KR20140147207A

KR20140147207A - 검사용 인서트

Info

Publication number: KR20140147207A
Application number: KR20130069975A
Authority: KR
Inventors: 오종우; 최우석
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2013-06-18
Filing date: 2013-06-18
Publication date: 2014-12-30
Also published as: TW201512677A; KR101490498B1; TWI533002B; WO2014204161A2; WO2014204161A3

Abstract

본 발명은 검사용 인서트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 다수의 단자가 마련된 피검사 디바이스를 수납한 상태로 외부의 접속체 측으로 이동하여 상기 단자를 상기 접속체와 접촉가능하게 하는 인서트에 있어서, 상기 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 관통구멍이 중앙 부분에 형성되어 있는 인서트 몸체; 및 상기 인서트 몸체의 관통구멍을 가로지르도록 배치되고, 상기 관통구멍을 통하여 삽입된 피검사 디바이스가 상기 관통구멍 내에 유지될 수 있도록 지지하는 지지부재;를 포함하며,
상기 지지부재는, 상기 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 정렬배치되는 도전부와, 상기 각 도전부를 지지하는 절연부로 이루어지는 도전성 시트; 및 상기 도전성 시트의 상면측에 배치되며 상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 가이드시트를 포함하는 검사용 인서트에 대한 것이다.

Description

검사용 인서트{Insert for test}

본 발명은 검사용 인서트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 용이하게 전기적 검사할 수 있도록 하는 검사용 인서트에 대한 것이다.

일반적으로 반도체 디바이스 제조 공정에 의해 제조된 반도체 디바이스는 출하되기 전에 전기적 특성 검사와 기능 테스트(Function Test)와 같은 신뢰성 테스트를 거치게 된다. 여기서, 제조된 반도체 디바이스를 테스트 장치로 이송하며, 테스트 완료된 반도체 디바이스를 분류하기 위한 장비로서 주로 인서트(Insert)가 사용된다.

핸들러는 다수의 반도체 디바이스를 테스트 장치 내에 반송하고, 각 반도체 디바이스를 테스트 헤드에 전기적으로 접촉시켜 테스트를 행하게 한다. 그리고 테스트가 완료된 각 반도체 디바이스를 테스트 장치로부터 반출하여 테스트 결과에 따라서 분류한다. 이때 핸들러는 복수개의 반도체 디바이스가 수납된 인서트를 복수 배치하고 있는 테스트 트레이를 테스트 장치로 반송하여 테스트 공정이 이루어질 수 있도록 하는 것이다.

이러한 인서트에 대한 종래기술로는, 도 1 및 도 2에 개시되어 있게 된다. 구체적으로 전기적인 접속이 요구되는 하이픽스 보드와 같은 검사장치(110)와, 상기 검사장치(110)의 상부에 배치되며 상기 검사장치(110)에 착탈가능하게 결합되는 검사용 소켓(120)과, 내부에 피검사 디바이스(140)를 삽입한 상태로 검사장치(110) 측으로 이송하며 검사장치에 배치되는 소켓가이드(150)에 의하여 검사장치에 위치정렬되는 인서트(100) 및 상기 인서트(100) 내부에 삽입된 피검사 디바이스(140)를 눌러주는 푸셔장치(130)를 포함하여 구성된다.

이때, 검사장치에 배치되는 검사용 소켓(120)은 항상 검사장치(110)에 탑재된 상태에 있으며, 인서트(100)가 이송되어서 인서트 내부에 배치되는 피검사 디바이스(140)와 전기적으로 연결됨으로서, 상기 피검사 디바이스(140)에 대한 검사를 수행가능하게 한다.

이러한 종래기술에 검사용 인서트를 이용한 검사시 다음과 같은 문제점이 있다.

종래기술에서는, 인서트는 피검사 디바이스를 운반하는 기능만을 주로 담당하고, 운반된 피검사 디바이스와 검사장치를 서로 전기적으로 접속하는 기능은 검사용 소켓이 담당하게 되는데, 이때 검사용 소켓은 이미 상술한 바와 같이 검사장치 측에 배치되어 있게 된다. 이와 같이 검사용 소켓이 검사장치 측에 배치되어 있게 되면, 장비의 유지보수에 드는 시간이 많이 든다는 문제점이 있다. 즉, 인서트 문제시에는 인서트를 전체적으로 체크해야 하고, 검사장치의 문제시에는 테스트 소켓을 포함한 하부의 구조물을 전체적으로 체크해야 해서 검토를 해야 하는 부분이 많아지게 되는 문제점이 있다.

또한, 이송되는 인서트는 소켓 가이드에 의하여 위치정렬이 확실하게 될 수 있으나, 인서트 내에 삽입되는 피검사 디바이스는 검사용 소켓에 위치정렬이 확실하게 될 수 있는 구성이 존재하지 않기 때문에 피검사 디바이스가 검사용 소켓에 정확하게 위치정렬되지 않는 경우가 있게 된다.

대한민국 등록특허 제659153호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 유지보수가 용이하며 피검사 디바이스의 위치정렬이 용이한 검사용 인서트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 인서트는, 다수의 단자가 마련된 피검사 디바이스를 수납한 상태로 외부의 접속체 측으로 이동하여 상기 단자를 상기 접속체와 접촉가능하게 하는 인서트에 있어서,

상기 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 관통구멍이 중앙 부분에 형성되어 있는 인서트 몸체; 및

상기 인서트 몸체의 관통구멍을 가로지르도록 배치되고, 상기 관통구멍을 통하여 삽입된 피검사 디바이스가 상기 관통구멍 내에 유지될 수 있도록 지지하는 지지부재;를 포함하며,

상기 지지부재는,

상기 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 정렬배치되는 도전부와, 상기 각 도전부를 지지하는 절연부로 이루어지는 도전성 시트; 및

상기 도전성 시트의 상면측에 배치되며 상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 가이드시트를 포함한다.

상기 검사용 인서트에서,

가이드 시트는, 캡톤(kapton), FR4, FR5, XPC, 폴리이미드 중 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 가이드시트는, 상기 도전성 시트에 일체화되어 부착될 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 지지부재는 가장자리가 상기 인서트몸체의 하면에 밀착되어 있으며, 상기 인서트몸체에는 하측으로 돌출되는 다수의 돌출부가 배치되고,

상기 지지부재에는 상기 돌출부와 대응되는 위치마다 결합공이 마련되어 있으며,

상기 돌출부는 열융착에 의하여 상기 지지부재를 인서트몸체의 하면에 부착시킬 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 지지부재의 가장자리에는 상기 도전부의 하면보다 하측으로 돌출되도록 상기 지지부재에 배치되어 있으며, 상기 지지부재보다 경질의 소재로 이루어지는 스토퍼시트가 배치될 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 인서트 몸체는, 외부의 접촉체에 마련되어 있는 소켓가이드에 결합되는 인서트 본체; 및

상기 인서트 본체에 결합되며 상기 지지부재가 부착되는 플로팅 부재를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 플로팅 부재는, 상기 하면이 상기 인서트 본체의 하면으로부터 돌출되는 제1위치와, 하면이 상기 인서트 본체의 하면보다 높게 위치하는 제2위치사이에서 위치이동가능할 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 플로팅 부재는, 상기 인서트 본체에 착탈가능하게 결합될 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 플로팅 부재에는, 상기 플로팅 부재는 제1위치로부터 제2위치를 향하도록 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단이 마련될 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 탄성바이어스수단은,

상기 인서트 몸체의 가장자리에 배치되는 제1구멍;

상기 인서트 몸체의 제1구멍과 대응되는 위치에 배치되는 제2구멍;

하단이 상기 인서트 몸체의 하단면에 걸어맞춤되는 하부걸림부와, 상기 하부걸림부로부터 상측으로 연장되며 제2구멍 및 제1구멍을 관통하되 상기 제1구멍으로부터 상측으로 이격되어 있는 중앙부와, 상기 중앙부의 상단에 배치되며 상기 중앙부보다 직경이 큰 상부걸림부를 포함하는 걸림부재; 및

상기 인서트 몸체의 제1구멍의 주변과 상기 상부걸림부의 사이에 배치되어 상기 상부걸림부를 상기 인서트 몸체의 하면으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재;를 포함할 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 하부걸림부는, 후크의 형태로 상기 인서트 몸체의 하단면에 걸어맞춤될 수 있다.

상기 검사용 인서트에서,

상기 지지부재에는,

상기 도전성 시트의 가장자리에 일체적으로 결합되며 상기 도전성 시트의 가장자리로부터 연장되어 상기 인서트 몸체의 하면과 대면하는 프레임을 포함할 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 인서트는,

다수의 단자가 마련된 피검사 디바이스를 수납한 상태로 검사장치 측으로 이동하여 상기 단자를 상기 검사장치의 패드와 접촉가능하게 하는 인서트에 있어서,

상기 지지부재는,

상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되는 하우징과, 상기 관통공 내에 삽입되며 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 핀과, 상기 핀에 의하여 가해지는 가압력을 흡수하는 스프링을 포함하는 도전체; 및

상기 도전성 시트의 상면측에 배치되며 상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 가이드시트를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 검사용 인서트는, 피검사 디바이스를 지지하면서 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속하는 지지부재를 인서트 측에 배치하여 유지보수가 용이하다는 장점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 검사용 인서트는, 지지부재에, 피검사 디바이스의 위치를 가이드하는 가이드시트를 배치하여 피검사 디바이스의 위치정렬을 용이하게 할 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 인서트를 도시한 분리사시도.
도 2는 도 1의 일부 결합도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 인서트를 포함하는 검사장치의 분리사시도.
도 4는 도 3의 검사장치에서 검사용 인서트를 위에서 바라본 사시도.
도 5는 도 3의 검사장치에서 검사용 인서트를 아래에서 바라본 사시도.
도 6은 도 3의 검사장치에서 플로팅 부재를 위에서 바라본 사시도.
도 7은 도 3의 검사장치에서 플로팅 부재를 아래에서 바라본 사시도.
도 8은 도 3의 Ⅷ-Ⅷ 단면도.
도 9는 도 4의 검사용 인서트의 단면도.
도 10 및 도 11은 도 9의 검사용 인서트의 작동도.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 인서트의 단면도.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 인서트의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명의 검사용 인서트(10)는, 다수의 단자(81)가 마련된 피검사 디바이스(80)를 수납한 상태로 외부의 접촉체(본 발명에서는 '검사장치의 패드'를 의미하지만 이에 한정되는 것은 아니며 피검사 디바이스가 접촉될 필요가 있는 모든 구성을 의미한다) 측으로 이동하여 상기 단자(81)를 상기 접속체와 접속가능하게 하는 인서트로서, 접속체 측에 별도의 검사용 소켓이 없이 지지부재가 검사용 소켓으로의 기능을 수행하는 인서트에 대한 것이다.

이러한 본 발명의 검사용 인서트(10)는, 인서트 몸체(20)와 지지부재(60)를 포함한다.

상기 인서트 몸체(20)는, 피검사 디바이스(80)가 삽입될 수 있는 관통구멍(22)이 중앙 부분에 형성되어 있는 것으로서, 인서트 본체(21)와 플로팅 부재(30)를 포함한다.

상기 인서트 본체(21)는, 대략 직육면체의 형태를 가지되 중앙 부분에는 피검사 디바이스(80)의 대응되는 크기를 가지는 관통구멍(22)이 형성되어 있다. 또한, 인서트 본체(21)에는 관통구멍(22)을 사이에 두고 대칭적으로 가이드홀(23)이 형성되어 있게 된다. 상기 가이드홀(23)은 검사장치(93) 측에 배치된 소켓 가이드(92)의 가이드돌기(921)가 삽입될 수 있는 크기를 가지게 된다.

상기 인서트 본체(21)의 하면에는 상측으로 패여지며 플로팅 부재(30)가 내부에 안착될 수 있도록 하는 수용홈(24)이 마련되어 있다. 또한, 가이드홀(23)과 상기 관통구멍(22)의 사이에는 상기 수용홈(24)의 상면과 상기 인서트 본체(21)의 상면을 서로 연통하는 제1구멍(25)이 배치되어 있게 된다. 상기 제1구멍(25)에는 후술하는 걸림부재(40)가 삽입될 수 있다.

상기 제1구멍(25)의 상부는 큰 내경을 가지며 상기 제1구멍(25)의 하부는 상기 상부보다 작은 내경을 가지되 중앙에는 직경이 변화되는 단턱이 마련되어 있게 된다.

상기 제1구멍(25)과 관통구멍(22)의 사이에는 상부커버(90)를 상측으로 탄성지지하는 스프링(901)이 삽입되는 스프링 수용홈(26)이 마련되어 있게 된다. 이때 상부커버(90)는 인서트 본체(21) 내에 삽입되는 피검사 디바이스(80)의 위치를 고정하는 래치를 작동시키기 위한 구성으로서, 상기 스프링 수용홈(26)에 안착된 스프링(901)에 의하여 탄성지지된다.

상기 플로팅 부재(30)는, 상기 인서트 본체(21)에 결합되며 상기 지지부재(60)가 부착되는 것으로서, 그 플로팅 부재(30)의 하면이 인서트 본체(21)의 하면으로부터 하측으로 돌출되는 제1위치(도 10 및 도 11에 도시된 위치)와, 플로팅 부재(30)의 하면이 상기 인서트 본체(21)의 하면보다 높게 위치하는 제2위치(도 4 및 도 9에 도시된 위치)사이에 위치이동될 수 있다. 구체적으로 플로팅 부재(30)는, 운반시에는 제2위치에 배치되어 다른 장치와 부딪힘에 의하여 플로팅 부재(30) 또는 지지부재(60)가 손상되는 것이 방지한다. 또한, 일단 검사장치(93) 측으로 이송된 후에는 제1위치로 이동하여 인서트 몸체(20)으로부터 돌출됨으로서, 검사장치(93)와 접촉될 수 있도록 하는 구성이다.

이러한 플로팅 부재(30)는 대략 중앙에 관통구멍(32)이 형성된 사각판 형태로 이루어지되, 상기 플로팅 부재(30)의 하면에는 상기 관통구멍(22)의 둘레를 따라서 다수의 돌출부(31)가 마련되어 있게 된다. 이러한 돌출부(31)는 지지부재(60)를 상기 플로팅 부재(30)에 고정시키는 기능을 수행하게 된다. 구체적으로 상기 돌출부(31)는 열융착에 의하여 단부가 면방향으로 퍼지면서 상기 지지부재(60)를 위치고정할 수 있도록 구성되어 있다.

한편, 상기 플로팅 부재(30)는, 상기 인서트 본체(21)에 착탈가능하게 결합되어 있다. 이러한 플로팅 부재(30)는, 제1위치로부터 제2위치를 향하도록 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단이 마련되어 있다. 이러한 탄성바이어스수단은, 상기 인서트 몸체(20)의 가장자리에 배치되는 제1구멍(25)과, 상기 인서트 몸체(20)의 제1구멍(25)과 대응되는 위치에 배치되는 제2구멍(32)과, 걸림부재(40) 및 탄성바이어스부재(50)을 포함한다.

이때, 걸림부재(40)은, 하단이 상기 인서트 몸체(20)의 하단면에 걸어맞춤되는 하부걸림부(41)와, 상기 하부걸림부(41)로부터 상측으로 연장되며 제2구멍(32) 및 제1구멍(25)을 관통하되 상기 제1구멍(25)으로부터 상측으로 이격되어 있는 중앙부(42)와, 상기 중앙부(42)의 상단에 배치되며 상기 중앙부(42)보다 직경이 큰 상부걸림부(43)를 포함한다.

또한, 상기 탄성바이어스부재는, 상기 인서트 몸체(20)의 제1구멍(25)의 단턱과 상기 상부걸림부(43)의 사이에 배치되어 상기 상부걸림부(43)를 상기 인서트 몸체(20)의 하면으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재(50)를 포함하여 구성된다.

이러한 탄성바이어스수단은, 플로팅 부재(30)를 제2위치측으로 탄성바이어스시켜 평상시에는 상기 플로팅 부재(30)가 인서트 몸체(20)의 내부에 위치될 수 있도록 한다. 만약 플로팅 부재(30)가 하측으로 가압되면 상기 탄성바이어스부재(50)가 압축되면서 상기 플로팅 부재(30)의 하강을 허용하고, 가압이 완료되면 상기 탄성바이어스부재(50)가 탄성복원되면서 상기 플로팅 부재(30)를 제2위치로 복귀시키게 된다.

한편, 상기 하부걸림부(41)는 후크의 형태를 가지고 있으며 상기 인서트 몸체(20)의 하면에 걸어맞춤될 수 있다. 구체적으로는 제2구멍(32)의 주변에 걸리게 되는데, 인서트 몸체(20)에 플로팅 부재(30)가 용이하게 걸릴 수 있도록 한다. 한편, 하면에 걸려 있는 하부걸림부(41)를 수동으로 인서트 몸체(20)의 하면에서 억지로 빼내면 상기 플로팅 부재(30)는 상기 인서트 몸체(20)로부터 이탈될 수 있게 되는 것이다.

상기 지지부재(60)는, 인서트 몸체(20)의 관통구멍(22)을 가로지르도록 배치되고, 상기 관통구멍(22)을 통하여 삽입된 피검사 디바이스(80)가 상기 관통구멍(22) 내에 유지될 수 있도록 지지하면서 상기 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 상기 검사장치(93)의 패드를 전기적으로 연결시키는 것이다.

이러한 지지부재(60)는, 도전성 시트(61), 가이드시트(62), 프레임(63)을 포함하여 구성된다.

상기 도전성 시트(61)는, 상기 단자(81)와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 정렬배치되는 도전부(611)와, 상기 각 도전부(611)를 지지하면서 도전부(611)들을 서로 절연시키는 절연부(612)로 이루어진다.

상기 도전부(611)는, 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 대응되는 위치에 배치되되 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 일렬 배치되는 것이다.

상기 도전부(611)를 형성하는 탄성 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 도전부(611)를 액상 실리콘 고무의 경화물(이하,「실리콘 고무 경화물」이라 함)에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 경화물은 그 150 ℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 10 ％ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 ％ 이하, 더욱 바람직하게는 6 ％ 이하이다. 이 압축 영구 왜곡이 10 ％를 넘는 경우에는, 얻을 수 있는 탄성 도전시트(110)를 고온 환경 하에 있어서 반복해서 사용하였을 때에는 접속용 도전부(611)(22)에 있어서의 도전성 입자의 연쇄에 흐트러짐이 생기는 결과, 소요의 도전성을 유지하는 것이 곤란해진다.

상기 도전성 입자로는 자성을 나타내는 코어 입자의 표면에 고도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고도전성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 ×10⁶ Ω/m 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(P)를 얻기 위한 자성 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 자성 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다. 자성 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있지만, 그 포화 자화가 0.1 ㏝/㎡ 이상인 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 0.3 ㏝/㎡ 이상, 특히 바람직하게는 0.5 ㏝/㎡ 이상인 것이고, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 그들 합금을 들 수 있다.

자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.

상기 절연부(612)는 상기 도전부(611)를 지지하면서 도전부(611) 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 이러한 절연부(612)는 상기 도전부(611) 내의 탄성물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋으면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있음은 물론이다.

상기 가이드시트(62)는, 상기 도전성 시트(61)의 상면측에 배치되며 상기 단자(81)와 대응되는 위치마다 관통공(621)이 형성되어 있는 것이다. 이러한 가이드시트(62)는 피검사 디바이스(80)의 단자(81)가 접촉하고자 하는 도전부(611)에 정렬되어 하강하지 못하고 다소 좌우방향으로 옵셋형태로 위치이탈하여 하강하는 경우에도 상기 단자(81)가 가이드시트(62)에 의하여 안내되어 상기 도전부(611)에 접촉할 있도록 안내하는 것이다. 이때 관통공(621)은 원형의 단면을 가지는 것도 가능하며 하측으로 갈수록 내경이 감소되는 역원뿔형태를 가지는 것도 가능하다.

이러한 가이드시트(62)는, 유연성이 있는 소재라면 무엇이나 가능하나, 캡톤(kapton), FR4, FR5, XPC, 폴리이미드 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것이 가능하다. 이러한 가이드 시트는 접착제에 의하여 상기 도전성 시트(61)에 일체화되는 것이 좋다. 물론, 접착제에 의하여 한정되는 것은 아니며 도전성 시트(61)를 제작하는 과정에서 금형 내에 인서트하여 인서트 사출방식으로 일체화시키는 것도 가능하다.

상기 프레임(63)은 대략 중앙에 구멍이 형성되는 사각판의 형태로 이루어지며 그 중앙에는 상기 도전성 시트(61)가 일체적으로 부착되어 있는 것이다. 이러한 프레임(63)은 상기 도전성 시트(61)의 가장자리에 일체적으로 결합되어 상기 도전성 시트(61)를 지지하는 기능을 수행한다. 상기 프레임(63)에는 상기 인서트 몸체(20)의 돌출부(31)와 대응되는 위치에 결합공(631)이 마련되어 있게 된다.

상기 스토퍼시트(70)는, 상기 지지부재(60)의 가장자리로서, 구체적으로는 프레임(63)의 가장자리에 배치되는 것으로서, 상기 도전부(611)의 하면보다 하측으로 돌출되어 있는 것이다. 이러한 스토퍼시트(70)는 상기 지지부재(60)보다 경질의 소재로 이루어지고, 검사장치(93)에 대하여 플로팅 부재(30)가 경사지면서 하강하는 경우 미리 검사장치(93)에 접촉하면서 정수평하게 인서트가 하강할 수 있도록 안내하는 것이다. 다만, 반드시 지지부재(60)보다 경질의 소재를 사용할 필요는 없으며 동일한 소재로 사용되는 것도 가능하다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 인서트(10)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.

먼저, 피검사 디바이스(80)를 인서트 몸체(20)의 내부에 삽입하여 상기 피검사 디바이스(80)를 지지부재(60)에 배치시킨다. 이때 피검사 디바이스(80)는 지지부재(60)의 상면에 배치되어 있는 가이드시트(62)에 의하여 위치가 정렬되면서 도전성 시트(61)의 도전부(611)에 접촉하게 된다. 이후에 상기 피검사 디바이스(80)가 수납되어 있는 인서트가 검사장치(93) 측으로 이동하게 된다. 검사장치(93) 측으로 이동한 인서트는 하강하게 되는데, 이때 인서트 몸체(20)가 가이드 소켓에 의하여 위치정렬되면서 정위치에 안착된다.

인서트가 검사장치(93) 측에 탑재되면 소정의 푸셔장치(94)가 상기 피검사 디바이스(80)를 가압하게 된다. 구체적으로는 피검사 디바이스(80)를 푸셔장치가 누르게되면, 플로팅 부재(30)는 하강하게 된다. 구체적으로 도 9에 도시된 바와 같이 탄성바이어스부재(50)에 의하여 제1위치에 배치되어 있던 플로팅 부재(30)는 도 10에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(80)가 하강함에 따라서 함께 하강하게 되는데, 플로팅 부재(30)가 충분하게 하강되면 상기 지지부재(60)의 하면이 검사장치(93)의 패드와 접촉하게 된다. 이후에 소정의 전기적인 검사가 이루어지게 된다. 전기적 검사가 완료된 후에는 푸셔장치가 피검사 디바이스(80)로부터 제거되고 이와 함께 탄성바이어스부재(50)가 탄성복원되면서 플로팅 부재(30) 및 피검사 디바이스(80)를 상기 검사장치(93)의 패드로부터 이격시키게 된다.

한편, 플로팅 부재가 상승하게 되면 인서트 몸체 내에 삽입되어 외부에 노출되지 않게 되는데, 이에 따라서 외부에 장애물이 의하여 상기 플로팅 부재가 손상되는 일이 없게 된다.

한편, 상기 플로팅 부재의 교체가 요구되는 경우에는 상기 하부걸림부를 탄성변형시켜 인서트 몸체의 하면에 걸림해제함으로서 용이하게 플로팅 부재를 인서트 몸체로부터 분리시킬 수 있게 된다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 인서트는 다음과 같은 장점이 있다.

종래기술과 같이 본 실시예에 따른 검사용 인서트는 기존 검사용 소켓에 해당하는 도전성 시트(지지부재)를 인서트 측에 부착시킴으로서, 유지보수가 용이하다는 장점이 있다.

또한, 지지부재에는 가이드시트를 배치함으로서, 피검사 디바이스의 단자가 정확하게 도전성 시트의 도전부에 접촉될 수 있도록 한다.

또한, 플로팅 부재가 하강하는 과정에서 수평방향으로 정밀하게 하강하지 못하는 경우에도 스토퍼시트가 도전성 시트보다 먼저 검사장치의 표면에 접촉하여 기울어지면서 플로팅 부재가 하강하는 것을 최소화할 수 있게 한다.

또한, 지지부재는 열융착에 의하여 인서트 몸체에 부착시킴으로서 조립의 용이성을 극대화한다. 즉, 볼트 체결보다는 부착의 용이성을 달성할 수 있다.

또한, 플로팅 부재는 실제 검사시에만 인서트 몸체로부터 외부로 노출되고 그 외, 즉 이동과정에서는 인서트 몸체 내에 삽입되어 있음에 따라서 플로팅 부재의 손상 및 외부의 이물질이 도전성 시트의 하면에 뭍게 되는 것을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 플로팅 부재는 후크형태로 인서트 몸체에 체결됨으로서, 결합의 용이성을 달성할 수 있다는 장점이 있다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 인서트는 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.

상술한 실시예에서는 지지부재에 도전성 시트를 마련하는 것을 예시하였으나, 도 12에 도시된 바와 같이 도전체를 배치하는 것도 가능하다.

즉, 상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공(611a')이 형성되는 하우징(611')과, 상기 관통공(611a') 내에 삽입되며 반도체 디바이스의 단자와 접촉하는 핀(612')과, 상기 핀(612')에 의하여 가해지는 가압력을 흡수하는 스프링(613')을 포함하는 도전체(61')가 지지부재 대신 사용되는 것도 가능함은 물론이다.

본 발명에서는 다양한 실시예를 들면서 검사용 인서트를 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위에 의하여 합리적으로 해석되는 범위라면 확장되어 해석될 수 있음은 당연하다.

10...인서트 20...인서트 몸체
21...인서트 본체 22...관통구멍
23...가이드홀 24...수용홈
25...제1구멍 26...스프링 수용홈
30...플로팅 부재 31...돌출부
32...제2구멍 33...관통구멍
40...걸림부재 41...하부걸림부
42...중앙부 43...상부걸림부
50...탄성바이어스부재 60...지지부재
61...도전성 시트 611...도전부
612...절연부 62...가이드시트
621...관통공 63...프레임
631...결합공 70...스토퍼시트
80...피검사 디바이스

Claims

다수의 단자가 마련된 피검사 디바이스를 수납한 상태로 외부의 접속체 측으로 이동하여 상기 단자를 상기 접속체와 접촉가능하게 하는 인서트에 있어서,
상기 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 관통구멍이 중앙 부분에 형성되어 있는 인서트 몸체; 및
상기 인서트 몸체의 관통구멍을 가로지르도록 배치되고, 상기 관통구멍을 통하여 삽입된 피검사 디바이스가 상기 관통구멍 내에 유지될 수 있도록 지지하는 지지부재;를 포함하며,
상기 지지부재는,
상기 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 정렬배치되는 도전부와, 상기 각 도전부를 지지하는 절연부로 이루어지는 도전성 시트; 및
상기 도전성 시트의 상면측에 배치되며 상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 가이드시트를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제1항에 있어서,
가이드 시트는, 캡톤(kapton), FR4, FR5, XPC, 폴리이미드 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제1항에 있어서,
상기 가이드시트는, 상기 도전성 시트에 일체화되어 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제1항에 있어서,
상기 지지부재는 가장자리가 상기 인서트몸체의 하면에 밀착되어 있으며, 상기 인서트몸체에는 하측으로 돌출되는 다수의 돌출부가 배치되고,
상기 지지부재에는 상기 돌출부와 대응되는 위치마다 결합공이 마련되어 있으며,
상기 돌출부는 열융착에 의하여 상기 지지부재를 인서트몸체의 하면에 부착시키는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제1항에 있어서,
상기 지지부재의 가장자리에는 상기 도전부의 하면보다 하측으로 돌출되도록 상기 지지부재에 배치되어 있으며, 상기 지지부재보다 경질의 소재로 이루어지는 스토퍼시트가 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제1항에 있어서,
상기 인서트 몸체는,
외부의 접촉체에 마련되어 있는 소켓가이드에 결합되는 인서트 본체; 및
상기 인서트 본체에 결합되며 상기 지지부재가 부착되는 플로팅 부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제6항에 있어서,
상기 플로팅 부재는, 상기 하면이 상기 인서트 본체의 하면으로부터 돌출되는 제1위치와, 하면이 상기 인서트 본체의 하면보다 높게 위치하는 제2위치사이에서 위치이동가능한 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제7항에 있어서,
상기 플로팅 부재는, 상기 인서트 본체에 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제8항에 있어서,
상기 플로팅 부재에는, 상기 플로팅 부재는 제1위치로부터 제2위치를 향하도록 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제9항에 있어서,
상기 탄성바이어스수단은,
상기 인서트 몸체의 가장자리에 배치되는 제1구멍;
상기 인서트 몸체의 제1구멍과 대응되는 위치에 배치되는 제2구멍;
하단이 상기 인서트 몸체의 하단면에 걸어맞춤되는 하부걸림부와, 상기 하부걸림부로부터 상측으로 연장되며 제2구멍 및 제1구멍을 관통하되 상기 제1구멍으로부터 상측으로 이격되어 있는 중앙부와, 상기 중앙부의 상단에 배치되며 상기 중앙부보다 직경이 큰 상부걸림부를 포함하는 걸림부재; 및
상기 인서트 몸체의 제1구멍의 주변과 상기 상부걸림부의 사이에 배치되어 상기 상부걸림부를 상기 인서트 몸체의 하면으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제9항에 있어서,
상기 하부걸림부는, 후크의 형태로 상기 인서트 몸체의 하단면에 걸어맞춤되는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
제1항에 있어서,
상기 지지부재에는,
상기 도전성 시트의 가장자리에 일체적으로 결합되며 상기 도전성 시트의 가장자리로부터 연장되어 상기 인서트 몸체의 하면과 대면하는 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.
다수의 단자가 마련된 피검사 디바이스를 수납한 상태로 검사장치 측으로 이동하여 상기 단자를 상기 검사장치의 패드와 접촉가능하게 하는 인서트에 있어서,
상기 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 관통구멍이 중앙 부분에 형성되어 있는 인서트 몸체; 및
상기 인서트 몸체의 관통구멍을 가로지르도록 배치되고, 상기 관통구멍을 통하여 삽입된 피검사 디바이스가 상기 관통구멍 내에 유지될 수 있도록 지지하는 지지부재;를 포함하며,
상기 지지부재는,
상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되는 하우징과, 상기 관통공 내에 삽입되며 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 핀과, 상기 핀에 의하여 가해지는 가압력을 흡수하는 스프링을 포함하는 도전체; 및
상기 도전성 시트의 상면측에 배치되며 상기 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 가이드시트를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 인서트.