KR101972686B1

KR101972686B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법

Info

Publication number: KR101972686B1
Application number: KR1020177023925A
Authority: KR
Inventors: 야스오 다카하시
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2015-02-27
Filing date: 2016-01-27
Publication date: 2019-04-25
Also published as: JP2016162865A; CN107251191B; KR20170106474A; TWI604509B; TW201703111A; JP6527716B2; US10589305B2; US20180029059A1; WO2016136367A1; CN107251191A

Abstract

도포 장치(1)에 있어서, 노즐 이동 기구(5)는, 복수의 도포액 노즐(3) 중 어느 하나를 선택적으로 파지하고, 파지한 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 일체적으로 이동시키며, 적어도 용제 노즐(4)을 용제 흡인부(35)에 이동시킨다. 그리고, 이동한 용제 노즐(4)로부터 용제 흡인부(35)에 용제를 토출시키고, 용제를 토출한 동일의 용제 흡인부(35)에 체류하는 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다. 그로 인해, 동일의 용제 흡인부(35)에서 용제의 토출과 흡인을 행하므로, 용제의 사용량을 억제할 수 있다. 또, 용제 흡인부(35)에는, 용제를 공급하는 공급 계통이 설치되지 않아도 된다. 그로 인해, 용제 흡인부(35)의 구조를 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법

본 발명은, 반도체 기판, 액정 표시용 유리 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광디스크용 기판 등의 기판에 대해 포토레지스트액 등을 토출하는 노즐에 대해, 그 노즐에 용제 등을 흡인시키는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법에 관한 것이다.

종래, 기판 처리 장치로서, 포토레지스트 등의 도포액을 기판에 도포하는 도포 장치가 있다. 도포 장치는, 기판을 유지하고 회전시키는 유지 회전부와, 도포액을 토출하는 복수의 도포액 노즐과, 도포액 노즐을 임의의 위치로 이동시키는 노즐 이동 기구를 구비하고 있다. 복수의 도포액 노즐은, 유지 회전부의 측방, 또한 도포액 노즐과 같은 수로 설치된 대기 포트에 각각 유지되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1~3 참조). 노즐 이동 기구는, 대기 포트에서 대기 중의 복수의 도포액 노즐 중 어느 1개를 파지한다.

대기 포트는, 도 10과 같이, 더미 디스펜스 가능하고, 도포액 노즐을 대기시키는 노즐 대기부(131)와, 도포액 노즐의 선단 내부에 용제를 흡인시키기 위한 용제 흡인부(135)를 구비하고 있다. 또, 도포 장치가 10개의 도포액 노즐(103)을 구비하는 경우, 도 11과 같이, 대기 포트는, 1개의 노즐 대기부(131)와 1개의 용제 흡인부(135)가 10세트 나열되어 배치된 구성으로 되어 있다.

일본국 특허 제5442232호 공보 일본국 특허 제2923044호 공보 일본국 특허 제4606234호 공보

그러나, 종래의 도포 장치는 다음과 같은 문제가 있다. 도 11에 있어서, 도포액 노즐(103A)에 용제를 흡인시키는 경우, 대기 포트로의 용제 공급은, 용제 흡인부(135A) 뿐만이 아니라, 흡인 동작을 시키지 않는 다른 모든 용제 흡인부(135)에도 행하고 있다. 그로 인해, 용제 사용량이 많아지는 문제가 있다.

또, 대기 포트의 구조가 복잡하므로, 용제 흡인부(135)의 청소나 용제 흡인부(135)의 부품 교환이 어려운 문제가 있다. 즉, 도포액 노즐(103)은, 기판에 가장 가까워지는 부분이며, 청결한 상태인 것이 바람직한다. 흡인 동작은, 도포액 노즐의 세정과 동시에 행해지며, 도포액 노즐은 용제와 접촉한다. 그러나, 장기간 사용하고, 몇번이나 흡인 동작을 행하고 있으면, 세정하고 있는지 아닌지 알기 어려운 상황이 발생한다. 그래서, 용제 흡인부(135)를 정기적으로 청소하는 것이 바람직하다.

그러나, 도 10, 도 11과 같이, 대기 포트는, 복잡한 구조를 갖고 있고, 용제 흡인부(135)는, 노즐 대기부(131) 근처의 복잡하게 얽힌 부분에 있다. 그로 인해, 그 위치에 있어서의 용제 흡인부(135)의 청소가 어렵다. 또, 노즐 대기부(131)와 용제 흡인부(135)는, 일체적인 구조이므로, 용제 흡인부(135)만을 떼어내 부품 교환하는 것은 어렵다. 또한, 대기 포트의 구조가 복잡하므로, 고비용이 되는 문제가 있다.

또한, 특허 문헌 2에는, 노즐 선단부에 세정액을 흐르게 하고, 노즐 선단부를 세정하는 전용의 세정액용 튜브가 노즐에 접속되어 있는 것이 개시되어 있다. 또, 특허 문헌 3에는, 복수의 처리액 공급 노즐과 1개의 용제 공급 노즐을 공통의 지지부에 일체적으로 고정한 구성이 개시되어 있다. 각 처리액 공급 노즐의 선단 내부에 흡인하기 위한 각 용제 저류부에 대해, 용제 공급 노즐이 차례로 이동하여 용제를 토출한다. 그로 인해, 용제의 토출과 용제의 흡인 사이에는, 처리액 공급 노즐을 수평 이동시키는 동작이 필요하게 된다.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 용제 등의 사용량을 저감할 수 있고, 청소나 부품 교환을 용이하게 할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다.

즉, 본 발명에 따르는 기판 처리 장치는, 기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과, 기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐과, 복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구와, 파지한 상기 제1 노즐에 상기 제2 처리액을 흡인시키는 흡인부와, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따르는 기판 처리 장치에 의하면, 노즐 이동 기구는, 복수의 제1 노즐 중 어느 하나를 선택적으로 파지하고, 파지한 제1 노즐 및 제2 노즐을 일체적으로 이동시키며, 적어도 제2 노즐을 흡인부에 이동시킨다. 그리고, 이동한 제2 노즐로부터 흡인부에 제2 처리액을 토출시키고, 제2 처리액을 토출한 동일의 흡인부에 체류하는 제2 처리액을, 파지한 제1 노즐에 흡인시킨다. 그로 인해, 동일의 흡인부에서 제2 처리액의 토출과 흡인을 행하므로, 제2 처리액의 사용량을 억제할 수 있다. 또, 흡인부에는, 제2 처리액을 공급하는 공급 계통이 설치되지 않아도 된다. 그로 인해, 흡인부의 구조를 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 흡인부는, 복수의 상기 제1 노즐보다 적은 개수로 설치되고, 상기 제어부는, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 어느 한 상기 흡인부에 적어도 상기 제2 노즐을 이동시키는 것이 바람직하다. 즉, 흡인부는, 복수의 제1 노즐에서 공유하는 구성으로 되어 있다. 복수의 제1 노즐과 같은 수의 흡인부를 설치하지 않으므로, 흡인부의 구조가 더 심플해진다. 그로 인해, 비용을 억제할 수 있다. 또, 복수의 제1 노즐과 같은 수의 흡인부를 설치하지 않으므로, 흡인부의 청소를 용이하게 할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제1 노즐을 대기시키는 노즐 대기부를 더 구비하고, 상기 흡인부는, 상기 노즐 대기부와 분리하여 설치되어 있는 것이 바람직하다. 흡인부는, 복잡하게 얽힌 노즐 대기부와 분리하여 설치되어 있으므로, 흡인부의 청소를 용이하게 할 수 있다. 또, 노즐 대기부를 장착한 상태로 흡인부를 청소 등을 위해 떼어낼 수 있으므로, 부품 교환이 용이하다. 또, 상기 서술한 바와 같이, 흡인부에는, 제2 처리액이 제2 노즐로부터 공급되므로, 흡인부에는, 제2 처리액을 공급하는 공급 계통을 설치하지 않아도 된다. 그로 인해, 부품 교환시에, 공급 계통의 배관을 떼어내는 작업이 생략되므로, 부품 교환을 용이하게 행할 수 있다. 또, 일체의 복잡한 구조에 대해, 노즐 대기부 및 흡인부의 각각의 구조를 더 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치의 일례는, 기판을 유지하고 회전시키는 복수의 유지 회전부를 더 구비하고, 상기 흡인부는, 복수의 상기 유지 회전부 중 서로 이웃하는 2개의 상기 유지 회전부의 사이에 설치되어 있는 것이다. 흡인부까지의 접근이 좋은 효과가 있다. 예를 들어, 노즐 이동 기구에 의해, 한쪽의 기판(유지 회전부)으로부터 다른쪽의 기판(유지 회전부)에, 기판 처리에 사용 중의 제1 노즐을 이동시킨다고 한다. 이때에, 대기 중의 다른 제1 노즐로의 흡인 동작을 효율적으로 행할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치의 일례는, 상기 제어부는, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 그 이동 후에, 파지한 상기 제1 노즐, 상기 제2 노즐 및 상기 흡인부의 위치를 고정한 상태로, 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 것이다. 이것에 의해, 파지한 제1 노즐, 제2 노즐 및 흡인부의 위치를 고정시킨 상태로, 제2 처리액의 토출과 흡인을 행하므로, 흡인 동작을 효율적으로 행할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 흡인부는, 상기 제2 노즐로부터 토출되는 제2 처리액을 받는 받이 용기와, 상기 받이 용기와 개별적으로 설치되고, 상기 받이 용기와 연통하는 체류 용기를 가지며, 상기 제어부는, 상기 제2 노즐로부터 상기 받이 용기에 상기 제2 처리액을 토출시키고, 상기 체류 용기에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 것이 바람직하다. 제2 노즐로부터 제2 처리액을 받는 받이 용기와, 제1 노즐에 제2 처리액을 흡인하는 체류 용기를 개별의 용기로 한다. 이것에 의해, 제2 노즐에 의한 제2 처리액의 토출시에, 제2 처리액의 튀어오름이 제1 노즐에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또, 충분한 양의 제2 처리액이 체류 용기에 모일 때까지의 시간을 단축시켜, 제2 처리액의 사용량을 억제할 수 있다. 또한, 제2 처리액의 튀어오름이 제1 노즐에 부착되면, 부착된 제2 처리액의 액체 방울이 기판 상에 낙하할 우려가 생긴다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치의 일례는, 상기 제어부는, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제어부는, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 파지한 상기 제1 노즐을 적어도 수평 이동시키고, 이 상기 제1 노즐의 이동 후에, 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 것이다. 이것에 의해, 예를 들어, 흡인부를 보다 소형으로 구성할 수 있고, 흡인부의 구조를 더 심플하게 할 수 있으며, 비용을 억제할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제1 처리액의 일례는, 기판 상에 도막을 형성하기 위한 도포액이다. 이것에 의해, 도포액을 토출하는 제1 노즐에 흡인시키는 제2 처리액의 사용량을 저감할 수 있다. 또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제2 처리액의 일례는, 용제이다. 이것에 의해, 흡인시키는 용제의 사용량을 저감할 수 있다.

또, 본 발명에 따르는 기판 처리 장치의 제어 방법은, 기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과, 기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐을 구비한 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을 흡인부에 이동시키는 공정과, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키는 공정과, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따르는 기판 처리 장치의 제어 방법에 의하면, 노즐 이동 기구는, 복수의 제1 노즐 중 어느 하나를 선택적으로 파지하고, 파지한 제1 노즐 및 제2 노즐을 일체적으로 이동시키며, 적어도 제2 노즐을 흡인부에 이동시킨다. 그리고, 이동한 제2 노즐로부터 흡인부에 제2 처리액을 토출시키며, 제2 처리액을 토출한 동일의 흡인부에 체류하는 제2 처리액을, 파지한 제1 노즐에 흡인시킨다. 그로 인해, 동일의 흡인부에서 제2 처리액의 토출과 흡인을 행하므로, 제2 처리액의 사용량을 억제할 수 있다. 또, 흡인부에는, 제2 처리액을 공급하는 공급 계통을 설치하지 않아도 된다. 그로 인해, 흡인부의 구조를 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

본 발명에 따르는 기판 처리 장치 및 그것의 제어 방법에 의하면, 노즐 이동 기구는, 복수의 제1 노즐 중 어느 하나를 선택적으로 파지하고, 파지한 제1 노즐 및 제2 노즐을 일체적으로 이동시키며, 적어도 제2 노즐을 흡인부에 이동시킨다. 그리고, 이동한 제2 노즐로부터 흡인부에 제2 처리액을 토출시키며, 제2 처리액을 토출한 동일의 흡인부에 체류하는 제2 처리액을, 파지한 제1 노즐에 흡인시킨다. 그로 인해, 동일의 흡인부에서 제2 처리액의 토출과 흡인을 행하므로, 제2 처리액의 사용량을 억제할 수 있다. 또, 흡인부에는, 제2 처리액을 공급하는 공급 계통을 설치하지 않아도 된다. 그로 인해, 흡인부의 구조를 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

도 1은 실시예에 따르는 도포 장치의 블럭도이다.
도 2는 실시예에 따르는 도포 장치의 평면도이다.
도 3의 (a)는, 도포액 노즐과, 용제 노즐과, 종단면으로 나타낸 용제 흡인부의 관계를 설명하기 위한 도이고, (b)는, 용제 흡인부의 평면도이다.
도 4의 (a)~(c)는, 토출 흡인 동작을 설명하기 위한 도이다.
도 5는 변형예에 따르는 용제 흡인부를 도시하는 평면도이다.
도 6은 변형예에 따르는 3개의 유지 회전부와 2개의 용제 흡인부를 도시하는 평면도이다.
도 7은 변형예에 따르는 대기 포트와 용제 흡인부를 도시하는 평면도이다.
도 8의 (a)는, 변형예에 따르는 용제의 토출 동작을 도시하는 도이고, (b)는, 변형예에 따르는 용제의 흡인 동작을 도시하는 도이다.
도 9의 (a)는, 변형예에 따르는 용제의 토출 동작을 도시하는 도이고, (b)는, 변형예에 따르는 용제의 흡인 동작을 도시하는 도이다.
도 10은 종래의 도포 노즐과, 종단면으로 나타낸 대기 포트의 관계를 설명하기 위한 도이다.
도 11은 종래의 대기 포트를 도시하는 평면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 도 1은, 실시예에 따르는 도포 장치의 블럭도이며, 도 2는, 실시예에 따르는 도포 장치의 평면도이다. 도 3(a)는, 도포액 노즐과, 용제 노즐과, 종단면으로 나타낸 용제 흡인부의 관계를 설명하기 위한 도이고, 도 3(b)는, 용제 흡인부의 평면도이다.

도 1, 도 2를 참조한다. 도포 장치(1)는, 대략 수평 자세로 기판(W)을 유지하고 회전시키는 유지 회전부(2)를 구비하고 있다. 또, 도포 장치(1)는, 기판(W)에 대해 도포액을 토출하는 도포액 노즐(3)과, 기판(W)에 대해 용제를 토출하는 용제 노즐(4)과, 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구(5)를 구비하고 있다.

도포액은, 기판(W) 상에 도막을 형성하기 위한 것이다. 도포액은, 포토레지스트액, SOG(Spin on glass coating)액, SOD(Spin on dielectric coating)액, 폴리이미드 수지액 등이 이용된다. 용제는, 예를 들어 시너가 이용된다. 또한, 도포액 노즐(3)은, 본 발명의 제1 노즐에 상당하고, 용제 노즐(4)은, 본 발명의 제2 노즐에 상당한다. 도포액은, 본 발명의 제1 처리액에 상당하고, 용제는, 본 발명의 제2 처리액에 상당한다.

유지 회전부(2)는, 예를 들어 진공 흡착에 의해 기판(W)의 이면을 유지하는 스핀 척(7)과, 스핀 척(7)을 대략 수직 방향의 회전축(AX) 둘레로 회전시키는, 모터 등으로 구성된 회전 구동부(9)를 구비하고 있다. 유지 회전부(2)의 둘레에는, 기판(W)의 측방을 둘러싸도록, 상하 이동 가능한 컵(11)이 설치되어 있다.

도포액 노즐(3)에는, 도포액 공급원(13)으로부터 도포액 배관(15)을 통해 도포액이 공급된다. 도포액 배관(15)에는, 석백 밸브(SV)와 개폐 밸브(V1)와 펌프(P1)가 개재하고 있다. 개폐 밸브(V1)는 도포액의 공급과 그 정지를 행하고, 석백 밸브(SV)는 개폐 밸브(V1)의 동작과 조합하여, 도포액 노즐(3) 내의 도포액 등을 흡인하며, 또, 흡인한 도포액 등을 밀어 낸다. 펌프(P1)는 도포액을 도포액 노즐(3)에 내보낸다. 또한, 도포액 노즐(3)은, 지지 블록(17)에 착탈 가능하게 지지되어 있다. 또, 도포액 노즐(3)이 복수인 경우는, 각각의 도포액 노즐(3)은, 도포액 공급원(13), 도포액 배관(15), 개폐 밸브(V1), 석백(suck back) 밸브(SV) 및 펌프(P1) 등의 공급 계통을 구비하고 있다.

용제 노즐(4)에는, 용제 공급원(19)으로부터 용제 배관(21)을 통해 용제가 공급된다. 용제 배관(21)에는, 개폐 밸브(V2)와 펌프(P2)가 개재하고 있다. 개폐 밸브(V2)는 용제의 공급과 그 정지를 행하고, 펌프(P2)는 용제를 용제 노즐(4)에 내보낸다. 용제는, 예를 들어 프리웨트 처리로 이용된다. 즉, 프리웨트 처리는, 용제 노즐(4)에 의해 용제를 기판(W)에 토출하고, 토출되어 기판(W) 상에 도착한 용제를 기판(W)의 회전에 의해 기판(W)의 대략 전면에 펼친다. 그 후, 도포액 노즐(3)에 의해 포토레지스트를 기판(W)에 토출한다. 이것에 의해, 포토레지스트의 막을 재빠르고 균일하게 도포할 수 있다.

또, 용제 노즐(4)은, 노즐 이동 기구(5)에 장착되어 있다(고정되어 있다). 예를 들어, 도 1~도 3과 같이, 단일의 용제 노즐(4)이, 후술하는 파지부(23)에 장착되어 있다. 또, 복수의 용제 노즐(4)이 1열로 나열되어 장착되어 있어도 된다.

노즐 이동 기구(5)는, 도 2와 같이, 도포액 노즐(3)을 파지하는 파지부(그리퍼)(23)와, 파지부(23)를 제1 방향(X방향)으로 수평 이동시키는 제1 수평 이동부(25)를 구비하고 있다. 또, 노즐 이동 기구(5)는, 제1 방향과 대략 직교하는 제2 방향(Y방향)으로 파지부(23)를 수평 이동시키는 제2 수평 이동부(27)와, 파지부(23)를 상하 방향(Z방향)으로 이동시키는 상하 이동부(29)를 구비하고 있다.

예를 들어, 파지부(23)는, 제1 수평 이동부(25)에 의해 제1 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 제1 수평 이동부(25)는, 상하 이동부(29)에 의해 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 상하 이동부(29)는, 제2 수평 이동부(27)에 의해 제2 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 파지부(23), 제1 수평 이동부(25), 제2 수평 이동부(27) 및 상하 이동부(29)는, 모터나 에어 실린더 등으로 구동된다. 또한, 노즐 이동 기구(5)는, 제1 수평 이동부(25) 및 제2 수평 이동부(27) 중 적어도 어느 하나를 대신하여, 수평 다관절 아암을 구비하고 있어도 된다.

도포액 노즐(3)은, 예를 들어 10개(복수) 설치되어 있다. 노즐 이동 기구(5)는, 기판(W)에 대해 도포액을 도포하는 경우, 10개의 도포액 노즐(3) 중 어느 1개를 선택적으로 파지하고, 파지한 1개의 도포액 노즐(3)을, 용제 노즐(4)과 더불어 기판(W)의 상방으로 이동시킨다. 또, 노즐 이동 기구(5)는, 기판(W)에 대해 도포액을 도포하지 않는 경우, 통상, 도포액 노즐(3)을 대기 포트(31)에 이동시킨다.

대기 포트(31)는, 도포액 노즐(3)을 대기시키는 것이며, 도포액 노즐(3)을 수용할 수 있게 되어 있다. 대기 포트(31)는, 복수의 도포액 노즐(3)의 각각에 설치된다. 예를 들어, 도포 장치(1)가 10개의 도포액 노즐(3)을 구비하는 경우, 대기 포트(31)는, 10개 설치된다. 대기 포트(31) 내에서는, 대기된 도포액 노즐(3)로부터 도포액을 더미 디스펜스할 수 있게 되어 있고, 도시하지 않은 폐액 회수부가 설치되어 있다.

도 2와 같이, 유지 회전부(2)는, 예를 들어 2개(복수) 설치되어 있다. 또한, 유지 회전부(2)는, 단일로 구성되어 있어도 된다. 10개의 대기 포트(31)는, 대기 포트 이동 기구(33)에 의해, 2개의 유지 회전부(2)가 배치되는 제1 방향(X방향)을 따라, 일체적으로 이동할 수 있게 되어 있다. 대기 포트 이동 기구(33)는, 예를 들어, 파지부(23)의 근처에 위치하도록, 파지부(23)의 위치에 의거하여 이동하게 되어 있다. 또, 대기 포트 이동 기구(33)는, 모터 등으로 구동된다.

또한, 대기 포트(31)는, 본 발명의 노즐 대기부에 상당한다. 또, 복수의 대기 포트(31)의 집합체는 이동하지 않고, 미리 설정된 위치에 고정되어 있어도 된다. 또, 복수의 대기 포트(31)는, 서로 분리되어 있으나, 서로 분리하지 않고, 일체적으로 설치되어도 된다.

대기 포트(31)에 대기 중의 도포액 노즐(3)은, 소정 기간 사용하지 않는 경우, 도포액 노즐(3) 내의 도포액의 건조 고체화를 방지하기 위해, 더미 디스펜스가 행해진다. 그러나, 더미 디스펜스의 횟수가 많으면 도포액을 낭비한다. 그래서, 도포액 노즐(3)의 선단 내부에 용제를 흡인하여 용제로 덮어, 더미 디스펜스의 횟수를 저감하고 있다. 도포 장치(1)는, 노즐 이동 기구(5)로 파지한 도포액 노즐(3)에 용제를 흡인시키기 위한 용제 흡인부(35)를 구비하고 있다.

용제 흡인부(35)는, 도 10과 같이, 대기 포트(31)와 일체적이 아니며, 도 2와 같이, 대기 포트(31)와 분리하여 설치되어 있다. 또, 용제 흡인부(35)는, 서로 이웃하는 2개의 유지 회전부(2)의 사이(구체적으로는 2개의 유지 회전부(2) 및 대기 포트(31)의 사이)에 1개 배치되어 있다. 즉, 용제 흡인부(35)는, 10개(복수)의 대기 포트(31)에 대해 1개 설치되어 있다. 또한, 용제 흡인부(35)는, 본 발명의 흡인부에 상당한다.

용제 흡인부(35)의 구체적인 구성을 설명한다. 용제 흡인부(35)는, 도 3(a), 도 3(b)와 같이, 용제 노즐(4)로부터 토출되는 용제를 받는 받이 용기(41)와, 받이 용기(41)와 개별적으로 설치되고, 받이 용기(41)와 연통하는 체류 용기(43)를 구비하고 있다. 체류 용기(43)는, 도포액 노즐(3)을 수용하고, 용제를 체류시켜 도포액 노즐(3)에 용제를 흡인시키기 위한 것이다. 받이 용기(41)에 쏟아진 용제는, 받이 용기(41)와 연통하는 체류 용기(43)에 흘러든다.

받이 용기(41)의 바닥부와 체류 용기(43)의 바닥부는, 연통관(45)으로 연결되고, 용제가 자유롭게 흐르도록 구성되어 있다. 또, 연통관(45)은, 배출구(47)에도 연결된다. 연통관(45)은, 받이 용기(41)측의 배관(45a)과, 체류 용기(43)측의 배관(45b)과, 배출구(47)측의 배관(45c)을 구비하고 있다. 받이 용기(41)에 쏟아진 용제를 체류 용기(43)에 일시적으로 체류시키기 위해, 개폐 밸브를 설치하지 않고, 배관(45c)을, 배관(45b)보다 용제를 흐르기 어렵게 하고 있다. 이것에 의해, 체류 용기(43)에 용제를 오버플로우시켜, 체류 용기(43)에 용제를 비교적 평온하게 체류시킨다. 체류한 용제에 의해, 도포액 노즐(3) 내에 용제를 흡인할 수 있음과 더불어, 도포액 노즐(3)의 내외를 세정할 수 있다.

또한, 배출구(47)로부터 흘러나온 용제는, 용제 흡인부(35)의 하부에 설치된 폐액 회수부(49)에 의해 회수되도록 구성된다. 또한, 받이 용기(41)의 바닥부(41a)는, 연통관(45)을 향해 수평면에 대해 경사져 있다. 이것에 의해, 용제를 연통관(45)에 효율적으로 보낼 수 있음과 더불어, 받이 용기(41)에 도달한 용제의 튀어오름을 방지하고 있다.

도 1로 돌아온다. 도포 장치(1)는, 중앙 연산 처리 장치(CPU) 등으로 구성된 제어부(51)와, 도포 장치(1)를 조작하기 위한 조작부(53)를 구비하고 있다. 제어부(51)는, 도포 장치(1)의 각 구성을 제어한다. 조작부(53)는, 액정 모니터 등의 표시부와, ROM(Read-only Memory), RAM(Random-Access Memory), 및 하드 디스크 등의 기억부와, 키보드, 마우스, 및 각종 버튼 등의 입력부를 구비하고 있다. 기억부에는, 도포 처리의 각종 조건 등이 기억되어 있다.

예를 들어, 제어부(51)는, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 파지한 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 용제 흡인부(35)에 이동시킨다. 그 이동 후에, 제어부(51)는, 파지한 도포액 노즐(3), 용제 노즐(4) 및 용제 흡인부(35)의 위치(적어도 수평 위치)를 고정한 상태로, 용제 노즐(4)로부터 용제 흡인부(35)의 받이 용기(41)에 용제를 토출시킨다. 그리고, 제어부(51)는, 용제를 토출한 용제 흡인부(35)의 체류 용기(43)에 체류하는 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다.

다음에, 도포 장치(1)의 일동작예를 설명한다. 여기에서는, 도 2와 같이, 예를 들어 2장의 기판(WA, WB)을 차례로 연속하여 도포 처리할 때에, 2장의 기판(WA, WB)(혹은 2개의 유지 회전부(2A, 2B))의 사이를 이동한다. 이 이동의 도중에 있어서, 흡인 동작할 필요가 있는 대기 중의 제2 도포액 노즐(3B)이 있는 경우에, 제2 도포액 노즐(3B)에 용제의 흡인 동작을 행한다. 흡인 동작은, 예를 들어, 도포액 노즐(3)로부터의 도포액 등의 토출 후, 소정 시간 경과한 경우에 필요하게 된다.

도 2를 참조한다. 제1 유지 회전부(2A)에 유지된 기판(WA)에 대해 도포액의 도포 종료 후, 노즐 이동 기구(5)는, 기판(WA)의 상방으로부터 제1 대기 포트(31A) 상방의 소정 위치에 제1 도포액 노즐(3A)을 이동시킨다. 그 후, 노즐 이동 기구(5)는, 제1 도포액 노즐(3A)을 하강시키고, 파지부(23)에 의해 제1 도포액 노즐(3A)의 파지를 해방한다. 이것에 의해, 제1 도포액 노즐(3A)은, 제1 대기 포트(31A)에 대기된다.

노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)를 상승시키고, 흡인 동작이 필요한 제2 도포액 노즐(3B) 상방의 소정 위치까지 수평 이동한다. 그 후, 노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)를 하강시키고, 파지부(23)로 제2 도포액 노즐(3B)을 파지시킨다. 또한, 제2 도포액 노즐(3B)에 대해 더미 디스펜스가 필요한 경우는, 제2 대기 포트(31B)로부터 이동하기 전에, 제2 도포액 노즐(3B) 내의 도포액이나, 이전에 흡인한 용제를 토출해 둔다.

제2 도포액 노즐(3B)의 파지 후, 노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)로 파지된 제2 도포액 노즐(3B)을 상승시키고, 제2 도포액 노즐(3B)을 용제 흡인부(35) 상방의 소정 위치에 이동시킨다. 노즐 이동 기구(5)는, 제2 도포액 노즐(3B)을 하강시키고, 도 3(a)와 같이, 제2 도포액 노즐(3B)을 소정 높이에 배치시킨다.

도 4(a)~도 4(c)는, 토출 흡인 동작을 설명하기 위한 도이다. 본 실시예에서는, 제어부(51)는, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 파지한 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 용제 흡인부(35)에 이동시킨다. 그 이동 후에, 제어부(51)는, 파지한 도포액 노즐(3), 용제 노즐(4) 및 용제 흡인부(35)의 위치(적어도 수평 위치)를 고정한 상태로, 용제 노즐(4)에 의해 용제 흡인부(35)의 받이 용기(41)에 용제를 토출시키고, 용제를 토출한 동일의 용제 흡인부(35)의 체류 용기(43)에 체류하는 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다.

또한, 파지한 도포액 노즐(3), 용제 노즐(4) 및 용제 흡인부(35)의 수평 위치의 고정은, 대략 고정이어도 된다.

도 4(a)에 있어서, 용제 흡인부(35)에는, 도포액 노즐(3)과 용제 노즐(4)이 수용되어 있다. 또한, 용제 노즐(4)은, 용제 흡인부(35)에 수용되지 않고, 용제 흡인부(35)의 상방에 배치되어 있어도 된다. 용제 노즐(4)에 의해, 용제 흡인부(35)의 받이 용기(41)에 대해 용제를 토출한다. 받이 용기(41)에 토출된 용제는, 연통관(45)을 통해, 체류 용기(43)에 유입한다. 배관(45c)은, 배관(45b)보다 용제를 흐르기 어렵게 하고 있다. 그로 인해, 체류 용기(43)에 용제를 오버플로우시켜, 체류 용기(43)에 용제를 비교적 평온하게 체류시킨다. 이것에 의해, 도 4(b)와 같이, 제2 도포액 노즐(3B)의 선단 부분이 용제에 잠긴다. 그로 인해, 제2 도포액 노즐(3B)의 외측면이 용제에 의해 세정된다.

또한, 도 4(a)와 같이, 도포액 노즐(3)의 선단 내부에는, 공기 등의 기체층(L2)이 형성되어 있다. 기판(W) 또는 대기 포트(31) 등에 도포액을 토출한 후, 도포액의 액 누설 방지를 위해, 석백 밸브(SV)에 의해, 도포액 노즐(3)의 선단 내부의 도포액이 안쪽으로 흡인되고 있다. 이것에 의해, 기체층(L2)이 형성되어 있다.

도 4(b)의 상태에서, 제2 도포액 노즐(3B)로의 흡인 동작이 행해진다. 즉, 석백 밸브(SV)를 구동시킴으로써, 제2 도포액 노즐(3B)에 용제를 흡인시킨다. 이것에 의해, 제2 도포액 노즐(3B)의 선단 내부에서 건조한 도포액을 용해시킬 수 있다. 또, 제2 도포액 노즐(3B)이 용제로 덮이므로, 도포액의 건조를 방지할 수 있다.

체류 용기(43) 내에서는, 일시적으로, 제2 도포액 노즐(3B)이 용제에 잠긴 상태가 된다. 그러나, 도 4(c)와 같이, 배출구(47)를 통해 용제가 배출하므로, 이윽고, 모든 용제가 배출구(47)에 의해 배출된다. 제2 도포액 노즐(3B)에는, 토출구(55)로부터 차례로, 용제층(L3), 기체층(L2), 도포액층(L1)이 형성된다.

제2 도포액 노즐(3B)로의 흡인 동작 후, 도 2에 있어서, 노즐 이동 기구(5)는, 제2 도포액 노즐(3B)을 상승시키고, 용제 흡인부(35)의 상방으로부터 제2 대기 포트(31B) 상방의 소정 위치까지 수평 이동시킨다. 그 후, 노즐 이동 기구(5)는, 제2 도포액 노즐(3B)을 하강시키고, 파지부(23)에 의해 제2 도포액 노즐(3B)의 파지를 해방한다. 이것에 의해, 제2 도포액 노즐(3B)은, 제2 대기 포트(31B)에 대기된다.

제2 도포액 노즐(3B)을 제2 대기 포트(31B)에 대기시킨 후, 기판(WB)으로의 도포 처리를 재개한다. 노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)를 상승키기고, 제2 대기 포트(31B)의 상방으로부터 제1 대기 포트(31A)의 상방의 소정 위치까지 파지부(23)를 이동시킨다. 이동 후, 노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)를 하강시키고, 파지부(23)로 제1 도포액 노즐(3A)을 파지한다. 그 후, 노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)로 파지한 제1 도포액 노즐(3A)을 상승시키고, 제1 대기 포트(31A)의 상방으로부터 기판(WB) 상방의 소정 위치까지 제1 도포액 노즐(3A)을 이동시키며 도포 처리를 행한다.

본 실시예에 의하면, 노즐 이동 기구(5)는, 복수의 도포액 노즐(3) 중 어느 하나를 선택적으로 파지하고, 파지한 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 일체적으로 이동시키며, 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 용제 흡인부(35)에 이동시킨다. 그리고, 이동한 용제 노즐(4)로부터 용제 흡인부(35)에 용제를 토출시키고, 용제를 토출한 동일의 용제 흡인부(35)에 체류하는 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다. 그로 인해, 동일의 용제 흡인부(35)에서 용제의 토출과 흡인을 행하므로, 용제의 사용량을 억제할 수 있다. 또, 용제 흡인부(35)에는, 용제를 공급하는 공급 계통을 설치하지 않아도 된다. 그로 인해, 용제 흡인부(35)의 구조를 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

또, 용제 흡인부(35)는, 단체로 설치되어 있다. 즉, 용제 흡인부(35)는, 10개의 도포액 노즐(3)에서 공유하는 구성으로 되어 있다. 10개의 도포액 노즐(3)과 같은 수의 용제 흡인부(35)를 설치하지 않으므로, 용제 흡인부(35)의 구조가 더 심플해진다. 그로 인해, 비용을 억제할 수 있다. 또, 10개의 도포액 노즐(3)과 같은 수의 용제 흡인부(35)를 설치하지 않으므로, 용제 흡인부(35)의 청소를 용이하게 할 수 있다.

또, 도포 장치(1)는, 도포액 노즐(3)을 대기시키는 대기 포트(31)를 구비하고, 용제 흡인부(35)는, 대기 포트(31)와 분리하여 설치되어 있다. 용제 흡인부(35)는, 복잡하게 얽힌 대기 포트(31)와 분리하여 설치되어 있으므로, 용제 흡인부(35)의 청소를 용이하게 할 수 있다. 또, 대기 포트(31)를 장착한 상태로 용제 흡인부(35)를 청소 등을 위해 떼어낼 수 있으므로, 부품 교환이 용이하다. 또, 상기 서술한 바와 같이, 용제 흡인부(35)에는, 용제가 용제 노즐(4)로부터 공급되므로, 용제 흡인부(35)에는, 용제를 공급하는 공급 계통을 설치하지 않아도 된다. 그로 인해, 부품 교환시에, 공급 계통의 배관을 떼어내는 작업이 생략되므로, 부품 교환을 용이하게 행할 수 있다. 또, 일체의 복잡한 구조에 대해, 대기 포트(31) 및 용제 흡인부(35)의 각각의 구조를 더 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

또, 도포 장치(1)는, 기판(W)을 유지하고 회전시키는 2개의 유지 회전부(2)를 구비하고, 용제 흡인부(35)는, 2개의 유지 회전부(2) 중 서로 이웃하는 2개의 유지 회전부(2)의 사이에 설치되어 있다. 이것에 의해, 용제 흡인부(35)까지의 접근이 좋은 효과가 있다. 예를 들어, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 한쪽의 기판(WA)(제1 유지 회전부(2A))으로부터 다른쪽의 기판(WB)(제2 유지 회전부(2B))에, 기판 처리에 사용 중의 제1 도포액 노즐(3A)을 이동시킨다고 한다. 이때에, 대기 중의 다른 제2 도포액 노즐(3B)로의 흡인 동작을 효율적으로 행할 수 있다.

또, 용제 흡인부(35)는, 용제 노즐(4)로부터 토출되는 용제를 받는 받이 용기(41)와, 받이 용기(41)와 개별적으로 설치되고, 받이 용기(41)와 연통하는 체류 용기(43)를 구비하고 있다. 그리고, 제어부(51)는, 용제 노즐(4)로부터 받이 용기(41)에 용제를 토출시키고, 체류 용기(43)에 체류한 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다. 용제 노즐(4)로부터 용제를 받는 받이 용기(41)와, 도포액 노즐(3)에 용제를 흡인시키는 체류 용기(43)를 개별의 용기로 한다. 이것에 의해, 용제 노즐(4)에 의한 용제의 토출시에, 용제의 튀어오름이 도포액 노즐(3)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또, 체류 용기(43)에 용제를 모으기 쉽게 할 수 있다. 그로 인해, 충분한 양의 용제가 체류 용기(43)에 모일 때까지의 시간을 단축시키고, 용제의 사용량을 억제할 수 있다. 또한, 용제의 튀어오름이 도포액 노즐(3)에 부착되면, 부착된 용제의 액체 방울이 기판(W) 상에 낙하할 우려가 생긴다.

또, 제어부(51)는, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 용제 흡인부(35)에 이동시키고, 그 이동 후에, 파지한 도포액 노즐(3), 용제 노즐(4) 및 용제 흡인부(35)의 위치를 고정한 상태로, 용제 노즐(4)로부터 용제 흡인부(35)에 용제를 토출시키며, 용제 흡인부(35)에 체류하는 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다. 이것에 의해, 파지한 도포액 노즐(3), 용제 노즐(4) 및 용제 흡인부(35)의 위치를 고정시킨 상태로, 용제의 토출과 흡인을 행하므로, 흡인 동작을 효율적으로 행할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정될 일은 없으며, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 상기 서술한 실시예에서는, 용제 노즐(4)은, 노즐 이동 기구(5)에 장착되어 있다. 이 점, 예를 들어, 노즐 이동 기구(5)는, 용제 노즐(4)을 파지 가능한 기구를 구비하고, 용제 노즐(4)을 노즐 이동 기구(5)에 장착해도 된다. 이 경우, 노즐 이동 기구(5)는, 파지부(23)와 도포액 노즐(3)을 파지하고, 또한, 도시하지 않은 파지부로 용제 노즐(4)을 파지한다.

(2) 상기 서술한 실시예 및 변형예(1)에서는, 도 2와 같이, 용제 흡인부(35)는, 서로 이웃하는 2개의 유지 회전부(2)의 사이에 1개 설치되어 있다. 이 점, 예를 들어, 용제 흡인부(35)는, 예를 들어 10개(복수)의 도포액 노즐(3)과 같은 수의 10개로 설치되어 있어도 된다. 용제 흡인부(35)가 복수인 경우는, 도 5와 같이, 용제 흡인부(35)의 각 체류 용기(43)에 공급되는 용제는, 다른 체류 용기(43)에 공급되지 않도록 구성된다. 그로 인해, 각 체류 용기(43)에는, 선택적으로, 용제 노즐(4)로부터 용제가 공급된다.

이 경우, 제어부(51)는, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 10개의 용제 흡인부(35) 중 어느 한 동일의 용제 흡인부(35)에, 파지한 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)을 이동시킨다. 흡인 동작은, 동일의 용제 흡인부(35)에서 용제의 토출 및 흡인이 행해진다.

또, 용제 흡인부(35)는, 예를 들어 10개의 도포액 노즐(3)보다 적은 개수(복수)로 설치되어도 된다. 10개의 도포액 노즐(3)과 같은 수의 용제 흡인부(35)를 설치하지 않으므로, 용제 흡인부(35)의 구조가 심플해지므로 고비용을 억제할 수 있다. 또, 10개의 도포액 노즐(3)과 같은 수의 용제 흡인부(35)를 설치하지 않으므로, 용제 흡인부(35)의 체류 용기(43)의 청소를 용이하게 할 수 있다. 또한, 복수의 용제 흡인부(35)는, 개개로 분리하여 설치되어 있는 것이 바람직하나, 일체적인 구조여도 된다.

(3) 상기 서술한 실시예 및 각 변형예에서는, 용제 흡인부(35)는, 도 2에 있어서, 서로 이웃하는 2개의 유지 회전부(2)의 사이에 1개 설치되어 있었다. 이 점, 도 6과 같이, 예를 들어, 유지 회전부(2)가 3개로 구성되는 경우, 제1 유지 회전부(2A)와 제2 유지 회전부(2B)의 사이에, 제1 용제 흡인부(35A)가 1개 설치되고, 또한, 제2 유지 회전부(2B)와 제3 유지 회전부(2C)의 사이에, 제2 용제 흡인부(35B)가 1개 설치되어도 된다. 즉, 용제 흡인부(35)는, 2개소(복수 개소)로 나누어져 설치되어 있어도 된다.

또, 각각의 위치에 있어서, 제1 용제 흡인부(35A) 및 제2 용제 흡인부(35B)는, 10개의 도포액 노즐(3)과 같은 수인 10개, 혹은 10개의 도포액 노즐(3)보다 적은 개수(복수)로 설치되어도 된다. 또한, 유지 회전부(2)가 4개 이상으로 구성되는 경우도 마찬가지이다. 또, 도 6에 있어서, 3개의 유지 회전부(2A~2C)에 대해, 용제 흡인부(35)는 1개소에 설치되어도 된다.

(4) 상기 서술한 실시예 및 각 변형예에서는, 용제 흡인부(35)는, 도 2에 있어서, 서로 이웃하는 2개의 유지 회전부(2)의 사이에 설치되어 있었다. 이 점, 용제 흡인부(35)는, 도 7은, 대기 포트(31)와 인접하여 설치되고, 대기 포트 이동 기구(33)에 의해, 복수의 대기 포트(31)의 집합체와 일체적으로 이동해도 된다. 또한, 이 경우에서도, 용제 흡인부(35)는, 대기 포트(31)와 분리하여 설치되고, 부품 교환을 용이하게 행할 수 있다.

(5) 상기 서술한 실시예 및 각 변형예에서는, 용제 흡인부(35)는, 도 3(a), 도 3(b)와 같이, 받이 용기(41)와 체류 용기(43)의 2개의 용기를 구비하고 있었다. 이 점, 용제 노즐(4)로부터의 용제의 튀어오름 등의 영향이 거의 없는 경우는, 체류 용기는, 받이 용기(41)와 체류 용기(43)를 겸하는 1개의 용기여도 된다.

(6) 상기 서술한 실시예 및 각 변형예에서는, 도 4(a)~도 4(c)와 같이, 파지한 도포액 노즐(3), 용제 노즐(4) 및 용제 흡인부(35)의 위치(적어도 수평 방향의 위치)를 고정한 상태로, 용제의 흡인 동작을 행하고 있었다. 그러나, 필요에 의해, 그들의 위치를 고정하지 않고 이동시켜도 된다.

즉, 용제 흡인부(61)는, 도 8(a), 도 8(b)과 같이, 용제를 받아, 일시적으로 용제를 체류하는 단일의 체류 용기(65)를 구비해도 된다. 제어부(51)는, 도 8(a)와 같이, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 용제 노즐(4)을 용제 흡인부(35)(체류 용기(65))에 이동시키고, 이동한 용제 노즐(4)로부터 용제 흡인부(61)에 용제를 토출 시킨다.

제어부(51)는, 도 8(b)와 같이, 용제를 토출한 동일의 용제 흡인부(61)에, 노즐 이동 기구(5)에 의해, 파지한 도포액 노즐(3)을 적어도 수평 이동(예를 들어, 수평 이동＋상하 이동)시킨다. 이 도포액 노즐(3)의 이동 후에, 제어부(51)는, 용제 흡인부(61)에 체류하는 용제를, 파지한 도포액 노즐(3)에 흡인시킨다. 이것에 의해, 용제 흡인부(61)를 보다 소형으로 구성할 수 있다. 그로 인해, 용제 흡인부(61)의 구조를 더 심플하게 할 수 있고, 비용을 억제할 수 있다.

또, 용제 흡인부(71)는, 도 9(a), 도 9(b)와 같은, 용제를 받는 받이 용기(73)와, 용제를 일시적으로 체류하는 체류 용기(75)를 구비해도 된다. 도 9(a), 도 9(b)의 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)은, 동시에, 받이 용기(73) 및 체류 용기(75)로 이동할 수 없다. 그로 인해, 도 8(a), 도 8(b)와 마찬가지로, 용제의 토출과 용제의 흡인의 동작 사이에는, 수평 방향의 노즐 이동 기구(5)에 의한 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)의 수평 이동을 행한다. 또한, 도 8(a), 도 8(b), 도 9(a) 및 도 9(b)에 있어서, 도포액 노즐(3) 및 용제 노즐(4)에 대해, 용제 흡인부(61, 71)를 수평 방향으로 이동시켜도 된다.

(7) 상기 서술한 실시예 및 각 변형예에서는, 체류 용기(43)에 고인 용제를 1회 흡인했으나, 또한, 흡인한 용제를 일부 또는 전부 토해내고, 재차 흡인시켜도 된다. 또, 이 용제의 흡인·토출의 동작을 반복해도 된다. 이것에 의해, 도포액이 용해되어 도포액의 농도가 높은 용제를 토해낼 수 있어, 비교적 신선한 용제를 흡인할 수 있다.

(8) 상기 서술한 실시예 및 각 변형예에서는, 기판 처리 장치로서 도포 장치(1)를 예시했으나, 예를 들어, 현상 장치여도 된다. 이 경우, 실시예의 도포액 노즐(3)은, 현상액을 토출하고, 실시예의 용제 노즐(4)은, 예를 들어 순수를 토출해도 된다.

1: 도포 장치 2: 회전 유지부
3: 도포액 노즐 4: 용제 노즐
5: 노즐 이동 기구 23: 파지부
31: 대기 포트 35, 61, 71: 용제 흡인부
41, 73: 받이 용기 43, 65, 75: 체류 용기
45: 연통관 45a~45c: 배관
47: 배출구 51: 제어부
SV: 석백 밸브

Claims

기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과,
기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐과,
복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구와,
복수의 상기 제1 노즐보다 적은 개수로 설치된 흡인부로서, 파지한 상기 제1 노즐에 상기 제2 처리액을 흡인시키는 상기 흡인부와,
상기 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을 상기 흡인부 중 어느 하나에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과,
기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐과,
복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구와,
상기 제1 노즐을 대기시키는 노즐 대기부와,
상기 노즐 대기부와 분리하여 설치되고, 파지한 상기 제1 노즐에 상기 제2 처리액을 흡인시키는 흡인부와,
상기 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 2에 있어서,
기판을 유지하고 회전시키는 복수의 유지 회전부를 더 구비하고,
상기 흡인부는, 복수의 상기 유지 회전부 중 서로 이웃하는 2개의 상기 유지 회전부의 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과,
기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐과,
복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구와,
기판을 유지하고 회전하는 복수의 유지 회전부와,
복수의 상기 유지 회전부 중 서로 이웃하는 2개의 상기 유지 회전부의 사이에 설치되고, 파지한 상기 제1 노즐에 상기 제2 처리액을 흡인시키는 흡인부와,
상기 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과,
기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐과,
복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구와,
파지한 상기 제1 노즐에 상기 제2 처리액을 흡인시키는 흡인부와,
상기 노즐 이동 기구에 의해, 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 그 이동 후에, 파지한 상기 제1 노즐, 상기 제2 노즐 및 상기 흡인부의 위치를 고정한 상태에서, 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 흡인부는, 상기 제2 노즐로부터 토출되는 제2 처리액을 받는 받이 용기와, 상기 받이 용기와 개별적으로 설치되고, 상기 받이 용기와 연통하는 체류 용기를 가지며,
상기 제어부는, 상기 제2 노즐로부터 상기 받이 용기에 상기 제2 처리액을 토출시키고, 상기 체류 용기에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과,
기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐과,
복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구와,
파지한 상기 제1 노즐에 상기 제2 처리액을 흡인시키는 흡인부로서, 상기 제2 노즐로부터 토출되는 제2 처리액을 받는 받이 용기 및, 상기 받이 용기와 개별적으로 설치되고, 상기 받이 용기와 연통하는 체류 용기를 갖는 상기 흡인부와,
상기 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 받이 용기에 상기 제2 처리액을 토출시키며, 상기 체류 용기에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 상기 제2 노즐을 상기 흡인부에 이동시키고, 이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키며,
상기 제어부는, 상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에, 상기 노즐 이동 기구에 의해, 파지한 상기 제1 노즐을 적어도 수평 이동시키고, 이 상기 제1 노즐의 이동 후에, 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 처리액은 기판 상에 도막을 형성하기 위한 도포액인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제2 처리액은 용제인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
기판에 대해 제1 처리액을 토출하는 복수의 제1 노즐과, 기판에 대해 제2 처리액을 토출하는 제2 노즐을 구비한 기판 처리 장치의 제어 방법으로서,
복수의 상기 제1 노즐 중 어느 하나를 파지하고, 파지한 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐을 일체적으로 이동시키는 노즐 이동 기구에 의해, 적어도 상기 제2 노즐을, 복수의 상기 제1 노즐보다 적은 개수로 설치된 흡인부 중 어느 하나에 이동시키는 공정과,
이동한 상기 제2 노즐로부터 상기 흡인부에 상기 제2 처리액을 토출시키는 공정과,
상기 제2 처리액을 토출한 상기 흡인부에 체류하는 상기 제2 처리액을, 파지한 상기 제1 노즐에 흡인시키는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 제어 방법.
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