TWI794892B - 檢查用連接裝置 - Google Patents

Abstract

本發明關於檢查用連接裝置，上述檢查用連接裝置包括：外罩，具有空氣流通孔；以及導電性橡膠連接器，包括第一導電性橡膠片、第二導電性橡膠片及中間基片，上述第一導電性橡膠片具有第一貫通孔，上述第二導電性橡膠片具有第二貫通孔，上述中間基片在內部具有空氣通道，上述空氣流通孔、上述第一貫通孔、上述空氣通道及第二貫通孔形成用於使空氣流動的空氣移動路徑，若真空單元與上述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。

Description

檢查用連接裝置

本發明關於檢查用連接裝置，更詳細地，關於因訊號傳遞路徑變短而可以實現快速回應的檢查用連接裝置。

為了對被檢查設備進行電檢查，在本發明的技術領域中使用與被檢查設備和檢查裝置接觸來使被檢查設備與檢查裝置相互電連接的檢查用連接裝置。在此情況下，檢查用連接裝置向被檢查設備傳遞檢查裝置的電訊號，向檢查裝置傳遞被檢查設備的電訊號。

測試探針在本發明的技術領域中作為這種連接器使用。

測試探針包括：上下一對金屬銷；彈簧，配置於上述金屬銷之間；以及筒形狀的桶部，在內部包括上述金屬銷及彈簧。

在先前技術的檢查用連接裝置中，在外罩內設置儲存設備的狀態下，在其下方設置多個測試探針，在通過儲存設備與測試探針之間的空間形成可以使空氣流動的空間之後，吸附配置於測試探針下側的被檢查設備，之後實施規定的電檢查。

最近，隨著開發如LPDDR5的高性能晶片，處理速度變快，由此，需要進行高速檢查(high speed test)。

但是，測試探針因多個銷以及在多個銷之間配置彈簧的結構性問題，上下整體長度只能變長，由此，訊號傳遞路徑變長，從而電阻變高，測試可靠性下降。

本發明為了解決上述問題而提出，本發明的目的在於，提供因訊號傳遞路徑變短而可以提高檢查的可靠性的檢查用連接裝置。

用於解決上述技術問題的本發明的檢查用連接裝置與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，上述檢查用連接裝置包括：外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及導電性橡膠連接器，包括第一導電性橡膠片、第二導電性橡膠片及中間基片，上述第一導電性橡膠片由多個第一導電部及第一絕緣部形成，在上述第一導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，上述第一絕緣部用於支撐上述第一導電部，在與上述空氣流通孔對應的位置形成沿著厚度方向貫通的第一貫通孔，上述第二導電性橡膠片由多個第二導電部及第二絕緣部形成，在上述第二導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，下端與被檢查設備的電極相接觸，上述第二絕緣部用於支撐上述第二導電部，在第二絕緣部形成沿著厚度方向貫通的第二貫通孔，上述中間基片配置於上述第一導電性橡膠片與上述第二導電性橡膠片之間，上部面與第一導電部電連接，下部面與第二導電部電連接，在內部形成使第一貫通孔與第二貫通孔相互連通的空氣通道，上述空氣流通孔、上述第一貫通孔、上述空氣通道及第二貫通孔形成用於空氣流動的空氣移動路徑，若真空單元與上述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。

在上述檢查用連接裝置中，在上述外罩的內部還可形成第一設備，在上述第一設備的下部面形成多個端子。

在上述檢查用連接裝置中，上述中間基片的空氣通道可包括：第一孔，在與第一貫通孔對應的位置中朝向上側開口，下部堵塞；第二孔，在與第二貫通孔對應的位置中朝向下側開口，上部堵塞；以及連接通道，使上述第一孔與第二孔連通並使內部水平延伸。

在上述檢查用連接裝置中，上述第一孔可配置於中間基片的邊緣部分，上述第二孔配置於中間基片的中心部分。

在上述檢查用連接裝置中，在上述連接通道的內部可設置能夠維持從第一孔到第二孔的通道高度的加強部件。

在上述檢查用連接裝置中，上述加強部件可以為從上述第一孔到上述第二孔水平延伸且兩端開口的管道。

在上述檢查用連接裝置中，上述管道可在內部層疊配置多個上述連接通道。

在上述檢查用連接裝置中，上述加強部件可以為垂直支撐體，一端與連接通道的上部面相接觸，沿著一端垂直延伸的另一端分別與連接通道的下部面相接觸。

在上述檢查用連接裝置中，還可包括真空片，上部通過第二貫通孔來向中間基片的空氣通道插入，下部與被檢查設備的上部面相接觸，在中心形成中心孔。

在上述檢查用連接裝置中，上述真空片可呈在內部形成中心孔的筒形狀，在上述筒形狀的上部形成沿著半徑方向切開並與上述中心孔連通的切開部。

在上述檢查用連接裝置中，上述真空片的下部可呈越接近下側外徑越增加的圓錐形狀。

在上述檢查用連接裝置中，在上述第二導電性橡膠片的下部面可形成矽片，上述矽片在第二貫通孔的周邊部以環形態突出並與被檢查設備的上部面相接觸。

在上述檢查用連接裝置中，在上述外罩的內部可形成沿著上下方向移動並向下側對第一設備施加壓力的推送裝置。

在上述檢查用連接裝置中，上述第一導電部可在第一絕緣部的表面 突出，在上述第一貫通孔周邊部形成突出與上述第一導電部相同高度的環形的矽片。

用於實現上述目的的本發明的檢查用連接裝置與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，上述檢查用連接裝置包括：外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及導電性橡膠連接器，包括第一片、第二片、第三片及導電性框架，上述第一片形成有在與空氣流通孔相對應的位置沿著厚度方向貫通的第三貫通孔，第二片形成有第三貫通孔和在其他位置沿著厚度方向貫通的第四貫通孔，上述第三片配置於上述第一片與第二片之間，形成有連接上述第三貫通孔與第四貫通孔的長孔形態的第五貫通孔，上述導電性框架由多個第三導電部及第三絕緣部形成，在上述第三導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，貫通上述第一片、第二片、第三片，上述第三絕緣部用於支撐上述第三導電部，在與上述第三貫通孔對應的位置形成第六貫通孔，上述第三貫通孔、第四貫通孔、第五貫通孔、第六貫通孔構成用於使空氣流動的空氣通道，若真空單元與上述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。

在上述檢查用連接裝置中，第一片、第二片及第三片可以相互壓接來附著成一體。

用於解決上述問題的本發明的檢查用連接裝置與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，上述檢查用連接裝置包括：外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及導電性橡膠連接器，包括第四片、第五片及導電性框架，上述第四片形成有在與空氣流通孔對應的位置沿著厚度方向貫通的第七貫通孔，上述第五片附著於上述第四片的下部面，形成有在與第七貫通孔對應的位置沿著厚度方向貫通的第八貫通孔，上述導電性框架由多個第四導電部及第四絕緣部形成，在上述第四導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，上端貫通上述第四片、第五片，上 述第四絕緣部用於支撐上述第四導電部，在上述第四片的下部面或第五片的上部面形成用於使上述第七貫通孔與第八貫通孔相互連接的連接用槽，上述第七貫通孔、連接用槽及第八貫通孔相互連接來形成空氣通道，若真空單元與上述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。

在上述檢查用連接裝置中，上述第四片及第五片可以相互壓接來附著成一體。

用於解決上述問題的本發明的檢查用連接裝置與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，上述檢查用連接裝置包括：包括：外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及導電性片模組，配置於上述外罩的下部，由多個第五導電部及第五絕緣部形成，在上述第五導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，上述第五絕緣部用於支撐上述第五導電部，上述導電性片模組包括：第九貫通孔，配置於與外罩的空氣流通孔對應的位置，朝向上側開口，下部堵塞；第十貫通孔，在中心部分朝向下側開口，上部堵塞；以及空氣通道，以連接上述第九貫通孔與第十貫通孔的方式由形成於內部的連接通道構成，若真空單元與上述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於上述導電性片模組的下部的被檢查設備。

本發明一實施例的檢查用連接裝置具有如下的優點，即，採用導電性橡膠片並形成用於吸附被檢查設備的空氣通道，因此，可以實現快速的檢查。

本發明一實施例的檢查用連接裝置具有如下的優點，即，在空氣通道內設置加強部件，從而，即使受到負荷也可以防止空氣通道被堵塞。

100:檢查用連接裝置

110:外罩

111:第一本體

112:第二本體

120:推送裝置

121:推送本體

122:推送螺栓

123:彈簧部件

130:第一設備

140:導電性橡膠連接器

150:第一導電性橡膠片

151:第一導電部

152:第一絕緣部

153:框架板

160:第二導電性橡膠片

161:第二導電部

162:第二絕緣部

163:框架板

170:中間基片

171:基片本體

172:葉片部

173:連接通道

180:真空片

180’:矽片

190:引導塊

191:螺栓

195:真空單元

196:檢查設備

270:中間基片

273:連接通道

370:中間基片

373:連接通道

440:導電性橡膠連接器

441:第一片

442:第二片

443:第三片

444:導電性框架

540:導電性橡膠連接器

541:第四片

542:第五片

543:導電性框架

640:導電性橡膠連接器

641:第九貫通孔

642:第十貫通孔

643:連接通道

1111:插入孔

1112:螺栓孔

1121:空氣流通孔

1122:支撐部

1531:第一貫通孔

1621:第二貫通孔

1711、2721:第二孔

1721、2711:第一孔

2731:加強部件

3731:垂直支撐體

4411:第三貫通孔

4412、4422、4432:電極孔

4421:第四貫通孔

4431:第五貫通孔

4441:第三導電部

4442:第三絕緣部

4442a:第六貫通孔

4443:框架板

5411:第七貫通孔

5421:第八貫通孔

5422:連接用槽

5431:第四導電部

5432:第四絕緣部

5432a:中心孔

圖1為本發明第一實施例的檢查用連接裝置的立體圖。

圖2為從下方觀察圖1的檢查用連接裝置的立體圖。

圖3為圖1的檢查用連接裝置的側視圖。

圖4為圖1的檢查用連接裝置的分解立體圖。

圖5為圖1的V-V剖視圖。

圖6為圖1的VI-VI剖視圖。

圖7為示出作為圖1的檢查用連接裝置的一結構的中間基片的剖面的圖。

圖8為示出作為圖1的檢查用連接裝置的一結構的第一導電性橡膠片的圖。

圖9為示出本發明第二實施例的檢查用連接裝置的中間基片的剖面的圖。

圖10及圖11為示出向包括圖9的中間基片的導電性蓋連接器插入真空片的狀態的圖。

圖12為圖11的XII-XII剖視圖。

圖13為示出本發明第三實施例的檢查用連接裝置的中間基片370的剖面的圖。

圖14為本發明第四實施例的檢查用連接裝置的導電性橡膠連接器的分解立體圖。

圖15為圖14的結合立體圖。

圖16為本發明第五實施例的檢查用連接裝置的導電性橡膠連接器的分解立體圖。

圖17為本發明第六實施例的檢查用連接裝置的導電性橡膠連接器的剖面立體圖。

圖18為示出本發明第七實施例的檢查用連接裝置的導電性橡膠連接器的下部面的立體圖。

本發明的實施例以說明本發明的技術思想為目的而例示。本發明的發明要求保護範圍並不限定於以下公開的實施例或實施例的具體說明。

除非另有定義，否則本發明中所使用的所有技術術語和科學術語均具有本發明所屬技術領域的普通技術人員通常理解的含義。本發明中所使用的所有術語是為了更清楚地描述本發明而不是限制本發明的範圍。

除非在包括以下表達方式的句子或文章中另有說明，否則在本發明中所使用的“包括”、“設置”、“具有”等表達方式應以開放性術語(open-ended terms)加以理解，具有包括其他實施例的可能性。

除非另有定義，否則在本發明中所記述的單數的表達可包括複數的含義，這也同樣適用於在發明要求保護範圍中所記載的單數的表達。

在本發明中所使用的“第一”、“第二”等表達方式用於相互區分多個結構要素，並不限定相應結構要素的順序或重要性。

在本發明中，當某結構要素與另一結構要素相“連接”或相“結合”時，應當理解為上述某結構要素可直接連接或結合在上述另一結構要素，或者，以新的其他結構要素為介質相連接或相結合。

本發明中所使用的“厚度方向”的方向指示語為與片的面方向垂直的方向。本發明中所使用的“上側”作為與基片的面方向垂直的方向，意味著上方，“下側”意味著與上側的相反方向。

本發明中所使用的“邊緣”部分為與基片的邊緣相鄰的部分，“中心部分”為基片的中間位置，準確地，並非僅意味著中心，而是中心和其周邊。

參照圖式中所示的例說明實施例。在圖式中，對相同或對應的結構要素賦予相同的元件符號。並且，在說明以下的實施例的過程中，可以省略相同或對應結構要素的重複說明。但是，即使省略與結構要素有關的技術，而並不意味著這種結構要素並不排除在任何實施例。

以下說明的實施例和圖式中所示的例用於執行對於如系統半導體 的被檢查設備的電檢查，在此情況下，第一設備意味著系統半導體的檢查所需要的儲存設備。只是，並不限定被檢查設備和第一設備的種類，只要是電檢查所需要的設備，則能夠以多種方式應用。

並且，本發明的檢查用連接裝置通過真空單元吸附被檢查設備之後，向具有檢查裝置的位置移動之後執行需要的電檢查，檢查裝置為先前技術結構，因此，將省略詳細說明。只是，在此情況下，檢查裝置向被檢查設備施加電訊號之後，可通過識別回饋的訊號來確認被檢查設備的不良與否。

首先，在圖1至圖8所示中示出本發明第一實施例的檢查用連接裝置100，這種檢查用連接裝置100包括外罩110、推送裝置120、第一設備130、導電性橡膠連接器140及真空片180。

上述外罩110包括：四邊框架形態的第一本體111；及第二本體112，配置於上述四邊框架形態的第一本體111的下側，在內部形成規定的收容空間。

上述第一本體111呈四邊板形態，在邊緣兩側形成插入真空單元195的插入孔1111。在上述插入孔1111的內部形成用於以具有氣密性的方式連接真空單元195的橡膠環。

在上述第一本體111的中心部分形成多個螺栓孔1112，在上述螺栓孔1112的內周面形成向內側突出的台階。

本發明包括一對空氣流通孔1121，上述一對空氣流通孔1121配置於上述第一本體111的下側，在與上述插入孔1111相對應的位置，沿著上下方向貫通。上述空氣流通孔1121的上端與真空單元195相連接來吸入空氣。

在上述第二本體112的底部面，以包圍中心的收容空間的方式在4個方向朝向下側延伸的多個支撐部1122突出形成，支撐部1122的端部與導電性橡膠連接器140的邊緣部分相結合。在上述收容空間內插入推送裝置120、第一設備130。

在此情況下，空氣流通孔1121在第四個支撐部1122中形成有相向的 一對支撐部1122。

上述推送裝置120向上述外罩110的內部插入配置，執行對第一設備130向導電性橡膠連接器140施加壓力的功能。

如圖6所示，這種推送裝置120包括：推送本體121，在第二本體112的收容空間內上升或下降；以及推送螺栓122，下部在上述推送本體121螺紋結合，其上端向第一本體111的插入孔1111插入並卡在台階。

並且，在上述推送本體121與台階之間設置彈簧部件123，上述彈簧部件123向遠離第一本體111的方向對推送本體121施加彈性壓力。在上述推送螺栓122卡在第一本體111的台階來使得推送本體121不從收容空間引出的狀態下，通過彈簧部件123的彈性加壓力，推送本體121向下側對第一設備130施加壓力。

上述第一設備130配置於上述外罩110的內部，在下部面形成多個端子。具體地，第一設備130作為用於被檢查設備196的電檢查的儲存設備，並非一直安裝於外罩110內部。第一設備130可以為如LPDDR5的高性能儲存設備，但並不局限於此，可以使用多種設備。

在此情況下，第一設備130被推送裝置120施加壓力而緊貼在導電性橡膠連接器140。

上述導電性橡膠連接器140使第一設備130與被檢查設備196相互電連接，在其內部設置用於吸附被檢查設備196的空氣通道。具體地，上述導電性橡膠連接器140在內部具有與外罩110的空氣流通孔1121連通的空氣通道，通過上述空氣通道，可以吸附下側的被檢查設備196。

這種導電性橡膠連接器140包括第一導電性橡膠片150、第二導電性橡膠片160、中間基片170。

上述第一導電性橡膠片150位於導電性橡膠連接器140的上側，與第一設備130的下部面接觸。

這種第一導電性橡膠片150整體呈片形態，由第一導電部151、第一絕緣部152及框架板153構成。

各個第一導電部151在第一設備130與中間基片170之間起到導電部的功能，執行在厚度方向的訊號傳遞。第一導電部151可呈沿著厚度方向延伸的圓柱形狀。在這種圓柱形狀中，中間的直徑可小於上端及下端的直徑。這種第一導電部151的上端比第一絕緣部152突出並與第一設備130的端子相接觸。

各個第一導電部151包括可沿著厚度方向接觸的多個導電性粒子。以可沿著厚度方向導電的方式接觸的導電性粒子形成在第一導電部151內執行在厚度方向的訊號傳遞的導電路。導電性粒子之間可通過形成絕緣部的彈性絕緣物質填充。

當通過第一設備130的端子向厚度方向的下方按壓第一導電部151時，第一導電部151可以向面方向稍微膨脹，第一絕緣部152可以允許第一導電部151的這種膨脹。

導電性粒子可以通過高導電性金屬覆蓋核心粒子的表面來形成。核心粒子由鐵、鎳、鈷等的金屬材料形成，也可以由具有彈性的樹脂材料形成。作為向核心粒子的表面覆蓋的高導電性金屬，可以使用金、銀、銠、鉑、鉻等。

第一絕緣部152可呈四邊形片形態，可以形成彈性區域。多個第一導電部151通過第一絕緣部152沿著面方向以等間距或不等間距相互隔開並絕緣。第一絕緣部152作為一個彈性體，多個第一導電部151在第一絕緣部152的厚度方向插入於第一絕緣部152。第一絕緣部152由彈性絕緣物質形成，沿著厚度方向和面方向具有彈性。第一絕緣部152可以維持第一導電部151的形狀，並向上下方向維持導電部。

第一絕緣部152可以由固化的矽橡膠材料形成。例如，液相的矽橡膠可向用於成型第一導電性橡膠片150的成型模具內注入並固化，由此可形成第一絕緣部152。作為用於成型第一絕緣部152的液相的矽橡膠材料，可以使用加 成型液相矽橡膠、縮合型液相矽橡膠、含乙烯基或羥基的液相矽橡膠等。作為具體例，上述液相矽橡膠材料可以包括二甲基矽橡膠、甲基乙烯基矽橡膠、甲基苯基乙烯基矽橡膠等。

上述框架板153在中心形成開口，上述開口與第一絕緣部152的邊緣相連接，框架板153分別在四邊形的邊緣突出。在各個框架板153中，在與空氣流通孔1121對應的位置形成第一貫通孔1531。另一方面，在框架板153還形成多個孔，這種孔為了在外罩110固定第一導電性橡膠片150而執行使螺栓191通過的功能。

上述第二導電性橡膠片160位於導電性橡膠連接器140的下側，包括：多個第二導電部161，下端與被檢查設備196的端子相連接，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈；第二絕緣部162，用於支撐上述第二導電部161；以及框架板163。

在這種第二導電性橡膠片160中，第二導電部161、第二絕緣部162具有與第一導電部151及第一絕緣部152相同的形態，因此，將省略具體說明。

在第二導電性橡膠片160中，在第二絕緣部162形成沿著厚度方向貫通的第二貫通孔1621。具體地，在片形態的第二絕緣部162的中心部分，第二貫通孔1621沿著厚度方向貫通形成。在此情況下，第二貫通孔1621的數量或位置並不局限於此，可以在第二絕緣部162中以適當的數量和位置配置。

上述中間基片170位於在導電性橡膠連接器140的中間，具體地，配置於上述第一導電性橡膠片150與上述第二導電性橡膠片160之間。中間基片170的上部面與第一導電部151電連接，中間基片170的下部面與第二導電部161電連接，在內部形成用於使第一貫通孔1531與第二貫通孔1621相互連接的空氣通道(1711、1721、173)。

具體地，中間基片170在上部面和下部面分別形成電極片，上部面的電極片與第一導電性橡膠片150的第一導電部151的下端連接，下部面的電極 片與第二導電性橡膠片160的第二導電部161的上端連接。上述中間基片170執行使第一設備130及被檢查設備196相互電連接的功能。

這種中間基片170包括四邊形片形態的基片本體171和在上述本體的各個邊緣突出的葉片部172，整體形狀與第一導電性橡膠片150及第二導電性橡膠片160相同。

在這種中間基片170中，在一對葉片部172中，在與第一貫通孔1531對應的位置形成第一孔1721。具體地，在中間基片170的邊緣部分形成朝向上側開口且下部堵塞的第一孔1721。

在中間基片170的基片本體171中，在與第二貫通孔1621對應的位置形成朝向下開口且上部堵塞的第二孔1711。這種第二孔1711配置於中間基片170的中心部分。

並且，中間基片170在內部形成使上述第一孔1721與第二孔1711連通並使內部水平地延伸的連接通道173。

在此情況下，第一孔1721、連接通道173及第二孔1711協同來形成使空氣流動的空氣通道，通過真空單元195吸入的空氣沿著空氣通道移動。

上述真空片180執行使空氣通道與被檢查設備196的上部面相連接的功能。具體地，真空片180的上部通過第二貫通孔1621來向中間基片170的空氣通道插入，下部與被檢查設備196的上部面接觸，在中心形成中心孔。

這種真空片180呈在內部形成中心孔的筒形狀，在筒形狀的上部形成沿著半徑方向切開的切開部，切開部與中心孔連通。這種真空片180的上部通過中間基片170的第二孔1711插入之後，切開部與連接通道173連通。

上述真空片180的下部呈越接近下側外徑越增加的圓錐的形狀，從而增加與被檢查設備196的上部面相接觸的面積。

另一方面，圖4中，元件符號190為引導塊190。這種引導塊190執行被檢查設備196的引導作用，可以實現導電性橡膠連接器140的穩定結合。引導 塊190通過螺栓與導電性橡膠連接器140一同固定結合在外罩110的(第二)支撐部1122的下部面。

這種本發明一實施例的檢查用連接裝置100具有如下的作用效果。

首先，真空單元195在外罩110中與空氣流通孔1121的上端相結合之後，若真空單元195進行工作，則配置於導電性橡膠連接器140的下部的被檢查設備196被吸附在導電性橡膠連接器140的下部。

具體地，如圖5所示，若真空單元195進行工作，則空氣沿著連接到空氣流通孔1121、第一貫通孔1531、空氣通道、第二貫通孔1621的空氣移動路徑移動並吸附配置於第二導電性橡膠片160的下部面的被檢查設備196。

之後，在吸附被檢查設備196的狀態下，檢查用連接裝置100向檢查裝置(未圖示)移動之後執行規定的電檢查。

在完成電檢查之後，檢查用連接裝置向原本的等待位置移動，之後，若真空單元195停止工作，則被吸附的被檢查設備196可從檢查用連接裝置100分離。

與利用先前技術的測試探針的連接裝置相比，這種本發明的檢查用連接裝置100可以利用導電性橡膠片，從而可以減少整體訊號傳遞路徑來提高檢查的可靠性。

尤其，若訊號傳遞路徑變短，則電阻減少，從而，整體訊號傳遞變得簡單。

另一方面，以往，測試探針的突出高度高，空氣可以通過測試探針與第一設備的端子之間的間隙流動，若採用導電性橡膠片，則導電性橡膠片的第一導電部的突出高度小於測試探針，空氣很難向導電性橡膠片的第一導電部與第一設備130的端子之間流動，因此，在內部構成可以使空氣流動的額外的路徑。

由此，根據本發明的一實施例，本發明具有如下的效果，即，訊號 傳遞特性變得優秀，可以維持對於被檢查設備196的吸附力。

這種本發明的檢查用連接裝置可如下以多種方式變形。

在圖9至圖12中示出本發明第二實施例的檢查用連接裝置。

在第二實施例的檢查用連接裝置中，中間基片與第一實施例存在差異。

具體地，在第二實施例的檢查用連接裝置中，在中間基片270的連接通道273的內部還配置加強部件2731，當通過推送裝置產生壓力時，用於防止出現因連接通道下沉而導致的空氣流動變得並不順暢的現象。

具體地，加強部件2731配置於連接通道273的內部，可以維持從第一孔2711到第二孔2721的通路高度，在第二實施例中，這種加強部件使用沿著水平方向延伸的管道。

在此情況下，管道的兩端開口，在多個連接通道的內部層疊配置。在此情況下，各個管道通過環氧或其他黏結劑固定在連接通道內。管道的材料可以使用一般用於測試探針的金屬桶，但並不局限於此，只要是具有管形狀，均可以使用金屬或非金屬。這種管道的兩端開口，因此，管道可執行空氣流動管的功能和防下沉功能。

在此情況下，管道的一端在第二貫通孔周邊開口，在第二貫通孔配置真空片180，因此，管道的開口與真空片180的切開部連通，從而空氣可以順暢地流動。

在圖13中示出第三實施例的本發明的檢查用連接裝置。具體地，第三實施例的本發明的檢查用連接裝置與第二實施例不同，作為加強部件3731，在連接通道373內配置多個垂直站立的多個垂直支撐體3731。

這種垂直支撐體3731的上端與連接通道的上部面相接觸，下端與連接通道的下部面相接觸，從而維持連接通道的上部面與下部面之間的間隔。這種垂直支撐體3731可以為縱向形成的管道，但並不局限於此，可以為縱向形成 的薄桿。較佳地，垂直支撐體的材料為金屬，也可以為塑膠或其他非金屬材料。

較佳地，垂直支撐體3731為以不堵塞連接通道的方式寬度小的柱或管道，沿著連接通道的長度方向，多個垂直支撐體3731可以相互隔開配置。

在垂直支撐體3731配合在連接通道內部的情況下，即使施加壓力，連接通道也在不會堵塞的情況下維持規定空間。

在圖14及圖15中示出第四實施例的本發明的檢查用連接裝置。

第四實施例的檢查用連接裝置與第一實施例的導電性橡膠片存在差異。具體地，在第四實施例的檢查用連接裝置中，導電性橡膠連接器440由第一片441、第二片442、第三片443及導電性框架444構成。

第一片441呈薄片形態，在與空氣流通孔對應的位置形成第三貫通孔4411。並且，在與第三導電部4441對應的位置形成多個電極孔4412。

第二片442呈薄片形態，在與第三貫通孔4411不同的位置形成沿著厚度方向貫通的第四貫通孔4421。在此情況下，第四貫通孔4421形成於第二片442的中心部分。並且，在第二片442中，與第三導電部4441對應的位置形成電極孔4422。

上述第三片443為位於上述第一片441與第二片442之間的片。在這種第三片443形成以連接第三貫通孔4411與第四貫通孔的方式沿著一方向以長的方式形成的長孔形狀的第五貫通孔4431。在上述第三片443中，在與第三導電部4441對應的位置形成電極孔4432。

在此情況下，上述第一片441、第三片443、第二片442相互層疊配置並壓接來以形成為一體的方式呈一個片形態。

上述導電性框架444包括：多個第三導電部4441，在彈性絕緣物質，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈；以及第三絕緣部4442，支撐上述第三導電部4441，在中心部分形成第六貫通孔4442a。並且，在第三絕緣部4442的周圍形成框架板4443。

第三導電部4441通過第一片441、第二片442、第三片443的電極孔，其上端與第一設備130的端子相接觸。第三導電部4441的下端與被檢查設備的電極聯接。構成這種第三導電部4441、第三絕緣部4442的材料與第一導電部及第一絕緣部相同，因此將省略具體說明。上述導電性框架444附著在上述第二片442的下部面。

在此情況下，上述第三貫通孔4411、第四貫通孔4421、第五貫通孔4431、第六貫通孔4442a構成用於空氣流動的空氣通道，若真空單元與上述空氣流通孔的上部面相連接，則可吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。

在圖16中示出第五實施例的本發明的檢查用連接裝置。

第五實施例的檢查用連接裝置與第四實施例具有類似的形態，在並不單獨形成長孔形態的片的方面存在差異。

具體地，在檢查用連接裝置中，導電性橡膠連接器540包括導電性框架543，上述導電性框架543包括：第四片541，在與空氣流通孔對應的位置中形成沿著厚度方向貫通的第七貫通孔5411；第五片542，附著於上述第四片541的下部面，在與第七貫通孔5411對應的位置形成沿著厚度方向貫通的第八貫通孔5421；多個第四導電部5431，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，上端貫通上述第四片541、第五片542來分別與多個端子相接觸；以及第四絕緣部5432，支撐上述第四導電部5431，在中心形成中心孔5432a。

在此情況下，在第五片542的上部面形成以連接第七貫通孔5411與第八貫通孔5421的方式沿著長度方向以長的方式凹陷的連接用槽5422。具體地，在第四實施例中，利用3個片來構成空氣通道，但是，在第五實施例中，僅可通過2個片構成空氣通道。

在此情況下，連接用槽5422通過如下工序製作，即，在具有層疊兩張片的厚度的第五片542通過蝕刻形成連接用槽5422並加工第八貫通孔5421之 後，與形成有第七貫通孔5411的第四片541壓接值周，與形成有第四導電部5431的導電性框架543結合來製作。

另一方面，本發明例示了連接用槽5422形成於第五片542，但並不局限於此，也可以形成於第四片541的下部面側。

在圖17中示出第六實施例的本發明的檢查用連接裝置。

在第六實施例的連接裝置中，導電性橡膠連接器640包括空氣通道，上述空氣通道包括：第九貫通孔641，配置於與外罩的空氣流通孔對應的位置，朝向上側開口，下部堵塞；第十貫通孔642，在中心部分朝向下側開口，上部堵塞；以及空氣通道，以連接上述第九貫通孔641與第十貫通孔642的方式形成於內部。這種導電性橡膠連接器有一個導電性片構成，在內部以形成為一體的方式包括第九貫通孔641、第十貫通孔642及連接通道643。

因此，若真空單元與上述空氣流通孔的上部相連接，則可以吸附配置於上述導電性片模組的下部的被檢查設備。

即，無需形成多個膜，可將橡膠連接器以單體製作並在其內部形成空氣通道。

在圖18中示出第七實施例的本發明的檢查用連接裝置。在第七實施例的連接裝置中，並未單獨配置第一實施例的真空片，在上述第二導電性橡膠片的下部面形成矽片180'，上述矽片180'在第二貫通孔周邊部中以環形態突出並與被檢查設備的上部面相接觸。以上，通過一部分實施例和圖式所示的例說明了本發明的技術思想，在不超出本發明所屬技術領域的普通技術人員可以理解的本發明的技術思想及範圍的範圍內，可進行多種置換、變形及變更。並且，這種置換、變形即變更屬於附加的發明要求保護範圍內。

100:檢查用連接裝置

110:外罩

111:第一本體

112:第二本體

130:第一設備

140:導電性橡膠連接器

150:第一導電性橡膠片

151:第一導電部

152:第一絕緣部

153:框架板

160:第二導電性橡膠片

161:第二導電部

162:第二絕緣部

163:框架板

170:中間基片

171:基片本體

172:葉片部

180:真空片

190:引導塊

191:螺栓

1121:空氣流通孔

1122:支撐部

1531:第一貫通孔

1621:第二貫通孔

1711:第二孔

Claims (19)

1. 一種檢查用連接裝置，其通過與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，所述檢查用連接裝置包括： 外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及 導電性橡膠連接器，包括第一導電性橡膠片、第二導電性橡膠片及中間基板，所述第一導電性橡膠片由多個第一導電部及第一絕緣部形成，在所述第一導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，所述第一絕緣部用於支撐所述第一導電部，在與所述空氣流通孔對應的位置形成沿著厚度方向貫通的第一貫通孔，所述第二導電性橡膠片由多個第二導電部及第二絕緣部形成，在所述第二導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，下端與被檢查設備的電極相接觸，所述第二絕緣部用於支撐所述第二導電部，在所述第二絕緣部形成沿著厚度方向貫通的第二貫通孔，所述中間基板配置於所述第一導電性橡膠片與所述第二導電性橡膠片之間，上部面與所述第一導電部電連接，下部面與所述第二導電部電連接，在內部形成使所述第一貫通孔與所述第二貫通孔相互連通的空氣通道， 所述空氣流通孔、所述第一貫通孔、所述空氣通道及所述第二貫通孔形成用於空氣流動的空氣移動路徑，若真空單元與所述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於所述第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。
2. 如請求項1所述之檢查用連接裝置，其中，在所述外罩的內部形成第一設備，在所述第一設備的下部面形成多個端子。
3. 如請求項1所述之檢查用連接裝置，其中，所述中間基板的所述空氣通道包括： 第一孔，在與所述第一貫通孔對應的位置中朝向上側開口，下部堵塞； 第二孔，在與所述第二貫通孔對應的位置中朝向下側開口，上部堵塞；以及 連接通道，使所述第一孔與所述第二孔連通並使內部水平延伸。
4. 如請求項3所述之檢查用連接裝置，其中，所述第一孔配置於所述中間基板的邊緣部分， 所述第二孔配置於所述中間基板的中心部分。
5. 如請求項3所述之檢查用連接裝置，其中，在所述連接通道的內部設置能夠維持從所述第一孔到所述第二孔的通道高度的加強部件。
6. 如請求項5所述之檢查用連接裝置，其中，所述加強部件為從所述第一孔到所述第二孔水平延伸且兩端開口的管道。
7. 如請求項6所述之檢查用連接裝置，其中，所述管道在內部層疊配置多個所述連接通道。
8. 如請求項5所述之檢查用連接裝置，其中，所述加強部件為垂直支撐體，一端與所述連接通道的上部面相接觸，沿著所述一端垂直延伸的另一端分別與所述連接通道的下部面相接觸。
9. 如請求項1所述之檢查用連接裝置，其中，所述檢查用連接裝置還包括真空片，上部通過所述第二貫通孔來向所述中間基板的所述空氣通道插入，下部與被檢查設備的上部面相接觸，在中心形成中心孔。
10. 如請求項9所述之檢查用連接裝置，其中，所述真空片呈在內部形成中心孔的筒形狀， 在所述筒形狀的上部形成沿著半徑方向切開並與所述中心孔連通的切開部。
11. 如請求項10所述之檢查用連接裝置，其中，所述真空片的下部呈越接近下側外徑越增加的圓錐形狀。
12. 如請求項1所述之檢查用連接裝置，其中，在所述第二導電性橡膠片的下部面形成矽片，所述矽片在所述第二貫通孔的周邊部以環形態突出並與被檢查設備的上部面相接觸。
13. 如請求項1所述之檢查用連接裝置，其中，在所述外罩的內部形成沿著上下方向移動並向下側對第一設備施加壓力的推送裝置。
14. 如請求項1所述之檢查用連接裝置，其中，所述第一導電部在所述第一絕緣部的表面突出， 在所述第一貫通孔的周邊部形成突出與所述第一導電部相同高度的環形的矽片。
15. 一種檢查用連接裝置，其通過與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，所述檢查用連接裝置包括： 外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及 導電性橡膠連接器，包括第一片、第二片、第三片及導電性框架，所述第一片形成有在與所述空氣流通孔相對應的位置沿著厚度方向貫通的第三貫通孔，所述第二片形成有所述第三貫通孔和在其他位置沿著厚度方向貫通的第四貫通孔，所述第三片配置於所述第一片與所述第二片之間，形成有連接所述第三貫通孔與所述第四貫通孔的長孔形態的第五貫通孔，所述導電性框架由多個第三導電部及第三絕緣部形成，在所述第三導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，貫通所述第一片、所述第二片、所述第三片，所述第三絕緣部用於支撐所述第三導電部，在與所述第三貫通孔對應的位置形成第六貫通孔， 所述第三貫通孔、所述第四貫通孔、所述第五貫通孔、所述第六貫通孔構成用於使空氣流動的空氣通道，若真空單元與所述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。
16. 如請求項15所述之檢查用連接裝置，其中，所述第一片、所述第二片及所述第三片相互壓接來附著成一體。
17. 一種檢查用連接裝置，其通過與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，所述檢查用連接裝置包括： 外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及 導電性橡膠連接器，包括第四片、第五片及導電性框架，所述第四片形成有在與所述空氣流通孔對應的位置沿著厚度方向貫通的第七貫通孔，所述第五片附著於所述第四片的下部面，形成有在與第七貫通孔對應的位置沿著厚度方向貫通的第八貫通孔，所述導電性框架由多個第四導電部及第四絕緣部形成，在所述第四導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，上端貫通所述第四片、所述第五片，所述第四絕緣部用於支撐所述第四導電部， 在所述第四片的下部面或所述第五片的上部面形成用於使所述第七貫通孔與所述第八貫通孔相互連接的連接用槽，所述第七貫通孔、所述連接用槽及所述第八貫通孔相互連接來形成空氣通道，若真空單元與所述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於第二導電性橡膠片的下部面的被檢查設備。
18. 如請求項17所述之檢查用連接裝置，其中，所述第四片及所述第五片相互壓接來附著成一體。
19. 一種檢查用連接裝置，其通過與被檢查設備的電極連接來執行對於被檢查設備的電檢查，所述檢查用連接裝置包括： 外罩，在內部貫通有沿著上下方向延伸的空氣流通孔；以及 導電性片模組，配置於所述外罩的下部，由多個第五導電部及第五絕緣部形成，在所述第五導電部中，在彈性絕緣物質內，多個導電性粒子沿著厚度方向分佈，所述第五絕緣部用於支撐所述第五導電部， 所述導電性片模組包括： 第九貫通孔，配置於與所述外罩的所述空氣流通孔對應的位置，朝向上側開口，下部堵塞； 第十貫通孔，在中心部分朝向下側開口，上部堵塞；以及 空氣通道，以連接所述第九貫通孔與所述第十貫通孔的方式由形成於內部的連接通道構成， 若真空單元與所述空氣流通孔的上部相連接，則吸附配置於所述導電性片模組的下部的被檢查設備。

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