JPH1067420A - 電子デバイス製造装置の搬送制御方法 - Google Patents
電子デバイス製造装置の搬送制御方法Info
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- JPH1067420A JPH1067420A JP22508696A JP22508696A JPH1067420A JP H1067420 A JPH1067420 A JP H1067420A JP 22508696 A JP22508696 A JP 22508696A JP 22508696 A JP22508696 A JP 22508696A JP H1067420 A JPH1067420 A JP H1067420A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 枚葉方式の液晶板製造装置等の材料搬送制御
方法で、装置の生産性を高めることを目的とする。 【解決手段】 生産ラインの上流側に置き台５Ａを設
け、処理室１Ａ、１Ｂに移載途中に処理室１Ａ、１Ｂが
何らかの要因で停止した場合、処理室１Ａ、１Ｂから搬
入キャンセル信号を発行することによって、移載途中の
材料を別の処理室に移載させる。
方法で、装置の生産性を高めることを目的とする。 【解決手段】 生産ラインの上流側に置き台５Ａを設
け、処理室１Ａ、１Ｂに移載途中に処理室１Ａ、１Ｂが
何らかの要因で停止した場合、処理室１Ａ、１Ｂから搬
入キャンセル信号を発行することによって、移載途中の
材料を別の処理室に移載させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶製造装置など
の電子デバイス製造装置における搬送制御方法に関する
ものである。
の電子デバイス製造装置における搬送制御方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子デバイス製造装置の一貫生産
ラインの中で、複数の同一処理を行う電子デバイスの搬
送制御方法としては、 （１）処理室からの材料搬入要求で材料移載動作を開始
すると、この移載動作が完結した後に次の移載動作を行
う。
ラインの中で、複数の同一処理を行う電子デバイスの搬
送制御方法としては、 （１）処理室からの材料搬入要求で材料移載動作を開始
すると、この移載動作が完結した後に次の移載動作を行
う。
【０００３】（２）各処理室からの材料搬入要求に種類
はなく、置き台に置かれた材料は材料搬入要求の発行さ
れている処理室に移載される。
はなく、置き台に置かれた材料は材料搬入要求の発行さ
れている処理室に移載される。
【０００４】という方法であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
（１）の方法では、処理室へ移載途中に処理室がトラブ
ル等何らかの要因で停止した場合、移載途中の材料を装
置から取り除いた後でないと次の移載動作が行えないた
め、生産に対するロスタイムが生じていた。
（１）の方法では、処理室へ移載途中に処理室がトラブ
ル等何らかの要因で停止した場合、移載途中の材料を装
置から取り除いた後でないと次の移載動作が行えないた
め、生産に対するロスタイムが生じていた。
【０００６】また、前記（２）の方法では、特定の処理
室でのみ特定の材料を処理させたい場合、この特定の処
理室を持つ装置は、この特定の材料と通常の材料を混在
させて、それぞれに対応する処理室に移載できない。し
たがって、一貫生産ラインにおいて、特定の処理室での
み特定の材料を処理させようとすると、生産に対するロ
スタイムが生じていた。
室でのみ特定の材料を処理させたい場合、この特定の処
理室を持つ装置は、この特定の材料と通常の材料を混在
させて、それぞれに対応する処理室に移載できない。し
たがって、一貫生産ラインにおいて、特定の処理室での
み特定の材料を処理させようとすると、生産に対するロ
スタイムが生じていた。
【０００７】本発明は、上記問題を解決するもので、こ
のような生産に対するロスタイムの生じることの無い電
子デバイス製造装置の搬送制御方法を提供することを目
的とする。
のような生産に対するロスタイムの生じることの無い電
子デバイス製造装置の搬送制御方法を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め，本願第１発明の電子デバイス製造装置の搬送制御方
法は，生産ラインの上流側に材料を一時的に置く上流側
置き台を設け、複数の処理室の中でいずれかが運転可能
なとき上流からこの上流側置き台に材料を移載し、各処
理室が運転可能なときに発行する材料搬入要求により上
流側置き台から各処理室に材料を移載し、この移載途中
に処理室がトラブル等何等かの要因で停止した場合、処
理室から搬入キャンセル信号を発行することにより、移
載途中の材料を別の処理室に移載させるようにし、生産
ラインの下流側に材料を一時的に置く下流側置き台を設
け、複数の処理室の中でいずれかが材料搬出可能なとき
に発行する材料搬出要求により各処理室から下流側置き
台に材料を移載し、この下流側置き台の材料を下流に移
載するように構成したことを特徴とする。
め，本願第１発明の電子デバイス製造装置の搬送制御方
法は，生産ラインの上流側に材料を一時的に置く上流側
置き台を設け、複数の処理室の中でいずれかが運転可能
なとき上流からこの上流側置き台に材料を移載し、各処
理室が運転可能なときに発行する材料搬入要求により上
流側置き台から各処理室に材料を移載し、この移載途中
に処理室がトラブル等何等かの要因で停止した場合、処
理室から搬入キャンセル信号を発行することにより、移
載途中の材料を別の処理室に移載させるようにし、生産
ラインの下流側に材料を一時的に置く下流側置き台を設
け、複数の処理室の中でいずれかが材料搬出可能なとき
に発行する材料搬出要求により各処理室から下流側置き
台に材料を移載し、この下流側置き台の材料を下流に移
載するように構成したことを特徴とする。
【０００９】これにより，移載途中の材料を装置から取
り除くことなく、別の処理室に移載できるため、生産に
対するロスタイムを最小限におさえることができる。
り除くことなく、別の処理室に移載できるため、生産に
対するロスタイムを最小限におさえることができる。
【００１０】上記目的を達成するため、本願第２発明の
電子デバイス製造装置の搬送制御方法は、上記第１発明
において、上流側に生産ラインの途中から材料が入庫で
きる入庫ステーションを、下流側に生産ラインの途中か
ら材料が出庫できる出庫ステーションを設け、入庫ステ
ーションから特定の材料を前記上流側置き台を介して特
定の処理室に搬入するときは、処理室から通常の搬入要
求とは異なる入庫ステーション搬入要求を発行し、その
材料を処理室から搬出するときは、処理室から通常の搬
出要求とは異なる出庫ステーション搬出要求を発行し
て、通常の材料を処理しながら、特定の処理室で入庫ス
テーションから入庫した特定の材料を処理させると共に
前記下流側置き台を介して出庫ステーションに搬出させ
るように構成したことを特徴とする。
電子デバイス製造装置の搬送制御方法は、上記第１発明
において、上流側に生産ラインの途中から材料が入庫で
きる入庫ステーションを、下流側に生産ラインの途中か
ら材料が出庫できる出庫ステーションを設け、入庫ステ
ーションから特定の材料を前記上流側置き台を介して特
定の処理室に搬入するときは、処理室から通常の搬入要
求とは異なる入庫ステーション搬入要求を発行し、その
材料を処理室から搬出するときは、処理室から通常の搬
出要求とは異なる出庫ステーション搬出要求を発行し
て、通常の材料を処理しながら、特定の処理室で入庫ス
テーションから入庫した特定の材料を処理させると共に
前記下流側置き台を介して出庫ステーションに搬出させ
るように構成したことを特徴とする。
【００１１】これにより、特定の処理室でのみ特定の材
料を処理させたい場合、この特定の処理室をもつ装置
は、この特定の材料と通常の生産材料とを混在させて処
理できるため、一貫生産ラインの生産に対するロスタイ
ムを最小限におさえることができる。
料を処理させたい場合、この特定の処理室をもつ装置
は、この特定の材料と通常の生産材料とを混在させて処
理できるため、一貫生産ラインの生産に対するロスタイ
ムを最小限におさえることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につい
て、図１から図３を用いて説明する。
て、図１から図３を用いて説明する。
【００１３】図１は、枚葉方式の液晶板製造装置で構成
される一貫生産ラインの中で、複数の同一処理を行う液
晶板製造装置の構成を概略的に示す図である。
される一貫生産ラインの中で、複数の同一処理を行う液
晶板製造装置の構成を概略的に示す図である。
【００１４】図１において、１Ａ、１Ｂは液晶製造装置
の複数の処理室であり、これらは処理室制御部１０Ａ、
１０Ｂにより制御される。２は、生産ライン上流側の置
き台５Ａ上に置かれた材料を処理室１Ａ、１Ｂに移載
し、また処理室１Ａ、１Ｂで処理された材料を生産ライ
ン下流側の置き台５Ｂに移載する移載部であり、移載部
制御部１１により制御される。３は上流装置８から移載
された材料または、入庫ステーション６から入庫された
材料を置き台５Ａに移載する入庫ステーション付移載部
であり、入庫ステーション付移載部制御部１２により制
御される。４は置き台５Ｂに置かれた材料を下流装置９
または、出庫ステーション７に移載する出庫ステーショ
ン付移載部で、出庫ステーション付移載部制御部１３に
より制御される。
の複数の処理室であり、これらは処理室制御部１０Ａ、
１０Ｂにより制御される。２は、生産ライン上流側の置
き台５Ａ上に置かれた材料を処理室１Ａ、１Ｂに移載
し、また処理室１Ａ、１Ｂで処理された材料を生産ライ
ン下流側の置き台５Ｂに移載する移載部であり、移載部
制御部１１により制御される。３は上流装置８から移載
された材料または、入庫ステーション６から入庫された
材料を置き台５Ａに移載する入庫ステーション付移載部
であり、入庫ステーション付移載部制御部１２により制
御される。４は置き台５Ｂに置かれた材料を下流装置９
または、出庫ステーション７に移載する出庫ステーショ
ン付移載部で、出庫ステーション付移載部制御部１３に
より制御される。
【００１５】この液晶板製造装置における材料の搬送制
御方法を図１および図２を参照しながら説明する。
御方法を図１および図２を参照しながら説明する。
【００１６】処理室１Ａ、１Ｂは、通常の材料が生産可
能な状態になったら、処理室制御部１０Ａ、１０Ｂを通
じて、運転可能なステータスを移載部２を制御する移載
部制御部１１に発行する。移載部２はいずれかの処理室
１Ａ、１Ｂが運転可能でかつ、置き台５Ａに材料がなけ
れば、通常搬入要求を入庫ステーション付移載部３に発
行する（ステップ＃１）。入庫ステーション付移載部３
は、通常の搬入要求を受け取ると、上流装置８から移載
された材料１を置き台５Ａに移載する（ステップ＃
２）。処理室１Ａは材料１が搬入できる状態になったら
材料搬入要求を発行し、これを受けた移載部２は、置き
台５Ａにある材料１を処理室１Ａに移載し、置き台５Ａ
が空になったら、再び通常搬入要求を入庫ステーション
付移載部３に発行する（ステップ＃３）。同様にして材
料２も置き台５Ａまで移載され、処理室１Ｂの材料搬入
要求を受けて処理室１Ｂに移載される（ステップ＃
４）。移載部２が処理室１Ｂに材料２の移載動作を行っ
ている途中に、処理室１Ｂがトラブル等何らかの要因で
停止した場合、処理室１Ｂはただちに搬入キャンセル信
号を移載部２に発行し、これを受けた移載部２は、この
移載動作を途中で中断する（ステップ＃５）。そして、
もう一方の処理室１Ａから材料搬入要求を受けると、中
断した位置から材料２を処理室１Ａに移載する（ステッ
プ＃６）。
能な状態になったら、処理室制御部１０Ａ、１０Ｂを通
じて、運転可能なステータスを移載部２を制御する移載
部制御部１１に発行する。移載部２はいずれかの処理室
１Ａ、１Ｂが運転可能でかつ、置き台５Ａに材料がなけ
れば、通常搬入要求を入庫ステーション付移載部３に発
行する（ステップ＃１）。入庫ステーション付移載部３
は、通常の搬入要求を受け取ると、上流装置８から移載
された材料１を置き台５Ａに移載する（ステップ＃
２）。処理室１Ａは材料１が搬入できる状態になったら
材料搬入要求を発行し、これを受けた移載部２は、置き
台５Ａにある材料１を処理室１Ａに移載し、置き台５Ａ
が空になったら、再び通常搬入要求を入庫ステーション
付移載部３に発行する（ステップ＃３）。同様にして材
料２も置き台５Ａまで移載され、処理室１Ｂの材料搬入
要求を受けて処理室１Ｂに移載される（ステップ＃
４）。移載部２が処理室１Ｂに材料２の移載動作を行っ
ている途中に、処理室１Ｂがトラブル等何らかの要因で
停止した場合、処理室１Ｂはただちに搬入キャンセル信
号を移載部２に発行し、これを受けた移載部２は、この
移載動作を途中で中断する（ステップ＃５）。そして、
もう一方の処理室１Ａから材料搬入要求を受けると、中
断した位置から材料２を処理室１Ａに移載する（ステッ
プ＃６）。
【００１７】このようにして、処理室がトラブルなど何
らかの要因で停止した場合でも、搬入キャンセル信号を
発行することによって、移載途中の材料を装置から取り
除くことなく別の処理室に移載できるため、生産に対す
るロスタイムを最小限におさえることができる。
らかの要因で停止した場合でも、搬入キャンセル信号を
発行することによって、移載途中の材料を装置から取り
除くことなく別の処理室に移載できるため、生産に対す
るロスタイムを最小限におさえることができる。
【００１８】なお、いずれかの処理室１Ａ、１Ｂで材料
の処理が終了し搬出可能になったとき、その処理室１
Ａ、１Ｂから発行される材料搬出要求により、移載部２
は、その処理室１Ａ、１Ｂから下流側の置き台５Ｂに前
記材料を移載し、次いで移載部２からの通常搬出要求に
より出庫ステーション付移載部４がその材料を置き台５
Ｂから下流装置９に搬出する（詳しくは図４のステップ
＃１２、＃１３参照）。
の処理が終了し搬出可能になったとき、その処理室１
Ａ、１Ｂから発行される材料搬出要求により、移載部２
は、その処理室１Ａ、１Ｂから下流側の置き台５Ｂに前
記材料を移載し、次いで移載部２からの通常搬出要求に
より出庫ステーション付移載部４がその材料を置き台５
Ｂから下流装置９に搬出する（詳しくは図４のステップ
＃１２、＃１３参照）。
【００１９】次に特定の処理室１Ｂでのみ特定の材料を
処理させたい場合に、通常の材料の処理と混在させなが
ら行う材料の搬送制御方法を図３、図４を参照しつつ説
明する。
処理させたい場合に、通常の材料の処理と混在させなが
ら行う材料の搬送制御方法を図３、図４を参照しつつ説
明する。
【００２０】先ず処理室への材料搬入時の制御方法を図
３を参照しながら説明する。
３を参照しながら説明する。
【００２１】処理室１Ａは、通常の材料が生産可能な状
態になったら運転可能なステータスを、材料が搬入可能
な状態になったら材料搬入要求を、移載部２に発行す
る。
態になったら運転可能なステータスを、材料が搬入可能
な状態になったら材料搬入要求を、移載部２に発行す
る。
【００２２】処理室１Ｂは入庫ステーション６にある特
定の材料が搬入できる状態になったら入庫ステーション
搬入要求を移載部２に発行する。移載部２はいずれかの
処理室１Ａ、１Ｂが運転可能かつ、置き台５Ａに材料が
なければ、通常搬入要求を入庫ステーション付移載部３
に発行し、処理室１Ｂから、入庫ステーション搬入要求
を受けてかつ、置き台５Ａに材料がなければ、入庫ステ
ーション搬入要求を入庫ステーション付移載部３に発行
する（ステップ＃７）。
定の材料が搬入できる状態になったら入庫ステーション
搬入要求を移載部２に発行する。移載部２はいずれかの
処理室１Ａ、１Ｂが運転可能かつ、置き台５Ａに材料が
なければ、通常搬入要求を入庫ステーション付移載部３
に発行し、処理室１Ｂから、入庫ステーション搬入要求
を受けてかつ、置き台５Ａに材料がなければ、入庫ステ
ーション搬入要求を入庫ステーション付移載部３に発行
する（ステップ＃７）。
【００２３】入庫ステーション付移載部３が通常搬入要
求と入出庫ステーション搬入要求の両方を受け取った状
態で、入庫ステーション６に材料がまだ置かれてなく上
流装置８から材料３が先に移載されて来ると、入庫ステ
ーション付移載部３は通常材料という情報をつけて置き
台５Ａに材料３を移載する（ステップ＃８）。そして移
載部２は材料搬入要求を受け取っている処理室１Ａに材
料３を移載し、置き台５Ａが空になったら再び、通常搬
入要求を入庫ステーション付移載部３に発行する。処理
室１Ａは次の材料が搬入できる状態になったら、再び材
料搬入要求を移載部２に発行する（ステップ＃９）。続
いて入庫ステーション６に材料４を置くと、入庫ステー
ション付移載部３は入庫ステーション付材料という情報
をつけて、置き台５Ａに材料４を移載する（ステップ＃
１０）。そして、移載部２は入庫ステーション搬入要求
を受け取っている処理室１Ｂに材料４を移載する（ステ
ップ＃１１）。
求と入出庫ステーション搬入要求の両方を受け取った状
態で、入庫ステーション６に材料がまだ置かれてなく上
流装置８から材料３が先に移載されて来ると、入庫ステ
ーション付移載部３は通常材料という情報をつけて置き
台５Ａに材料３を移載する（ステップ＃８）。そして移
載部２は材料搬入要求を受け取っている処理室１Ａに材
料３を移載し、置き台５Ａが空になったら再び、通常搬
入要求を入庫ステーション付移載部３に発行する。処理
室１Ａは次の材料が搬入できる状態になったら、再び材
料搬入要求を移載部２に発行する（ステップ＃９）。続
いて入庫ステーション６に材料４を置くと、入庫ステー
ション付移載部３は入庫ステーション付材料という情報
をつけて、置き台５Ａに材料４を移載する（ステップ＃
１０）。そして、移載部２は入庫ステーション搬入要求
を受け取っている処理室１Ｂに材料４を移載する（ステ
ップ＃１１）。
【００２４】次に処理室からの材料搬出時の制御方法を
図４を参照しながら説明する。
図４を参照しながら説明する。
【００２５】通常材料３を処理している処理室１Ａは、
処理された材料３が搬出できる状態になったら、材料搬
出要求を移載部２に発行する。これを受けた移載部２
は、置き台５Ｂに材料がなければ、処理室１Ａから置き
台５Ｂに処理された材料３を移載する（ステップ＃１
２）。移載部２は材料搬出要求に応じて移載した材料３
を置き台５Ｂにおいたら、出庫ステーション付移載部４
に通常搬出要求を発行する。出庫ステーション付移載部
４は、これを受けると、下流装置９に材料３を移載する
（ステップ＃１３）。
処理された材料３が搬出できる状態になったら、材料搬
出要求を移載部２に発行する。これを受けた移載部２
は、置き台５Ｂに材料がなければ、処理室１Ａから置き
台５Ｂに処理された材料３を移載する（ステップ＃１
２）。移載部２は材料搬出要求に応じて移載した材料３
を置き台５Ｂにおいたら、出庫ステーション付移載部４
に通常搬出要求を発行する。出庫ステーション付移載部
４は、これを受けると、下流装置９に材料３を移載する
（ステップ＃１３）。
【００２６】入庫ステーション６から搬入された材料４
を処理している処理室１Ｂは、処理された材料４が搬出
できる状態になったら、出庫ステーション搬出要求を移
載部２に発行する。これを受けた移載部２は、置き台５
Ｂに材料がなければ、処理室１Ｂから置き台５Ｂに処理
された材料４を移載する（ステップ＃１４）。移載部２
は出庫ステーション搬出要求で移載した材料を置き台５
Ｂに置いたら、出庫ステーション付移載部４に出庫ステ
ーション搬出要求を発行する。出庫ステーション付移載
部４は、これを受けると、出庫ステーション７に材料４
を移載する（ステップ＃１５）。
を処理している処理室１Ｂは、処理された材料４が搬出
できる状態になったら、出庫ステーション搬出要求を移
載部２に発行する。これを受けた移載部２は、置き台５
Ｂに材料がなければ、処理室１Ｂから置き台５Ｂに処理
された材料４を移載する（ステップ＃１４）。移載部２
は出庫ステーション搬出要求で移載した材料を置き台５
Ｂに置いたら、出庫ステーション付移載部４に出庫ステ
ーション搬出要求を発行する。出庫ステーション付移載
部４は、これを受けると、出庫ステーション７に材料４
を移載する（ステップ＃１５）。
【００２７】このようにして、特定の処理室でのみ特定
の材料を処理させたい場合、この特定の処理室をもつ装
置は、この特定の材料と通常の生産材料を混在させて処
理できるため、一貫生産ラインの生産に対するロスタイ
ムを最小限におさえることができる。
の材料を処理させたい場合、この特定の処理室をもつ装
置は、この特定の材料と通常の生産材料を混在させて処
理できるため、一貫生産ラインの生産に対するロスタイ
ムを最小限におさえることができる。
【００２８】なお、以上枚葉方式の液晶板製造装置にお
ける搬送制御方法について説明したが，本発明は枚葉方
式で製造される他の電子デバイス製造装置における搬送
制御方法にも適用可能である。
ける搬送制御方法について説明したが，本発明は枚葉方
式で製造される他の電子デバイス製造装置における搬送
制御方法にも適用可能である。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本願第１発明によれば、処
理室へ材料移載途中にその処理室がトラブル等何らかの
要因で停止した場合、移載途中の材料を装置から取り除
くことなく、別の処理室に移載できるため、生産に対す
るロスタイムを最小限におさえるという有利な効果が得
られる。
理室へ材料移載途中にその処理室がトラブル等何らかの
要因で停止した場合、移載途中の材料を装置から取り除
くことなく、別の処理室に移載できるため、生産に対す
るロスタイムを最小限におさえるという有利な効果が得
られる。
【００３０】また、本願第２発明によれば、第１発明の
効果に加え、通常の材料を処理しながら、入庫ステーシ
ョンから入庫した特定の材料を特定の処理室で処理して
出庫ステーションに出庫でき、特定の材料と通常の材料
とを混在させて処理できるため、一貫生産ラインの生産
に対するロスタイムを最小限におさえるという有利な効
果が得られる。
効果に加え、通常の材料を処理しながら、入庫ステーシ
ョンから入庫した特定の材料を特定の処理室で処理して
出庫ステーションに出庫でき、特定の材料と通常の材料
とを混在させて処理できるため、一貫生産ラインの生産
に対するロスタイムを最小限におさえるという有利な効
果が得られる。
【図１】本発明の、実施形態における液晶製造装置の構
成を概略的に示す図。
成を概略的に示す図。
【図２】その搬送制御過程を説明するフロー図。
【図３】その搬送制御過程を説明するフロー図。
【図４】その搬送制御過程を説明するフロー図。
１Ａ、１Ｂ 処理室 ２ 移載部 ３ 入庫ステーション付移載部 ４ 出庫ステーション付移載部 ５Ａ 上流側置き台 ５Ｂ 下流側置き台 ６ 入庫ステーション ７ 出庫ステーション ８ 上流装置 ９ 下流装置 １０Ａ、１０Ｂ 処理室制御室 １１ 移載部制御部 １２ 入庫ステーション付移載部制御
部 １３ 出庫ステーション付移載部制御
部
部 １３ 出庫ステーション付移載部制御
部
Claims (2)
- 【請求項１】生産ラインの上流側に材料を一時的に置く
上流側置き台を設け、複数の処理室の中でいずれかが運
転可能なとき上流からこの上流側置き台に材料を移載
し、各処理室が運転可能なときに発行する材料搬入要求
により上流側置き台から各処理室に材料を移載し、この
移載途中に処理室がトラブル等何等かの要因で停止した
場合、処理室から搬入キャンセル信号を発行することに
より、移載途中の材料を別の処理室に移載させるように
し、生産ラインの下流側に材料を一時的に置く下流側置
き台を設け、複数の処理室の中でいずれかが材料搬出可
能なときに発行する材料搬出要求により各処理室から下
流側置き台に材料を移載し、この下流側置き台の材料を
下流に移載するように構成したことを特徴とする電子デ
バイス製造装置の搬送制御方法。 - 【請求項２】上流側に生産ラインの途中から材料が入庫
できる入庫ステーションを、下流側に生産ラインの途中
から材料が出庫できる出庫ステーションを設け、入庫ス
テーションから特定の材料を前記上流側置き台を介して
特定の処理室に搬入するときは、処理室から通常の搬入
要求とは異なる入庫ステーション搬入要求を発行し、そ
の材料を処理室から搬出するときは、処理室から通常の
搬出要求とは異なる出庫ステーション搬出要求を発行し
て、通常の材料を処理しながら、特定の処理室で入庫ス
テーションから入庫した特定の材料を処理させると共に
前記下流側置き台を介して出庫ステーションに搬出させ
るように構成したことを特徴とする請求項１記載の電子
デバイス製造装置の搬送制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22508696A JPH1067420A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 電子デバイス製造装置の搬送制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22508696A JPH1067420A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 電子デバイス製造装置の搬送制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1067420A true JPH1067420A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16823798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22508696A Pending JPH1067420A (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 電子デバイス製造装置の搬送制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1067420A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100581623B1 (ko) * | 2004-01-15 | 2006-05-23 | 오티스 엘리베이터 컴파니 | 리프트와 대차 사이의 단차에 의한 팔레트 이송 불능문제를 해결하기 위한 주차장치 및 팔레트 이송 제어방법 |
| JP2008153474A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Canon Inc | 処理装置 |
-
1996
- 1996-08-27 JP JP22508696A patent/JPH1067420A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100581623B1 (ko) * | 2004-01-15 | 2006-05-23 | 오티스 엘리베이터 컴파니 | 리프트와 대차 사이의 단차에 의한 팔레트 이송 불능문제를 해결하기 위한 주차장치 및 팔레트 이송 제어방법 |
| JP2008153474A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Canon Inc | 処理装置 |
| US9069350B2 (en) | 2006-12-18 | 2015-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing apparatus with conveyer and controller to output request signal and stop instruction signal |
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