JP6990965B2 - 保持具およびステージ装置 - Google Patents
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Description
図3は、変形例に係るステージ装置を示す図である。ステージ装置のスペースの都合上、第1保持具40aと第2保持具40bのY軸方向の距離が比較的近くなる場合がある。この場合、チューブ30(すなわち非拘束部34)の円弧状湾曲部30aの曲率半径が比較的小さくなる。円弧状湾曲部30aの曲率半径が小さくなると、チューブ30の反発力(弾性力)により、非拘束部34は、保持具40に対して円弧状湾曲部30aが配置される側とは反対側に変形しようとする。具体的には、図3において左側にスライダ22が移動すると、非拘束部34の第2保持具40b側は、二点差線で示すように第2保持具40bに対して円弧状湾曲部30aとは反対側に変形しようとする。また、図3において右側にスライダ22が移動すると、非拘束部34の第1保持具40a側は、二点差線で示すように第1保持具40aに対して円弧状湾曲部30aとは反対側に変形しようとする。
図4は、別の変形例に係るステージ装置を示す図である。本変形例では、ステージ装置は、保持具40をz軸周りに回動可能に支持する2つの回動支持部を含む。第1回動支持部60は、スライダ22の側面22aに固定され、第1保持具40aをz軸周りに回動可能に支持する。第2回動支持部62は、盤面10aに固定され、第2保持具40bをz軸周りに回動可能に支持する。2つの回動支持部は、例えばベアリングや弾性ヒンジを含んで構成される。
実施の形態では、保持具40がスライダ22にエアを供給するためのチューブ30を保持する場合について説明したが、これに限られず、保持具40は、チューブ30に加えてまたはチューブ30に代えて、静止部とスライダ22とに連結されるケーブル、その他の紐状部材を保持してもよい。
実施の形態では、保持具40の第1部材42は、第1樹脂部46と第1金属部がチューブ30に面する場合について説明したが、これに限られず、第2部材44と同様に、樹脂部だけがチューブ30に面するように構成されてもよい。また、第2部材44は、第2樹脂部50だけがチューブ30と面する場合について説明したが、これに限られず、第1部材42と同様に樹脂部と金属部とがチューブ30に面するよう構成されてもよい。また、第1部材42と第2部材44の両方の樹脂部がチューブ30の境界部36に面する場合について説明したが、これに限られず、第1部材42と第2部材44のどちらか一方の樹脂部と他方の金属部が境界部36に面するよう構成されてもよい。
Claims (4)
- 静止部とステージ装置の可動部とに連結される紐状部材の保持具であって、
前記保持具は、前記静止部または前記可動部の一方に設けられ、
前記紐状部材は、前記保持具に拘束される拘束部と、前記静止部または前記可動部の他方に向かって延び、前記可動部の移動に伴い変形可能である非拘束部と、前記拘束部と前記非拘束部との境界部と、を有し、
前記境界部に面する第1樹脂部を有する第1部材と、
前記境界部に面する第2樹脂部を有する第2部材と、を備え、
前記第1部材は、前記紐状部材の長手方向に沿った方向において前記第1樹脂部に隣接する金属部をさらに含み、前記第1樹脂部および前記金属部と、前記第2部材とで挟み込むことにより、前記紐状部材を保持することを特徴とする保持具。 - 前記第1樹脂部には、前記紐状部材の長手方向に沿った方向に延びる断面が円弧状の複数の第1溝が形成され、
前記第2樹脂部には、前記紐状部材の長手方向に沿った方向に延びる断面が円弧状の複数の第2溝が形成され、
前記複数の第1溝のうちのいずれかの第1溝の周面と、当該第1溝と対向する第2溝の周面とで挟み込むことにより、前記紐状部材を保持することを特徴とする請求項1に記載の保持具。 - 前記第1樹脂部はフッ素樹脂であり、
前記第2樹脂部はフッ素樹脂であることを特徴とする請求項1または2に記載の保持具。 - 前記可動部と、
請求項1から3のいずれかに記載の保持具と、を備えるステージ装置であって、
前記紐状部材は、前記非拘束部に円弧状湾曲を有するよう配置されており、
前記保持具に対し前記円弧状湾曲が配置される側とは反対側への前記紐状部材の変形を抑止する逆反り抑制機構を備えることを特徴とするステージ装置。
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