TWI703786B - 長形體及纜線等支持裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之課題是提供可提高來回移動機構之台精確度也可減少對馬達之負荷而且適合多電路及大電流用也易省空間化之長形體。本發明為一種單線狀或帶狀長形體，是在長向之一部份彎曲之狀態下，其長向之一端側與另一端側分別配置於來回移動機構之固定部與移動部之間以供使用且全體具有彈性，其使用時彎曲之部份具有預先成形於其長向以外之一方向之迂迴部。

Description

長形體及纜線等支持裝置 發明領域

本發明是有關於一種纜線、管等具有彈性之長形體，舉例而言，其是有關於一種配置於在例如電子零件製造裝置等之機器人、機具、起重機、印刷機等之X-Y2軸等來回移動之機構的前端側之移動部與基端側的固定部之間之纜線、管等長形體。

發明背景

習知例如晶片安裝機等半導體製造裝置為了使吸附於噴嘴之晶片型電子零件移動至印刷基板、晶圓等之預定處並將其搭載於該處，而具有以馬達等驅動以在X-Y2軸等來回移動之機構。於此來回移動機構之前端側之移動部與基端側之固定部之間配置有電纜或作為空氣流路之管等具彈性的長形體，而構造成藉長形體依前端側之移動部之位置而彈性變形為彎曲狀等，可追隨前端側之移動部之動作。此種習知例在專利文獻1中，為了將電力或電信號傳輸至僅將扁平電纜彎成U字形而利用其屈曲來回運動的機器，乃藉構成於該扁平電纜加了彈性帶之長形體(帶狀物)， 而防止扁平電纜之挫曲。

先行技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本專利公開公報平9-56046號

發明概要

如此，習知藉原材料之選擇及組合，來調整長形體(帶狀物)全體之彈性或剛性之程度等，藉此，可防止挫曲等，也可追隨前端側之移動部之動作。然而，在專利文獻1記載之習知例中，由於因取決於上述長形體(帶狀物)之厚度而於U字形彎曲部產生的回彈力，U字形帶狀物之對向諸面之距離增大，故收容來回移動機構之省空間化並不易。而且在有限之空間之纜線或管的配線、配管產生因與裝置之台接觸而引起之纜線等之剛性造成之負荷的問題。即，比起因纜線等之重量本身造成之負荷，因纜線等之剛性造成之負荷可能為對驅動來回移動機構之馬達等可動單元之較顯著的負荷，故比起僅為了維持台精確度，需要更大之可動單元，結果，導致晶片安裝機等裝置之重量增加及大型化。

另一方面，當使上述長形體(帶狀物)為諸如捲線(coil cable)(捲繞電線(curl cord))之結構時，雖然可提高柔軟性，但在捲線(捲繞電線)之結構上，並不易並聯複數條纜線，而且由於電線細，故不適合用於多電路或大電流，另一方 面，由於未限制在一方向之彎曲的方向性，故有配線因來回移動而亂竄之情形，故同樣有省空間化之問題。又，也有所謂之電線電纜保護鏈條(註冊商標)等，於如U字滑動之履帶般的塑膠體收納纜線等而使其移動之習知例，但由於塑膠體體積大，而產生履帶所致之振動、噪音，且纜線摩擦而產生塵埃，故有不適合半導體晶圓用之晶片安裝器等之問題。

近年以半導體裝置為首之製造機器被要求用以提高工作之小型化、輕量化、高速化，另一方面，也被要求隨著製造之製品之多功能化、高功能化而生之高密度化、高精確度化、無塵化。是故，亦對於此種製造機器之來回移動機構配線、配管之纜線、管等長形體要求可更滿足上述要求之品質。

本發明是鑑於如上述之課題而發明，其目的在於提供一種長形體，該長形體藉維持全體之剛性並且提高長向之柔軟性而可省空間化及減低對來回移動機構之可動單元的負荷。

本案發明人致力研究維持全體之剛性且具有長向之柔軟性之長形體的構造，結果發現了著眼於依來回移動機構之動作之長形體全體形狀的動態變化，而預先於長形體成形迂迴部，藉此，可緩和在上述長形體之彎曲部產生之回彈力而賦予長向之柔軟性。

即，為了達成上述目的，本發明之長形體是單線 狀或帶狀長形體，在至少長向之一部份彎曲之狀態下，長向之一端側與另一端側分別配置於移動機構之固定部與第1移動部之間或第1及第2移動部彼此之間以供使用且全體具有彈性，其並具有於長向以外之一方向迂迴之迂迴部。

在此，上述迂迴部是指在長形體之長向中成形成部份、連續或斷續地於與長形體之長向不同之預定方向迂迴之部份，而於與長形體之長向不同之不特定無數之方向迂迴之結構、例如如前述捲線(捲繞電線)般長形體之全體形狀形成為螺旋狀之結構並不包括在內。根據此結構，因成形於長形體之迂迴部，長形體之一端至另一端之沿著長向的長度比未成形迂迴部之單線狀或帶狀長形體(例如引用文獻1之扁平電纜)之一端至另一端的長度長，藉此，對第1或第2移動部之移動所造成之彎曲，在長形體之彎曲部作用之力點與作用點的距離增長。藉此，由於可不使回彈力集中於長形體之一部份而釋放至迂迴部，故可減低對彎曲產生之回彈力，藉此，不僅可提高長形體之長向之柔軟性而易實現收容來回移動機構之省空間化，而且亦可減低對來回移動機構之可動單元之負荷。又，長向以外之一方向是指對與長形體之長向不同之方向在一方向之範圍內迂迴，這並非如捲線般藉於多方向迂迴而使該多方向分別具有柔軟性，而只是指構造成僅於一方向使柔軟性提高之狀態。藉此，相對於前述捲線因在其柔軟性上也不限制彎曲之方向性之問題而使纜線亂竄無法達成省空間化的課題，根據上述結構，可確保僅一方向之柔軟性，纜線等亦不致亂竄， 而可謀求省空間化。

又，來回移動機構之第1及/或第2移動部宜可來回移動，又，前述迂迴部宜為成形於在隨著前述第1或第2移動部之移動而產生之彎曲部的彎曲中彎曲力矩最大之處。根據此結構，可不使彎曲時之應力集中於彎曲部份，而可最有效地釋放至迂迴部。

10，60:長形體

10P:一部份

10M:一端側

10F:另一端側

10NM:接近移動部之側

10NF:接觸固定部之側

10H:中間部

11:支點

12:力點

14:力點

20，20C1，20C2，20L，20U:迂迴部

30:加工用夾具

32:板

34a:溝

62，64，66，68:帶狀物

62a:電纜

64a:光纖纜線

66a:同軸纜線

68a:氣管

90:導件

90A:導板

90B:限制部

90b1:短形部

100，200，300:來回移動機構

102:固定部

104:移動部

106:滑動導件

110:載置構件

111:連接部

112:連動部

113:定位構件

d1:距離

d2:距離

D1:距離之長度

D2:距離之長度

F1:力

F2:力

圖1是示意顯示本發明第1實施形態之來回移動機構之立體圖。

圖2(a)-圖2(d)是用以說明本發明第1實施形態之長形體之迂迴部緩和回彈力之機制(原理)的概念圖。

圖3(a)-圖3(c)是用以說明本發明第1實施形態之長形體之迂迴部之成形方法的圖。

圖4是依在本發明第1實施形態中改變了長形體之迂迴部之加工態樣(位置及個數)的各樣品顯示來回移動機構之移動部之移動前、中間位置、移動後之3階段的長形體之彎曲狀態的變化之圖，(a)顯示作為比較例之未處理(未加工成形迂迴部之樣品)樣品，(b)顯示僅於上部加工之樣品，(c)顯示僅於中間部加工之樣品。

圖5是依在本發明第1實施形態中改變了長形體之迂迴部之加工態樣(位置及個數)的各樣品顯示來回移動機構之移動部之移動前、中間位置、移動後之3階段的長形體之彎曲狀態的變化之圖，(d)顯示僅於下部加工之樣品，(e)顯示上下分別加工之樣品，(f)顯示全體複數(在圖中於上中下分 別)加工之樣品。

圖6是依在本發明第1實施形態中改變了長形體之迂迴部之加工態樣(位置及個數)之圖4及圖5的各樣品顯示來回移動機構之移動部之移動距離與施加於長形體之移動部之應力的關係之圖表。

圖7是示意顯示本發明第2實施形態之圖。

圖8是依在本發明第2實施形態中改變了長形體之迂迴部之加工態樣(個數)的各樣品顯示來回移動機構之移動部之移動距離與施加於長形體之移動部之應力的關係之圖表。

圖9是示意顯示在本發明第3實施形態中於第1實施形態之來回移動機構更設有導件之來回移動機構的立體圖。

圖10是本發明實施形態之長形體之結構的一例，是顯示由複合電纜、光纖纜線、同軸纜線及氣管之組合構成之長形體的一例。

圖11(a)-圖11(d)是示意顯示本發明實施形態之迂迴部之側截面形狀之一例的圖。

圖12是示意顯示本發明之載置構件之一例的圖。(a)是正面圖，(b)是立體圖。

圖13是顯示本發明之長形體與載置構件之動作的圖。

用以實施發明之形態

以下說明之實施形態並非要限定申請專利範圍之發明，在實施形態中所說明之特徵之組合不見得全部均 對本發明之成立為必要。圖1是示意顯示本發明第1實施形態之來回移動機構的立體圖。此外，本實施形態之來回移動機構是以帶狀體構成，該帶狀體是配置於作為以晶片安裝機之馬達等驅動之可動單元而在X-Y2軸來回移動的機構之移動部與固定部之間以供使用，並組合有電纜及作為空氣流路之管等且全體具有彈性。惟，在以下之說明中，僅示意顯示該來回移動機構之主要部份，台、進料器、馬達等實際之晶片安裝機具有之其他結構則省略。又，僅就來回移動機構之X軸方向之移動說明。

如圖1所示，本實施形態之來回移動機構100具有固定部102、可於X軸方向(紙面之左右方向)移動之移動部104、及長形體10，在該圖中，顯示移動部104之移動之初始狀態。移動部104沿著滑動導件106，於以箭號所示之X軸方向來回移動(滑動)。長形體10為藉將複數條(在本實施形態為3條)聚胺甲酸酯製管相互熔融而全體具有彈性之帶狀，其在長向之一部份10P彎曲之狀態下長向之一端側10M與另一端側10F分別以直立之狀態(寬度方向之一面與設置面接觸之狀態)配置於來回移動機構100之固定部102與移動部104之間以供使用。本實施形態之長形體10之長向之一端側10M以於紙面上之左右方向延伸之狀態固定、配置於固定部102，並且另一端10F以於紙面上之前後方向延伸之狀態固定、配置於移動部104。

在此，本實施形態之大特徵是長形體10具有成形於長向以外之預定一方向之迂迴部20。迂迴部20是在製作 配置於來回移動機構100以供使用之前的長形體10時，以後述之製作方法預先成形加工，其成形成於配置於來回移動機構100以供使用時，如圖1所示，在上述一部份10P之移動部104側之一端部，朝對長形體10之彎曲往內之方向迂迴。此外，本發明不限於上述結構，只要以以來回移動機構100之固定部102、移動部104、一端連接於固定部102且另一端連接於移動部104之單線狀或帶狀長形體10構成的組件為對象，且長形體10藉具有彎曲部而全體形狀呈U字形、C字形、S字形等即可，再者，只要具有於其長向以外之一方向迂迴之迂迴部20即可。在此，彎曲部相當於在配置於固定部102與移動部104之間之單線狀或帶狀長形體10全體之U字形、C字形、S字形等之彎曲的部份之佈置。又，迂迴部20成形於該單線狀或帶狀長形體10之一部份，藉此，相當於長形體20之長向之長度的總距離增長之部份。此外，迂迴部20宜成形在長形體10全體之U字形、C字形、S字形等之彎曲部中彎曲力矩隨著移動部104之移動增大之處，進而，藉成形於彎曲力矩最大之處，在柔軟性方面，可獲得最高之效果。具體而言，如第1實施形態之長形體10所示，宜於較接近移動部104之處成形迂迴部20。此是從施加於連接、固定於移動部104之長形體10的彎曲力矩M導出。即，在為長形體10之一端部之固定部102側之端部，以連接、固定之形式施加了一定之力P，且在與距離移動部104之距離X之關係中，M=PX之關係式成立，如上述，由於力P為一定，故彎曲力矩M為最大之位置是從移動部104至固定部102之長 形體10全體之長度。即，在第1實施形態之長形體10中，藉於較接近移動部104之位置設迂迴部20，可更有效地獲得上述柔軟性之效果(參照圖5及圖6之樣品4)。

在此，就本發明之長形體10之迂迴部20緩和回彈力之機制(原理)說明。圖2是用以說明本發明第1實施形態之長形體之迂迴部緩和回彈力之機制(原理)的概念圖。在此，圖2(a)顯示未整形前述迂迴部20之單純扁管之一部份，相對於此，圖2(b)僅示意顯示為長形體10之一部份之迂迴部20。在圖2(a)及圖2(b)中，對支店11與力點(彎曲之力之作用點)12、14標示符號，兩圖之力點12、14之間的距離彼此相同。如該圖所示，當試著考量支點11、力點(彎曲之力之作用點)12或14間之距離時，首先，如圖2(a)所示，當對未迂迴之形狀、換言之為直線延伸之狀態之長形體10的一端(力點)12與另一端(力點)14施加箭號方向之力時，根據槓桿原理，支點11、力點12(彎曲之力之作用點)12或14間之距離d1與力F1之積(d1×F1)的彎曲應力作用於長形體10。

相對於此，如圖2(b)所示，一端(力點)12與另一端(力點)14間之直線距離與圖2(a)相同，當對迂迴(彎曲)形狀之長形體10之一端(力點)12與另一端(力點)14施加箭號方向之力時，支點11、力點(彎曲之力之作用點)12或14間之距離d2與力F2之積(d2×F2)的彎曲應力作用於長形體10。此時，由於d1×F1=d2×F2成立，故比起圖2(a)所示之情形，如圖2(b)所示，支點11與力點(彎曲之力之作用點)12或14間之距離較大(d2>d1)時，作用點、亦即長形體10之一端(力點)12 與另一端(力點)14之彎曲之力便較小。相對地，作用於長形體10之迂迴部20之一端(力點)12與另一端(力點)14之回彈力也較小，而施加於連接在各端之來回移動機構100之移動部102與固定部104的負荷也就較小。如此，由於因槓桿原理(d1×F1=d2×F2)，將形成有迂迴部20之部份當作點來看時，支點11與作用點12或14之距離增大，故可減低應力。

再者，就以長形體全體來看之情形，使用圖2(c)及圖2(d)來說明。圖2(c)是概念地直線延伸假定為未成形前述迂迴部20時之長形體的圖。相對於此，圖2(d)是同樣地延伸第1實施形態之長形體10之圖。在該等圖中，也與前述圖2(a)及圖2(b)同樣顯示支點11、力點(彎曲之力之作用點)12、14，力點12、14之間的距離彼此相同。根據此，比起圖2(c)之力點(彎曲之力之作用點)12至支點11之距離的長度(D1)，如圖2(d)所示，形成有迂迴部20時之一端(側)至另一端(側)之距離的長度(D2)較大(D1<D2)。因而，以長形體全體來看時，由於長形體10之總距離因形成有迂迴部20而增大，故根據槓桿原理(D1×F3=D2×F4)，柔軟性提高。

依據以上，在圖1之來回移動機構100中，隨著移動部104從該圖之初始位置往X軸方向(紙面上之右方向)移動，長形體10也以從其另一端側10F往紙面上之右方向追隨之形式移動。此時，雖然對在長形體10之全體形狀產生之彎曲的部份，產生彎曲應力，但根據上述機制(原理)，施加於長形體10之彎曲應力因迂迴部20而分散，長形體10全體之對向之二面間的回彈力減低。藉此，由於可減低施加於 長形體10之應力並且使柔軟性提高，故不僅可易實現收容來回移動機構之省空間化，而且可減低作用於彎曲部之應力。

接著，使用圖3來說明在本實施形態之長形體10中成形迂迴部20之方法。該圖是用以說明本發明第1實施形態之長形體之迂迴部之成形方法的圖，(a)是加工用夾具之概略立體圖，(b)是該夾具之輥之立體圖，(c)是從上面觀看使用該夾具成形迂迴部之態樣的圖。即，要以彎曲加工於本實施形態之長形體10成形迂迴部20是如圖3(a)所示，藉使形成迂迴部前之直線狀長形體10以直立之狀態通過加工用夾具30之板32，使其在複數個輥34間蜿蜒而形成迂迴部20。此外，如圖3(b)所示，由於於各輥34僅形成對應構成長形體10之複數條管10a之溝34a預定數(在本實施形態為3個)，故可於構成帶狀長形體10之複數條管10a全體形成迂迴部20。接著，如圖3(c)所示，藉在加工用夾具30之板32上形成了迂迴部20之狀態下，直接進行例如退火處理，可加工成形迂迴部20。此外，當然亦可以退火處理以外之方法成形。舉例而言，在本實施形態中，藉將直線狀長形體彎曲加工，成形了迂迴部20，亦可預先一體成型迂迴部。又，迂迴部亦可遍及長形體全體形成，亦可僅形成於長形體之一部份。又，可連續形成複數個迂迴部，亦可不連續(分離)地形成。

接著，使用圖4至圖6，顯示檢證了如何以本實施形態之長形體減輕對來回移動機構之固定部等之負荷的結果。圖4及圖5是依在本發明第1實施形態中改變了長形體10 之迂迴部20之加工態樣(位置及個數)的每個樣品顯示來回移動機構之移動部之初始位置、中間位置、最終位置這3階段位置的長形體10之彎曲狀態的變化之圖，圖4(a)顯示作為比較例之未處理樣品(未加工成形迂迴部之樣品，以下作為樣品1)，圖4(b)顯示僅於上部加工之樣品(以下作為樣品2)，圖4(c)顯示僅於中間部加工之樣品(以下作為樣品3)。又，圖5(d)顯示僅於下部加工之樣品(以下作為樣品4)，圖5(e)顯示上下分別加工之樣品(以下作為様品5)，圖5(f)顯示全體複數(在圖中於上中下分別)加工之樣品(以下作為樣品6)。圖6是依在本發明第1實施形態中改變了長形體之迂迴部之加工態樣(位置及個數)之圖4及圖5的每個樣品顯示來回移動機構之移動部之移動位置(距離)與施加於長形體之移動部104之應力的關係之圖表。即，製作樣品1至6各種樣品，觀察了各樣品隨著移動部104之直線移動而產生之動態形狀變化，並且測量了施加於移動部104之應力。

在圖4所示之來回移動機構之佈置及空間中，首先，未處理(無迂迴部)之樣品1如圖4(a)所示，在移動部104之初始位置，長形體10呈接近移動部104之側10NM與接近固定部102之側10NF分別近似直線形狀且中間部10H彎曲之全體大約C字形。隨著移動部104移動至中間位置，接近移動部104之側10NM開始往反方向漸漸彎曲，當移動部104移動至最終位置時，便變化成平緩之倒C字形。另一方面，接近固定部102之側10NF隨著移動部104移動至中間位置，直線部份比移動部104之初始位置時長，當移動部104移動 至最終位置時，直線部份則比移動部104之初始位置時短。即，隨著移動部104之移動，接近固定部102之側10NF僅進行其直線部伸長、相對地縮短之直線運動，而幾乎不彎曲。又，中間部10H隨著移動部104移動至中間位置，往相同之方向之彎曲程度比移動部104之初始位置時增加(曲率增大)，當移動部104移動至最終位置時，則變化成平緩之C字形(與10NM反向之C字形)。因而，當移動部104移動至最終位置時，形成在中間部10H與接近移動部104之側10NM兩部份彎曲成平緩之S字形的狀態。

接著，上加工之樣品2如圖4(b)所示，在移動部104之初始位置，長形體10除了於接近固定部102之側10NF具有波狀迂迴部20以外，其餘與圖4(a)所示之樣品1大約同樣地，全體呈大約C字形。隨著移動部104移動至中間位置，接近移動部104之側10NM開始往反方向漸漸彎曲，當移動部104移動至最終位置時，便變化成倒C字形。另一方面，接近固定部102之側10NF即使移動部104移動至中間位置，仍與移動部104之初始位置時幾乎無異，當移動部104移動至最終位置時，波狀迂迴部20之位置下降，而呈小S字形。又，中間部10H隨著移動部104移動至中間位置，彎曲成ㄑ字形)，當移動部104移動至最終位置時，則變更化成C字形(與10NM反向之C字形)。因而，移動部104移動至最終位置時，形成在中間部10H與接近移動部104之側10NM兩部份彎曲成S字形之狀態。

接著，中間加工之樣品3如圖4(c)所示，在移動 部104之初始位置，長形體10除了於中間部10H具有波狀迂迴部20以外，其餘與圖4(a)所示之樣品1同樣地全體呈大約C字形。隨著移動部104移動至中間位置，接近移動部104之側10NM往反方向之傾斜增大，當移動部104移動至最終位置時，則形成往反方向翹曲之形狀。另一方面，接近固定部102之側10NF隨著移動部104移動至中間位置，直線部份比移動部104之初始位置時長，當移動部104移動至最終位置時，直線部份則比移動部104之初始位置時短。即，隨著移動部104之移動，接近固定部102之側10NF僅進行其直線部份伸長、相對地縮短之直線運動，而幾乎不彎曲。

接著，下加工之樣品4如圖5(d)所示，在移動部104之初始位置，長形體10除了於接近移動部104之側10NM具有波形迂迴部20以外，其餘與圖4(a)所示之樣品1大約同樣地全體呈大約C字形。隨著移動部104移動至中間位置，接近移動部104之側10NM其迂迴部20向左旋轉而略為上升，當移動部104移動至最終位置時，其迂迴部20之位置與上述中間位置時幾乎無異，其開口部形成為變窄之狀態。另一方面，接近固定部102之側10NF隨著移動部104移動至中間位置，直線部份比移動部104之初始位置時長，當移動部104移動至最終位置時，直線部份則比移動部104之初始位置時短。即，隨著移動部104之移動，接近固定部102之側10NF僅進行其直線部份伸長、相對地縮短之直線運動，幾乎不彎曲。又，中間部10H隨著移動部104移動至中間位置，彎曲成極平緩之C字形，當移動部104移動至最終位置時，其 C字形部之下半之傾斜消失，而與接近移動部104之側10NM之一部份形成大約直線狀。

接著，上下加工之樣品5如圖5(e)所示，在移動部104之初始位置，長形體10除了於接近固定部102之側10NF及接近移動部104之側10NM分別具有波形迂迴部20U、20L以外，其餘與圖4(a)所示之樣品1大約同樣地全體呈大約C字形。隨著移動部104移動至中間位置，接近移動部104之側10NM其迂迴部20L向左旋轉而略為上升，當移動部104移動至最終位置時，其迂迴部20L之位置與上述中間位置時幾乎無異，其開口部形成為變窄之狀態。另一方面，接近固定部102之側10NF即使移動部104移動至中間位置，其迂迴部20U之位置及形狀與上述初始位置時幾乎無異，當移動部104移動至最終位置時，波狀迂迴部20之位置下降，呈小S字形。又，中間部10H隨著移動部104移動至中間位置，彎曲成大C字形，當移動部104移動至最終位置時，其C字形部傾斜成向左旋轉而傾斜，其C字形之下半之傾斜消失，與接近移動部104之側10NM之一部份形成平緩之彎曲狀。

接著，全體加工之樣品6如圖5(f)所示，在移動部104之初始位置，長形體10於接近固定部102之側10NF、中間部10H、接近移動部104之側10NM具有波形迂迴部20U、20C1、20C2、20L，全體呈大約C字形。隨著移動部104移動至中間位置，接近移動部104之側10NM其迂迴部20L向左旋轉而略為上升，當移動部104移動至最終位置時，其迂迴部20L之位置與上述中間位置時幾乎無異，其開口部形成為 變窄之狀態。另一方面，接近固定部102之側10NF即使移動部104移動至中間位置，其迂迴部20U之位置及形狀與上述初始位置時幾乎無異，當移動部104移動至最終位置時，波狀迂迴部20U之位置下降，呈小S字形。又，中間部10H隨著移動部104移動至中間位置，其波狀迂迴部20C1與20C2相撞而變形成複雜之楓葉狀，當移動部104移動至最終位置時，該楓葉狀部向左旋轉而傾斜，而與接近移動部104之側10NM之一部份形成連續之迂迴部群。

圖6是依在上述實施形態中改變了長形體之迂迴部之加工態樣(位置及個數)之圖4及圖5的各個樣品1~6顯示來回移動機構100之移動部104之移動位置(距離)與施加於長形體之移動部104之應力的關係之圖表。如圖6所示，在移動距離為0至100(mm)，樣品1~6皆是應力(kg)以陡峻角度上升。在移動距離為100(mm)至200(mm)之間，除了未處理之樣品1以外，其餘皆應力(kg)減少。之後，在移動距離為200(mm)至450(mm)之間，除了未處理之樣品1以外，其餘應力(kg)皆被抑制在較低之值。在全體任一處具有迂迴部之樣品2~6在移動距離超過100(mm)後，應力(kg)亦可被抑制在低值，比起未處理之樣品1，獲得了非常良好之成績，特別是下加工之樣品4、上下加工之樣品5及全體加工之樣品6比上加工之樣品2及中間加工之様品3獲得了更良好的成績，而確認了至少下加工、即接近移動部104之側宜具有迂迴部，進而，最宜成形於彎曲力矩較大之移動部104附近。

如以上，由於本實施形態之長形體10為在長向之 一部份彎曲之狀態下，一端側與另一端側分別配置於來回移動機構100之固定部102與移動部104之間以供使用且全體具有彈性之單線狀或帶狀長形體，且具有成形於長向以外之方向的迂迴部20，故可使因長形體10全體隨著移動部104之移動而產生之回彈力不集中於長形體10之一部份而釋放至迂迴部20，而可提高長形體10之長向之柔軟性，而可減低施加於移動部104等之應力。因而，不僅易實現收容包含此來回移動機構之組件之省空間化，而且亦可減低對來回移動機構100之圖中未示之馬達等可動單元的負荷。

圖7是示意顯示本發明第2實施形態之來回移動機構之圖。本實施形態之來回移動機構為以晶片安裝機之馬達等驅動之可動單元且於其移動部與固定部之間配置長形體以供使用之點與上述第1實施形態相同，同樣的部份標上相同之參照符號，而省略詳細之說明。本施形態之特徵與上述第1實施形態不同，來回移動機構200全體之佈置為U字形，並形成有2個迂迴部。又，固定長形體10之移動部側之端部的方向與第1實施形態不同，是固定於X軸方向。如圖7所示，本實施形態之來回移動機構200具有固定部202、可於X軸方向移動之移動部104及長形體10。移動部104沿著滑動導件(圖中未示)，於以箭號所示之X軸方向來回移動(滑動)。長形體10在全體彎曲成U字形之狀態下，長向之一端側10M與另一端側10F分別配置於來回移動機構200之固定部102與移動部104之間以供使用。本實施形態之長形體10之長向之一端側10M以於紙面上之左右方向延伸之狀態固 定、配置於固定部102，並且另一端10F也以於紙面上之左右方向延伸之狀態固定、配置於移動部104。又，於長形體10之固定部102附近位置與移動部104附近位置分別形成有迂迴部20U、20L。

由於本實施形態也驗證了如何以長形體10減輕對來回移動機構200之移動部104之負荷，故於圖8顯示其結果。圖8是就本實施形態之長形體10、即、具有圖7所示之迂迴部20U、20L之樣品12、作為比較例而全體同樣彎曲成U字形但未形成迂迴部之樣品11，顯示來回移動機構200之移動部104之移動距離與施加於移動部104之應力之關係的圖表。如圖8所示，樣品11在移動距離為0至50(mm)，應力(kg)以陡峻角度上升，在距離為50至100(mm)，應力以較平緩之角度上升。之後，在移動距離為100(mm)至250(mm)之間，應力(kg)幾乎無減少，當超過250(mm)時，又再上升，超過300(mm)時，到達大約0.20(kg)。相對於此，具有迂迴部20U、20L之樣品12在移動距離為0至100(mm)，應力(kg)之上升平緩，停留在不到0.08(kg)。之後，在移動距離為100(mm)至200(mm)之間，應力(kg)緩慢地減少，超過200(mm)後，也維持在大約一定之應力(kg)。如此，確認了即使為U字形佈置，因於長形體10形成迂迴部(20U、20L)，而仍可提高柔軟性。因而，不僅易實現收容包含此U字形佈置之來回移動機構200之組件的省空間化，也易減低對來回移動機構200之圖中未示之馬達等可動單元的負荷。

接著，就本發明第3實施形態作說明。圖9是示意 顯示在本發明第3實施形態中於第1實施形態之來回移動機構更設有導件之來回移動機構300的立體圖。除了設有上述導件之點以外之基本結構與上述第1實施形態相同，同樣的部份標上相同之參照符號，而省略詳細之說明。即，在本施形態中，如圖9所示，於長形體10之固定部102側之一端部設有用以限制長形體10之X軸及Y軸方向之移動的導件90。此導件90以以具可撓性之原材料、例如不鏽鋼(SUS301EH)構成之板狀導板90A及以高密度聚乙烯構成且全體形狀形成L字形之限制部90B構成。導板90A以沿著長形體10之外側之狀態配置，並且一端部以長形體10及固定部102夾持。又，限制部90B藉L字形短邊部90b1安裝於導板90A之另一端部，而以L字形長形部90b2及導板90A夾持長形體10。

藉此，由於可隨著移動部104之移動，限制取決於長形體10之長度而產生之長形體10對Y軸方向(紙面之上下方向)的橫搖，故可更確實地進行在所期空間內之使用，而謀求進一步之省空間化。又，導件90是設於來回移動機構300之一部份，若比起為了限制長形體10之Y軸方向之移動而於來回移動機構300全體之下面設板狀導件之情形，可以更簡易之結構，達成省空間化。

此外，在以上之實施形態中，如圖1(圖9)及圖7所示，長形體10沿著來回移動機構100(300)或200以直立且C字形(或U字形)之佈置配置，長形體全體之佈置不限於C字形及U字形，只要為S字形、半圓形、半橢圓形等可移動 之佈置，則其形狀不拘。又，長形體10配置於來回移動機構100之固定部102與移動部104之間，亦可不在固定部102，而配置於由第1移動部與第2移動部組成之2個移動部之間。再者，在以上之實施形態中，就長形體10配置於移動部沿著X軸等一軸來回移動之機構之例作了說明，移動機構之動作不限於來回移動(運動)，包含移動部(第1及/或第2移動部)進行例如(不產生長形體之扭曲之範圍)旋繞運動等其他動作的機構。又，在上述實施形態中，如圖1所示，就使長形體10之寬度方向之面為直立之形態作了說明，亦可為橫擺，亦可為配設成中空等長形體之寬度方向(及/或厚度方向)之面不與晶片安裝機等裝置之主面接觸的佈置。再者，對彎曲以供使用之帶(扁平)狀長形體10成形了迂迴部20，不為帶(扁平)狀而為單線狀長形體當然也可。此外，迂迴部可僅為1個，亦可為複數個，其個數不拘，以諸迂迴部不相撞而相互造成不良影響為佳。又，本實施形態之迂迴部20之側截面形狀如圖1等所示，為描繪平滑之曲線之Ω狀，但不限於此，只要為在前述d1×F1=d2×F2之關係式中，具有大於不形成迂迴部之長形體之支點11與力點12、14之距離(d1)的距離(d2)之結構即可，舉例而言，如圖11(a)~(d)所示，可考慮各種形狀。又，各迂迴部之大小亦可不同，例如亦可於一個迂迴部之端部(開始處)形成更小之迂迴部等。再者，長形體亦可為電纜、光纖纜線、供空氣、液體等流體流動之管或供固體插通之管。

圖10是本發明另一實施形態之長形體60之結構 的一例，顯示由同軸纜線及氣管之組合構成之長形體之一例。即，另一實施形態之長形體60由例如由3條複合電纜62a組成之帶狀物62、由2條光纖纜線64a組成之帶狀物64、由4條同軸纜線66a組成之帶狀物66及3條氣管68a組成之帶狀物68的組合構成，在圖10中，將各纜線、諸管、各帶狀物62、64、66、68拉開間隔來顯示，實際以大約相互接觸之組合體構成。此外，各纜線或諸管相互固定，或一體成型，各帶狀物則未固定而可相互滑動。如此，本發明之長形體可以由複數條纜線及管構成之諸帶狀物之組合體構成。此時，也是藉於該長形體60之長向以外的方向成形迂迴部，而可提高長形體60全體長向之柔軟性。又，迂迴部可形成於組合有諸帶狀物之長形體60全體，亦可僅形成於一部份之帶狀部。舉例而言，亦可僅於由各管之外徑大且為了耐氣壓而剛性較大之氣管68a構成之帶狀物68成形迂迴部。此時，從圖1及圖5等可知，將長形體60於來回移動機構等配置成由氣管68a構成之帶狀物68可到達內側。

圖12顯示本發明之載置構件110。當採用將長形體配設成中空且不與晶片安裝機等裝置之主面接觸的佈置時，有因重力而下垂之長形體之一部份與前述主面摩擦而揚起灰塵之情形。藉將長形體搭載於前述載置構件110之連動部112，可防止長形體之下垂。連接部111使載置構件110連接於來回移動機構之移動部。前述連動部112與隨著來回移動機構之移動部之運動而產生之長形體的變形連動，與連接部111之相對位置關係產生變化。定位構件113為不致 使長形體從連動部112散落之制動器。此外，載置構件有安裝於來回移動機構之固定部之情形，也有不設連接部而直接將連動部安裝於來回移動機構之移動部或固定部之情形。圖13顯示來回移動機構之長形體10及載置構件110之動作。在圖中，為了方便而省略迂迴部之記載。

產業上之可利用性

本發明只要為其長向之一端側及另一端側分別配置於來回移動機構之固定部與移動部間或移動部彼此之間以供使用之長形體，不論其大小、材質、用途為何，皆可廣泛應用。

10:長形體

10P:一部份

10M:一端側

10F:另一端側

20:迂迴部

100:來回移動機構

102:固定部

104:移動部

106:滑動導件

Claims (7)

1. 一種纜線等支持裝置，具備有固定部、以及對於前述固定部之相對位置會變化的移動部，前述纜線等支持裝置具備有長形體，該長形體的一端與前述固定部連接，另一端與前述移動部連接，是單線狀或帶狀且整體具有彈性的長形體，在至少長向之一部份彎曲之狀態下使用，前述長形體含有可變形區域，該可變形區域可在前述固定部與前述移動部之間且前述長形體之至少其中一部分形成彎曲形狀，前述長形體的前述可變形區域含有：彎曲形狀部，該彎曲形狀部具有彎曲形狀，該彎曲形狀是因應前述移動部對於前述固定部之相對位置而被決定；及迂迴形狀部，該迂迴形狀部含有迂迴形狀，該迂迴形狀是預先成形加工於前述長形體，且朝與前述長形體之長向不同的方向迂迴。
2. 如請求項1之纜線等支持裝置，其中在前述長形體的一端與前述彎曲形狀部之間沿著前述長形體之長向的長度，因應前述移動部對於前述固定部之相對位置而變化，在前述長形體的一端與前述迂迴形狀部之間沿著前述長形體之長向的長度，不因應前述移動部對於前述固定部之相對位置而變化。
3. 如請求項1之纜線等支持裝置，其中前述迂迴形狀部是形成在與前述彎曲形狀部重疊的位置。
4. 如請求項3之纜線等支持裝置，其中前述彎曲形狀部之彎曲的方向、與前述迂迴形狀部之迂迴形狀的方向是相反方向。
5. 如請求項1~4中任一項之纜線等支持裝置，其中前述長形體包括以下其中至少一種以上：電纜、流體管或者光纖纜線。
6. 一種半導體製造裝置的製造方法，該製造方法具有以下步驟：準備直線狀之長形體的步驟，該長形體有一端部及另一端部，且全體具有彈性；在前述直線狀之長形體的前述一端部及前述另一端部之間預先形成迂迴部的步驟，該迂迴部朝前述長形體之長向以外的方向迂迴；及將前述長形體配置在纜線等支持裝置的步驟，前述纜線等支持裝置具備有固定部以及對於前述固定部之相對位置會變化的移動部，該長形體在纜線等支持裝置的前述固定部及前述移動部之間形成有前述迂迴部，該製造方法的特徵在於：前述長形體形成有可變形區域，該可變形區域位於前述端部與前述另一端部之間，因應前述移動部的移動而形成彎曲形狀，前述迂迴部形成於前述可變形區域。
7. 如請求項6之半導體製造裝置的製造方法，其中在前述預先形成迂迴部的步驟中，是以退火處理來成形加工。

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