TWI809402B - 用於電連接的連接器 - Google Patents

Abstract

本發明提供配置於檢查裝置與受檢設備之間的用於電連接的連接器。用於電連接的連接器包括上側導電模組、下側導電模組及絕緣部。上側導電模組包括沿著上下方向延伸的至少一個上側彈性導電部。下側導電模組包括與上側彈性導電部對應且沿著上下方向延伸的至少一個下側彈性導電部。絕緣部包括使上側彈性導電部從上往下插入且使下側彈性導電部從下往上插入的貫通孔。在上側導電模組與下側導電模組之間，絕緣部以能夠分離的方式與上側導電模組及下側導電模組相結合。

Description

用於電連接的連接器

本發明關於使檢查裝置與受檢設備電連接的連接器。

為了對如半導體設備的受檢設備進行檢查，在所屬技術領域中使用了使檢查裝置與受檢設備電連接的連接器。連接器配置於檢查裝置與受檢設備之間。連接器向受檢設備傳輸檢查裝置的電測試訊號，向檢查裝置傳輸受檢設備的電回應訊號。作為這種連接器的一例，所屬技術領域中已知的有導電性橡膠片。

導電性橡膠片具有多個金屬粒子以可導電的方式沿著上下方向集合而成的多個彈性導電部。多個彈性導電部在檢查裝置與受檢設備之間執行訊號傳輸。多個彈性導電部藉由由矽橡膠形成的絕緣部沿著上下方向維持。

彈性導電部和絕緣部可一同由在液態絕緣物質混合多個金屬粒子的液態成型材料製成。可向上述液態成型材料施加磁場來使多個金屬粒子沿著上下方向集合，由此可以形成彈性導電部。在一同成型彈性導電部及絕緣部的過程中，一個彈性導電部的多個金屬粒子和與此相鄰的彈性導電部的多個金屬粒子可以連接，由此，無法實現多個彈性導電部的絕緣。

作為用於實現彈性導電部之間的絕緣的一個方案，韓國公開專利公報第10-2009-0077991號公開了在絕緣部形成貫通孔，將以銷形狀預先製成的彈性絕緣部向貫通孔單獨插入的製造步驟。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻0001：韓國公開專利公報第10-2009-0077991號。

在將銷形狀的彈性導電部向絕緣部的貫通孔插入的上述製造步驟中，在需要單獨製造多個彈性導電部及在彈性導電部與絕緣部之間需要單獨組裝方面比較複雜。並且，在上述製造步驟中，增加導電性橡膠片的製造所需時間並增加製造費用，降低導電性橡膠片的量產型。並且，單獨的彈性導電部具有低的工作性，因此，降低導電性橡膠片的導電特性。

在使用導電性橡膠片的檢查中，導電性橡膠片的彈性導電部為了呈現出規定水平以上的導電性(低電阻)，由受檢設備施加的壓力需要達到規定水平以上。但是，在先前技術的導電性橡膠片中，彈性導電部被絕緣部限制，從而無法彈性變形成或彈性復原成所需水平以上。由此，需要由受檢設備向彈性導電部施加強的壓力。強的壓力會使受檢設備受損。並且，在強的壓力下，反復執行檢查的導電性橡膠片的使用壽命將縮減。先前技術的導電性橡膠片並不具備即使藉助低的壓力也能夠順暢地彈性變形的彈性導電部，無法在低的壓力下進行高可靠性工作。

並且，先前技術的導電性橡膠片的彈性導電部的中間部位變細。這是因為當多個金屬粒子藉助磁場沿著上下方向集合時，在彈性導電部的中間部位中的微弱磁場無法將多個金屬粒子集合成所需水平以上，從而彈性導電部的中間部位變細。因此，先前技術的導電性橡膠片的彈性導電部可具有微弱的強度，有可能因反復的檢查而容易受損。

本發明的一實施例提供具有彈性導電部的用於電連接的連接器，上述彈性導電部藉助很小的力順暢地發生彈性變形，具有高的工作性。本發明的一實施例提供具有多個彈性導電部的用於電連接的連接器，上述彈性導電部具有高的工作性並被模組化。

本發明實施例涉及配置於兩個電子設備之間來用於使兩個電子設備電連接的連接器。一實施例的用於電連接的連接器包括上側導電模組、下側導電模組及絕緣部。上側導電模組具有沿著上下方向延伸的至少一個上側彈性導電部。下側導電模組具有沿著上述上下方向延伸的至少一個下側彈性導電部，上述下側彈性導電部與上側彈性導電部對應。絕緣部具有使上側彈性導電部從上往下插入且使下側彈性導電部從下往上插入的貫通孔。在上側導電模組與下側導電模組之間，絕緣部以可分離的方式與上側導電模組及下側導電模組相結合。

在一實施例中，在貫通孔內形成第一間隙，在上側彈性導電部及下側彈性導電部的上下方向上的非加壓狀態下，上述第一間隙使上側彈性導電部的下端與下側彈性導電部的上端沿著上下方向隔開。

在一實施例中，在上述非加壓狀態下，在貫通孔的內周面與上側彈性導電部的外周面之間形成第二間隙，上述第二間隙為藉由貫通孔的內周面的至少一部分與上側彈性導電部的外周面的至少一部分形成的空間，允許上側彈性導電部的彈性變形。

在一實施例中，在上述非加壓狀態下，在貫通孔的內周面與下側彈性導電部的外周面之間形成第三間隙，上述第三間隙為藉由貫通孔的內周面的至少一部分與下側彈性導電部的外周面的至少一部分形成的空間，允許下側彈性導電部的彈性變形。在上述非加壓狀態下，第一間隙沿著上下方向與第二間隙及第三間隙相連接。

在一實施例中，上側彈性導電部在下端形成凸出部及凹陷部中的一個，下側彈性導電部在上端形成凸出部及凹陷部中的另一個。凸出部沿著上下方向朝向凹陷部扣入。

在一實施例中，上側彈性導電部及下側彈性導電部中的一個沿著上 下方向所形成的長度小於上側彈性導電部及下側彈性導電部中的另一個沿著上下方向所形成的長度。

在一實施例中，上側彈性導電部及下側彈性導電部中的一個包含第一彈性物質，上側彈性導電部及下側彈性導電部中的另一個包含第二彈性物質。在第一溫度範圍內的上側彈性導電部及下側彈性導電部的加壓狀態下，第一彈性物質具有第一膨脹率，第二彈性物質具有第二膨脹率。第一彈性物質的第一膨脹率小於第二彈性物質的第二膨脹率。第一彈性物質包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種和矽橡膠。

在一實施例中，上側彈性導電部及下側彈性導電部中的一個包含第一彈性物質，上側彈性導電部及下側彈性導電部中的另一個包含第二彈性物質。在第二溫度範圍內的上側彈性導電部及下側彈性導電部的加壓狀態下，第一彈性物質具有第三膨脹率，第二彈性物質具有第四膨脹率。第二彈性物質的第四膨脹率大於第一彈性物質的第三膨脹率。第二彈性物質可包含氟及矽橡膠。

在一實施例中，上側彈性導電部混合有第一彈性物質及第一導電性物質，下側彈性導電部混合有第二彈性物質及第二導電性物質。

在一實施例中，上側彈性導電部及下側彈性導電部中的至少一個包括：第一導電部，能夠沿著上下方向導電；以及第二導電部，沿著上下方向包圍第一導電部，能夠沿著上下方向導電。第一導電部包含第一彈性物質，第二導電部包含第二彈性物質。在第一溫度範圍內的上側彈性導電部及下側彈性導電部的加壓狀態下，第一彈性物質具有第一膨脹率，第二彈性物質具有第二膨脹率。在小於第一溫度範圍的第二溫度範圍內的上側彈性導電部及下側彈性導電部的加壓狀態下，第一彈性物質具有第三膨脹率，第二彈性物質具有第四膨脹率。第一彈性物質的第一膨脹率小於第二彈性物質的第二膨脹率，第二彈性物質的第四膨脹率大於第一彈性物質的第三膨脹率。

在一實施例中，第一導電部包含第一彈性物質，第二導電部包含第 二彈性物質。第一彈性物質選自包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的至少一種及矽橡膠在內的第一組以及包含氟及矽橡膠在內的第二組中的一個組，第二彈性物質選自第一組及第二組中的剩餘一個組。

在一實施例中，上側導電模組包括沿著上下方向支撐上側彈性導電部並沿著與上下方向正交的水平方向延伸的上側支撐部。下側導電模組包括沿著上下方向支撐下側彈性導電部並沿著水平方向延伸的下側支撐部。上側支撐部與絕緣部的上部面以能夠分離的方式接合，下側支撐部與絕緣部的下部面以能夠分離的方式接合。

根據本發明的一實施例，上側彈性導電部及下側彈性導電部在非加壓的狀態下，藉由第一間隙沿著上下方向分離，在規定的壓力下沿著上下方向相接觸。第一間隙可針對上側彈性導電部及下側彈性導電部之間的訊號傳輸，起到一種開關的功能。

並且，根據本發明的一實施例，上側彈性導電部藉由第二間隙從絕緣部的貫通孔分離，下側彈性導電部藉由第三間隙從絕緣部的貫通孔分離。由此，藉助受檢設備的壓力相互接觸的上側彈性導電部及下側彈性導電部在不受到絕緣部的限制的情況下可以彈性變形並彈性復原。因此，一實施例的連接器可具有彈性導電部，上述彈性導電部可以在低的壓力下呈現出導電性，具有得到提高的工作性及彈性復原力。

並且，在非加壓狀態下，在具有藉由第一間隙分離的上側彈性導電部及下側彈性導電部的連接器中，各個彈性導電部可具有比較短的長度。由此，連接器的上側彈性導電部及下側彈性導電部在中間不存在變細的部分。

並且，根據本發明的一實施例，具有至少一個彈性導電部的導電模組以可分離的方式與絕緣部相結合，因此，連接器的製造步驟的有效性可以提高，製造費用可以節減。並且，導電模組可以從絕緣部去除，僅可以輕鬆更換 受損的多個彈性導電部。

10:連接器

20:檢查裝置

22:端子

30:受檢設備

31:端子

40:測試插座

51:成型模具

52:液態成型材料

53:成型空腔

54:磁鐵

55:膜部件

61:絕緣部件

110:上側導電模組

111:上側彈性導電部

112:第一導電性物質

113:第一彈性物質

114:上側支撐部

115:下部面

116:彈性部

117:凹陷部

120:下側導電模組

121:下側彈性導電部

122:第二導電性物質

123:第二彈性物質

124:下側支撐部

125:上部面

127:凸出部

130:絕緣部

131:貫通孔

132:上部面

133:下部面

141:第一間隙

142:第二間隙

143:第三間隙

210:上側導電模組

211:上側彈性導電部

220:下側導電模組

221:下側彈性導電部

310:上側導電模組

311:上側彈性導電部

313:第一彈性物質

320:下側導電模組

321:下側彈性導電部

323:第二彈性物質

420:下側導電模組

421:下側彈性導電部

424:下側支撐部

4211:第一導電部

4212:第二導電部

4221:第一導電性物質

4222:第二導電性物質

4231:第一彈性物質

4232:第二彈性物質

CA:中心軸

D1、D2、D3:直徑

P:壓力

W1、W2:寬度

VD:上下方向

HD:水平方向

DD:直徑方向

CD:周圍方向

圖1簡要示出應用一實施例的連接器的例。

圖2為示出本發明第一實施例的連接器的一部分的剖視圖。

圖3為放大示出連接器的結構要素的一部分的剖視圖。

圖4為沿著圖3的IV-IV線截取的剖視圖。

圖5為沿著圖3的V-V線截取的剖視圖。

圖6為簡要示出圖2所示的連接器的一部分的工作狀態的剖視圖。

圖7為示出圖2所示的連接器的一部分的分解剖視圖。

圖8a簡要示出製造一實施例的連接器的上側導電模組的一例。

圖8b簡要示出製造一實施例的連接器的絕緣部的一例。

圖9為示出本發明第二實施例的連接器的一部分的剖視圖。

圖10為示出本發明第三實施例的連接器的一部分的剖視圖。

圖11為示出本發明第四實施例的連接器的一部分的剖視圖。

圖12為示出本發明第五實施例的連接器的一部分的剖視圖。

本發明的實施例以說明本發明的技術思想為目的而例示。本發明的發明要求保護範圍並不限定於以下公開的實施例或對實施例的具體說明。

除非另有定義，否則本發明中所使用的所有技術術語及科學術語具有本發明所屬技術領域中具有通常知識者通常所理解的含義。本發明中所使用的所有術語用於進一步明確說明本發明，並非用於限制本發明的發明要求保護範圍。

除非在包括以下表達方式的句子或文章中另有說明，否則本發明中所使用的“包括”、“設置”、“具有”等表達方式應以開放性術語(open-ended terms) 加以理解，具有包括其他實施例的可能性。

除非另有定義，否則本發明中所記述的單數的表達可包括複數的含義，這也同樣適用於在發明要求保護範圍中所記載的單數的表達。

本發明中所使用的“第一”、“第二”等表達方式用於相互區分多個結構要素，並不限定相應結構要素的順序或重要性。

在本發明中，當某結構要素與另一結構要素相“連接”或相“結合”時，應當理解為上述某結構要素可直接連接或結合在上述另一結構要素，或者，以其他新的結構要素為介質相連接或相結合。

本發明中所使用的方向指示語“上方”基於連接器相對於檢查裝置所處的方向，而方向指示語“下方”是指與上方相反的方向。雖然本發明中所使用的方向指示語“上下方向”包括上方方向和下方方向，但應當理解的是，並不表示上方方向和下方方向中的特定的一個方向。

以下，參照圖式所示出的例來說明實施例。在圖式中，對於相同或相對應的結構要素賦予了相同的元件符號。並且，在說明以下實施例的過程中，省略了對於相同或相對應的結構要素的說明。但即使省略了對於有關結構要素的記述，也並不意味著這種結構要素不屬於某實施例。

以下說明的實施例和圖式所示出的例涉及用於使兩個電子設備之間電連接的連接器。在實施例的連接器的應用例中，上述兩個電子設備中的一個可以為檢查裝置，上述兩個電子設備中的另一個可以為由檢查裝置進行檢查的受檢設備。實施例的連接器可以在受檢設備的電檢查時用於使檢查裝置與受檢設備電連接。作為一例，實施例的連接器在半導體設備的製造步驟中的後步驟中，可用於半導體設備的最終電檢查，應用實施例的連接器的例並不限定於此。

圖1示出應用一實施例的連接器的例。圖1簡要示出連接器和與連接器相接觸的電子設備，圖1所示的形狀僅是為了理解實施例而選擇的例。

參照圖1，一實施例的連接器10為片(sheet)形狀的結構物，配置於兩個電子設備之間。在圖1所示的例中，兩個電子設備中的一個可以為檢查裝置20，另一個可以為由檢查裝置20進行檢查的受檢設備30。

作為一例，連接器10可安裝於測試插座40，藉由測試插座40來位於檢查裝置20上。測試插座40以可去除的方式安裝於檢查裝置20。測試插座40在內部收容藉助手工作業或藉由搬運裝置向檢查裝置20搬運的受檢設備30，可將受檢設備30排列在連接器10。當檢查受檢設備30時，連接器10沿著上下方向VD與檢查裝置20及受檢設備30相接觸並使檢查裝置20與受檢設備30相互電連接。

受檢設備30可以為使用樹脂材料來以六面體形態封裝半導體積體電路(IC)晶片和多個端子的半導體設備。受檢設備30在下側具有多個端子31。受檢設備30的端子31可以為球(ball)型端子。

檢查裝置20可以檢查受檢設備30的各種工作特性。檢查裝置20可具有執行檢查的板，上述板可包括用於檢查受檢設備的檢查電路21。並且，檢查電路21包括藉由連接器10與受檢設備的端子31電連接的多個端子22。檢查裝置20的端子22可以收發電測試訊號並接收回應訊號。

連接器10可藉由測試插座40與檢查裝置20的端子22相接觸。當檢查受檢設備30時，連接器10使受檢設備的端子31和與此對應的檢查裝置的端子22沿著上下方向VD電連接，藉由連接器10，由檢查裝置20執行對受檢設備30的檢查。

連接器10的至少一部分可以由彈性物質形成。為了檢查受檢設備30，可藉由機械裝置或手動沿著上下方向VD中的下方，向連接器10施加壓力P。藉助壓力P，受檢設備的端子31與連接器10可以沿著上下方向VD相接觸，連接器10與檢查裝置的端子22可以沿著上下方向VD相接觸。並且，藉助壓力P，連接器10的一部分結構要素可以沿著下方和水平方向HD彈性變形。若去除壓力P，則連接器10的上述一部分結構要素可以復原成原來形狀。

參照圖1，一實施例的連接器10包括上側導電模組110、下側導電模組120及絕緣部130。上側導電模組110在連接器10中配置於朝向受檢設備30的側，下側導電模組120在連接器10配置於朝向檢查裝置20的側。絕緣部130配置於上側導電模組110與下側導電模組120之間。

上側導電模組110及下側導電模組120包括可沿著上下方向VD導電的要素。上側導電模組110包括沿著上下方向VD延伸的至少一個上側彈性導電部111，下側導電模組120包括沿著上下方向VD延伸的至少一個下側彈性導電部121。下側彈性導電部121與上側彈性導電部111對應。上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可沿著上下方向VD導電。上側彈性導電部111及下側彈性導電部121具有彈性，可沿著上下方向VD及與上下方向VD正交水平方向HD彈性變形。

絕緣部130在上側導電模組110及下側導電模組120之間，可以沿著上下方向VD以可分離的方式與上側導電模組110及下側導電模組120相結合。絕緣部130具有在自身沿著上下方向VD穿孔形成的貫通孔131。若上側導電模組110及下側導電模組120與絕緣部130相結合，則向貫通孔131插入上側彈性導電部111及下側彈性導電部121。作為一例，上側彈性導電部111從上往下插入於貫通孔131，下側彈性導電部121從下往上插入於貫通孔131。由此，在貫通孔131內，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端可以沿著上下方向VD隔開及分離。

上側彈性導電部111的上端與受檢設備的端子31相接觸，下側彈性導電部121的下端與檢查裝置的端子22相接觸。因向連接器10施加的壓力P，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端可以沿著上下方向VD相接觸。若從連接器10去除壓力P，則上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端可以沿著上下方向VD分離。圖1示出未向連接器10施加壓力P的情況，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端沿著上下方向VD分 離。

當檢查受檢設備30時，壓力P藉由受檢設備30向下方對連接器10施加壓力。壓力P可藉由機械裝置或手工作業施加。隨著藉助壓力P，受檢設備的端子31向下方按壓上側彈性導電部111的上端，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端相互接觸。其中，接觸可以為上側彈性導電部111的下端的表面與下側彈性導電部121的上端的表面之間的面接觸。並且，在接觸之後，在壓力P的作用下，向下方按壓上側彈性導電部111及下側彈性導電部121。如上所述，隨著為了檢查受檢設備而向連接器10施加壓力P，上側彈性導電部與下側彈性導電部沿著上下方向接觸並被按壓。以下，上側彈性導電部111被受檢設備的端子按壓，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121相接觸，下側彈性導電部121被按壓的狀態被參照為上側彈性導電部及下側彈性導電部的上下方向的加壓狀態。上述加壓狀態可以為上側彈性導電部111及下側彈性導電部121藉由受檢設備的端子沿著上下方向按壓並彈性變形的狀態。在上述加壓狀態下，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121可以相互接觸，以分別沿著水平方向HD稍微膨脹並沿著上下方向被壓縮的方式彈性變形。

若從連接器10去除壓力P，則上側彈性導電部111與下側彈性導電部121可沿著上下方向VD分離並可彈性復原成原本形狀。並未向連接器10施加壓力P，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121相互分離的狀態被參照在上側彈性導電部及下側彈性導電部的上下方向的非加壓狀態。上述非加壓狀態可以為上側彈性導電部111及下側彈性導電部121並不藉由受檢設備的端子沿著上下方向按壓的狀態，即，壓力並不沿著上下方向施加於上側彈性導電部111及下側彈性導電部121，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121維持其原本形狀的狀態。在實施例的連接器中，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可以在上述非加壓狀態與上述加壓狀態之間能夠可逆地彈性變形。並且，如圖1所示，在上述非加壓狀態下，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端沿 著上下方向隔開，在貫通孔131內沿著上下方向形成間隙。

在上述加壓狀態下，上側彈性導電部111的上端與受檢設備的端子31相接觸，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端沿著上下方向相接觸，下側彈性導電部121的下端與檢查裝置的端子22相接觸。由此，與和一對上側彈性導電部111及下側彈性導電部121對應的受檢設備的端子與檢查裝置的端子之間，以上側彈性導電部111及下側彈性導電部121為介質形成上下方向的導電路。因此，檢查裝置的測試訊號可從端子22藉由下側彈性導電部121及上側彈性導電部111向受檢設備30的端子31傳輸，受檢設備30的回應訊號可從端子31藉由上側彈性導電部111及下側彈性導電部121向檢查裝置20的端子22傳輸。

連接器10可包括多個上側導電模組110及多個下側導電模組120。作為一例，上側導電模組110的數量可以小於下側導電模組120的數量。一個上側導電模組110可具有多個上側彈性導電部111。一個下側導電模組120可具有多個下側彈性導電部121。因此，連接器10可包括多對上側彈性導電部111及下側彈性導電部121。多對上側彈性導電部111及下側彈性導電部121的平面排列可根據受檢設備30的端子31的排列形態改變。作為一例，多對上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可以在絕緣部130內以一個行列形態或一對以上的行列形態排列。

為了說明實施例的連接器而參照圖2至圖12。圖2至圖12簡要示出連接器的形狀、導電模組的形狀、構成導電模組的要素的形狀、絕緣部的形狀。圖2至圖12所示的形狀僅是為了理解實施例而選擇的例。

圖2為示出本發明第一實施例的連接器的一部分的剖視圖。圖3為放大示出連接器的結構要素的一部分的剖視圖。圖4為沿著圖3的IV-IV線截取的剖視圖。圖5為沿著圖3的V-V線截取的剖視圖。圖6為簡要示出圖2所示的連接器的一部分的工作狀態的剖視圖。圖7為示出圖2所示的連接器的一部分的分解剖視 圖。為了說明第一實施例的連接器而參照圖2至圖7。

參照圖2，在連接器10中，形成於上側導電模組110的上側彈性導電部111及形成於下側導電模組120的下側彈性導電部121在檢查裝置與受檢設備之間執行上下方向VD的訊號傳遞。上側彈性導電部111與下側彈性導電部121可呈沿著上下方向VD延伸的圓柱形狀，彈性導電部的形狀並不局限於此。

在一實施例中，上側彈性導電部111包括多個第一導電性物質112及第一彈性物質113。多個第一導電性物質112以可沿著上下方向VD導電的方式相接觸，例如，沿著上下方向VD以圓柱形狀集合。以可沿著上下方向VD導電的方式接觸的多個第一導電性物質112將沿著上下方向VD執行訊號傳輸的導電體形成在上側彈性導電部111內。多個第一導電性物質的導電體可呈圓柱形狀，但並不局限於此。第一彈性物質113處於固化的狀態並具有彈性。第一彈性物質113沿著上下方向VD維持多個第一導電性物質112，以使多個第一導電性物質112形成上述導電體的形狀。多個第一導電性物質112之間可填充第一彈性物質113。第一彈性物質113與多個第一導電性物質112形成為一體來構成上側彈性導電部111。因此，在上側彈性導電部111混合第一彈性物質113及多個第一導電性物質112。

下側彈性導電部121可具有與上側彈性導電部111的相同的結構。即，下側彈性導電部121包括多個第二導電性物質122及第二彈性物質123。多個第二導電性物質122以可沿著上下方向VD導電的方式接觸，例如，沿著上下方向VD以圓柱形狀集合。以可沿著上下方向VD導電的方式接觸的多個第二導電性物質122將沿著上下方向VD執行訊號傳遞的導電體形成在下側彈性導電部121內。多個第二導電性物質的導電體可呈圓柱形狀，但並不局限於此。第二彈性物質123處於固化的狀態並具有彈性。第二彈性物質123沿著上下方向VD維持多個第二導電性物質122，以使多個第二導電性物質122形成導電體形狀。多個第二導電性物質122之間可填充第二彈性物質123。第二彈性物質123與多個第二導 電性物質122形成為一體來構成下側彈性導電部121。因此，在下側彈性導電部121混合第二彈性物質123及多個第二導電性物質122。

第一導電性物質112及第二導電性物質122可以為相同粒子或不同的粒子。作為一例，第一導電性物質112及第二導電性物質122的粒子可以由高導電性金屬材料形成。或者，第一導電性物質112及第二導電性物質122的粒子也可以呈在由具有彈性的樹脂材料或金屬材料形成的芯塗敷上述高導電性金屬材料的形態。作為另一例，第一導電性物質112及第二導電性物質122可以為細長的纖維或金屬線，這種纖維或金屬線可以由金屬或碳形成。

第一彈性物質113及第二彈性物質123可以為具有絕緣性的相同物質或具有絕緣性的不同物質。作為一例，第一彈性物質113及第二彈性物質123可包含固化的矽橡膠。或者，作為第一彈性物質及第二彈性物質，可以使用具有導電性的彈性物質。

包括第一彈性物質113的上側彈性導電部111及包括第二彈性物質123的下側彈性導電部121具有彈性，可以沿著上下方向VD及水平方向HD彈性變形。如參照圖1說明，隨著受檢設備的端子藉助壓力向下方按壓上側彈性導電部111，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121相互接觸並處於上述加壓狀態。在這種加壓狀態下，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121可沿著水平方向HD稍微膨脹並以沿著上下方向VD被壓縮的方式彈性變形。

在一實施例的連接器10中，上側導電模組110包括支撐上側彈性導電部111的上側支撐部114，下側導電模組120包括支撐下側彈性導電部121的下側支撐部124。上側導電模組110與下側導電模組120可相對於絕緣部130相互對稱。

上側支撐部114以朝向受檢設備的方式配置，且起到沿著上下方向VD支撐一個或多個上側彈性導電部111的支撐體的功能。在實施例的連接器中，至少一個上側彈性導電部111及上側支撐部114或多個上側彈性導電部111及 上側支撐部114可形成為一體。因此，形成為一體的多個上側彈性導電部111及上側支撐部114構成沿著上下方向執行導電的上側導電模組110。下側支撐部124以朝向檢查裝置的方式配置，且起到沿著上下方向VD支撐一個或多個下側彈性導電部121的支撐體的功能。在實施例的連接器中，至少一個下側彈性導電部121及下側支撐部124或多個下側彈性導電部121及下側支撐部124可形成為一體。因此，形成為一體的多個下側彈性導電部121及下側支撐部124構成沿著上下方向執行導電的下側導電模組120。

上側支撐部114及下側支撐部124沿著水平方向HD延伸。上側支撐部114沿著水平方向HD與上側彈性導電部111的上端附近的一部分結合成一體。因此，在上側彈性導電部111呈圓柱形狀的情況下，在上側彈性導電部111與上側支撐部114之間，可沿著上側彈性導電部111的形成具有絕緣性的彈性部116(參照圖6)，這種彈性部可呈環形狀。因這種環形狀的彈性部，當上側彈性導電部111被受檢設備的端子按壓時，上側彈性導電部111可以朝向下側彈性導電部121移動。並且，如從連接器去除受檢設備，則因上述環形狀的彈性部，上側彈性導電部111可以向原本位置移動。即，上述環形狀的彈性部可以實現上側彈性導電部111的上下方向的移動。下側支撐部124沿著水平方向HD與下側彈性導電部121的下端附近的一部分結合成一體。上側支撐部114使多個上側彈性導電部111沿著水平方向HD隔開及絕緣，下側支撐部124使多個下側彈性導電部121沿著水平方向HD隔開及絕緣。被上側支撐部114支撐的上側彈性導電部111之間的間隔可以與受檢設備的端子之間的間隔，即，螺距對應。被下側支撐部124支撐的下側彈性導電部121之間的間隔可以與上側彈性導電部111之間的間隔對應。

上側彈性導電部111的上端比上側支撐部114的上部面更向上方突出，下側彈性導電部121的下端可以比下側支撐部124的下部面更向下方突出。或者，上側彈性導電部111的上端可以不從上側支撐部114的上部面突出，下側 彈性導電部121的下端可以不從下側支撐部124的下部面突出。

上側支撐部114及下側支撐部124可由具有絕緣性的物質或者具有絕緣性及彈性的物質形成。作為一例，上側支撐部114及下側支撐部124可以為沿著與上下方向VD正交的水平方向HD配置的膜。作為一例，構成上側支撐部114及下側支撐部124的膜可以由聚醯亞胺形成，構成各個支撐部的材料並不局限於此。作為另一例，各個支撐部可以由與多個彈性導電部的彈性物質相同的物質形成。

實施例的連接器可包括一個以上的上側導電模組，可包括與上側導電模組的數量相同或更少數量的下側導電模組。這種導電模組以可去除的方式與絕緣部130相結合。在各個導電模組中，多個彈性導電部從一個支撐部突出，各個導電模組包括一個支撐部及多個彈性導電部。

在連接器10中，絕緣部130配置於上側導電模組的上側支撐部114與下側導電模組的下側支撐部124之間。絕緣部130可以由一個彈性體形成。絕緣部130以可去除的方式與上側導電模組的上側支撐部114及下側導電模組的下側支撐部124相結合。例如，如圖2及圖7所示，上側支撐部114的下部面115與絕緣部130的上部面132以可分離的方式接合，下側支撐部124的上部面125與絕緣部130的下部面133以可分離的方式接合，從而可以使絕緣部130與多個導電模組相結合。多個導電模組與絕緣部130的結合可藉由使用黏結劑的黏結方式執行，但並不局限於此。

絕緣部130可呈膜的形態或具有規定厚度的塊的形態。絕緣部130可以由具有絕緣性的物質或具有絕緣性及彈性的物質形成。作為一例，絕緣部130可以由聚醯亞胺形成。詳細地，絕緣部130可包括聚醯亞胺膜。由聚醯亞胺形成的絕緣部130可具有耐寒性及耐熱性，因此，可有效地防止基於溫度變化的變形。並且，作為一例，絕緣部130可以由矽橡膠形成。由矽橡膠形成的絕緣部130具有更良好的彈性復原力。形成絕緣部130的材料並不局限於上述例，具有 絕緣性及彈性的任意材料可以作為絕緣部130的材料使用。

絕緣部130的貫通孔131從絕緣部130的上部面132沿著上下方向VD延伸至絕緣部130的下部面133。在貫通孔131的水平方向的形狀可以與上側彈性導電部111的橫截面形狀及下側彈性導電部121的橫截面形狀對應。若上側彈性導電部111及下側彈性導電部121呈圓柱形狀，則在貫通孔131的水平方向的形狀可大致呈圓形。在絕緣部130的上下方向的厚度以在上述非加壓狀態下，在上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端之間形成間隙的方式確定。

圖3示出在上側彈性導電部及下側彈性導電部的非加壓狀態下的上側彈性導電部、下側彈性導電部及絕緣部。參照圖3，在上述非加壓狀態下，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端之間，第一間隙141形成在貫通孔131內，第一間隙141使上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端沿著上下方向VD隔開。由此，在上述非加壓狀態下，並不藉由上側彈性導電部111及下側彈性導電部121執行訊號傳遞，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121藉由第一間隙141處於開關關閉狀態。在非加壓狀態下，第一間隙141可呈圓板形狀，第一間隙141的直徑尺寸可以與貫通孔131的直徑尺寸對應。第一間隙141可被空氣填充。

在一實施例中，貫通孔131的直徑大於在上側彈性導電部111及下側彈性導電部121的水平方向的直徑尺寸(例如，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121的直徑尺寸)。因此，在上述非加壓狀態下，追加的間隙形成在貫通孔131的內周面與上側彈性導電部111的外周面之間及貫通孔131的內周面及下側彈性導電部121的外周面之間。這種追加的間隙由於在上述加壓狀態下的上側彈性導電部及下側彈性導電部的彈性變形而可具有比在非加壓狀態下的體積縮小的體積。上述追加的間隙可形成在貫通孔131的內周面的一部分或整體與上側彈性導電部111的外周面的一部分或整體之間以及貫通孔131的內周面的一部分或整體與下側彈性導電部121的外周面的一部分或整體之間。作為另一實施例， 上述追加的間隔亦可僅形成在貫通孔131與上側彈性導電部111之間。

參照圖3至圖5，在上側彈性導電部及下側彈性導電部的非加壓狀態下，在貫通孔131的內周面與上側彈性導電部111的外周面之間形成第二間隙142，在貫通孔131的內周面與下側彈性導電部121的外周面之間形成第三間隙143。第二間隙142可以為藉由貫通孔131的內周面的一部分或整體與上側彈性導電部111的外周面的一部分或整體形成的空間。第三間隙143可以為藉由貫通孔131的內周面的一部分或整體及下側彈性導電部121的外周面的一部分或整體形成的空間。第二間隙142可沿著上側彈性導電部111的外周面，向周圍方向CD延伸，第三間隙143可沿著下側彈性導電部121的外周面，向周圍方向CD延伸。其中，周圍方向CD是指相對於沿著上述方向經過一個貫通孔的中心的中心軸CA的周圍方向。

在上述非加壓狀態下，在第二間隙142及第三間隙143的水平方向的形狀可以為甜甜圈形狀(例如，內側圓及外側圓以同心形成)。或者，在上述非加壓狀態下，在第二間隙142及第三間隙143的水平方向的形狀可以為在甜甜圈形狀中，內側圓與外側圓內接的形狀。這種形狀可以在如下情況下呈現，即，在連接器的實際產品中，彈性導電部中的一部分沿著水平方向稍微傾斜，上述彈性導電部的外周面的一部分與貫通孔的內周面的一部分相接觸。

在上述非加壓狀態下，位於一個貫通孔131內的一個上側彈性導電部111在第二間隙142所在的其外周面的一部分或整體並不沿著周圍方向CD及直徑方向DD與貫通孔131相接觸，而是與貫通孔131分離。並且，在上述非加壓狀態下，位於一個貫通孔131的一個下側彈性導電部121在第三間隙143所在的其外周面的一部分或整體並不沿著周圍方向CD及直徑方向DD與貫通孔131相接觸，而是與貫通孔131分離。其中，直徑方向DD是指一個貫通孔的中心軸CA的直徑方向。即，在上述非加壓狀態下，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121和絕緣部130在第二間隙142及第三間隙143所在的各個外周面的一部分或整體並 不沿著直徑方向DD及周圍方向CD相互接觸。在第二間隙142及第三間隙143具有上述甜甜圈形狀的情況下，在上述非加壓狀態下，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可具有並不與貫通孔131相接觸的外周面。第二間隙142及第三間隙143可被空氣填充。第二間隙142及第三間隙143在與各自對應的彈性導電部與貫通孔之間，可以沿著上下方向及水平方向以及直徑方向及周圍方向形成。

在上側彈性導電部及下側彈性導電部的上述加壓狀態下，第二間隙142在貫通孔131內允許上側彈性導電部111彈性變形，第三間隙143在貫通孔131內允許下側彈性導電部121彈性變形。

貫通孔131可以在水平方向呈圓形，貫通孔131的內周面可呈沿著上下方向延伸的圓筒形狀。貫通孔131的最大寬度可以為沿著直徑方向DD經過中心軸CA的直徑D1。上側彈性導電部111和下側彈性導電部121的外周面可具有沿著上下方向VD延伸的圓筒形狀。如圖4所示，上側彈性導電部111的最大寬度可以為沿著直徑方向經過上側彈性導電部的中心的直徑D2。如圖5所示，下側彈性導電部121的最大寬度可以為沿著直徑方向經過下側彈性導電部的中心的直徑D3。

因此，在上述非加壓狀態下，第二間隙142及第三間隙143可呈沿著上下方向延伸的環形狀或圓筒形狀。在這種環形狀及圓筒形狀的間隙中，第二間隙142可以沿著直徑方向DD具有寬度W1，第三間隙143可沿著直徑方向DD具有寬度W2。實質上，在上述非加壓狀態下，在直徑方向的寬度W1及寬度W2可以沿著上下方向VD恆定維持。

直徑方向的寬度W1及寬度W2可以考慮在彈性導電部的上下方向及水平方向的順暢的變形及彈性復原來定義。作為一例，沿著相對於貫通孔131的中心軸CA的直徑方向DD，以使貫通孔131的直徑D1與上側彈性導電部111的直徑D2的比例達到1：0.8至1：0.95的方式確定在直徑方向的寬度W1，以使貫通孔131的直徑D1與下側彈性導電部121的直徑D3的比例達到1：0.8至1：0.95的方 式確定在直徑方向的寬度W2。

另一方面，在連接器的實際產品中，因製造上的誤差或組裝上的問題，在彈性導電部的外周面的一部分位置或面有可能與在貫通孔的內周面的一部分位置或面相接觸，第二間隙及第三間隙的大小也有可能沿著上下方向VD、直徑方向DD或周圍方向CD發生變化。但是，上述接觸和變化實質上與在非加壓狀態下，直徑方向的寬度恆定維持的情況對應。在連接器的實際產品中，貫通孔131的平均直徑藉助上述直徑D1計算，上側彈性導電部111的平均直徑及下側彈性導電部121的平均直徑分別藉助上述直徑D2及直徑D3計算，由此可確認是否存在第二間隙及第三間隙以及數值範圍。在此情況下，平均直徑的計算可應用藉助測定彈性導電部的體積及貫通孔的體積來計算的方式。

圖6簡要示出上側彈性導電部及下側彈性導電部的工作狀態的一例。圖6的左側例示上側彈性導電部及下側彈性導電部的上述非加壓狀態，圖6的右側例示上側彈性導電部及下側彈性導電部的上述加壓狀態。

參照圖6，在上述非加壓狀態下，在上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端之間形成第一間隙141。並且，在上述非加壓狀態下，在貫通孔131的內周面與上側彈性導電部111的外周面之間形成第二間隙142，在第二間隙142的直徑方向的寬度W1可沿著上下方向VD恆定。並且，在上述非加壓狀態下，在貫通孔131的內周面與下側彈性導電部121的外周面之間可形成第三間隙143，在第三間隙143的直徑方向的寬度W2可沿著上下方向VD恆定。並且，在上述非加壓狀態下，第一間隙141可沿著上下方向VD與第二間隙142及第三間隙143相連接。

為了檢查受檢設備30，受檢設備30的端子31藉助壓力P與上側彈性導電部111的上端相接觸，藉助壓力P，上側彈性導電部111在上側導電模組110向下方移動。由此，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121相互接觸並處於圖6的右側所示的加壓狀態。

環形狀的彈性部116可以實現上側彈性導電部111的上下方向移動。隨著受檢設備的端子31向下方按壓上側彈性導電部111，被彈性部116支撐的上側彈性導電部111向下方移動，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121之間的第一間隙141被封閉，上側彈性導電部111的下端與下側彈性導電部121的上端沿著上下方向接觸。由此，在圖6的右側所示的加壓狀態下，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121在沒有第一間隙141的情況下相接觸並處於可以在它們之間傳輸訊號的開關開啟狀態。並且，在上述加壓狀態下，第二間隙142與第三間隙143在沒有第一間隙141的情況下可以直接沿著上下方向VD連接或者在第二間隙142與第三間隙143並不連接的情況下，貫通孔131也可以沿著上下方向VD堵塞。

使上側彈性導電部111與下側彈性導電部121沿著上下方向接觸的壓力P超出允許上側彈性導電部111的彈性上下移動的規定界限內施加。即，在壓力P小於上述規定界限的情況下，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121維持開關開啟狀態。但是，隨著壓力P超出上述規定界限並施加，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121將沿著上下方向相互接觸。並且，隨著壓力P超出使上側彈性導電部111與下側彈性導電部121接觸的力並施加，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121在相互接觸的狀態下彈性變形，藉由相互接觸的上側彈性導電部111與下側彈性導電部121呈現出高的導電性。在向上側彈性導電部111施加超出規定界限的壓力之前，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121藉由第一間隙141處於開關關閉狀態。僅當施加超出上述規定界限的壓力P時，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121處於開關開啟狀態並執行上下方向的訊號傳遞。如上所述，第一間隙141可起到對於在連接器的上下方向訊號傳遞的一種開關功能。並且，若上側彈性導電部111與下側彈性導電部121相接觸，則在上側彈性導電部111與下側彈性導電部121接觸的區域中，上側彈性導電部111的一部分膨脹及下側彈性導電部121的一部分膨脹可以沿著水平方向或上述直徑方向 擴大。因此，更多的導電性物質在上側彈性導電部111與下側彈性導電部121之間接觸來加強執行訊號傳輸的導電部的導電性。

在圖6的右側所示的加壓狀態下，相互接觸的上側彈性導電部111及下側彈性導電部121藉助壓力P彈性變形。這種彈性變形可以沿著上下方向及水平方向或上下方向及圖4及圖5所示的直徑方向發生。

詳細地，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121能夠以沿著上下方向VD收縮，沿著水平方向HD或直徑方向膨脹的形態彈性變形。但是，在第二間隙142所在的外周面的一部分或整體中，上側彈性導電部111與絕緣部130分離，在第三間隙143所在的外周面的一部分或整體中，下側彈性導電部121與絕緣部130分離。因此，當上側彈性導電部111被端子31按壓時，除固定於上側支撐部114之外的上側彈性導電部111的部分可以在貫通孔131內自由地彈性變形。並且，在與上側彈性導電部111相接觸並藉由上側彈性導電部111按壓的下側彈性導電部121中，除固定於下側支撐部124部分之外的下側彈性導電部121的部分可以在貫通孔131內自由地彈性變形。上側彈性導電部111因第二間隙142而可以不受到絕緣部130的限制並可順暢地彈性變形，下側彈性導電部121因第三間隙143而可以不受到絕緣部130限制並可順暢地彈性變形。即，第二間隙142提供允許上側彈性導電部111沿著上下方向及水平方向彈性變形的空間，第三間隙143提供允許下側彈性導電部121沿著上下方向及水平方向彈性變形的空間。

當受檢設備的端子31按壓上側彈性導電部111並藉由相互接觸的上側彈性導電部111及下側彈性導電部121傳輸訊號時，寬度W1可以在第二間隙142的上下方向的中間部位達到最小值，寬度W2可以在第三間隙143的上下方向的中間部位達到最小值。在壓力P強的情況下，在第二間隙142及第三間隙143的上下方向的中間部位中，各自的寬度幾乎可以無視。

若受檢設備30從上側彈性導電部111朝向上方去除，則上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可從圖6的右側所示的加壓狀態彈性復原成圖6的 左側所示的非加壓狀態。上側彈性導電部111可以復原到非加壓狀態下的原位置並再次形成第一間隙141，第二間隙142及第三間隙143可以復原到非加壓狀態下的原來的形狀。

在上述非加壓狀態與上述加壓狀態之間，絕緣部130可以按比上側彈性導電部111及下側彈性導電部121的變形程度更小的程度在上下方向收縮並復原到原來的形狀。

第一間隙141在上側彈性導電部111與下側彈性導電部121之間提到一種開關作用，因此，一實施例的連接器在上述非加壓狀態下並不沿著上下方向呈現出導電性。當施加上述規定界限以上的壓力時，一實施例的連接器沿著上下方向具有導電性。並且，在上述非加壓狀態下，第二間隙142使上側彈性導電部111的外周面的一部分或整體與絕緣部130相互分離，第三間隙143使上側彈性導電部111的外周面的一部分或整體與絕緣部130相互分離，因此，上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可以在不受到絕緣部的限制的情況下彈性變形。因此，第二間隙142提高上側彈性導電部的工作性及彈性復原力，第三間隙143提高下側彈性導電部的工作性及彈性復原力。並且，受檢設備即使以較小的壓力被上側彈性導電部111按壓，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121也可以輕鬆接觸及彈性變形並呈現出高的導電性。如上所述，一實施例的連接器可藉由第一間隙141與第二間隙142及第三間隙143的複雜作用，在較小的壓力下也可以呈現出高的導電性。

上述一實施例的連接器可藉由結合由多個彈性導電部及支撐部形成的導電模組及形成有貫通孔的絕緣部來製成。參照圖7、圖8a及圖8b，說明製造一實施例的連接器的一例。為了製造一實施例的連接器而單獨製造上側導電模組及下側導電模組及絕緣部。

參照圖8a，上側導電模組110可以使用成型模具51及液態成型材料52來製造。液態成型材料52包括形成上側彈性導電部111的第一彈性物質113的 液態物質及向上述液態物質內分散的多個第一導電性物質112。成型模具51在每個形成上側彈性導電部111的位置具有與上側彈性導電部的形狀對應的成型空腔53。並且，在成型模具51可設置磁鐵54，上述磁鐵54在成型空腔53上下配置，並可沿著上下方向施加磁場。向成型模具51的成型空腔53注入液態成型材料52。並且，在成型模具投入構成上側支撐部114的膜部件55，在上述膜部件中，在每個形成上側彈性導電部111的位置穿孔形成貫通孔。藉由磁鐵54施加的磁場，多個第一導電性物質112沿著上下方向VD集合並解除，由此形成設置於上側彈性導電部111並沿著上下方向執行導電的導電體。之後，藉由規定的固化處理，液態成型材料52的上述彈性物質將被固化。由此，成型多個上側彈性導電部111與上側支撐部114形成為一體並從上側支撐部114突出的上側導電模組110。之後，上側導電模組從成型模具51分離。

圖8a所示的上側導電模組110可作為連接器的上述下側導電模組使用。或者連接器的上述下側導電模組可藉由與參照圖8a說明的方法相同或類似的方法成型。例如，用於製造上述下側導電模組的成型模具的成型空腔可具有與圖8a所示的成型空腔53的尺寸不同的尺寸。並且，用於成型上述下側導電模組的液態成型材料的液態物質可以為與參照圖8a說明的液態物質不同的物質。

接著，參照圖8b，準備由構成絕緣部130的絕緣物質形成的如膜或塊的絕緣部件61。在上述絕緣部件61，貫通孔131藉由雷射或鑽機形成，由此製造絕緣部130。

接著，參照圖7，以使上側彈性導電部111及下側彈性導電部121向對應的貫通孔131插入的方式使上側導電模組110及下側導電模組120與絕緣部130相結合。絕緣部130與多個導電模組的結合實現可以分離的結合，可藉由使用黏結劑的黏結方式執行。例如，上側支撐部114的下部面115與絕緣部130的上部面132可藉由黏結劑以可分離的方式接合，下側支撐部124的上部面125與絕緣部130的下部面133可藉由黏結劑以可分離的方式接合。上側導電模組110與下側 導電模組120可以與絕緣部130相結合來構成圖2所示的一實施例的連接器。

上側導電模組110及下側導電模組120與絕緣部130相結合，因此，可以提高製造步驟的有效性並節減製造費用。並且，在需要的情況下，上側導電模組110或下側導電模組120可以從絕緣部130去除。由此，僅可更換具有受損的上側彈性導電部的上側導電模組或具有受損的下側彈性導電部的下側導電模組。例如，上側導電模組與受檢設備頻頻接觸，因此，與下側導電模組及下側彈性導電部相比，上側導電模組及上側彈性導電部受到更大的損傷。但是，如上所述，僅可更換損傷的上側導電模組。

參照圖2及圖7，一實施例的連接器具有當對受檢設備施加壓力時沿著上下方向接觸的上側彈性導電部111及下側彈性導電部121。與由不間斷地沿著上下方向延伸的一個導電體形成的先前技術的連接器的彈性導電部相比，這種上側彈性導電部111及下側彈性導電部121具有更短的上下方向長度。在具有更短長度的上側彈性導電部111及下側彈性導電部121中，多個導電性物質形成的導電體在上下方向整個長度中具有均勻的形狀。與此相反，先前技術的彈性導電部具有比較長的長度，因此，在彈性導電部的中間區域中，因變弱的磁場而導致導電性物質無法嚴密地集合併發生導電體變細的現象。但是，一實施例的連接器的上側彈性導電部111及下側彈性導電部121可具有比較短的長度，因此，可以排除在中間區域中，導電性物質並未嚴密地集合而導致導電體變細的現象。

圖9為示出本發明第二實施例的連接器的一部分的剖視圖。參照圖9，連接器10包括分別形成在藉由第一間隙141相向的多個彈性導電部的凸出部127及凹陷部117。若上側彈性導電部111向下方移動，則凸出部127及凹陷部117沿著向下方向相互扣入。

作為一例，如圖9所示，上側彈性導電部111可以在下端具有凹陷部117，下側彈性導電部121可以在上端具有凸出部127。作為另一例，上側彈性導 電部111也可具有凸出部127，下側彈性導電部121也可具有凹陷部117。圖9所示的凸出部的形狀及凹陷部的形狀僅為例示，凸出部可具有多種形狀，凹陷部可具有與凸出部的形狀互補的形狀。凸出部127及凹陷部117可形成在藉由第一間隙141相向的上側彈性導電部的端部及下側彈性導電部的端部，因此，上側彈性導電部111與下側彈性導電部121之間的接觸面積可以增加。

圖10為示出本發明第三實施例的連接器的一部分的剖視圖。參照圖10，連接器10的上側導電模組210及下側導電模組220具有與上述實施例的上側導電模組110及下側導電模組120的結構類似的結構。但是，上側導電模組210的上側彈性導電部211沿著上下方向的長度小於下側導電模組220的下側彈性導電部221沿著上下方向的長度，由此，第一間隙141更接近絕緣部130的上部面來設置。上側彈性導電部211及下側彈性導電部221沿著上下方向具有不同的長度。因此，比較短的上側彈性導電部211的彈性變形程度可小於比較長的下側彈性導電部221的彈性變形程度。作為另一例，下側彈性導電部221沿著上下方向的長度可以小於上側彈性導電部211沿著上下方向的長度，第一間隙141可更接近絕緣部130的下部面來設置。

圖11為示出本發明第四實施例的連接器的一部分的剖視圖。參照圖11，連接器10不僅包括形成於上側彈性導電部與下側彈性導電部之間的第一間隙141、形成於各個彈性導電部與絕緣部之間的第二間隙142及第三間隙143，在比較高的溫度範圍內及比較低的溫度範圍內呈現出良好的檢查可靠性。

上側導電模組310的上側彈性導電部311具有與上述第一實施例的上側彈性導電部的結構類似的結構。上側彈性導電部311包括上述多個第一導電性物質112及使多個第一導電性物質112沿著上下方向維持的第一彈性物質313，在上側彈性導電部311混合第一彈性物質313及多個第一導電性物質112。下側導電模組320的下側彈性導電部321具有與上述第一實施例的下側彈性導電部的結構類似的結構。下側彈性導電部321包括上述多個第二導電性物質122及 使多個第二導電性物質122沿著上下方向維持的第二彈性物質323，在下側彈性導電部321混合第二彈性物質323及多個第二導電性物質122。

上側彈性導電部311的第一彈性物質313與下側彈性導電部321的第二彈性物質323為不同的彈性物質。因此，在上側彈性導電部及下側彈性導電部的加壓狀態下，根據用於受檢設備的溫度環境，第一彈性物質313及第二彈性物質323具有不同的膨脹率。受檢設備可以在比較高的第一溫度範圍內及比較低的第二溫度範圍內檢查。上述第一溫度範圍可以為25℃至160℃的溫度範圍。上述第二溫度範圍可以為小於上述第一溫度範圍的溫度範圍，可以為-60℃至25℃的溫度範圍。在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下，第一彈性物質313可具有第一膨脹率，第二彈性物質323可具有與第一膨脹率不同的第二膨脹率。在上述第二溫度範圍內中的加壓狀態下，第一彈性物質313可具有第三膨脹率，第二彈性物質323可具有與第三膨脹率不同的第四膨脹率。

作為一例，在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下，第一彈性物質313具有小於第二彈性物質323的第二膨脹率的第一膨脹率。具有小於第二彈性物質的第二膨脹率的第一膨脹率的第一彈性物質313可包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠，但並不局限於此。即，第一彈性物質313包含耐熱性材料。第二彈性物質323可以為一般的矽橡膠。或者，在連接器10中，下側彈性導電部321可包含具有氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠的第一彈性物質313，上側彈性導電部311包含作為一般的矽橡膠的第二彈性物質323。

作為另一例，在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，第二彈性物質323具有比第一彈性物質313的第三膨脹率高的第四膨脹率。具有大於第一彈性物質313的第三膨脹率的第四膨脹率的第二彈性物質323可包含氟及矽橡膠，但並不局限於此。即，第二彈性物質323包含耐寒性材料。第一彈性物質313可以為一般的矽橡膠。或者，在連接器10中，下側彈性導電部321可包含作為矽橡膠的第一彈性物質313，上側彈性導電部311可包含氟及作為矽橡膠的第二彈性物 質323。

作為另一例，在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下，上側彈性導電部311的第一彈性物質313可具有小於第二彈性物質323的第二膨脹率的第一膨脹率，在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，下側彈性導電部321的第二彈性物質323可具有大於第一彈性物質313的第三膨脹率的第四膨脹率。即，上側彈性導電部311可包含具有氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠的彈性物質，下側彈性導電部321可包含具有氟及矽橡膠的彈性物質。或者，在連接器10中，上側彈性導電部311可包含氟及矽橡膠的彈性物質，下側彈性導電部321可包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠。

上述實施例的連接器在構成上側彈性導電部311的彈性物質及構成下側彈性導電部321的彈性物質不同的第一溫度範圍內及第二溫度範圍內的加壓狀態下分別具有不同的膨脹率。因此，上述實施例的連接器可在比較高的溫度中的檢查(例如，在上述第一溫度範圍內中的檢查)中防止彈性導電部的過度膨脹來具有得到提高的耐熱性。並且，上述實施例的連接器可以在比較低的溫度的檢查(例如，在上述第二溫度範圍內中的檢查)中防止彈性導電部的過度收縮來具有得到提高的耐寒性。當在比較低的溫度中的檢查時，若連接器的結構要素過度收縮，則膨脹極少程度，為了獲得在彈性導電部的適當導電性，需要向彈性導電部施加過大的壓力。但是，上述實施例的連接器10當在比較低的溫度中的檢查時可以無需施加強烈的壓力，在適當的壓力下，即可獲得確切的彈性復原力。

在規定的溫度範圍內的加壓狀態下，上述膨脹率可根據彈性導電部的膨脹程度改變。藉助壓力，當彈性導電部沿著上下方向按壓時，彈性導電部能夠以沿著上下方向收縮並沿著水平方向或直徑方向擴大形態，即，彈性導電部的橫截面形狀增加的形態彈性變形。在加壓狀態下的彈性導電部可以具有大於非加壓狀態下的體積或直徑的體積或直徑。考慮到彈性導電部的這種變形， 膨脹率可以為非加壓狀態下的彈性導電部的體積或直徑與加壓狀態下的彈性導電部的體積或直徑的比例。

與一般溫度下的加壓狀態相比，在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下，多個彈性導電部可以進一步膨脹。根據實施例，在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下，具有包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠的彈性物質的彈性導電部具有耐熱性材料，從而提高連接器的耐熱性。因此，與不具有包含上述耐熱性材料的一般的矽橡膠的彈性導電部相比，實施例的彈性導電部可以更少膨脹，由此，可具有更低的膨脹率。與一般溫度下的加壓狀態相比，在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，多個彈性導電部可以更少膨脹。在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，具有包含氟及矽橡膠的彈性物質的彈性導電部具有耐寒性材料，從而提高連接器的耐寒性。因此，與不具有包含上述耐寒性材料的一般的矽橡膠的彈性導電部相比，實施例的彈性導電部可以進一步膨脹，由此，可具有更高的膨脹率。

膨脹率能夠以特定的極限溫度(例如，-60℃或150℃)下的行程(stroke)及壓力的相關關係為基礎，對並不包括上述耐寒性或耐熱性材料的一般的彈性導電部與包括上述耐寒性或耐熱性材料的彈性導電部的膨脹層度進行比較來測定。行程可以為非加壓狀態下的彈性導電部的高度與在以可檢查的方式使電流流動的加壓狀態下的彈性導電部的高度之間的差異。

作為一例，對以使上述一般彈性導電部和實施例的彈性導電部呈現出相同行程的方式施加的多個壓力進行比較來比較及測定膨脹率。為了在如-60℃的極限溫度下產生相同的行程，需要向並不具有耐寒性材料的上述一般的彈性導電部施加比實施例的彈性導電部高的壓力。這意味著在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，實施例的彈性導電部比上述一般的彈性導電部更膨脹以及實施例的彈性導電部具有更高的膨脹率。

作為另一例，可藉由比較上述一般的彈性導電部與實施例的彈性導 電部在相同的壓力下呈現的多個行程來比較及測定膨脹率。在如-60℃的極限溫度下施加相同的施加力的情況下，上述一般的彈性導電部所呈現的行程可小於實施例的彈性導電部所呈現的行程。這意味著在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，實施例的彈性導電部比上述一般的彈性導電部更膨脹以及實施例的彈性導電部具有更高的膨脹率。

當在特定溫度下，向彈性導電部施加相同的壓力時，膨脹率可作為彈性導電部沿著水平方向延伸的長度的比例或體積的比例測定。針對上述長度的比例，以在非加壓狀態下的彈性導電部的最外側表面的直徑尺寸為基準，可以求出加壓狀態下的彈性導電部的膨脹的最外側表面的尺寸。針對上述體積的比例，以在非加壓狀態下的彈性導電部的體積的尺寸為基準，可求出在加壓狀態下的彈性導電部的膨脹的體積的尺寸。

圖12為示出本發明第五實施例的連接器的一部分的剖視圖。參照圖5說明的連接器10可具有在上側彈性導電部與下側彈性導電部形成的第一間隙141及在各個彈性導電部與絕緣部之間形成的第二間隙142及第三間隙143，在比較高的溫度範圍內及比較低的溫度範圍內中可呈現出良好的檢查可靠性。

參照圖12，連接器10的上側導電模組可以由圖10所示的實施例的上側導電模組210構成。因此，在上側彈性導電部與下側彈性導電部之間，沿著上下方向形成的第一間隙141與絕緣部130的上部面接近配置。

參照圖12，連接器10的下側導電模組420的下側彈性導電部421沿著上下方向的長度大於上側彈性導電部211沿著上下方向的長度。下側導電模組420的下側支撐部424沿著上下方向支撐下側彈性導電部421，可以具有與上述實施例的下側支撐部相同的結構，厚度可大於上述實施例的下側支撐部的厚度。

下側彈性導電部421包括由雙重結構形成的導電體。詳細地，下側彈性導電部421包括可沿著上下方向VD導電的第一導電部4211及第二導電部4212。第一導電部4211沿著下側彈性導電部421的上下方向的中心軸設置。第二 導電部4212的長度可以與第一導電部4211的上下方向的長度相同。第二導電部4212沿著上下方向包圍第一導電部4211。即，第二導電部4212可呈沿著上下方向延伸的環形狀的圓筒形狀。

在第一導電部4211及第二導電部4212混合上述多個導電性物質及沿著上下方向維持這種導電性物質的彈性物質。詳細地，第一導電部4211包括多個第一導電性物質4221以及沿著上下方向VD維持多個第一導電性物質4221的第一彈性物質4231。第二導電部4212包括多個第二導電性物質4222及沿著上下方向VD維持多個第二導電性物質4222的第二彈性物質4232。第一導電性物質4221與第二導電性物質4222可以為相同的物質或不同的物質，可以為上述實施例的導電性物質。第一彈性物質4231與第二彈性物質4232為不同的物質。第一彈性物質4231及第二彈性物質4232在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下可分別具有第一膨脹率及第二膨脹率，在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下分別具有第三膨脹率及第四膨脹率。

在上述第一溫度範圍內的加壓狀態下，第一導電部4211的第一彈性物質4231可具有小於第二彈性物質4232的第二膨脹率的第一膨脹率。第一彈性物質4231可包含作為耐熱性材料的氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠。在上述第二溫度範圍內的加壓狀態下，第二導電部4212的第二彈性物質4232可具有大於第一彈性物質4231的第三膨脹率的第四膨脹率。第二彈性物質4232可包含作為耐寒性材料的氟及矽橡膠。上述實施例的彈性物質的膨脹率可藉由與在圖11例示的實施例中說明的測定方法類似的方式測定。

代替性地，第一彈性物質4231可包含氟及矽橡膠，第二彈性物質4232可包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠。因此，若第一彈性物質4231包含耐熱性材料，則第二彈性物質4232可包含耐寒性材料。或者，若第一彈性物質4231包含耐寒性材料，則第二彈性物質4232可包含耐熱性材料。如上所述，第一彈性物質4231可選自第一組及第二組，上述第一組包含氧化鐵、 氮化硼及氮化鋁中的一種及矽橡膠，上述第二組包含氟及矽橡膠，第二彈性物質4232可選自上述第一組及上述第二組中的剩餘一組。

在上述實施例的連接器中，下側導電模組420的下側彈性導電部421具有彈性物質不同的雙重結構的導電體。當進行比較高溫下的檢查(例如，在上述第一溫度範圍內下的檢查)時，下側彈性導電部421的第一導電部4211可以防止下側彈性導電部421的過度膨脹，當進行比較低的溫度的檢查(例如，上述第二溫度範圍內下的檢查)時，下側彈性導電部421的第二導電部4212可防止下側彈性導電部421過度收縮。或者，第一導電部4211可防止過度收縮，第二導電部4212可防止過度膨脹。由此，連接器10可具有得到提高的耐寒性及耐熱性，可無需為了檢查受檢設備而施加強烈的壓力。

用於下側彈性導電部421的上述雙重結構也可用於上側彈性導電部211。或者，上側彈性導電部211及下側彈性導電部421均可由上述雙重結構形成。在圖12所示的連接器10中，第一間隙141與絕緣部130的上部面靠近設置，以使第一間隙141位於絕緣部130的中間的方式使上側彈性導電部211與下側彈性導電部421具有相同的上下方向的長度。

以上，雖然藉助一部分實施例和圖式所示的例說明了本發明的技術思想，但應當理解的是，本發明所屬技術領域中具有通常知識者可在不脫離本發明的技術思想及範疇內進行多種修改、變形及變更。並且，這種修改、變形及變更均屬於所附的發明要求保護範圍內。

10:連接器

110:上側導電模組

111:上側彈性導電部

112:第一導電性物質

113:第一彈性物質

114:上側支撐部

115:下部面

120:下側導電模組

121:下側彈性導電部

122:第二導電性物質

123:第二彈性物質

124:下側支撐部

125:上部面

130:絕緣部

131:貫通孔

132:上部面

133:下部面

141:第一間隙

142:第二間隙

143:第三間隙

VD:上下方向

HD:水平方向

Claims (15)

1. 一種用於電連接的連接器，包括： 上側導電模組，具有沿著上下方向延伸的至少一個上側彈性導電部； 下側導電模組，具有沿著所述上下方向延伸的至少一個下側彈性導電部，所述下側彈性導電部與所述上側彈性導電部對應；以及 絕緣部，具有使所述上側彈性導電部從上往下插入且使所述下側彈性導電部從下往上插入的貫通孔，在所述上側導電模組與所述下側導電模組之間，以能夠分離的方式與所述上側導電模組及所述下側導電模組相結合。
2. 如請求項1所述之連接器，其中，在所述貫通孔內形成第一間隙，在所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部的所述上下方向上的非加壓狀態下，所述第一間隙使所述上側彈性導電部的下端與所述下側彈性導電部的上端沿著所述上下方向隔開。
3. 如請求項2所述之連接器，其中，在所述非加壓狀態下，在所述貫通孔的內周面與所述上側彈性導電部的外周面之間形成第二間隙，所述第二間隙為藉由所述貫通孔的內周面的至少一部分與所述上側彈性導電部的外周面的至少一部分形成的空間，允許所述上側彈性導電部的彈性變形。
4. 如請求項3所述之連接器，其中，在所述非加壓狀態下，在所述貫通孔的內周面與所述下側彈性導電部的外周面之間形成第三間隙，所述第三間隙為藉由所述貫通孔的內周面的至少一部分與所述下側彈性導電部的外周面的至少一部分形成的空間，允許所述下側彈性導電部的彈性變形， 在所述非加壓狀態下，所述第一間隙沿著所述上下方向與所述第二間隙及所述第三間隙相連接。
5. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部在下端形成凸出部及凹陷部中的一個，所述下側彈性導電部在上端形成所述凸出部及所述凹陷部中的另一個， 所述凸出部沿著所述上下方向朝向所述凹陷部扣入。
6. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的一個沿著所述上下方向所形成的長度小於所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的另一個沿著所述上下方向所形成的長度。
7. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的一個包含第一彈性物質，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的另一個包含第二彈性物質， 在第一溫度範圍內的所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部的加壓狀態下，所述第一彈性物質具有第一膨脹率，所述第二彈性物質具有第二膨脹率， 所述第一彈性物質的第一膨脹率小於所述第二彈性物質的第二膨脹率。
8. 如請求項7所述之連接器，其中，所述第一彈性物質包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的一種和矽橡膠。
9. 如請求項7所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部混合有所述第一彈性物質及第一導電性物質，所述下側彈性導電部混合有所述第二彈性物質及第二導電性物質。
10. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的一個包含第一彈性物質，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的另一個包含第二彈性物質， 在第二溫度範圍內的所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部的加壓狀態下，所述第一彈性物質具有第三膨脹率，所述第二彈性物質具有第四膨脹率， 所述第二彈性物質的第四膨脹率大於所述第一彈性物質的第三膨脹率。
11. 如請求項10所述之連接器，其中，所述第二彈性物質包含氟及矽橡膠。
12. 如請求項10所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部混合有所述第一彈性物質及第一導電性物質，所述下側彈性導電部混合有所述第二彈性物質及第二導電性物質。
13. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的至少一個包括： 第一導電部，能夠沿著所述上下方向導電；以及 第二導電部，沿著所述上下方向包圍所述第一導電部，能夠沿著所述上下方向導電， 所述第一導電部包含第一彈性物質，所述第二導電部包含第二彈性物質， 在第一溫度範圍內的所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部的加壓狀態下，所述第一彈性物質具有第一膨脹率，所述第二彈性物質具有第二膨脹率， 在小於所述第一溫度範圍的第二溫度範圍內的所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部的加壓狀態下，所述第一彈性物質具有第三膨脹率，所述第二彈性物質具有第四膨脹率， 所述第一彈性物質的第一膨脹率小於所述第二彈性物質的第二膨脹率， 所述第二彈性物質的第四膨脹率大於所述第一彈性物質的第三膨脹率。
14. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側彈性導電部及所述下側彈性導電部中的至少一個包括： 第一導電部，能夠沿著所述上下方向導電；以及 第二導電部，沿著所述上下方向包圍所述第一導電部，能夠沿著所述上下方向導電， 所述第一導電部包含第一彈性物質，所述第二導電部包含第二彈性物質， 所述第一彈性物質選自包含氧化鐵、氮化硼及氮化鋁中的至少一種及矽橡膠在內的第一組以及包含氟及矽橡膠在內的第二組中的一個組， 所述第二彈性物質選自所述第一組及所述第二組中的剩餘一個組。
15. 如請求項1所述之連接器，其中，所述上側導電模組包括沿著所述上下方向支撐所述上側彈性導電部並沿著與所述上下方向正交的水平方向延伸的上側支撐部， 所述下側導電模組包括沿著所述上下方向支撐所述下側彈性導電部並沿著所述水平方向延伸的下側支撐部， 所述上側支撐部與所述絕緣部的上部面以能夠分離的方式接合，所述下側支撐部與所述絕緣部的下部面以能夠分離的方式接合。