KR102079460B1 - 진공 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 통과형의 진공 처리 장치에 있어서, 공간 절약화를 충분히 실시할 수 있는 기술을 제공한다. 본 발명의 진공 처리 장치 (1) 는, 단일의 진공 분위기가 형성되는 진공조 (2) 와, 진공조 (2) 내에 형성되고, 기판 (10) 의 평면적인 처리면 상에 처리를 실시하는 처리원을 갖는 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 과, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 을 통과하도록 기판 (10) 을 반송하는 반송 경로를 구성하는 반송 구동 부재 (33) 를 갖는다. 당해 반송 경로는, 반송되는 기판 (10) 의 처리면 상의 임의점에 대한 법선과, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 을 직선적으로 통과할 때에 기판 (10) 의 처리면 상의 임의점이 그리는 궤적 선분을 포함하는 평면 (연직면) 에 대해 투영한 경우에 일련의 환상이 되도록 형성되어 있다.

Description

진공 처리 장치
본 발명은, 진공 중에서 기판 상에 성막 등의 진공 처리를 실시하는 진공 처리 장치의 기술에 관한 것이고, 특히 복수의 기판을 유지한 기판 유지기를 이동시키면서 처리를 실시하는 통과형의 진공 처리 장치의 기술에 관한 것이다.
종래, 복수의 피처리 기판을 트레이 등의 기판 유지기에 재치 (載置) 하여 통과시키면서 성막 등의 처리를 실시하는 진공 처리 장치가 알려져 있다.
이와 같은 진공 처리 장치로는, 환상의 반송 경로를 갖는 것도 알려져 있고, 또 종래 기술에서는, 피처리 기판을 이재하는 공정에 있어서, 피처리 기판을 반송 경로에 도입 (로딩) 하고, 기처리 기판을 반송 경로로부터 배출 (언로딩) 하고 있는 것도 나타나 있다.
종래 기술의 구성에서는, 피처리 기판은, 로딩 위치로부터 언로딩 위치까지, 그 처리면이 수평으로 유지되고 있고, 수평면 내에 배치된 환상의 반송 경로를 이동하면서, 각 프로세스를 실시하도록 되어 있다.
그 결과, 이와 같은 종래 기술에서는, 처리해야 할 기판 표면뿐만 아니라, 이재를 포함하는 부대 설비의 면적도 수평 방향으로 가산된다 (처리면과 평행한 면 내에 환상 궤도가 형성되어 있으면, 그것이 연직 방향으로도 가산된다).
또, 이와 같은 종래 기술에서는, 트레이에 복수행 × 복수열의 기판이 재치되도록 구성되어 있으므로, 처리 영역 및 부대 설비 전부는 당해 트레이 표면적을 완전히 커버할 수 있는 크기가 필요로 되고, 그 결과 상기 서술한 문제를 포함하여 설치 스페이스를 작게 하는 데에 있어서 큰 장해가 되고 있었다.
그런데, 만일 단렬로 피처리 기판을 재치하는 트레이가 있는 경우에 있어서, 이 트레이를 반송 방향을 향하여 복수 재치하는 경우라도, 트레이 선두에 재치된 기판에 대한 처리를 개시하고, 트레이 후단에 재치된 기판에 대한 처리를 완료하는 프로세스에 있어서는, 트레이 선두의 기판이 처리를 개시할 때에는, 2 장째 ∼ 후단 기판의 길이, 또 트레이 후단의 기판이 처리를 완료할 때에는, 트레이 선두의 기판 ∼ 후단 앞 기판의 길이, 그들의 쌍방을 커버하는 처리 잉여 영역을 형성해야 하여, 공간 절약화를 충분히 실시할 수 없다는 문제가 있다.
일본 공개특허공보 2007-31821호 일본 공개특허공보 2002-288888호 일본 공개특허공보 2004-285426호 일본 공개특허공보 2002-176090호 WO2008-50662호 일본 공개특허공보 평8-96358호 일본 공개특허공보 2004-285426호 일본 공개특허공보 2013-131542호
본 발명은, 이와 같은 종래 기술의 과제를 고려하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 통과형의 진공 처리 장치에 있어서 공간 절약화를 충분히 실시할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.
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상기 목적을 달성하기 위해서 이루어진 본 발명은, 단일의 진공 분위기가 형성되는 진공조와, 상기 진공조 내에 형성되고, 기판의 평면적인 처리면 상에 처리를 실시하는 처리원을 갖는 처리 영역과, 상기 진공조 내에 형성되고, 상기 처리 영역을 통과하도록 상기 기판을 반송하는 반송 경로와, 상기 기판의 반송 방향에 대해 직교하는 반송 직교 방향으로 복수의 기판을 나란히 유지하는 기판 유지기를, 상기 반송 경로를 따라 반송하도록 구성된 기판 유지기 반송 기구를 갖고, 상기 반송 경로는, 당해 반송 경로를 반송되는 상기 기판의 처리면 상의 임의점에 대한 법선과, 상기 처리 영역을 직선적으로 통과할 때에 상기 기판의 처리면 상의 임의점이 그리는 궤적 선분을 포함하는 평면에 대해 투영한 경우에 일련의 환상이 되도록 형성되고, 상기 기판 유지기 반송 기구에, 처리 전의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 당해 기판 유지기 반송 기구에 수수하기 위한 기판 유지기 도입부와, 처리 후의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 당해 기판 유지기 반송 기구로부터 인출하기 위한 기판 유지기 배출부가 형성되고, 상기 기판 유지기는, 상기 반송 직교 방향의 양단부 (兩端部) 에 당해 반송 직교 방향으로 연장되는 지지축을 가짐과 함께, 상기 기판 유지기 반송 기구에 있어서, 당해 기판 유지기의 지지축이, 상기 반송 경로를 구성하는 구동 부재에 설치된 유지 구동부에, 상기 반송 직교 방향으로 연장되는 회전축선을 중심으로 하여 회전 가능하고 자유롭게 착탈할 수 있게 유지되도록 구성되고, 상기 유지 구동부가 상기 구동 부재의 외방에 설치됨과 함께, 당해 유지 구동부의 상기 구동 부재로부터의 탈락을 저지하기 위한 가이드 부재가 설치되고, 당해 가이드 부재는, 상기 기판 유지기가 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 도입부에 있어서 상기 유지 구동부에 유지되고, 또한 상기 기판 유지기가 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 배출부에 있어서 상기 유지 구동부로부터 이탈되도록 구성되어 있는 진공 처리 장치이다.
본 발명에서는, 상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 반송 경로의 왕로 및 귀로의 각각에 상기 처리 영역을 갖는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 기판 유지기를 상기 반송 경로의 왕로로부터 귀로로 되돌려 반송하는 반송 반환부를 갖고, 당해 반송 반환부는, 상기 기판 유지기의 당해 반송 방향에 대한 전후 관계를 유지한 상태에서 당해 기판 유지기를 반송하도록 구성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 기판 유지기를 상기 반송 경로의 왕로로부터 귀로로 되돌려 반송하는 반송 반환부를 갖고, 당해 반송 반환부는, 상기 기판 유지기의 당해 반송 방향에 대한 전후 관계를 반전한 상태에서 당해 기판 유지기를 반송하도록 구성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 기판 유지기 반송 기구는, 처리 전에 상기 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 가열하는 가열 기구를 갖는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 진공조에 대해 자유롭게 착탈할 수 있는 프레임 구조체에 일체적으로 조립되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 진공조에 대해 분위기가 연통 또는 격리 가능하게 구성되고, 당해 진공조에 기판을 반입하고 또한 당해 진공조로부터 기판을 반출하기 위한 기판 반입 반출실을 가짐과 함께, 상기 진공조 내에는, 처리 전의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 반입 반출실 내로부터 당해 진공조 내로 반입하고, 또한 처리 후의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 반입 반출실에 반입하는 기판 반입 반출 기구와, 상기 처리 전의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 반입 반출 기구로부터 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 도입부에 수수하고, 또한 상기 처리 후의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 배출부로부터 인출하여 상기 기판 반입 반출 기구에 수수하는 반송 로봇을 갖는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 기판 반입 반출 기구는, 처리 전의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 도입부에 수수하는 기판 유지기 수수 위치와, 처리 후의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 배출부로부터 인출하는 기판 유지기 인출 위치 사이를 이동하는 기판 유지기 지지부를 갖고, 당해 기판 유지기 지지부 상에 상기 반송 로봇이 배치되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 기판 반입 반출 기구의 기판 유지기 지지부는, 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실이 연통하는 위치로 이동 가능하게 구성되고, 당해 기판 유지기 지지부를 상기 연통하는 위치로 이동시켜 당해 기판 유지기 지지부에 의해 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실의 연통구를 막는 것에 의해, 상기 진공조에 대해 상기 기판 반입 반출실의 분위기가 격리되도록 구성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실이 연통하는 위치에 대한 상기 기판 유지기 수수 위치의 거리가, 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실이 연통하는 위치에 대한 상기 기판 유지기 인출 위치의 거리보다 작은 경우에도 효과적이다.
본 발명에서는, 상기 반송 경로가, 연직면에 대해 투영한 경우에 환상이 되도록 형성되어 있는 경우에도 효과적이다.
본 발명에 있어서는, 단일의 진공 분위기가 형성되는 진공조 내에 있어서 처리 영역을 통과하도록 기판을 반송하는 반송 경로를 갖고, 이 반송 경로는, 당해 반송 경로를 반송되는 기판의 평면적인 처리면 상의 임의점에 대한 법선과, 처리 영역을 직선적으로 통과할 때에 당해 기판의 처리면 상의 임의점이 그리는 궤적 선분을 포함하는 평면에 대해 투영한 경우에 일련의 환상이 되도록 형성되어 있는 점에서, 예를 들어 기판의 평면적인 처리면과 평행한 평면에 투영한 경우에 환상이 되도록 형성된 반송 경로를 갖는 종래 기술과 비교해 반송 경로가 점유하는 스페이스를 대폭 삭감할 수 있고, 이로써 진공 처리 장치의 대폭적인 공간 절약화를 달성할 수 있다.
또, 본 발명에 있어서는, 복수의 기판을 나란히 유지하는 기판 유지기를 반송 경로를 따라 반송하도록 구성된 기판 유지기 반송 기구, 특히 기판의 반송 방향에 대해 직교하는 반송 직교 방향으로 복수의 기판을 나란히 유지하는 복수의 기판 유지기를, 반송 경로를 따라 반송하도록 구성된 기판 유지기 반송 기구를 갖는 점에서, 기판의 반송 방향으로 복수의 기판을 나란히 유지하는 기판 유지기를 반송하여 처리를 실시하는 경우와 비교해, 기판 유지기의 길이 및 이것에 수반하는 잉여 스페이스를 삭감할 수 있기 때문에, 추가적인 공간 절약화를 달성할 수 있다.
도 1 은 본 발명에 관련된 진공 처리 장치의 실시형태의 전체를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2 는 기판 유지기 반송 기구의 제 1 예의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3 은 동일 기판 유지기 반송 기구의 주요부를 나타내는 정면도이다.
도 4 는 본 예에 사용하는 기판 유지기의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 5 의 (a)(b) 는 본 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부의 구성을 나타내는 것이고, 도 5(a) 는 평면도, 도 5(b) 는, 도 5(a) 의 A-A 선 단면도이다.
도 6 은 본 실시형태의 진공 처리 장치의 동작의 설명도 (그 1) 이다.
도 7 은 본 실시형태의 진공 처리 장치의 동작의 설명도 (그 2) 이다.
도 8 은 본 실시형태의 진공 처리 장치의 동작의 설명도 (그 3) 이다.
도 9 의 (a)(b) 는 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구의 동작 설명도 (그 1) 이다.
도 10 의 (a) ∼ (c) 는 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부의 동작 설명도이다.
도 11 의 (a)(b) 는 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구의 동작 설명도 (그 2) 이다.
도 12 의 (a)(b) 는 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구의 동작 설명도 (그 3) 이다.
도 13 은 본 실시형태의 진공 처리 장치의 동작의 설명도 (그 4) 이다.
도 14 는 본 실시형태의 진공 처리 장치의 동작의 설명도 (그 5) 이다.
도 15 는 본 실시형태의 진공 처리 장치의 동작의 설명도 (그 6) 이다.
도 16 은 기판 유지기 반송 기구의 제 2 예의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 17 은 동일 기판 유지기 반송 기구의 주요부를 나타내는 정면도이다.
도 18 은 본 예에 사용하는 기판 유지기의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 19 의 (a)(b) 는 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구의 동작 설명도 (그 1) 이다.
도 20 의 (a)(b) 는 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부의 동작 설명도 (그 1) 이다.
도 21 의 (a)(b) 는 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부의 동작 설명도 (그 2) 이다.
도 22 의 (a)(b) 는 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구의 동작 설명도 (그 2) 이다.
도 23 은 기판에 대해 복수회의 처리를 실시하는 경우의 동작 설명도 (그 1) 이다.
도 24 는 기판에 대해 복수회의 처리를 실시하는 경우의 동작 설명도 (그 2) 이다.
도 25 의 (a)(b) 는 본 발명에 사용하는 반송 로봇의 다른 예를 나타내는 것이고, 도 25 (a) 는 평면도, 도 25(b) 는 정면도이다.
도 26 의 (a)(b) 는 본 예의 반송 로봇을 사용한 기판 유지기의 수수 동작을 나타내는 설명도이고, 도 26(a) 는 동일 반송 로봇의 기판 유지기 도입 기구의 평면도, 도 26(b) 는 동일 반송 로봇의 정면도이다.
도 27 의 (a)(b) 는 본 예의 반송 로봇을 사용한 기판 유지기의 배출 동작을 나타내는 설명도이고, 도 27(a) 는 동일 반송 로봇의 기판 유지기 배출 기구의 평면도, 도 27(b) 는 동일 반송 로봇의 정면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1 은, 본 발명에 관련된 진공 처리 장치의 실시형태의 전체를 나타내는 개략 구성도이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 진공 처리 장치 (1) 는, 진공 배기 장치 (1a) 에 접속된 단일의 진공 분위기가 형성되는 진공조 (2) 를 가지고 있다.
진공조 (2) 의 내부에는, 후술하는 기판 유지기 (11) 를 반송 경로를 따라 반송하는 기판 유지기 반송 기구 (3) 가 설치되어 있다.
이 기판 유지기 반송 기구 (3) 는, 예를 들어 트레이 등에 의해 기판 (10) 을 유지하는 기판 유지기 (11) 를, 복수개 연속적으로 반송하도록 구성되어 있다.
여기서, 기판 유지기 반송 기구 (3) 는, 그 상세한 구성은 후술하지만, 예를 들어 스프로킷 등으로 이루어지는 원형의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 을 갖고, 이들 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 이, 각각의 회전축선을 평행으로 한 상태에서 소정 거리를 두고 배치되어 있다.
그리고, 이들 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 에 예를 들어 체인 등으로 이루어지는 일련의 반송 구동 부재 (33) 가 걸쳐지고, 이로써 이하에 설명하는 바와 같이 연직면에 대해 일련의 환상이 되는 반송 경로가 형성되어 있다.
본 실시형태에서는, 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 에, 도시되지 않은 구동 기구로부터 회전 구동력이 전달되어 동작하도록 구성되어 있다.
그리고, 반송 경로를 구성하는 반송 구동 부재 (33) 중 상측의 부분에, 제 1 구동륜 (31) 으로부터 제 2 구동륜 (32) 을 향해 이동하여 기판 유지기 (11) 를 반송하는 왕로측 반송부 (33a) 가 형성됨과 함께, 제 2 구동륜 (32) 의 주위 부분의 반송 구동 부재 (33) 에 의해 기판 유지기 (11) 의 반송 방향을 되돌려 반대 방향으로 전환하는 반환부 (33b) 가 형성되고, 또한 반송 구동 부재 (33) 중 하측의 부분에, 제 2 구동륜 (32) 으로부터 제 1 구동륜 (31) 을 향해 이동하는 귀로측 반송부 (33c) 가 형성되어 있다.
또, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 반송 구동 부재 (33) 의 외방측에는, 반송하는 기판 유지기 (11) 의 탈락을 방지하기 위한 가이드 부재 (38) 가 형성되어 있다.
이 가이드 부재 (38) 는, 일련의 레일상으로 형성되고, 제 1 구동륜 (31) 의 상부의 기판 유지기 도입부 (30A) 로부터 반송 반환부 (30B) 를 거쳐 제 1 구동륜 (31) 의 하부의 기판 유지기 배출부 (30C) 에 걸쳐, 반송 구동 부재 (33) 와 평행으로 형성되어 있다.
진공조 (2) 내에는, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 이 형성되어 있다.
본 실시형태에서는, 기판 유지기 반송 기구 (3) 를 사이에 두고 진공조 (2) 내의 상부에 예를 들어 스퍼터링 타깃 (처리원)(4T) 을 갖는 제 1 처리 영역 (4) 이 형성되고, 진공조 (2) 의 하부에 예를 들어 스퍼터링 타깃 (처리원)(5T) 을 갖는 제 2 처리 영역 (5) 이 형성되어 있다.
여기서, 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 는, 제 1 처리 영역 (4) 을 수평으로 직선적으로 통과하도록 구성되고, 귀로측 반송부 (33c) 는, 제 2 처리 영역 (5) 을 수평으로 직선적으로 통과하도록 구성되어 있다.
그리고, 반송 경로를 구성하는 이들 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 및 귀로측 반송부 (33c) 를 기판 유지기 (11) 가 통과하는 경우에, 기판 유지기 (11) 에 유지된 기판 (10) 의 평면적인 처리면이 수평이 되도록 반송되도록 되고 있다.
이상의 구성으로부터, 본 실시형태의 반송 경로는, 당해 반송 경로를 반송되는 기판 (10) 의 평면적인 처리면 상의 임의점에 대한 법선과, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 을 직선적으로 통과할 때에 당해 기판 (10) 의 처리면 상의 임의점이 그리는 궤적 선분을 포함하는 평면 (본 실시형태에서는 연직면) 에 대해 투영한 경우에 일련의 환상이 되도록 형성되어 있다.
또한, 후술하는 바와 같이, 본 실시형태의 기판 유지기 반송 기구 (3) 는, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 에 의해, 기판 (10) 의 일방의 면에 연속적으로 성막 등의 처리를 실시하는 구성과, 기판 (10) 의 양방의 면에 각각 개별적으로 성막 등의 처리를 실시하는 구성의 것을 포함하는 것이다.
진공조 (2) 내의 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 근방의 위치, 예를 들어 제 1 구동륜 (31) 에 인접하는 위치에는, 기판 유지기 반송 기구 (3) 와의 사이에서 기판 유지기 (11) 를 수수하고 또한 수취하기 위한 기판 반입 반출 기구 (6) 가 설치되어 있다.
본 실시형태의 기판 반입 반출 기구 (6) 는, 승강 기구 (60) 에 의해 예를 들어 연직 상하 방향으로 구동되는 구동 로드 (61) 의 선단부 (상단부) 에 설치된 지지부 (기판 유지기 지지부)(62) 를 가지고 있다.
본 실시형태에서는, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 상에 반송 로봇 (64) 이 설치되고, 이 반송 로봇 (64) 상에 상기 서술한 기판 유지기 (11) 를 지지하여 기판 유지기 (11) 를 연직 상하 방향으로 이동시키고, 또한 반송 로봇 (64) 에 의해 기판 유지기 반송 기구 (3) 와의 사이에서 기판 유지기 (11) 를 수수하고 또한 수취하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 후술하는 바와 같이, 기판 반입 반출 기구 (6) 로부터 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 왕로측 반송부 (33a) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 기판 유지기 (11) 를 수수하고 (이 위치를 「기판 유지기 수수 위치」라고 한다.), 또한 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 귀로측 반송부 (33c) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 기판 유지기 (11) 를 인출 (이 위치를 「기판 유지기 인출 위치」라고 한다.) 하도록 구성되어 있다.
진공조 (2) 의 예를 들어 상부에는, 진공조 (2) 내로 기판 (10) 을 반입하고 또한 진공조 (2) 로부터 기판 (10) 을 반출하기 위한 기판 반입 반출실 (2A) 이 설치되어 있다.
이 기판 반입 반출실 (2A) 은, 예를 들어 상기 서술한 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 상방의 위치에 연통구 (2B) 를 개재하여 설치되어 있고, 예를 들어 기판 반입 반출실 (2A) 의 상부에는, 개폐 가능한 덮개부 (2a) 가 설치되어 있다.
그리고, 후술하는 바와 같이, 기판 반입 반출실 (2A) 내로 반입된 후술하는 처리 전의 기판 (10a) 을 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 반송 로봇 (64) 상의 기판 유지기 (11) 에 수수하여 유지시키고, 또한 후술하는 처리 후의 기판 (10b) 을 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 반송 로봇 (64) 상의 기판 유지기 (11) 로부터 예를 들어 진공조 (2) 의 외부의 대기 중으로 반출하도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시형태의 경우, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 상부의 가장자리부에, 기판 (10) 을 반입 및 반출할 때에 기판 반입 반출실 (2A) 과 진공조 (2) 내의 분위기를 격리하기 위한 예를 들어 O 링 등의 시일 부재 (63) 가 설치되어 있다.
이 경우, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 기판 반입 반출실 (2A) 측을 향해 상승시켜, 지지부 (62) 상의 시일 부재 (63) 를 진공조 (2) 의 내벽에 밀착시켜 연통구 (2B) 를 막는 것에 의해, 진공조 (2) 내의 분위기에 대해 기판 반입 반출실 (2A) 내의 분위기를 격리하도록 구성되어 있다.
그리고, 이상의 구성을 갖는 본 실시형태에서는, 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 이 연통하는 위치 (연통구 (2B)) 에 대한 기판 유지기 수수 위치 (기판 유지기 도입부 (30A)) 의 거리가, 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 이 연통하는 위치 (연통구 (2B)) 에 대한 기판 유지기 인출 위치 (기판 유지기 배출부 (30C)) 의 거리보다 작게 되어 있다.
한편, 제 1 처리 영역 (4) 의 근방에는, 기판 유지기 (11) 에 유지된 기판 (10) 을 가열 및 냉각하기 위한, 각각 가열 기능 및 냉각 기능을 갖는 1 쌍의 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 가 설치되어 있다.
도 1 에 나타내는 예에서는, 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 는 제 1 구동륜 (31) 과 제 1 처리 영역 (4) 사이에서 반송 경로를 상하로 사이에 두도록 배치되고, 제 1 처리 영역 (4) 에 의한 처리 전의 기판 (10a) 에 대해 처리면 및 반대측의 비처리면 양면을 가열 또는 냉각할 수 있도록 되어 있다.
이 경우, 가열 냉각 기구 (7a 혹은 7b) 에 의해 처리 전의 기판 (10a) 의 처리면 혹은 비처리면을 선택적으로 냉각할 수도 있다.
또한, 이 가열 냉각 기구 (7b) 와 동일한 냉각 기능을 갖는 추가의 냉각 기구 (도시 생략) 를 제 1 처리 영역 (4) 의 하방에 설치하여, 처리 중의 가열되고 있는 기판 (10) 의 비처리면을 냉각하도록 구성할 수도 있다.
한편, 상기 서술한 1 쌍의 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 는, 제 2 구동륜 (32) 과 제 1 처리 영역 (4) 사이에서 반송 경로를 상하로 사이에 두도록 배치할 수도 있다.
그리고, 이 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 에 의해, 제 1 처리 영역 (4) 에 의한 처리 후의 기판 (10b) 의 처리면 및 비처리면 양방 혹은 처리면 또는 비처리면의 일방의 냉각을 실시하도록 구성할 수도 있다.
또한, 상세한 설명은 생략하지만, 상기 서술한 구성의 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 를, 제 2 처리 영역 (5) 의 근방 (반송 방향 상류측 그리고 하류측) 에 설치하고, 상기와 마찬가지로 제 2 처리 영역 (5) 에 의한 처리 전의 기판 (10a) 에 대해 처리면 및 반대측의 비처리면 양면을 가열 또는 냉각하는 것, 또 가열 냉각 기구 (7a 또는 7b) 에 의해 처리 전의 기판 (10a) 의 처리면 또는 비처리면을 선택적으로 냉각하는 것, 또한 제 2 처리 영역 (5) 의 상방에 설치한 추가의 냉각 기구에 의해 처리 중의 가열되고 있는 기판 (10) 의 비처리면을 냉각하도록 구성할 수도 있다.
또한, 제 2 처리 영역 (5) 에 의한 처리 후의 기판 (10b) 에 대해, 그 처리면 및 비처리면 양방 혹은 처리면 또는 비처리면의 일방의 냉각을 실시하도록 구성할 수도 있다.
그리고, 이상 설명한 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 에 의한 기판 (10) 에 대한 가열·냉각은, 후술하는 바와 같이 기판 (10) 에 대해 복수회 동일한 처리를 실시하는 경우에 있어서도, 각각 실시할 수도 있는 것이다.
도 2 는, 기판 유지기 반송 기구의 제 1 예의 개략 구성을 나타내는 평면도, 도 3 은, 동일 기판 유지기 반송 기구의 주요부를 나타내는 정면도, 도 4 는, 본 예에 사용하는 기판 유지기의 구성을 나타내는 평면도이다.
또, 도 5(a)(b) 는, 본 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부의 구성을 나타내는 것이고, 도 5(a) 는 평면도, 도 5(b) 는, 도 5(a) 의 A-A 선 단면도이다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 본 예에서는, 수평면과 평행으로 설치된 평판상의 기부 프레임 (15) 상에, 소정 간격을 두고 연직 방향으로 평행으로 설치된 1 쌍의 평판상의 측부 프레임 (16) 을 갖는 프레임 구조체 (8) 를 구비하고, 이 프레임 구조체 (8) 에, 후술하는 각 부재가 예를 들어 반송 방향에 대해 대칭이 되도록 조립되어, 일체적인 유닛으로서 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 가 구성되어 있다.
그리고, 이 기판 유지기 반송 기구 (3A) 는, 프레임 구조체 (8) 에 설치된 장착부 (17) 에 의해 진공조 (2) 내에 자유롭게 착탈할 수 있게 장착되도록 되어 있다.
본 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 는, 1 쌍의 측부 프레임 (16) 에 각각 설치된 동일 직경의 1 쌍의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 을 가지고 있다.
여기서, 제 1 구동륜 (31) 은, 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 회전축선을 중심으로 하여 회전하는 구동축 (31a) 을 갖고, 이 구동축 (31a) 을 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다.
한편, 제 2 구동륜 (32) 은, 반송 방향에 대해 직교하는 동일한 회전축선을 중심으로 하여 회전 구동되는 구동축 (35) 을 각각 갖고, 각 구동축 (35) 은 연결 부재 (34) 를 개재하여 제 2 구동륜 (32) 에 각각 연결되어 있다 (도 2, 도 5(a)(b) 참조).
그리고, 1 쌍의 측부 프레임 (16) 에 각각 설치된 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 에 각각 상기 서술한 반송 구동 부재 (33) 가 걸쳐지고, 이로써 도 4 에 나타내는 기판 유지기 (11A) 를 반송하는 반송 경로가 형성되어 있다.
그리고, 본 실시형태의 기판 유지기 반송 기구 (3) 는, 각 반송 구동 부재 (33) 의 상측에 위치하는 왕로측 반송부 (33a) 와, 각 반송 구동 부재 (33) 의 하측에 위치하는 귀로측 반송부 (33c) 가 각각 대향하고, 연직 방향에 관해서 겹치도록 구성되어 있다 (도 1, 도 2 참조).
1 쌍의 반송 구동 부재 (33) 에는, 각각 소정의 간격을 두고 복수의 유지 구동부 (36) 가 설치되어 있다.
이들 유지 구동부 (36) 는, 기판 유지기 (11A) 를 유지하여 반송 구동하기 위한 것이고, 반송 구동 부재 (33) 의 외방측으로 돌출되도록 반송 구동 부재 (33) 에 장착되고, 그 선단부에는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 반송 방향 하류측을 향하여 형성된 예를 들어 J 훅 형상 (반송 방향 하류측의 돌출부의 높이가 반송 방향 상류측의 돌출부의 높이보다 낮은 형상) 의 유지 오목부 (37) 가 형성되어 있다.
또, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 반송 구동 부재 (33) 의 내측의 위치이고, 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 사이에는, 반송하는 기판 유지기 (11) 를 지지하는 1 쌍의 기판 유지기 지지 기구 (18) 가 설치되어 있다.
각 기판 유지기 지지 기구 (18) 는, 예를 들어 복수의 롤러 등의 회전 가능한 부재로 이루어지는 것이고, 각각 반송 구동 부재 (33) 의 근방에 설치되어 있다.
본 예에서는, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 의 근방에 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 가 설치됨과 함께, 반송 구동 부재 (33) 의 귀로측 반송부 (33c) 의 근방에 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 가 설치되어, 반송되는 기판 유지기 (11A) 의 하면의 양 가장자리부를 지지하도록 배치 구성되어 있다.
여기서, 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 는, 기판 유지기 도입부 (30A) 내에 설치한 단부를 시단부로 하고 제 1 처리 영역 (4)(도 1 참조) 을 경유하고 반송 반환부 (30B) 의 가장 가까운 위치가 종단부가 되도록 직선상으로 설치되어 있다.
한편, 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 는, 반송 반환부 (30B) 의 제 2 구동륜 (32) 측의 위치를 시단부로 하고 제 2 처리 영역 (5)(도 1 참조) 을 경유하고 기판 유지기 배출부 (30C) 의 위치가 종단부가 되도록 직선상으로 설치되어 있다.
또, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 반송 구동 부재 (33) 의 주위에는, 반송하는 기판 유지기 (11A) 의 탈락을 방지하는 가이드 부재 (38) 가 형성되어 있다.
이 가이드 부재 (38) 는, 일련의 레일상으로 형성되고, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 구동륜 (31) 근방의 기판 유지기 도입부 (30A) 로부터 제 2 구동륜 (32) 근방의 반송 반환부 (30B) 를 경유하여 제 1 구동륜 (31) 근방의 기판 유지기 배출부 (30C) 에 걸쳐 형성되어 있다.
이 가이드 부재 (38) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 구동륜 (31) 의 도 1 에 나타내는 기판 반입 반출 기구 (6) 측의 영역에는 형성되어 있지 않다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 본 예에 사용하는 기판 유지기 (11A) 는, 트레이상의 것이고, 예를 들어 장척 프레임상의 본체부 (110) 에, 그 길이 방향으로 복수의 기판 (10) 을 예를 들어 일렬로 나란히 유지하도록 구성되어 있다.
이 기판 유지기 (11A) 의 본체부 (110) 는, 기판 (10) 의 양면이 노출되도록 형성되고, 이로써 유지한 기판 (10) 의 양면의 평면적인 처리면에 대해 성막 등의 처리를 실시하도록 되어 있다.
기판 유지기 (11A) 의 본체부 (110) 의 길이 방향의 양단부이고 또한 폭 방향 즉 반송 방향의 일방의 단부에는, 지지축 (12) 이 각각 형성되어 있다.
이들 지지축 (12) 은, 본체부 (110) 의 길이 방향으로 연장되는 회전축선을 중심으로 하여 단면 원형상으로 형성되고, 각각의 기부 (12a) 가 양측을 향해 가늘어지는 원추대 형상으로 형성되고, 각각의 선단부 (12b) 가 기부 (12a) 보다 소직경의 원기둥 형상으로 형성되어 있다.
그리고, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 각 선단부 (12b) 가, 상기 서술한 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼이고, 이 지지축 (12) 을 중심으로 하여 회전 가능하게 유지되도록 각 부분의 치수가 정해져 있다.
이와 같은 구성에 의해, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼여 유지되어 반송되는 경우에, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 와 상기 서술한 테이퍼 형상의 지지축 (12) 의 맞닿음에 의해 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 방향에 대한 위치 결정이 되도록 되어 있다.
또, 본 예에서는, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼여 지지된 상태에 있어서, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 선단부 (12b) 와 가이드 부재 (38) 사이에 약간의 간극이 형성되도록 각 부재의 치수가 정해져 있다.
이와 같은 구성에 의해, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼여 지지되어 반송되는 경우에, 가이드 부재 (38) 와 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 선단부 (12b) 의 맞닿음에 의해 기판 유지기 (11A) 의 반송 경로로부터의 탈락이 방지되도록 되어 있다.
본 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 의 반송 반환부 (30B) 는, 이하에 설명하는 바와 같이 구성되어 있다.
먼저, 도 3 및 도 5(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 반송 기구 (3A) 에 있어서의 제 2 구동륜 (32) 에 대해 제 1 구동륜 (31) 측이 인접하는 위치에는, 기판 (10) 을 되돌려 반송할 때에 기판 유지기 (11A) 를 지지해 그 자세를 제어하는 자세 제어 기구 (20) 가 설치되어 있다.
이 자세 제어 기구 (20) 는, 반송 방향에 대해 직교하는 방향으로 연장되는 구동축 (21) 을 갖고, 이 구동축 (21) 은, 1 쌍의 측부 프레임 (16) 을 관통하여 자유롭게 회전할 수 있게 지지되어 있다.
그리고, 이 구동축 (21) 에, 1 쌍의 기판 유지기 지지 기구 (18) 의 간격보다 작은 간격을 두고, 1 쌍의 지지 아암 (22) 이 장착되어 있다 (도 5(a) 참조).
이들 지지 아암 (22) 은, 직선 봉상의 부재로 이루어지고, 그 양단부에 각각 지지 롤러 (23) 가 설치되어 있다 (도 5(b) 참조).
한편, 지지 아암 (22) 의 구동축 (21) 은, 제 2 구동륜 (32) 의 구동축 (35) 과 예를 들어 벨트상의 동력 전달 부재 (24) 에 의해 연결되고, 이로써 제 2 구동륜 (32) 과 지지 아암 (22) 이, 후술하는 바와 같이 소정의 관계로 동기하여 동일 방향으로 회전하도록 구성되어 있다.
다음으로, 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 를 갖는 본 실시형태의 진공 처리 장치 (1) 의 동작에 대해 설명한다.
또한, 본 예에서는, 이해를 용이하게 하기 위해, 1 개의 기판 유지기 (11A) 에 기판 (10) 을 유지하여 처리를 실시하는 경우를 예로 들어 설명한다.
또, 본 예에서는, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 이 형성된 측을 전방으로 하여 기판 유지기 (11A) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에의 도입 동작을 실시한다 (도 4 참조).
먼저, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 상의 시일 부재 (63) 를 진공조 (2) 의 내벽에 밀착시켜 진공조 (2) 내의 분위기에 대해 기판 반입 반출실 (2A) 내의 분위기를 격리한 상태에서, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출실 (2A) 의 덮개부 (2a) 를 열고, 도시되지 않은 반송 로봇을 사용하여 처리 전의 기판 (10a) 을 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 반송 로봇 (64) 상의 기판 유지기 (11A) 에 장착하여 유지시킨다.
그리고, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출실 (2A) 의 덮개부 (2a) 를 닫은 후, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 기판 유지기 수수 위치까지 하강시켜, 기판 유지기 (11A) 의 높이가 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 와 동등의 높이 위치가 되도록 한다.
또한, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 에 설치한 반송 로봇 (64) 에 의해 기판 유지기 (11A) 를 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 배치한다.
이로써, 도 9(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11A) 의 하면 (11b) 이 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 에 의해 지지된다.
다음으로, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 을 동작시켜, 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 를 제 1 구동륜 (31) 으로부터 제 2 구동륜 (32) 을 향해 이동시킴과 함께, 반송 구동 부재 (33) 의 귀로측 반송부 (33c) 를 제 2 구동륜 (32) 으로부터 제 1 구동륜 (31) 을 향해 이동시킨다.
이로써, 도 9(b) 에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 상에 형성된 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 가 기판 유지기 (11A) 의 1 쌍의 지지축 (12) 과 끼워 맞춰져 당해 지지축 (12) 이 유지 구동부 (36) 에 유지되고, 기판 유지기 (11A) 가 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 상을 제 2 구동륜 (32) 근방의 반송 반환부 (30B) 를 향해 반송된다.
그리고, 기판 유지기 (11A) 및 처리 전의 기판 (10a) 을, 도 8 에 나타내는 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 에 의해 가열한 후에, 제 1 처리 영역 (4) 의 위치를 통과할 때에, 기판 유지기 (11A) 에 유지된 처리 전의 기판 (10a) 의 제 1 처리 영역 (4) 측의 면 (이하, 「제 1 처리면」이라고 한다.) 에 대해 소정의 처리 (예를 들어 성막) 를 실시한다.
도 10(a) ∼ (c) 는, 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부의 동작을 나타내는 설명도이다.
본 예에서는, 상기 서술한 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 에 의해 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 이 유지됨과 함께, 기판 유지기 (11A) 의 하면 (11b) 이 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 에 의해 지지된 상태에서 반송 반환부 (30B) 를 향해 반송된다 (도 9(a)(b) 참조).
본 예에 있어서는, 도 10(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 이 반송 반환부 (30B) 의 제 2 구동륜 (32) 의 상부에 도달한 시점에서 기판 유지기 (11A) 의 후단부가, 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 의 종단부 (18c) 로부터 벗어나도록, 기판 유지기 (11A) 의 치수 및 지지축 (12) 의 배치 위치와, 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 의 치수가 각각 설정되어 있다.
상기 서술한 바와 같이, 기판 유지기 (11A) 는, 1 쌍의 지지축 (12) 의 선단 부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 유지된 상태에 있어서, 지지축 (12) 을 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있는 점에서, 본 예에 있어서는, 기판 유지기 (11A) 가 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 의 종단부 (18c) 로부터 벗어난 시점에 있어서, 자세 제어 기구 (20) 의 1 쌍의 지지 아암 (22) 의 일방의 단부에 설치한 지지 롤러 (23) 에 의해 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 에 대해 후단부측의 하면 (11b) 을 지지하여 수평 상태를 유지하도록 구성되어 있다.
이 자세 제어 기구 (20) 의 1 쌍의 지지 아암 (22) 은, 상기 서술한 바와 같이, 제 2 구동륜 (32) 과 동기하여 제 2 구동륜 (32) 과 동일 방향으로 회전하도록 구성되어 있다.
도 10(b) 에 나타내는 바와 같이, 본 예에 있어서는, 반송 구동 부재 (33) 의 이동에 수반하여, 유지 구동부 (36) 가, 왕로측 반송부 (33a) 로부터 반환부 (33b) 를 경유하여 귀로측 반송부 (33c) 를 향해 이동한다.
이 이동 시, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 은 제 2 구동륜 (32) 의 주위를 원호상으로 이동하여 하강하지만, 본 예에서는, 그때 자세 제어 기구 (20) 의 1 쌍의 지지 아암 (22) 의 일방의 단부의 지지 롤러 (23) 에 의해 기판 유지기 (11A) 의 후단부측의 하면 (11b) 을 지지하여, 기판 유지기 (11A) 의 자세가 대략 수평 상태로 유지되도록, 자세 제어 기구 (20) 의 지지 아암 (22) 의 치수 및 회전 각도를 설정하고 있다.
또, 이 이동 시에는, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 지지된 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 이, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 보다 하방에 위치하도록 되기 때문에, 중력의 작용에 의해 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 로부터 이탈하는 방향의 힘이 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 에 작용하지만, 본 예에 있어서는, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼여 유지된 상태에 있어서, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 선단부 (12b) 와 가이드 부재 (38) 사이에 약간의 간극이 형성되도록 구성되어 있는 점에서, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 선단부 (12b) 는, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 대해 약간 간극이 생긴 상태로 가이드 부재 (38) 의 내측의 부분에 접촉하여 지지된다.
그 결과, 본 예에서는, 반송 반환부 (30B) 를 통과할 때에, 기판 유지기 (11A) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 로부터 탈락하는 일은 없다.
또한, 도 10(c) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 이 반송 반환부 (30B) 의 제 2 구동륜 (32) 의 하부에 도달하면, 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 이 형성된 측과 반대측의 단부가 반송 방향측의 선단부가 되지만, 본 예에서는, 이 시점에 있어서, 기판 유지기 (11A) 의 당해 선단부의 하면 (11b) 이 원활하게 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 에 지지됨과 함께, 지지 아암 (22) 의 지지 롤러 (23) 가 기판 유지기 (11A) 의 하면 (11b) 으로부터 멀어지도록, 자세 제어 기구 (20) 의 지지 아암 (22) 의 치수 및 회전 각도를 설정하고 있다.
또, 이 시점에서는, 이 지지 아암 (22) 의 타방측의 단부의 지지 롤러 (23a) 가, 후속의 기판 유지기 (11A) 의 하면 (11b) 을 지지하도록 자세 제어 기구 (20) 의 지지 아암 (22) 의 치수 및 회전 각도를 설정하고 있다.
그 후, 기판 유지기 반송 기구 (3A) 의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 의 동작을 계속함으로써, 도 11(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 에 지지된 기판 유지기 (11A) 를, 반송 구동 부재 (33) 의 귀로측 반송부 (33c) 의 유지 구동부 (36) 의 동작에 의해 반송 반환부 (30B) 로부터 기판 유지기 배출부 (30C) 를 향해 이동시킨다.
이 동작 시, 기판 유지기 (11A) 및 편면만 처리한 처리 전의 기판 (10a) 에 대해, 도 7 에 나타내는 제 2 처리 영역 (5) 의 위치를 통과할 때에 제 2 처리원 (5T) 에 의해 소정의 처리 (예를 들어 성막) 를 실시한다.
여기서, 본 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 에서는, 상기 서술한 바와 같이, 반송 반환부 (30B) 에 있어서 기판 유지기 (11A) 의 상하 관계는 변하지 않고 반송 방향에 대한 전후 관계가 반대로 되기 때문에, 기판 유지기 (11A) 에 유지된 기판 (10a) 의 제 1 처리면과 반대측인 제 2 면 (이하, 「제 2 처리면」 이라고 한다.) 에 대해 소정의 처리가 실시되고, 이로써 처리 후의 기판 (10b) 을 얻는다.
그 후, 기판 유지기 (11A) 가 기판 유지기 배출부 (30C) 에 도달한 후, 기판 유지기 (11A) 가 기판 유지기 배출부 (30C) 의 가이드 부재 (38) 의 종단부에 도달하면, 도 12(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11A) 의 반송 방향 하류 (전방) 측의 부분이 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 및 가이드 부재 (38) 의 종단부로부터 돌출된 상태가 되는 점에서, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 기판 유지기 인출 위치에 배치하고 (도 13 참조), 상기 서술한 기판 반입 반출 기구 (6) 의 반송 로봇 (64) 을 구성하는 재치부 (65) 에 의해 기판 유지기 (11A) 의 하면 (11b) 을 지지한다.
또한, 반송 구동 부재 (33) 의 동작을 계속하면, 제 1 구동륜 (31) 주위의 반송 구동 부재 (33) 와 함께 이동하는 유지 구동부 (36) 가 원호상의 반송 구동 부재 (33) 와 함께 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 으로부터 이간하여 상방으로 이동하는 점에서, 도 12(b) 에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 와 기판 유지기 (11A) 의 지지축 (12) 의 끼워 맞춤이 빠지고, 기판 유지기 (11A) 는 그 위치에서 정지한다.
그래서, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 반송 로봇 (64) 을 이용하여, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11A) 를 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 기판 반입 반출 기구 (6) 측으로 인출하여 반송 로봇 (64) 과 함께 지지부 (62) 상에 배치한다.
그 후, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 상승시켜, 지지부 (62) 상의 시일 부재 (63) 를 진공조 (2) 의 내벽에 밀착시켜 진공조 (2) 내의 분위기에 대해 기판 반입 반출실 (2A) 내의 분위기를 격리한다.
그리고, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출실 (2A) 의 덮개부 (2a) 를 열고, 도시되지 않은 반송 로봇을 이용하여, 처리 후의 기판 (10b) 을 기판 유지기 (11A) 로부터 대기 중으로 인출한다.
이로써, 처리 전의 기판 (10a) 에 대한 각 공정이 종료되고, 제 1 및 제 2 처리면에 소정의 처리가 실시된 처리 후의 기판 (10b) 을 사용할 수 있다.
이상 서술한 바와 같이 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 를 갖는 본 실시형태에 의하면, 반송 경로가, 당해 반송 경로를 반송되는 기판 (10) 의 평면적인 처리면 상의 임의점에 대한 법선과, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 을 직선적으로 통과할 때에 당해 기판 (10) 의 처리면 상의 임의점이 그리는 궤적 선분을 포함하는 평면 (본 실시형태에서는 연직면) 에 대해 투영한 경우에 일련의 환상이 되도록 형성되어 있는 점에서, 예를 들어 기판의 평면적인 처리면과 평행한 평면에 투영한 경우에 환상이 되도록 형성된 반송 경로를 갖는 종래 기술과 비교해 반송 경로가 점유하는 스페이스를 대폭 삭감할 수 있고, 이로써 진공 처리 장치 (1) 의 대폭적인 공간 절약화를 달성할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 반송 방향에 대해 직교하는 반송 직교 방향으로 복수의 기판 (10) 을 나란히 유지하는 복수의 기판 유지기 (11A) 를, 반송 경로를 따라 반송하도록 구성되어 있는 점에서, 종래 기술과 같은 기판의 반송 방향으로 복수의 기판을 나란히 유지하는 기판 유지기를 반송하여 성막 등의 처리를 실시하는 경우와 비교해, 기판 유지기의 길이 및 이것에 수반하는 잉여 스페이스를 삭감할 수 있기 때문에, 추가적인 공간 절약화를 달성할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 기판 (10) 의 양면에 성막 등의 처리를 실시하는 컴팩트한 진공 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 기판 유지기 반송 기구 (3A) 가, 진공조 (2) 에 대해 자유롭게 착탈할 수 있는 프레임 구조체 (8) 에 일체적으로 조립되어 있는 점에서, 제조 공정 및 메인터넌스를 용이하게 실시할 수 있다.
한편, 본 실시형태에 있어서는, 진공조 (2) 에 대해 분위기가 연통 또는 격리 가능하게 구성되어, 진공조 (2) 에 기판 (10) 을 반입하고 또한 진공조 (2) 로부터 기판 (10) 을 반출하기 위한 기판 반입 반출실 (2A) 을 가짐과 함께, 진공조 (2) 내에는, 처리 전의 기판 (10a) 을 유지한 기판 유지기 (11A) 를 기판 반입 반출실 (2A) 내로부터 진공조 (2) 내로 반입하여 기판 유지기 반송 기구 (3A) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 수수하고, 또한 처리 후의 기판 (10b) 을 유지한 기판 유지기 (11A) 를 기판 유지기 반송 기구 (3A) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 인출하여 기판 반입 반출실 (2A) 로 반입하는 반송 로봇 (64) 을 갖는 기판 반입 반출 기구 (6) 를 구비하고, 이 기판 반입 반출 기구 (6) 는, 처리 전의 기판 (10a) 을 유지한 기판 유지기 (11A) 를 기판 유지기 반송 기구 (3A) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 수수하는 기판 유지기 수수 위치와, 처리 후의 기판 (10b) 을 유지한 기판 유지기 (11A) 를 기판 유지기 반송 기구 (3A) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 인출하는 기판 유지기 인출 위치 사이를 이동하는 지지부 (62) 를 가지고 있는 점에서, 복수의 기판 유지기 (11A) 의 반입/반출 효율 나아가서는 기판 (10) 에 대한 처리 효율을 대폭 향상시킬 수 있다.
또한, 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 이 연통하는 위치 (연통구 (2B)) 에 대한 기판 유지기 수수 위치 (기판 유지기 도입부 (30A)) 의 거리가, 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 이 연통하는 위치 (연통구 (2B)) 에 대한 기판 유지기 인출 위치 (기판 유지기 배출부 (30C)) 의 거리보다 작게 되어 있는 점에서, 최적의 타이밍으로 기판 유지기 (11A) 의 수수를 실시할 수 있고, 이로써 복수의 기판 유지기 (11A) 의 반입/반출 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 본 실시형태의 경우, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 는, 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 이 연통하는 위치로 이동 가능하게 구성되고, 이 지지부 (62) 를 연통 위치로 이동시켜 지지부 (62) 에 의해 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 의 연통구 (2B) 를 막는 것에 의해, 진공조 (2) 에 대해 기판 반입 반출실 (2A) 의 분위기가 격리되도록 구성되어 있는 점에서, 구성이 간소한 진공조 및 로드 로크실을 갖는 진공 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 처리 전의 기판 (10a) 을 유지한 기판 유지기 (11A) 를 가열하기 위한 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 가 설치되어 있지만, 본 실시형태에서는, 진공조 (2) 와 대기 중에 있어서 기판 유지기 (11A) 의 반입/반출을 실시하지 않고, 진공조 (2) 와 기판 반입 반출실 (2A) 간에 있어서 기판 유지기 (11A) 의 반입/반출을 실시하도록 하고 있고, 그 결과 기판 (10) 과 비교해 표면적 및 열용량이 매우 큰 기판 유지기 (11A) 를 대기 중으로 인출하는 경우와 비교해 처리 환경의 유지를 용이하게 실시할 수 있음과 함께, 가열 시간의 단축 나아가서는 에너지 절약을 도모할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 연직 상하 방향으로 이동 가능한 지지부 (62) 상에 반송 로봇 (64) 이 설치되고, 이 반송 로봇 (64) 상에 지지한 기판 유지기 (11A) 를 연직 상하 방향으로 이동시키고, 또한 반송 로봇 (64) 에 의해 기판 유지기 반송 기구 (3) 와의 사이에서 기판 유지기 (11A) 를 수수하고 또한 수취하도록 구성되어 있는 점에서, 반송 로봇 (64) 을 구성하는 액추에이터나 링크 등의 기구 부품 그리고 전장 부품 등을 1 조로 할 수 있고, 이로써 기판 반입 반출 기구 (6) 에 있어서의 기판 유지기 (11A) 의 수수/수취 부분의 구성을 간소하게 할 수 있다는 효과가 있다.
도 16 은, 기판 유지기 반송 기구의 제 2 예의 개략 구성을 나타내는 평면도, 도 17 은, 동일 기판 유지기 반송 기구의 주요부를 나타내는 정면도, 도 18 은, 본 예에 사용하는 기판 유지기의 구성을 나타내는 평면도, 도 19 ∼ 도 22 는, 본 예의 동작을 나타내는 설명도이다.
이하, 상기 서술한 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 와 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 상세한 설명을 생략한다.
본 예의 기판 유지기 반송 기구 (3B) 는, 예를 들어 도 16 에 나타내는 바와 같이, 제 1 예와 마찬가지로, 1 쌍의 측부 프레임 (16) 에 각각 설치된 동일 직경의 1 쌍의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 을 갖고, 이들 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 은, 기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 회전축선을 중심으로 하여 회전하는 구동축 (31a, 32a) 을 중심으로 하여 각각 회전하도록 구성되어 있다.
본 예의 기판 유지기 반송 기구 (3B) 는, 1 쌍의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 에 각각 상기 서술한 반송 구동 부재 (33) 가 걸쳐지고, 이들 각 반송 구동 부재 (33) 상에, 상기 서술한 복수의 유지 구동부 (36) 와, 유지 구동부 (36) 와 동일수의 보조 지지부 (39) 가 설치되어 있다.
이들 유지 구동부 (36) 와 보조 지지부 (39) 는 쌍이 되어 구성되어 있다.
도 18 에 나타내는 바와 같이, 본 예에 사용하는 기판 유지기 (11B) 는, 제 1 예의 기판 유지기 (11A) 와 동일한 형상의 본체부 (110) 를 갖고, 이 본체부 (110) 의 길이 방향으로 예를 들어 일렬로 복수의 기판 (10) 을 나란히 유지하도록 구성되어 있다.
또한, 본 예의 기판 유지기 (11B) 는, 기판 (10) 의 편면에 막을 형성하기 위한 것이고, 기판 (10) 의 양면이 노출되도록 구성할 필요는 없다.
한편, 본 예의 기판 유지기 (11B) 의 본체부 (110) 의 길이 방향의 양단부에는, 제 1 예의 기판 유지기 (11A) 와 동일 구성의 2 조의 1 쌍의 지지축 (12A, 12B) 이 본체부 (110) 의 폭 방향으로 소정의 간격을 두고 형성되어 있다.
여기서, 1 쌍의 지지축 (12A, 12B) 중, 기판 반송 방향에 대해 전방측의 것을 전방측 지지축 (12A) 이라고 하고, 후방측의 것을 후방측 지지축 (12B) 이라고 칭한다.
도 19(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 은, 제 1 예의 기판 유지기 (11A) 의 경우와 동일하게, 각 선단부 (12b) 가, 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼이고, 이 전방측 지지축 (12A) 을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지되도록 구성되어 있다.
반송 구동 부재 (33) 의 보조 지지부 (39) 는, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 을 지지하는 것이고, 예를 들어 그 꼭대기부가 평면상으로 형성되어 있다. 이 보조 지지부 (39) 는, 반송 방향의 길이가, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 의 외경보다 커지도록 설정되어 있다.
또, 본 예에 있어서는, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 보조 지지부 (39) 에 지지된 상태에 있어서, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 의 선단부 (12b) 와 가이드 부재 (38) 사이에 약간의 간극이 형성되도록 구성되어 있다.
그리고, 상기 서술한 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 와 보조 지지부 (39) 의 피치에 대해서는, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 과 후방측 지지축 (12B) 의 피치와 동등해지도록 구성되어 있다.
다음으로, 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구 (3B) 를 갖는 본 실시형태의 진공 처리 장치 (1) 의 동작에 대해 설명한다.
또한, 본 예에서는, 이해를 용이하게 하기 위해, 1 개의 기판 유지기 (11B) 에 기판 (10) 을 유지하여 처리를 실시하는 경우를 예로 들어 설명한다.
먼저, 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구 (3A) 를 갖는 경우와 동일한 방법에 의해, 기판 유지기 (11B) 를 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구 (3B) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 배치한다 (도 6 ∼ 도 8 참조).
이로써, 도 19(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 의 하면 (11b) 이 왕로측 기판 유지기 지지 기구 (18a) 에 의해 지지된다.
다음으로, 기판 유지기 반송 기구 (3B) 의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 을 동작시켜, 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 를 제 1 구동륜 (31) 으로부터 제 2 구동륜 (32) 을 향해 이동시킴과 함께, 반송 구동 부재 (33) 의 귀로측 반송부 (33c) 를 제 2 구동륜 (32) 으로부터 제 1 구동륜 (31) 을 향해 이동시킨다.
이로써, 도 19(b) 에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 상의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 가 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 과 끼워 맞춰져 당해 지지축 (12A) 이 유지 구동부 (36) 에 유지됨과 함께, 반송 구동 부재 (33) 상의 보조 지지부 (39) 의 꼭대기부가 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 과 접촉하여 당해 지지축 (12B) 이 보조 지지부 (39) 의 꼭대기부에 지지된다.
그리고, 그 상태에서 기판 유지기 (11B) 가 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 상을 반송 반환부 (30B) 를 향해 반송된다.
또한, 기판 유지기 (11B) 및 처리 전의 기판 (10a) 을, 도 8 에 나타내는 가열 냉각 기구 (7a, 7b) 에 의해 가열한 후에, 제 1 처리 영역 (4) 의 위치를 통과할 때에, 기판 유지기 (11B) 에 유지된 처리 전의 기판 (10a) 의 처리면에 대해 소정의 처리 (예를 들어 제 1 층의 막 형성) 를 실시한다.
도 20(a) ∼ (b) 그리고 도 21(a) ∼ (b) 는, 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구의 반송 반환부 (30B) 의 동작을 나타내는 설명도이다.
본 예에 있어서는, 도 20(a) 에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 에 의해 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 이 유지됨과 함께, 반송 구동 부재 (33) 의 보조 지지부 (39) 에 의해 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 이 지지된 상태에서 반송 반환부 (30B) 를 향해 반송된다.
반송 반환부 (30B) 에 있어서는, 도 20(b) 에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 에 의해 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 이 유지되고, 또한 반송 구동 부재 (33) 의 보조 지지부 (39) 에 의해 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 이 지지된 상태에서 기판 유지기 (11B) 의 이동 방향측 선단부가 하강하기 시작한다.
이 이동 시에는, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 유지된 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 이, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 보다 하방에 위치하도록 되기 때문에, 중력의 작용에 의해 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 로부터 이탈하는 방향의 힘이 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 에 작용하지만, 본 예에 있어서는, 제 1 예와 마찬가지로 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 각각 끼여 유지된 상태에 있어서, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 의 선단부 (12b) 와 가이드 부재 (38) 사이에 약간의 간극이 형성되도록 구성되어 있는 점에서, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 은, 유지 구동부 (36) 의 유지 오목부 (37) 에 대해 약간 간극이 생긴 상태에서 가이드 부재 (38) 의 내측의 부분에 접촉하여 지지된다.
한편, 본 예의 경우, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 의 각 선단부 (12b) 가 반송 구동 부재 (33) 의 보조 지지부 (39) 에 지지된 상태에 있어서, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 의 선단부 (12b) 와 가이드 부재 (38) 사이에 약간의 간극이 형성되도록 구성되어 있는 점에서, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 은, 보조 지지부 (39) 에 대해 약간 간극이 생긴 상태에서 가이드 부재 (38) 의 내측의 부분에 접촉하여 지지된다.
그 결과, 본 예에 있어서는, 도 21(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 의 상하 관계가 반전한 경우라도, 반송 반환부 (30B) 를 통과할 때에, 기판 유지기 (11B) 가 유지 구동부 (36) 로부터 탈락하는 일은 없다.
또, 기판 유지기 (11B) 가 반송 반환부 (30B) 를 통과할 때에, 곡선의 궤적을 그리는 반송 경로를 통과하기 때문에, 반송 구동 부재 (33) 상의 유지 구동부 (36) 와 보조 지지부 (39) 사이의 거리가 반송 경로의 직선 부분과 곡선 부분에서 상이하지만, 본 예에 있어서는, 보조 지지부 (39) 의 반송 방향의 길이가, 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 의 외경보다 커지도록 구성되어 있는 점에서, 반송 반환부 (30B) 를 통과할 때에 기판 유지기 (11B) 의 후방측 지지축 (12B) 과 보조 지지부 (39) 의 꼭대기부의 접촉 부분이 보조 지지부 (39) 의 꼭대기부를 따라 이동하는 것에 의해, 기판 유지기 (11B) 는, 곡선상의 반송 반환부 (30B) 를 원활하게 통과할 수 있다.
그 후, 기판 유지기 반송 기구 (3B) 의 제 1 및 제 2 구동륜 (31, 32) 의 동작을 계속함으로써, 도 22(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 에 지지된 기판 유지기 (11B) 를, 반송 구동 부재 (33) 의 귀로측 반송부 (33c) 의 유지 구동부 (36) 의 동작에 의해 반송 반환부 (30B) 로부터 기판 유지기 배출부 (30C) 를 향해 이동시킨다.
이 동작 시, 기판 유지기 (11B) 및 제 1 처리가 완료된 기판 (10a) 에 대해, 도 8 에 나타내는 제 2 처리 영역 (5) 의 위치를 통과할 때에 제 2 처리원 (5T) 에 의해 소정의 처리 (예를 들어 성막) 를 실시한다.
여기서, 본 예의 기판 유지기 반송 기구 (3B) 에서는, 상기 서술한 바와 같이, 반송 반환부 (30B) 에 있어서 기판 유지기 (11B) 의 반송 방향에 대한 전후 관계는 변하지 않고 상하 관계가 반대로 되기 때문에, 기판 유지기 (11B) 에 유지된 상기 기판 (10a) 의 처리면 상의 예를 들어 제 1 층의 막에 대해 예를 들어 제 2 층의 막이 형성되고, 이로써 처리 후의 기판 (10b) 을 얻는다.
그 후, 기판 유지기 (11B) 가 기판 유지기 배출부 (30C) 에 도달한 후, 기판 유지기 (11B) 가 기판 유지기 배출부 (30C) 의 가이드 부재 (38) 의 종단부에 도달하면, 도 22(b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 의 반송 방향 하류 (전방) 측의 부분이 귀로측 기판 유지기 지지 기구 (18b) 및 가이드 부재 (38) 의 종단부로부터 돌출된 상태가 되는 점에서, 상기 서술한 기판 반입 반출 기구 (6) 의 반송 로봇 (64) 을 구성하는 재치부 (65) 에 의해 기판 유지기 (11B) 의 상면 (11a) 을 지지한다.
또한, 반송 구동 부재 (33) 의 동작을 계속하면, 제 1 구동륜 (31) 주위의 반송 구동 부재 (33) 와 함께 이동하는 유지 구동부 (36) 가 원호상의 반송 구동 부재 (33) 와 함께 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 으로부터 이간하여 상방으로 이동하는 점에서, 반송 구동 부재 (33) 의 유지 구동부 (36) 와 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 의 끼워 맞춤이 빠지고, 기판 유지기 (11B) 는 그 위치에서 정지한다.
그래서, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 반송 로봇 (64) 을 이용하여, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 를 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 기판 반입 반출 기구 (6) 측으로 인출하여 반송 로봇 (64) 과 함께 지지부 (62) 상에 배치한다.
그 후, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 상승시켜, 지지부 (62) 상의 시일 부재 (63) 를 진공조 (2) 의 내벽에 밀착시켜 진공조 (2) 내의 분위기에 대해 기판 반입 반출실 (2A) 내의 분위기를 격리한다.
그리고, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출실 (2A) 의 덮개부 (2a) 를 열고, 도시되지 않은 반송 로봇을 이용하여, 처리 후의 기판 (10b) 을 기판 유지기 (11B) 로부터 대기 중으로 인출한다.
이로써, 처리 전의 기판 (10a) 에 대한 각 공정이 종료되고, 일방의 처리면에 소정의 처리가 실시된 (예를 들어 2 층의 막이 형성된) 처리 후의 기판 (10b) 을 사용할 수 있다.
그 밖의 효과는 제 1 예의 경우와 동일하므로 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명은 상기 서술한 실시형태로 한정되지 않고, 여러 가지 변경을 실시할 수 있다.
예를 들어 상기 실시형태에 있어서는, 반송 구동 부재 (33) 중 상측의 부분을 왕로측 반송부 (33a) 로 함과 함께, 반송 구동 부재 (33) 중 하측의 부분을 귀로측 반송부 (33c) 로 하도록 했지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 이들의 상하 관계를 반대로 할 수도 있다.
또, 기판 (10) 을 연직 방향으로 배치하여 수평면에 대해 환상이 되는 반송 경로를 형성할 수도 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 기판 유지기 (11A, 11B) 로서 장척 프레임상의 본체부 (110) 의 길이 방향으로 복수의 기판 (10) 을 일렬로 나란히 유지하는 것을 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 예를 들어 본체부 (110) 의 길이 방향으로 복수의 기판 (10) 을 복수열 (2 ∼ 3 열) 로 나란히 유지하도록 구성할 수도 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 기판 유지기 (11) 의 수수를 실시하는 반송 로봇 (64) 을, 승강 가능한 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 상에 설치하도록 했지만, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 와 기판 유지기 배출부 (30C) 의 근방에 기판 유지기 (11) 의 수수를 실시하는 반송 로봇을 각각 설치할 수도 있다.
또, 상기 실시형태에서는, 진공 중에 있어서의 처리로서 스퍼터링을 실시하는 장치를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 예를 들어 플라즈마 처리, 이온 주입 처리, 증착 처리, 화학 기상 성장 처리, 집속 이온 빔 처리, 에칭 처리 등 여러 가지 처리를 실시하는 진공 처리 장치에 적용할 수 있다.
이 경우, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 에는, 상이한 처리를 실시하는 처리원을 설치할 수도 있다.
한편, 상기 실시형태에서는, 기판 (10) 에 대해, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 에 있어서 1 회의 처리를 실시하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 제 1 및 제 2 처리 영역 (4, 5) 을 복수회 통과하여 복수회의 처리를 실시하도록 구성할 수도 있다.
이 경우에는, 예를 들어 도 23 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 기판 유지기 인출 위치에 배치하여 반송 로봇 (64) 을 이용하여, 1 회째의 처리가 종료한, 즉 처리 후의 기판 (10b) 을 유지한 기판 유지기 (11A(B)) 를, 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 기판 반입 반출 기구 (6) 측으로 인출하여 반송 로봇 (64) 과 함께 지지부 (62) 상에 배치한다.
그리고, 도 24 에 나타내는 바와 같이, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 기판 유지기 수수 위치까지 상승시켜, 기판 유지기 (11A(B)) 의 높이가 반송 구동 부재 (33) 의 왕로측 반송부 (33a) 와 동등의 높이 위치가 되도록 배치하고, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 상의 반송 로봇 (64) 에 의해 기판 유지기 (11A(B)) 를 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 배치한다.
그 후, 상기 서술한 공정을 거침으로써, 당해 기판 (10b) 에 대한 2 회째의 처리를 실시한다.
또한, 상기 서술한 동작 및 공정을 반복함으로써, 기판 (10) 에 대해 3 회 이상의 처리를 실시할 수도 있다.
도 25(a)(b) 는, 본 발명에 사용하는 반송 로봇의 다른 예를 나타내는 것이고, 도 25(a) 는 평면도, 도 25(b) 는 정면도이다.
도 25(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 본 예의 반송 로봇 (9) 은, 기판 반입 반출 기구 (6) 와 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 근방에 설치되는 것이고, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 상부의 기판 유지기 도입부 (30A) 와 동등의 높이 위치에 배치된 기판 유지기 도입 기구 (40) 와, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 하부의 기판 유지기 배출부 (30C) 와 동등의 높이 위치에 배치된 기판 유지기 배출 기구 (50) 를 가지고 있다.
기판 유지기 도입 기구 (40) 는, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 양측부 (기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 양측 단부) 로부터 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 의 양측부 (기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 양측 단부) 에 걸쳐서 기판 반송 방향과 평행으로 수평 직선상으로 연장되도록 형성된 1 쌍의 도입 레일 (41) 을 가지고 있다.
기판 유지기 도입 기구 (40) 의 각 도입 레일 (41) 에는, 각 도입 레일 (41) 을 따라, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 상기 서술한 기판 유지기 수수 위치와, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 사이를 이동 가능한 도입 지지 부재 (42) 가 각각 설치되어 있다.
이들 도입 지지 부재 (42) 는, 예를 들어 평판상으로 형성되고, 수평면과 평행하게 향하여 예를 들어 1 쌍이 되어 배치되어 있다.
그리고, 1 쌍의 도입 지지 부재 (42) 에 의해 예를 들어 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 및 후방측 지지축 (12B) 을 양측부측으로부터 지지한 상태에서 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 본 예의 도입 지지 부재 (42) 는, 예를 들어 기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향으로 각각 이간하도록 이동시킴으로써, 1 쌍의 도입 지지 부재 (42) 사이의 간격을, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 길이보다 크게 하여, 지지부 (62) 의 승강 경로로부터 퇴피할 수 있도록 구성되어 있다.
한편, 기판 유지기 배출 기구 (50) 는, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 양측부 (기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 양측 단부) 로부터 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 의 양측부 (기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 양측 단부) 에 걸쳐서 기판 반송 방향과 평행으로 수평 직선상으로 연장되도록 설치된 1 쌍의 배출 레일 (51) 을 가지고 있다.
기판 유지기 배출 기구 (50) 의 각 배출 레일 (51) 에는, 각 배출 레일 (51) 을 따라, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 상기 서술한 기판 유지기 인출 위치와, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 사이를 이동 가능한 배출 지지 부재 (52) 가 각각 설치되어 있다.
이들 배출 지지 부재 (52) 는, 상기 서술한 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 와 동일한 구성을 가지고 있다.
즉, 배출 지지 부재 (52) 는, 예를 들어 평판상으로 형성되고, 수평면과 평행하게 향하게 되어 예를 들어 1 쌍이 되어 배치되어 있다.
그리고, 1 쌍의 배출 지지 부재 (52) 에 의해 예를 들어 상기 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구 (3B) 에 사용하는 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 및 후방측 지지축 (12B) 을 양측부측으로부터 지지한 상태에서 반송하도록 구성되어 있다.
또, 본 예의 배출 지지 부재 (52) 에 대해서도, 상기 서술한 도입 지지 부재 (42) 와 마찬가지로, 예를 들어 기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향으로 각각 이간하도록 이동시킴으로써, 1 쌍의 배출 지지 부재 (52) 사이의 간격을, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 기판 반송 방향에 대해 직교하는 방향의 길이보다 크게 하여, 지지부 (62) 의 승강 경로로부터 퇴피할 수 있도록 구성되어 있다.
또, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 상부의 가장자리부에는, 기판 (10) 을 반입 및 반출할 때에 기판 반입 반출실 (2A) 과 진공조 (2) 내의 분위기를 격리하기 위한 예를 들어 O 링 등의 시일 부재 (도시 생략) 가 설치되어 있다.
도 26(a)(b) 는, 본 예의 반송 로봇을 사용한 기판 유지기의 수수 동작을 나타내는 설명도이고, 도 26(a) 는 동일 반송 로봇의 기판 유지기 도입 기구의 평면도, 도 26(b) 는 동일 반송 로봇의 정면도이다.
본 예에 있어서, 기판 반입 반출실 (2A) 내에서 이미 기판 (10) 을 유지한 기판 유지기 (예를 들어 기판 유지기 (11B)) 를 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 반송 경로에 도입하는 경우에는, 먼저 이 기판 유지기 (11B) 를 지지한 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 상기 서술한 기판 유지기 수수 위치까지 하강시킨다.
이 동작 시, 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 와 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 접촉을 회피하기 위해, 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 를, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 승강 경로로부터 미리 퇴피시켜 둔다.
그리고, 이 기판 유지기 수수 위치에 있어서, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 상에 지지된 기판 유지기 (11B) 를, 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 에 수수하여 지지시킨다.
이 경우, 예를 들어 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 승강 경로로부터 각각 퇴피시켜 둔 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 끼리를 접근하는 방향으로 이동시킴으로써, 이들 도입 지지 부재 (42) 를, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 표면과, 이 지지부 (62) 상에 지지된 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 및 후방측 지지축 (12B) 의 간극에 삽입하고, 또한 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 하강시킴으로써, 도 26(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 및 후방측 지지축 (12B) 을 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 에 의해 양측부측으로부터 지지시킨다.
그 후, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를, 도 26(b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 인출 위치까지 하강시켜 둔다.
그리고, 이 상태에서, 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 를 도입 레일 (41) 을 따라 기판 유지기 반송 기구 (3) 측으로 이동시켜, 도입 지지 부재 (42) 상에 지지된 기판 유지기 (11B) 를 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 배치한다.
그 후, 상기 서술한 바와 같이, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 반송 구동 부재 (33) 를 동작시킴으로써, 기판 유지기 (11B) 를 제 1 처리 영역 (4) 을 향해 반송하고, 순차 소정의 처리를 실시한다.
또한, 상기 서술한 동작 시에는, 기판 유지기 배출 기구 (50) 의 배출 지지 부재 (52) 는, 예를 들어 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 의 위치에 배치해 둔다.
도 27(a)(b) 는, 본 예의 반송 로봇을 사용한 기판 유지기의 배출 동작을 나타내는 설명도이고, 도 27(a) 는 동일 반송 로봇의 기판 유지기 배출 기구의 평면도, 도 27(b) 는 동일 반송 로봇의 정면도이다.
본 예에 있어서, 상기 서술한 기판 유지기 (11B) 를 반송 경로로부터 배출하는 경우에는, 도 27(a)(b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 배출 기구 (50) 의 배출 지지 부재 (52) 를, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 에 배치해 둠과 함께, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를, 상기 서술한 기판 유지기 인출 위치까지 하강시켜 둔다.
그리고, 소정의 처리가 종료하고 반송되어 온 기판 유지기 (11B) 를, 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 에 있어서, 기판 유지기 배출 기구 (50) 의 배출 지지 부재 (52) 에 수수하여 지지시킨다.
이 경우, 도 27(a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 및 후방측 지지축 (12B) 이, 기판 유지기 배출 기구 (50) 의 배출 지지 부재 (52) 에 의해 양측부측으로부터 원활하게 지지되도록, 각 부재의 치수 및 반송 속도 등의 조건을 미리 설정해 둔다.
그리고, 이 상태에서, 기판 유지기 배출 기구 (50) 의 배출 지지 부재 (52) 를 배출 레일 (51) 을 따라 기판 반입 반출 기구 (6) 측으로 이동시켜, 기판 유지기 인출 위치에 배치된 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 약간 상방에 기판 유지기 (11B) 를 배치한다 (도 27(a)(b) 참조).
또한, 기판 유지기 배출 기구 (50) 의 배출 지지 부재 (52) 를, 각각 이간시키는 방향으로 이동시킴으로써, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 승강 경로로부터 퇴피시켜, 기판 유지기 (11B) 의 전방측 지지축 (12A) 및 후방측 지지축 (12B) 에 대한 지지를 해제함과 함께, 당해 지지부 (62) 를 약간 상승시킴으로써, 기판 유지기 (11B) 를 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 상에 재치한다.
그 후, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 상승시킴으로써, 상기 서술한 바와 같이, 분위기를 격리한 기판 반입 반출실 (2A) 내에 기판 유지기 (11B) 를 배치한 후, 기판 반입 반출실 (2A) 의 덮개부 (2a) 를 열고, 도시되지 않은 반송 로봇을 이용하여, 처리 후의 기판 (도시 생략) 을 기판 유지기 (11B) 로부터 대기 중으로 인출한다 (도 14, 도 15 참조).
또한, 상기 서술한 동작 시에는, 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 는, 예를 들어 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 의 위치에 배치해 둔다.
그 한편으로, 이 기판 유지기 (11B) 내에 유지된 기판 (10) 에 대해 복수회의 처리를 실시하는 경우에는, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 를 상승시켜 기판 유지기 수수 위치에 배치하고, 도 26(a)(b) 를 참조하여 설명한 동작을 실시하여 기판 유지기 (11) 를 기판 유지기 도입 기구 (40) 의 도입 지지 부재 (42) 에 수수하여 지지시키고, 또한 도입 지지 부재 (42) 를 동작시켜 기판 유지기 (11B) 를 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 반송 경로에 도입하면 된다.
이상 서술한 본 예의 반송 로봇 (9) 을 사용한 경우에는, 이하와 같은 효과가 있다.
즉, 본 예의 반송 로봇 (9) 을 구성하는 기판 유지기 도입 기구 (40) 및 기판 유지기 배출 기구 (50) 는, 기판 유지기 (11B) 를 지지하는 지지 부재 (도입 지지 부재 (42), 배출 지지 부재 (52)) 를 레일 (도입 레일 (41), 배출 레일 (51)) 을 따라 직선 이동시킴으로써, 기판 유지기 (11B) 를, 기판 유지기 반송 기구 (3) 와 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 사이에 있어서 반송하도록 구성되어 있고, 이 점에서 기판 유지기 (11A (11B)) 를 반송하는 반송 로봇 (64) 을 상하동 가능한 지지부 (62) 상에 설치한 상기 기판 반입 반출 기구 (6) 와는 상이한 구성을 가지고 있다.
이와 같은 구성을 갖는 본 예의 반송 로봇 (9) 에 의하면, 기판 유지기 (11B) 의 지지 부재를 구동하는 구동원 및 구동 기구를 대기측에 고정하여 배치할 수 있고, 또한 샤프트 등의 구동 부재를 사용할 필요가 없는 점에서, 진공조 (2) 내에 있어서의 구동 부분의 설계를 특수한 것으로 할 필요가 없어 설계를 용이하게 실시할 수 있다는 효과가 있다.
또, 본 예의 반송 로봇 (9) 에 의하면, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 의 상하 방향으로의 동작에 대해, 기판 유지기 도입 기구 (40) 와 기판 유지기 배출 기구 (50) 를 각각 독립적으로 동작시킬 수 있으므로, 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 에 의한 기판 유지기 (11B) 의 진공조 (2) 안으로의 반입 동작 및 진공조 (2) 밖으로의 반출 동작과, 기판 유지기 (11B) 를 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 로부터 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 도입부 (30A) 에 수수하는 동작과, 기판 유지기 (11B) 를 기판 유지기 반송 기구 (3) 의 기판 유지기 배출부 (30C) 로부터 인출하여 기판 반입 반출 기구 (6) 의 지지부 (62) 에 수수하는 동작에 대해, 각각 대기 시간이 최단이 되도록 최적의 타이밍으로 실시할 수 있고, 이로써 진공 처리의 택트 타임을 단축할 수 있다.
1 : 진공 처리 장치
2 : 진공조
2A : 기판 반입 반출실
3 : 기판 유지기 반송 기구
3A : 제 1 예의 기판 유지기 반송 기구
3B : 제 2 예의 기판 유지기 반송 기구
4 : 제 1 처리 영역 (처리 영역)
5 : 제 2 처리 영역 (처리 영역)
6 : 기판 반입 반출 기구
7a, 7b : 가열 냉각 기구
8 : 프레임 구조체
9 : 반송 로봇
10 : 기판
10a : 처리 전의 기판
10b : 처리 후의 기판
11, 11A, 11B : 기판 유지기
12 : 지지축
12A : 전방측 지지축
12B : 후방측 지지축
30A : 기판 유지기 도입부
30B : 반송 반환부
30C : 기판 유지기 배출부
33 : 반송 구동 부재
33a : 왕로측 반송부
33b : 반환부
33c : 귀로측 반송부
36 : 유지 구동부
37 : 유지 오목부
38 : 가이드 부재
39 : 보조 지지부
40 : 기판 유지기 도입 기구
41 : 도입 레일
42 : 도입 지지 부재
50 : 기판 유지기 배출 기구
51 : 배출 레일
52 : 배출 지지 부재
62 : 지지부 (기판 유지기 지지부)
63 : 시일 부재
64 : 반송 로봇

Claims (16)

  1. 단일의 진공 분위기가 형성되는 진공조와,
    상기 진공조 내에 형성되고, 기판의 평면적인 처리면 상에 처리를 실시하는 처리원을 갖는 처리 영역과,
    상기 진공조 내에 형성되고, 상기 처리 영역을 통과하도록 상기 기판을 반송하는 반송 경로와,
    상기 기판의 반송 방향에 대해 직교하는 반송 직교 방향으로 복수의 기판을 나란히 유지하는 기판 유지기를, 상기 반송 경로를 따라 반송하도록 구성된 기판 유지기 반송 기구를 갖고,
    상기 반송 경로는, 당해 반송 경로를 반송되는 상기 기판의 처리면 상의 임의점에 대한 법선과, 상기 처리 영역을 직선적으로 통과할 때에 상기 기판의 처리면 상의 임의점이 그리는 궤적 선분을 포함하는 평면에 대해 투영한 경우에 일련의 환상이 되도록 형성되고,
    상기 기판 유지기 반송 기구에, 처리 전의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 당해 기판 유지기 반송 기구에 수수하기 위한 기판 유지기 도입부와, 처리 후의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 당해 기판 유지기 반송 기구로부터 인출하기 위한 기판 유지기 배출부가 형성되고,
    상기 기판 유지기는, 상기 반송 직교 방향의 양단부에 당해 반송 직교 방향으로 연장되는 지지축을 가짐과 함께, 상기 기판 유지기 반송 기구에 있어서, 당해 기판 유지기의 지지축이, 상기 반송 경로를 구성하는 구동 부재에 설치된 유지 구동부에, 상기 반송 직교 방향으로 연장되는 회전축선을 중심으로 하여 회전 가능하고 자유롭게 착탈할 수 있게 유지되도록 구성되고,
    상기 유지 구동부가 상기 구동 부재의 외방에 설치됨과 함께, 당해 유지 구동부의 상기 구동 부재로부터의 탈락을 저지하기 위한 가이드 부재가 설치되고, 당해 가이드 부재는, 상기 기판 유지기가 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 도입부에 있어서 상기 유지 구동부에 유지되고, 또한 상기 기판 유지기가 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 배출부에 있어서 상기 유지 구동부로부터 이탈되도록 구성되어 있는, 진공 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 반송 경로의 왕로 및 귀로의 각각에 상기 처리 영역을 갖는, 진공 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 기판 유지기를 상기 반송 경로의 왕로로부터 귀로로 되돌려 반송하는 반송 반환부를 갖고, 당해 반송 반환부는, 상기 기판 유지기의 당해 반송 방향에 대한 전후 관계를 유지한 상태에서 당해 기판 유지기를 반송하도록 구성되어 있는, 진공 처리 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 기판 유지기를 상기 반송 경로의 왕로로부터 귀로로 되돌려 반송하는 반송 반환부를 갖고, 당해 반송 반환부는, 상기 기판 유지기의 당해 반송 방향에 대한 전후 관계를 반전한 상태에서 당해 기판 유지기를 반송하도록 구성되어 있는, 진공 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 유지기 반송 기구는, 처리 전에 상기 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 가열하는 가열 기구를 갖는, 진공 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 유지기 반송 기구는, 상기 진공조에 대해 자유롭게 착탈할 수 있는 프레임 구조체에 일체적으로 조립되어 있는, 진공 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공조에 대해 분위기가 연통 또는 격리 가능하게 구성되고, 당해 진공조에 기판을 반입하고 또한 당해 진공조로부터 기판을 반출하기 위한 기판 반입 반출실을 가짐과 함께, 상기 진공조 내에는, 처리 전의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 반입 반출실 내로부터 당해 진공조 내로 반입하고, 또한 처리 후의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 반입 반출실에 반입하는 기판 반입 반출 기구와, 상기 처리 전의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 반입 반출 기구로부터 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 도입부에 수수하고, 또한 상기 처리 후의 기판을 유지한 기판 유지기를 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 배출부로부터 인출하여 상기 기판 반입 반출 기구에 수수하는 반송 로봇을 갖는, 진공 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판 반입 반출 기구는, 처리 전의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 도입부에 수수하는 기판 유지기 수수 위치와, 처리 후의 기판을 유지한 상기 기판 유지기를 상기 기판 유지기 반송 기구의 기판 유지기 배출부로부터 인출하는 기판 유지기 인출 위치 사이를 이동하는 기판 유지기 지지부를 갖고, 당해 기판 유지기 지지부 상에 상기 반송 로봇이 배치되어 있는, 진공 처리 장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 기판 반입 반출 기구의 기판 유지기 지지부는, 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실이 연통하는 위치로 이동 가능하게 구성되고, 당해 기판 유지기 지지부를 상기 연통하는 위치로 이동시켜 당해 기판 유지기 지지부에 의해 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실의 연통구를 막는 것에 의해, 상기 진공조에 대해 상기 기판 반입 반출실의 분위기가 격리되도록 구성되어 있는, 진공 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실이 연통하는 위치에 대한 상기 기판 유지기 수수 위치의 거리가, 상기 진공조와 상기 기판 반입 반출실이 연통하는 위치에 대한 상기 기판 유지기 인출 위치의 거리보다 작은, 진공 처리 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 경로가, 연직면에 대해 투영한 경우에 환상이 되도록 형성되어 있는, 진공 처리 장치.
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