CN104841607A - 涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元(50)的配管(832～834)是沿着与涂布单元(50)的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管(832～834)的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管(832、833)作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管(834)的喷嘴喷出。

Description

涂布装置

技术领域

本发明涉及一种涂布装置，将涂布液涂布于半导体晶片(wafer)、液晶显示装置用玻璃(glass)基板、等离子体显示面板(Plasma Display Panel，PDP)用玻璃基板、有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示面板用玻璃基板、太阳电池用基板、磁盘或光盘用玻璃或陶瓷(ceramic)基板等各种被处理基板。

背景技术

例如，在有机EL显示装置的制造时，作为将包含空穴(hole)传输材料的流动性材料或包含有机EL材料的流动性材料等涂布液涂布于基板的涂布装置，已知有如下装置：使连续地喷出涂布液的多个喷嘴(nozzle)，相对于基板而在主扫描方向及与主扫描方向正交的副扫描方向上相对移动，借此，将涂布液呈条纹状地涂布于基板上的涂布区域(例如，专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2011-72974号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

对于此种涂布装置，要求涂布于基板上的涂布液的膜厚的均匀性。为了使涂布液的膜厚均匀，需要使从喷嘴喷出的涂布液的流量均匀。

然而，在通过涂布液供给管对移动的喷嘴供给涂布液的构成中产生如下问题：在涂布液供给管内流动的涂布液被赋予伴随喷嘴移动的惯性力，因所述惯性力的影响而导致从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。

本发明是为了解决所述问题而完成的，目的在于提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。

[解决问题的技术手段]

本发明的第一实施方式的涂布装置包括：基板保持部，保持基板；涂布单元(unit)，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，所述第二管路区间具有所述第二管路区间中的上游侧的上游侧固定管路区间、与所述第二管路区间中的下游侧的下游侧固定管路区间，所述下游侧固定管路区间沿着与所述主扫描方向正交的面内而配设，所述压力变动吸收部设于所述下游侧固定管路区间。

本发明的第二实施方式的涂布装置是根据第一实施方式的涂布装置，其中所述第二管路区间具有分支部，所述分支部使被捆扎的多个所述配管分支，所述第二管路区间中的比所述分支部更靠上游侧为所述上游侧固定管路区间，所述第二管路区间中的比所述分支部更靠下游侧为所述下游侧固定管路区间，在所述第一管路区间及所述上游侧固定管路区间中，多个所述配管被捆扎。

本发明的第三实施方式的涂布装置包括：基板保持部，保持基板；涂布单元，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及，压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，所述第二管路区间配设于与所述主扫描方向正交的面内，所述压力变动吸收部设于所述第二管路区间。

本发明的第四实施方式的涂布装置是根据第三实施方式的涂布装置，其中还具有配管支撑构件，所述配管支撑构件与利用所述移位机构使所述涂布单元沿着所述主扫描方向的移位同步地，沿着所述主扫描方向移位，所述配管支撑构件配设于所述第一管路区间的中途，在所述第一管路区间中的比所述配管支撑构件更靠上游侧，多个所述配管被捆扎，在所述第一管路区间中的比所述配管支撑构件更靠下游侧，多个所述配管分支。

本发明的第五实施方式的涂布装置是根据第一至第四中任一实施方式的涂布装置，其中所述压力变动吸收部具有可挠性的第一配管，所述第一配管的管径大于所述第一管路区间的配管的管径，所述配管的一部分包含所述第一配管。

本发明的第六实施方式的涂布装置是根据第一至第四中任一实施方式的涂布装置，其中所述压力变动吸收部具有可挠性的第二配管，所述第二配管的管径小于所述第一管路区间的配管的管径，所述配管的一部分包含所述第二配管。

本发明的第七实施方式的涂布装置是根据第一至第四中任一实施方式的涂布装置，其中所述压力变动吸收部具有T字配管，所述T字配管包括干路与支路，所述干路沿着所述配管中的所述涂布液的流路方向，所述支路是从所述干路向与所述主扫描方向正交的方向分支而成，所述配管的一部分包含所述T字配管。

本发明的第八实施方式的涂布装置是根据第一至第四中任一实施方式的涂布装置，其中所述涂布单元具有：可动元件，利用所述移位机构而沿着所述主扫描方向移位；以及喷嘴保持部，与所述可动元件结合而保持所述喷嘴；所述配管是将n根(n为2以上的整数)配管利用n-1个配管连接部串联连接而构成，从所述可动元件观察时，在所述喷嘴保持部侧至多仅配设有一个配管连接部。

本发明的第九实施方式的涂布装置是根据第八实施方式的涂布装置，其中所述喷嘴保持部是将所述喷嘴可动地保持的部分，所述涂布装置还包括喷嘴移动机构，所述喷嘴移动机构对所述喷嘴保持部中的所述喷嘴的位置进行调节。

[发明的效果]

本发明的第一实施方式的涂布装置包括将从涂布液供给源供给的涂布液向至少一个喷嘴输送的至少一个配管。所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于涂布单元。因此，即便涂布单元移动，配管的第二管路区间也不会因该移动而挠曲，从而可防止因挠曲而导致在配管内部流动的涂布液产生压力变动的情况。

第二管路区间具有上游侧固定管路区间与下游侧固定管路区间，所述上游侧固定管路区间位于所述第二管路区间中的上游侧，所述下游侧固定管路区间在所述第二管路区间中的下游侧沿着与涂布单元的扫描方向正交的面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因通过涂布单元的扫描产生的惯性力(在扫描方向上作用的力)，而导致在配管的下游侧固定管路区间的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。

而且，在配管的下游侧固定管路区间配设有压力变动吸收部，所述压力变动吸收部吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。因此，能够将压力变动被充分吸收的涂布液供给至喷嘴。

本发明的第三实施方式的涂布装置包括将从涂布液供给源供给的涂布液向至少一个喷嘴输送的至少一个配管。所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于涂布单元。因此，即便涂布单元移动，配管的第二管路区间也不会因该移动而挠曲，从而可防止因挠曲而导致在配管内部流动的涂布液产生压力变动的情况。

第二管路区间沿着与涂布单元的扫描方向正交的面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因通过涂布单元的扫描产生的惯性力(在扫描方向上作用的力)，而导致在配管的第二管路区间的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。

而且，在配管的第二管路区间配设有压力变动吸收部，所述压力变动吸收部吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。因此，能够将压力变动被充分吸收的涂布液供给至喷嘴。

本发明的第八实施方式的涂布装置中，在将n根(n为2以上的整数)配管利用n-1个配管连接部串联连接而构成配管的情况下，从可动元件观察时，在喷嘴保持部侧至多仅配设有1个配管连接部。因此，可充分减少配设于喷嘴保持部侧的构件构成，从而当对喷嘴进行各种处理时，变得易于进行所述处理。

附图说明

图1是表示实施方式的涂布装置1的概略平面图。

图2是表示实施方式的涂布装置1的概略前视图。

图3是图2中的A-A剖面图。

图4是表示涂布单元50的构成的立体图。

图5是表示关于1根配管83的构件构成的示意图。

图6是表示变形例的涂布单元50A的构成的立体图。

图7是表示关于变形例的1根配管83的构件构成的示意图。

图8是表示变形例的T字配管835的概略侧视图。

[符号的说明]

1：涂布装置

10：基板

30：基板保持部

32：平台

34：副扫描机构

36：台部

37：滑动支承部

39：副扫描方向引导部

40：主扫描机构

42：主扫描方向引导部

44：滑块(可动元件)

44a：空气喷出部

44s：内部空间

50、50A：涂布单元

52：喷嘴保持部

52a：基端部

52b：喷嘴安装板部

54：喷嘴

60：配管支撑构件

60a：空气喷出部

61：配管固定部

62：配管支撑用引导部

64s：内部空间

70：主扫描驱动机构

72、76：驱动机构

73、77：滑轮体

74、78：驱动带

75、79：马达

80：配管部

81～83、831～834、831A、831B：配管

86：空气供给源

88：涂布液供给源

90：控制部

100：喷嘴间距调整机构

835：T字配管

835A：干路

835B：支路

835C：隔膜

840：固定部

841：分支部

842～844：接头部

AR：流路方向

SE1：第一管路区间

SE2：第二管路区间

SE2A：上游侧固定管路区间

SE2B：下游侧固定管路区间

X、Y、Z：方向

具体实施方式

<1实施方式>

<1.1涂布装置1的构成>

图1是表示实施方式的涂布装置1的概略俯视图，图2是表示涂布装置1的概略前视图，图3是图2中的A-A剖面图。另外，在图1及以后的各图中，为了使这些图的方向关系明确，适当标注以Z方向为铅垂方向、以XY平面为水平面的XYZ正交坐标系。而且，为了易于理解，视需要将各部的尺寸或数量夸张或简化而描绘。

涂布装置1是将涂布液对基板10进行涂布的装置。作为基板10，假设为例如平面显示装置用玻璃基板等。另外，作为涂布液，例如在假设有机EL显示装置的制造的情况下，假设为包含有机EL材料及其溶剂等的液体等。

涂布装置1主要包括基板保持部30、主扫描机构40、涂布单元50、配管支撑构件60、及配管部80等。

<基板保持部30>

基板保持部30构成为可将基板10保持在大致水平姿势。此处，基板保持部30包含平台(stage)32，所述平台32的一主表面在规定高度位置配设成朝上的水平姿势。因此，通过以使基板10的下侧主表面抵接于平台32的上侧主表面的方式将基板10载置于平台32上，而将基板10保持在水平姿势。作为基板保持部，可采用通过吸附基板的下侧主表面而保持该基板的构成、或通过抓持基板的周围而保持该基板的构成等其他各种构成。

另外，在基板保持部30的下方设置有副扫描机构34，所述副扫描机构34使基板10相对于涂布单元50而沿着Y方向(副扫描方向)相对移动。此处，副扫描机构34包含台部36与一对滑动(slide)支承部37，所述台部36在上方支撑平台32。滑动支承部37设于台部36的下端部，构成为可在沿着Y方向延伸的一对副扫描方向引导(guide)部39上进行滑动移动。而且，副扫描机构34构成为通过接受来自线性马达(linear motor)等基板移动驱动部(省略图示)的驱动力，而与所述平台32及基板10一起沿着Y方向移动。另外，也可构成为代替使基板10沿着Y方向移动，而使主扫描机构40及涂布单元50相对于基板10而在Y方向上移动。

另外，可视需要在所述平台32设置对基板10进行加热的加热机构。而且，所述平台32也可构成为能够相对于副扫描机构34而绕铅垂轴进行旋转驱动。

<主扫描机构40>

主扫描机构40包含主扫描方向引导部42。主扫描方向引导部42形成为长条状构件，在基板10的上方位置，沿着相对于基板10大致平行的主扫描方向(X方向)延伸。而且，构成涂布单元50的一部分的滑块(slider)44(可动元件)是具有内部空间的构件，所述内部空间可供主扫描方向引导部42插通配置，且所述滑块44是在与主扫描方向引导部42的外周面之间隔着空气(air)层的状态下，由该主扫描方向引导部42支撑为可沿着X方向移动。

更具体而言，主扫描方向引导部42形成为大致方杆(square bar)状构件。滑块44的外形状形成为大致长方体状，在滑块44内形成有内部空间44s，所述内部空间44s可隔开间隔地包围主扫描方向引导部42的外周面。另外，在滑块44的内周面，形成有空气喷出部44a。此外，从外部经由后述的配管等供给的空气是经由形成于滑块44内的空气分支路径而从所述各空气喷出部44a喷出。而且，通过使空气从所述空气喷出部44a喷出，滑块44成为如下状态：在与主扫描方向引导部42的外周面之间隔着空气层的状态下(即，在相对于主扫描方向引导部42的外周面而浮起的状态下)，被支撑为可沿着X方向移动。因此，滑块44是以可高速并高加速地移动，且耐久性优异的形态被支撑。

在滑块44的上方部分安装有驱动带(belt)74，用以对所述滑块44进行驱动。因此，通过后述的驱动机构72使一对滑轮(pulley)体73进行正反旋转，而使驱动带74及与该驱动带74连结的滑块44沿着X方向移动。另外，在主扫描方向引导部42与滑块44之间隔着空气层，此种空气层除如本实施方式般喷出空气，利用空气压而隔在所述两者之间的形态以外，也可为利用其他力(磁力的排斥力等)而隔在所述两者之间的形态。

<涂布单元50>

涂布单元50的主要构成包含：作为可动元件的滑块44，可沿着主扫描方向引导部42移动；喷嘴保持部52，结合于滑块44的-Y侧；以及喷嘴54，为至少一个，保持于喷嘴保持部52。喷嘴54的数量与配管83的数量相同，各喷嘴54经由各配管83而与涂布液供给源88连接。在本实施方式中，对喷嘴54的数量为10个、配管83的数量为10根的情况进行说明。

喷嘴保持部52包含：基端部52a，安装于滑块44的-Y侧面；以及喷嘴安装板部52b，从基端部52a的下端向-Y侧延伸出。而且，10个喷嘴54是使位置在X方向及Y方向上错开，并安装固定于喷嘴安装板部52b。另外，喷嘴保持部52是将各喷嘴54可动地保持的部分。通过对后述的喷嘴间距调整机构100进行驱动，而调整保持于喷嘴保持部52的各喷嘴54的Y方向位置。

各喷嘴54分别具有可喷出涂布液的喷出口，且以该喷出口朝向喷嘴安装板部52b的下方的姿势固定于喷嘴安装板部52b。因此，通过一面使所述滑块44在X方向上移动，一面从各喷嘴54喷出涂布液，而将该涂布液涂布于基板10的上侧主表面，所述基板10载置于平台32上。

<配管支撑构件60>

配管支撑构件60构成为可沿着X方向追随涂布单元50的移动而移动。此处，配管支撑构件60由配管支撑用引导部62支撑为可移动，所述配管支撑用引导部62是有别于所述主扫描机构40而设置。

即，配管支撑用引导部62形成为长条状构件，在基板10的上方位置沿着所述X方向延伸。而且，配管支撑构件60是具有内部空间的构件，所述内部空间可供配管支撑用引导部62插通配置，且所述配管支撑构件60是在与所述配管支撑用引导部62的外周面之间隔着空气层的状态下，由该配管支撑用引导部62支撑为可沿着X方向移动。

更具体而言，配管支撑用引导部62形成为大致方杆状的构件。配管支撑构件60的外形状形成为大致长方体状，在配管支撑构件60内形成有内部空间64s，所述内部空间64s可隔开间隔地包围配管支撑用引导部62的外周面。另外，在配管支撑构件60的内周面，形成有空气喷出部60a。此外，从外部经由后述的配管等供给的空气是经由形成于配管支撑构件60内的空气分支路径等而从各空气喷出部60a喷出。而且，通过使空气从所述空气喷出部60a喷出，配管支撑构件60成为如下状态：在与配管支撑用引导部62的外周面之间隔着空气层的状态下(即，在相对于配管支撑用引导部62的外周面而浮起的状态下)，被支撑为可沿着X方向移动。

在配管支撑构件60的上表面安装有驱动带78，用以对所述配管支撑构件60进行驱动。另外，此处，配管支撑构件60被支撑为可相对于配管支撑用引导部62而移动的构成是与已就所述主扫描机构40叙述的情况同样地，可采用各种构成。

不过，所述配管支撑构件并不需要如上所述般在相对于配管支撑用引导部隔着空气层的状态下，被支撑为移动自如。例如，配管支撑构件也可构成为在隔着其他低摩擦构件、滚动体等而与长条状的配管支撑用引导部接触的状态下，被支撑为移动自如。

<配管部80>

配管部80包含：配管81(本实施方式中为1根)，用以对配管支撑构件60供给空气；配管82(本实施方式中为1根)，用以对滑块44供给空气；以及配管83(本实施方式中为10根)，用以对各喷嘴54供给涂布液。配管81、配管82的上游侧连接于空气供给源86，配管83的上游侧连接于涂布液供给源88。配管部80的配管81～配管83均由可挠性的管构成，配管部80以悬吊的方式被支撑在本涂布装置1的上方。

配管部80中优选为配管81～配管83被捆扎到各自路径的中途。本实施方式中，在比配管支撑构件60更靠上游侧，配管81～配管83被捆扎。作为捆扎形态，可采用例如利用多个配管83围绕配管81、配管82的周围的形态。

配管81以被配管81～配管83捆扎的状态到达配管支撑构件60，且连接于形成在配管支撑构件60中的空气分支路径。

配管82以被配管81～配管83捆扎的状态到达配管支撑构件60，且经由配管固定部61而支撑固定于配管支撑构件60。而且，配管82在比配管支撑构件60更靠下游侧，与配管83分支，并连接于形成在滑块44中的空气分支路径。

配管83以被配管81～配管83捆扎的状态到达配管支撑构件60，且经由配管固定部61而支撑固定于配管支撑构件60。而且，配管83在比配管支撑构件60更靠下游侧，与配管82分支，并连接于涂布单元50的各喷嘴54。

作为配管固定部61，可采用如下构成等：将配管82及配管83插通于插通孔或凹部内而固定；将配管82及配管83捆扎固定于配管支撑构件60；夹着配管82及配管83而固定于配管支撑构件60。配管82、配管83固定于配管固定部61的中途部分优选为配管82、配管83的全长中相对较靠近滑块44、涂布单元50的部分。

<配管83的详细构成>

配管83是对喷嘴54输送涂布液的配管。因此，为了从喷嘴54喷出涂布液，在基板10的上侧主表面形成均匀的涂布膜，理想的是无压力变动地输送在配管83的内部流动的涂布液。

图4是表示涂布单元50的构成的立体图。图5是表示关于1根配管83的构件构成的示意图。

以下，一面参照图3～图5，一面主要对配管83的配置构成进行说明。以下的说明中，主要对1根配管83进行说明，但其他9根配管83也为同样的构成。

如图5所示，本实施方式的配管83是将种类不同的4个配管831～配管834从上游侧依次串联连接而构成。

配管831是其上游侧端部连接于涂布液供给源88，其下游侧端部与配管832的上游侧端部连接的配管。就各配管83而言，配管831是与其他9根汇集成束，且所述配管831的路径中途固定于固定部840，所述固定部840固定于涂布单元50的+Y侧。以下，针对配管831有如下情况：将比固定于固定部840的位置更靠上游侧的部分称为“配管831A”，将比固定于固定部840的位置更靠下游侧的部分称为“配管831B”。

配管831及配管832经由分支部841而连接，所述分支部841固定于涂布单元50的+Y侧。分支部841是将被捆扎的10根配管831在X方向上以规定间隔分支的部分，也是将分支的10根配管831与其下游侧的10根配管832分别连接的部分。

配管832(第二配管)是其上游侧端部连接于配管831的下游侧端部，其下游侧端部与配管833的上游侧端部连接的配管。配管832可由管径比配管831小的可挠性管(tube)构成。在配管832的管内，形成有例如微小的孔口(orifice)。

当涂布液的流路的内径从某值变小后恢复为原本的内径时，经过该流路的涂布液的平均流速会暂时变为快的速度后恢复为原本的速度。另外，因涂布液与管路内壁的摩擦而产生的涂布液的压力损失与涂布液的流速的平方成比例。因此，通过在管路内设置微小孔口，可使在管路内流动的涂布液产生相对较大的压力损失，而减少(吸收)在管路内流动的涂布液的压力变动。从而，可提高从各喷嘴54喷出的涂布液的流量的均匀性。

配管832及配管833经由接头(connector)部842而连接，所述接头部842固定于涂布单元50的+Y侧。

配管833(第一配管)是其上游侧端部连接于配管832的下游侧端部，其下游侧端部与配管834的上游侧端部连接的配管。配管833可由管径比配管831大且比配管832更软质的可挠性管构成。

配管833会随着在其内部流动的涂布液的压力变动而弹性变形。具体而言，在流动在内部的涂布液的压力高的部位处配管833会膨胀，借此，其内径会变大，在流动在内部的涂布液的压力低的部位处配管833会收缩，借此，其内径会变小。因此，可减少(吸收)涂布液的压力变动。从而，可提高从各喷嘴54喷出的涂布液的流量的均匀性。

如以上所说明，在本实施方式中，利用配管832及配管833的两个阶段吸收从涂布液供给源88供给的涂布液的压力变动后，将该涂布液输送至各喷嘴54。因此，可使从各喷嘴54喷出的涂布液的流量固定，而在基板10的上侧主表面形成均匀的涂布膜。

一般而言，已知使涂布液的压力变动减少的效果大的是利用孔口作为流路的阻力的配管832。然而，若配管832中过度地赋予压力损失，则有涂布液的可喷出的流量变小的问题。另一方面，配管833中虽抑制压力变动的效果比配管832小，但对涂布液赋予的压力损失也比配管832小。

因此，在本实施方式中采用如下构成：通过组合使用配管832及配管833，而抑制涂布液的压力损失并吸收涂布液的压力变动。如此，配管832、配管833作为压力变动吸收部发挥功能，吸收在配管83的内部流动的涂布液的压力变动。

配管833及配管834经由接头部843而连接，所述接头部843固定于涂布单元50的-Y侧。

配管834是其上游侧端部连接于配管833的下游侧端部，其下游侧端部与喷嘴54连接的配管。配管834例如可由与配管831相同的材质构成。

如此，配管831B～配管834将固定于涂布单元50的各部(具体而言为固定部840、分支部841、接头部842、接头部843、及喷嘴54)之间连接。另外，配管831B～配管834的全长充分短于配管831A的全长。而且，配管831B～配管834与配管831A不同，所述配管831A是以如可对应于涂布单元50的X方向移动而变形的弯曲状态而设置，所述配管831B～配管834是以张紧状态而设于固定在涂布单元50的所述各部之间。从而，配管831B～配管834成为相对地固定于涂布单元50的配置。

本说明书中，将配管83中上游侧的配管831A的区间称为“第一管路区间SE1”，将配管83中相对地在涂布单元50固定配置的下游侧的区间即配管831B～配管834的区间称为“第二管路区间SE2”。

如以上所说明，第二管路区间SE2相对地固定配置于涂布单元50，因此，当利用后述的驱动机构72使涂布单元50沿着X方向进行往返移动时，可抑制第二管路区间SE2随着所述移动而挠曲。借此，可有效防止因第二管路区间SE2挠曲而导致在第二管路区间SE2的内部流动的涂布液产生压力变动的情况。从而，能够从喷嘴54以更均匀的流量喷出涂布液。

另外，就各配管83而言，分支部841、接头部842、接头部843、及喷嘴54配设于X方向同一位置(同一YZ面内)。而且，将所述各部之间连接的配管832～配管834就各配管83而言，也配设于X方向同一位置(同一YZ面内)。在本说明书中，将相对地固定配置于涂布单元50的第二管路区间SE2中比分支部841更靠上游侧的配管831B称为“上游侧固定管路区间SE2A”，将在比分支部841更靠下游侧沿着与主扫描方向正交的面内(YZ面内)而配设的配管832～配管834称为“下游侧固定管路区间SE2B”。

因利用后述的驱动机构72使涂布单元50沿着X方向进行往返移动，而对在配管83的内部流动的涂布液施加的惯性力(沿着X方向的作用)是与在下游侧固定管路区间SE2B的内部流动的涂布液的流路方向(YZ面内规定的方向)正交。因此，可有效防止如下情况：因由所述往返移动所引起的惯性力，而导致在下游侧固定管路区间SE2B的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。从而，能够从喷嘴54以更均匀的流量喷出涂布液。

<主扫描驱动机构70>

另外，所述涂布装置1包括主扫描驱动机构70，沿着X方向对滑块44与配管支撑构件60进行同步驱动。如上所述，滑块44是构成涂布单元50的一部分，因此，若沿着X方向对滑块44与配管支撑构件60进行同步驱动，则涂布单元50与配管支撑构件60沿着X方向被同步驱动。此处，所谓“涂布单元50与配管支撑构件60沿着X方向被同步驱动”，不仅包括涂布单元50与配管支撑构件60以同一速度在X方向同一范围被驱动的情况，也包括如下情况：在可抑制对配设于涂布单元50与配管支撑构件60之间的配管82、配管83作用大的拉伸力的范围内，涂布单元50与配管支撑构件60以大致相同的速度在X方向大致相同的范围被驱动。

如此，涂布单元50与配管支撑构件60沿着X方向被同步驱动，因此，可抑制配管831A中从配管支撑构件60到涂布单元50的固定部840的区间随着所述移动而挠曲。借此，可有效防止因所述区间挠曲而导致在该区间的内部流动的涂布液产生压力变动的情况。从而，能够从喷嘴54以更均匀的流量喷出涂布液。

主扫描驱动机构70包含：驱动机构72，对滑块44进行驱动；以及驱动机构76，对配管支撑构件60进行驱动。

驱动机构72包含：一对滑轮体73，设于主扫描方向引导部42的两端部；驱动带74，卷绕于一对滑轮体73上；以及马达75，可对其中一滑轮体73向正反两方向进行旋转驱动。在移行于一对滑轮体73之间的双路径的驱动带74中的一侧(下侧)，连结固定有涂布单元50的滑块44的上方部分。因此，通过一面控制旋转方向及旋转速度、旋转量等，一面使马达75进行旋转驱动，而使涂布单元50沿着X方向进行往返移动。

如此，利用主扫描机构40及驱动机构72而实现的构成作为移位机构发挥功能，使涂布单元50沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于基板保持部30的基板10的主表面平行。

驱动机构76包含：一对滑轮体77，设于配管支撑用引导部62的两端部；驱动带78，卷绕于一对滑轮体77上；以及马达79，可对其中一滑轮体77向正反两方向进行旋转驱动。在移行于一对滑轮体77之间的双路径的驱动带78中的一侧(下侧)，连结固定有配管支撑构件60。因此，通过一面以对涂布单元50与配管支撑构件60进行同步驱动的方式控制旋转方向及旋转速度、旋转量等，一面使马达79进行旋转驱动，而使配管支撑构件60与涂布单元50同步地沿着X方向进行往返移动。不过，如上所述，在可抑制对穿过涂布单元50与配管支撑构件60之间的配管82、配管83作用大的拉伸力的范围内，也可使涂布单元50与配管支撑构件60沿着X方向稍微偏移。

另外，此处，对分别利用马达75、马达79对涂布单元50的滑块44与配管支撑构件60进行驱动的示例进行了说明，但也可通过利用传递机构将来自共用的马达的旋转驱动力分开传递给两者而进行驱动。另外，也可通过将滑块44与配管支撑构件60连结于共用的驱动带而进行同步驱动。此外，对滑块44或配管支撑构件60进行驱动的机构并不限于所述示例，可使用各种机构。

<间距调整机构100>

另外，在涂布单元50的往返移动方向(X方向)的其中一侧(+X侧)，配设有喷嘴间距调整机构100。喷嘴间距调整机构100是接近(access)已移位至+X方向的涂布单元50的喷嘴保持部52，而调整保持于喷嘴保持部52的喷嘴54的副扫描方向的间距的机构。

如上所述，本实施方式的涂布单元50包含固定部840、分支部841、及接头部842、接头部843作为保持配管83的构成，这些构成中配设于涂布单元50的-Y侧(喷嘴保持部52侧)的构成仅为接头部843。如此，通过减少配设于喷嘴保持部52侧的构件构成，而变得易于利用喷嘴间距调整机构100调整保持于喷嘴保持部52的各喷嘴54的配置间隔。

<控制部90>

另外，所述涂布装置1包括控制部90，对本装置各部的动作进行控制。控制部90由包含中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、只读存储器(Read Only Memory，ROM)及随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)等的一般的微型计算机(microcomputer)构成，依照预先存储的软件程序(software program)而进行涂布装置1的动作控制。此处，控制部90构成为在从空气供给源86供给空气的同时开始从涂布液供给源88供给涂布液，使涂布液从各喷嘴54喷出的状态下，进行涂布单元50的滑块44、配管支撑构件60、及平台32的驱动控制。

<1.2涂布装置1的效果>

如以上所说明，在本实施方式中，第二管路区间SE2相对地固定于涂布单元50，下游侧固定管路区间SE2B配设于与主扫描方向正交的YZ面内，涂布单元50与配管支撑构件60被同步驱动等，借此，抑制在配管83的内部流动的涂布液产生压力变动。

而且，在连续至喷嘴54的区间且抑制产生压力变动的区间即下游侧固定管路区间SE2B，设置有压力变动吸收部(配管832、配管833)。因此，能够将压力变动被充分吸收的涂布液供给至喷嘴54。

如此，通过抑制产生压力变动且吸收所产生的压力变动，而可充分减少在配管83的内部流动的涂布液的压力变动，而能够从喷嘴54以更均匀的流量喷出涂布液。

<2变形例>

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明可在不脱离其主旨的范围内，除所述内容以外进行各种变更。在以下的说明中，对于与所述实施方式相同的部分标注同一符号，并省略重复说明。

图6是表示变形例的涂布单元50A的构成的立体图。图7是表示关于变形例的1根配管83的构件构成的示意图。

本变形例主要在如下方面与所述实施方式不同，即：配管831在未与其他9根配管831捆扎的状态下连接于涂布单元50A；以及第二管路区间SE2整体配设于与主扫描方向正交的YZ面内。以下，进行详细叙述。

涂布单元50A与涂布单元50不同，不包含固定部840。而且，涂布单元50A包含接头部844来代替涂布单元50的分支部841。配管831及配管832经由接头部844而连接，所述接头部844固定于涂布单元50A的+Y侧。

配管832～配管834将固定于涂布单元50A的各部(具体而言为接头部844、接头部842、接头部843、及喷嘴54)之间连接。而且，配管832～配管834是以张紧状态而设于固定在涂布单元50A的所述各部之间。从而，配管832～配管834成为相对地固定于涂布单元50A的配置。

如此，在本变形例中，配管83中上游侧的配管831的区间相当于“第一管路区间SE1”，配管83中相对地在涂布单元50A固定配置的下游侧的区间即配管832～配管834的区间相当于“第二管路区间SE2”。

就各配管83而言，接头部844、接头部842、接头部843、及喷嘴54配设于X方向同一位置(同一YZ面内)。而且，将所述各部之间连接的配管832～配管834就各配管83而言，也配设于X方向同一位置(同一YZ面内)。因此，第二管路区间SE2配设于与主扫描方向正交的面内，压力变动吸收部(配管832、配管833)设于该第二管路区间SE2。在本变形例中，也与所述实施方式同样地，通过抑制产生压力变动且吸收产生的压力变动，而可充分减少在配管83的内部流动的涂布液的压力变动，从而能够从喷嘴54以更均匀的流量喷出涂布液。

另外，在本变形例中，理想的是利用所述配管支撑构件60保持10根配管831的路径中途，在配管831(第一管路区间SE1)中的比配管支撑构件60更靠上游侧，10根配管831被捆扎，在配管831中的比配管支撑构件60更靠下游侧，10根配管831分支。借此，可获得如下优点：会因涂布单元50及配管支撑构件60的往返移动而挠曲的部分(比配管支撑构件60更靠上游的部分)被捆扎，从而变得易于控制挠曲；以及连接于涂布单元50的部分(比配管支撑构件60更靠下游的部分)分支，从而无需在涂布单元50设置分支部841。

图8是表示作为压力变动吸收部的T字配管835的概略侧视图。

T字配管835包含：干路835A，沿着配管83中的涂布液的流路方向AR(本变形例中为+X方向)；支路835B，从干路835A向与主扫描方向正交的方向(本变形例中为+Z方向)分支；以及隔膜(membrane)835C，设于支路835B中的下游侧端部。

当在T字配管835的内部流动的涂布液的压力高时，隔膜835C向+Z方向变形(参照图8的实线)，支路835B的内部空间变大，当在T字配管835的内部流动的涂布液的压力低时，隔膜835C向-Z方向变形(参照图8的虚线)，支路835B的内部空间44s变小。从而，利用隔膜835C而减少(吸收)在T字配管835的内部流动的涂布液的压力变动。

如上所述，压力变动吸收部(本变形例中为T字配管835)是配设于YZ面内的部分，因此，干路835A及支路835B配设于YZ面内。因此，可抑制如下情况：因由涂布单元50的移动所引起的惯性力，而导致在T字配管835内流动的涂布液产生流路方向的压力变动。本变形例中，对支路835B设于+Z方向的情况进行了说明，但支路835B也可设于-Z方向。另外，可代替本变形例的隔膜835C，而利用根据涂布液的压力而变形的各种弹性体。

可代替所述实施方式中所说明的配管832、配管833而使用T字配管835，也可与配管832、配管833的至少一个一并使用T字配管835。

另外，即便在不使用T字配管835作为压力变动吸收部的情况下，除所述实施方式的形态以外，也可采用仅具有配管832的形态、仅具有配管833的形态、在配管833的下游侧具有配管832的形态等各种形态。

另外，在所述实施方式中，对包括与涂布单元50同步驱动的配管支撑构件60的涂布装置1进行了说明，但并不限于此。当不存在配管支撑构件60时，可省略对配管支撑构件60供给空气的配管81、及与配管支撑构件60的驱动相关的机构(配管支撑用引导部62、驱动机构76等)，因此，可实现装置的小型化。另一方面，当存在配管支撑构件60时，如上所述，可有效抑制因配管831挠曲而导致在配管831的内部流动的涂布液产生压力变动的情况。

另外，在所述实施方式中，对配管83为10根的情况进行了说明，但并不限于此。配管83既可为9根以下，也可为11根以上。此时，用以使配管83相对地固定于涂布单元50的各构成(固定部840、分支部841、接头部842、接头部843、喷嘴54)也以数量与配管83相同的方式变更。其他各部也并不限于所述实施方式的构成，可变更其数量。

另外，在所述实施方式中，对在将4根配管831～配管834利用3个配管连接部(分支部841、接头部842、接头部843)串联连接的构成中，1个配管连接部(接头部843)配设于涂布单元50的-Y侧(喷嘴保持部52侧)的构成进行了说明，但并不限于此。

例如，也可为2个以上的配管连接部配设于喷嘴保持部52侧的形态。另外，也可为1个配管连接部也不配设于喷嘴保持部52侧的形态。一般而言，当将n根(n为2以上的整数)的配管利用n-1个配管连接部串联连接而构成配管83时，若为从滑块44(可动元件)观察时，在喷嘴保持部52侧至多仅配设有1个配管连接部的形态，则可实现充分减少配设于喷嘴保持部52侧的构件构成。从而，当对喷嘴54进行各种处理时(典型而言为，当利用喷嘴间距调整机构100进行喷嘴54的间距调整时)，变得易于进行所述处理。

以上，对实施方式及其变形例的涂布装置进行了说明，但它们为本发明优选的实施方式的示例，并不限定本发明的实施范围。本发明可在本发明的范围内自由组合各实施方式、或使各实施方式的任意构成要素变形、或者在各实施方式中省略任意构成要素。

Claims (9)

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

基板保持部，保持基板；

涂布单元，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；

移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；

配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及

压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；

所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，

所述第二管路区间具有所述第二管路区间中的上游侧的上游侧固定管路区间、与所述第二管路区间中的下游侧的下游侧固定管路区间，

所述下游侧固定管路区间沿着与所述主扫描方向正交的面内而配设，所述压力变动吸收部设于所述下游侧固定管路区间。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述第二管路区间包含分支部，所述分支部使被捆扎的多个所述配管分支，

所述第二管路区间中的比所述分支部更靠上游侧为所述上游侧固定管路区间，所述第二管路区间中的比所述分支部更靠下游侧为所述下游侧固定管路区间，

在所述第一管路区间及所述上游侧固定管路区间，多个所述配管被捆扎。

3.一种涂布装置，其特征在于，包括：

基板保持部，保持基板；

涂布单元，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；

移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；

配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及

压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；

所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，

所述第二管路区间配设于与所述主扫描方向正交的面内，所述压力变动吸收部设于所述第二管路区间。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，

还具有配管支撑构件，所述配管支撑构件与利用所述移位机构使所述涂布单元沿着所述主扫描方向的移位同步地，沿着所述主扫描方向移位，

所述配管支撑构件配设于所述第一管路区间的中途，在所述第一管路区间中的比所述配管支撑构件更靠上游侧，多个所述配管被捆扎，在所述第一管路区间中的比所述配管支撑构件更靠下游侧，多个所述配管分支。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述压力变动吸收部具有可挠性的第一配管，所述第一配管的管径大于所述第一管路区间的配管的管径，所述配管的一部分包含所述第一配管。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述压力变动吸收部具有可挠性的第二配管，所述第二配管的管径小于所述第一管路区间的配管的管径，所述配管的一部分包含所述第二配管。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述压力变动吸收部具有T字配管，所述T字配管包括干路与支路，所述干路沿着所述配管中的所述涂布液的流路方向，所述支路是从所述干路向与所述主扫描方向正交的方向分支而成，

所述配管的一部分包含所述T字配管。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂布单元具有：可动元件，利用所述移位机构而沿着所述主扫描方向移位；以及喷嘴保持部，与所述可动元件结合而保持所述喷嘴；

所述配管是将n根(n为2以上的整数)的配管利用n-1个配管连接部串联连接而构成，

从所述可动元件观察时，在所述喷嘴保持部侧至多仅配设有1个配管连接部。

9.根据权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，

所述喷嘴保持部是将所述喷嘴可动地保持的部分，

所述涂布装置还包括喷嘴移动机构，对所述喷嘴保持部中的所述喷嘴的位置进行调节。