JP5844099B2 - 基板処理装置及び処理液付与方法 - Google Patents
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Description
以下、各種変形例について説明する。
30 基板保持部
40 主走査機構
42 主走査機構ガイド部
44 スライダ
50 吐出部
54 ノズル
60 補助走査機構
61 揺動軸
62 補助走査機構ガイド部
63 プレート部
65 補助スライダ
67 アーム部材
80b 塗布液配管
86 エア供給源
88 塗布液供給源
90 制御部
100 可動配管支持部
200 基板
Claims (7)
- 基板を略水平に保持する基板保持部と、
前記基板に対して略平行な主走査方向に沿って延びるガイド部と、前記ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持された移動部と、を有する主走査機構と、
前記ガイド部に沿って延びる補助ガイド部と、前記補助ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持された補助移動部と、を有する補助走査機構と、
前記移動部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持され、前記基板に処理液を吐出する吐出部と、
前記吐出部に接続されるとともに前記吐出部に処理液を導く可撓性の配管と、
前記配管の途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによる前記移動部の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部と、
前記可動配管支持部の向きを調節する駆動部と、
前記移動部と前記補助移動部とを同期させつつ走査移動させるとともに、走査移動される前記移動部および前記補助移動部に追随して前記可動配管支持部の向きが変化するように前記主走査機構、前記補助走査機構および前記駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記配管のうち、前記可動配管支持部による支持箇所と、前記吐出部への接続箇所との間の所定部分が前記補助移動部に支持されている、基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記配管のうち、前記可動配管支持部による支持箇所と、前記吐出部への接続箇所との間の区間が鉛直面内でアーチ形状に形成されている、基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記配管の前記区間は、上に凸のアーチ形状となっている、基板処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板処理装置であって、
前記可動配管支持部が前記補助移動部に連結されていることを特徴とする、基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置であって、
前記配管のうち、前記可動配管支持部による支持箇所と、前記補助移動部への接続箇所との間の区間が鉛直面内でアーチ形状に形成されている、基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板処理装置であって、
前記主走査機構は前記補助走査機構よりも下方に配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を略水平に保持する工程と、
吐出部から処理液を吐出させながら、前記吐出部を支持する移動部を主走査方向に沿って基板上を周期的に走査移動させる工程と、
前記吐出部に前記処理液を導く可撓性の配管の途中の部分を支持する可動配管支持部による支持箇所と、前記配管の前記吐出部への接続箇所との間の所定部分を支持する補助移動部を前記移動部と同期させつつ走査移動させるとともに、走査移動される前記移動部および前記補助移動部に追随して駆動部が前記可動配管支持部の向きを周期的に変化させる工程と、
を備える処理液付与方法。
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