JP2011072974A

JP2011072974A - 塗布装置

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Publication number: JP2011072974A
Application number: JP2009230345A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Takamura; 幸宏高村; Mikio Masuichi; 幹雄増市; Michifumi Kawagoe; 理史川越; Yayoi Shibafuji; 弥生芝藤; Takeshi Matsuka; 毅松家; Shuichi Sagara; 秀一相良
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2009-10-02
Filing date: 2009-10-02
Publication date: 2011-04-14

Abstract

【課題】配管の揺れによる吐出部の揺れを抑制すること。
【解決手段】基板に塗布液を塗布する塗布装置２０であり、基板を保持する基板保持部と、基板に対して略平行な主走査方向Ｘに沿って延びる主走査方向ガイド部４２と、主走査方向ガイド部４２との間にエア層を介在させた状態で、主走査方向ガイド部４２により主走査方向Ｘに沿って移動可能に支持されたスライダ４４とを有する主走査機構と、スライダ４４により主走査方向Ｘに沿って移動可能に支持され、基板に対して塗布液を吐出する吐出部５０とを備えている。また、主走査方向Ｘに沿って吐出部５０の移動に追従して移動可能な配管支持部材６０が設けられ、配管８０は、途中が配管支持部材６０により支持された状態で、スライダ４４及び吐出部５０に接続されている。
【選択図】図３

Description

この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）用ガラス基板、有機ＥＬ表示パネル用ガラス基板、磁気或は光ディスク用のガラス或はセラミック基板等の各種被処理基板に塗布液を塗布する塗布装置に関する。

従来、この種の塗布装置として、特許文献１に開示のものがある。

特許文献１は、ノズルを移動自在に支持するヘッド移動機構として、走査方向に沿って延びるガイド部とノズルを支持するスライダとの間にガスを噴出することにより、スライダをガイド部に対して非接触状態にて移動可能に支持する構成を開示している。上記スライダに対してはガスチューブを介してガスが供給され、上記ノズルに対しては塗布液チューブを介して塗布液が供給される。

特開２００９−１３１７３５号公報

しかしながら、上記ヘッド移動機構では、スライダはガイド部に対して空気層を介して浮いた状態であるため、スライダ及びスライダに取付けられたノズルはガイド部周りに振動し得る。また、上記ノズル及びスライダには、上記ガスチューブ或は塗布液チューブ等のチューブが接続されているため、スライダ及びノズルが走査方向に沿って往復運動すると、チューブが鞭のようにしなって振動する恐れがある。

そして、チューブが振動すると、その振動による外力がスライダ及びノズルに伝わって振動する恐れがある。このようにノズルがガイド部周りに振動してしまうと、基板上における塗布液の軌跡が蛇行してしまう（直進性の乱れ）恐れがある。

上記現象は、チューブの本数増加、ノズル移動速度の高速化、基板の大型化に伴うチューブの長尺化等によって、顕著に生じ得る恐れがある。

そこで、本発明は、配管の揺れによる吐出部の揺れを抑制することを目的とする。

上記課題を解決するため、第１の態様に係る塗布装置は、基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板に対して略平行な主走査方向に沿って延びるガイド部と、前記ガイド部との間にエア層を介在させた状態で、前記ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダとを有する主走査機構と、前記スライダにより前記主走査方向に沿って移動可能に支持され、前記基板に対して塗布液を吐出する吐出部と、前記主走査方向に沿って前記吐出部の移動に追従して移動可能な配管支持部材と、途中が前記配管支持部材により支持されて、前記スライダ及び前記吐出部の少なくとも一方に接続された配管と、を備える。

第２の態様に係る塗布装置は、第１の態様に係る塗布装置であって、前記配管支持部材を前記主走査方向に沿って移動可能に支持する配管支持用ガイド部をさらに備える。

第３の態様に係る塗布装置は、第１又は第２の態様に係る塗布装置であって、前記主走査方向に沿って、前記スライダと前記配管支持部材とを同期駆動する主走査駆動機構をさらに備える。

第４の態様に係る塗布装置は、第１〜第３のいずれか一つの態様に係る塗布装置であって、前記配管支持部材は、前記ガイド部又は前記配管支持用ガイド部との間にエア層を介在させた状態で、前記主走査方向に沿って移動可能に支持されているものである。

第１の態様に係る塗布装置によると、配管の途中が、前記主走査方向に沿って前記吐出部の移動に追従して移動可能な配管支持部材により支持されているため、配管の振動がスライダ及び吐出部に伝わり難い。このため、配管の揺れによる吐出部の揺れを抑制することができる。

第２の態様に係る塗布装置によると、配管支持部材はガイド部とは別の配管支持用ガイド部によって支持されているため、走査方向に沿った方向において、スライダ及び吐出部と、配管支持部材とを略同じ位置で支持できる。これにより、配管の途中を、スライダ及び吐出部になるべく近い位置で支持でき、配管による吐出部の揺れをより抑制することができる。

第３の態様によると、前記スライダと前記配管支持部材とを同期駆動するため、配管に引張り力が加わり難い。

第４の態様によると、前記配管支持部材は、前記ガイド部又は前記配管支持用ガイド部との間にエア層を介在させた状態で、前記主走査方向に沿って移動可能に支持されているため、配管支持部材をスライダ及び吐出部に追従させて円滑に移動させ易い。

実施形態に係る塗布装置を示す概略平面図である。同上の塗布装置を示す概略正面図である。図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線概略断面図である。配管の揺れ状態を示す説明図である。変形例に係る配管支持部材を示す説明図である。他の変形例に係る配管支持部材を示す説明図である。さらに他の変形例に係る配管支持部材を示す説明図である。さらに他の変形例に係る配管支持部材を示す説明図である。

以下、実施形態に係る塗布装置について説明する。図１は実施形態に係る塗布装置２０を示す概略平面図であり、図２は塗布装置２０を示す概略正面図であり、図３は図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線概略断面図である。なお、説明の便宜上、後述する主走査方向に沿った方向をＸ方向、当該Ｘ方向及び上下方向に直交する方向をＹ方向、上下方向をＺ方向として説明することがある。この塗布装置２０は、基板１０に対して塗布液を塗布する装置である。基板１０としては、方形状の基板、例えば、平面表示装置用のガラス基板等が想定される。また、塗布液としては、基板１０に形成すべきパターン等の形成材料、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造を想定した場合には、有機ＥＬ材料及びその溶媒等を含む液等が想定される。

この塗布装置２０は、基板保持部３０と、主走査機構４０と、吐出部５０と、配管支持部材６０と、配管８０とを備えている。

基板保持部３０は、基板１０を略水平姿勢で保持可能に構成されている。ここでは、基板保持部３０は、一主面を所定高さ位置で上向き略水平姿勢に配設したステージ３２を有している。そして、基板１０の一主面をステージ３２の上向き主面に当接させるように基板１０をステージ３２上に載置することで、基板１０が一定位置及び姿勢で保持可能に構成されている。基板保持部は、その他、基板の周囲を把持することで当該基板を保持する構成であってもよい。

また、基板保持部３０の下方には、吐出部５０に対して基板１０をＹ方向（副走査方向）に沿って相対移動させる基板移動機構３４が設けられている。ここでは、基板移動機構３４は、上方にステージ３２を支持する台部３６と、一対のスライド受部３７とを有している。スライド受部３７は、台部３６の下端部に設けられ、Ｙ方向に沿って延びる副走査方向ガイド部３９上をスライド移動可能に構成されている。そして、リニアモータ等の基板移動駆動部（図示省略）からの駆動力を受けることで、基板移動機構３４が、上記ステージ３２及び基板１０と共に、Ｙ方向に沿って移動する構成とされている。なお、基板１０をＹ方向に沿って移動させる代りに、主走査機構４０及び吐出部５０を、基板１０に対してＹ方向に沿って移動させる構成であってもよい。

なお、上記ステージ３２には、必要に応じて、基板１０を加熱する加熱機構が設けられていてもよい。また、上記ステージ３２は、基板移動機構３４に対して鉛直軸周りに回転駆動可能に構成されていてもよい。

主走査機構４０は、主走査方向ガイド部４２と、スライダ４４とを有している。主走査方向ガイド部４２は、基板１０の上方位置で、基板１０に対して略平行な主走査方向（Ｘ方向）に沿って延びる長尺状部材に形成されている。スライダ４４は、主走査方向ガイド部４２を挿通配置可能な内部空間を有する部材であり、主走査方向ガイド部４２の外周面との間にエア層を介在させた状態で、当該主走査方向ガイド部４２によってＸ方向に沿って移動可能に支持されている。

より具体的には、主走査方向ガイド部４２は、略角棒状部材に形成されている。スライダ４４の外形状は略直方体状に形成され、スライダ４４内には、主走査方向ガイド部４２の外周面を、間隔を有して囲繞可能な内部空間４４Ｓが形成されている。また、スライダ４４の内周面には、エア吐出部４４ａが形成されている。そして、外部より後述する配管等を介して供給されるエアがスライダ４４に形成されるエア分岐経路を経由して当該各エア吐出部４４ａより吐出されるようになっている。そして、上記エア吐出部４４ａよりエアを吐出させることにより、スライダ４４は、主走査方向ガイド部４２の外周面との間にエア層を介在させた状態で（つまり、主走査方向ガイド部４２の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持された状態となる。これにより、スライダ４４は、高速高加速移動可能かつ、耐久性に優れた態様で支持されることになる。もっとも、スライダ４４は、主走査方向ガイド部４２に対してエア層を介して支持されているため、そのエア層分、主走査方向ガイド部４２周りで揺れる恐れがある。ここでは、かかる揺れ対策に関する技術を開示している。

なお、ここでは、主走査方向ガイド部４２の上面に、上方に開口しかつＸ方向に沿って延びる凹溝４３が形成され、スライダ４４の上部幅方向（Ｙ方向）中間部に、上記凹溝４３に対応する幅のスリット４５ａが形成されている。そして、このスリット４５ａ部分に、ベルト取付ブラケット４５が取付けられ、上記凹溝４３内で、スライダ４４を駆動するための駆動ベルト７４がベルト取付ブラケット４５に取付けられている。もっとも、これらの構成は必須ではない。例えば、主走査方向ガイド部は、単純な角棒状或は丸棒状で、スライダ内には当該単純な角棒状或は丸棒状よりも一回り大きな内部空間が形成された構成であってもよい。また、主走査方向ガイド部は、複数の棒状部材を有していてもよい。さらに、主走査方向ガイド部とスライダとの間にエア層が介在している場合には、それらの間に噴出されたエア圧の作用による場合の他、磁力の反発力等他の力の作用による場合を含む。

また、ここでは、主走査方向ガイド部４２の上方に、カウンタ用ガイド部４６及びカウンタ用スライダ４８が設けられている。

カウンタ用ガイド部４６は、Ｘ方向に沿って延びる長尺棒状部材に形成されている。カウンタ用スライダ４８は、カウンタ用ガイド部４６を挿通配置可能な内部空間を有する部材であり、カウンタ用ガイド部４６の外周面との間にエア層を介在させた状態で、当該カウンタ用ガイド部４６によってＸ方向に沿って移動可能に支持されている。

ここでは、カウンタ用ガイド部４６は、略丸棒状に形成され、上記主走査方向ガイド部４２の上方に略平行状態で２本設けられている。また、カウンタ用スライダ４８内には、各カウンタ用ガイド部４６の外周面を、間隔を有して囲繞可能な丸穴状の内部空間４８Ｓが形成されている。このカウンタ用スライダ４８の内周面には、エア吐出部４８ａが形成されている。このカウンタ用スライダ４８には後述するエア供給源８６からのエア配管が接続されている。そして、外部より当該配管等を介して供給されるエアがカウンタ用スライダ４８に形成されるエア分岐経路を経由して、周方向に亘って形成されたエア吐出部４８ａより吐出されるようになっている。そして、上記エア吐出部４８ａよりエアを吐出させることにより、カウンタ用スライダ４８は、カウンタ用ガイド部４６の外周面との間にエア層を介在させた状態で（つまり、カウンタ用ガイド部４６の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持された状態となる。

なお、ここで、カウンタ用スライダがカウンタ用ガイド部に対して移動可能に支持される構成は、上記主走査機構４０に関して述べたのと同様、種々構成を採用し得る。

もっとも、カウンタ用スライダは、上記のようにカウンタ用ガイド部に対してエア層を介在させた状態で移動自在に支持されている必要はない。例えば、カウンタ用スライダは、長尺状のカウンタ用ガイド部に対して、他の低摩擦部材、転動体等を介して接触した状態で、移動自在に支持される構成であってもよい。

吐出部５０は、上記スライダ４４によってＸ方向に沿って移動可能に支持されると共に、基板１０に対して塗布液を吐出可能に構成されている。ここでは、吐出部５０は、ノズル支持部５２と少なくとも一つのノズル５４とを有している。ここでは、ノズル５４は複数、より具体的には、３つ設けられている。

ノズル支持部５２は、スライダ４４の一側面に取付けられる基端部５２ａと、基端部５２ａの下端部より外方に向けて延出するノズル取付板部５２ｂとを有している。そして、複数のノズル５４が、Ｘ方向及びＹ方向に位置をずらしつつ、ノズル取付板部５２ｂに取付固定されている。各ノズル５４は、それぞれ塗布液を吐出可能な吐出口を有しており、当該吐出口をノズル取付板部５２ｂの下向きにした姿勢で、ノズル取付板部５２ｂに固定されている。そして、上記スライダ４４をＸ方向に移動させつつ、各ノズル５４から塗布液を吐出することで、当該塗布液がステージ３２上に載置された基板１０に塗布されるようになっている。

なお、上記スライダ４４のうち吐出部５０に対して反対側の側部に、ノズルカウンタ４４Ｃが設けられている。

配管支持部材６０は、Ｘ方向に沿って吐出部５０の移動に追従して移動可能に構成されている。ここでは、配管支持部材６０は、上記主走査機構４０とは別に設けられた配管支持用ガイド部６２によって移動可能に支持されている。

すなわち、配管支持用ガイド部６２は、基板１０の上方位置で、前記Ｘ方向に沿って延びる長尺状部材に形成されている。また、配管支持部材６０は、配管支持用ガイド部６２を挿通配置可能な内部空間を有する部材であり、当該配管支持用ガイド部６２の外周面との間にエア層を介在させた状態で、当該配管支持用ガイド部６２によってＸ方向に沿って移動可能に支持されている。

より具体的には、配管支持用ガイド部６２は、略角棒状の部材に形成されている。配管支持部材６０の外形状は略直方体状に形成され、配管支持部材６０内には、配管支持用ガイド部６２の外周面を、間隔を有して囲繞可能な内部空間６４Ｓが形成されている。また、配管支持部材６０の内周面には、エア吐出部６０ａが形成されている。そして、外部より後述する配管等を介して供給されるエアが、配管支持部材６０に形成されるエア分岐路等を経由して各エア吐出部６０ａより吐出されるようになっている。そして、上記エア吐出部６０ａよりエアを吐出させることにより、配管支持部材６０が、配管支持用ガイド部６２の外周面との間にエア層を介在させた状態で（つまり、配管支持用ガイド部６２の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持された状態となる。

なお、ここで、配管支持部材６０が配管支持用ガイド部６２に対して移動可能に支持される構成は、上記主走査機構４０に関して述べたのと同様、種々構成を採用し得る。

もっとも、この配管支持部材は、上記のように配管支持用ガイド部に対してエア層を介在させた状態で移動自在に支持されている必要はない。例えば、配管支持部材は、長尺状の配管支持用ガイド部に対して、他の低摩擦部材、転動体等を介して接触した状態で、移動自在に支持される構成であってもよい。

配管８０は、上記スライダ４４及び吐出部５０の少なくとも一方に接続されている。ここでは、配管８０は、エア配管８０ａと、少なくとも一つ（ここでは複数）の塗布液配管８０ｂとを含んでいる。各配管８０ａ、８０ｂは、エア又は塗布液の送り方向上流側でエア供給源８６或は塗布液供給源８８に接続されると共に、本塗布装置２０の上方で吊すように支持されている。以下の説明において、両配管を区別する場合には、エア配管８０ａ或は塗布液配管８０ｂといい、総称する場合には配管８０という場合がある。

エア配管８０ａは、エア供給源８６からのエアを導く、可撓性を有する管によって構成されており、ここでは、２つのエア配管８０ａを有している。２つのエア配管８０ａの一端部はそれぞれエア供給源８６に接続されている。一方のエア配管８０ａの他端部は配管支持部材６０にエア供給可能に接続され、他方のエア配管８０ａの他端部はスライダ４４にエア供給可能に接続されている。他方のエア配管８０ａの他端部は、スライダ４４に直接的に固定されていてもよいし、吐出部５０への固定箇所を経由してスライダ４４に接続されていてもよい。

塗布液配管８０ｂは、塗布液供給源８８からの塗布液を導く、可撓性を有する管によって構成されており、ノズル５４と同数設けられている。各塗布液配管８０ｂの一端部はそれぞれ塗布液供給源８８に接続されており、他端部はそれぞれノズル５４に塗布液を供給可能に接続されている。塗布液配管８０ｂの他端部は、吐出部５０に直接的に固定されていてもよいし、スライダ４４或はノズル支持部５２への固定箇所を経由してノズル５４に接続されていてもよい。

これらのエア配管８０ａ及び塗布液配管８０ｂは、中間部分で結束されていることが好ましく、結束形態としては、例えば、エア配管８０ａを中心として複数の塗布液配管８０ｂで囲むような形態を採用することができる。

また、スライダ４４に接続されたエア配管８０ａ及び塗布液配管８０ｂの途中部分は、配管固定部６１を介して配管支持部材６０に支持固定されている。配管固定部６１としては、挿通孔又は凹部内にエア配管８０ａ及び塗布液配管８０ｂを挿通して固定する構成、エア配管８０ａ及び塗布液配管８０ｂを配管支持部材６０に結束固定する構成、エア配管８０ａ及び塗布液配管８０ｂを挟んで配管支持部材６０に固定する構成等を採用することができる。

スライダ４４に接続されたエア配管８０ａ及び塗布液配管８０ｂのうち配管固定部６１に固定される途中部分は、エア供給源８６又は塗布液供給源８８に接続された端部と、スライダ４４又は吐出部５０に固定された端部との間であればよい。もっとも、当該固定される途中部分は、比較的スライダ４４又は吐出部５０に固定された端部に近い部分であることが好ましい。

また、この塗布装置２０は、Ｘ方向に沿って、スライダ４４と配管支持部材６０とを同期駆動する主走査駆動機構７０を備えている。ここで、スライダ４４と配管支持部材６０とを同期駆動するとは、スライダ４４と配管支持部材６０とを、それらの間を通る配管８０に対して大きな引張り力が作用するのを抑制し得る範囲内で、略同速度及び略同移動範囲で移動駆動することをいう。

ここでは、主走査駆動機構７０は、スライダ４４を駆動するスライダ駆動機構７２と、配管支持部材６０を駆動する配管支持部材駆動機構７６とを有している。

スライダ駆動機構７２は、主走査方向ガイド部４２の両端部に設けられた一対のプーリ体７３、７３と、一対のプーリ体７３、７３に巻掛けられた駆動ベルト７４と、一方のプーリ体７３を正逆両方向に回転駆動可能なモータ７５とを有している。一対のプーリ体７３、７３間を走行する２経路の駆動ベルト７４のうち一方側（下側）には、上記スライダ４４のベルト取付ブラケット４５が連結固定されている。また、一対のプーリ体７３、７３間を走行する２経路の駆動ベルト７４のうち他方側（上側）には、上記カウンタ用スライダ４８が連結固定されている。なお、カウンタ用スライダ４８は、スライダ４４の往復移動範囲の中央位置（通常は、一対のプーリ体７３、７３の中央位置）を挟んでスライダ４４と略対称位置に配設されるように、駆動ベルト７４に連結固定されている。そして、回転方向及び回転速度、回転量等を制御しつつモータ７５を回転駆動することで、スライダ４４及び吐出部５０がＸ方向に沿って往復移動駆動される。また、この際、カウンタ用スライダ４８は、スライダ４４に対して、一対のプーリ体７３、７３の中央位置を挟んで対称位置を保ちつつ、Ｘ方向に沿って往復移動するようになっている。

配管支持部材駆動機構７６は、配管支持用ガイド部６２の両端部に設けられた一対のプーリ体７７、７７と、一対のプーリ体７７、７７に巻掛けられた駆動ベルト７８と、一方のプーリ７７を正逆両方向に回転駆動可能なモータ７９とを有している。一対のプーリ体７７、７７間を走行する２経路の駆動ベルト７８のうち一方側（下側）には、上記配管支持部材６０が連結固定されている。そして、上記スライダ４４と配管支持部材６０とを同期駆動するように、回転方向及び回転速度、回転量等を制御しつつモータ７９を回転駆動することで、配管支持部材６０がＸ方向に沿って往復移動駆動される。もっとも、上記したように、スライダ４４と配管支持部材６０との間を通る配管８０に対して大きな引張り力が作用するのを抑制し得る範囲内では、配管支持部材６０とスライダ４４とがＸ方向に沿って多少ずれてもよい。

なお、ここでは、スライダ４４と配管支持部材６０とを別々のモータ７５、７９によって駆動する例で説明したが、共通するモータからの回転駆動力を歯車或はプーリ及びベルト等を用いた伝達機構によって２つに分けて伝達することによって駆動するようにしてもよい。また、スライダ４４と配管支持部材６０とを共通する駆動ベルトに連結することによって同期駆動するようにしてもよい。また、スライダ４４或は配管支持部材６０を駆動する機構、特に、配管支持部材６０を駆動する機構は、上記例に限られず、その他、リニアモータ等の各種リニアアクチュエータを用いてもよい。

また、この塗布装置２０は、本装置全体の動作制御を司る制御部９０を備えている。制御部９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備える一般的なマイクロコンピュータによって構成されており、予め格納されたソフトウェアプログラムに従って塗布装置２０の動作制御を行う。ここでは、制御部９０は、エア供給源８６からエアを供給すると共に、塗布液供給源８８からの塗布液供給を開始して各ノズル５４から塗布液を吐出させた状態で、スライダ４４と配管支持部材６０とを同期駆動するように、各モータ７５、７９を駆動制御する処理を行うように構成されている。

このように構成された塗布装置２０では、スライダ４４及び吐出部５０をＸ方向に沿って往復移動させると、配管支持部材６０もそれらスライダ４４及び吐出部５０に追従して往復移動する。すると、図４に示すように、その移動によって、配管８０がＸ方向、Ｙ方向において鞭のようにしなって振動する恐れがある。しかしながら、配管８０の途中が配管支持部材６０によって支持されているため、配管８０のうち配管支持部材６０よりもエア供給源８６側或は塗布液供給源８８側の部分の振動は、配管支持部材６０によって受止められる。この際、配管支持部材６０自体は、塗布液を吐出、塗布しているわけではないため、配管８０の振動、しなり等によって配管支持用ガイド部６２周りに振動しても特に問題はない。このように、配管８０の振動、しなり等による外力が、スライダ４４或は吐出部５０に伝わり難くなる。このため、ノズル５４の揺れが抑制され、基板１０上に塗布されたと塗布液の蛇行を抑制することができる。

また、配管支持部材６０は、主走査方向ガイド部４２に対して略平行姿勢で隣接配置された配管支持用ガイド部６２によって支持されているため、Ｘ方向に沿った方向において、スライダ４４及び吐出部５０と、配管支持部材６０とを略同じ位置で移動するように支持することができる。これにより、配管８０の途中を、スライダ４４及び吐出部５０になるべく近い位置で支持でき、配管８０の振動等によるノズル５４の揺れをより抑制できる。

また、スライダ４４及び吐出部５０と配管支持部材６０とを同期駆動しているため、それらの間で配管８０に引張り力が加わり難く、それらの間で配管８０が可及的に一定の配設形態に保持され易い。このため、スライダ４４及び吐出部５０と配管支持部材６０との間での配管８０の揺れを抑制し、もって、ノズル５４の揺れをより抑制できる。

また、配管支持部材６０は、配管支持用ガイド部６２との間にエア層を介在させた状態で、Ｘ方向に沿って移動可能に支持されているため、配管支持用ガイド部６２を、スライダ４４及び吐出部５０に追従させて円滑に移動させ易い。

＜変形例＞
以下、各種変形例について説明する。

まず、上記実施形態において、上記配管支持部材６０の走行位置は上記例に限られない。例えば、配管支持部材６０は、主走査方向ガイド部４２の上方で往復走行する構成であってもよいし、或は、ノズル５４に対して＋Ｙ方向或は−Ｙ方向に向けて離れた外側方位置で往復走行する構成であってもよい。

また、上記実施形態において、配管支持部材を駆動する配管支持部材駆動機構を省略し、スライダの移動によって配管支持部材を移動させるようにしてもよく、そのような変形例について下記に説明する。

図５に示す変形例では、スライダ４４に対応するスライダ１４４と、配管支持部材６０に対応する配管支持部材１６０との間に、移動力伝達部材１８０が設けられている。移動力伝達部材１８０は、スライダ１４４の側部に突設された中間伝達片１８２と、配管支持部材１６０側に突設された一対の両側伝達片１８４とを有している。一対の両側伝達片１８４は、Ｘ方向において中間伝達片１８２を挟込み可能に突設されている。一対の両側伝達片１８４間の間隔は、中間伝達片１８２のＸ方向厚みよりも大きい（好ましくは、配管支持部材１６０の揺れがスライダ４４に伝達されない程度に僅かに大きく）ことが好ましい、一対の両側伝達片１８４は、中間伝達片１８２を非接触状態で挟んでいることが好ましい。

そして、スライダ１４４がＸ方向に沿って移動駆動されると、中間伝達片１８２が一対の両側伝達片１８４のいずれか一方の内面に当接し、スライダ１４４の移動力が中間伝達片１８２からいずれか一方の両側伝達片１８４を介して配管支持部材１６０に伝達される。これにより、配管支持部材１６０がスライダ１４４に追従してＸ方向に沿って往復移動する構成とされている。また、一対の両側伝達片１８４間の間隔は、中間伝達片１８２のＸ方向厚みよりも大きいため、両側伝達片１８４と中間伝達片１８２との接触による摩擦力は小さい。このため、スライダ１４４及び配管支持部材１６０の移動中において、配管８０の振動によって配管支持部材１６０が揺れたとしても、その揺れはスライダ１４４には伝達され難い。このため、上記実施形態と同様に、スライダ１４４及び吐出部５０の揺れを有効に抑制することができる。

また、図６に示す変形例では、スライダ４４に対応するスライダ２４４と、配管支持部材６０に対応する配管支持部材２６０との間に、移動力伝達リンク部材２８０が設けられている。移動力伝達リンク部材２８０は、スライダ２４４と配管支持部材２６０との間に配設される長尺棒状部材であり、その両端部がスライダ２４４及び配管支持部材２６０に対して揺動可能な状態で連結支持されている。ここでは、移動力伝達リンク部材２８０の両端部は、支軸部２８１を介して回転可能な状態でスライダ２４４及び配管支持部材２６０に連結されている。

そして、スライダ２４４がＸ方向に沿って移動駆動されると、その移動力が移動力伝達リンク部材２８０を介して配管支持部材２６０に伝達される。これにより、配管支持部材２６０がスライダ２４４に追従してＸ方向に沿って往復移動する構成とされている。また、移動力伝達リンク部材２８０の両端部は、スライダ２４４及び配管支持部材２６０に対して揺動可能に連結されているため、スライダ２４４及び配管支持部材２６０の移動中において、配管８０の振動によって配管支持部材２６０が揺れたとしても、その揺れは前記揺動可能な部分で吸収され、スライダ２４４には伝達され難い。このため、上記実施形態と同様に、スライダ２４４及び吐出部５０の揺れを有効に抑制することができる。

なお、移動力伝達リンク部材の構成は上記に限られない。移動力伝達リンク部材は、上記のように軸部周りに回転可能な部分により揺れを吸収する構成の他、バネ、ゴム等の弾性部材等によって揺れを吸収する構成であってもよい。また、その揺れ吸収部分は、移動力伝達リンク部材の端部或は中間部、或は全体等、少なくとも一部に設けられていればよい。

また、図７に示す変形例では、配管支持部材を駆動する配管支持部材駆動機構と配管支持用ガイド部を省略している。

すなわち、配管支持部材６０に対応する配管支持部材３６０は、主走査方向ガイド部４２により移動可能に支持されている。配管支持部材３６０については、上記実施形態と同様に、主走査方向ガイド部４２に対してエア層を介在させた状態で移動可能にする構成を採用することができる。

また、配管支持部材３６０は、Ｘ方向において間隔を有してスライダ４４と隣設して配設されている。これらの配管支持部材３６０と上記スライダ４４に対応するスライダ３４４との間には、介在伝達部材３８０が設けられている。介在伝達部材３８０は、配管支持部材３６０とスライダ３４４とを連結しつつ揺れを吸収する部材であり、コイルバネ等のバネ、その他の弾性部材等を用いることができる。ここでは、介在伝達部材３８０としてコイルバネを用いている。

そして、スライダ３４４がＸ方向に沿って移動駆動されると、その移動力が介在伝達部材３８０を介して配管支持部材３６０に伝達される。ここでは、スライダ３４４を（＋Ｘ）方向に移動させると、介在伝達部材３８０は伸張しつつ配管支持部材３６０を同（＋Ｘ）方向に引張るように移動させる。また、スライダ３４４を（−Ｘ）方向に移動させると、介在伝達部材３８０は弾性圧縮しつつ配管支持部材３６０を同（−Ｘ）方向に押すように移動させる。これにより、配管支持部材３６０がスライダ３４４に追従してＸ方向に沿って往復移動する構成とされている。また、スライダ３４４及び配管支持部材３６０の移動中において、配管８０の振動によって配管支持部材３６０が揺れたとしても、その揺れは介在伝達部材３８０によって吸収され、スライダ３４４には伝達され難い。このため、上記実施形態と同様に、スライダ３４４及び吐出部５０の揺れを有効に抑制することができる。なお、介在伝達部材３８０は、少なくとも一部に揺れを吸収する部分を有していればよい。

さらに、図８に示すように、駆動ベルト７４に対応する駆動ベルト４７４のうち下側を走行する部分に、スライダ４４に対応するスライダ４４４と配管支持部材６０に対応する配管支持部材４６０とがそれらの間に間隔をあけた状態で連結される構成であってもよい。この場合、駆動ベルト４７４のうちスライダ４４４と配管支持部材４６６との間の部分が介在伝達部材４８０を兼ねる構成となる。

これらの変形例においては、スライダを駆動するスライダ駆動機構と、その駆動力をスライダから配管支持部材に伝達する各種伝達部材（移動力伝達部材１８０、移動力伝達リンク部材２８０、介在伝達部材３８０）とが、スライダ及び吐出部と配管支持部材とを同期駆動する機構を構成している。この場合、スライダから配管支持部材に駆動力を伝達する各種伝達部材は、上記各変形例のように、主として移動方向（Ｘ方向）の駆動力を伝達し、移動方向（Ｘ方向）周りの配管支持部材の揺れをスライダになるべく伝達しないような構成とされていることが好ましい。

なお、図７に示す変形例において、配管支持部材３６０が、スライダ３４４を駆動する駆動機構によって直接的に駆動されていてもよく、また、これとは別の駆動機構によって駆動されていてもよい。

１０基板
２０塗布装置
３０基板保持部
４０主走査機構
４２主走査方向ガイド部
４４スライダ
５０吐出部
５４ノズル
６０、１６０配管支持部材
６１配管固定部
６２配管支持用ガイド部
７０主走査駆動機構
７２スライダ駆動機構
７６配管支持部材駆動機構
８０配管
８０ａエア配管
８０ａエア配管
Ｘ主走査方向

Claims

基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板に対して略平行な主走査方向に沿って延びるガイド部と、前記ガイド部との間にエア層を介在させた状態で、前記ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダとを有する主走査機構と、
前記スライダにより前記主走査方向に沿って移動可能に支持され、前記基板に対して塗布液を吐出する吐出部と、
前記主走査方向に沿って前記吐出部の移動に追従して移動可能な配管支持部材と、
途中が前記配管支持部材により支持されて、前記スライダ及び前記吐出部の少なくとも一方に接続された配管と、
を備える塗布装置。
請求項１記載の塗布装置であって、
前記配管支持部材を前記主走査方向に沿って移動可能に支持する配管支持用ガイド部をさらに備える塗布装置。
請求項１又は請求項２記載の塗布装置であって、
前記主走査方向に沿って、前記スライダと前記配管支持部材とを同期駆動する主走査駆動機構をさらに備える塗布装置。
請求項１〜３のいずれか一つに記載の塗布装置であって、
前記配管支持部材は、前記ガイド部又は前記配管支持用ガイド部との間にエア層を介在させた状態で、前記主走査方向に沿って移動可能に支持されている、塗布装置。