KR102622022B1

KR102622022B1 - 도전성 입자 및 이를 포함하는 전기접속용 커넥터

Info

Publication number: KR102622022B1
Application number: KR1020190031371A
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2019-03-19
Filing date: 2019-03-19
Publication date: 2024-01-10
Also published as: KR20200111537A

Abstract

검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터의 도전부를 형성하는 도전성 입자가 제공된다. 도전성 입자는 제1 부분과 제2 부분을 포함한다. 제1 부분에는 제1 방향으로 연장되는 제1 면이 형성되어 있고, 제2 부분에는 제2 방향으로 연장되는 제2 면이 형성되어 있다. 제1 부분과 제2 부분은 제1 방향과 제2 방향이 일치하지 않도록 결합되어 있다.

Description

도전성 입자 및 이를 포함하는 전기접속용 커넥터{CONDUCTIVE POWDER AND CONNECTOR FOR ELECTRICAL CONNECTION INCLUDING SAME}

본 개시는 검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터에 관한 것이다. 또한, 본 개시는 커넥터의 도전부를 형성하는 도전성 입자에 관한 것이다.

피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사 장치에 접촉되어 피검사 디바이스와 검사 장치를 전기적으로 접속시키는 커넥터가, 피검사 디바이스의 검사 분야에서 사용되고 있다. 커넥터는 검사 장치의 전기적 테스트 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 응답 신호를 검사 장치에 전달한다.

커넥터의 일 예로서, 도전성 러버 시트가 당해 분야에서 사용되고 있다. 도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는 피검사 디바이스와 검사 장치를 전기적으로 접속시키는 복수의 도전부와 도전부들을 절연시키는 절연부를 갖는다. 피검사 디바이스의 검사 시에, 피검사 디바이스의 단자는 도전부의 단부에 접촉하여 도전부를 누른다.

도전부의 일부와 절연부는 실리콘 러버와 같은 절연 물질로 이루어진다. 도전부의 도전 경로는, 도전성 금속 재료로 이루어지는 다수의 도전성 입자가 상하 방향으로 접촉되어 형성된다. 도전성 입자는 구 형상 또는 기둥 형상을 가질 수 있다. 도전부 내에서 도전성 입자는 절연 물질에 의해 유지될 수 있다. 도전부는, 도전성 입자가 분산된 액상의 절연 물질에 상하 방향으로 자기장을 인가하여 도전성 입자를 모으고, 액상 절연 물질을 경화하여, 제조할 수 있다.

기둥 형상의 도전성 입자는 상하부에 편평한 면을 가질 수 있다. 기둥 형상의 도전성 입자들이 자기장에 의해 상하 방향으로 모일 때, 상하의 도전성 입자가 그 편평한 면에서 상하 방향으로 접촉할 수 있다. 이에 따라, 기둥 형상의 도전성 입자들이 도전부를 형성할 때, 도전성 입자 간의 상하 방향에서의 접촉은 비교적 양호하게 행해질 수 있다. 그러나, 도전성 입자 간의 수평 방향에서의 접촉은 비교적 불량한 경향이 있다. 이로 인해, 도전부를 지나는 전류는 상하 방향의 도전 경로로 집중되는 불리함이 있다. 또한, 도전성 입자 간의 수평 방향에서의 결합력이 낮기 때문에, 사용 수명이 단축되는 불리함도 있다.

본 개시의 일 실시예는, 도전부의 상하 방향 및 수평 방향으로 전기적 접점을 만들 수 있는 도전성 입자를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 도전성 입자 간의 결합력을 향상시켜 도전부의 사용 수명을 향상시키는 도전성 입자를 제공한다. 또한, 본 개시의 일 실시예는, 전술한 도전성 입자로 구성되는 도전부를 갖는 커넥터를 제공한다.

본 개시의 일 측면은, 검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터의 도전부를 형성하는 도전성 입자에 관련된다. 일 실시예의 도전성 입자는, 길이방향인 제1 방향으로 연장하는 사각 기둥인 제1 부분과, 길이방향인 제2 방향으로 연장하는 사각 기둥인 제2 부분을 포함한다. 제1 부분과 제2 부분은, 제1 방향과 제2 방향이 일치하지 않고 소정 각도를 이루도록, 교차 결합되어 있다. 교차 결합된 제1 부분과 제2 부분은 X자 형상을 갖는다. 일 실시예의 도전성 입자에서, 교차 결합된 제1 부분과 제2 부분은 십자 형상을 취할 수 있다. 일 실시예의 도전성 입자는, 길이방향인 제3 방향으로 연장하는 사각 기둥이고 제1 부분에 교차 결합되는 제3 부분을 더 포함할 수 있다. 일 실시예의 도전성 입자에서, 제1 부분은 제1 방향에 수직한 방향으로 돌출한 한 쌍의 제1 돌출부를 가질 수 있고, 제2 부분은 제2 방향에 수직한 방향으로 돌출한 한 쌍의 제2 돌출부를 가질 수 있다.

본 개시의 또 하나의 측면은, 검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터에 관련되며, 커넥터는 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 검사에 사용된다. 일 실시예의 커넥터는, 상하 방향 및 수평 방향으로 도전 가능하게 접촉된 다수의 도전성 입자를 각각 포함하는 복수의 도전부와, 복수의 도전부를 수평 방향으로 이격시키고 복수의 도전부를 서로 절연시키는 절연부를 포함한다. 도전부의 도전성 입자는 전술한 일 실시예의 도전성 입자이다.

본 개시의 일 실시예에 따른 도전성 입자는, 제1 부분의 제1 방향과 제2 부분의 제2 방향이 일치하지 않도록 결합된 제1 부분과 제2 부분을 포함한다. 이러한 도전성 입자는, 도전부 내에 무작위적 방향으로 위치할 수 있고, 그에 따라 상하 방향 및 수평 방향에서 전기적 접점을 만들 수 있다. 따라서, 일 실시예에 따른 도전성 입자는, 다양한 도전 경로를 가지며 도전 신뢰도가 높은 도전부를 형성할 수 있다. 또한, 도전성 입자들은 안정적 접촉을 유지할 수 있고 높은 결합력을 제공할 수 있어, 도전부의 저항 감소와 사용 수명의 향상을 달성할 수 있다.

도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 커넥터를 개략적으로 도시한다.
도 2는 도 1에 도시된 도전부를 구성하는 도전성 입자를 개략적으로 도시한다.
도 3은 일 실시예에 따른 다수의 도전성 입자가 상하 방향과 수평 방향으로 접촉되어 도전부를 형성하는 예를 개략적으로 도시한다.
도 4는 또 하나의 실시예에 따른 도전성 입자를 개략적으로 도시한다.
도 5는 또 다른 실시예에 따른 도전성 입자를 개략적으로 도시한다.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 커넥터가 검사 장치에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "상하 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.

첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

도 1은 일 실시예에 따른 커넥터를 개략적으로 도시한다. 도 1은, 실시예의 설명을 위해, 커넥터, 커넥터가 배치되는 검사 장치, 커넥터와 접촉되는 피검사 디바이스의 예시적 형상을 도시한다. 또한, 도 1은, 커넥터의 형상, 도전부의 형상, 절연부의 형상을 개략적으로 도시하며, 이들은 실시예의 이해를 위해 선택된 예에 불과하다.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 커넥터(100)는, 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)의 사이에 위치하며, 피검사 디바이스(20)의 전기적 검사 시에, 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)에 각각 접촉되어 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)의 전기적 접속을 실행할 수 있다. 일 예로, 커넥터(100)는, 피검사 디바이스(20)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스의 최종적인 전기적 검사 시에 사용될 수 있다.

커넥터(100)는 시트(sheet) 형상의 구조물이다. 커넥터(100)는 테스트 소켓에 결합되어 검사 장치(10)에 제거가능하게 장착될 수 있다. 상기 테스트 소켓은 운반 장치에 의해 검사 장치(10)로 운반된 피검사 디바이스(20)를 그 안에 수용하고 피검사 디바이스(20)를 검사 장치(10)에 위치시킨다.

피검사 디바이스(20)는, 내부에 반도체 IC 칩을 갖는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 피검사 디바이스(20)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(21)를 가질 수 있다.

검사 장치(10)는 피검사 디바이스(20)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있다. 검사 장치(10)는, 검사가 수행되는 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(11)를 가질 수 있다. 커넥터(100)는 상기 테스트 소켓에 의해 검사 장치(10)의 단자(11)와 접촉되도록 배치될 수 있다.

커넥터(100)의 대부분은 탄성을 갖는 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 커넥터(100)는 상하 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 가질 수 있다. 외력이 상하 방향(VD)에서의 하방으로 커넥터(100)에 가해지면, 커넥터(100)는 탄성 변형될 수 있고, 외력이 제거되면 커넥터(100)는 그 원래 형상으로 복원될 수 있다. 상기 외력은, 피검사 디바이스(20)의 검사 시에 푸셔 장치가 피검사 디바이스(20)를 검사 장치(10) 측으로 눌러서 발생될 수 있다.

커넥터(100)는 복수의 도전부(110)와, 절연부(120)를 포함한다. 복수의 도전부(110)는 상하 방향(VD)으로 위치되며, 상하 방향(VD)으로 도전 가능하다. 절연부(120)는 복수의 도전부(110)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 복수의 도전부(110)를 서로 절연시킨다.

도전부(110)는 그 상단에서 피검사 디바이스의 단자(21)와 접촉되고 그 하단에서 검사 장치의 단자(11)와 접촉된다. 이에 따라, 하나의 도전부(110)에 대응하는 단자(11)와 단자(21)의 사이에서 도전부(110)를 매개로 하여 상하 방향의 도전로가 형성된다. 따라서, 검사 장치(10)의 테스트 신호는 단자(11)로부터 도전부(110)를 통해 피검사 디바이스(20)의 단자(21)에 전달될 수 있고, 피검사 디바이스(20)의 응답 신호는 단자(21)로부터 도전부(110)를 통해 검사 장치(10)의 단자(11)에 전달될 수 있다.

도전부(110)들의 평면 배열은 피검사 디바이스(20)의 단자(21)의 배열에 따라 다양할 수 있다. 도전부(110)들은 사각형의 절연부(120) 내에서 하나의 행렬 또는 한 쌍의 행렬 형태로 배열될 수 있다. 또는, 도전부(110)들은 사각형의 절연부(120)의 각 변을 따라 복수 열로 배열될 수 있다.

각 도전부(110)는 상하 방향(VD) 및 수평 방향(HD)으로 도전 가능하게 서로 접촉된 다수의 도전성 입자를 포함한다. 상하 방향(VD)과 수평 방향(HD으로 도전 가능하게 접촉된 도전성 입자들이 하나의 도전부 내에서 신호 전달을 실행하는 다양한 도전로를 형성한다.

각 도전부(110)에서, 절연 물질이 도전성 입자들의 사이를 채울 수 있다. 이러한 절연 물질은 절연부를 형성하는 절연 물질과 동일할 수 있다. 즉, 도전부는 절연부를 형성하는 절연 물질을 부분적으로 포함하며, 이러한 도전부의 절연 물질은 도전부의 일단부터 타단까지 존재할 수 있다. 또한, 절연부를 형성하는 절연 물질이 다수의 도전성 입자들을 도전부의 형상으로 유지할 수 있다. 따라서, 절연 물질을 포함하는 각 도전부는 상하 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 갖는다. 피검사 디바이스의 단자에 의해 각 도전부가 하방으로 눌릴 때, 각 도전부는 수평 방향(HD)으로 약간 팽창될 수 있고, 각 절연부는 도전부의 이러한 팽창을 허용할 수 있다.

절연부(120)는 커넥터(100)의 사각형의 탄성 영역을 형성할 수 있다. 절연부(120)는 하나의 탄성체로서 형성될 수 있으며, 상하 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 갖는다. 절연부(120)는 도전부(110)의 형상을 유지하고 도전부(110)를 상하 방향으로 지지한다.

절연부(120)는 절연 물질로 이루어진다. 상세하게는, 절연부(120)는 액상의 절연 물질이 경화됨으로써 성형된다. 일 예로서, 전술한 도전성 입자들이 분산된 액상 절연 물질로부터 자기장을 이용하여 도전부를 형성하고, 그 후 액상 절연 물질이 경화되어 절연부가 형성될 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 액상 절연 물질이 경화되어 성형되고 커넥터의 형상을 갖는 소재에 도전부의 위치마다 관통 홀이 형성되고, 이러한 관통 홀을 상기 액상 절연 물질로 충전시키고 자기장에 의해 도전부가 형성될 수 있다.

도전부와 절연부를 구성하는 절연 물질은 절연성과 탄성을 갖는다. 이러한 절연 물질이 절연부를 구성하고 도전부의 일부를 구성한다. 일 예로서, 절연 물질은 실리콘 러버일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다.

일 실시예에 따른 커넥터의 도전부를 형성하는 도전성 입자는, 도전성의 금속 재료로 이루어지며 적어도 두개의 부분이 교차 결합되어 형성된다. 도 2 내지 도 5는 실시예에 따른 도전성 입자를 개략적으로 도시한다.

도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 도전성 입자(200A)는 도전성의 금속 재료로 이루어지며, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)을 포함한다. 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 교차 결합되어 도전성 입자(200A)를 형성한다.

제1 부분(210)에는 제1 방향(D1)으로 연장하는 제1 면(211)이 형성되어 있다. 제2 부분(220)에는 제2 방향(D2)으로 연장하는 제2 면(221)이 형성되어 있다. 제1 방향(D1)은 제1 부분(210)의 길이방향 또는 폭방향일 수 있고, 제2 방향(D2)은 제2 부분(220)의 길이방향 또는 폭방향일 수 있다. 따라서, 제1 면(211)은 제1 부분(210)의 길이방향 또는 폭방향으로 연장하는 제1 부분(210)의 표면일 수 있고, 제2 면(221)은 제2 부분(220)의 길이방향 또는 폭방향으로 연장하는 제2 부분(220)의 표면일 수 있다.

또한, 도전성 입자(200A)에서, 제1 면(211)과 제2 면(221)은 서로 대향하는 표면이다. 예컨대, 도 2에 있어서, 제1 면(211)은 도전성 입자(200A)의 상측에 위치하고 제2 면(221)은 상기 상측에 대향하는 하측에 위치하지만, 이는 단지 서로 대향하여 위치하는 제1 면과 제2 면을 예시한 것에 불과한다.

도전성 입자(200A)에서는, 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)이 일치하지 않도록 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 결합되어 있다. 따라서, 제1 부분(210)은 제2 부분(220)의 외측에서 제2 부분(220)과 교차 결합되거나, 제2 부분(220)은 제1 부분(210)의 외측에서 제1 부분(210)과 교차 결합된다. 여기서, '교차 결합'은, 제1 부분(210)의 제1 방향(D1)과 제2 부분(220)의 제2 방향(D2)이 소정 각도를 이루는 것을 의미할 수 있다.

제1 부분(210)과 제2 부분(220)은, 원 기둥 형상, 각 기둥 형상을 가질 수 있다. 도 2에 도시하는 제1 부분과 제2 부분의 형상은 사각 기둥의 형상이지만, 이것은 제1 부분과 제2 부분의 형상의 일 예에 불과하다. 또한, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 동일한 형상을 가질 수 있지만, 서로 다른 형상을 가질 수도 있다.

제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 도전성을 갖는 금속 재료로 이루어질 수 있다. 또는, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 결합된 결합체를 고전도성 금속 재료로 도금하여, 도전성 입자가 형성될 수도 있다. 이와 같이 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 결합된 도전성 입자(200A)는 MEMS 공정 기술을 사용하여, 예컨대, 웨이퍼에 도전성 입자(200A)의 외형에 대응하는 형상을 만들고, 그러한 형상에 도전성 입자(200A)를 구성하는 재료를 채워 넣는 방법으로 제조될 수 있다.

제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 교차 결합되므로, 도전성 입자(200A)는, X자 형상 또는 십자 형상을 취할 수 있다. 즉, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 사잇각(IA)을 갖는다. 사잇각(IA)은 다양하게 선택될 수 있다. 일 예로, 사잇각(IA)은 90도일 수 있다.

제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 교차 결합된 하나의 도전성 입자(200A)는, 이웃하는 다른 도전성 입자와 상하 방향 및 수평 방향으로 접촉될 수 있다. 도 3은 일 실시예에 따른 도전성 입자들이 상하 방향과 수평 방향으로 접촉되어 커넥터의 도전부를 형성하는 예를 개략적으로 도시한다.

전술한 바와 같이, 다수의 도전성 입자들이 분산된 액상 성형 물질에 도전부의 위치마다 자기장을 인가함으로써, 도전성 입자들이 도전부의 위치에 모여 도전부를 형성할 수 있다. 도전성 입자는, 교차 결합된 제1 부분 및 제2 부분으로 인해, 자기장의 방향을 따르지 않고 무작위적인 방향으로 위치되면서 상하 방향으로 밀집될 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 자기장에 의해 모인 도전성 입자(200A)들은 상하 방향(VD) 또는 수평 방향(HD)에 대해 무작위적으로 위치하면서, 서로 접촉된다.

무작위적으로 위치하면서 서로 접촉된 도전성 입자(200A)들에서, 상하 방향으로 이웃한 도전성 입자들이 접촉하고 수평 방향으로 이웃한 도전성 입자들이 접촉한다. 따라서, 상하 방향과 수평 방향으로 접촉된 도전성 입자들에서, 단위 면적 당 접점의 수가 증대된다. 이에 따라, 하나의 도전부(111) 내에서, 다양한 도전 경로가 형성될 수 있고, 도전 채널의 폭이 증대될 수 있어, 도전 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 또한, 교차 결합된 도전성 입자(200A)들이 상하 방향과 수평 방향에서의 접점들에서 접촉되므로, 도전부(111) 내에서 도전성 입자(200A)들은 안정적 접촉력 하에서 유지되어 전기 저항을 감소시킬 수 있다. 또한, 향상된 결합력으로 도전성 입자(200A)들이 접촉되어, 커넥터의 사용 수명이 향상될 수 있다. 또한, 무작위적으로 위치한 도전성 입자(200A)들이 상하 방향(VD)의 접점 및 수평 방향(HD)의 접점을 가지면서 도전부(111)를 구성하므로, 커넥터의 저항 안정성이 향상될 수 있다. 따라서, 일 실시예의 커넥터는 고온 환경에서의 피검사 디바이스의 검사에 유효하게 적용될 수 있다.

도 4는 또 하나의 실시예에 따른 도전성 입자를 개략적으로 도시한다. 도 4에 도시하는 도전성 입자(200B)는, 제1 부분(210)에 교차 결합된 제3 부분(230)을 더 포함한다. 제3 부분(230)은 제1 부분(210) 또는 제2 부분(220)과 유사하게 구성될 수 있다. 제3 부분(230)에는 그 길이방향 또는 폭방향이 되는 제3 방향(D3)으로 연장하는 제3 면(231)이 형성되어 있다. 제3 면(231)은 제1 면(211)과 제2 면(221)에 대향하는 표면이다. 도전성 입자(200B)에서, 제3 방향(D3)이 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)과 일치하지 않도록 제3 부분(230)이 제1 부분(210)에 결합될 수 있다. 이러한 도전성 입자(200B)는, 이웃하는 도전성 입자와 더욱 많은 전기적 접점을 만들 수 있다.

도 5는 또 다른 실시예에 따른 도전성 입자를 개략적으로 도시한다. 도 5에 도시하는 도전성 입자(200C)에 있어서, 제1 부분(210)은 한 쌍의 제1 돌출부(212)를 갖고 제2 부분(220)은 한 쌍의 제2 돌출부(222)를 갖는다. 제1 돌출부(212)는 제1 방향(D1)에 수직한 방향으로 돌출할 수 있고, 제2 돌출부(222)는 제2 방향(D2)에 수직한 방향으로 돌출할 수 있다. 이에 따라, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 대략 십자 형상을 가질 수 있다. 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)이 일치하지 않도록 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 결합되어, 도전성 입자(200C)를 형성한다. 또한, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 사잇각(IA)이 90도보다 작도록 결합된다. 이러한 도전성 입자(200C)는, 이웃한 도전성 입자와 더욱 많은 전기적 접점을 만들 수 있다.

이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시하는 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

10: 검사 장치, 20: 피검사 디바이스, 100: 커넥터, 110: 도전부, 120: 절연부, 200A: 도전성 입자, 200B: 도전성 입자, 200C: 도전성 입자, 210: 제1 부분, 211: 제1 면, 220: 제2 부분, 221: 제2 면, D1: 제1 방향, D2: 제2 방향, VD: 상하 방향, HD: 수평 방향

Claims

길이방향인 제1 방향으로 연장하는 사각 기둥인 제1 부분과,
길이방향인 제2 방향으로 연장하는 사각 기둥인 제2 부분을 포함하고,
상기 제1 방향과 상기 제2 방향이 일치하지 않고 소정 각도를 이루도록 상기 제1 부분과 상기 제2 부분이 교차 결합되어 있고,
상기 교차 결합된 제1 부분과 제2 부분은 X자 형상을 갖는,
도전성 입자.
제1항에 있어서,
상기 교차 결합된 제1 부분과 제2 부분은 십자 형상을 취하는,
도전성 입자.
제1항에 있어서,
길이방향인 제3 방향으로 연장하는 사각 기둥이고 상기 제1 부분에 교차 결합되는 제3 부분을 더 포함하는,
도전성 입자.
제1항에 있어서,
상기 제1 부분은 상기 제1 방향에 수직한 방향으로 돌출한 한 쌍의 제1 돌출부를 갖고, 상기 제2 부분은 상기 제2 방향에 수직한 방향으로 돌출한 한 쌍의 제2 돌출부를 갖는,
도전성 입자.
검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 전기접속용 커넥터이며,
상하 방향 및 수평 방향으로 도전 가능하게 접촉된 다수의 도전성 입자를 각각 포함하는 복수의 도전부와,
상기 복수의 도전부를 상기 수평 방향으로 이격시키고 상기 복수의 도전부를 서로 절연시키는 절연부를 포함하고,
상기 도전성 입자는 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 도전성 입자인,
커넥터.