JPH09275049A - 複数装置より構成されるインライン工程システム - Google Patents
複数装置より構成されるインライン工程システムInfo
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- JPH09275049A JPH09275049A JP8340396A JP8340396A JPH09275049A JP H09275049 A JPH09275049 A JP H09275049A JP 8340396 A JP8340396 A JP 8340396A JP 8340396 A JP8340396 A JP 8340396A JP H09275049 A JPH09275049 A JP H09275049A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インライン工程システムにおいて、スループ
ットの低下を極力抑え、効率的な操業を行いうるシステ
ムを提供することを目的とする。 【構成】 生産物に対して処理を行う２以上の互いに独
立した装置から成るインライン工程システムであって、
連続する上記各装置間に設けられた、該装置間の通信を
行う装置間通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬
送手段とを有するシステムにおいて、各装置との間に双
方向の通信手段を有し、該通信手段を通じて各装置の処
理状況を示す情報を得て、該情報に基づいて各装置を制
御するためのインライン工程監視手段を設けた。
ットの低下を極力抑え、効率的な操業を行いうるシステ
ムを提供することを目的とする。 【構成】 生産物に対して処理を行う２以上の互いに独
立した装置から成るインライン工程システムであって、
連続する上記各装置間に設けられた、該装置間の通信を
行う装置間通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬
送手段とを有するシステムにおいて、各装置との間に双
方向の通信手段を有し、該通信手段を通じて各装置の処
理状況を示す情報を得て、該情報に基づいて各装置を制
御するためのインライン工程監視手段を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造用ラ
インや液晶製造用ライン等、機能的に独立性の高い複数
装置から成る製造工程に適用して、好適なものである。
インや液晶製造用ライン等、機能的に独立性の高い複数
装置から成る製造工程に適用して、好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のシステムでは、装置間の
生産物の搬送は、個々の装置間で通信を行うことによ
り、非同期に行われていた。図１にそのような従来のシ
ステムを図式的に示す。このシステムは参照番号１〜４
で示されるｎ個の処理装置（３番目の装置３とｎ番目の
装置４の間は図示を省略している）がシリアルに並んだ
印ライン工程システムを示す。隣り合う各装置間には通
信手段６がそれぞれ設けられている。各装置で処理が終
了するとその旨を次の段の装置に通信する。次の段の装
置はそれを受けて生産物（被処理物）の搬入を受け入れ
られる態勢になっているか否かを前段の装置に通信す
る。そして受け入れられる態勢になっていれば、装置間
に設けられた搬送手段５により、生産物を次段の装置に
搬送する。
生産物の搬送は、個々の装置間で通信を行うことによ
り、非同期に行われていた。図１にそのような従来のシ
ステムを図式的に示す。このシステムは参照番号１〜４
で示されるｎ個の処理装置（３番目の装置３とｎ番目の
装置４の間は図示を省略している）がシリアルに並んだ
印ライン工程システムを示す。隣り合う各装置間には通
信手段６がそれぞれ設けられている。各装置で処理が終
了するとその旨を次の段の装置に通信する。次の段の装
置はそれを受けて生産物（被処理物）の搬入を受け入れ
られる態勢になっているか否かを前段の装置に通信す
る。そして受け入れられる態勢になっていれば、装置間
に設けられた搬送手段５により、生産物を次段の装置に
搬送する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のシステムでは以
上のように各装置間の生産物の搬送は、それぞれの装置
の処理の終了に応じて個々独立に（非同期的に）行われ
ていた。各装置は、一般に、独立性が高く、装置の単位
時間当たり生産処理能力（以下スループットと略す）は
異なる。又、この種のインライン工程システムでは、各
装置内の生産処理工程が一般に複数用意されており、よ
って同一装置でもスループットが異なる場合がある。
上のように各装置間の生産物の搬送は、それぞれの装置
の処理の終了に応じて個々独立に（非同期的に）行われ
ていた。各装置は、一般に、独立性が高く、装置の単位
時間当たり生産処理能力（以下スループットと略す）は
異なる。又、この種のインライン工程システムでは、各
装置内の生産処理工程が一般に複数用意されており、よ
って同一装置でもスループットが異なる場合がある。
【０００４】よって図１のシステムでは、インライン工
程全体のスループットを実時間（リアルタイム）で認識
できず、かつスループットが低下した場合、原因となる
装置の特定が容易に出来ないという問題点がある。
程全体のスループットを実時間（リアルタイム）で認識
できず、かつスループットが低下した場合、原因となる
装置の特定が容易に出来ないという問題点がある。
【０００５】図２は従来のインライン工程システムにお
ける生産物のフローを３つの装置について示すタイミン
グチャートである。Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ各装置
の単位処理に要する時間を示している。また矢印１は装
置１から装置２への生産物のフローを、矢印２は装置２
から装置３への生産物のフローを表している。図２にお
いて装置１から装置２への搬送をみると、前段の装置１
よりも次段の装置２の処理の方が遅いので、符号３で示
した一つの処理が終了した時点で、その一つ前の生産物
がまだ次段の装置２に搬入されていない。従って符号３
の時点で装置１における次の生産物の処理が終了してい
るにもかかわらず、生産物を搬出手段に載置することが
できない。このような場合工程によっては装置内でバッ
ファ１０を設け退避させる等、通常の処理工程以外の動
作が必要となる場合がある。上記動作が加わることによ
り、次装置が生産物を搬入できる状態になった場合に
も、ただちに生産物を搬入できず、インライン工程全体
のスループットを低下させてしまうという問題点があっ
た。
ける生産物のフローを３つの装置について示すタイミン
グチャートである。Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ各装置
の単位処理に要する時間を示している。また矢印１は装
置１から装置２への生産物のフローを、矢印２は装置２
から装置３への生産物のフローを表している。図２にお
いて装置１から装置２への搬送をみると、前段の装置１
よりも次段の装置２の処理の方が遅いので、符号３で示
した一つの処理が終了した時点で、その一つ前の生産物
がまだ次段の装置２に搬入されていない。従って符号３
の時点で装置１における次の生産物の処理が終了してい
るにもかかわらず、生産物を搬出手段に載置することが
できない。このような場合工程によっては装置内でバッ
ファ１０を設け退避させる等、通常の処理工程以外の動
作が必要となる場合がある。上記動作が加わることによ
り、次装置が生産物を搬入できる状態になった場合に
も、ただちに生産物を搬入できず、インライン工程全体
のスループットを低下させてしまうという問題点があっ
た。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の複
数装置より構成されるインライン工程システムにおい
て、各装置間の生産物のフローが、システム全体として
は非同期なために発生するスループットの低下を極力抑
え、効率的な操業を行いうるシステムを提供することを
目的とする。
数装置より構成されるインライン工程システムにおい
て、各装置間の生産物のフローが、システム全体として
は非同期なために発生するスループットの低下を極力抑
え、効率的な操業を行いうるシステムを提供することを
目的とする。
【０００７】かかる課題を解決するため、本発明では、
生産物に対して処理を行う２以上の互いに独立した装置
から成るインライン工程システムであって、連続する上
記各装置間に設けられた、該装置間の通信を行う装置間
通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬送手段とを
有するシステムにおいて、各装置との間に双方向の通信
手段を有し、該通信手段を通じて各装置の処理状況を示
す情報を得て、該情報に基づいて各装置を制御するため
のインライン工程監視手段を設けた。
生産物に対して処理を行う２以上の互いに独立した装置
から成るインライン工程システムであって、連続する上
記各装置間に設けられた、該装置間の通信を行う装置間
通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬送手段とを
有するシステムにおいて、各装置との間に双方向の通信
手段を有し、該通信手段を通じて各装置の処理状況を示
す情報を得て、該情報に基づいて各装置を制御するため
のインライン工程監視手段を設けた。
【０００８】
【発明の実施の形態】図３に本発明のシステムの一例の
概略を図式的に示す。該システムはｎ個の装置１、２、
３、．．．、４からなる。連続する２つの装置の間には
それぞれ搬送手段５と通信手段６が設けられている。シ
ステムは更にシステム全体の生産物のフローを円滑に行
わせるために、インライン工程監視手段７を備えてい
る。インライン工程監視手段７と各装置１、２、
３、．．．、４との間にはそれぞれ通信手段８が設けら
れている。
概略を図式的に示す。該システムはｎ個の装置１、２、
３、．．．、４からなる。連続する２つの装置の間には
それぞれ搬送手段５と通信手段６が設けられている。シ
ステムは更にシステム全体の生産物のフローを円滑に行
わせるために、インライン工程監視手段７を備えてい
る。インライン工程監視手段７と各装置１、２、
３、．．．、４との間にはそれぞれ通信手段８が設けら
れている。
【０００９】この図３のシステムにおけるインライン工
程監視手段と各装置間の通信の概略を図４に示す。図４
において各装置１〜３それぞれの単位処理に要する時間
をＴ１〜Ｔ３で示す。各装置は各装置内での生産処理が
完了し、他装置との生産物のやりとりが可能になった時
点で監視手段へ完了信号ａ、ｂ、ｃを出力する手段を有
する。監視手段はインライン工程全体を同期して動作さ
せるための同期信号ｄを各装置に出力する手段を有す
る。該同期信号ｄはインライン工程内の装置１〜３から
完了信号ａ、ｂ、ｃがすべて出力されたことが確認され
ると（この場合最も遅い信号ｃが出た時点）直ちに出力
される。
程監視手段と各装置間の通信の概略を図４に示す。図４
において各装置１〜３それぞれの単位処理に要する時間
をＴ１〜Ｔ３で示す。各装置は各装置内での生産処理が
完了し、他装置との生産物のやりとりが可能になった時
点で監視手段へ完了信号ａ、ｂ、ｃを出力する手段を有
する。監視手段はインライン工程全体を同期して動作さ
せるための同期信号ｄを各装置に出力する手段を有す
る。該同期信号ｄはインライン工程内の装置１〜３から
完了信号ａ、ｂ、ｃがすべて出力されたことが確認され
ると（この場合最も遅い信号ｃが出た時点）直ちに出力
される。
【００１０】従って、図４の符号８に示すように、イン
ライン工程システム全体のスループット（図４のＴ４）
は常に最もスループットの遅い装置とに合わせることが
可能となる。さらに、各装置のスループットがリアルタ
イムで認知できるようになる。
ライン工程システム全体のスループット（図４のＴ４）
は常に最もスループットの遅い装置とに合わせることが
可能となる。さらに、各装置のスループットがリアルタ
イムで認知できるようになる。
【００１１】
【実施例】以下、図を用いて本発明の一実施例を詳述す
る。
る。
【００１２】図５は、一般的な液晶製造ラインの一部で
ある。製造ラインはガラス基板にフォトレジストを塗布
するレジスト塗布装置１１、基板にパターンを露光する
露光装置１２、周辺部を露光する周辺露光装置１３およ
び露光された基板を現像する現像装置１４を含んでい
る。システムは更にこれら各装置と通信を行って、装置
間の流れを制御するための液晶製造ラインスループット
監視装置１８を含んでいる。各装置間には装置間通信手
段１５および搬送手段１６を備えている。また各装置１
１〜１４と監視装置１８とは通信手段１９によりつなが
れている。
ある。製造ラインはガラス基板にフォトレジストを塗布
するレジスト塗布装置１１、基板にパターンを露光する
露光装置１２、周辺部を露光する周辺露光装置１３およ
び露光された基板を現像する現像装置１４を含んでい
る。システムは更にこれら各装置と通信を行って、装置
間の流れを制御するための液晶製造ラインスループット
監視装置１８を含んでいる。各装置間には装置間通信手
段１５および搬送手段１６を備えている。また各装置１
１〜１４と監視装置１８とは通信手段１９によりつなが
れている。
【００１３】ここで、各装置はガラス基板に対し独立に
処理を行うため、装置毎にスループット（あるいは単位
処理に要する時間）は異なっている。又、同一装置内で
も、複数種類の液晶を製造する場合スループットが異な
ることがある。
処理を行うため、装置毎にスループット（あるいは単位
処理に要する時間）は異なっている。又、同一装置内で
も、複数種類の液晶を製造する場合スループットが異な
ることがある。
【００１４】スループット監視手段が設けられない従来
のシステムでは、各装置間で非同期でガラス基板のやり
とりが行われていた。この場合、１２の露光装置のスル
ープットが遅い場合、１１のレジスト塗布装置は処理か
完了したガラス基板を一旦図１に示したバッファ１０の
ごとき一時退避手段へ格納する。上記格納動作によりガ
ラス基板を１２の露光装置へ搬入する時間が遅くなり、
結果的にスループットが低下していた。
のシステムでは、各装置間で非同期でガラス基板のやり
とりが行われていた。この場合、１２の露光装置のスル
ープットが遅い場合、１１のレジスト塗布装置は処理か
完了したガラス基板を一旦図１に示したバッファ１０の
ごとき一時退避手段へ格納する。上記格納動作によりガ
ラス基板を１２の露光装置へ搬入する時間が遅くなり、
結果的にスループットが低下していた。
【００１５】又、液晶製造ライン全体のスループット把
握が困難であるので、スループットが低下しても原因と
なる装置及び要因の特定が困難であった。
握が困難であるので、スループットが低下しても原因と
なる装置及び要因の特定が困難であった。
【００１６】図５の実施例では図４の通信概略と同様の
同期信号を用いることにより制御される。（その詳細は
図４に関連して上に説明したところと同様であるので、
説明は省略する。）従って、この実施例においては液晶
製造ライン全体のスループットは、常に最もスループッ
トの遅い装置に一致する。又、各装置のスループットが
リアルタイムで認知できるようになり、スループット低
下の原因となる装置の把握が容易になる。
同期信号を用いることにより制御される。（その詳細は
図４に関連して上に説明したところと同様であるので、
説明は省略する。）従って、この実施例においては液晶
製造ライン全体のスループットは、常に最もスループッ
トの遅い装置に一致する。又、各装置のスループットが
リアルタイムで認知できるようになり、スループット低
下の原因となる装置の把握が容易になる。
【００１７】さらに図５の符号９の通信手段で同期信号
による制御に加えてエラー信号をも用いた液晶製造ライ
ンの制御例を図６のチャートに示す。この例では何らか
のトラブルが生じて生産物を搬送不能な部分をラインか
ら切り離し、他方で搬送可能な部分については同期信号
の送出を行って処理を継続させるようにして、スループ
ットの低下を防ぐことが可能である。
による制御に加えてエラー信号をも用いた液晶製造ライ
ンの制御例を図６のチャートに示す。この例では何らか
のトラブルが生じて生産物を搬送不能な部分をラインか
ら切り離し、他方で搬送可能な部分については同期信号
の送出を行って処理を継続させるようにして、スループ
ットの低下を防ぐことが可能である。
【００１８】図６について詳述する。図６はそれぞれの
装置に関連する信号を示しており、各装置についての図
で１番はじめの信号は各装置から監視装置に送られる各
装置の処理の完了を示す完了信号、２番目は監視装置か
ら各装置に送られる同期信号、３番目は各装置でエラー
が発生したことを装置から監視装置に知らせる信号、４
番目は監視装置から各装置に出力されるエラー信号であ
る。
装置に関連する信号を示しており、各装置についての図
で１番はじめの信号は各装置から監視装置に送られる各
装置の処理の完了を示す完了信号、２番目は監視装置か
ら各装置に送られる同期信号、３番目は各装置でエラー
が発生したことを装置から監視装置に知らせる信号、４
番目は監視装置から各装置に出力されるエラー信号であ
る。
【００１９】図６を参照すると、インライン工程スルー
プット監視装置（以下、監視装置）はシステムの各装置
に対し同期信号Ｓ１を出力する。それに応じて、各装置
はガラス基板を搬入開始し、レジスト塗布、露光等それ
ぞれの処理を行う。各装置は処理の終了後、次のガラス
基板の搬入準備ができた時点で完了信号Ｓ２を監視装置
に出力する。
プット監視装置（以下、監視装置）はシステムの各装置
に対し同期信号Ｓ１を出力する。それに応じて、各装置
はガラス基板を搬入開始し、レジスト塗布、露光等それ
ぞれの処理を行う。各装置は処理の終了後、次のガラス
基板の搬入準備ができた時点で完了信号Ｓ２を監視装置
に出力する。
【００２０】装置の処理能力により、上記同期信号Ｓ１
が出てから完了信号Ｓ２が出るまでの時間は一般に異な
る。ここでレジスト塗布装置の単位処理に要する時間を
Ｔ１、露光装置のそれをＴ２、周辺露光装置のそれをＴ
３、現像装置のそれをＴ４とする。このとき、各装置
共、処理が完了すると完了信号Ｓ２を出力するが、同期
信号Ｓ１が入力するまでは、次のガラス基板の搬入は行
わない。ライン内の装置が正常に動作している場合、監
視装置はすべての装置から完了信号Ｓ２を受け取ったこ
とを確認すると、各装置に同期信号Ｓ１を出力し、各装
置はそれを受けると次のガラス基板を搬入して処理を開
始する。
が出てから完了信号Ｓ２が出るまでの時間は一般に異な
る。ここでレジスト塗布装置の単位処理に要する時間を
Ｔ１、露光装置のそれをＴ２、周辺露光装置のそれをＴ
３、現像装置のそれをＴ４とする。このとき、各装置
共、処理が完了すると完了信号Ｓ２を出力するが、同期
信号Ｓ１が入力するまでは、次のガラス基板の搬入は行
わない。ライン内の装置が正常に動作している場合、監
視装置はすべての装置から完了信号Ｓ２を受け取ったこ
とを確認すると、各装置に同期信号Ｓ１を出力し、各装
置はそれを受けると次のガラス基板を搬入して処理を開
始する。
【００２１】図６は周辺露光装置において正常な処理が
不能になるエラーが生じた場合の例を示している。この
例では処理開始の時間ＴE 後のエラーが生じた時点で周
辺露光装置は監視装置にエラー出力Ｓ３を出力する。ま
たは周辺露光装置の単位処理にかかる時間Ｔ３が経過し
ても処理の完了が確認できない場合にその時点でエラー
信号を出力するようにしてもよい、これを受けて監視装
置はエラーの生じた周辺露光装置よりも前の工程、すな
わちレジスト塗布装置と露光装置に対してはエラー信号
Ｓ４を出力して各装置が次の処理に入ることを禁止し、
ライン上で周辺露光装置よりも後の工程の装置に対して
は同期信号Ｓ１を送出し、ガラス基板の搬入および次回
の処理を継続して行わせる。
不能になるエラーが生じた場合の例を示している。この
例では処理開始の時間ＴE 後のエラーが生じた時点で周
辺露光装置は監視装置にエラー出力Ｓ３を出力する。ま
たは周辺露光装置の単位処理にかかる時間Ｔ３が経過し
ても処理の完了が確認できない場合にその時点でエラー
信号を出力するようにしてもよい、これを受けて監視装
置はエラーの生じた周辺露光装置よりも前の工程、すな
わちレジスト塗布装置と露光装置に対してはエラー信号
Ｓ４を出力して各装置が次の処理に入ることを禁止し、
ライン上で周辺露光装置よりも後の工程の装置に対して
は同期信号Ｓ１を送出し、ガラス基板の搬入および次回
の処理を継続して行わせる。
【００２２】図７は、さらにスループット情報の通信手
段を付加した液晶製造ラインの制御例である。図６はそ
れぞれの装置に関連する信号を示しており、各装置につ
いての図で１番はじめの信号は各装置から監視装置に送
られる各装置の処理の完了を示す完了信号、２番目は監
視装置から各装置に送られる同期信号、３番目は後述す
る時間データ信号である。
段を付加した液晶製造ラインの制御例である。図６はそ
れぞれの装置に関連する信号を示しており、各装置につ
いての図で１番はじめの信号は各装置から監視装置に送
られる各装置の処理の完了を示す完了信号、２番目は監
視装置から各装置に送られる同期信号、３番目は後述す
る時間データ信号である。
【００２３】図７を参照すると、インライン工程スルー
プット監視装置（以下、監視装置）はシステムの各装置
に対し同期信号Ｓ１を出力する。それに応じて、各装置
はガラス基板を搬入開始し、レジスト塗布、露光等それ
ぞれの処理を行う。各装置は処理の終了後、次のガラス
基板の搬入準備ができた時点で完了信号Ｓ２を監視装置
に出力する。
プット監視装置（以下、監視装置）はシステムの各装置
に対し同期信号Ｓ１を出力する。それに応じて、各装置
はガラス基板を搬入開始し、レジスト塗布、露光等それ
ぞれの処理を行う。各装置は処理の終了後、次のガラス
基板の搬入準備ができた時点で完了信号Ｓ２を監視装置
に出力する。
【００２４】装置の処理能力により、上記同期信号Ｓ１
が出てから完了信号Ｓ２が出るまでの時間は一般に異な
る。ここでレジスト塗布装置の単位処理に要する時間を
Ｔ１、露光装置のそれをＴ２、周辺露光装置のそれをＴ
３、現像装置のそれをＴ４とする。このとき、各装置
共、処理が完了すると完了信号Ｓ２を出力するが、同期
信号Ｓ１が入力するまでは、次のガラス基板の搬入は行
わない。ライン内の装置が正常に動作している場合、監
視装置はすべての装置から完了信号Ｓ２を受け取ったこ
とを確認すると、各装置に同期信号Ｓ１を出力し、各装
置はそれを受けると次のガラス基板を搬入して処理を開
始する。図７に示した例の場合、監視装置は同期信号の
出力と同時に各装置に対して時間データ信号Ｓ６，Ｓ
７，Ｓ８，Ｓ９をアスキーコードにて送出する。前記時
間データ信号はラインのスループットＴ５が一定のとき
に、監視装置がラインのスループット（ガラス基板一つ
あたりの処理時間）Ｔ５と各装置のスループットＴ１
〜Ｔ４ の差を示す信号である。例えばレジスト塗布装
置に与えられる時間データ信号はＴ５−Ｔ４（Ｔ５マイ
ナスＴ４）を示す信号となる。この時間Ｔ５−Ｔ４はレ
ジスト塗布装置が塗布処理を完了してから次の塗布処理
を開始するまでに時間に相当するので、その情報を得た
レジスト塗布装置では、必要に応じて、前記データの示
す時間の範囲内でメンテナンスを自動で行う等の通常の
処理工程以外の動作を、ラインの流れを乱すことなく行
いうる。
が出てから完了信号Ｓ２が出るまでの時間は一般に異な
る。ここでレジスト塗布装置の単位処理に要する時間を
Ｔ１、露光装置のそれをＴ２、周辺露光装置のそれをＴ
３、現像装置のそれをＴ４とする。このとき、各装置
共、処理が完了すると完了信号Ｓ２を出力するが、同期
信号Ｓ１が入力するまでは、次のガラス基板の搬入は行
わない。ライン内の装置が正常に動作している場合、監
視装置はすべての装置から完了信号Ｓ２を受け取ったこ
とを確認すると、各装置に同期信号Ｓ１を出力し、各装
置はそれを受けると次のガラス基板を搬入して処理を開
始する。図７に示した例の場合、監視装置は同期信号の
出力と同時に各装置に対して時間データ信号Ｓ６，Ｓ
７，Ｓ８，Ｓ９をアスキーコードにて送出する。前記時
間データ信号はラインのスループットＴ５が一定のとき
に、監視装置がラインのスループット（ガラス基板一つ
あたりの処理時間）Ｔ５と各装置のスループットＴ１
〜Ｔ４ の差を示す信号である。例えばレジスト塗布装
置に与えられる時間データ信号はＴ５−Ｔ４（Ｔ５マイ
ナスＴ４）を示す信号となる。この時間Ｔ５−Ｔ４はレ
ジスト塗布装置が塗布処理を完了してから次の塗布処理
を開始するまでに時間に相当するので、その情報を得た
レジスト塗布装置では、必要に応じて、前記データの示
す時間の範囲内でメンテナンスを自動で行う等の通常の
処理工程以外の動作を、ラインの流れを乱すことなく行
いうる。
【００２５】なお以上では液晶製造ラインを例に取って
説明したが本願発明はこれに限定されず、どのような製
造ラインに対しても適用可能である。
説明したが本願発明はこれに限定されず、どのような製
造ラインに対しても適用可能である。
【００２６】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、複数装
置より成るインライン工程システムにおいて、システム
全体のスループットが最もスループットの遅い装置と同
一となり、又、システム全体が同期信号により、同期し
て動作するため、スループット管理が容易になる。
置より成るインライン工程システムにおいて、システム
全体のスループットが最もスループットの遅い装置と同
一となり、又、システム全体が同期信号により、同期し
て動作するため、スループット管理が容易になる。
【００２７】これは、装置のトラブル等によるスループ
ット低下時の原因判明を容易にし、早期対策が可能とな
ることから、保守性のよいシステムの提供が可能とな
る。
ット低下時の原因判明を容易にし、早期対策が可能とな
ることから、保守性のよいシステムの提供が可能とな
る。
【００２８】又、システム設計段階から、各装置間のス
ループットの見積りが容易になり、システム完成時にス
ループット管理が容易になる。
ループットの見積りが容易になり、システム完成時にス
ループット管理が容易になる。
【図１】従来の一般的な複数装置より構成されるインラ
イン工程システムを概略的に示す図である。
イン工程システムを概略的に示す図である。
【図２】従来のインライン工程システムでの生産物のフ
ローを示すダイアグラムである。
ローを示すダイアグラムである。
【図３】本発明の複数装置より構成されるインライン工
程システムをの概略説明図である。
程システムをの概略説明図である。
【図４】本発明のインライン工程システムでの監視手段
と各装置間の通信の概略を示す図である。
と各装置間の通信の概略を示す図である。
【図５】本発明の実施例の液晶製造ラインの構成を概略
的に示す図である。
的に示す図である。
【図６】図５の液晶制御ラインの制御の一例を示す図で
ある。
ある。
【図７】図５の液晶製造ラインの制御の別の例を示す図
である。
である。
１１ レジスト塗布装置 １２ 露光装置 １３ 周辺露光装置 １４ 現像装置 １８ 液晶ライン製造スループット監視装置 １９ 通信手段
Claims (5)
- 【請求項１】 生産物に対して処理を行う２以上の互い
に独立した装置から成るインライン工程システムであっ
て、 連続する上記各装置間に設けられた、該装置間の通信を
行う装置間通信手段と該装置間で生産物の搬送を行う搬
送手段と、 各装置との間に双方向の通信手段を有し、該通信手段を
通じて各装置の処理状況を示す情報を得て、該情報に基
づいて各装置を制御するためのインライン工程監視手段
を有することを特徴とするインライン工程システム。 - 【請求項２】 前記各装置は一つの生産物の処理が完了
すると、前記監視手段に完了信号を出力し、監視手段は
ライン内のすべての装置から完了信号を受けた時点で各
装置に同期信号を出力し、各装置に次の生産物を搬入し
て処理を開始させることを特徴とする請求項１に記載の
インライン工程システム。 - 【請求項３】 前記各装置は装置において正常な処理が
できないエラーが生じた場合に前記監視手段にエラー出
力を出力することを特徴とする請求項２に記載のインラ
イン工程システム。 - 【請求項４】 前記監視手段はある装置からエラー出力
を受けた場合、ライン内で該エラーの生じた装置よりも
前の工程に属する装置に対してはエラー信号を出力して
次の処理に入ることを禁止し、エラーの生じた装置より
も後の工程に属する装置に対しては前記同期信号を出力
して次の処理を継続して行わせることを特徴とする請求
項３に記載のインライン工程システム。 - 【請求項５】 前記監視手段は前記同期信号出力時に、
単位生産物あたりのライン全体の処理時間と各装置の処
理時間との差を示す信号を各装置に出力することを特徴
とする請求項２記載のインライン工程システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8340396A JPH09275049A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 複数装置より構成されるインライン工程システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8340396A JPH09275049A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 複数装置より構成されるインライン工程システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09275049A true JPH09275049A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=13801472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8340396A Withdrawn JPH09275049A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 複数装置より構成されるインライン工程システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09275049A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005288660A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Denso Corp | 自動機管理システム |
-
1996
- 1996-04-05 JP JP8340396A patent/JPH09275049A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005288660A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Denso Corp | 自動機管理システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |