KR101951982B1 - 엑시머 방전 램프 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제)외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해서 높은 내성을 가짐과 함께, 엑시머 방전 램프의 위치가 정확하게 규제되고, 따라서, 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있는 엑시머 방전 램프 장치를 제공하는 것.
(해결 수단)엑시머 방전 램프 장치는, 막대형의 엑시머 방전 램프와, 이 엑시머 방전 램프를 내부에 봉입하는, 상기 엑시머 방전 램프의 축방향으로 신장하는 막대형의 보호관을 구비하고 있고, 상기 보호관에는, 한쪽의 단부의 내면에 오목부가 형성되어 있고,
상기 엑시머 방전 램프는, 한쪽의 단부에, 상기 보호관의 오목부에 삽입된 피지지부를 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

엑시머 방전 램프 장치{EXCIMER DISCHARGE LAMP APPARATUS}
본 발명은, 엑시머 방전 램프 장치에 관한 것이다. 더 자세히는, 세정 처리 및 살균 처리 등에 이용되는 엑시머 방전 램프 장치에 관한 것이다.
종래, 엑시머 방전 램프는, 세정 처리나 살균 처리 등에 이용되고 있다. 엑시머 방전 램프의 일종으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 발광부(52)의 양단부에 봉지부(53, 53)가 형성된 막대형의 발광관(51)을 구비하고, 발광부(52)의 외주면에 망상의 외측 전극(56)이 배치되고, 발광관(51)의 내부에 내부 전극(57)이 배치된 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조.). 이 엑시머 방전 램프에 있어서, 발광관(51)은 석영 유리로 이루어지는 것이다. 또, 발광부(52)의 내부에는, 발광 가스로서, 예를 들면, 크세논 가스(Xe)가 봉입되어 있고, 그 발광 가스의 봉입압은 20~200kPa로 되어 있다. 봉지부(53, 53)는, 발광관 형성 재료(석영 유리관)의 단부를 가열하면서 압궤하는 핀치 시일법에 의해 형성된 것이다.
또, 내부 전극(57)은, 발광관(51)의 중심축을 따르도록 배치된 금속봉으로 이루어지고, 그 양단부가 봉지부(53, 53)의 내부에 매설된 금속박(58, 58)의 일단에 접속됨과 함께, 봉지부(53, 53)에 의해 지지되어 있다. 금속박(58, 58)의 타단에는 외부 리드(59, 59)의 일단부가 접속되어 있고, 상기 외부 리드(59, 59)의 타단부는, 봉지부(53, 53)의 외단으로부터 외부로 돌출되어 있다.
그러나, 이러한 구성의 엑시머 방전 램프는, 외측 전극(56)이 외부에 노출되어 있기 때문에, 작업자 등이 점등 상태의 엑시머 방전 램프의 외측 전극(56)에 접촉할 가능성이 있다. 또, 점등 상태의 엑시머 방전 램프는 고온이 되기 때문에, 외측 전극(56)을 구성하는 전극 재료가 증발하기 쉽다는 문제도 있다. 또한, 엑시머 방전 램프로부터의 광이 조사됨으로써 피조사물로부터 생기는 비산물이, 상기 엑시머 방전 램프의 표면에 부착해 버린다는 문제도 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 엑시머 방전 램프(61)의 발광관(62)이, 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 보호관(71)에 의해 덮여져 이루어지는 엑시머 방전 램프 장치(60)가 이용되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조.).
이 엑시머 방전 램프 장치(60)에 있어서, 엑시머 방전 램프(61)는, 석영 유리제의 막대형의 발광관(62)을 구비하고, 이 발광관(62)의 외주면에, 상기 발광관(62)의 중심축을 따라 신장하는 한 쌍의 띠형의 외측 전극(63, 63)이 서로 대향하고, 상기 중심축에 관해서 대칭적으로 배설된 것이다. 외측 전극(63, 63)은, 몰리브덴 등으로 이루어지는 장척의 금속판의 일부분에 의해 구성되어 있고, 발광관(62)의 외주면에 밀착 고정되어 있다. 발광관(62)의 내부에는, 크세논 가스(Xe) 등의 발광 가스가 봉입되어 있다.
또, 보호관(71)은, 발광관(62)의 전체를 덮도록 동축형으로 설치되어 있고, 보호관(71)과 발광관(62)의 사이에는, 대략 원통형의 공간이 형성되어 있다. 이 공간은, 감압 상태 또는 질소 가스 등의 불활성 가스가 충전된 상태가 된다. 보호관(71)의 양단부에는, 각각, 몰리브덴박(72, 72)이 매설되어 있고, 상기 몰리브덴박(72, 72)에는, 외측 전극(63, 63)을 구성하는 금속판이 접속되어 있음과 함께, 보호관(71)의 양단부의 각각으로부터 외부로 돌출하는 외부 리드(74, 74)가 접속되어 있다. 그리고, 보호관(71)의 내부에 있어서는, 발광관(62)이, 외측 전극(63, 63)을 구성하는 금속판과 몰리브덴박(72, 72)에 의해 지지되어 있다.
그러나, 이러한 구성의 엑시머 방전 램프 장치(60)는, 발광관(62)이 몰리브덴박(72, 72)과 외측 전극(63, 63)을 구성하는 금속판에 의해 지지된 것이기 때문에, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대한 내성이 작다는 문제가 있다.
또, 엑시머 방전 램프 장치(60)는, 제조 공정, 구체적으로는 유리 선반을 이용하여 보호관 형성용 재료(석영 유리관)를 봉지 및 탈기하는 과정에 있어서, 발광관(62)의 위치가 변위하기 쉽고, 따라서 발광관(62)을, 보호관(71)의 내부에 높은 위치 정밀도로 배치시키는 것이 곤란하다. 그 때문에, 발광관(62)은, 보호관(71)에 대해서 편심한 상태가 되기 쉬운, 즉 보호관(71)의 중심축과 발광관(62)의 중심축이 크게 기운 상태가 되기 쉽다는 문제도 있다. 여기에, 엑시머 방전 램프 장치(60)가, 보호관(71)의 중심축과 발광관(62)의 중심축이 크게 기운 상태가 된 경우에는, 피조사물과 보호관(71)이 정확한 위치 관계, 즉 피조사물과 보호관(71)이 평행한 상태에 있어도, 발광관(62)과 피조사물 사이의 거리가, 발광관(62)의 축방향으로 불균일해진다. 그 때문에, 피조사물에 대해서 높은 균일성으로 광을 조사할 수 없다는 문제가 생긴다.
일본국 특허공개 2013-257999호 공보 일본국 특허공개 2009-224089호 공보
본 발명은, 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해서 높은 내성을 가짐과 함께, 엑시머 방전 램프의 위치가 정확하게 규제되고, 따라서, 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있는 엑시머 방전 램프 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 엑시머 방전 램프 장치는, 막대형의 엑시머 방전 램프와, 이 엑시머 방전 램프를 내부에 봉입하는, 상기 엑시머 방전 램프의 축방향으로 신장하는 막대형의 보호관을 구비하고 있고,
상기 보호관에는, 한쪽의 단부의 내면에 오목부가 형성되어 있고,
상기 엑시머 방전 램프는, 한쪽의 단부에, 상기 보호관의 오목부에 삽입된 피지지부를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 피지지부가, 엑시머 방전 램프의 축방향 바깥쪽으로 돌출하도록 설치된 돌출 부재에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이러한 구성의 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 돌출 부재에는, 상기 보호관의 오목부의 내면에 접하는 완충 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 엑시머 방전 램프는, 내부에 발광 가스가 봉입된 발광부와 상기 발광부의 양단의 각각에 연속 설치 된 봉지부를 갖는 발광관, 상기 발광부의 외주면에 배치된 외측 전극, 및 발광부의 내부에 배치된 내부 전극을 구비하고 있고,
상기 돌출 부재는, 상기 내부 전극과 전기적으로 접속되어 있지 않은 금속 막대로 이루어지는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 완충 부재는, 망상의 도전 부재에 의해, 상기 외측 전극과 일체로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 의하면, 보호관의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프가, 상기 엑시머 방전 램프의 피지지부가 보호관의 오목부의 내부에 삽입된 상태로 보유되어 있다. 그 때문에, 보호관에 대한 엑시머 방전 램프의 위치를 정확하게 규제하고, 엑시머 방전 램프를 소기의 위치에 높은 정밀도로 배치할 수 있고, 따라서 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있음과 함께, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해서 높은 내성을 얻을 수 있다. 또, 피지지부가 금속에 의해 형성된 것이어도, 상기 피지지부의 열팽창에 기인하여 보호관에 크랙이 발생하는 일이 없다.
도 1은 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을, 일부를 축방향을 따른 단면으로 절단한 상태로 나타내는 설명용 부분 단면도이다.
도 2는 도 1의 주요부를 확대하여 나타내는 설명용 확대도이다.
도 3은 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 일례를 나타내는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 더 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 또 더 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 7은 종래의 엑시머 방전 램프의 일례에 있어서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도 8은 종래의 엑시머 방전 램프 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을 나타내는 설명용 단면도이다.
이하, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치의 실시 형태에 대해 설명한다.
도 1은, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을, 일부를 축방향을 따른 단면으로 절단한 상태로 나타내는 설명용 부분 단면도이다.
이 엑시머 방전 램프 장치(10)는, 막대형의 엑시머 방전 램프(11)를 구비하고 있고, 이 엑시머 방전 램프(11)가, 일단부의 내면에 오목부(33)가 형성된 막대형의 보호관(30)의 내부에 봉입되어 이루어지는 것이다. 이 보호관(30)의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프(11)는, 보호관(30)의 중심축을 따라 신장하도록 배치되어 있다.
엑시머 방전 램프(11)는, 원관형의 발광부(13)와, 발광부(13)의 양단의 각각에 연속 설치된 봉지부(14a, 14b)를 갖는 발광관(12)을 구비하고 있다.
이 도면의 예에 있어서, 발광관(12)에 있어서의 한쪽의 봉지부(14a)는, 핀치 시일법에 의해 형성된 편평형의 형상을 갖고 있고, 다른쪽의 봉지부(14b)는, 슈링크 시일법에 의해 형성된 원주형의 형상을 갖고 있다. 발광관(12)은, 예를 들면 합성 석영 유리에 의해 형성되어 있다.
발광부(13)의 내부에는, 금속소선이 코일형으로 감겨 이루어지는 내부 전극(20)이, 코일축이 발광관(12)의 중심축(A)과 일치하는 상태에서, 상기 중심축(A)을 따라 신장하도록 배치되어 있다. 내부 전극(20)은, 다른쪽의 봉지부(14b)에 기밀하게 매설된 금속박(21)을 개재하여, 타단부가 다른쪽의 봉지부(14b)의 외단보다 축방향 바깥쪽으로 돌출하는 내부 전극용 외부 리드(22)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 내부 전극(20)의 일단부는 다른 쪽의 봉지부(14b)에 의해 지지되어 있다.
또, 발광부(13)의 내부에는, 발광 가스가 충전되어 있다. 발광 가스로서는, 예를 들면 크세논 가스(Xe), 아르곤 가스(Ar), 크립톤 가스(Kr) 등의 엑시머 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는 방전 매질로서의 작용을 갖는 희가스가 이용된다.
또, 발광관(12)의 내부에는, 희가스와 함께 필요에 따라, 불소 가스(F2), 염소 가스(Cl2), 요오드 가스(I2) 및 브롬 가스(Br2) 등의 할로겐 가스가 봉입된다.
또, 발광부(13)의 내부에 있어서의 일단측에는, 예를 들면 바륨(Ba)으로 이루어지는 게터(19)가 설치되어 있다.
이 도면의 예에 있어서, 게터(19)는, 발광관(12)의 내주면의 사방에 걸쳐 부착한 상태로 설치되어 있다.
발광부(13)의 외주면에는, 외측 전극(25)이 발광부(13)의 축방향을 따라 신장하도록 배치되어 있다.
이 외측 전극(25)은, 통형의 형태를 갖는 망상의 도전 부재에 의해 형성되어 있다. 이 망상의 도전 부재는, 발광부(13)의 외주면 및 한쪽의 봉지부(14a)의 외주면의 전역에 걸쳐 이들의 외주면에 밀접한 상태로 배설되어 있다.
이 도면의 예에 있어서, 망상의 도전 부재는, 발광관(12)의 관벽 및 발광부(13)의 내부 공간을 통해 내부 전극(20)과 대향하는 부분(이하, 「대향 부분」이라고도 한다.)에 있어서, 내부 전극(20)과의 사이에 엑시머 방전이 생기는 것이며, 이 대향 부분에 의해 외측 전극(25)이 구성되어 있다.
그리고, 한쪽의 봉지부(14a)에는, 막대형의 돌출 부재(16)에 의해 형성된 피지지부가 , 발광관(12)의 축방향 바깥쪽으로 신장하도록 설치되어 있다.
이 피지지부는, 적어도 선단 부분이 보호관(30)의 오목부(33)내에 삽입된 상태로 배치된다.
돌출 부재(16)는, 금속봉으로 이루어지는 것이며, 이 금속봉은, 리드의 구성 재료로서 이용되는 금속으로 이루어지는 것이다.
이 돌출 부재(16)는, 일단부가 한쪽의 봉지부(14a)의 외단보다 축방향 바깥쪽으로 돌출하고, 적어도 선단 부분이 보호관(30)의 오목부(33) 내에 삽입된 상태로 되어 있고, 또, 타단부가 한쪽의 봉지부(14a)에 의해 지지되어 있다.
또, 돌출 부재(16)의 타단부는, 한쪽의 봉지부(14a) 내에 있어서, 내부 전극(20)의 일단부와 이간한 상태로 되어 있다. 즉, 돌출 부재(16)는, 내부 전극(20)과 전기적으로 접속되어 있지 않다.
이 도면의 예에 있어서, 돌출 부재(16)는, 발광관(12)의 중심축(A)과 일치하여 배치되어 있다.
돌출 부재(16)의 일단부에는, 도 2에 나타내어져 있는 바와 같이, 보호관(30)의 오목부(33)의 내면에 접하는 완충 부재(18)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 피지지부는, 돌출 부재(16)와, 완충 부재(18)에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
또, 완충 부재(18)는, 도 2에 나타내어져 있는 바와 같이, 외측 전극(25)과 일체인 것이 바람직하다. 즉, 완충 부재(18)는, 외측 전극(25)과 공통의 도전 부재에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이 도면의 예에 있어서, 완충 부재(18)는, 망상의 도전 부재의 일단부에 의해 구성되어 있다. 망상의 도전 부재의 일단부는, 돌출 부재(16)의 일단부 전체를 덮고, 상기 돌출 부재(16)에 밀착한 상태로 되어 있다. 이 완충 부재(18)는, 망상의 도전 부재의 일단부를 돌출 부재(16)의 일단부에 씌우고, 그 망상의 도전 부재의 일단부를 비틀도록 하여 돌출 부재(16)에 휘감고, 밀착시켜 고정함으로써 형성된 것이다.
돌출 부재(16)에 완충 부재(18)가 설치되어 있음으로써, 완충 부재(18)에 의해 외부로부터 가해지는 진동 충격이 흡수되기 때문에, 진동 충격에 대한 한층 더 높은 내성을 얻을 수 있다.
보호관(30)은, 타단이 개구하는 바닥이 있는 원통형이며, 개구부가 대략 원주형인 봉지 부재(35)에 의해 기밀하게 봉지되고, 일단부에 오목부(33)가 형성된 것이다.
이 보호관(30)의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프(11)는, 다른 쪽의 봉지부(14b)가 봉지 부재(35)에 지지되고, 피지지부가 오목부(33)의 내부에 삽입됨으로써, 보호관(30)의 내주면에 접촉하지 않도록, 발광관(12)의 중심축(A)이 보호관(30)의 중심축 상에 위치된 상태로 보유된다. 또, 보호관(30)의 내부 공간은, 감압 상태, 또는 예를 들면 질소 가스 등의 불활성 가스가 충전된 상태로 되어 있다.
이 도면의 예에 있어서, 보호관(30)은, 엑시머 방전 램프(11)로부터 방사되는 광(예를 들면 진공 자외선)을 출사하는 광투과부(31)와, 그 광을 차폐하는 비광투과부(32)를 갖는 것이다. 광투과부(31)는, 일단부측에 형성되어 있고, 이 광투과부(31)에는, 내부 전극(20) 및 외측 전극(25)이 위치되어 있다. 한편, 비광투과부(32)는, 타단부측에 형성되어 있고, 광투과부(31)보다 큰 두께를 갖고 있다.
보호관(30)에 있어서, 오목부(33)는, 보호관(30)의 중심축상에 배설되어 있다.
이 도면의 예에 있어서, 오목부(33)는, 배기관 잔부에 의해 구성되어 있고, 이 배기관 잔부는, 상기 배기관 잔부의 중심축이, 보호관(30)의 중심축과 일치하는 상태로, 상기 보호관(30)의 중심축을 따라 신장하도록 배치되어 있다.
봉지 부재(35)는, 예를 들면 용융 석영 유리로 이루어지고, 보호관(30)의 개구부에 삽입 배치되어 그 외주면과 보호관(30)의 내주면이 용착되어 있다.
이 봉지 부재(35)에 있어서는, 상기 봉지 부재(35)의 일단부에, 엑시머 방전 램프(11)의 다른쪽의 봉지부(14b)의 타단부가 고정되어 있다.
또, 봉지 부재(35)에는, 엑시머 방전 램프(11)에 있어서의 내부 전극용 외부 리드(22)가, 봉지 부재(35)의 중앙 위치를 축방향으로 관통하여 신장하도록 배설되어 있고, 이와 같이 하여, 내부 전극용 외부 리드(22)의 타단부가 보호관(30)의 외부에 도출되어 있다.
봉지 부재(35)의 외주면과 보호관(30)의 내주면의 접합부에는, 예를 들면 몰리브덴으로 이루어지는 금속박(40)이 기밀하게 매설되어 있다. 이 금속박(40)에는, 꼬임선으로 이루어지는 급전선(41)을 통해 엑시머 방전 램프(11)의 외측 전극(25)에 접속된 막대형의 내부 리드(42)의 타단부가 접속되어 있음과 함께, 타단부가 보호관(30)의 타단면보다 축방향 바깥쪽으로 돌출하는 막대형의 외부 전극용 외부 리드(43)의 일단부가 접속되어 있다. 내부 리드(42)는, 예를 들면 몰리브덴으로 이루어지고, 급전선(41)은, 예를 들면 니켈선으로 이루어진다.
이러한 구성으로 되어 있음으로써, 외부 전극용 외부 리드(43)와 내부 전극용 외부 리드(22)의 공간 거리의 크기를 충분히 확보할 수 있으므로, 전기적 절연 상태를 유지하면서, 소기의 급전구조를 형성할 수 있다. 또, 꼬임 선으로 이루어지는 급전선(41)을 사용하고 있음으로써, 내부 리드(42)나 봉지 부재(35)에 의한 봉지부에 큰 힘이 가해지지 않고, 또, 급전선(41)의, 외부 전극(25) 및 외부 전극용 외부 리드(43)에 대한 충분한 크기의 접촉 면적을 확보할 수 있고, 이 점에 있어서도, 소기의 급전 구조를 확실히 형성할 수 있다.
보호관(30)의 타단부에는, 세라믹제의 베이스 부재(45)가 무기 접착제에 의해 고정되어 설치되어 있고, 외부 전극용 외부 리드(43) 및 내부 전극용 외부 리드(22)의 타단부는 각각 베이스 부재(45)에 설치된 급전선(46, 46)에 접속되어 있다.
이 엑시머 방전 램프 장치(10)의 제조 과정에 있어서는, 일단에 배기관이 부착되고, 타단에 개구를 갖는 보호관 형성 재료의 내부에, 엑시머 방전 램프(11)를, 상기 배기관의 내부에 피지지부를 삽입한 상태로 배치한다. 그리고, 보호관 형성 재료의 타단을 봉지하고, 그 보호관 형성 재료의 내부를 탈기하고, 필요에 따라 불활성 가스를 충전한 후, 배기관을 팁 오프한다. 이와 같이 하여, 보호관(30)의 일단부에 있어서, 피지지부가 삽입된 상태의 오목부(33)가 형성됨과 함께, 보호관(30)의 내부에 엑시머 방전 램프(11)가 봉입된다.
그러나, 엑시머 방전 램프 장치(10)에 의하면, 보호관(30)의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프(11)가, 피지지부가 보호관(30)의 오목부(33)의 내부에 삽입된 상태로 보유되어 있다. 그 때문에, 엑시머 방전 램프(11) 및 보호관(30)이 매우 장척인 것이어도, 보호관(30)에 대한 엑시머 방전 램프(11)의 위치를 정확하게 규제하고, 엑시머 방전 램프(11)를 소기의 위치에 높은 위치 정밀도로 배치할 수 있고, 따라서 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있음과 함께, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해 높은 내성을 얻을 수 있다. 또, 피지지부를 구성하는 돌출 부재(16)가 금속제의 것이어도, 돌출 부재(16)의 열팽창에 기인하여 보호관(30)에 크랙이 발생하는 일이 없다.
이상에 있어서, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치를 구체적인 예를 이용하여 설명했지만, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치는 이것에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 완충 부재는, 외측 전극과 별개의 것, 구체적으로는, 돌출 부재에 밀착하여 휘감긴 금속소선에 의해 형성된 것이어도 되고, 또 탄성 부재로 이루어지는 것이어도 된다. 탄성 부재로 이루어지는 완충 부재의 구체예로서는, 도 3에 나타내는 바와 같이 코일 스프링으로 이루어지는 것, 도 4에 나타내는 바와 같이 판형 소용돌이 스프링으로 이루어지는 것, 또 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이 판형 스프링으로 이루어지는 것 등을 들 수 있다. 도 3의 코일 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 다른 쪽(도 3에 있어서의 왼쪽)의 단부가 돌출 부재(16)에 휘감김으로써 고정되어 있다. 도 4의 판형 소용돌이 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 한쪽(도 4에 있어서의 오른쪽)의 단부가 돌출 부재(16)에 휘감김으로써 고정되어 있다. 도 5의 판형 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 굴곡부에 설치된 관통 구멍에 돌출 부재(16)가 끼워 맞춰짐으로써 고정되어 있다. 또, 도 6의 판형 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 양단부의 각각에 형성된 오목부가 한쪽의 봉지부(14a)의 외단에 끼워 맞춤으로써, 돌출 부재(16)의 일단부 전체를 덮는 상태로 고정되어 있다.
또, 보호관의 타단부의 봉지 구조 및 엑시머 방전 램프의 타단부의 고정 구조는, 각각, 도 1의 엑시머 방전 램프 장치(10)에 관한 구조로 한정되는 것은 아니며, 어떠한 구성을 갖는 것이어도 된다.
10:엑시머 방전 램프 장치 11:엑시머 방전 램프
12:발광관 13:발광부
14a:한쪽의 봉지부 14b:다른쪽의 봉지부
16:돌출 부재 18:완충 부재
19:게터 20:내부 전극
21:금속박 22:내부 전극용 외부 리드
25:외측 전극 30:보호관
31:광투과부 32:비광투과부
33:오목부 35:봉지 부재
40:금속박 41:급전선
42:내부 리드 43:외부 전극용 외부 리드
45:베이스 부재 46:급전선
A:발광관의 중심축(램프 중심축) 51:발광관
52:발광부 53:봉지부
56:외측 전극 57:내부 전극
58:금속박 59:외부 리드
60:엑시머 방전 램프 장치 61:엑시머 방전 램프
62:발광관 63:외측 전극
71:보호관 72:몰리브덴박
74:외부 리드

Claims (5)

  1. 막대형의 엑시머 방전 램프와, 이 엑시머 방전 램프를 내부에 봉입하는, 상기 엑시머 방전 램프의 축방향으로 신장하는 막대형의 보호관을 구비하고 있고,
    상기 보호관에는, 한쪽의 단부의 내면에 오목부가 형성되어 있고,
    상기 엑시머 방전 램프는, 내부에 발광 가스가 봉입된 발광부와 상기 발광부의 양단의 각각에 연속 설치된 봉지부를 갖는 발광관, 상기 발광부의 외주면에 배치된 외측 전극, 및 발광부의 내부에 배치된 내부 전극을 구비하고 있고,
    상기 엑시머 방전 램프의 한쪽의 단부의 봉지부에, 상기 보호관의 오목부에 삽입된 피지지부를 갖고,
    상기 피지지부가, 엑시머 방전 램프의 축방향 바깥쪽으로 돌출하도록 설치된 돌출 부재에 의해 형성되며,
    상기 돌출 부재는, 상기 내부 전극과 전기적으로 접속되어 있지 않은 금속봉으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 돌출 부재에는, 상기 보호관의 오목부의 내면에 접하는 완충 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 완충 부재는, 망상의 도전 부재에 의해, 상기 외측 전극과 일체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
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