KR102319388B1 - 검사용 커넥팅 장치 - Google Patents

검사용 커넥팅 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102319388B1
KR102319388B1 KR1020200088467A KR20200088467A KR102319388B1 KR 102319388 B1 KR102319388 B1 KR 102319388B1 KR 1020200088467 A KR1020200088467 A KR 1020200088467A KR 20200088467 A KR20200088467 A KR 20200088467A KR 102319388 B1 KR102319388 B1 KR 102319388B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hole
inspection
sheet
conductive
connecting device
Prior art date
Application number
KR1020200088467A
Other languages
English (en)
Inventor
정영배
허성원
김기민
안홍철
Original Assignee
주식회사 아이에스시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시 filed Critical 주식회사 아이에스시
Priority to KR1020200088467A priority Critical patent/KR102319388B1/ko
Priority to PCT/KR2021/009107 priority patent/WO2022015075A1/ko
Priority to TW110126165A priority patent/TWI794892B/zh
Application granted granted Critical
Publication of KR102319388B1 publication Critical patent/KR102319388B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0416—Connectors, terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)

Abstract

본 발명은 검사용 커넥팅 장치에 대한 것으로서, 공기유통홀을 가지는 하우징; 제1관통공을 가지는 제1도전성 러버 시트와, 제2관통공을 가지는 제2도전성 러버 시트와, 내부에 공기통로를 가지는 중간기판으로 구성된 도전성 러버 커넥터;를 포함하고, 상기 공기유통홀, 상기 제1관통공, 상기 공기통로 및 제2관통공는 공기흐름을 위한 공기이동경로를 형성하여, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착되는 검사용 커넥팅 장치에 대한 것이다.

Description

검사용 커넥팅 장치{Connecting apparatus for electrical test}
본 발명은 검사용 커넥팅 장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 신호전달 경로가 짧아져서 빠른 대응이 가능한 검사용 커넥팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사장치에 접촉되어 피검사 디바이스와 검사장치를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 커넥팅 장치가 당해 분야에서 사용되고 있다. 이때 검사용 커넥팅 장치는 검사장치의 전기신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 전기 신호를 검사장치에 전달한다.
이러한 커넥터로서 포고핀이 당해 분야에 알려져 있다.
포고핀은 상하 한 쌍의 금속핀과, 상기 금속핀 사이에 배치되는 스프링과, 상기 금속핀, 스프링을 내부에 포함하는 통형상의 바렐로 이루어진다.
종래의 검사용 커넥팅 장치는, 하우징 내에 메모리 디바이스를 설치한 상태에서, 그 아래에 포고핀을 복수 설치하고, 메모리 디바이스와 포고핀 사이의 공간을 통해서 공기가 흐를 수 있는 공간을 형성한 후에, 포고핀의 하측에 배치된 피검사 디바이스를 흡착한 후에 소정의 전기적 검사를 실시하고 있었다.
최근 LPDDR5와 같이 고성능 칩이 개발되면서 처리속도가 빠르게 되었으며, 이에 따라 고속 검사(high speed test)가 요구되고 있다.
그러나 포고핀은 복수의 핀과, 그 사이에 스프링이 배치되어 있는 구조적인 문제점으로 인하여, 상하길이가 전체적으로 길어질 수 밖에 없고, 이에 따라서 신호전달 경로가 길어 저항이 높아지고 테스트 신뢰성이 낮아지게 되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서 신호전달경로가 짧아져서 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 커넥팅 장치를 제공하는 것을 기술적 목적으로 한다.
상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 내부를 관통하는 하우징; 및
탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되는 복수의 제1도전부와, 상기 제1도전부를 지지하는 제1절연부로 이루어지고, 상기 공기유통홀과 대응되는 위치에 두께방향으로 관통되는 제1관통공이 형성된 제1도전성 러버 시트와,
탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 하단이 피검사 디바이스의 전극과 접촉되는 복수의 제2도전부와, 상기 제2도전부를 지지하는 제2절연부로 이루어지고, 제2절연부에 두께방향으로 관통되는 제2관통공이 형성되는 제2도전성 러버 시트와,
상기 제1도전성 러버 시트와, 상기 제2도전성 러버 시트 사이에 배치되고, 상면은 제1도전부와 전기적으로 접속되고 하면은 제2도전부와 전기적으로 접속되며, 제1관통공과 제2관통공을 서로 연통시키는 공기통로가 내부에 마련되는 중간기판으로 구성된 도전성 러버 커넥터;를 포함하고,
상기 공기유통홀, 상기 제1관통공, 상기 공기통로 및 제2관통공는 공기흐름을 위한 공기이동경로를 형성하여, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착된다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 하우징 내부에 배치되고 하면에 복수의 단자가 마련된 제1디바이스가 더 마련될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 중간기판의 공기통로는,
제1관통공과 대응되는 위치에서 상측으로 개구되며 하부가 막힌 제1구멍과,
제2관통공과 대응되는 위치에서 하측으로 개구되며 상부가 막힌 제2구멍과,
상기 제1구멍과 제2구멍을 연결하고 내부를 수평하게 연장하는 연결통로를 포함할 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 제1구멍은, 중간기판의 가장자리 부분에 배치되고,
상기 제2구멍은 중간기판의 중앙부분에 배치될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 연결통로의 내부에는 제1구멍으로부터 제2구멍까지의 통로높이를 유지할 수 있게 하는 보강부재가 설치될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 보강부재는, 상기 제1구멍으로부터 상기 제2구멍까지 수평하게 연장되고 양단이 개구된 파이프일 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 파이프는 복수개가 상기 연결통로 내부에 적층배치될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 보강부재는, 일단은 연결통로의 상면에 접촉되고, 일단으로 수직하게 연장되어 타단은 연결통로의 하면에 각각 접촉되는 수직지지체일 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상부는 제2관통공을 통과하여 중간기판의 공기통로에 삽입되고, 하부는 피검사 디바이스의 상면에 접촉되며, 중앙에 중앙구멍이 형성된 진공패드가 더 마련될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 진공패드는, 내부에 중앙구멍이 마련된 통형상으로 이루어지고,
상기 통형상의 상부에는 반경방향으로 절개되고 상기 중앙구멍과 연통되는 절개부가 마련될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 진공패드의 하부는, 하측으로 갈수록 외경이 증가되는 원뿔대 형상을 가질 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 제2도전성 러버 시트의 하면에는,
제2관통공 주변부에서 링형태로 돌출되고 피검사 디바이스의 상면에 접촉되는 실리콘 패드가 형성될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 하우징의 내부에는, 상하방향으로 이동되고, 제1디바이스를 하측으로 가압하는 푸셔장치가 마련될 수 있다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 제1도전부는 제1절연부의 표면에서 돌출되고,
상기 제1관통공 주변부에는 상기 제1도전부와 동일한 높이만큼 돌출되는 링형의 실리콘 패드가 마련될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 내부를 관통하는 하우징;
및
공기유통홀과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제3관통공이 마련된 제1시트와,
제3관통공과 다른 위치에 두께방향으로 관통된 제4관통공이 마련된 제2시트와,
상기 제1시트와 제2시트 사이에 배치되고 상기 제3관통공과 제4관통공을 연결하는 장공형태의 제5관통공이 형성된 제3시트와,
탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 상기 제1시트, 제2시트, 제3시트를 관통하는 복수의 제3도전부와, 상기 제3도전부를 지지하는 제3절연부로 이루어지고, 상기 제3관통공과 대응되는 위치에 제6관통공이 형성된 도전성 프레임으로 구성된 도전성 러버 커넥터;를 포함하고,
상기 제3관통공, 제4관통공, 제5관통공, 제6관통공은 공기흐름을 위한 공기통로를 구성하고, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착된다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서, 제1시트, 제2시트 및 제3시트는 서로 압착되어 일체로 부착될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 내부를 관통하는 하우징;
및
공기유통홀과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제7관통공이 마련된 제4시트와,
상기 제4시트의 하면에 부착되고, 제7관통공과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제8관통공이 마련된 제5시트와,
탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 상단이 상기 제4시트, 제5시트를 관통하는 복수의 제4도전부와, 상기 제4도전부를 지지하는 제4절연부로 이루어지는 도전성 프레임으로 구성된 도전성 러버커넥터;를 포함하고,
상기 제4시트의 하면 또는 제5시트의 상면에는, 상기 제7관통공과 제8관통공을 서로 연결하는 연결용 홈이 형성되고, 상기 제7관통공, 연결용 홈 및 제8관통공이 서로 연결되어 공기통로를 형성하고, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착된다.
상기 검사용 커넥팅 장치에서,
상기 제4시트 및 제5시트는 서로 압착되어 일체로 부착될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 피검사 디바이스의 전극와 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 형성되는 하우징; 및
상기 하우징의 하부에 배치되고, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포된 복수의 제5도전부와, 상기 제5도전부를 지지하는 제5절연부로 이루어지는 도전성 시트 모듈을 포함하고,
상기 도전성 시트 모듈에는,
하우징의 공기유통홀과 대응되는 위치에 배치되고 상측으로 개구되고 하부가 막힌 제9관통공과,
중앙 부분에서 하측으로 개구되고 상부가 막혀진 제10관통공과,
상기 제9관통공과 제10관통공을 연결하도록 내부에 마련된 연결통로로 구성된 공기통로를 포함하고,
진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 상기 도전성 시트 모듈의 하부에 배치된 피검사 디바이스가 흡착된다.
본 발명의 일 실시예에 의한 검사용 커넥팅 장치는, 도전성 러버 시트를 적용하면서도 피검사 디바이스를 흡착하기 위한 공기통로를 마련하고 있으므로 신속하고 빠른 검사가 가능하다는 장점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 검사용 커넥팅 장치는, 공기통로 내에 보강부재를 마련하고 있어서, 하중이 가해져도 공기통로가 막히는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 사시도.
도 2는 도 1의 검사용 커넥팅 장치를 아래에서 바라본 사시도.
도 3은 도 1의 검사용 커넥팅 장치의 측면도.
도 4는 도 1의 검사용 커넥팅 장치의 분리사시도.
도 5는 도 1의 Ⅴ-Ⅴ 단면도.
도 6은 도 1의 Ⅵ-Ⅵ 단면도.
도 7은 도 1의 검사용 커넥팅 장치의 일 구성인 중간기판의 단면을 나타내는 도면.
도 8은, 도 1의 검사용 커넥팅 장치의 일 구성인 제1도전성 러버 시트를 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 중간기판의 단면을 나타내는 도면.
도 10 및 11은, 도 9의 중간기판이 포함된 도전성 커버 커넥터에 진공패드가 삽입되는 모습을 나타내는 도면.
도 12는, 도 11의 ⅩⅡ- ⅩⅡ 단면도.
도 13은, 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 중간기판의 단면을 나타내는 도면.
도 14는, 본 발명의 제4실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 도전성 러버 커넥터의 분리사시도.
도 15는 도 14의 결합사시도.
도 16은, 본 발명의 제5 실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 도전성 러버 커넥터의 분리사시도.
도 17은, 본 발명의 제6 실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 도전성 러버 커넥터의 단면사시도.
도 18은, 본 발명의 제7 실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치의 도전성 러버 커넥터의 하면을 나타내는 사시도.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 사용되는 "두께방향"의 방향지시어는 시트의 면방향과 수직인 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "상측"은, 기판의 면방향과 수직인 방향으로 상방향을 의미하고, "하측"은 상측의 반대방향을 의미한다.
본 개시에서 사용되는 "가장자리"부분은, 기판의 테두리와 인접한 부분을 의미하는 것이며, "중앙부분"은, 기판의 중간위치를 의미하고 정확하게 중앙만을 의미하는 것은 아니며, 중앙과 그 주변을 함께 의미한다.
첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 시스템 반도체와 같은 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 것으로서, 이때 제1디바이스는, 시스템 반도체의 검사에 필요한 메모리 디바이스를 의미한다. 다만, 피검사 디바이스나 제1디바이스의 종류를 한정하는 것은 아니며, 전기적 검사가 필요한 것이라면 다양하게 적용될 수 있다.
또한, 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 피검사 디바이스를 진공수단에 의하여 흡착한 후에, 검사장치가 있는 위치로 이동한 후에 필요한 전기적 검사를 수행하는 것으로서, 검사장치는 통상적인 기술적 구성이므로 자세한 설명은 생략한다. 다만, 이때 검사장치는 피검사 디바이스로 전기적 신호를 인가한 후에, 피드백된 신호를 인식하여 피검사 디바이스에 대한 불량여부를 확인할 수 있는 것이다.
먼저, 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치(100)는 도 1 내지 도 8에 도시되어 있으며, 이러한 검사용 커넥팅 장치(100)는, 하우징(110), 푸셔장치(120), 제1디바이스(130), 도전성 러버 커넥터(140) 및 진공패드(180)를 포함하여 구성된다.
상기 하우징(110)은, 검사용 커넥팅 장치(100)의 본체를 구성하는 것으로서, 사각프레임 형태의 제1본체(111)와, 상기 사각프레임의 형태의 제1본체(111) 하측에 배치되고 그 내부에 소정의 수용공간이 마련된 제2본체(112)로 구성된다.
상기 제1본체(111)는 사각판 형태로 이루어지고, 가장자리 양측에는 진공수단(195)이 끼워지는 삽입공(1111)이 마련되어 있게 된다. 상기 삽입공(1111)의 내부에는 진공수단(195)이 기밀성이 있게 접속되기 위한 고무링이 마련되어 있게 된다.
상기 제1본체(111)의 중앙부분에는 복수의 볼트구멍(1112)이 마련되고, 상기 볼트구멍(1112)의 내주면에는 내측으로 돌출된 단턱이 형성된다.
상기 제1본체(111)의 하측에 배치되고, 상기 삽입공(1111)과 대응되는 위치에 상하방향으로 관통한 한 쌍의 공기유통홀(1121)이 형성되어 있게 된다. 상기 공기유통홀(1121)의 상단에는 진공수단(195)이 연결되어 공기를 흡인하도록 구성된다.
상기 제2본체(112)의 저면에는 중앙의 수용공간을 둘러싸도록 4개의 방향에서 하측으로 연장된 복수의 지지부(1122)가 돌출되어 있으며, 지지부(1122)의 단부에 도전성 러버 커넥터(140)의 가장자리부분이 결합된다. 상기 수용공간 내에는 푸셔장치(120)와, 제1디바이스(130)가 삽입되어 있게 된다.
이때, 공기유통홀(1121)은 제4개의 지지부(1122)에서, 서로 마주보는 한 쌍의 지지부(1122)에만 형성되어 있게 된다.
상기 푸셔장치(120)는, 상기 하우징(110)의 내부에 삽입되어 배치되는 것으로서, 제1디바이스(130)를 도전성 러버 커넥터(140)에 가압시키는 기능을 수행한다.
이러한 푸셔장치(120)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제2본체(112)의 수용공간 내에서 상승 또는 하강하는 푸셔본체(121)와, 하부가 상기 푸셔본체(121)에 나사결합되고 그 상단이 제1본체(111)의 볼트 삽입공(1111)에 삽입되고 단턱에 걸리는 푸셔볼트(122)가 마련된다.
또한, 상기 푸셔본체(121)와 단턱의 사이에는 스프링 부재(123)가 설치되어 있으며, 상기 스프링 부재(123)는 푸셔본체(121)를 제1본체(111)로부터 멀어지는 방향으로 탄성가압하게 구성된다. 상기 푸셔볼트(122)가 제1본체(111)의 단턱에 걸려 푸셔본체(121)가 수용공간에서 빠지지 않게 한 상태에서, 스프링 부재(123)의 탄성가압력에 의하여 푸셔본체(121)는 제1디바이스(130)를 하측으로 가압하게 된다.
상기 제1디바이스(130)는, 상기 하우징(110) 내부에 배치되며 하면에 복수의 단자가 마련된 것이다. 구체적으로 제1디바이스(130)는 피검사 디바이스(196)의 전기적 검사를 위한 메모리 디바이스로서, 하우징(110) 내부에 항상 장착되어 있는 것이다. 제1디바이스(130)는 LPDDR5와 같은 고성능 메모리 디바이스일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 디바이스가 사용될 수 있다.
이때 제1디바이스(130)는 푸셔장치(120)에 의하여 가압되어 도전성 러버 커넥터(140)에 밀착접촉되어 있게 된다.
상기 도전성 러버 커넥터(140)는, 제1디바이스(130)와 피검사 디바이스(196)를 서로 전기적으로 접속시키면서, 그 내부에 피검사 디바이스(196)를 흡착하기 위한 공기통로를 구비한 것이다. 구체적으로 하우징(110)의 공기유통홀(1121)과 연통되는 공기통로를 내부에 구비하고, 그 공기통로에 의하여 하측의 피검사 디바이스(196)가 흡인될 수 있게 한다.
이러한 도전성 러버 커넥터(140)는, 제1도전성 러버 시트(150)와, 제2도전성 러버 시트(160)와, 중간기판(170)으로 구성된다.
상기 제1도전성 러버 시트(150)는, 도전성 러버 커넥터(140)에서, 상측에 위치한 것으로서, 제1디바이스(130)의 하면에 접촉되도록 구성된다.
이러한 제1도전성 러버 시트(150)는, 전체적으로 시트 형태로 이루어지되, 제1도전부(151), 제1절연부(152) 및 프레임판(153)으로 이루어진다.
각 제1도전부(151)는 제1디바이스(130)와 중간기판(170) 사이에서 도전부로서 기능하고 두께방향에서의 신호 전달을 실행한다. 제1도전부(151)는 두께방향으로 연장하는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이러한 원기둥 형상에 있어서, 중간에서의 직경은 상단 및 하단에서의 직경보다 작을 수 있다. 이러한 제1도전부(151)의 상단은 제1절연부(152)보다 돌출되어 제1디바이스(130)의 단자와 접촉되도록 구성된다.
각 제1도전부(151)는 두께방향으로 도전 가능하게 접촉된 다수의 도전성 입자를 포함한다. 두께방향으로 도전 가능하게 접촉된 도전성 입자들이 제1도전부(151) 내에서 두께방향에서의 신호 전달을 실행하는 도전로를 형성한다. 도전성 입자 사이는 절연부를 형성하는 탄성 절연물질로 채워질 수 있다.
제1디바이스(130)의 단자에 의해 제1도전부(151)가 두께방향의 하방으로 눌릴 때, 제1도전부(151)는 면방으로 약간 팽창될 수 있고, 제1절연부(152)는 제1도전부(151)의 이러한 팽창을 허용할 수 있다.
도전성 입자는 코어 입자의 표면을 고전도성 금속으로 피복하여 이루어질수 있다. 코어 입자는 철, 니켈, 코발트 등의 금속 재료로 이루어지거나, 탄성을 지닌 수지 재료로 이루어질 수 있다. 코어 입자의 표면에 피복되는 고전도성 금속으로는, 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등이 사용될 수 있다.
제1절연부(152)는 사각형 시트형태로 이루어지며, 탄성 영역을 형성할 수 있다. 복수의 제1도전부(151)는 제1절연부(152)에 의해 면방향으로 등간격 또는 부등간격으로 서로간에 이격되고 절연된다. 제1절연부(152)는 하나의 탄성체로서 형성되어 있으며, 복수의 제1도전부(151)는 제1절연부(152)의 두께 방향에서 제1절연부(152)에 박혀 있다. 제1절연부(152)는 탄성 절연물질로 이루어져, 두께방향과 면방향으로 탄성을 가진다. 제1절연부(152)는 제1도전부(151)를 그 형상으로 유지시킬뿐만 아니라, 도전부를 상하 방향으로 유지시킨다.
제1절연부(152)는 경화된 실리콘 러버 재료로 이루어질 수 있다. 예컨대, 액상의 실리콘 러버가 제1도전성 러버 시트(150)를 성형하기 위한 성형 금형 내에 주입되고 경화됨으로써, 제1절연부(152)가 형성될 수 있다. 제1절연부(152)를 성형하기 위한 액상의 실리콘 러버 재료로서, 부가형 액상 실리콘 고무, 축합형 액상 실리콘 고무, 비닐기나 히드록시기를 포함하는 액상 실리콘 고무 등이 사용될 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 액상 실리콘 러버 재료는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 포함할 수 있다.
상기 프레임판(153)은, 중앙에 개구가 형성되고 그 개구에 제1절연부(152)의 가장자리가 연결되도록 구성되어 있는 것으로서, 프레임판(153)은 사각형의 가장자리에서 각각 돌출되도록 형성되어 있게 된다. 각각의 프레임판(153)에는 공기유통홀(1121)과 대응되는 위치에 제1관통공(1531)이 형성되어 있게 된다. 한편 프레임판(153)에는 복수의 구멍이 추가로 형성되는데, 이러한 구멍은 제1도전성 러버 시트(150)를 하우징(110)에 고정하기 위하여 볼트(191)가 통과하는 기능을 수행한다.
상기 제2도전성 러버 시트(160)는, 도전성 러버 커넥터(140)에서, 하측에 위치한 것으로서, 하단이 피검사 디바이스(196)의 단자와 접속되며 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포된 복수의 제2도전부(161)와, 상기 제2도전부(161)를 지지하는 제2절연부(162)와, 프레임판(163)으로 이루어진다.
이러한 제2도전성 러버 시트(160)에서, 제2도전부(161), 제2절연부(162)는 제1도전부(151) 및 제1절연부(152)와 동일한 형태를 가지고 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
제2도전성 러버 시트(160)에서, 제2절연부(162)에는 두께방향으로 관통되는 제2관통공(1621)이 형성된다. 구체적으로 시트형태의 제2절연부(162)의 중앙부분에는 제2관통공(1621)이 두께방향으로 관통되도록 구성된다. 이때 제2관통공(1621)의 개수나 위치는 이에 한정되는 것은 아니며 제2절연부(162)에서 적절한 개수와 위치로 배치될 수 있다.
상기 중간기판(170)은, 도전성 러버 커넥터(140)에서, 중간에 위치한 것으로서, 구체적으로 상기 제1도전성 러버 시트(150)와, 상기 제2도전성 러버 시트(160) 사이에 배치된다. 중간기판(170)의 상면은 제1도전부(151)와 전기적으로 접속되고 중간기판(170)의 하면은 제2도전부(161)와 전기적으로 접속되며, 제1관통공(1531)과 제2관통공(1621)을 서로 연결시키는 공기통로(1711, 1721, 173)가 내부에 마련되는 것이다.
구체적으로, 중간기판(170)은, 상면과 하면에 각각 전극패드가 형성되어 있으며, 상면의 전극패드는 제1도전성 러버 시트(150)의 제1도전부(151)의 하단과 접속되고, 하면의 전극패드는 제2도전성 러버 시트(160)의 제2도전부(161)의 상단과 접속되도록 구성되어 있게 된다. 상기 중간기판(170)은, 제1디바이스(130)와, 피검사 디바이스(196)를 서로 전기적으로 접속시키는 기능을 수행하게 된다.
이러한 중간기판(170)은, 사각판 형태의 기판본체(171)와, 상기 본체의 각 가장자리에서 돌출된 날개부(172)를 포함하며, 전체적인 형상은 제1도전성 러버 시트(150) 및 제2도전성 러버 시트(160)와 동일하다.
이러한 중간기판(170)에서, 한 쌍의 날개부(172)에는, 제1관통공(1531)과 대응되는 위치에 제1구멍(1721)이 마련된다. 구체적으로 중간기판(170)의 가장자리 부분에는 상측으로 개구되고 하부가 막힌 제1구멍(1721)이 형성된다.
중간기판(170)의 기판본체(171)에서 제2관통공(1621)과 대응되는 위치에는 하측으로 개구되고 상부가 막힌 제2구멍(1711)이 형성된다. 이러한 제2구멍(1711)은, 중간기판(170)의 중앙부분에 배치되어 있게 된다.
또한, 중간기판(170)의 내부에는 상기 제1구멍(1721)과 제2구멍(1711)을 연통하고 내부를 수평하게 연장하는 연결통로(173)가 형성된다.
이때, 제1구멍(1721), 연결통로(173) 및 제2구멍(1711)이 협동하여 공기가 이동하는 공기통로를 형성하고, 진공수단(195)에 의하여 흡입된 공기는 공기통로를 따라서 이동하게 된다.
상기 진공패드(180)는, 공기통로를 피검사 디바이스(196)의 상면에 연결시키는 기능을 수행한다. 구체적으로 진공패드(180)는, 상부는 제2관통공(1621)을 통과하여 중간기판(170)의 공기통로에 삽입되고, 하부는 피검사 디바이스(196)의 상면에 접촉되며, 중앙에 중앙구멍이 형성된 것이다.
이러한 진공패드(180)는, 내부에 중앙구멍이 형성된 통형상으로 이루어지고, 통형상의 상부에는 반경방향으로 절개된 절개부(181)가 마련되고 절개부(181)는 중앙구멍과 연통되어 있게 된다. 이러한 진공패드(180)의 상부는 중간기판(170)의 제2구멍(1711)을 통하여 삽입된 후에, 절개부(181)가 연결통로(173)에 연통되도록 구성된다.
상기 진공패드(180)의 하부는 하측으로 갈수록 외경이 증가되는 원뿔대의 형상을 가지고 있어서, 피검사 디바이스(196)의 상면과 접촉되는 면적을 증대시키게 한다.
한편, 도 4에서, 도면번호 190은 가이드 블록(190)이다. 이러한 가이드 블록(190)은 피검사 디바이스(196)의 가이드 역할을 수행하고, 도전성 러버 커넥터(140)의 안정적인 결합을 가능하게 하는 기능을 수행한다. 가이드 블록(190)은 볼트에 의하여 도전성 러버 커넥터(140)와 함께 하우징(110)의 제2지지부(1122) 하면에 고정결합된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치(100)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.
먼저, 진공수단(195)이 하우징(110)에서 공기유통홀(1121)의 상단에 결합된 후에, 진공수단(195)이 작동하면, 도전성 러버 커넥터(140)의 하부에 배치된 피검사 디바이스(196)는 도전성 러버 커넥터(140)의 하부에 흡착된다.
구체적으로, 진공수단(195)이 작동하면, 도 5에 도시된 바와 같이, 공기유통홀(1121), 제1관통공(1531), 공기통로, 제2관통공(1621)으로 연결된 공기이동경로를 따라서 공기가 이동하면서 제2도전성 러버 시트(160)의 하면에 배치된 피검사 디바이스(196)가 흡착되도록 한다.
이후에, 피검사 디바이스(196)가 흡착된 상태에서 검사용 커넥팅 장치(100)가 검사장치(미도시)로 이동한 후에, 소정의 전기적 검사가 수행된다.
전기적 검사가 종료된 후에는, 검사용 커넥팅 장치가 원래의 대기위치로 이동하게 되고, 이후에 진공수단(195)의 동작이 멈추면 흡착된 피검사 디바이스(196)가 검사용 커넥팅 장치(100)에서 분리될 수 있게 된다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 커넥팅 장치(100)는 기존의 포고핀을 이용한 커넥팅 장치와 비교하여 도전성 러버 시트를 이용할 수 있어서 전체적인 신호전달 경로를 짧게 할 수 있어서 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
특히, 신호전달 경로가 짧아지게 되면 그에 따라서 저항이 감소하게 되고, 전체적인 신호전달이 용이하게 될 수 있게 되는 장점이 있다.
한편, 종래에서는 포고핀의 돌출높이가 높아서, 포고핀과 제1디바이스의 단자 사이의 간극을 통해서 공기가 흐르는 것이 가능했으나, 도전성 러버 시트를 적용하게 되면, 도전성 러버 시트의 제1도전부의 돌출높이가 포고핀보다 작아서 도전성 러버 시트의 제1도전부와 제1디바이스(130)의 단자 사이로 공기가 흐르기 어려우므로 내부에 공기가 흐를 수 있는 별도의 경로를 구성하게 된 것이다.
이에 따라서 본 발명의 일 실시예에 따르면, 신호전달특성이 우수하게 되면서도 피검사 디바이스(196)에 대한 흡착력을 유지할 수 있는 장점이 있게 된다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 커넥팅 장치는 다음과 같이 다양하게 변형되는 것도 가능하다.
본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치는 도 9 내지 도 12에 도시되어 있게 된다.
제2실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치에서는 중간기판이 제1실시예와 차이가 있게 된다.
구체적으로, 제2실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치에서는, 중간기판(270)의 연결통로(273) 내부에 푸셔장치에 의한 압력발생시 연결통로가 처짐으로서 공기흐름이 원활하지 않게 되는 일이 없게 하기 위한 보강부재(2731)가 추가로 배치된다.
구체적으로 보강부재(2731)는 연결통로(273)의 내부에 배치되는 것으로서 제1구멍(2711)으로부터 제2구멍(2721)까지 통로높이를 유지하게 할 수 있는 것으로서, 제2실시예에서는 이러한 보강부재로서 수평방향으로 연장된 파이프가 사용된다.
이때, 파이프의 양단은 개구되어 있으며, 복수개가 연결통로 내부에 적층되어 배치된다. 이때 각각의 파이프는 에폭시 또는 기타 접착제로 연결통로 내에 고정되어 있다. 파이프의 재료로서는 통상적으로 포고핀에 사용되는 금속배럴을 이용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 관형상을 가지는 것이라면 금속이나 비금속 어느것이나 가능하다. 이러한 파이프는 양단이 개구되어 있으므로 파이프가 공기흐름관으로서의 기능을 수행하면서 처짐을 방지하는 기능도 수행할 수 있다.
이때, 파이프의 일단은 제2관통공 주변에 개구되어 있게 되는데, 제2관통공에는 진공패드(180)가 배치되어 있게 되므로, 파이프의 개구는 진공패드(180)의 절개부(181)와 연통되도록 구성되어 있어서, 공기흐름이 원활하게 이루어지게 할 수 있다.
제3실시예에 따른 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 도 13에 도시되어 있다. 구체적으로 제3실시예에 따른 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 제2실시예와 달리 보강부재로서 수직하게 세워진 복수의 수직지지체(3731)가 연결통로 내에 복수개 배치되어 있게 된다.
이러한 수직지지체(3731)는, 상단이 연결통로의 상면에 접촉되고, 하단이 연결통로의 하면에 접촉되어 연결통로의 상면과 하면 사이의 간격을 유지하게 하는 것이다. 이러한 수직지지체(3731)는 세로로 세워진 파이프일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 세로로 세워진 얇은 봉일 수 있다. 수직지지체의 소재도 금속인 것이 바람직하나, 플라스틱이나 기타 비금속소재인 것이 가능하다.
수직지지체(3731)는 연결통로를 막지 않도록 폭이 얇은 기둥 또는 파이프인 것이 바람직하고, 연결통로의 길이방향을 따라서 복수개가 서로 이격되어 배치될 수 있다.
수직지지체(3731)가 연결통로 내부에 배치되는 경우에는 압력이 가해져도 연결통로가 막히는 일이 없이 일정한 공간을 유지하게 될 수 있다.
제4실시예에 따른 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 도 14 및 도 15에 도시되어 있게 된다.
제4실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치는, 제1실시예와 도전성 러버 시트가 차이가 난다. 구체적으로 제4실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치에서 도전성 러버 커넥터(400)는, 제1시트(441), 제2시트(442), 제3시트(443) 및 도전성 프레임(444)으로 구성된다.
제1시트(441)는, 얇은 시트형태로 이루어지고, 공기유통홀과 대응되는 위치에 제3관통공(4411)이 형성되어 있게 된다. 또한, 제3도전부(4441)와 대응되는 위치에는 다수의 전극구멍(4412)이 형성되어 있게 된다.
제2시트(442)는, 얇은 시트형태로 이루어지고, 제3관통공(4411)과 다른 위치에 두께방향으로 관통된 제4관통공(4421)이 형성되어 있게 된다. 이때, 제4관통공(4421)은 제2시트(442)의 중앙부분에 형성되어 있게 된다. 또한 제2시트(442)에는 제3도전부(4441)와 대응되는 위치에 전극구멍(4422)이 형성되어 있게 된다.
상기 제3시트(443)는, 상기 제1시트(441)와 제2시트(442) 사이에 위치하는 시트이다. 이러한 제3시트(443)에는, 제3관통공(4411)과 제4관통공을 연결하도록 일방향으로 길게 연장된 장공의 형상의 제5관통공(4431)을 가지게 된다. 상기 제3시트(443)에는 제3도전부(4441)와 대응되는 위치에 전극구멍(4432)이 형성되어 있게 된다.
이때, 상기 제1시트(441), 제3시트(443), 제2시트(442)는 서로 적층되어 배치되어 있으며 압착되어 일체로 하나의 시트형태로 이루어진다.
상기 도전성 프레임(444)은, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포된 복수의 제3도전부(4441)와, 상기 제3도전부(4441)를 지지하며 중앙부분에 제6관통공(4442a)이 마련된 제3절연부(4442)로 이루어진다. 또한, 제3절연부(4442)의 둘레에는 프레임판(4443)이 마련되어 있게 된다.
제3도전부(4441)는, 제1시트(441), 제2시트(442), 제3시트(443)의 전극구멍을 통과하여 그 상단이 제1디바이스(130)의 단자와 접촉되도록 구성된다. 제3도전부(4441)의 하단은 피검사 디바이스의 전극과 접속된다. 이러한 제3도전부(4441), 제3절연부(4442)를 구성하는 소재는 제1도전부 및 제1절연부와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다. 상기 도전성 프레임(444)은, 상기 제2시트(442)의 하면에 부착되도록 구성된다.
이때, 상기 제3관통공(4411), 제4관통공(4421), 제5관통공(4431), 제6관통공(4442a)은 공기흐름을 위한 공기통로를 구성하고, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착될 수 있게 된다.
제5실시예에 따른 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 도 16에 도시되어 있게 된다.
제5실시예에 따른 검사용 커넥팅 장치는, 제4실시예와 유사한 형태를 가지고 있으나, 장공이 형성된 시트를 별도로 마련하지 않는다는 점에서 차이가 난다.
구체적으로 검사용 커넥팅 장치에서, 도전성 러버 커넥터(540)는, 공기유통홀과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제7관통공(5411)이 마련된 제4시트(5411)와, 상기 제4시트(541)의 하면에 부착되고, 제7관통공(5411)과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제8관통공(5421)이 마련된 제5시트(542)와, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 상단이 상기 제4시트(541), 제5시트(542)를 관통하여 복수의 단자와 각각 접촉되는 복수의 제4도전부(5431)와, 상기 제4도전부(5431)를 지지하며 중앙에 중앙공(5432a)이 형성된 제4절연부(5432)로 이루어지는 도전성 프레임(543)으로 구성된다.
이때, 제5시트(542)의 상면에서는 제7관통공(5411)과 제8관통공(5421)을 연결하도록 일방향으로 길게 파여진 연결용 홈(5422)이 형성되어 있게 된다. 구체적으로 제4실시예에서는 3개의 시트를 이용하여 공기통로를 구성하고 있었으나, 제5실시예에서는 2개의 시트만으로 공기통로를 구성할 수 있게 된다.
이때, 연결용 홈(5422)은, 시트 두장을 겹친정도의 두께를 갖는 제5시트(542)에 연결용 홈(5422)을 식각으로 형성하고 제8관통공(5421)을 가공한 후 제7관통공(5411)이 형성된 제4시트(541)와 압착한 후 제4도전부(5431)가 형성된 도전성 프레임(543)과 결합하여 제조하게 된다.
한편, 연결용 홈(5422)은, 제5시트(542)에 형성한 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제4시트(541)의 하면 측에 형성하는 것도 가능하다.
제6실시예에 따른 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 도 17에 도시되어 있게 된다.
제6실시예에 따른 커넥팅 장치에서 도전성 러버 커넥터(640)는, 하우징의 공기유통홀과 대응되는 위치에 배치되고 상측으로 개구되고 하부가 막힌 제9관통공(641)과, 중앙 부분에서 하측으로 개구되고 상부가 막혀진 제10관통공(642)과, 상기 제9관통공(641)과 제10관통공(642)을 연결하도록 내부에 마련된 연결통로(643)로 구성된 공기통로를 포함한다. 이러한 도전성 러버 커넥터는, 하나의 도전성 시트로 구성되며 그 내부에 제9관통공(641), 제10관통공(642) 및 연결통로(643)를 일체로 포함된다.
따라서, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 상기 도전성 시트 모듈의 하부에 배치된 피검사 디바이스가 흡착될 수 있다.
즉, 복수의 필름을 형성함이 없이 러버 커넥터를 단일체로 제작하되 그 내부에 공기통로를 형성하는 것이 가능하다.
제7실시예에 따른 본 발명의 검사용 커넥팅 장치는, 도 18에 도시되어 있게 된다. 이러한 제7실시예에 따른 커넥팅 장치에서는, 제1실시예의 진공패드를 별도로 배치하지 않고, 상기 제2도전성 러버 시트의 하면에 제2관통공 주변부에서 링형태로 돌출되고 피검사 디바이스의 상면에 접촉되는 실리콘 패드 (180')를 형성하는 것을 예시한다. 이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시하는 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.
100...검사용 커넥팅 장치 110...하우징
111...제1본체 1111...삽입공
1112...볼트구멍 112...제2본체
1121...공기유통홀 1122...지지부
120...푸셔장치 121...푸셔본체
122...푸셔볼트 123...스프링 부재
130...제1디바이스 140...도전성 러버 커넥터
150...제1도전성 러버 시트 151...제1도전부
152...제1절연부 153...프레임판
1531...제1관통공 160...제2도전성 러버 시트
161...제2도전부 162...제2절연부
1621...제2관통공 163...프레임판
170...중간기판 171...기판본체
1711...제2구멍 172...날개부
1721...제1구멍 180...진공패드
181...절개부

Claims (19)

  1. 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 내부를 관통하는 하우징; 및
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되는 복수의 제1도전부와, 상기 제1도전부를 지지하는 제1절연부로 이루어지고, 상기 공기유통홀과 대응되는 위치에 두께방향으로 관통되는 제1관통공이 형성된 제1도전성 러버 시트와,
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 하단이 피검사 디바이스의 전극과 접촉되는 복수의 제2도전부와, 상기 제2도전부를 지지하는 제2절연부로 이루어지고, 제2절연부에 두께방향으로 관통되는 제2관통공이 형성되는 제2도전성 러버 시트와,
    상기 제1도전성 러버 시트와, 상기 제2도전성 러버 시트 사이에 배치되고, 상면은 제1도전부와 전기적으로 접속되고 하면은 제2도전부와 전기적으로 접속되며, 제1관통공과 제2관통공을 서로 연통시키는 공기통로가 내부에 마련되는 중간기판으로 구성된 도전성 러버 커넥터;를 포함하고,
    상기 공기유통홀, 상기 제1관통공, 상기 공기통로 및 제2관통공는 공기흐름을 위한 공기이동경로를 형성하여, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하우징 내부에는 하면에 복수의 단자가 마련된 제1디바이스가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 중간기판의 공기통로는,
    제1관통공과 대응되는 위치에서 상측으로 개구되며 하부가 막힌 제1구멍과,
    제2관통공과 대응되는 위치에서 하측으로 개구되며 상부가 막힌 제2구멍과,
    상기 제1구멍과 제2구멍을 연통시키고 내부를 수평하게 연장하는 연결통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1구멍은, 중간기판의 가장자리 부분에 배치되고,
    상기 제2구멍은 중간기판의 중앙부분에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 연결통로의 내부에는 제1구멍으로부터 제2구멍까지의 통로높이를 유지할 수 있게 하는 보강부재가 설치되어 잇는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보강부재는, 상기 제1구멍으로부터 상기 제2구멍까지 수평하게 연장되고 양단이 개구된 파이프인 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 파이프는 복수개가 상기 연결통로 내부에 적층배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 보강부재는, 일단은 연결통로의 상면에 접촉되고, 일단으로 수직하게 연장되어 타단은 연결통로의 하면에 각각 접촉되는 수직지지체인 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상부는 제2관통공을 통과하여 중간기판의 공기통로에 삽입되고, 하부는 피검사 디바이스의 상면에 접촉되며, 중앙에 중앙구멍이 형성된 진공패드가 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 진공패드는, 내부에 중앙구멍이 마련된 통형상으로 이루어지고,
    상기 통형상의 상부에는 반경방향으로 절개되고 상기 중앙구멍과 연통되는 절개부가 마련되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 진공패드의 하부는, 하측으로 갈수록 외경이 증가되는 원뿔대 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제2도전성 러버 시트의 하면에는,
    제2관통공 주변부에서 링형태로 돌출되고 피검사 디바이스의 상면에 접촉되는 실리콘 패드가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 내부에는, 상하방향으로 이동되고, 제1디바이스를 하측으로 가압하는 푸셔장치가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 제1도전부는 제1절연부의 표면에서 돌출되고,
    상기 제1관통공 주변부에는 상기 제1도전부와 동일한 높이만큼 돌출되는 링형의 실리콘 패드가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  15. 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 내부를 관통하는 하우징;
    및
    공기유통홀과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제3관통공이 마련된 제1시트와,
    제3관통공과 다른 위치에 두께방향으로 관통된 제4관통공이 마련된 제2시트와,
    상기 제1시트와 제2시트 사이에 배치되고 상기 제3관통공과 제4관통공을 연결하는 장공형태의 제5관통공이 형성된 제3시트와,
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 상기 제1시트, 제2시트, 제3시트를 관통하는 복수의 제3도전부와, 상기 제3도전부를 지지하는 제3절연부로 이루어지고, 상기 제3관통공과 대응되는 위치에 제6관통공이 형성된 도전성 프레임으로 구성된 도전성 러버 커넥터;를 포함하고,
    상기 제3관통공, 제4관통공, 제5관통공, 제6관통공은 공기흐름을 위한 공기통로를 구성하고, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1시트, 제2시트 및 제3시트는 서로 압착되어 일체로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  17. 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 내부를 관통하는 하우징;
    및
    공기유통홀과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제7관통공이 마련된 제4시트와,
    상기 제4시트의 하면에 부착되고, 제7관통공과 대응되는 위치에서 두께방향으로 관통된 제8관통공이 마련된 제5시트와,
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포되고 상단이 상기 제4시트, 제5시트를 관통하는 복수의 제4도전부와, 상기 제4도전부를 지지하는 제4절연부로 이루어지는 도전성 프레임으로 구성된 도전성 러버 커넥터;를 포함하고,
    상기 제4시트의 하면 또는 제5시트의 상면에는, 상기 제7관통공과 제8관통공을 서로 연결하는 연결용 홈이 형성되고, 상기 제7관통공, 연결용 홈 및 제8관통공이 서로 연결되어 공기통로를 형성하고, 진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 제2도전성 러버 시트 하면에 배치된 피검사 디바이스가 흡착되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제4시트 및 제5시트는 서로 압착되어 일체로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
  19. 피검사 디바이스의 전극과 접속되어 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위한 검사용 커넥팅 장치에 있어서,
    상하방향으로 연장되는 공기유통홀이 형성되는 하우징; 및
    상기 하우징의 하부에 배치되고, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 분포된 복수의 제5도전부와, 상기 제5도전부를 지지하는 제5절연부로 이루어지는 도전성 시트 모듈을 포함하고,
    상기 도전성 시트 모듈에는,
    하우징의 공기유통홀과 대응되는 위치에 배치되고 상측으로 개구되고 하부가 막힌 제9관통공과,
    중앙 부분에서 하측으로 개구되고 상부가 막혀진 제10관통공과,
    상기 제9관통공과 제10관통공을 연결하도록 내부에 마련된 연결통로로 구성된 공기통로를 포함하고,
    진공수단이 상기 공기유통홀의 상부에 연결되면 상기 도전성 시트 모듈의 하부에 배치된 피검사 디바이스가 흡착되는 것을 특징으로 하는 검사용 커넥팅 장치.
KR1020200088467A 2020-07-16 2020-07-16 검사용 커넥팅 장치 KR102319388B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200088467A KR102319388B1 (ko) 2020-07-16 2020-07-16 검사용 커넥팅 장치
PCT/KR2021/009107 WO2022015075A1 (ko) 2020-07-16 2021-07-15 검사용 커넥팅 장치
TW110126165A TWI794892B (zh) 2020-07-16 2021-07-16 檢查用連接裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200088467A KR102319388B1 (ko) 2020-07-16 2020-07-16 검사용 커넥팅 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102319388B1 true KR102319388B1 (ko) 2021-11-01

Family

ID=78519110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200088467A KR102319388B1 (ko) 2020-07-16 2020-07-16 검사용 커넥팅 장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102319388B1 (ko)
TW (1) TWI794892B (ko)
WO (1) WO2022015075A1 (ko)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090005875A (ko) * 2007-07-10 2009-01-14 삼성전자주식회사 소켓 및 이를 가지는 검사 장치 및 방법
JP2009098153A (ja) * 2008-12-08 2009-05-07 Hitachi Ltd 薄膜プローブの製造方法
KR20110126060A (ko) * 2010-05-14 2011-11-22 세이코 엡슨 가부시키가이샤 전자 부품 검사 장치 및 전자 부품 반송 방법
JP2014106205A (ja) * 2012-11-29 2014-06-09 Advantest Corp プローブ装置および試験装置
KR20140147207A (ko) * 2013-06-18 2014-12-30 주식회사 아이에스시 검사용 인서트
KR101599049B1 (ko) * 2014-11-28 2016-03-04 주식회사 세미코어 반도체 칩 검사장치
KR20170007582A (ko) * 2015-07-08 2017-01-19 삼성전자주식회사 진공 소켓 및 이를 포함하는 반도체 검사 장비
KR20180115564A (ko) * 2017-04-13 2018-10-23 주식회사 이노비즈 소자 픽업 모듈 및 이를 구비하는 반도체 소자 테스트 장치

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3407192B2 (ja) * 1998-12-31 2003-05-19 株式会社ダイトー テストハンドの制御方法及び計測制御システム
KR102039625B1 (ko) * 2017-09-25 2019-11-01 주식회사 아이에스시 검사용 소켓

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090005875A (ko) * 2007-07-10 2009-01-14 삼성전자주식회사 소켓 및 이를 가지는 검사 장치 및 방법
JP2009098153A (ja) * 2008-12-08 2009-05-07 Hitachi Ltd 薄膜プローブの製造方法
KR20110126060A (ko) * 2010-05-14 2011-11-22 세이코 엡슨 가부시키가이샤 전자 부품 검사 장치 및 전자 부품 반송 방법
JP2014106205A (ja) * 2012-11-29 2014-06-09 Advantest Corp プローブ装置および試験装置
KR20140147207A (ko) * 2013-06-18 2014-12-30 주식회사 아이에스시 검사용 인서트
KR101599049B1 (ko) * 2014-11-28 2016-03-04 주식회사 세미코어 반도체 칩 검사장치
KR20170007582A (ko) * 2015-07-08 2017-01-19 삼성전자주식회사 진공 소켓 및 이를 포함하는 반도체 검사 장비
KR20180115564A (ko) * 2017-04-13 2018-10-23 주식회사 이노비즈 소자 픽업 모듈 및 이를 구비하는 반도체 소자 테스트 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TWI794892B (zh) 2023-03-01
TW202223400A (zh) 2022-06-16
WO2022015075A1 (ko) 2022-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI751061B (zh) 測試座及包含其的測試裝置、測試座的製造方法
WO2013151316A1 (ko) 고밀도 도전부를 가지는 테스트용 소켓 및 그 제조방법
KR102063761B1 (ko) 신호 전송 커넥터 및 그 제조방법
TWI533002B (zh) 測試用插件
KR101606284B1 (ko) 관통 홀이 형성된 다공성 절연시트를 갖는 전기적 접속체 및 테스트 소켓
CN113078079A (zh) 半导体封装的测试装置
KR101973609B1 (ko) 정형 및 비정형의 도전성 입자가 혼재된 도전부를 구비하는 반도체 검사용 러버소켓
JP6615680B2 (ja) プローブカード
KR101468586B1 (ko) 도전성 커넥터 및 그 제조방법
KR20200110011A (ko) 전기접속용 커넥터
KR102319388B1 (ko) 검사용 커넥팅 장치
KR101920855B1 (ko) 검사용 소켓
KR102006161B1 (ko) 검사용 소켓
KR102093854B1 (ko) 테스트 소켓
CN112881895A (zh) 导电组件及测试装置
KR20220027445A (ko) 고주파 특성이 향상된 이방 전도성 시트
CN205484688U (zh) 芯片失效分析仪
KR102455150B1 (ko) 피검사 디바이스 검사용 테스트 소켓
KR20190114589A (ko) 반도체 디바이스 검사용 인서트, 베이스 및 테스트 소켓
KR20230102937A (ko) 테스트 소켓
WO2020145492A1 (ko) 신호 전송 커넥터 및 그 제조방법
TW202133500A (zh) 連接器
KR102388678B1 (ko) 검사용 소켓
KR20230139575A (ko) 검사용 커넥터
KR102525559B1 (ko) 신호 손실 방지용 테스트 소켓

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant