JP2018198175A - 光処理装置及びその製造方法 - Google Patents
光処理装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018198175A JP2018198175A JP2017102937A JP2017102937A JP2018198175A JP 2018198175 A JP2018198175 A JP 2018198175A JP 2017102937 A JP2017102937 A JP 2017102937A JP 2017102937 A JP2017102937 A JP 2017102937A JP 2018198175 A JP2018198175 A JP 2018198175A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- oxygen
- tube
- gas
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
Abstract
Description
筐体と、
酸素を含む被処理ガスを前記筐体内に導入する吸気口と、
前記筐体内に配置され、Xeを含む放電用ガスが充填された、石英ガラスからなる管体を含み、主たる発光波長が172nmの第一光を射出するエキシマランプと、
前記筐体内に導入された前記被処理ガスに対して、前記エキシマランプから射出された前記第一光が照射されることで生成された、オゾンを含む処理済ガスを放出する排気口と、を含み、
前記管体内には、1ppm以上の酸素が含有されていることを特徴とする。
前記管体内に、前記放電用ガスと、1ppm以上の酸素ガスを封入する工程を有することを特徴とする。
本発明の光処理装置の第一実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、各図において、図面の寸法比と実際の寸法比とは必ずしも一致していない。第二実施形態以後においても同様である。
図1は、本実施形態に係る光処理装置の構成を模式的に示す図面である。図1に示すように、本実施形態に係る光処理装置1は、オゾン発生装置10を備える。
以下、光処理装置1の作用を説明する。
本発明の光処理装置の第二実施形態につき、図面を参照して説明する。以下の各実施形態において、第一実施形態と共通する箇所は、同一の符号を付して説明を適宜割愛する。
本発明の光処理装置の第二実施形態につき、図面を参照して説明する。以下の各実施形態において、第一実施形態と共通する箇所は、同一の符号を付して説明を適宜割愛する。
以下、別実施形態について説明する。
3 : 外部電極
4 : 内部電極
5 : 筐体
6 : 吸気口
7 : 電源
8 : 排気口
10 : オゾン発生装置
20 : 光触媒体
21 : 管体
22 : 第一封止部
23 : 第二封止部
24 : 金属箔
25 : 外部リード
26 : 二重管体
26a : 外管
26b : 内管
27 : 封止端部
31 : 光路部
61 : ファン
71 : 第一空間
72 : 第二空間
73 : 境界部
74 : 光透過窓
G1 : 被処理ガス
G2 : 処理済ガス
L1 : 第一光
L2 : 第二光
Claims (5)
- 筐体と、
酸素を含む被処理ガスを前記筐体内に導入する吸気口と、
前記筐体内に配置され、Xeを含む放電用ガスが封入された、石英ガラスからなる管体を含み、主たる発光波長が172nmの第一光を射出するエキシマランプと、
前記筐体内に導入された前記被処理ガスに対して、前記エキシマランプから射出された前記第一光が照射されることで生成された、オゾンを含む処理済ガスを放出する排気口と、を含み、
前記管体内には、1ppm以上の酸素が含有されていることを特徴とする光処理装置。 - 前記エキシマランプは、前記第一光に加えて、500nm以上550nm以下の波長範囲の少なくとも一部分に強度を示す第二光を射出することを特徴とする請求項1に記載の光処理装置。
- 前記エキシマランプから射出された前記第二光が入射可能な位置に配置されており、前記第二光によって励起可能な材料を含む光触媒体を備えたことを特徴とする請求項2に記載の光処理装置。
- 前記筐体は、少なくとも一部分に、前記エキシマランプから射出された前記第二光を透過する領域を備えたことを特徴とする請求項2又は3に記載の光処理装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光処理装置の製造方法であって、
前記管体内に、前記放電用ガスと、1ppm以上の酸素ガスを封入する工程を有することを特徴とする光処理装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017102937A JP6972657B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光処理装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017102937A JP6972657B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光処理装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018198175A true JP2018198175A (ja) | 2018-12-13 |
JP6972657B2 JP6972657B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=64663632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017102937A Active JP6972657B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光処理装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6972657B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7462524B2 (ja) | 2020-09-17 | 2024-04-05 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ、紫外線照射装置およびオゾン発生装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06312130A (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-08 | Ushio Inc | 誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法 |
JPH07220687A (ja) * | 1994-01-26 | 1995-08-18 | Ushio Inc | 誘電体バリヤ放電ランプおよび誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
JP2017068944A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ装置 |
-
2017
- 2017-05-24 JP JP2017102937A patent/JP6972657B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06312130A (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-08 | Ushio Inc | 誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法 |
JPH07220687A (ja) * | 1994-01-26 | 1995-08-18 | Ushio Inc | 誘電体バリヤ放電ランプおよび誘電体バリヤ放電ランプ装置 |
JP2017068944A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7462524B2 (ja) | 2020-09-17 | 2024-04-05 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ、紫外線照射装置およびオゾン発生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6972657B2 (ja) | 2021-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6558376B2 (ja) | 紫外線放射装置 | |
JP6564663B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
JP7232428B2 (ja) | 気体処理装置 | |
JP4647745B2 (ja) | 水殺菌装置 | |
JP2001332216A (ja) | 放電ランプ、光照射装置、殺菌装置、液体処理装置および空気清浄装置 | |
JP7087754B2 (ja) | オゾン発生装置およびオゾン発生装置を備える処理システム | |
JP2021168928A (ja) | 殺菌方法 | |
JP5888256B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP6972657B2 (ja) | 光処理装置及びその製造方法 | |
JP7133140B2 (ja) | 気体処理装置 | |
JP2010056008A (ja) | 無水銀殺菌ランプおよび殺菌装置 | |
JP7145597B2 (ja) | オゾン生成装置およびエキシマランプ点灯方法 | |
JP6694595B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
JPH09237608A (ja) | 無電極放電ランプ、無電極放電灯、光処理装置、殺菌装置および水処理装置 | |
JP2018174984A (ja) | 光処理装置、光処理方法 | |
JP2000279494A (ja) | 空気清浄装置および光触媒用蛍光ランプ | |
CN110947020A (zh) | 光处理装置及光处理方法 | |
KR102254592B1 (ko) | 살균 방법 | |
WO2003040041A1 (fr) | Dispositif d'irradiation a ultraviolet et procede d'exploitation correspondant | |
JPH1021880A (ja) | 放電ランプ、照射装置、殺菌装置および水処理装置 | |
JPH01228592A (ja) | オゾン水製造装置 | |
RU2390498C2 (ru) | Установка для обеззараживания воды ультрафиолетовым излучением | |
JP2006092800A (ja) | 紫外線ランプ、空気清浄機 | |
JPH1021711A (ja) | 照射装置および水処理装置 | |
JP2561901B2 (ja) | 活性酸素製造装置および活性酸素水製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210506 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211018 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6972657 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |