JP2956754B2 - 製品の移し替え方式 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一つの作業単位に
含まれる製品の構成が工程によって異なるため、工程が
進むに従い製品の分割、統合を繰り返し、上記作業単位
内の製品の組合せが変化する製造ラインに設けられ、同
一工程の同一作業単位に属する複数の製品を格納するカ
セットからこれら製品を複数のカセットに移し替える製
品の移し替え方式に関し、特に、製品の移し替えを人手
によらず、自動的にできる移し替え方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、一つの工程での作業単位である一
つのロットに対応して設けられるカセットの製品棚に、
作業に必要な製品群は格納され、同一のカセットに格納
される製品は、基本的には、工程へ投入される際の構成
のまま工程を進む。しかし、プロセス上の理由から、同
一カセットの中の製品が別のカセットに分割され、また
は、異なるカセットの製品が同一カセットに収納される
場合が生じる。

【０００３】一方、工程管理上では、工程へ投入される
際の構成のまま工程を進む状態が望ましい。

【０００４】従来、この種の製品の移し替え方式では、
図７に示されるように、投入時に第１ロットにカセット
Ｘを充てて１段目および２段目それぞれに製品ａおよび
製品ｂそれぞれを格納し、また第２ロットにカセットＹ
を充てて１段目および２段目それぞれに製品ｃおよび製
品ｄそれぞれを格納して工程に投入した場合でも、特定
工程９１を通過した後では、二つのカセットＡ，Ｂにお
いて、カセットＡで１段目から３段目までに製品ａ，
ｂ，ｃそれぞれが格納され、またカセットＢで２段目の
みに製品ｄが格納されており、製品ｃがカセットを移動
した状態を生じることがある。

【０００５】ここに、製造条件のため、または工程管理
のため、工程投入時の構成に戻す必要性があるので、移
し替え工程９２が設けられている。この移し替え工程９
２では、人が作業単位を当初のロット番号単位に構成し
直している。

【０００６】すなわち、図示されるように、カセットＡ
の１，２段目の製品ａ，ｂそれぞれはカセットＤの１，
２段目へ、カセットＡの３段目の製品ｃはカセットＥの
１段目へ、また、カセットＢの２段目の製品ｄはカセッ
トＥの２段目へ、それぞれ移し替えされる。この結果、
カセットＤ，Ｅが投入時のカセットＸ，Ｙそれぞれと同
一の製品構成を有することになる。

【０００７】このような移し替えを自動的に行う技術
が、例えば、特開平４−９６２１７号公報に記載されて
いる。

【０００８】この移載方法では、複数のカセットに装填
されたウェーハをカセットから移載する際、多段に保持
するボード上で予め装填されたウェーハ上での配列とな
る不足分についてダミーウェーハを補充しつつ移載を行
うことを特徴として人手が省略できるので、工程の安定
化、製品品質の安定化、自動化の促進などを図ることが
できる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の製品の
移し替え方式では、製品の移し替えに際して人手の介在
が必要であり作業者工数の増加、リードタイムの長大
化、製品精度の低下などという問題点がある。

【００１０】その理由は、製造ラインにおいて、一つの
工程での作業単位に含まれる製品の構成が、工程が進む
過程でプロセス上の理由から、同一カセットの中の製品
が別のカセットに分割され、または、異なるカセットの
製品が同一カセットに収納されるなど、変化する場合を
生じるが、製造条件または品質管理などの工程管理上か
ら、工程へ投入される際の構成のまま工程を進む状態が
望ましいので、途中の工程において、作業単位の製品構
成を工程投入時の構成にロット番号単位により移し替え
る必要が生じ、人手の介在が避けられないからである。

【００１１】また、上記公開公報に記載された方法で
は、移載を自動化したが、不足分の補充をするという単
純作業であり、カセット間の移載には触れておらず、実
用上の面で問題点がある。

【００１２】本発明の課題は、上記問題点を解決し、製
品のカセット間の移し替えを人手によらない自動的なも
のとし、作業者工数の削除、リードタイムの短縮、およ
び製品精度の向上を図ることができる移し替え方式を提
供することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明による製品の移し
替え方式は、一つの作業単位に含まれる製品の構成が工
程によって異なるため、工程が進むに従い製品の分割、
統合を繰り返し、上記作業単位内の製品の組合せが変化
する製造ラインに設けられ、同一工程の同一作業単位に
属する複数の製品を格納するカセットからこれら製品を
複数のカセットに移し替える製品の移し替え方式におい
て、取り出される製品を格納しているカセットを所定位
置に配置する供給ステージ、移し替えにより製品を収納
するカセットを所定位置に配置する収納ステージ、およ
び、前記供給ステージのカセットから製品を取り出して
前記収納ステージのカセットに移し替える移載用アーム
を有する移し替え装置と、少くとも前記収納ステージに
配置されるカセットそれぞれに格納される予定の収納製
品の製品参照情報を予め記憶し、前記供給ステージに配
置されるカセットそれぞれに格納されている供給製品の
製品情報を受けた際に、この製品情報を前記製品参照情
報と対照して、前記供給ステージのカセットに格納され
る製品の移し替え先収納ステージを判断し、製品をカセ
ットから逐次取り出して前記収納ステージのカセットに
移し替える前記移載用アームをプログラム制御する移し
替え制御装置とを備えている。

【００１４】また、具体的な一例として前記移し替え制
御装置は、前記供給ステージのカセットに格納されてい
る供給製品の製品情報を記憶する供給製品在荷表と、前
記収納ステージのカセットに格納されている収納製品の
製品情報を記憶する収納製品在荷表と、前記供給ステー
ジに製品を格納している実カセットが配置され、かつ前
記収納ステージに空カセットが配置された場合、前記供
給ステージのカセットに格納されている供給製品の製品
情報を供給製品在荷表にセットし、前記供給製品の製品
情報および前記収納製品の製品参照情報を対照して製品
を供給ステージのカセットから収納ステージのカセット
へ順次移し替えると共に、前記供給製品在荷表から前記
収納製品在荷表へ該当製品の製品情報をも移し替える収
納先ステージ判断部と、工程を進むカセットの製品格納
状況を製品情報として記憶する製品情報記憶部から前記
製品情報を取り出して前記供給製品在荷表にセットし、
次いで前記収納先ステージ判断部により写し替えを終了
した前記収納製品在荷表から取り出した製品情報に基づ
いて前記製品情報記憶部の製品情報を更新するカセット
情報更新部とを備えている。

【００１５】上記構成において、製品をカセットから逐
次取り出して前記収納ステージのカセットに移し替える
前記移載用アームをプログラム制御する移し替え制御装
置を備えることにより、人手を不要にしている。

【００１６】また、カセット情報更新部を備えることに
よりカセットにその時点で格納されている製品情報を保
持する製品情報記憶部の製品情報を最新情報に更新し
て、工程管理の便に供している。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１８】図１は本発明の実施の一形態を示す機能ブ
ロック図である。

【００１９】図１に示された製品の移し替え方式では、
従来と相違して、移し替え制御装置１０が、移し替え装
置２０をプログラム制御により駆動して移し替え装置２
０の供給ステージ２１および収納ステージ２２それぞれ
にあるカセット間で製品を自動的に移し替えている。

【００２０】移し替え制御装置１０は、製品情報記憶部
１１、供給製品在荷表１２、収納製品在荷表１３、カセ
ット情報更新部１４、および収納先ステージ判断部１５
を備えているものとする。また、移し替え装置２０は、
供給ステージ２１、収納ステージ２２、および移載用ア
ーム２３を有するものとする。

【００２１】供給ステージ２１には、製品を格納してい
る実カセットを配置する複数のステージＬＡ〜が設けら
れる一方、収納ステージ２２には、製品を格納する空カ
セットを配置する複数のステージＵＡ〜が設けられてい
るものとする。

【００２２】製品情報記憶部１１は、流れている製品お
よびカセットをロットに対して管理するために、図４に
示されるように、製品を一意に識別する製品番号ａ〜そ
れぞれに対応して、製品が格納されているカセットのカ
セット番号Ａ〜および製品棚位置〜段目と、製品群を管
理するために製造ラインへの投入時の作業単位に対して
採番されたロット番号１〜とを記憶格納しているものと
する。

【００２３】供給製品在荷表１２は、供給ステージ２１
上のカセットに格納されている供給製品の製品番号およ
びロット番号を管理するために、図５および図６に示さ
れるように、格納されている供給製品の製品番号ａ〜そ
れぞれに対応して、複数の供給ステージＬＡ〜上のカセ
ット番号Ａ〜と、カセット内に格納されている棚番号１
〜段目とを記憶格納するものとする。

【００２４】収納製品在荷表１３は、収納ステージ２２
上のカセットに格納されている収納製品の製品番号およ
びロット番号を管理するために、図５および図６に示さ
れるように、格納されている収納製品の製品番号ａ〜そ
れぞれに対応して、複数の収納ステージＵＡ〜上のカセ
ット番号Ｄ〜と、カセット内に格納されている棚番号１
〜段目とを記憶格納するものとする。

【００２５】カセット情報更新部１４は、収納先ステー
ジ判断部１５から駆動を受けて製品情報記憶部１１から
カセットの供給製品情報を取り込み供給製品在荷表１２
にセットする一方、収納先ステージ判断部１５から通知
を受けて収納製品在荷表１３の情報により製品情報記憶
部１１の製品情報を更新するものとする。

【００２６】収納先ステージ判断部１５は、移し替え後
のカセット構成のための製品参照情報を予め記憶する収
納製品メモリを有し、移し替え装置２０から駆動指示を
受けた際にカセット情報更新部１４を駆動し、カセット
情報更新部１４により供給製品在荷表１２にセットされ
た供給製品情報と収納製品メモリに格納されている収納
製品の製品参照情報とを照合して供給ステージ２１上の
カセット内の製品それぞれを移し替える収納先のステー
ジおよびこの製品棚位置を判断し、移し替え装置２０に
通知するものとする。

【００２７】移し替え装置２０では、供給ステージ２１
のステージＬＡ〜上に実カセットＡ〜が配置され、収納
ステージ２２のステージＵＡ〜上に空カセットＤ〜が配
置され移し替えの準備が整った際、収納先ステージ判断
部１５を駆動し通知収納先ステージ判断部１５の制御に
より、移載用アーム２３が、実カセットＡ〜に格納され
ている供給製品を順次取り出し、空カセットＤ〜の指定
された製品棚位置に移し替えるものとする。

【００２８】次に、図１に図２を併せ参照して本発明に
よる製品の移し替え方式における主要動作手順について
説明する。

【００２９】まず、移し替え装置２０では、供給ステー
ジ２１のステージＬＡ〜ＬＣにおいて製品を格納してい
るカセットＡ〜Ｃが搬入配置された際（手順１０１）、
収納ステージ２２におけるステージＵＡ〜ＵＣの空のカ
セットＤ〜Ｆの有無が調査される（手順１０２）。

【００３０】空きのカセットＤ〜ＦがステージＵＡ〜Ｕ
Ｃに配置されている場合（手順１０３のＹＥＳ）、移し
替え制御装置１０で、収納先ステージ判断部１５を介し
てカセット情報更新部１４が駆動され、カセット情報更
新部１４が製品情報記憶部１１の製品情報を供給製品在
荷表１２にセットする（手順１０４）。

【００３１】この手順１０４の確認により、収納先ステ
ージ判断部１５は、供給製品在荷表１２にセットされた
製品情報と内蔵する収納製品メモリに格納されている製
品参照情報とに基づいて、供給ステージ２１に配置され
たカセットＡ〜Ｃに格納されている製品毎に、移し替え
先の収納ステージ２２におけるカセットＤ〜Ｆおよびこ
の製品棚位置を、移載用アーム２３へ製品順序をキーと
して製品ａから順次通知して製品の移し替えを制御する
（手順１０５）。

【００３２】また、収納先ステージ判断部１５は、製品
の移し替え毎に供給製品在荷表１２および収納製品在荷
表１３を更新する（手順１０６）と共に、供給製品在荷
表１２を調査し（手順１０７）する。

【００３３】供給製品在荷表１２に製品の登録がなく、
製品の移し替えが終了した場合（手順１０８のＹＥ
Ｓ）、収納先ステージ判断部１５はカセット情報更新部
１４に通知し、カセット情報更新部１４は収納製品在荷
表１３の製品情報に基づいて製品情報記憶部１１の製品
情報を更新し（手順１０９）、手順を終了する。

【００３４】

【実施例】次に、図１に図３から図６までを併せ参照し
て実施例について説明する。

【００３５】まず、図３に示されるように、投入時に三
つのカセットＸ，Ｙ，Ｚそれぞれにおいて、第１ロット
となるカセットＸでは製品棚の第１段目に製品ａ、第２
段目に製品ｂ、および第３段目に製品ｃ、第２ロットと
なるカセットＹでは第１段目に製品ｄ、第２段目に製品
ｅ、および第３段目に製品ｆ、また、第３ロットとなる
カセットＺでは第１段目に製品ｇ、第２段目に製品ｈ、
および第３段目に製品ｉ、それぞれが格納されていた。

【００３６】これらの製品が、特定の工程を通過したこ
とにより、三つのカセットＡ，Ｂ，Ｃにおいて、カセッ
トＡでは製品棚の第１段目にロット１の製品ａ、第２段
目にロット２の製品ｄ、および第３段目にロット３の製
品ｇ、カセットＢでは第１段目にロット１の製品ｂ、第
２段目にロット２の製品ｅ、および第３段目にロット３
の製品ｈ、また、カセットＣでは第１段目にロット１の
製品ｃ、第２段目にロット２の製品ｆ、および第３段目
にロット３の製品ｉ、それぞれが格納されているものと
する。

【００３７】移し替え工程ではカセットＡ〜Ｃそれぞれ
の格納製品を投入時の状態に移し替える作業が行われ
る。

【００３８】移し替え装置２０を制御する移し替え制御
装置１０は、図３に示される特定工程後の製品格納状況
に基づく製品情報を図４に示される特定工程後の製品情
報として製品情報記憶部１１に記憶格納している。

【００３９】移し替え装置２０で、供給ステージ２１の
ステージＬＡ〜ＬＣそれぞれに特定工程後の製品情報に
より製品ａ〜ｉが格納されているカセットＡ〜Ｃそれぞ
れが配置され、収納ステージ２２のステージＵＡ〜ＵＣ
それぞれに空のカセットＤ〜Ｆそれぞれが配置された状
態で、移し替え制御装置１０が制御を開始する。

【００４０】収納先ステージ判断部１５は、収納製品メ
モリとして移し替え後のカセット構成のための製品参照
情報を予め格納済みである。この製品参照情報には、移
し替え工程で格納製品を投入時の状態に移し替える作業
が行われるため、工程投入時の製品情報、すなわち、図
３の投入時における三つのカセット構成と同一の製品情
報が予め格納済みであるものとする。

【００４１】従って、移し替え制御装置１０では、カセ
ット情報更新部１４が、製品情報記憶部１１に記憶され
た図４に示される特定工程後の製品情報に基づき、供給
製品在荷表１２に製品情報をセットする。この時点で
は、供給製品在荷表１２および収納製品在荷表１３は、
図５に示されるような状態となり、収納製品在荷表１３
には、まだ登録がない。

【００４２】次いで、収納先ステージ判断部１５は、内
蔵する収納製品メモリを参照して供給製品在荷表１２の
製品ａをステージＬＡからステージＵＡへ、製品ｂをス
テージＬＢからステージＵＡへと、例えば製品情報の製
品順序をキーとし製品順序に従って移し替えを制御す
る。

【００４３】他方、例えば、図示された例では製品棚位
置が同一であるので、ステージＵＡのカセットの製品
ａ、製品ｄ、製品ｇから順次、移し替え先を、ロット１
の製品をステージＵＡ、ロット２の製品をステージＵ
Ｂ、またロット３の製品をステージＵＣへ移し替えるよ
うに移し替え装置２０へ通知することにより、移載用ア
ーム２３の移し替え動作を制御してもよい。

【００４４】次いで、収納先ステージ判断部１５が全て
の製品ａ〜ｉの移し替えを完了した時点では、供給製品
在荷表１２に格納されいた製品情報は収納製品在荷表１
３へ移され、供給製品在荷表１２および収納製品在荷表
１３それぞれは図６に示されるような状態となる。

【００４５】従って、カセット情報更新部１４は、図６
に示されるような収納製品在荷表１３の製品情報に基づ
いて製品情報記憶部１１の記憶を更新する。

【００４６】この結果、カセットＤ〜Ｆの構成が投入時
のカセットＸ〜Ｚの構成に該当するので、図３に示され
るように、投入時の製品情報がカセット上に確保でき
る。従って、情報の整合が保持できるので工程管理を容
易にすることができる。

【００４７】上記説明では、収納先ステージ判断部に収
納製品メモリを設けるとしたが、収納製品メモリはカセ
ット情報更新部など他の機能ブロックまたは記憶部に設
け、収納先ステージ判断部が呼び出す構成でもよい。ま
た、収納製品メモリは、工程投入時の製品情報を製品参
照情報として説明したが、工程間で適用するロット形態
が相違する場合、後のロットに適合した製品情報を形成
することで製品の移し替えを正確に容易に行うことがで
きる。

【００４８】このように、上記説明で機能ブロックおよ
び動作手順を図示して説明したが、機能の分離併合によ
る配分、または動作の前後入れ替え、平行動作などは上
記機能を満たす限り自由であり、上記説明が本発明を限
定するものではない。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。

【００５０】まず、第１の効果は、進む工程により作業
単位に含まれる製品の構成が変化した状態から、作業単
位を工程投入時のロット単位の状態に構成し直す場合、
作業工数を削減しかつ高い精度を得ることができること
である。

【００５１】その理由は、移し替え装置およびこの制御
装置を備え、移し替え制御装置がプログラム制御により
人手の介在なしで自動的に製品を移し替えることができ
るからである。

【００５２】また、第２の効果は、工程管理が容易にな
ることである。

【００５３】その理由は、移し替え制御装置がカセット
情報更新部により製品情報を自動的に最新状態に更新し
て製品情報記憶部に記憶し、必要に応じ工程管理のため
に取り出せると共に、次の工程のために供給製品の製品
情報として通知できるからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態を示す機能ブロック図で
ある。

【図２】本発明の実施の一形態を示す流れ図である。

【図３】工程の進行に伴う製品構成の変化の一例を示す
構成変化の説明図である。

【図４】図１における図３による製品構成の更新の一例
を示す製品情報図である。

【図５】図１における図３による製品移し替え以前の一
例を示す製品在荷表の説明図である。

【図６】図１における図３による製品移し替え後の一例
を示す製品在荷表の説明図である。

【図７】製品の移し替え工程について説明するブロック
図である。

【符号の説明】

１０ 移し替え制御装置 １１ 製品情報記憶部 １２ 供給製品在荷表 １３ 収納製品在荷表 １４ カセット情報更新部 １５ 収納先ステージ判断部 ２０ 移し替え装置 ２１ 供給ステージ ２２ 収納ステージ ２３ 移載用アーム

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一つの作業単位に含まれる製品の構成が
   工程によって異なるため、工程が進むに従い製品の分
   割、統合を繰り返し、上記作業単位内の製品の組合せが
   変化する製造ラインに設けられ、同一工程の同一作業単
   位に属する複数の製品を格納するカセットからこれら製
   品を複数のカセットに移し替える製品の移し替え方式に
   おいて、取り出される製品を格納しているカセットを所
   定位置に配置する供給ステージ、移し替えにより製品を
   収納するカセットを所定位置に配置する収納ステージ、
   および、前記供給ステージのカセットから製品を取り出
   して前記収納ステージのカセットに移し替える移載用ア
   ームを有する移し替え装置と、少くとも前記収納ステー
   ジに配置されるカセットそれぞれに格納される予定の収
   納製品に対する製品参照情報を予め記憶し、前記供給ス
   テージに配置されるカセットそれぞれに格納されている
   供給製品の製品情報を受けた際に、この製品情報を前記
   製品参照情報と対照して、前記供給ステージのカセット
   に格納される製品の移し替え先収納ステージを判断し、
   製品をカセットから逐次取り出して前記収納ステージの
   カセットに移し替える前記移載用アームをプログラム制
   御する移し替え制御装置とを備えることを特徴とする製
   品の移し替え方式。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記移し替え制御装
   置は、前記供給ステージのカセットに格納されている供
   給製品の製品情報を記憶する供給製品在荷表と、前記収
   納ステージのカセットに格納されている収納製品の製品
   情報を記憶する収納製品在荷表と、前記供給ステージに
   製品を格納している実カセットが配置され、かつ前記収
   納ステージに空カセットが配置された際に、前記供給ス
   テージのカセットに格納されている供給製品の製品情報
   を供給製品在荷表にセットし、前記供給製品の製品情報
   および前記収納製品の製品参照情報を対照して製品を供
   給ステージのカセットから収納ステージのカセットへ順
   次移し替えると共に、前記供給製品在荷表から前記収納
   製品在荷表へ該当製品の製品情報をも移し替える収納先
   ステージ判断部とを備えることを特徴とする製品の移し
   替え方式。
3. 【請求項３】 請求項２において、移し替え制御装置
   は、工程を進むカセットの製品格納状況を製品情報とし
   て記憶する製品情報記憶部から前記製品情報を取り出し
   て前記供給製品在荷表にセットし、次いで前記収納先ス
   テージ判断部により写し替えを終了した前記収納製品在
   荷表から取り出した製品情報に基づいて前記製品情報記
   憶部の製品情報を更新するカセット情報更新部を備える
   ことを特徴とする製品の移し替え方式。
4. 【請求項４】 請求項１、２または請求項３において、
   収納ステージのカセットに対し格納される予定の収納製
   品として予め記憶される製品参照情報は、工程の最初に
   投入される製品情報と同一であることを特徴とする製品
   の移し替え方式。