KR102420279B1 - 장척체 및 케이블 등 지지 장치 - Google Patents

Abstract

왕복 이동기구의 스테이지 정도를 높여 모터의 부하도 감소 가능하고, 또한 다회로나 대전류용으로도, 바람직한 공간 절약화도 용이한 장척제를 제공한다.
길이 방향의 일부분이 만곡된 상태에서, 그 길이 방향의 일단측과 타단측이 각각 이동 기구의 고정부와 이동부간에 배치되어 사용되는 전체로서 탄성을 갖는 단선상 또는 띠상의 장척체로서, 그 사용시에 만곡되는 부분에 미리 그 길이 방향 이외의 방향으로 성형된 우회부를 갖고 있다.

Description

장척체 및 케이블 등 지지 장치{ELONGATE BODY AND SUPPORT DEVICE FOR CABLE AND THE LIKE}

본 발명은 케이블·튜브 등의 탄성을 갖는 장척체에 관한 것이고, 예를 들면 전자부품 제조 장치 등의 로봇, 공작 기계, 크레인, 프린터 등에 있어서의 X-Y의 2축 등으로 왕복 이동하는 기구의 선단측의 이동부와 기단측의 고정부 사이에 배치되는 케이블·튜브 등의 장척체에 관한다.

종래, 예를 들면 칩 마운터 등의 반도체 제조 장치는 노즐에 흡착한 칩형의 전자부품을 프린트 기판·웨이퍼 등의 소정 장소까지 이동시키고, 해당 장소에 탑재하기 위해서 모터 등으로 구동되어 X-Y의 2축 등으로 왕복 이동하는 기구를 구비하고 있다. 이러한 왕복 이동 기구의 선단측의 이동부와 기단측의 고정부 사이에는 전기 케이블이나 에어의 유로가 되는 튜브 등의 탄성을 갖는 장척체가 배치되어 있고, 선단측의 이동부의 위치에 따라 장척체가 만곡상 등으로 탄성 변형함으로써 선단측의 이동부의 움직임에 추종되도록 구성되어 있다. 이러한 종래 예로서, 특허문헌 1에는 간단히 플랫 케이블을 U자상으로 구부려 그 굴곡을 이용하여 왕복 운동하는 기기에 전력이나 전기 신호를 전달하기 위해서, 그 플랫 케이블에 탄성 벨트를 첨가시킨 장척체(띠상 물체)를 구성함으로써 플랫 케이블의 좌굴을 방지하고 있다.

일본 특허 공개 평 9-56046호 공보

이와 같이 종래는 소재의 선택이나 조합에 의해 장척체(띠상 물체) 전체로서의 탄성이나 강성의 정도를 조정하는 등에 의해, 좌굴 등을 방지하면서 선단측의 이동부의 움직임에도 추종할 수 있도록 하고 있었다. 그러나, 특허문헌 1에 기재된 종래 예에서는 상기한 장척체(띠상 물체)의 두께 여하에 의해 U자상의 만곡부에 생기는 반발력에 의해 U자상의 띠상 물체의 대향하는 면끼리의 거리가 커지기 때문에 왕복 이동 기구의 수용을 위한 공간 절약화가 곤란했다. 또한, 한정된 공간에서의 케이블이나 튜브의 배선·배관은 장치의 스테이지와의 접촉에 기인하는 케이블 등의 강성에 의한 부하의 문제가 생긴다. 즉, 케이블 등의 강성에 의한 부하는 케이블 등의 중량 자체에 의한 부하와 비교하여, 왕복 이동 기구를 구동하는 모터 등의 가동 유닛에 대한 현저한 부하가 될 수 있으므로, 단순히 스테이지 정밀도를 유지하기 위한 것보다는 보다 큰 가동 유닛을 필요로 하게 되어, 결과적으로 칩 마운터 등의 장치의 중량 증가와 대형화로 이어진다.

한편, 상기 장척체(띠상 물체)를 코일 케이블(컬 코드)과 같은 구성으로 하면 유연성은 향상되지만, 코일 케이블(컬 코드)의 구성상 복수의 케이블을 병렬하는 것이 곤란함과 아울러, 코드가 미세하기 때문에 다회로나 대전류용으로 사용하는데 적합하지 않고 일 방향으로의 만곡의 방향성이 규제되지 않기 때문에, 왕복 이동에 의해 배선이 노출되어 버리는 경우가 있으므로, 동일하게 공간 절약화의 문제가 있었다. 또한, 소위 케이블 베어(등록상표) 등, U자 슬라이딩하는 캐터필러 모양의 플라스틱체에 케이블 등을 수납하여 이동시키는 종래 예도 있었지만, 플라스틱체가 부피가 커지고 캐터필러에 의한 진동·소음이 생기고, 또한 케이블이 스쳐서 먼지가 생기기 때문에 반도체 웨이퍼에의 칩 마운터에는 적합하지 않는 등의 문제가 있었다.

최근의 반도체 제조 장치를 비롯한 제조 기기는 태스크 향상을 위한 소형화·경량화·고속화가 요구되는 한편, 제조되는 제품의 다기능화·고기능화에 따른 고밀도화·고밀도화·클린화도 요구되고 있다. 그래서, 이러한 제조 기기의 왕복 이동 기구에 배선·배관되는 케이블·튜브 등의 장척체에도, 상기 요구를 보다 만족하는 품질이 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적은 전체로서의 강성은 유지하면서 길이 방향의 유연성을 향상시킴으로써 공간 절약화 및 왕복 이동 기구의 가동 유닛에 대한 부하를 저감시킬 수 있는 장척체를 제공하는 것이다.

본 발명자는 전체로서의 강성을 유지하면서 길이 방향의 유연성을 갖는 장척체의 구조를 예의연구한 결과, 왕복 이동 기구의 동작에 따른 장척체의 전체 형상의 동적인 변화에 착안하여 미리 장척체에 우회부를 형성해 둠으로써, 상기한 장척체의 만곡부에 생기는 반발력을 완화하여 길이 방향의 유연성을 부여할 수 있는 것을 발견했다.

즉, 상기 목적 달성을 위해서, 본 발명의 장척체는 적어도 길이 방향의 일부분이 만곡된 상태에서 길이 방향의 일단측과 타단측이 각각 왕복 이동 기구의 고정부와 제 1 이동부간 또는 제 1 및 제 2 이동부 상호간에 배치되어 사용되는 전체로서 탄성을 갖는 단선상 또는 띠상의 장척체이고, 길이 방향 이외의 한 방향으로 우회하는 우회부를 갖는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 우회부란 장척체의 길이 방향에 있어서 부분적, 연속적, 단속적으로 장척체의 길이 방향과는 다른 소정의 방향으로 우회하도록 성형된 부분을 가리키고, 장척체의 길이 방향이란 다른 불특정 무수의 방향으로 우회하도록 구성, 예를 들면 전술한 코일 케이블(컬 코드)과 같이 장척체의 전체 형상이 나선상으로 형성된 것은 제외한 것이다. 이러한 구성에 의하면, 장척체에 성형된 우회부에 의해 장척체의 일단으로부터 타단까지의 길이 방향에 따른 길이가 우회부가 성형되지 않은 단선상 또는 띠상의 장척체(예를 들면, 인용문헌 1의 플랫 케이블)의 일단으로부터 타단까지의 길이와 비교하여 길어지므로, 제 1 또는 제 2 이동부의 이동에 의한 만곡에 대하여 장척체의 만곡부에 있어서 작용하는 역점과 작용점의 거리가 길어진다. 이에 따라, 반발력을 장척체의 일부에 집중시키지 않고 우회부로 벗어나는 것이 가능하게 되므로, 만곡에 대하여 발생하는 반발력이 저감됨으로써 장척체의 길이 방향의 유연성을 높이는 것으로 왕복 이동 기구의 수용을 위한 공간 절약화를 실현하기 쉬워지고, 또한 왕복 이동 기구의 가동 유닛에 대한 부하도 저감시킬 수 있다. 또한, 길이 방향 이외의 한 방향이란 장척체의 길이 방향과는 다른 방향에 대하여 한 방향의 범위내에서 우회하는 것이고, 이것은 코일 케이블과 같이 다방향으로 우회함으로써 그 다방향 각각에 유연성을 갖게 하는 것이 아니라, 어디까지나 한 방향으로만 유연성을 향상시킬 수 있도록 구성한 상태를 가리킨다. 이에 따라, 전술한 코일 케이블에서는 그 유연성에 있어서도 만곡의 방향성이 규제되지 않는 문제에 의해 케이블이 노출되어 공간 절약화가 달성되지 않는다는 과제에 대하여, 상기 구성에 의하면 한 방향으로만 유연성을 확보할 수 있고 케이블 등이 노출되지 않아 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 왕복 이동 기구의 상기 제 1 및/또는 제 2 이동부는 왕복 이동 가능한 것이 바람직하고, 또한 상기 우회부는 제 1 또는 제 2 이동부의 이동에 따른 만곡부의 만곡에 있어서, 굽힘 모멘트가 최대가 되는 장소에 성형되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 만곡시의 응력을 만곡 부분에 집중시키지 않고 가장 효과적으로 우회부로 벗어나게 하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태의 왕복 이동 기구를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태의 장척체에 있어서의 우회부가 반발력을 완화하는 기서(원리)를 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태의 장척체에 있어서의 우회부의 성형 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 장척체에 있어서의 우회부의 가공 형태(위치 및 개수)를 변경한 샘플마다 왕복 이동 기구의 이동부의 이동 전, 중간 위치, 이동 후의 3단계에 있어서의 장척체의 만곡 상태의 변화를 나타내는 도이고, (a)는 비교예로서 미처리(우회부를 성형 가공하지 않는 것), (b)는 상부에만 가공한 것, (c)는 중간부에만 가공한 것을 각각 나타낸다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 장척체에 있어서의 우회부의 가공 형태(위치 및 개수)를 변경한 샘플마다 왕복 이동 기구의 이동부의 이동 전, 중간 위치, 이동 후의 3단계에 있어서의 장척체의 만곡 상태의 변화를 나타내는 도이고, (d)는 하부에만 가공한 것, (e)는 상하에 각각 가공한 것, (f)는 전체적으로로 복수(도에서는 상중하에 각각) 가공한 것을 각각 나타낸다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 장척체에 있어서의 우회부의 가공 형태(위치 및 개수)를 변경한 도 4 및 도 5의 샘플마다 왕복 이동 기구의 이동부의 이동 거리와 장척체의 이동부에 가해지는 응력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시형태를 모식적으로 나타내는 도이다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서, 장척체에 있어서의 우회부의 가공 형태(개수)를 변경한 샘플마다 왕복 이동 기구의 이동부의 이동 거리와 장척체의 이동부에 가해지는 응력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태의 왕복 이동 기구에 가이드를 더 설치한 왕복 이동 기구를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태의 장척체의 구성의 일례이고, 복합 전기 케이블, 광파이버 케이블, 동축 케이블 및 에어 튜브의 조합으로 이루어지는 장척체의 일례를 나타낸다.
도 11은 본 발명의 실시형태의 우회부의 측단면 형상의 일례를 모식적으로 나타내는 도이다.
도 12는 본 발명의 적재 부재의 일례를 모식적으로 나타내는 도이다. (a)는 정면도이고, (b)는 사시도이다.
도 13은 본 발명의 장척체와 적재 부재의 움직임을 나타내는 도이다.

이하에 설명하는 실시형태는 특허청구의 범위에 의한 발명을 한정하는 것은 아니고, 또한 실시형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합 모두가 본 발명의 성립에 필수적이라고는 할 수 없다. 도 1은 본 발명의 제 1 실시형태의 왕복 이동 기구를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 본 실시형태의 왕복 이동 기구는, 예를 들면 칩 마운터의 모터 등으로 구동되는 가동 유닛으로서의 X-Y의 2축으로 왕복 이동하는 기구의 이동부와 고정부 사이에 배치되어 사용되는 것이고, 전기 케이블이나 에어의 유로가 되는 튜브 등을 조합시킨 전체로서 탄성을 갖는 띠상체로서 구성된다. 단, 이하의 설명에서는 그 왕복 이동 기구의 요부만을 모식적으로 나타내고, 스테이지, 피더, 모터 등 실제의 칩 마운터가 구비하는 것 이외의 구성은 생략하고 있다. 또한, 왕복 이동 기구의 X축 방향의 이동에 관해서만 설명하고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 왕복 이동 기구(100)는 고정부(102), X축 방향(지면의 좌우측 방향)으로 이동 가능한 이동부(104), 및 장척체(10)를 갖고 있고, 동 도에 있어서는 이동부(104)의 이동의 초기 상태를 나타내고 있다. 이동부(104)는 슬라이드 가이드(106)에 따라 화살표로 나타내는 X축 방향으로 왕복 이동(슬라이딩)한다. 장척체(10)는 폴리우레탄제의 튜브를 복수개(본 실시형태에서는 3개) 서로 융착함으로써 전체로서 탄성을 갖는 띠상의 것이고, 길이 방향의 일부분(10P)이 만곡된 상태에서 길이 방향의 일단측(10M)과 타단측(10F)이 각각 왕복 이동 기구(100)의 고정부(102)와 이동부(104) 사이에 세로 상태(폭 방향의 한면이 설치면과 접하는 상태)로 배치되어 사용된다. 본 실시형태의 장척체(10)는 길이 방향의 일단측(10M)이 지면 상의 좌우측 방향으로 신장되도록 고정부(102)에 고정·배치됨과 아울러, 타단측(10F)이 지면 상의 전후 방향으로 신장되도록 이동부(104)에 고정·배치되어 있다.

여기서, 본 실시형태의 큰 특징으로서, 장척체(10)는 길이 방향 이외의 소정의 한 방향으로 성형된 우회부(20)를 갖고 있다. 우회부(20)는 왕복 이동 기구(100)에 배치되어 사용되기 전의 장척체(10)가 제작될 때에 후술하는 제작 방법에 의해 미리 성형 가공되는 것이고, 왕복 이동 기구(100)에 배치되어 사용될 때에 도 1에 나타내는 바와 같이 상기한 일부분(10P)에 있어서의 이동부(104)측의 일단부에 있어서, 장척체(10)의 만곡에 대하여 내측 방향을 향하여 우회하도록 성형되어 있다. 또한, 본 발명은 상기 구성으로 한정되지 않고, 왕복 이동 기구(100)의 고정부(102)와, 이동부(104)와, 일단이 고정부(102)에 접속되어 타단이 이동부(104)에 접속되는 단선상 또는 띠상의 장척체(10)에 의해 구성되는 모듈을 대상으로 하고, 장척체(10)는 만곡부를 가짐으로써 전체 형상이 U자상·C자상·S자상 등이면 좋고, 또한 그 길이 방향 이외의 한 방향으로 우회하는 우회부(20)를 갖고 있으면 좋다. 여기서, 만곡부란 고정부(102)와 이동부(104) 사이에 배치된 단선상 또는 띠상의 장척체(10) 전체의 U자상·C자상·Ｓ자상 등에 있어서의 만곡한 부분의 레이아웃에 해당한다. 또한, 우회부(20)는 그 단선상 또는 띠상의 장척체(10)의 일부에 성형되고, 이에 따라 장척체(20)의 길이 방향의 길이의 총 거리가 길어져 있는 부분에 해당한다. 또한, 우회부(20)는 장척체(10) 전체의 U자상·C자상·S자상 등의 만곡부에 있어서, 이동부(104)의 이동에 따라 굽힘 모멘트가 보다 커지는 장소에 성형하는 것이 바람직하고, 또한 굽힘 모멘트가 최대가 되는 장소에 성형함으로써 유연성의 점에서 가장 높은 효과가 얻어진다. 구체적으로는 제 1 실시형태의 장척체(10)가 나타내는 바와 같이 이동부(104)에 의해 가까운 장소에 우회부(20)를 성형하는 것이 바람직하다. 이것은 이동부(104)에 접속·고정된 장척체(10)에 걸리는 굽힘 모멘트(M)로부터 도출해낸 것이다. 즉, 장척체(10)의 일단부인 고정부(102)측의 끝부에 있어서는 접속·고정으로 하는 형태로 일정한 힘(P)이 걸려 있고, 이동부(104)로부터의 거리(X)와의 관계에 있어서는 M=PX라고 하는 관계식이 성립되고, 상기한 바와 같이 힘(P)은 일정하기 때문에 굽힘 모멘트(M)가 최대가 되는 위치로 하는 것은 이동부(104)로부터 고정부(102)에 이르기까지의 장척체(10) 전체의 길이가 된다. 즉, 제 1 실시형태의 장척체(10)에 있어서는 이동부(104)에 의해 가까운 위치에 우회부(20)를 설치함으로써, 보다 효과적으로 상기 유연성의 효과를 얻을 수 있다(도 5 및 도 6의 샘플 4 참조).

여기서, 본 발명의 장척체(10)에 있어서의 우회부(20)가 반발력을 완화하는 기서(원리)에 대해서 설명해 둔다. 도 2는 본 발명의 제 1 실시형태의 장척체에 있어서의 우회부가 반발력을 완화하는 기서(원리)를 설명하기 위한 개념도이다. 여기서, 도 2(a)는 전술한 우회부(20)가 정형되지 않은 단순한 플랫 튜브의 일부분을 나타내고 있고, 이에 대하여 도 2(b)는 장척체(10)의 일부분인 우회부(20)만을 모식적으로 나타내고 있다. 도 2(a) 및 동 도 (b)에 있어서는 지점(11)과 역점(굽힘의 힘의 작용점)(12, 14)에 부호를 붙여 나타내고 있고, 양쪽 도에 있어서의 역점(12, 14) 사이의 거리는 서로 동일하다. 동 도에 나타내는 바와 같이 지점(11)·역점(굽힘의 힘의 작용점)(12 또는 14) 사이의 거리를 생각해 보면, 우선 도 2(a)에 나타내는 바와 같이 우회하지 않는 형상, 다시 말하면 직선적으로 자란 상태의 장척체(10)의 일단(역점)(12)과 타단(역점)(14)에 화살표 방향의 힘이 가해지면, 지레의 원리에서는 지점(11)·역점(굽힘의 힘의 작용점)(12 또는 14) 사이의 거리(d1)와 힘(F1)의 곱(d1×F1)의 굽힘 응력이 장척체(10)에 작용한다.

이에 대하여, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 일단(역점)(12)과 타단(역점)(14) 사이의 직선적인 거리는 도 2(a)과 동일하고, 우회하고 있는(만곡하고 있는) 형상의 장척체(10)의 일단(역점)(12)과 타단(역점)(14)에 화살표 방향의 힘이 가해지는 경우에는 지점(11)·역점(굽힘의 힘의 작용점)(12 또는 14) 사이의 거리(d2)와 힘(F2)의 곱(d2×F2)의 굽힘 응력이 장척체(10)에 작용한다. 이 경우, d1×F1=d2×F2가 성립하므로 도 2(a)에 나타내는 경우와 비교하여, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 지점(11)·역점(굽힘의 힘의 작용점)(12 또는 14) 사이의 거리가 크면(d2>d1) 작용점, 즉 장척체(10)의 일단(역점)(12)과 타단(역점)(14)에 있어서의 굽히는 힘은 작게 완료된다. 반대로, 장척체(10)의 우회부(20)의 일단(역점)(12)과 타단(역점)(14)에 작용하는 반발력도 작게 완료되어, 각각에 접속된 왕복 이동 기구(100)의 이동부(102)와 고정부(104)에 가해지는 부하도 작게 완료된다. 이와 같이, 지레의 원리(d1×F1=d2×F2)에 의해, 우회부(20)가 형성된 부분을 스폿으로서 보았을 경우에 지점(11)과 작용점(12 또는 14)의 거리가 커지기 때문에 응력이 저감된다.

또한, 장척체 전체로서 보았을 경우에 대해서, 도 2(c) 및 동 도 (d)를 사용하여 설명한다. 도 2(c)는 전술한 우회부(20)가 성형되어 있지 않다고 가정했을 경우의 장척체를 개념적으로 직선적으로 신장시킨 도이다. 이에 대하여, 도 2(d)는 제 1 실시형태의 장척체(10)를 동일하게 신장시킨 도이다. 이들 도에 있어서도, 전술한 도 2(a) 및 도 2(b)과 같이 지점(11), 역점(굽힘의 힘의 작용점)(12, 14)을 나타내고, 역점(12, 14) 사이의 거리는 서로 같다. 이것에 의하면, 도 2(c)에 있어서의 역점(굽힘의 힘의 작용점)(12)으로부터 지점(11)까지의 거리의 길이(D1)보다, 도 2(d)에 나타내는 바와 같이 우회부(20)가 형성되어 있을 경우의 일단(측)으로부터 타단(측)까지의 거리의 길이(D2)가 커진다(D1<D2). 따라서, 장척체 전체로서 보았을 경우에도 우회부(20)가 형성됨으로써 장척체(10)의 총 거리가 커지기 때문에, 지레의 원리(D1×F3=D2×F4)에 의해 유연성은 향상된다.

이상을 근거로 하여, 도 1의 왕복 이동 기구(100)에 있어서 동 도의 초기 위치로부터 이동부(104)가 X축 방향(지면 상의 우측 방향)으로 이동하는 것에 따라, 장척체(10)도 그 타단측(10F)으로부터 지면 상의 우측 방향으로 추종하는 형태로 이동한다. 그 때, 장척체(10)의 전체 형상에 있어서 발생하는 만곡한 부분에 대하여 굽힘 응력이 발생하지만, 상술한 기서(원리)에 의해 장척체(10)에 가해지는 굽힘 응력이 우회부(20)에 의해 분산되어 장척체(10) 전체로서의 대향하는 이면간의 반발력이 저감된다. 이에 따라, 장척체(10)에 가해지는 응력을 저감시키면서 유연성을 향상시킬 수 있으므로, 왕복 이동 기구의 수용을 위한 공간 절약화를 실현하기 쉬워지고, 또한 만곡부에 작용하는 응력을 저감시킬 수 있다.

이어서, 도 3을 이용하여 본 실시형태의 장척체(10)에 있어서, 우회부(20)를 성형하는 방법을 설명해 둔다. 동 도는 본 발명의 제 1 실시형태의 장척체에 있어서의 우회부의 성형 방법을 설명하기 위한 도이고, (a)는 가공용의 지그의 개략적인 사시도, (b)는 그 지그의 롤러의 사시도, (c)는 그 지그를 이용하여 우회부가 성형되는 형태를 상면으로부터 본 도이다. 즉, 본 실시형태의 장척체(10)에 우회부(20)를 굽힘 가공에 의해 성형하기 위해서는 도 3(a)에 나타내는 바와 같이 우회부 형성 전의 직선상의 장척체(10)를 가공용의 지그(30)의 플레이트(32)에 세로 상태로 통과시키고 복수의 롤러(34) 사이를 사행시킴으로써 우회부(20)를 형성한다. 또한, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 각 롤러(34)에는 장척체(10)를 구성하는 복수개의 튜브(10a)에 대응하는 홈(34a)이 소정의 수(본 실시형태에서는 3개)만 형성되어 있으므로 띠상의 장척체(10)를 구성하는 복수개의 튜브(10a) 전체에 우회부(20)를 성형할 수 있다. 그리고, 도 3(c)에 나타내는 바와 같이 가공용의 지그(30)의 플레이트(32) 상에서 우회부(20)가 형성된 상태 그대로, 예를 들면 어닐링 처리됨으로써 우회부(20)가 성형 가공된다. 또한, 어닐링 처리 이외에 의해 성형해도 좋은 것은 물론이다. 예를 들면, 본 실시형태에서는 직선상의 장척체를 굽힘 가공함으로써 우회부(20)를 성형했지만, 미리 우회부를 일체 성형하도록 해도 좋다. 또한, 우회부는 장척체의 전체에 걸쳐서 형성해도 좋고, 장척체의 일부분만을 형성해도 좋다. 또한, 복수의 우회부를 연속적으로 형성해도 좋고, 비연속적(이산적)으로 형성해도 좋다.

이어서, 도 4 또는 도 6을 이용하여 본 실시형태의 장척체에 의해 왕복 이동 기구의 고정부 등에 대한 부하가 어떻게 경감되는 것인지를 검증한 결과를 나타낸다. 도 4 및 도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 장척체(10)에 있어서의 우회부(20)의 가공 형태(위치 및 개수)를 변경한 샘플마다 왕복 이동 기구의 이동부의 초기 위치, 중간 위치, 최종 위치의 3단계의 위치에 있어서의 장척체(10)의 만곡 상태의 변화를 나타내는 도이고, 도 4(a)는 비교예로서 미처리(우회부를 성형 가공하지 않는 것, 이하 샘플 1이라고 함), 도 4(b)는 상부에만 가공한 것(이하, 샘플 2라고 함), 도 4(c)는 중간부에만 가공한 것(이하, 샘플 3이라고 함)을 각각 나타낸다. 또한, 도 5(d)는 하부에만 가공한 것(이하, 샘플 4라고 함), 도 5(e)는 상하에 각각 가공한 것(이하, 샘플 5라고 함), 도 5(f)는 전체적으로 복수(도에서는 상중하에 각각) 가공한 것(이하, 샘플 6이라고 함)을 각각 나타낸다. 도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서, 장척체로 있어서의 우회부의 가공 형태(위치 및 개수)을 변경한 도 4 및 도 5의 샘플마다 왕복 이동 기구의 이동부의 이동 위치(거리)와 장척체의 이동부(104)에 가해지는 응력과의 관계를 나타내는 그래프이다. 즉, 샘플 1 내지 6의 각종 샘플을 제작하고, 각각 이동부(104)의 직선 이동에 따른 동적 형상의 변화를 관찰함과 아울러, 이동부(104)에 가해지는 응력을 측정했다.

도 4에 나타내는 왕복 이동 기구의 배치 및 스페이스에 있어서는, 우선 미처리(우회부 없음)의 샘플 1에서는 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 이동부(104)의 초기 위치에서는 장척체(10)는 이동부(104)에 가까운 측(10NM)과 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 각각 직선 형상으로 가까워 중간부(10H)가 만곡한 전체로서 거의 C자상이다. 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)에 가까운 측(10NM)은 역 방향으로 조금씩 만곡하기 시작하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 완만한 역 C자상으로 변화한다. 한편, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)의 초기 위치의 때보다 직선 부분이 길어지고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 이동부(104)의 초기 의 때보다 직선 부분이 짧아진다. 즉, 이동부(104)의 이동에 따라서 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 그 직선 부분이 신장하여 반대로 단축하는 직선 운동을 할 뿐 거의 만곡하지 않는다. 또한, 중간부(10H)는 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)의 초기 위치의 때보다 같은 방향으로의 만곡 정도가 증가하고(곡률이 커지고), 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 완만한 C자상으로 변화한다(10NM과는 역 방향의 C자상). 따라서, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면, 중간부(10H)와 이동부(104)에 가까운 측(10NM)의 양쪽 부분에서 완만한 S자상으로 만곡한 상태가 된다.

이어서, 상부 가공의 샘플 2에서는 도 4(b)에 나타내는 바와 같이 이동부(104)의 초기 위치에서는 장척체(10)는 고정부(102)에 가까운 측(10NF)에 파상의 우회부(20)를 갖는 것 이외에는 도 4(a)에 나타내는 샘플 1과 거의 마찬가지로, 전체로서 거의 C자상이다. 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)에 가까운 측(10NM)은 역 방향으로 조금씩 만곡하기 시작하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 역 C자상으로 변화한다. 한편, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 이동부(104)가 중간 위치까지 이동해도 이동부(104)의 초기 위치의 때와 거의 변화없고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 파상의 우회부(20)의 위치가 낮아져 작은 S자상을 보인다. 또한, 중간부(10H)는 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 く자상으로 만곡하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 C자상으로 변화한다(10NM과는 역 방향의 C자상). 따라서, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 중간부(10H)와 이동부(104)에 가까운 측(10NM)의 양쪽 부분에서 S자상으로 만곡한 상태가 된다.

이어서, 중간부 가공의 샘플 3에서는 도 4(c)에 나타내는 바와 같이 이동부(104)의 초기 위치에서는 장척체(10)는 중간부(10H)에 파상의 우회부(20)를 갖는 것 이외에는 도 4(a)에 나타내는 샘플 1과 거의 마찬가지로, 전체로서 거의 C자상이다. 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)에 가까운 측(10NM)은 역 방향으로 기울기가 커지고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 역 방향으로 뒤로 휘어진 형상이 된다. 한편, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)의 초기 위치의 때보다 직선 부분이 길어지고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 이동부(104)의 초기 위치의 때보다 직선 부분이 짧아진다. 즉, 이동부(104)의 이동에 따라서, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 그 직선 부분이 신장하여 반대로 단축하는 직선 운동을 할뿐 거의 만곡하지 않는다.

이어서, 하부 가공의 샘플 4에서는 도 5(d)에 나타내는 바와 같이 이동부(104)의 초기 위치에서는 장척체(10)는 이동부(104)에 가까운 측(10NM)에 파상의 우회부(20)를 갖는 것 이외에는 도 4(a)에 나타내는 샘플 1과 거의 마찬가지로 전체로서 거의 C자상이다. 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)에 가까운 측(10NM)은 그 우회부(20)가 왼쪽으로 선회하도록 약간 상승하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 그 우회부(20)의 위치는 상기 중간 위치의 때보다 거의 변화없이 그 개구부가 좁아진 상태가 된다. 한편, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)의 초기 위치의 때보다 직선 부분이 길어지고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 이동부(104)의 초기 위치의 때보다 직선 부분이 짧아진다. 즉, 이동부(104)의 이동에 따라서, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 그 직선 부분이 신장하여 반대로 단축하는 직선 운동을 할뿐 거의 만곡하지 않는다. 또한, 중간부(10H)는 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 크게 완만한 C자상으로 만곡하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 그 C자상부의 하반부의 기울기가 없어져 이동부(104)에 가까운 측(10NM)의 일부와 거의 직선상을 형성한다.

이어서, 상하부 가공의 샘플 5에서는 도 5(e)에 나타내는 바와 같이 이동부(104)의 초기 위치에서는 장척체(10)는 고정부(102)에 가까운 측(10NF)과 이동부(104)에 가까운 측(10NM)에, 각각 파상의 우회부(20U, 20L)를 갖는 것 이외에는 도 4(a)에 나타내는 샘플 1과 거의 마찬가지로 전체로서 거의 C자상이다. 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)에 가까운 측(10NM)은 그 우회부(20L)가 왼쪽으로 선회하도록 약간 상승하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 그 우회부(20L)의 위치는 상기 중간 위치의 때와 거의 변화없이 그 개구부가 좁아진 상태가 된다. 한편, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 이동부(104)가 중간 위치까지 이동해도 그 우회부(20U)의 위치와 형상은 상기 초기 위치의 때와 거의 변화없고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 파상의 우회부(20)의 위치가 낮아져 작은 S자상을 보인다. 또한, 중간부(10H)는 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 큰 C자상으로 만곡하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 그 C자상부가 왼쪽으로 선회하도록 기울어지고 그 C자상부의 하반부의 기울기가 없어져 이동부(104)에 가까운 측(10NM)의 일부로 완만한 만곡상을 형성한다.

이어서, 전체 가공의 샘플 6에서는 도 5(f)에 나타내는 바와 같이 이동부(104)의 초기 위치에서는 장척체(10)는 고정부(102)에 가까운 측(10NF), 중간부(10H), 이동부(104)에 가까운 측(10NM)에, 각각 파상의 우회부(20U, 20C1, 20C2, 20L)를 갖지만 전체로서 거의 C자상이다. 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 이동부(104)에 가까운 측(10NM)은 그 우회부(20L)가 왼쪽으로 선회하도록 약간 상승하고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 그 우회부(20L)의 위치는 상기 중간 위치의 때와 거의 변화없이 그 개구부가 좁아진 상태가 된다. 한편, 고정부(102)에 가까운 측(10NF)은 이동부(104)가 중간 위치까지 이동해도 그 우회부(20U)의 위치와 형상은 상기 초기 위치의 때와 거의 변화없고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 파상의 우회부(20U)의 위치가 낮아져 작은 S자상을 보인다. 또한, 중간부(10H)는 이동부(104)가 중간 위치까지 이동함에 따라서 그 파상의 우회부(20C1과 20C2)가 충돌하도록 복잡한 단풍나무상으로 변형되고, 이동부(104)가 최종 위치까지 이동하면 그 단풍나무상부가 왼쪽으로 선회하도록 기울어져 이동부(104)에 가까운 측(10NM)의 일부로 연속적인 우회부 군을 형성한다.

도 6은 상술한 실시형태에 있어서, 장척체로 있어서의 우회부의 가공 형태(위치 및 개수)를 변경한 도 4 및 도 5의 각 샘플 1∼6마다 왕복 이동 기구(100)의 이동부(104)의 이동 위치(거리)와 장척체의 이동부(104)에 가해지는 응력과의 관계를 나타내는 그래프이다. 도 6에 나타내는 바와 같이 이동거리가 0에서 100(mm)까지는 샘플 1∼6 모두 응력(kg)은 급각도로 상승한다. 이동 거리가 100(mm)에서 200(mm) 사이는 미처리 샘플 1 이외에서는 응력(kg)이 감소한다. 그 후, 이동 거리가 200(mm)에서 450(mm) 사이는 미처리 샘플 1 이외에서는 모두 응력(kg)이 비교적 낮은 값으로 억제되어 있다. 전체로서, 어느 장소에 우회부를 갖는 샘플 2∼6에서는 이동 거리가 100(mm)을 초과한 후에도 응력(kg)이 낮은 값으로 억제되어 있어 미처리의 샘플 1과 비교하여 대단히 양호한 성적을 얻을 수 있지만, 특히 하부 가공의 샘플 4, 상하부 가공의 샘플 5 및 전체 가공의 샘플 6에서는 상부 가공의 샘플 2 및 중간부 가공의 샘플 3 이상으로 양호한 성적을 얻을 수 있고, 적어도 하부 가공, 즉 이동부(104)에 가까운 측에 우회부를 갖는 것이 바람직하고, 또한 굽힘 모멘트가 보다 커지는 이동부(104) 부근에 성형하는 것이 가장 바람직하다는 것이 확인되었다.

이상과 같이, 본 실시형태의 장척체(10)는 길이 방향의 일부분이 만곡된 상태에서, 일단측과 타단측이 각각 왕복 이동 기구(100)의 고정부(102)와 이동부(104) 사이에 배치되어 사용되는 전체로서 탄성을 갖는 단선상 또는 띠상의 장척체이고, 길이 방향 이외의 방향으로 성형된 우회부(20)를 가짐으로 이동부(104)의 이동에 따라 장척체(10) 전체가 만곡함으로써 생기는 반발력을 장척체(10)의 일부에 집중시키지 않고 우회부(20)로 벗어나는 것이 가능하게 되므로, 장척체(10)의 길이 방향의 유연성을 높일 수 있고 이동부(104) 등에 가해지는 응력을 저감시키는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 왕복 이동 기구를 포함하는 모듈의 수용을 위한 공간 절약화를 실현하기 쉬워지고, 또한 왕복 이동 기구(100)의 도시되지 않은 모터 등의 가동 유닛에 대한 부하도 저감시킬 수 있다.

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태의 왕복 이동 기구를 모식적으로 나타내는 도이다. 본 실시형태의 왕복 이동 기구는 칩 마운터의 모터 등에서 구동되는 가동 유닛으로서, 그 이동부와 고정부 사이에 장척체가 배치되어 사용되는 것은 상술한 제 1 실시형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 참조 부호를 첨부하여 상세한 설명은 생략한다. 본 실시형태의 특징은 상술한 제 1 실시형태와 다르고, 왕복 이동 기구(200)의 레이아웃의 배치가 U자상이고 우회부가 2개 성형되어 있다. 또한, 장척체(10)의 이동부측의 끝부를 고정하는 방향이 제 1 실시형태와는 달리 X축 방향으로 고정되어 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 왕복 이동 기구(200)는 고정부(202), X축 방향으로 이동 가능한 이동부(104), 및 장척체(10)를 갖고 있다. 이동부(104)는 슬라이드 가이드(도시되지 않음)에 따라서 화살표로 나타내는 X축 방향으로 왕복 이동(슬라이딩)한다. 장척체(10)는 전체가 U자상으로 만곡된 상태에서, 길이 방향의 일단측(10M)과 타단측(10F)이 각각 왕복 이동 기구(200)의 고정부(102)와 이동부(104) 사이에 배치되어 사용된다. 본 실시형태의 장척체(10)는 길이 방향의 일단측(10M)이 지면상의 좌우측 방향으로 신장되도록 고정부(102)에 고정·배치됨과 아울러, 타단측(10F)도 지면상의 좌우측 방향으로 신장되도록 이동부(104)에 고정·배치되어 있다. 또한, 장척체(10)의 고정부(102) 근방 위치와 이동부(104) 근방 위치에 각각 우회부(20U, 20L)가 형성되어 있다.

본 실시형태에서도 장척체(10)에 의해 왕복 이동 기구(200)의 이동부(104)에 대한 부하가 어떻게 경감되는 것인지를 검증했으므로, 그 결과를 도 8에 나타낸다. 도 8은 본 실시형태의 장척체(10), 즉 도 7에 나타내는 우회부(20U, 20L)를 갖는 샘플 12와, 비교예로서 전체로서 마찬가지로 U자상으로 만곡하면서도 우회부를 형성하지 않는 샘플 11에 대해서, 왕복 이동 기구(200)의 이동부(104)의 이동 거리와 이동부(104)에 가해지는 응력과의 관계를 나타내는 그래프이다. 도 8에 나타내는 바와 같이 샘플 11에서는 응력(kg)은 이동 거리가 0에서 50(mm)까지는 급각도로 상승하고, 50에서 100(mm)까지는 비교적 완만한 각도로 상승한다. 그 후, 이동 거리가 100(mm)에서 250(mm) 사이는 응력(kg)은 거의 감소없고, 250(mm)을 초과하면 다시 상승하고 300(mm)을 초과하면 거의 0.20(kg)에 도달해버린다. 이에 대하여, 우회부(20U, 20L)를 갖는 샘플 12에서는 이동 거리가 0에서 100(mm)까지도 응력(kg)의 상승은 완만하고 0.08(kg) 미만으로 머무른다. 그 후, 이동 거리가 100(mm)에서 200(mm) 사이에 응력(kg)은 완만하게 감소하고, 200(mm)을 초과한 후도 거의 일정한 응력(kg)으로 유지되고 있다. 이와 같이, U자상의 레이아웃이어도, 장척체(10)에 우회부(20U, 20L)가 형성됨으로써 유연성이 향상되는 것이 확인되었다. 따라서, 이러한 U자상의 배치의 왕복 이동 기구(200)를 포함하는 모듈의 수용을 위한 공간 절약화를 실현하기 쉬워지고, 또한 왕복 이동 기구(200)의 도시되지 않은 모터 등의 가동 유닛에 대한 부하도 저감시킬 수 있다.

이어서, 본 발명의 제 3 실시형태에 관하여 설명한다. 도 9는 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태의 왕복 이동 기구에 가이드를 더 설치한 왕복 이동 기구(300)를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 상기 가이드를 설치한 점 이외의 기본적인 구성은 상술한 제 1 실시형태와 동일하고, 동일한 부분에는 동일한 참조 부호를 첨부하여 상세한 설명은 생략한다. 즉, 본 실시형태에서는 도 9에 나타내는 바와 같이 장척체(10)의 고정부(102)측의 일단부에는 장척체(10)의 X축 및 Y축 방향의 이동을 규제하기 위한 가이드(90)가 설치되어 있다. 이 가이드(90)는 가요성을 갖는 소재, 예를 들면 스테인레스강(SUS301EH)으로 구성된 판상의 가이드판(90A)과, 고밀도폴리에틸렌으로 구성된 전체 형상이 L자상으로 형성된 규제부(90B)로 구성되어 있다. 가이드판(90A)은 장척체(10)의 외측에 따른 상태에서 배치됨과 아울러, 일단부가 장척체(10)와 고정부(102)에 의해 협지되어 있다. 또한, 규제부(90B)은 L자상의 단척부(90b1)가 가이드판(90A)의 타단부에 부착할 수 있음으로써 L자상의 장척부(90b2)와 가이드판(90A)에 의해 장척체(10)를 협지하고 있다.

이에 따라, 이동부(104)의 이동에 따라서 장척체(10)의 길이 여하에 의해 발생하는 Y축 방향(지면 상하 방향)에 대한 장척체(10)의 좌우 흔들림이 규제되기 때문에 소망의 스페이스내에서의 사용을 보다 확실하게 행할 수 있고, 새로운 공간 절약화가 도모한다. 또한, 가이드(90)는 왕복 이동 기구(300)의 일부에 설치되는 것이고, 만일 장척체(10)의 Y축 방향의 이동을 규제하기 위해서 왕복 이동 기구(300)의 전체의 하부면에 판상의 가이드를 설치했을 경우와 비교해도, 보다 간단한 구성으로 공간 절약화를 달성할 수 있다.

또한, 이상의 실시형태에서는 도 1(도 9) 및 도 7에 나타내는 바와 같이 장척체(10)는 왕복 이동 기구(100(300) 또는 200)에 따라 세로로, 또한 C자상(또는 U자상)의 배치로 배치했지만, 장척제 전체의 배치는 C자상 및 U자상으로 한정되지 않고 S자상, 반원상이나 반타원상 등 이동 가능한 레이아웃이면 그 형상을 묻지 않는다. 또한, 장척체(10)는 왕복 이동 기구(100)의 고정부(102)와 이동부(104) 사이에 배치했지만, 고정부(102)가 아닌 제 1 이동부와 제 2 이동부로 이루어지는 2개의 이동부 사이에 배치하는 것이어도 좋다. 또한, 이상의 실시형태에서는 장척체(10)는 이동부가 X축 등의 일축에 따라 왕복 이동하는 기구에 배치하는 예에 관하여 설명했지만, 이동 기구의 움직임은 왕복 이동(운동)으로 한정되지 않고 이동부(제 1 및/또는 제 2 이동부)가, 예를 들면(장척체의 꼬임이 생기지 않는 범위에서) 주위 운동하는 등 다른 움직임을 하는 기구를 포함한다. 또한, 상기한 실시형태에서는 도 1에 나타내는 바와 같이 장척체(10)의 폭 방향의 면을 세로 형태에 관하여 설명했지만, 횡이어도 좋고, 중공에 배합되는 등 장척체의 폭 방향(및/또는 두께 방향)의 면이 칩 마운터 등의 장치의 주면과 접하지 않는 레이아웃이어도 좋다. 또한, 만곡되어 사용되는 띠(플랫)상의 장척체(10)에 대하여 우회부(20)를 성형했지만, 띠(플랫)상이 아니라 단선상의 장척체이어도 좋은 것은 물론이다. 또한, 우회부는 1개만이어도 좋고, 복수개이어도 좋고, 그 개수는 상관없지만 우회부끼리가 서로 충돌하여 악영향을 서로 미치지 않는 것이 바람직하다. 또한, 본 실시형태의 우회부(20)의 측단면 형상은 도 1 등에 나타내는 바와 같이 매끈매끈한 곡선을 그리는 Ω상이 것이지만 이로 한정되지 않고, 전술한 d1×F1=d2×F2의 관계식에 있어서 우회부를 형성하지 않는 장척체의 지점(11)과 역점(12, 14)의 거리(d1)보다 큰 거리(d2)를 갖도록 한 구성이면 좋고, 예를 들면 도 11(a)∼(d)에 나타내는 바와 같이 다양한 형상이 고려된다. 또한, 각 우회부의 크기가 상위하고 있어도 좋고, 예를 들면 하나의 우회부의 끝부(시작 장소)에 보다 작은 우회부를 형성하는 등도 가능하다. 또한, 장척체는 전기 케이블·광파이버 케이블·에어·액체 등의 유체를 흘리는 튜브 또는 고체를 삽입 통과하는 튜브이어도 좋다.

도 10은 본 발명의 다른 실시형태의 장척체(60)의 구성의 일례이고, 복합 전기 케이블, 광파이버 케이블, 동축 케이블 및 에어 튜브의 조합으로 이루어지는 장척체의 일례를 나타낸다. 즉, 다른 실시형태의 장척체(60)는, 예를 들면 3개의 복합 전기 케이블(62a)로 이루어지는 띠상 물체(62), 2개의 광파이버 케이블(64a)로 이루어지는 띠상 물체(64), 4개의 동축 케이블(66a)로 이루어지는 띠상 물체(66) 및 3개의 에어 튜브(68a)로 이루어지는 띠상 물체(68)의 조합으로 이루어지고, 도 10에서는 각 케이블이나 튜브끼리, 각 띠상 물체(62, 64, 66, 68)끼리를 이간하여 나타내고 있지만, 실제로는 거의 서로 접촉하도록 조합체로서 구성되어 있다. 또한, 각 케이블이나 튜브끼리는 서로 고정되거나 또는 일체 성형되어 있지만, 각 띠상 물체끼리는 고정되고 있지 않고 서로 슬라이딩 가능하다. 이와 같이, 본 발명의 장척체는 복수 개의 케이블이나 튜브로 이루어지는 띠상 물체끼리의 조합체에 의해 구성될 수 있다. 이 경우에도, 그 장척체(60)의 길이 방향 이외의 방향으로 우회부를 성형해 둠으로써 장척체(60) 전체로서 길이 방향의 유연성을 높일 수 있다. 또한, 우회부는 띠상 물체끼리를 조합시킨 장척체(60) 전체에 형성해도 좋고, 일부의 띠상부에만 형성해도 좋다. 예를 들면, 각 튜브의 외경이 크고 에어 내압 등 때문에 강성이 비교적 큰 에어 튜브(68a)로 이루어지는 띠상 물체(68)에만 우회부를 성형하도록 해도 좋다. 이 경우, 도 1 및 도 5 등에서 알 수 있듯이, 예를 들면 에어 튜브(68a)로 이루어지는 띠상 물체(68)가 내측에 이르도록 장척체(60)를 왕복 이동 기구 등에 배치하면 좋다.

도 12는 본 발명에 따른 적재 부재(110)를 나타낸다. 장척체를 중공에 배합하고 칩 마운터 등의 장치의 주면과 접하지 않는 레이아웃을 취하는 경우, 중력에 의해 늘어진 장척체의 일부분이 상기 주면과 스쳐서 발진될 수 있다. 장척체를 상기 적재 부재(110)의 연동부(112)에 탑재함으로써 장척체의 늘어짐은 방지할 수 있다. 접속부(111)는 왕복 이동 기구의 이동부에 적재 부재(110)를 접속시키는 것이다. 상기 연동부(112)는 왕복 이동 기구의 이동부의 운동에 따른 장척체의 변형에 연동하여 접속부(111)와의 상대적 위치 관계가 변화한다. 위치 결정 부재(113)는 장척체가 연동부(112)로부터 흘러 떨어지지 않도록 하는 스톱퍼이다. 또한, 적재 부재는 왕복 이동 기구의 고정부에 설치될 수도 있고, 접속부를 설치하지 않고 연동부를 왕복 이동 기구의 이동부 또는 고정부에 직접적으로 설치할 수도 있다. 도 13은 왕복 이동 기구에 있어서의 장척체(10) 및 적재 부재(110)의 움직임을 나타낸다. 도에서는 편의상 우회부의 기재를 생략하고 있다.

본 발명은 그 길이 방향의 일단측과 타단측이 각각 왕복 이동 기구의 고정부와 이동부간 또는 이동부 상호간에 배치되어 사용되는 장척체이면, 그 크기·재질·용도의 여하를 불문하고 광범위하게 적용 가능하다.

10 장척체, 20 우회부,
100 왕복 이동 기구, 102 고정부,
104 이동부, 106 슬라이드 가이드,
10P 일부분, 10M 일단측,
10F 타단측

Claims (9)

1. 적어도 길이 방향의 일부분이 만곡된 상태에서 사용되는 전체로서 탄성을 갖는 단선상 또는 띠상의 장척체로서,
   상기 장척체는, 일단부와, 상기 일단부에 대하여 상대적으로 이동 가능한 타단부와, 상기 일단부와 상기 타단부 사이에 위치하고, 상기 타단부의 이동에 따라, 만곡 형상을 형성하는 변형 가능 영역을 가지고,
   상기 장척체의 상기 변형 가능 영역에는, 상기 길이 방향 이외의 한 방향으로 우회하는 우회부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장척체.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 일단부 및/또는 상기 타단부는, 왕복 이동 가능한 것을 특징으로 하는 장척체.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 우회부는 상기 일단부 및/또는 상기 타단부의 이동에 따른 만곡부의 만곡에 있어서, 굽힘 모멘트가 최대가 되는 장소에 성형되는 것을 특징으로 하는 장척체.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 장척체는, 복수의 케이블이 병렬 배치된 플랫 케이블인 것을 특징으로 하는 장척체.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 우회부는, 상기 만곡의 내측을 향하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 장척체.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 우회부는, 어닐링 처리에 의해 성형 가공되어 있는 것을 특징으로 하는 장척체.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 장척체는, 전기 케이블, 유체 튜브 또는 광파이버 케이블 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 장척체.
8. 제 1 항에 기재된 장척체를 포함하는 케이블 등의 케이블 등 지지 장치로서,
   해당 케이블 등의 일부를 적재하는 적재 부재를 갖고, 해당 적재 부재가 해당 케이블 등의 움직임과 연동하는 것을 특징으로 하는 케이블 등 지지 장치.
9. 일단부와 타단부를 가지며, 전체적으로 탄성을 가진 직선 형상의 장척체를 준비하는 공정과,
   상기 직선 형상의 장척체의 상기 일단부와 상기 타단부 사이에, 상기 장척체의 길이 방향 이외의 일방향으로 우회하는 우회부를 형성하는 공정과,
   고정부와 상기 고정부에 대해 왕복 이동하는 이동부를 구비하는 왕복 이동기구의, 상기 고정부와 상기 이동부 사이에 상기 우회부가 형성된 상기 장척체를 배치하는 공정을 구비하는 반도체 제조장치의 제조방법으로,
   상기 장척체는, 상기 일단부와 상기 타단부 사이에 위치하고, 상기 이동부의 이동에 따라, 만곡 형상을 형성하는 변형 가능 영역이 형성되고, 상기 우회부는 상기 변형 가능 영역에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 제조방법.
   
   

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