５２】図９は、基板９０１が制御ユニット４−１
が管理している作業ステーション２０−１内に位置する
状態であり、制御ユニット４−２が管理している作業ス
テーション２０−２は、基板９０１の受け入れが可能で
ある状態を示している。このとき、制御ユニット４−２
は、基板９０１の受け入れが可能である旨を示す搬入許
可フラグ（アドレス”Ｂ０７１ｈ”）をオンにする（図
８のタイミングＴ１）。また、この搬入許可フラグの状
態変化は、ラインコントローラ１による上述した所定の
処理により、他の制御ユニット４の共有メモリエリア２
０４に書き込まれる。

【００５３】制御ユニット４−１は、自ユニットの共有
メモリエリア２０４内の当該エリアを参照することによ
り、作業ステーション２０−２が新たな基板９０１を受
け入れることが可能であることを検出すると、制御ユニ
ット４−１から制御ユニット４−２への基板９０１の搬
送動作の開始に先立って、以下の２つの書き込み処理を
行う。

【００５４】まず、加工装置５−１において今回加工し
た基板９０１のサンプリングデータを自ユニットの共有
メモリエリア２０４のアドレス（Ｗ０１２ｈ〜Ｗ０１５
ｈ）に書き込み、加工装置５−１における一連の加工処
理を完了する。次に、制御ユニット４−１は、加工が施
された後の基板９０１の品質に関する情報（以下、「品
質情報」）及び基板番号等のＩＤ情報（以下、「基板Ｉ
Ｄ情報」）を、所定のタイミングで、制御ユニット４−
１の共有メモリエリア２０４の”Ｗ００Ａｈ”番地か
ら”Ｗ０１５ｈ”までの１２ワードのエリア、そして”
Ｗ０００ｈ”番地から４ワードにそれぞれ格納する。ま
た、制御ユニット４−１は、基板９０１の種類（製品、
モニタ、ダミー、ロット間等）を示すビット情報（以
下、「種類情報」）を、アドレス”Ｂ０３０ｈ”から”
Ｂ０３５ｈ”までに格納する。制御ユニット４−１が共
有メモリエリア２０４に書き込んだデータは、ラインコ
ントローラ１による上述した所定の処理により、他の制
御ユニット４の共有メモリエリア２０４に書き込まれる
（図８のタイミングＴ０）。

【００５５】そして、制御ユニット４−１は、搬装装置
６−１の不図示のモータ等を駆動することにより、次の
作業ステーション２０−２への基板９０１の搬送を開始
する。

【００５６】次に、基板９０１が移動することにより、
図１０に示すように、基板の位置決め・排出センサ９０
２により基板９０１が検出されない状態になると、制御
ユニット４−１は、当該基板の排出が完了したと判断
し、基板の排出が完了したことを表わす排出完了フラグ
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”のビット）をオンにセットす
る（図８のタイミングＴ２）。この排出完了フラグの状
態の変化も、ラインコントローラ１による上述した所定
の処理により、他の制御ユニット４の共有メモリエリア
２０４に書き込まれる。

【００５７】また、ラインコントローラ１は、制御ユニ
ット４−１の排出完了フラグがオンになったことを自装
置の共有メモリエリアのアドレス”Ｂ０１１ｈ”のビッ
トを参照することにより検出すると、制御ユニット４−
１の共有メモリエリア２０４に格納されている「基板Ｉ
Ｄ情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ）、「品質情報」
（Ｗ００Ａｈ〜Ｗ０１４ｈ）、そして「種類情報」（Ｂ
０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）を読み出し、その読み出したデ
ータを自装置の共有メモリエリア内の対象となるエリア
に格納し、これらのデータの格納が完了した時点で読み
取り完了を表わす読み取り完了フラグ（アドレス”Ｂ４
１１ｈ”のビット）をオンにする（タイミングＴ３）。

【００５８】一方、制御ユニット４−２は、図１１に示
すように、到着センサ９０３の検出状態の変化によって
基板９０１が自作業ステーション２０−２に到着したこ
とを検知すると、制御ユニット４−２は、自ユニットの
共有メモリエリア内の制御ユニット４−１用のエリアか
ら「基板ＩＤ情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ）と「種
類情報」（Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）とをＣＰＵ２０１
に読み込む（図８のタイミングＴ４）。これにより、制
御ユニット４−２は、これから新たに加工を開始する基
板９０１に関する情報を得られたことになる。

【００５９】次に、制御ユニット４−２は、自ユニット
の共有メモリエリア２０４の到着フラグ（アドレス”Ｂ
０６１ｈ”のビット）をオンにし、ラインコントローラ
１の所定の処理を介して制御ユニット４−１に搬送完了
を知らせる。

【００６０】そして、制御ユニット４−１は、ラインコ
ントローラ１において読み取り完了フラグがオンになっ
たこと、及び、制御ユニット４−２において到着フラグ
がオンになったことを、自ユニットの共有メモリエリア
２０４の当該エリアを参照することによって検出する
と、現在までオンに設定していた排出完了フラグ（アド
レス”Ｂ０１１ｈ”）をオフにリセットする（図８のタ
イミングＴ５）。この排出完了フラグの状態の変化も、
ラインコントローラ１による上述した所定の処理によ
り、他の制御ユニット４の共有メモリエリア２０４に書
き込まれる。

【００６１】制御ユニット４−２は、自ユニットの共有
メモリエリア２０４内の制御ユニット４−１用のエリア
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”）を参照することにより、制
御ユニット４−１が排出完了フラグをオフにリセットし
たことを検知すると、現在までオンに設定していた自ユ
ニットの共有メモリエリア２０４の搬入許可フラグ（ア
ドレス”Ｂ０７０ｈ”のビット）をオフにリセットする
（図８のタイミングＴ６）。同様に、ラインコントロー
ラ１は、当該排出完了フラグがオフにリセットされたこ
とを検知すると、現在までオンに設定していた自ユニッ
トの共有メモリエリアの読み取り完了フラグをオフにリ
セットする（図８のタイミングＴ７）。これら搬入許可
フラグ及び読み取り完了フラグの状態の変化も、ライン
コントローラ１による上述した所定の処理により、他の
制御ユニット４の共有メモリエリア２０４に書き込まれ
る。

【００６２】＜ソフトウエアの説明＞本実施形態におい
て、ラインコントローラ１によるデータの共有化は、上
述したように所定時間周期で常に行われている。以下に
説明するソフトウエア処理は、前工程の制御ユニット４
から得られる基板９０１に関する情報を、その基板９０
１が物理的に次工程の制御ユニット４に移管されるタイ
ミングに合わせてＣＰＵ内に取り込むことができるよう
に行うものである。

【００６３】各作業ステーション２０は、原則として前
工程から受け取ったワークを加工し、その加工したワー
クを次工程に排出するという共通の動作を行う。従っ
て、各制御ユニット４がその内部に有する制御プログラ
ムの構造は、異なるメモリエリアを参照するように設定
する必要はあるが、ソフトウエアの構造自体は略同一の
構成にすればよいことは言うまでもない。ここでは、上
述した作業ステーション２０−１から作業ステーション
２０−２への基板９０１の搬送動作を例に説明するた
め、説明の便宜上、制御ユニット４の動作を、図１２の
制御ユニット４−１の動作と、図１３制御ユニット４−
２の動作とに分けて説明する。

【００６４】尚、ラインコントローラ１による上述した
所定の処理により、各制御ユニット４の共有メモリエリ
アがイコライズされる旨の記載は省略し、図１２と図１
３との間で対応して記載した○印で囲んだ２から５の数
字により表わすものとする。また、その所定の処理を実
現するラインコントローラ１のソフトウエアの動作は、
図１４を参照して説明する。

【００６５】図１２は、本発明の第１の実施形態として
の制御ユニット４−１における処理を示すフローチャー
トである。

【００６６】図中、ステップＳ１において、制御ユニッ
ト４−１は、搬送装置６−１によって加工対象の基板９
０１を自作業ステーション２０−１に受け入れる。自作
業ステーション２０−１への受け入れが完了したか否か
の判断には、センサ９０２の検出状態の変化が利用され
る。

【００６７】次に、ステップＳ２において、制御ユニッ
ト４−１は、加工装置５−１によって該基板９０１に所
定の加工処理を施す。

【００６８】ステップＳ３において、制御ユニット４−
１は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を参照する
ことにより、制御ユニット４−２の搬入許可フラグ（ア
ドレス”Ｂ０７０ｈ”）がオンにセットされているか否
かを判断し、オンにセットされていればステップＳ４に
進む。

【００６９】ステップＳ４において、制御ユニット４−
１は、加工装置５−１による所定の加工処理が完了した
ことを所定の方法によって確認すると、加工が完了した
基板９０１に関するサンプリングデータを、自ユニット
の共有メモリエリア２０４のアドレス”Ｗ０１２ｈ〜Ｗ
０１５ｈ”に書き込む。更に、制御ユニット４−１は、
該加工が完了した基板９０１の「基板ＩＤ情報」をアド
レス”Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ”に書き込み、「品質情
報」をアドレス”Ｗ００Ａｈ〜Ｗ０１１ｈ”に、そして
「種類情報」を”Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ”に格納す
る。

【００７０】ステップＳ５において、制御ユニット４−
１は、搬送装置６−１のモータ等を駆動することによ
り、基板９０１の次の作業ステーション２０−２への搬
送を開始する。

【００７１】ステップＳ６において、制御ユニット４−
１は、センサ９０２によって基板９０１が自作業ステー
ション２０−１から排出されたことを検知すると、ステ
ップＳ７に進む。

【００７２】ステップＳ７において、制御ユニット４−
１は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の排出完了
フラグ（アドレス”Ｂ０１１ｈ”）をオンにセットす
る。

【００７３】次に、制御ユニット４−１は、自ユニット
の共有メモリエリア２０４を参照することにより、制御
ユニット４−２で到着フラグがオンにセットされ（ステ
ップＳ８）、且つ、ラインコントローラ１にて読み取り
完了フラグがオンにセットされたことを検知すると、ス
テップＳ１０において、ステップＳ７でセットした排出
完了フラグをオフにリセットする。

【００７４】ステップＳ１１において、制御ユニット４
−１は、自ユニットが制御している作業ステーション２
０−１に次に加工すべき基板９０１を受け入れ準備が完
了したかを所定の条件に基づいて確認し、準備完了にな
ったときにはステップＳ１２に進む。

【００７５】ステップＳ１２において、制御ユニット４
−１は、自ユニットの共有メモリエリア２０４内の搬入
許可フラグ（アドレス”Ｂ０２０ｈ”）をオンにセット
する。これにより、制御ユニット４−１は、新たな基板
９０１を受け入れ可能であることを、前工程の作業ステ
ーションを制御する制御ユニット（不図示）に知らせる
ことができる。

【００７６】そして、制御ユニット４−１は、前工程の
作業ステーション（不図示）から新たな基板９０１を受
け入れると、前述のステップＳ１以降の動作を実行す
る。

【００７７】図１３は、本発明の第１の実施形態として
の制御ユニット４−２における処理を示すフローチャー
トである。

【００７８】図中、ステップＳ２１において、制御ユニ
ット４−２は、自ユニットが制御している作業ステーシ
ョン２０−２に次に加工すべき基板９０１を受け入れ準
備が完了したかを所定の条件に基づいて確認し、準備完
了になったときにはステップＳ２２に進む。

【００７９】ステップＳ２２において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の搬入許
可フラグ（アドレス”Ｂ０７１ｈ”のビット）をオンに
する。これにより、制御ユニット４−１では、前述の図
１２のステップＳ３からＳ４に処理が移行する。そし
て、制御ユニット４−１は、基板９０１の排出が開始さ
れる。

【００８０】ステップＳ２３において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を参照す
ることにより、制御ユニット４−１の排出完了フラグ
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”のビット）がオンであること
を検出すると、ステップＳ２４に進む。

【００８１】ステップＳ２４において、制御ユニット４
−２は、センサ９０３の状態の変化により、基板９０１
が到着したか否かを判断し、到着したと判断したときは
ステップＳ２５に進む。

【００８２】ステップＳ２５において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を参照す
ることにより、「基板ＩＤ情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００
３ｈ）と「種類情報」（Ｂ０３０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）とを
ＣＰＵ２０１に取り込む。

【００８３】ステップＳ２６において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の到着フ
ラグ（アドレス”Ｂ０６１ｈ”のビット）をオンにセッ
トする。これにより、制御ユニット４−１は、基板９０
１が次工程の作業ステーション２０−２に到着したこと
を認識し、前述の図１２のステップＳ８からステップＳ
９に進む。

【００８４】次に、ステップＳ２７において、制御ユニ
ット４−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４を
参照することにより、制御ユニット４−１の排出完了フ
ラグ（アドレス”Ｂ０６１ｈ”のビット）がオフになっ
ているか否かを判断し、オフのときにはステップＳ２８
に進む。

【００８５】ステップＳ２８において、制御ユニット４
−２は、自ユニットの共有メモリエリア２０４の到着フ
ラグ（アドレス”Ｂ０６１ｈ”）と、搬入許可フラグ
（アドレス”Ｂ０７１ｈ”）をオフにリセットする。

【００８６】ステップＳ２９において、制御ユニット４
−２は、加工装置５−２により、基板９０１に所定の加
工処理を施す。

【００８７】そして、ステップＳ２９以降の処理は、前
述の図１２のステップＳ３以降の処理と同様のため、説
明を省略する。

【００８８】図１４は、本発明の第１の実施形態として
のラインコントローラにおける処理を示すフローチャー
トである。

【００８９】図中、ラインコントローラ１は、予め設定
した所定の時間周期毎のサンプリングタイミングで、各
制御ユニット４の共有メモリエリア２０４をサンプリン
グする（ステップＳ３１，ステップＳ３２）。

【００９０】ステップＳ３３において、ラインコントロ
ーラ１は、ステップＳ３２でスキャンした各制御ユニッ
ト４のうち、排出完了フラグ（アドレス”ＢＸＸ１ｈ”
のビット：但し、ＸＸは０１，０６，０Ｂ，１０，１
５”等を取り得る）がオンにセットされているか否かを
判断し、オンのときにはステップＳ３４に進む。ここで
は、一例として、制御ユニット４−１の排出完了フラグ
（アドレス”Ｂ０１１ｈ”のビット）がオンにセットさ
れていることを検出したものとする。

【００９１】ステップＳ３４において、ラインコントロ
ーラ１は、排出完了フラグがオンである制御ユニット４
（４−１）の共有メモリエリア２０４から、「基板ＩＤ
情報」（Ｗ０００ｈ〜Ｗ００３ｈ）、「品質情報」（Ｗ
００Ａｈ〜Ｗ０１４ｈ）、そして「種類情報」（Ｂ０３
０ｈ〜Ｂ０３５ｈ）を読み出し、その読み出したデータ
を、各制御ユニット４が有する共有メモリエリア２０４
と同じメモリエリア空間を有するに格納する。その際、
データを格納するエリアは、ラインコントローラ１がデ
ータを読み出した制御ユニット４に対応する所定のメモ
リエリアである。

【００９２】ステップＳ３５において、ラインコントロ
ーラ１は、制御ユニット４−１用の読み取り完了フラグ
（アドレス”Ｂ４１１ｈ”のビット）をオンにし、ステ
ップＳ３１に戻る。

【００９３】また、ステップＳ３３で排出完了フラグが
オフである制御ユニット４を検出すると、ステップＳ３
７において、ラインコントローラ１は、その排出完了フ
ラグがオフである制御ユニット４に対して、読み取り完
了フラグをオンにセットしているか否かを判断し、当該
制御ユニット４に対する読み取り完了フラグがオフのと
きにはステップＳ３１に戻る。一方、当該制御ユニット
４（４−１）に対する読み取り完了フラグがオンにセッ
トされているときには、ステップＳ３８において、その
読み取り完了フラグをオフにリセットしてステップＳ３
１に戻る。これにより、例えば、図１２のフローチャー
トに示すように、ステップＳ９からステップＳ１０に処
理が移行して、その対象となっている制御ユニットの排
出完了フラグがオフにリセットされる。

【００９４】＜不具合発生時の処理＞次に、当該製造ラ
インにおけるある製造工程（例えば、検査工程等）にお
いて、不良品が発生した場合の選別収納処理について説
明する。

【００９５】例えば、制御ユニット４−１が制御してい
る工程で不良品（ＮＧ）が発生した場合は、その履歴を
ＣＰＵ２０１のレジスタ（図２に不図示）に記憶し、基
板排出時に図３に示す基板の良否（ＯＫ／ＮＧ）判定フ
ラグ（アドレス”Ｂ０３４ｈ”または”Ｂ０３５ｈ”の
ビット）をＮＧを表わすオンの状態にセットし、前述の
各フローチャートの手順に従って当該基板の不具合情報
を、次工程の制御ユニット４−２にトラッキングする。
ここで、良否判定フラグが、アドレス”Ｂ０３４ｈ”及
び”Ｂ０３５ｈ”の２箇所に有るのは、本実施形態では
１枚の基板９０１から２枚の製品（半製品）を取り出す
構成を想定しているからである。従って、１枚の基板９
０１からより多くの製品（半製品）を取り出す構成の場
合は、各基板の良否判定情報をアドレス”Ｂ０３６ｈ”
〜”Ｂ０３Ｆｈ”の該当するエリアに割り付けることで
同様にして対応できる。

【００９６】＜第１の実施形態の効果＞以上説明したよ
うに、本実施形態によれば、製造ラインの各作業ステー
ションにおいて個々の基板９０１に加工処理が施される
のに応じて、即ち、基板９０１が、ある作業ステーショ
ンから次の作業ステーションに移管されるときに、当該
基板に関する情報（「基板ＩＤ情報」、「品質情報」、
そして「種類情報」）を、最新の状態で、各制御ユニッ
ト４間でトラッキング（伝達）していくことができる。

【００９７】特に、複数の製造工程のうち、ある製造工
程でワークに不具合が発生したときにも、その不具合情
報は次工程以降の制御ユニット４にトラッキングできる
ため、例えば、当該製造ラインの最終作業ステーション
においてワークをパッキングする際にも、上記の各種情
報を使用することにより、自動機によってワークを良品
と不良品とに分別し、別のカセット等に確実に収納する
ことが容易に可能になる。

【００９８】また、上記の各種情報を使用することによ
り、当該製造ラインに異なるロットのワークが混在して
流される場合であっても、個々のワークが属するロット
の認識を、自動機によって確実に行うことができる。

【００９９】［第２の実施形態］次に、本発明の第２の
実施形態について説明する。本実施形態において、製造
ラインを構成する装置及びその動作は、基本的に前述し
た第１の実施形態と同様であるため、重複する説明は省
略し、特徴的な部分を中心に説明する。

【０１００】図１５は、本発明の第２の実施形態として
の製造ラインシステムの構成を示すブロック図であり、
前述の実施の形態１と共通する部分は同じ番号で示しそ
れらの説明を省略する。

【０１０１】図１５において、７は複数の基板９０１を
収容するカセットを示し、そのカセット７はＩＤタグ８
を備えている。ＩＤタグ８は、データの読み書きが可能
であり、図１６に示す情報が記憶している、図１６は、
本発明の第２の実施形態としてのＩＤタグ情報処理を説
明する図である。

【０１０２】同図に示すように、ＩＤタグ８には、「カ
セットＩＤ」、「カセット空き／実区分」、「製品ロッ
トＮＯ」、「ロット分割区分」、「製品種コード」、
「終了工程番号」、「次工程番号」、「処理日」）、
「工程排出時刻」、「基板Ｎ良否」等の項目のデータを
記憶することができる。

【０１０３】尚、「カセット空き／実区分」のデータ
は、カセット７が空であるか、或いは、基板９０１が収
められているかを表わす。また、「基板Ｎ良否」のデー
タは、本実施形態に係る製造ラインでは基板が２枚取り
であるとして、各基板のＩＤ（識別番号）と、それらの
基板Ａ，Ｂの良否を示す情報を表わす。

【０１０４】ここで、本実施形態に係る製造ラインにお
けるワーク情報のトラッキング方法を概説する。

【０１０５】先頭工程の制御ユニット４−１は、次工程
の作業ステーションに基板９０１を排出するに際して、
制御ユニット４−２において搬入許可フラグがオンにな
ったことを確認すると、その排出しようとする基板９０
１が収納されていたカセット７のＩＤタグ８に記憶され
ている基板ＩＤ等のデータ（図１６）を読み取り、その
読み取ったデータを制御ユニット４−１の共有メモリエ
リア２０４に記憶する。そして、制御ユニット４−１
は、当該基板を次工程の作業ステーションに排出する。
この場合も、上述したラインコントローラ１の所定の処
理により、制御ユニット４−１がＩＤタグ８から読み取
ったデータは、制御ユニット４−２の共有メモリエリア
２０４にイコライズされる。

【０１０６】一方、次工程の制御ユニット４−２は、制
御ユニット４−１の搬出完了フラグがオンになったこと
を確認すると、前工程の作業ステーションから送られて
くる基板９０１に関する情報（制御ユニット４−１がＩ
Ｄタグ８から読み出したデータ）を、自ユニットの共有
メモリエリア２０４の所定のエリアより読み出し、その
読み出したデータを、制御ユニット４−２のＣＰＵ２０
１のレジスタ（ＲＡＭ）に取り込む。

【０１０７】そして、加工装置５−２は、当該基板９０
１に所定の加工処理を施す。そして、当該処理を終了す
ると、制御ユニット４−２は、次工程の作業ステーショ
ンを制御する制御ユニット４−３の搬入許可フラグの状
態を確認し、そのフラグがオンであれば、制御ユニット
４−２は、自ユニットのＣＰＵ２０１のレジスタに取り
込んでいた当該基板９０１に関するデータを、自ユニッ
トの共有メモリエリア２０４の所定エリアに書き込む。
そして、加工装置５−２は、当該基板を次工程の作業ス
テーションに排出する。また、この場合も、上述したラ
インコントローラ１の所定の処理により、制御ユニット
４−２が自ユニットの共有メモリエリア２０４の所定エ
リアに書き込んだ当該基板９０１に関するデータは、制
御ユニット４−３の共有メモリエリア２０４にイコライ
ズされる。

【０１０８】このようにして、各制御ユニット４は、カ
セット７に取付けられたＩＤタグ８の情報を、当該製造
ラインの各工程で基板９０１に加工処理を施すのに応じ
て、各制御ユニット４の間でトラッキングする。

【０１０９】また、ある製造工程や検査工程で基板９０
１に不良品が発生した場合には、その工程において該不
良品の不具合情報をトラッキング対象となっているデー
タに反映することにより、次工程以降の制御ユニット４
の該不具合情報をトラッキングする。そして、最終工程
の収納作業を行う作業ステーションでは、その作業ステ
ーションを制御する制御ユニット４（４−Ｎ）が、トラ
ッキングされてきた当該基板９０１に関するデータに基
づいて、良品・不良品を自動機によって選別しながら、
収納カセット７に収納する。このとき、最終工程の制御
ユニット４（４−Ｎ）は、収納しようとしている基板９
０１にトラッキングされてきた情報を、収納カセット７
のＩＤタグ８に書き込む。

【０１１０】＜ソフトウエアの説明＞本発明の第２の実
施形態としての制御ユニット４−１における処理を示す
フローチャートである。このフローチャートで示す処理
は、上述した図１２のフローチャートと略同様である
が、ステップＳ４３で、次工程の制御ユニット４−２の
搬入許可フラグがオンにセットされたことを検出する
と、カセット７に設けられているＩＤタグ８の情報を読
み取って（ステップＳ４４）、その読み取った情報を、
制御ユニット４−１の共有メモリエリア２０４の所定の
エリアに記憶する。この記憶された情報は、ラインコン
トローラ１によって次工程の制御ユニット４−２の共有
メモリエリアにイコライズされるため、制御ユニット４
−２は、これから加工を行う基板９０１に関する情報を
入手することができる。

【０１１１】また、ステップＳ４５〜ステップＳ５２に
おいて、制御ユニット４−１は、前述の図１２のステッ
プＳ５〜ステップＳ１２で示したように、自ユニットの
制御によって加工処理を施した基板９０１を、制御ユニ
ット４−２が制御する次工程の作業ステーション２０−
２に排出する。

【０１１２】尚、上記の図１７のフローチャートは、先
頭工程の作業ステーションを制御する制御ユニット４−
１を表わしており、最終工程の作業ステーションを制御
する制御ユニット４−Ｎの場合は、加工を完了した基板
９０１を収納カセット７に収納するため、一部処理内容
が異なる。即ち、ＩＤタグ８から情報を読み取る処理
（ステップＳ４４）と、次工程に排出する処理（ステッ
プＳ４５）の代わりに、図１２のステップＳ４と同様
に、共有メモリエリア２０４に基板ＩＤ情報等をセット
する処理、現在自作業ステーションにある基板９０１の
良否判断を行う処理、そして、その良否判断の結果に基
づいて、自動機によって収納カセット７に収納すると共
に、その良否判断の結果を含む当該基板９０１に関する
データをＩＤタグ８に書き込む処理が順次行われること
になる。

【０１１３】＜第２の実施形態の効果＞以上説明した本
実施形態によれば、第１の実施形態による効果に加え、
例えば、最終工程で基板９０１が収納された収納カセッ
ト７を他の製造ライン等に搬送し、更に新たな加工を行
う場合であっても、ＩＤタグ８の情報を利用することに
より、上記の製造ラインと同様に製造工程に沿って加工
対象の基板９０１に関するデータをトラッキングするこ
とができる。

【０１１４】

【他の実施形態】尚、本発明は、複数の機器（例えばホ
ストコンピュータ，インタフェイス機器等）から構成さ
れるシステムに適用しても、一つの機器からなる装置に
適用してもよい。

【０１１５】また、本発明の目的は、前述した実施形態
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
録した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、そ
のシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵ
やＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを
読出し実行することによっても、達成されることは言う
までもない。

【０１１６】この場合、記憶媒体から読出されたプログ
ラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現するこ
とになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は
本発明を構成することになる。

【０１１７】プログラムコードを供給するための記憶媒
体としては、例えば、フロッピディスク，ハードディス
ク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ
−Ｒ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭ等
を用いることができる。

【０１１８】また、コンピュータが読出したプログラム
コードを実行することにより、前述した実施形態の機能
が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示
に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレ
ーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部
を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実
現される場合も含まれることは言うまでもない。

【０１１９】さらに、記憶媒体から読出されたプログラ
ムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボード
やコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わる
メモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に
基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わ
るＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その
処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合
も含まれることは言うまでもない。

【０１２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークの個別情報を、各処理工程において確実に受信
し、且つ、次の処理工程に確実に通信する制御システム
及びその通信方法の提供が実現する。

【０１２１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態としての製造ラインシ
ステム全体構成を示すブロック構成図である。

【図２】本発明の第１の実施形態としてのネットワーク
で使用される制御ユニットの構成を示すブロック図であ
る。

【図３】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−１が管理するリンクビット情報のデータ構成を示す
図である。

【図４】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−１が管理するリンクワード情報のデータ構成を示す
図である。

【図５】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−２が管理するリンクビット情報のデータ構成を示す
図である。

【図６】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−２が管理するリンクワード情報のデータ構成を示す
図である。

【図７】本発明の第１の実施形態としてのラインコント
ローラが管理するリンクビット情報のデータ構成を示す
図である。

【図８】本発明の第１の実施形態としての制御ユニット
４−１及び４−２、そしてラインコントローラ間におけ
る制御フラグの受け渡しを説明するタイミングチャート
である。

【図９】本発明の第１の実施形態としての作業ステーシ
ョン２０−１と作業ステーション２０−２との間での基
板の搬送を説明する図である。

【図１０】本発明の第１の実施形態としての作業ステー
ション２０−１と作業ステーション２０−２との間での
基板の搬送を説明する図である。

【図１１】本発明の第１の実施形態としての作業ステー
ション２０−１と作業ステーション２０−２との間での
基板の搬送を説明する図である。

【図１２】本発明の第１の実施形態としての制御ユニッ
ト４−１における処理を示すフローチャートである。

【図１３】本発明の第１の実施形態としての制御ユニッ
ト４−２における処理を示すフローチャートである。

【図１４】本発明の第１の実施形態としてのラインコン
トローラにおける処理を示すフローチャートである。

【図１５】本発明の第２の実施形態としての製造ライン
システムの構成を示すブロック図である。

【図１６】本発明の第２の実施形態としてのＩＤタグ情
報処理を説明する図である。

【図１７】本発明の第２の実施形態としての制御ユニッ
ト４−１における処理を示すフローチャートである。

【図１８】共有メモリ方式のデータのリフレッシュ方法
を説明する図である。

【図１９】本発明の第１の実施形態としての共有メモリ
エリア２０４におけるビットマップを示す図である。

【図２０】本発明の第１の実施形態としての共有メモリ
エリア２０４におけるワードマップを示す図である。

【符号の説明】

１：ラインコントローラ，２：記憶装置，４：制御ユニット，５：加工装置，６：搬装装置，７：収納カセット，９：供給ユニット，１０：収納ユニット，２０１：ＣＰＵ，２０２：プログラムメモリ（ＲＯＭ），２０３：ＲＡＭ，２０４：共有メモリエリア，２０５：入出力インタフェース，２０６：通信インタフェース，２０７：操作盤，２０８：センサ群，９０２：位置決め・排出センサ，９０３：到着センサ，

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークに所定の処理を施す複数の処理工
程を、複数の制御ユニットにより制御する制御システム
であって、前記制御システムは、前記複数の制御ユニット間の通信
を管理する通信管理装置を備え、前記複数の制御ユニットは、自ユニットが制御する処理
工程におけるワークを次の処理工程に移管するときに、
該ワークに関する情報を、前記通信管理装置を介して、
該次の処理工程を制御する制御ユニットに通信する通信
手段を備えることを特徴とする制御システム。
【請求項２】前記複数の制御ユニットは、自ユニット
が制御する処理工程においてワークに関する情報が変化
したときに、その変化した情報を、前の処理工程を制御
する制御ユニットから入手したワークに関する情報に反
映し、前記次の処理工程を制御する制御ユニットに通信
することを特徴とする請求項１記載の制御システム。
【請求項３】前記ワークに関する情報には、そのワー
クを識別する識別情報が含まれることを特徴とする請求
項１記載の制御システム。
【請求項４】前記識別情報には、そのワークが属する
ロット情報が含まれることを特徴とする請求項３記載の
制御システム。
【請求項５】前記制御ユニットが、そのユニットが制
御する処理工程におけるワークを、前記ロット情報に基
づいて分別する分別手段を更に備えることを特徴とする
請求項４記載の制御システム。
【請求項６】前記分別手段は、前記ロット情報に基づ
いて、前記ワークを収納すべき収納カセットを選別する
ことを特徴とする請求項５記載の制御システム。
【請求項７】前記複数の制御ユニットの通信手段は、
それぞれ同じフォーマットのメモリエリアを有してお
り、前記制御ユニットが、前記ワークに関する情報を、自ユ
ニットのメモリエリアに書き込み、そのメモリエリアから、前記通信管理装置が、該書き込
まれた情報を読み出し、その読み出した情報を、前記次
の処理工程を制御する制御ユニットの通信手段のメモリ
エリアに書き込むことを特徴とする請求項１記載の制御
システム。
【請求項８】ワークに所定の処理を施す複数の処理工
程を、複数の制御ユニットにより制御する制御システム
における通信方法であって、前記制御システムに、前記複数の制御ユニット間の通信
を管理する通信管理装置を設け、前記複数の制御ユニットが、自ユニットが制御する処理
工程におけるワークを次の処理工程に移管するときに、
該ワークに関する情報を、前記通信管理装置を介して、
該次の処理工程を制御する制御ユニットに通信すること
を特徴とする通信方法。
【請求項９】前記ワークに関する情報には、そのワー
クを識別する識別情報が含まれることを特徴とする請求
項８記載の通信方法。
【請求項１０】前記識別情報には、そのワークが属す
るロット情報が含まれることを特徴とする請求項９記載
の通信方法。