JP6564663B2 - エキシマランプ装置 - Google Patents
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Description
2 エキシマランプ
3 電源
4 始動補助光源(UV−LED)
4A 始動補助光源保持構造
5 被照射物
6 筐体
6L ランプ室
6P 電源室
7A 吸気側遮光板
7B 排気側遮光板
7C 電源側遮光板
8A 吸気口
8B 排気口
9 吸気ファン
Claims (7)
- 放電用ガスが封入された放電容器を有するエキシマランプと、前記放電用ガスに紫外線を照射する始動補助光源とを備えたエキシマランプ装置において、
前記放電容器は有効発光領域の軸方向範囲において一様な放電距離を有し、前記始動補助光源と前記エキシマランプとが空間的に連通し酸素を含有した気体で満たされた状態で対向しており、前記気体の紫外線透過率の波長による違いを利用して、前記エキシマランプから放射される紫外線が前記気体を透過して減衰することで前記始動補助光源には実質的に照射されず、前記エキシマランプから放射される紫外線の波長よりも長い波長の紫外線が前記始動補助光源から放射されて前記気体を透過して前記エキシマランプに照射されることを特徴とするエキシマランプ装置。 - 前記始動補助光源の紫外線放射面と前記エキシマランプの紫外線放射面との間で前記気体が満たされた空間の距離が、
前記エキシマランプから放射される紫外線が前記気体を透過して減衰することで前記始動補助光源には実質的に照射されず、前記エキシマランプから放射される紫外線の波長よりも長い波長の紫外線が前記始動補助光源から放射されて前記気体を透過して前記有効発光領域に照射される距離であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。 - 前記放電容器は、
前記エキシマランプから放射される紫外線よりも前記始動補助光源から放射される紫外線に対して高い透過性を有し、肉厚が0.8mm〜1.5mm、内径が8mm〜20mmであることを特徴とする請求項1または2に記載のエキシマランプ装置。 - 前記エキシマランプの紫外線放射面と前記始動補助光源の紫外線放射面との距離L10[mm]は、
以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のエキシマランプ装置。
20≦L10≦50 - 前記エキシマランプの紫外線放射面と前記始動補助光源の紫外線放射面との間には酸素を含有した気体が満たされ、前記エキシマランプの周囲の少なくとも一部には、前記エキシマランプから放射される紫外線に対して非透過性を有する遮光手段を設け、
前記エキシマランプの紫外線放射面と前記遮光手段との距離L11[mm]、前記エキシマランプの紫外線放射面と前記補助光源の紫外線放射面との距離L10[mm]としたとき、
以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエキシマランプ装置。
L11≦L10 - 前記エキシマランプの周囲を流れる気体は酸素を含有した気体であり、前記気体の流れの下流側において、前記気体に含有するオゾンを除去するオゾン除去手段を設け、前記エキシマランプの周囲の少なくとも一部には、前記エキシマランプから放射される紫外線に対して非透過性を有する遮光手段を設け、
前記エキシマランプの紫外線放射面と前記始動補助光源の紫外線放射面との距離L10[mm]、前記エキシマランプの紫外線放射面と前記遮光手段との距離L11[mm]、前記エキシマランプの紫外線放射面と前記オゾン除去手段との距離L13[mm]としたとき、
以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエキシマランプ装置。
L11<L10≦L13 - 前記エキシマランプに対向して、前記エキシマランプにより紫外線照射される被照射物を配設し、前記エキシマランプの周囲の少なくとも一部には、前記エキシマランプから放射される紫外線に対して非透過性を有する遮光手段を設け、
前記エキシマランプの紫外線放射面と前記始動補助光源の紫外線放射面との距離L10[mm]、前記エキシマランプの紫外線放射面と前記遮光手段までの距離L11[mm]、前記エキシマランプの紫外線放射面と前記被照射物との距離L14[mm]としたとき、
以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエキシマランプ装置。
L14≦L11<L10
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