JPH1039906A - ラインの制御方法とその装置及びラインシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 共通にアクセスできるメモリを利用して、各
処理装置に接続された制御ユニット間の同期をとること
ができるラインの制御方法とその装置及びラインシステ
ムを提供することを目的とする。 【解決手段】 それぞれがワークの処理装置に接続され
た制御ユニット同士をネットワーク３で接続したライン
システムであって、複数の制御ユニット４−１〜４−ｎ
によりアクセス可能で、そのワークに関する情報及びワ
ークの搬送に関する情報を各制御ユニットのメモリに記
憶し、第１の制御ユニット４−１において加工装置５−
１を使用して処理しているワークに関する情報をメモリ
の所定エリアに記憶し、そのメモリに記憶された情報を
もとに第１の制御ユニット４−１から第２の制御ユニッ
ト４−２に処理済みのワークを搬送する。この第２の制
御ユニット４−２は、そのメモリの所定アドレスに記憶
されているワークに関する情報をもとに、加工装置５ー
２によりそのワークを加工し、以下同様にして各制御ユ
ニットに設けられたメモリの内容が同じになるようにし
ながら、下流側に搬送して処理していく。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを、例えば
加工処理して順次下流工程に搬送して前記ワークを処理
するラインの制御方法とその装置及びラインシステムに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の製造ラインシステムの構成を図１
９を参照して説明する。

【０００３】ステーション１０１の加工装置１１１と搬
送装置１１２は、第１のラインコントローラＰＬＣ１に
よって管理されており、同様にステーション１０２の加
工装置１２１と搬送装置１２２は、第２のラインコント
ローラＰＬＣ２によって管理され、ステーション１０３
の加工装置１３１と搬送装置１３２は第３のラインコン
トローラＰＬＣ３によって管理されている。これら第
１、第２、第３のラインコントローラＰＬＣ１、ＰＬＣ
２、ＰＬＣ３のそれぞれは、通信回線Ｋ１〜Ｋ３の対応
する回線を介してホストコンピュータ１５０と接続され
ている。このホストコンピュータ１５０は、第１、第
２、第３のラインコントローラＰＬＣ１、ＰＬＣ２、Ｐ
ＬＣ３のそれぞれを介して、あるタイミングで各ワーク
のトラッキングデータ、品質データを収集、管理してお
り、またホストコンピュータ１５０はワークの搬送状態
に応じて、各設備にそのワークのトラッキングデータ
を、第１、第２、第３のラインコントローラＰＬＣ１、
ＰＬＣ２、ＰＬＣ３に与えるように構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のシス
テム構成では、管理する装置や設備の数が増えた場合に
は、ホストコンピュータ１５０にはより高い処理能力が
要求される。ホストコンピュータ１５０と各ラインコン
トローラとの間の通信の頻度も煩雑になり、しかも、１
ワーク当たりの各工程のサイクルタイムが短い場合に
は、ホストコンピュータ１５０で一元管理することが非
常に難しくなる。また、ホストコンピュータ１５０にお
いて、トラッキングデータの収集や設備の作業開始、完
了信号が集中するため、優先的に情報を伝達するために
は、ホストコンピュータ１５０と各ラインコントローラ
との間に専用の回線等が必要になり、それに伴う処理も
かなり煩雑になる。

【０００５】本発明は上記従来例に鑑みてなされたもの
で、メモリを利用して、各処理装置に接続された制御ユ
ニット間の同期をとることができるラインの制御方法と
その装置及びラインシステムを提供することを目的とす
る。

【０００６】また本発明の他の目的は、簡単な構成で、
複数の制御ユニット間で処理するワークに関する情報を
共有しながら、各処理装置での処理の同期を取ってワー
クを処理できるラインの制御方法とその装置及びライン
システムを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のラインシステムは以下のような構成を備え
る。即ち、それぞれがワークの処理装置に接続された制
御ユニット同士をネットワークを介して接続したライン
システムであって、前記処理装置によって前記ワークを
処理するためのデータを有し、それぞれの制御ユニット
に設けられたメモリと、それぞれの制御ユニットに設け
られた前記メモリの内容を同一にするための同一化手段
とを有することを特徴とする。

【０００８】また上記目的を達成するために本発明のラ
インの制御装置は以下のような構成を備える。即ち、そ
れぞれがワークの処理装置に接続された制御ユニット同
士をネットワークを介して接続したライン制御装置であ
って、それぞれの制御ユニットから入力された前記処理
装置によって前記ワークを処理するためのデータをそれ
ぞれの制御ユニット毎に記憶するためのメモリと、前記
メモリに記憶された、少なくともワークの処理ラインの
前後に配置される処理装置にそれぞれ接続される制御ユ
ニットのデータを１組として、この１組のデータを該当
するそれぞれの制御ユニットに送信するための送信手段
とを有することを特徴とする。

【０００９】また上記目的を達成するために本発明のラ
イン制御方法は以下のような工程を備える。即ち、それ
ぞれがワークの処理装置に接続された制御ユニット同士
をネットワークで接続したラインにおけるライン制御方
法であって、前記制御ユニットに接続された処理装置に
関するデータを、接続する制御ユニットのメモリに記憶
し、それぞれの制御ユニットに設けられたメモリの内容
を所定時間間隔でサンプリングして、それぞれの制御ユ
ニット毎に記憶し、この制御ユニット毎に記憶されたデ
ータのうち、少なくともワークの処理ラインの前後に配
置される処理装置にそれぞれ接続される制御ユニットの
データを１組として、この１組のデータを該当するそれ
ぞれの制御ユニットに送信することを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の好適な実施の形態を詳細に説明する。本実施の形態で
は、製造ラインにおけるトラッキング制御方法を説明す
る。 ［実施の形態１］図１は本発明の実施の形態１の製造ラ
インシステムの構成を示すブロック図である。

【００１１】図１の製造ラインシステムでは、ラインコ
ントローラ１、ステーション制御ユニット（ＰＬＣ）４
（４−１，４−２，…，４−ｎ）の相互間は、シーケン
サ・ネットワーク３で接続されている。２はラインコン
トローラ１に接続された、例えばハードディスク等の記
憶装置である。各ステーション１０（１０−１，１０−
２，…，１０−ｎ）は、ワークに対して加工処理を施す
加工装置５（５−１，５−２，…５−ｎ）及びワークを
次のステーションに搬送するための搬送装置６（６−
１，６−２，…，６−ｎ）等を有している。

【００１２】このシーケンサ・ネットワーク３は、従来
よりよく用いられるリング型の共有メモリ方式のもの
で、このネットワーク３に接続されている各ステーショ
ン制御ユニット４から、各自の制御ユニットの共有メモ
リの特定エリアへの書込みが可能で、また他の制御ユニ
ットの共有メモリの全エリアを読み取ることができ、ま
た、親局であるラインコントローラ１でも各制御ユニッ
トの共有メモリの特定エリアへの書き込み及び読込みが
可能なネットワークである。また、このネットワーク３
は、共有メモリ方式のものであればバス型接続のもので
も良い。

【００１３】図２は、本実施の形態１の制御ユニット４
の構成を示すブロック図で、図１の各制御ユニット４−
１〜４−ｎは同じ構成であるものとする。

【００１４】図２において、２０１は制御ユニット４全
体を制御するマイクロプロセッサ等のＣＰＵ、２０２は
ＣＰＵ２０１により実行される制御プログラムを格納し
ているプログラムメモリで、通常はＲＯＭで構成されて
いる。２０３はＲＡＭで、ＣＰＵ２０１による各種制御
の実行時、各種データを記憶するためのワークエリアと
しても使用されるとともに、ネットワーク３及びライン
インターフェース２０６を介して他の制御ユニットから
もアクセスできる共有メモリエリア２０４を備えてい
る。２０５は入出力インターフェース部（Ｉ／Ｏ・Ｉ／
Ｆ）で、このインターフェースを介して加工装置５及び
搬送装置６が接続されてＣＰＵ２０１によりその動作が
制御される。２０７は操作盤で、作業者により操作され
る各種キースイッチや、ＬＥＤ、表示器等が配置されて
いる。２０８はセンサで、入出力インターフェース部２
０５を介して制御ユニット４に接続されており、加工装
置５及び搬送装置６におけるワークの位置や状態を検出
して、対応する信号を発生している。このセンサ２０８
は、後述する基板の位置決め兼排出センサ９０２、到着
センサ９０３を含んでいる。尚、加工装置５は、搬送装
置６からワークを受取って一時的に保持するとともに、
加工済みのワークを搬送装置６に出力する前に一時的に
保持するためのバッファを備えている。上述した各構成
要素は、バス２００に接続されている。尚、上述した構
成では、ＣＰＵ２０１、プログラムメモリ２０２、ＲＡ
Ｍ２０３はバス２００に接続されているが、１チップＩ
Ｃとして構成することも可能である。

【００１５】ネットワーク３に接続された各ステーショ
ン制御ユニット４は、共有メモリエリア（以下、共有メ
モリと称す）２０４を、他のステーション制御ユニット
との間で情報を伝達するための、ワード（１６ビット）
単位でデータを記憶するエリアと、ビット（１ビット）
単位でデータを記憶するエリアとを備えている。更に各
制御ユニットは、トラッキングデータを記憶して保持す
るための内部レジスタを有している。

【００１６】次に、共有メモリ２０４のデータ構成につ
いて詳述する。図３及び図４は、共有メモリ２０４のデ
ータ構成を示しており、図３はビット単位でデータを記
憶するエリア（以下、「ビットマップ」と称す）を示
し、図４はワード単位でデータを記憶するエリア（以
下、「ワードマップ」と称す）を示している。

【００１７】ビットマップ、ワードマップは、ともに子
局としての制御ユニット４−１〜４−ｎの各情報と、親
局としてのラインコントローラ１から各制御ユニット４
−１〜４−ｎヘ伝達する情報を格納する。ラインコント
ローラ１および制御ユニット４−１〜４−ｎは、共通の
データが格納された共有メモリ２０４を有することにな
る。したがって、ラインコントローラ１および制御ユニ
ット４−１〜４−ｎにおける共有メモリ２０４のデータ
フォーマットは同じであり、各ステーション毎にベース
アドレスに対応するアドレス分、各データのアドレスが
同一メモリ空間内でシフトして割り付けられている。以
下、格納されているデータの具体例について説明する。

【００１８】図５及び図６は、この実施の形態１の共有
メモリ２０４の制御ユニット４−１の具体的なデータ構
成を示す図で、図５はビット単位でデータを記憶してい
るリンクビット情報のデータ構成を示し、図６はワード
単位でデータを記憶しているリンクワード情報のデータ
構成を示す。

【００１９】制御ユニット４−１では、図５及び図６に
示す様にベースアドレス（“Ｗ０００Ｈ”と“Ｂ０００
Ｈ”）が割り付けられている。ここで「Ｈ」は１６進数
を表している。

【００２０】例えば、制御ユニット４−１では、図５に
示すように、操作盤情報の“自動”は、共有メモリ２０
４のアドレス“Ｂ０００Ｈ”番地から３ビット目に設定
されており、そのアドレスは“Ｂ００３Ｈ”となってい
る。また図６に示すように、リンクワード情報の“排出
基板ＩＤ”は、共有メモリ２０４のアドレス“Ｗ０００
Ｈ”〜“Ｗ００３Ｈ”に格納されている。

【００２１】また、図７及び図８は、共有メモリ２０４
における制御ユニット４−２のデータ構成を示す図で、
この制御ユニット４−２では、ワード単位のデータエリ
アのベースアドレスが“Ｗ０３０Ｈ”で、ビット単位エ
リアのベースアドレスは“Ｂ０５０Ｈ”で割り付けられ
ており、そのデータ構成が全く同じであることがわか
る。

【００２２】更に図９は、共有メモリ２０４におけるラ
インコントローラ（親局）１の制御ユニット４−１に対
するビット単位のデータエリアの構成を示す図である。

【００２３】この図９のデータフォーマットを参照する
と、ベースアドレスは“Ｂ４００Ｈ”に設定されてい
る。

【００２４】次に、上述した共有メモリ２０４のデータ
のリフレッシュについて、図１０を用いて説明する。

【００２５】各共有メモリ２０４は、データメモリ格納
エリア２０４ａとリンクエリア格納エリア２０４ｂを備
えており、これらは、それぞれ図３及び図４に示したデ
ータ構造と同一のデータ構造を有している。ここで、デ
ータメモリ格納エリア２０４ａは、各ステーションにお
いて、動作制御に用いるためのデータの格納エリアであ
り、リンクエリア格納エリア２０４ｂは、各動作制御に
影響することなく各制御ユニットのデータメモリ格納エ
リア２０４ａの内容を同じにするためのものである。

【００２６】子局、すなわち制御ユニット４−１〜４−
ｎでは、それぞれのステーションにおいて状態の変化が
あったときに、データメモリ格納エリア２０４ａにおい
て対応する自制御ユニットの該当するアドレスの部分を
書き換える。制御ユニット４−１について考えると、ス
テーション１０−１において変化した状態に関するデー
タを、制御ユニット４−１に関連するＢ０００Ｈ〜Ｂ０
４ＦＨの該当するアドレスの部分を書き換える。

【００２７】また、データメモリ格納エリア２０４ａの
リフレッシュは、以下のようにして行う。まず、リンク
エリア格納エリア２０４ｂに格納されたデータをデータ
メモリ格納エリア２０４ａに伝達し、自制御ユニット４
に関するデータを除き、データメモリ格納エリア２０４
ａ側のデータを上書きする。すなわち、制御ユニット４
−１においては、データメモリ格納エリア２０４ａのデ
ータを、制御ユニット４−１に関連するアドレスＢ００
０Ｈ〜Ｂ０４ＦＨの部分を除いて、リンクエリア格納エ
リア２０４ｂに格納されたデータで上書きする。一方、
制御ユニット４−１に関連するアドレスＢ０００Ｈ〜Ｂ
０４ＦＨの部分に関しては、リンクエリア格納エリア２
０４ｂ側に格納されたデータをデータメモリ格納エリア
２０４ａのデータで上書きする。全てのアドレスに対し
て処理が終わると、データメモリ格納エリア２０４ａの
データはリフレッシュされる。その後、このリフレッシ
ュされたデータは、リンクエリア格納エリア２０４ｂに
返され、データメモリ格納エリア２０４ａとリンクエリ
ア格納エリア２０４ｂとのデータは一致することにな
る。

【００２８】なお、以上の説明は、子局の制御ユニット
４に対する説明として行ったが、親局であるラインコン
トローラ１内部のデータリフレッシュに関しても同様に
行われる。

【００２９】上述説明は、一つの共有メモリ２０４の中
のデータのリフレッシュに関するものであるが、次に、
制御ユニット間のデータリフレッシュについて説明す
る。

【００３０】まず、ラインコントローラ１は、各制御ユ
ニット４に対して、それぞれの制御ユニット４に関する
データを読み出しに行く。具体的には、各リンクエリア
格納エリア２０４ｂに対してデータを読み出しに行く。
そして、読み出されたデータによって、ラインコントロ
ーラ１のリンクエリア格納エリア２０４ｂのデータが書
き換えられる。

【００３１】次に、書き換えられたラインコントローラ
１のリンクエリア格納エリア２０４ｂのデータが子局で
ある各制御ユニット４−１〜４−ｎに対して送信され、
各制御ユニット４−１〜４−ｎのそれぞれのリンクエリ
ア格納エリア２０４ｂのデータが書き換えられ、結果と
して、常に、ラインコントローラ１と制御ユニット４−
１〜４−ｎの共有メモリ２０４のデータは同一の内容に
保たれる。したがって、各制御ユニット４は、自身の共
有メモリ２０４によって、他のステーションの状態を知
ることができるので、それぞれの操作制御時に制御ユニ
ット４間でデータの授受をする必要がなくなる。

【００３２】なお、上記例では、ラインに接続される全
ての制御ユニットに設けられたメモリの内容を、全ての
制御ユニットが共有するようにしたが、ラインにおいて
前後に配置された処理装置のみのデータによってワーク
の処理が可能ならば、その関係にある制御ユニットに関
しては、前後の制御ユニットが有するデータを共有すれ
ば良いことになる。

【００３３】次に、このようなリンク情報を用いた制御
ユニット間での信号授受の手順を、図１１のタイミング
図、及び制御ユニット４−１と４−２間での基板９０１
の移動を示す図１２（Ａ）〜（Ｃ）を参照して説明す
る。

【００３４】まず、このシーケンスの初めに、品質デー
タ及び基板の固有データがネットワーク３に出力され、
これらデータが各制御ユニットが管理している共有メモ
リ２０４の予め定められたアドレスに格納される。即
ち、加工装置５で加工され、搬送装置６により次のステ
ーションに順次搬送される基板品質に関する情報は、例
えば制御ユニット４−１ではアドレス“Ｗ００ＡＨ”番
地から“Ｗ０１５Ｈ”までの１２ワードのエリアに格納
され、基板番号等のＩＤ情報は“Ｗ０００Ｈ”番地から
４ワードに格納される。更に基板の種類（製品、モニ
タ、ダミー、ロット間等）を示すビット情報は、アドレ
ス“Ｂ０３０Ｈ”から“Ｂ０３５Ｈ”までに格納され
る。同様にして、他の制御ユニットにおいても、共有メ
モリ２０４の各ユニットに対応するベースアドレスか
ら、これらのデータが記憶される。

【００３５】いま、図１２（Ａ）に示すように、基板９
０１が制御ユニット４−１が管理しているステーション
にある状態で、図１１のタイミングＴ１において、制御
ユニット４−２が基板９０１の受け入れが可能である旨
を示す「搬入可」信号（アドレス“Ｂ０７０Ｈ”）をオ
ンにする。制御ユニット４−１は、加工装置５−１にお
いて加工中の基板９０１のサンプリングデータを共有メ
モリ２０４のアドレス（Ｗ０１２Ｈ〜Ｗ０１５Ｈ）に随
時書き込み、又、加工装置５−１における加工を終了す
る。そして基板９０１の排出が可能な状態であれば、そ
の基板９０１の基板ＩＤをＷ０００Ｈ〜Ｗ００３Ｈに、
枚葉加工品質情報をＷ００ＡＨ〜Ｗ０１１Ｈに書込み、
更に基板種類情報をＢ０３０Ｈ〜Ｂ０３５Ｈにセットし
てから、搬送装置６−１の排出用搬送モータ等を駆動し
て、基板９０１の排出を開始する。

【００３６】こうして図１２（Ｂ）に示すように、基板
の位置決め兼排出センサ９０２により基板９０１が検出
されなくなり、基板９０１の排出が完了したことを検知
すると、制御ユニット４−１はタイミングＴ２で装置状
態／基板受渡の「排出」信号（アドレス“Ｂ０１１Ｈ”
のビット）をオンにして、基板９０１の排出が完了した
ことを知らせる。

【００３７】ラインコントローラ１は、制御ユニット４
−１〜４−ｎから、予め設定していたサンプリングタイ
ムでデータを収集する。例えば、このサンプリングタイ
ムが１分に設定さていれば、基板９０１が１番最初に制
御ユニット４−１が管理している加工装置５−１に入っ
てから、１分でラインコントローラ１はデータをサンプ
リングすることになる。

【００３８】又、ラインコントローラ１は、制御ユニッ
ト４−１の「排出」信号がオンになったタイミングで、
基板ＩＤ（Ｗ００Ｈ〜Ｗ００３Ｈ）と加工品質情報（Ｗ
００ＡＨ〜Ｗ０１４Ｈ）、基板種類情報（Ｂ０３０Ｈ〜
Ｂ０３５Ｈ）を取り込み、これらのデータの収集が完了
した時点で「読取り完」信号（アドレス“Ｂ４１１Ｈ”
のビット）をオンにする（タイミングＴ３）。

【００３９】次にタイミングＴ４において、制御ユニッ
ト４−２は、到着センサ９０３により基板９０１が到着
したことを検知すると（図１２（Ｃ）の状態）、基板Ｉ
Ｄ（Ｗ００Ｈ〜Ｗ００３Ｈ）と基板種類情報（Ｂ０３０
Ｈ〜Ｂ０３５Ｈ）を取り込む。その後、「到着」信号
（アドレス“Ｂ０６１Ｈ”のビット）をオンにして制御
ユニット４−１に搬送完了を知らせる。次にタイミング
Ｔ５に進み、制御ユニット４−２からの「到着」信号が
オンになり、ラインコントローラ１の読取り完了になっ
たことを確認すると、即ち、基板９０１の搬送とライン
コントローラ１の品質情報の取り込みが終了したのを確
認すると、制御ユニット４−１は排出信号をオフ（アド
レス“Ｂ０１１Ｈ”をオフ）にする。

【００４０】次にタイミングＴ６において、制御ユニッ
ト４−２は、制御ユニット４−１の「排出」信号がオフ
された時点で「搬入可」信号（アドレス“Ｂ０７０Ｈ”
のビット）をオフにする。またタイミングＴ７で、制御
ユニット４−２は「到着」信号（アドレス“Ｂ０６１
Ｈ”のビット）をオフにする。そしてタイミングＴ８
で、制御ユニット４−１の「排出」信号がオフされたこ
とを確認すると、ラインコントローラ１は、「読取り
完」信号をオフにする。

【００４１】図１３は、本実施の形態１の制御ユニット
４−１による処理を示すフローチャートである。

【００４２】まずステップＳ１で、加工対象の基板９０
１を受け入れ、ステップＳ２で、加工装置５−１により
その基板９０１に対して加工を行う。そしてステップＳ
３に進み、下流側の制御ユニット４−２で、共有メモリ
２０４のアドレス“Ｂ０７０Ｈ”に「搬入可」信号がセ
ットされているかをみる。セットされているとステップ
Ｓ３からＳ４に進み、加工中或は加工が終了した基板に
関するサンプリングデータを共有メモリ２０４のアドレ
ス“Ｗ０１２Ｈ”〜“Ｗ０１５Ｈ”に書込んで加工処理
を終了する。そして、その基板が排出可能であれば、そ
の排出する基板９０１の基板ＩＤをアドレス“Ｗ０００
Ｈ〜Ｗ００３Ｈ”に書込み、枚葉加工品情報をアドレス
“Ｗ００Ａｈ〜Ｗ０１１Ｈ”に、そして基板種類情報を
“Ｂ０３０Ｈ〜Ｂ０３５Ｈ”に格納する。

【００４３】そしてステップＳ５に進み、搬送装置６−
１の搬送用モータを駆動して、基板９０１の搬送を開始
する。次にステップＳ６で、センサ９０２により基板９
０１が検知されなくなるとステップＳ７に進み、共有メ
モリ２０４のアドレス“Ｂ０１１Ｈ”の「排出」信号を
オンにして、下流側の制御ユニットに基板の排出が完了
したことを知らせる。

【００４４】次にステップＳ８に進み、下流側の制御ユ
ニットで「到着」信号がオンになり、ステップＳ９でラ
インコントローラ１の「読取り完」がオンになるとステ
ップＳ１０に進み、ステップＳ７でセットした「排出」
信号をオフにする。そしてステップＳ１１に進み、次の
加工すべき基板９０１の受け入れ準備が完了したかを調
べ、完了するとステップＳ１２に進み、上流の制御ユニ
ットに対して「搬入可」信号をオンにして知らせる。そ
して上流側から次の基板が搬入されると、前述のステッ
プＳ１よりの処理を繰り返し実行する。

【００４５】図１４は、制御ユニット４−１の下流側に
位置している制御ユニット４−２による処理を示すフロ
ーチャートである。

【００４６】まずステップＳ２１で、基板９０１の受け
入れ準備が完了したかどうかを調べ、完了していればス
テップＳ２２に進み、上流側の制御ユニット（４−１）
に対して「搬入可」信号（アドレス“Ｂ０７０Ｈ”のビ
ット）をオンにして知らせる。これにより、制御ユニッ
ト４−１では、前述の図１３のステップＳ３からＳ４に
処理が移行する。

【００４７】こうして上流側の制御ユニット４−１で基
板の搬出が開始され、その制御ユニット４−１での「排
出」信号（アドレス“Ｂ０１１Ｈ”のビット）がオンに
なる（図１３のステップＳ７）とステップＳ２４に進
み、ステップＳ２４で、センサ９０３により基板９０１
が到達したことが検知されるかどうかをみる。センサ９
０３で基板９０１の到達が検知されるとステップＳ２５
に進み、共有メモリ２０４に記憶されている基板ＩＤ
（Ｗ００Ｈ〜Ｗ００３Ｈ）と基板種類情報（Ｂ０３０Ｈ
〜Ｂ０３５Ｈ）を取り込む。その後、ステップＳ２６に
進み、「到着」信号（アドレス“Ｂ０６１Ｈ”のビッ
ト）をオンにして、制御ユニット４−１に搬送完了を知
らせる。これにより制御ユニット４−１における処理
は、前述の図１３のステップＳ８からステップＳ９に進
む。

【００４８】次にステップＳ２７に進み、「排出」信号
（アドレス“Ｂ０６１Ｈ”のビット）をオフにし、ステ
ップＳ２８で、アドレス“Ｂ０６１Ｈ”の「到着」信号
及びアドレス“Ｂ０７０Ｈ”の「搬入可」信号をオフに
する。そしてステップＳ２９に進み、その搬入された基
板に対して加工処理を行う。これ以降の処理は、前述の
図１３のステップＳ３以降の処理と同様である。

【００４９】図１５は、本実施の形態１のラインコント
ローラ１による処理を示すフローチャートである。

【００５０】このラインコントローラ１は、予め定めら
れたサンプリング・タイミングで、基板９０１に対して
加工処理を行っている制御ユニットの共有メモリ２０４
のデータを読み出してサンプリングする（ステップＳ３
１，Ｓ３２）。そしてサンプリング・タイミングでない
ときはステップＳ３１からステップＳ３３に進み、その
基板を加工しているユニットの「排出」信号（アドレス
“ＢＸＸ１Ｈ”のビット：ＸＸは“０１”“０６”“０
Ｂ”“１０”“１５”等を取り得る）がオンされたかを
調べ、オンになるとステップＳ３４に進み、基板ＩＤ
（Ｗ００Ｈ〜Ｗ００３Ｈ）と加工品質情報（Ｗ００ＡＨ
〜Ｗ０１４Ｈ）、基板種類情報（Ｂ０３０Ｈ〜Ｂ０３５
Ｈ）を取り込み、これらのデータの収集が完了した時点
でステップＳ３５に進み、「読取り完」信号（アドレス
“Ｂ４１１Ｈ”のビット）をオンにする。

【００５１】そしてステップＳ３６に進み、その対象と
なっている制御ユニット（例えば制御ユニット４−１）
の「排出」信号がオフかどうかを調べ、オフでないとき
はステップＳ３８に進み、ステップＳ３１とステップＳ
３２と同様にして、サンプリング・タイミングになった
かどうかを調べ、サンプリング・タイミングになるとス
テップＳ３９に進んで、基板を加工している制御ユニッ
トからのデータを取得する。そしてステップＳ３６で、
「排出」信号がオフになるとステップＳ３７に進み、
「読取り完」信号（アドレス“Ｂ４１１Ｈ”のビット）
をオフにして、共有メモリ２０４の各種データの読取り
を完了したことを各制御ユニットに知らせる。これによ
り例えば図１３のフローチャートに示すように、ステッ
プＳ９からステップＳ１０に処理が移行して、その対象
となっている制御ユニットの「排出」信号がオフされ
る。

【００５２】次に、ライン内での加工途中の工程（例え
ば、検査工程等）で不良が発生した場合の選別収納処理
について説明する。

【００５３】例えば、制御ユニット４−１における工程
で不良が発生した場合は、その履歴をＣＰＵ２０１のレ
ジスタに記憶し、基板排出時に図５に示す基板の良否情
報を（アドレス“Ｂ０３４Ｈ”または“Ｂ０３５Ｈ”の
ビット）を「ＮＧ」にセット（ビットをオン）し、前述
のフローチャートの手順に従って下流側の制御ユニット
に情報をトラッキングする。

【００５４】例えば、基板が２枚取りの場合を想定する
と、片側が不良の場合は、該当する方の基板の良否情報
を「ＮＧ」に書き換える（例えば、先頭側の基板情報を
“Ｂ０３４Ｈ”にセットし、後側の基板情報を“Ｂ０３
５Ｈ”にセットして書き換える）。また、多数個取りの
場合は、各基板の良否情報をアドレス“Ｂ０３６Ｈ”〜
“Ｂ０３ＦＨ”の該当するエリアに書くことで同様にし
て対応できる。

【００５５】この様にライン内で発生した基板の不良に
関する情報を、各ステーションの制御ユニットで基板情
報として記憶し、基板と基板情報とをトラッキングして
順次加工処理を行う。そして最終工程で、トラッキング
してきた基板の基板ＩＤ及び基板情報等を基に、その基
板の良品／不良品を判別して、それぞれ別のカセット等
に収納することが可能になる。これらの情報を含むメモ
リに記憶された情報は、ＩＳＯ９０００もしくはＩＳＯ
１４０００に対する管理に関して有効に機能する。尚、
シーケンスコントローラ１も各制御ユニット４と同一の
内容を共有メモリに格納しているので、ＩＳＯ９００
０，ＩＳＯ１４０００に関する管理も容易になる。 ［実施の形態２］次に、本発明の実施の形態２について
説明する。

【００５６】図１６は、本発明の実施の形態２の製造ラ
インシステムの構成を示す図で、前述の実施の形態１と
共通する部分は同じ番号で示しそれらの説明を省略す
る。

【００５７】図１６において、７は複数の基板を収容し
ているカセットを示し、そのカセット７は図１７に示す
情報を記憶している、読み書き可能なＩＤタグ８を備え
ている。

【００５８】図１７に示すように、このＩＤタグ８は、
「カセットＩＤ」、カセットが空きであるか、基板が実
装されているかを示す「カセット空き／実区分」、「製
品ロットＮｏ．」、「ロット分割区分」、「製品種コー
ド」、「終了工程番号」、「次工程番号」、「処理
日」、「工程排出時刻」などが設けられており、更にこ
の実施の形態２では、各基板が２枚取りであるとして、
各基板ＩＤと、その基板Ａ，Ｂの「良」「否」を示す情
報が格納されている。

【００５９】本発明の実施の形態２の製造ラインにおけ
るトラッキング制御方法は、各加工装置間をネットワー
クで接続した製造加工ラインにおいて、そのライン先頭
の基板投入ステーション（制御ユニット４−１のステー
ションに相当）で基板を払い出す時、つまり下流側にあ
る制御ユニット４−２により処理されるステーションに
基板を搬出して加工する際、下流側の制御ユニット４−
２からの「搬入可」信号がオンになったことを確認する
と、そのカセット７に取付けてＩＤタグ８に記憶されて
いる基板ＩＤ等の情報、即ち、収納段数毎の個別基板Ｉ
Ｄと基板情報等を読み取って、前述の共有メモリ２０４
に記憶してから下流側の制御ユニット４−２に排出す
る。

【００６０】下流側の制御ユニット４−２では、こうし
て搬入されたタイミングで、その基板に関するトラッキ
ング情報を共有メモリ２０４の特定エリアより読み出し
て、制御ユニット４−２のＣＰＵのレジスタ（ＲＡＭ）
に取り込んで管理する。そして、制御ユニット４−２の
制御による加工処理が終了した後、下流側の制御ユニッ
トよりの「搬入可」信号を調べ、「搬入可」であれば、
その下流側の工程へ加工した基板を排出する。ここで、
この基板の排出に先立って、その排出される基板に関す
るトラッキング情報を共有メモリ２０４の所定のエリア
にセットする。こうしてカセット７に取り付けられたＩ
Ｄタグ８の情報をもとに、ネットワーク３を利用して、
各制御ユニット（ステーション）間でのインターロッ
ク、及び信号授受を行う。

【００６１】又、各ステーションによる基板加工ライン
途中の検査工程や加工時に不良が発生した場合は、その
情報を該当ステーションでトラッキング情報に付加して
下流側のステーションにトラッキングする。そして、ラ
イン最終の収納ステーションで、その情報を基に収納す
る基板の良品、不良品を選別する。そして、そのトラッ
キング情報を収納カセット７についているＩＤタグ８に
書き込む。これにより、そのカセット７が他のラインに
搬送されて処理される場合にも、このカセット７に取付
けたＩＤタグ８の情報を利用してトラッキング処理する
ことができる。これにより、複数のライン間に亙ってト
ラッキングすることができる。

【００６２】図１８は、本発明の実施の形態２の制御ユ
ニット４−１における処理を示すフローチャートであ
る。

【００６３】このフローチャートで示す処理は図１３の
フローチャートと略同様であるが、ステップＳ４３で、
下流側の制御ユニットの「搬入可」信号を受けると、カ
セット７に付されているＩＤタグ情報を読み取って、そ
の基板情報を共有メモリ２０４の特定のエリアに記憶す
る。また、そのカセット７の収納段数毎の個別基板ＩＤ
とその基板情報を共有メモリ２０４の特定のアドレスに
記憶する。

【００６４】これにより下流側の制御ユニットでは、そ
の共有メモリに格納された情報を読み取って、その基板
に関する情報を入手することができる。そしてステップ
Ｓ４５〜ステップＳ５２で、前述の図１３のステップＳ
５〜ステップＳ１２で示したように、その加工済みの基
板を下流側のステーションに排出する。そしてステップ
Ｓ５３で、その最終的に加工された基板がステーション
１０−ｎに搬入されると、共有メモリ２０４の所定アド
レスに記憶されている基板情報を参照して、その基板が
良品か、不良品かを判断する。そして、その判定結果に
基づいてステップＳ５４で、そのカセットのＩＤタグに
基板情報を書き込む。尚、ここで説明したステップＳ５
３，Ｓ５４の処理は、制御ユニット４−ｎによるもので
ある。

【００６５】これにより、そのカセット７が別のライン
にセットされて、そのラインで加工される場合にも、前
のラインにおける基板情報が参照できるため、複数の独
立したライン間で基板をトラッキングしながら搬送・加
工することができる。

【００６６】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、以下のような効果がある。 （１）ホスト局で設定することにより、各ステーション
毎にサンプリングタイムの違うサンプリングデータを個
別に収集できる。又、基板の枚葉データも、ライン内の
トラッキングと同期させて収集できる。 （２）ライン内でのステーション間のインタロック、信
号授受の手順を統一でき、ラインの立ち上げ時のデバッ
ク及びメンテナンスがしやすくなる。 （３）ステーション間のインタロック、信号授受、基板
情報の伝達を全て１つのネットワークで行うことがで
き、手順を簡単にできる。 （４）各ステーション間で、搬送基板の搬送に同期して
トラッキングデータを管理できるため、トラッキング制
御用のホストコンピュータを必要としない。 （５）従来のホストコンピュータを使用したものと比べ
ると、トラッキングデータの転送の必要時間が短く、短
いラインサイクルタイムに対応することができる。 （６）トラッキング情報の途中工程での追加、書換、及
びそのデータの活用により、加工基板の加工指示及び選
別収納が可能になる。

【００６７】また、本発明の目的は、前述した実施形態
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
録した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、そ
のシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵ
やＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを
読出し実行することによっても達成される。

【００６８】この場合、記憶媒体から読出されたプログ
ラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現するこ
とになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は
本発明を構成することになる。

【００６９】プログラムコードを供給するための記憶媒
体としては、例えば、フロッピディスク、ハードディス
ク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ
−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭな
どを用いることができる。

【００７０】また、コンピュータが読出したプログラム
コードを実行することにより、前述した実施形態の機能
が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示
に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレ
ーティングシステム）などが実際の処理の一部または全
部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が
実現される場合も含まれる。

【００７１】さらに、記憶媒体から読出されたプログラ
ムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボード
やコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わる
メモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に
基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わ
るＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行い、そ
の処理によって前述した実施形態の機能が実現される場
合も含まれる。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、共
有メモリを利用して、各処理装置に接続された制御ユニ
ット間の同期をとることができる。

【００７３】また本発明によれば、簡単な構成で、複数
の制御ユニット間で処理するワークに関する情報を共有
しながら、各処理装置での処理の同期を取ってワークを
処理できるという効果がある。

【００７４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の製造ラインシステムの
構成を示すブロック図である。

【図２】本実施の形態のネットワークで使用される制御
ユニットの構成を示すブロック図である。

【図３】共有メモリのデータ構成を示す図で、ビット単
位でデータを記憶するエリアを説明する図である。

【図４】共有メモリのデータ構成を示す図で、ワード単
位でデータを記憶するエリアを説明する図である。

【図５】本実施の形態の制御ユニット（ＰＬＣ）４−１
が管理するリンクビット情報を説明する図である。

【図６】本実施の形態の制御ユニット（ＰＬＣ）４−１
が管理するリンクワード情報を説明する図である。

【図７】本実施の形態の制御ユニット（ＰＬＣ）４−２
が管理するリンクビット情報を説明する図である。

【図８】本実施の形態の制御ユニット（ＰＬＣ）４−２
が管理するリンクワード情報を説明する図である。

【図９】本実施の形態のラインコントローラが管理する
リンクビット情報を説明する図である。

【図１０】共有メモリのデータのリフレッシュを説明す
る図である。

【図１１】本実施の形態１の制御ユニット間とラインコ
ントローラ間でのデータの受渡しを説明するタイミング
図である。

【図１２】実施の形態１における制御ユニット４−１と
４−２との間での基板の搬送を説明する図である。

【図１３】本実施の形態１の制御ユニット４−１におけ
る処理を示すフローチャートである。

【図１４】本実施の形態１の制御ユニット４−２におけ
る処理を示すフローチャートである。

【図１５】本実施の形態１のラインコントローラにおけ
る処理を示すフローチャートである。

【図１６】本発明の実施の形態２の製造ラインシステム
の構成を示すブロック図である。

【図１７】本実施の形態２のＩＤタグ情報を説明する図
である。

【図１８】本実施の形態２の制御ユニット４−１におけ
る処理を示すフローチャートである。

【図１９】従来の製造ラインシステムの構成を示す概略
図である。

【符号の説明】

１ ラインコントローラ ２ 記憶装置 ３ ネットワーク ４ 制御ユニット ５ 加工装置 ６ 搬送装置 ２０４ 共有メモリ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河内 博之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれがワークの処理装置に接続され
   た制御ユニット同士をネットワークを介して接続したラ
   インシステムであって、 前記処理装置によって前記ワークを処理するためのデー
   タを有し、それぞれの制御ユニットに設けられたメモリ
   と、 それぞれの制御ユニットに設けられた前記メモリの内容
   を同一にするための同一化手段と、を有することを特徴
   とするラインシステム。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のラインシステムであっ
   て、前記同一化手段は、ライン上の動作を監視するライ
   ン制御ユニットに備えられており、このライン制御ユニ
   ットは、前記それぞれの制御ユニットに設けられたメモ
   リの内容を所定時間間隔でサンプリングすることを特徴
   とする。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のラインシステム
   であって、さらに、前記メモリの内容を定期的に書き換
   えるための書き換え手段を有することを特徴とする。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
   ラインシステムであって、接続されている処理装置を使
   用して処理しているワークに関する情報を前記ワークの
   搬出前の自身のメモリの所定エリアに記憶する第１の制
   御ユニットと、 この第１の制御ユニットに対してワークの搬送方向で下
   流側に位置しており、前記ワークの搬送が可能になると
   その旨を自身のメモリに記憶する第２の制御ユニットと
   を更に有することを特徴とする。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のラインシステムであっ
   て、前記メモリのメモリアドレスは、前記第１及び第２
   の制御ユニットに対してそれぞれ別のアドレスに割り当
   てられていることを特徴とする。
6. 【請求項６】 請求項４に記載のラインシステムであっ
   て、前記メモリに記憶されたデータを基に、前記第１の
   制御ユニットに接続された処理装置から前記第１の制御
   ユニットの下流側に位置している前記第２の制御ユニッ
   トに接続された処理装置に処理済みのワークを搬送する
   搬送手段を更に有することを特徴とする。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のラインシステムであっ
   て、前記第１の制御ユニットは、前記処理済みのワーク
   の搬送前に前記ワークに関するデータを前記第１の制御
   ユニットが有するメモリに記憶するようにしたことを特
   徴とする。
8. 【請求項８】 請求項６に記載のラインシステムであっ
   て、前記第１の制御ユニットは、前記ワークの搬入が可
   能であることを示す情報を前記第２の制御ユニットが前
   記メモリに書込んだことを検出した後、前記処理済みの
   ワークの搬出を開始することを特徴とする。
9. 【請求項９】 請求項６に記載のラインシステムであっ
   て、前記第２の制御ユニットは、前記第２の制御ユニッ
   トに接続された処理装置が前記第１の制御ユニットに接
   続された処理装置から搬出されたワークを受け取ると、
   前記ワークに関するデータを前記メモリから読み出すこ
   とを特徴とする。
10. 【請求項１０】 請求項１乃至９のいずれか１項に記載
    のラインシステムであって、前記ワークを処理するため
    のデータは、前記ワークが良品であるか否かの情報を含
    むことを特徴とする。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれか１項に記
    載のラインシステムであって、前記ワークに関するデー
    タは、ＩＳＯ９０００もしくはＩＳＯ１４０００に関す
    る情報を含むことを特徴とする。
12. 【請求項１２】 請求項６に記載のラインシステムであ
    って、前記メモリは、前記第１と第２の制御ユニットの
    それぞれのメモリの互いに異なるアドレスに設けられて
    いるメモリ領域を使用することを特徴とする。
13. 【請求項１３】 それぞれがワークの処理装置に接続さ
    れた制御ユニット同士をネットワークを介して接続した
    ライン制御装置であって、 それぞれの制御ユニットから入力された前記処理装置に
    よって前記ワークを処理するためのデータをそれぞれの
    制御ユニット毎に記憶するためのメモリと、 前記メモリに記憶された、少なくともワークの処理ライ
    ンの前後に配置される処理装置にそれぞれ接続される制
    御ユニットのデータを１組として、この１組のデータを
    該当するそれぞれの制御ユニットに送信するための送信
    手段と、を有することを特徴とするライン制御装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載のライン制御装置で
    あって、前記それぞれの制御ユニットに設けられたメモ
    リの内容を所定時間間隔でサンプリングする手段を有す
    ることを特徴とする。
15. 【請求項１５】 それぞれがワークの処理装置に接続さ
    れた制御ユニット同士をネットワークで接続したライン
    におけるライン制御方法であって、 前記制御ユニットに接続された処理装置に関するデータ
    を、接続する制御ユニットのメモリに記憶し、 それぞれの制御ユニットに設けられたメモリの内容を所
    定時間間隔でサンプリングして、それぞれの制御ユニッ
    ト毎に記憶し、 この制御ユニット毎に記憶されたデータのうち、少なく
    ともワークの処理ラインの前後に配置される処理装置に
    それぞれ接続される制御ユニットのデータを１組とし
    て、この１組のデータを該当するそれぞれの制御ユニッ
    トに送信することを特徴とするライン制御方法。
16. 【請求項１６】 請求項１５に記載のライン制御方法で
    あって、 第１の制御ユニットにおいて処理装置を使用してワーク
    を処理する処理工程と、 前記処理工程において、前記第１の制御ユニットの下流
    側に位置している第２の制御ユニットからの前記搬入可
    能であることを示す情報を前記第１の制御ユニットで確
    認すると、前記処理中のワークに関する情報を前記第１
    の制御ユニットのメモリに記憶する工程と、 前記処理工程で処理が終了したワークを前記第１の制御
    ユニットに接続された処理装置から前記第２の制御ユニ
    ットに接続された処理装置に搬送する工程と、 前記ワークが搬送された処理装置に接続された前記第２
    の制御ユニットにおいて、前記メモリに記憶された情報
    を読み出す工程と、 前記第２の制御装置に接続された処理装置において、前
    記読み出された情報に基づいて前記ワークを処理する工
    程と、を有することを特徴とするライン制御方法。
17. 【請求項１７】 請求項１６に記載のライン制御方法で
    あって、前記第２の制御ユニットは、ワークの搬入が可
    能であることを示す情報を自身のメモリに書込み、 前記第１の制御ユニットは、前記第２の制御ユニットか
    らの前記ワークの搬入可能であることを示す情報を自身
    のメモリから読み出すことを特徴とする。
18. 【請求項１８】 請求項１６又は１７に記載のライン制
    御方法であって、前記第１の制御ユニットは、前記第２
    の制御ユニットが前記ワークの到着を検知した後、ワー
    クの排出処理を終了することを特徴とする。
19. 【請求項１９】 請求項１６乃至１８のいずれか１項に
    記載のライン制御方法であって、前記ワークに関する情
    報は、前記ワークが良品であるか否かの情報を含むこと
    を特徴とする。