JP5741603B2 - エキシマランプ - Google Patents
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Description
その紫外線ランプとしては、従来低圧水銀ランプが多用されているが、これよりも発光効率が良く、光出力強度が強いエキシマランプの採用が近時検討されている。しかしながら、このエキシマランプにおいては、封入する発光ガスによっても異なるが、放射光の波長が200nm以下の真空紫外光であり、例えば、発光ガスとしてキセノンを封入した場合、その放射光は172nmを中心とする真空紫外光であって、これをそのまま冷蔵庫用に用いると、この真空紫外光によって庫内の雰囲気にオゾンが発生してしまい、人体に対して悪影響を及ぼすことから、そのままでは使用することができない。
また、放電容器内に発光空間とは別のゲッター室を設けた構造もあるが、この構造でも、放電容器の全長が長くなり、放電容器内の構造も複雑である。
冷蔵庫内の殺菌処理のためには、ランプの小型化・構造簡略化が必須であり、上記した構造はこうした用途には不向きであり、こうした用途での、小型で構造が簡便であり、かつ放射照度の急激な低下を招くことのないエキシマランプの実現が期待されている。
また、前記ゲッターは、中空棒状の金属容器内にゲッター材料が保持されて構成され、該ゲッターの長手方向が前記内部電極の長手方向に対して略直交して配置されていることを特徴とする。
また、前記密巻部には、前記内部電極を保持し固定するアンカー部が設けられていることを特徴とする。
また、前記放電容器は、その一方の端部側は金属箔によって箔封止され、他方の端部側にはチップ部が設けられており、前記内部電極は、その一端が前記金属箔と電気的に接続されて前記放電容器に封止され、他端が前記チップ部内に挿入されており、前記密巻部は、前記内部電極の他端側に偏った位置に形成されていることを特徴とする。
また、ゲッターをコイル状内部電極の密巻部に取り付けたので、該密巻部がより高温となって、ゲッターを活性化させやすく、その活性温度を維持できるという効果がある。
こうして、放電容器内に蛍光体を設けることにより、オゾン発生の心配がなく、殺菌処理に有効な波長の紫外光を発生できるとともに、放電容器内に蛍光体からの不純ガスや水分を吸収するゲッターを配置しても、小型で構造が簡便なエキシマランプを提供できるものである。
エキシマランプ1は、放電容器2の一端が封止された封止部3を有し、他端には排気チップ残部であるチップ部4が形成されている。該放電容器2には、真空紫外光の吸収率が高い部材を用いることが好適であり、例えば、ソーダ石灰ガラス、オゾンレス石英ガラス、溶融石英ガラスなどを用いることができる。
放電容器2の外周面には、例えば、網形状の外部電極5が設けられ、放電容器2の内部にはその長手方向に延在する内部電極6が設けられている。図4にも示すように、この内部電極6はコイル形状をしていて、一端部6aにおいて前記封止部3内に埋設された金属箔7に電気的に接続されており、他端部6bは前記チップ部4内に挿入されている。
そして、放電容器2内には希ガスが封入され、例えば、キセノン(Xe)、クリプトン(Kr)、アルゴン(Ar)、ネオン(Ne)であり、これらを単独で用いても良いし、適宜組合せて混合して用いてもよい。
図2および図4に示すように、この密巻部8は長さ方向においてチップ部4側に偏った位置に形成されており、この密巻部8にはアンカー部9が設けられていて、コイル状内部電極6を保持している。
そして、図2および図3に示すように、この密巻部8にはゲッター10が取り付けられている。
このゲッター材12としては、例えば、チタニウム、ジルコニウム、ニオブ、バナジウム、鉄、イットリウム、ハフニウム等、またその何れかを含む合金であって、ゲッターの活性化温度が300度〜700度の材料を用いる。
そして、該ゲッター10はコイル状内部電極6の密巻部8において、該内部電極6と略直交するように溶接等により取り付けられていて、図6に示すように、この配置により、ゲッター10の両端は外部電極5に接近し、該外部電極5との距離が小さくなる。これにより、ゲッター10はランプの始動時に始動補助電極として機能し、始動性の向上をもたらすことになる。
一方、図4、図6に示すように、前記放電容器2の内面には、蛍光体15が設けられていて、放電容器2内に封入された発光ガスがエキシマ放電により生成する172nmなどの真空紫外光を、それより長波長の230nm〜250nmなどの紫外光に変換する。
この蛍光体としては、例えば、YPO4:Nd、LiYP4O12:Pr、LaPO4:Pr、LaPO4:Pr、YAl3B4O12:Pr、YAl3B4O12:Bi、LaPO4:Ce、LaMgAl11O19:Ce、等が挙げられる。
そのとき、蛍光体15からは不純ガスや水分などが放出されるが、ゲッター10によって吸着されて、放電容器2内に残留することがない。
そして、ゲッター10は、コイル状内部電極6の密巻部8に設けられているので、より高温となる密巻部8によって活性化され、また、その活性温度が維持される。
また、ゲッター10は、前記内部電極6の長手方向に対して略直交して配置されるので、その両端部が外部電極5に近接して、始動補助の役割を担うので、ランプの始動性の向上に寄与する。
更に、内部電極6の密巻部8は、封止部3よりもチップ部4側に偏って形成されるので、ここに取り付けられるゲッター10が、前記封止部3の熱封止時に、その熱の影響を受けることがない。
2 放電容器
3 封止部
4 チップ部
5 外部電極
6 内部電極
7 金属箔
8 密巻部
9 アンカー部
10 ゲッター
11 棒状の中空容器
12 ゲッター材
15 蛍光体
Claims (4)
- 放電容器の内部に配置された内部電極と、前記放電容器の外部に配置された外部電極を一対の電極とし、前記放電容器内にエキシマ発光ガスが封入されたエキシマランプにおいて、
前記放電容器の内面には、前記発光ガスがエキシマ放電によって発生する紫外光を、これよりも長波長の紫外光に変換する蛍光体が設けられており、
前記内部電極はコイル形状であって、その軸心方向の一部にコイルを密巻にした密巻部が形成され、
該密巻部にゲッターが取り付けられていることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記ゲッターは、中空棒状の金属容器内にゲッター材料が保持されて構成され、該ゲッターの長手方向が前記内部電極の長手方向に対して略直交して配置されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記密巻部には、前記内部電極を保持し固定するアンカー部が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のエキシマランプ。
- 前記放電容器は、その一方の端部側は金属箔によって箔封止され、他方の端部側にはチップ部が設けられており、
前記内部電極は、その一端が前記金属箔と電気的に接続されて前記放電容器に封止され、他端が前記チップ部内に挿入されており、
前記密巻部は、前記内部電極の他端側に偏った位置に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のエキシマランプ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013014997A JP5741603B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | エキシマランプ |
CN201380070304.9A CN104919566B (zh) | 2013-01-30 | 2013-11-25 | 准分子灯 |
US14/763,278 US9355833B2 (en) | 2013-01-30 | 2013-11-25 | Excimer lamp |
PCT/JP2013/081600 WO2014119105A1 (ja) | 2013-01-30 | 2013-11-25 | エキシマランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013014997A JP5741603B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | エキシマランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014146527A JP2014146527A (ja) | 2014-08-14 |
JP5741603B2 true JP5741603B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=51261835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013014997A Expired - Fee Related JP5741603B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | エキシマランプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9355833B2 (ja) |
JP (1) | JP5741603B2 (ja) |
CN (1) | CN104919566B (ja) |
WO (1) | WO2014119105A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6428196B2 (ja) * | 2014-11-25 | 2018-11-28 | ウシオ電機株式会社 | エキシマ放電ランプ装置 |
JP6660594B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2020-03-11 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ |
US10297564B2 (en) * | 2017-10-05 | 2019-05-21 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor die attach system and method |
EP3648145B1 (en) * | 2018-11-05 | 2022-01-05 | Xylem Europe GmbH | Vacuum ultraviolet excimer lamp with an inner axially symmetric wire electrode |
EP3648143B1 (en) * | 2018-11-05 | 2021-05-19 | Xylem Europe GmbH | Vacuum ultraviolet excimer lamp with a thin wire inner electrode |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3748519A (en) * | 1971-10-06 | 1973-07-24 | Westinghouse Electric Corp | Tubular heat lamp having integral gettering means |
US5428262A (en) * | 1993-07-19 | 1995-06-27 | Philips Electronics North America Corporation | Incandescent lamp with improved filament-getter connection |
US6198223B1 (en) * | 1998-06-24 | 2001-03-06 | Osram Sylvania Inc. | Capacitive glow starting of ceramic high intensity discharge devices |
JP4135050B2 (ja) * | 1999-12-08 | 2008-08-20 | 東芝ライテック株式会社 | 高圧放電ランプ、高圧放電ランプ点灯装置および照明装置 |
JP2002289150A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Harison Toshiba Lighting Corp | 誘電体バリヤ放電ランプおよび紫外線照射装置 |
US6861805B2 (en) * | 2001-05-08 | 2005-03-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Coil antenna/protection for ceramic metal halide lamps |
DE10137015A1 (de) * | 2001-07-30 | 2003-02-20 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Entladungsgefäß mit Excimerfüllung und zugehörige Entladungslampe |
DE10209191A1 (de) * | 2002-03-04 | 2003-09-18 | Philips Intellectual Property | Vorrichtung zur Erzeugung von UV-Strahlung |
JP2003317670A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-07 | Hamamatsu Photonics Kk | 誘電体バリア放電ランプ |
JP4134927B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2008-08-20 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP4595556B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2010-12-08 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置 |
JP2006228563A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP4830722B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2011-12-07 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP2009252546A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | Ushio Inc | 紫外線用放電ランプおよびこれを備えたランプユニット |
US8946993B2 (en) * | 2008-05-15 | 2015-02-03 | Rutgers, The State University | Fluorescent excimer lamps |
CN101651080B (zh) * | 2008-08-11 | 2012-05-23 | 优志旺电机株式会社 | 受激准分子灯 |
CN102169808A (zh) * | 2010-02-26 | 2011-08-31 | 优志旺电机株式会社 | 荧光灯 |
JP2012181999A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Ushio Inc | エキシマランプ |
CN103959431B (zh) * | 2011-12-02 | 2016-06-29 | 优志旺电机株式会社 | 准分子灯 |
-
2013
- 2013-01-30 JP JP2013014997A patent/JP5741603B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-11-25 WO PCT/JP2013/081600 patent/WO2014119105A1/ja active Application Filing
- 2013-11-25 CN CN201380070304.9A patent/CN104919566B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-11-25 US US14/763,278 patent/US9355833B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014146527A (ja) | 2014-08-14 |
WO2014119105A1 (ja) | 2014-08-07 |
CN104919566B (zh) | 2016-12-28 |
CN104919566A (zh) | 2015-09-16 |
US20150364317A1 (en) | 2015-12-17 |
US9355833B2 (en) | 2016-05-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150205 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20150210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20150306 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150331 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |