JP6694595B2 - オゾン発生装置 - Google Patents

Description

本発明は、オゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。

従来、オゾン発生装置として、エキシマランプと、エキシマランプの外部又は内部に配置されたガス導管とを備えるオゾン発生装置が、知られている（例えば、特許文献１）。ガス導管の内部に、酸素が供給され、該酸素は、エキシマランプからの光により、オゾンになる。

特許文献１に係るオゾン発生装置においては、不純物である窒素酸化物（ＮＯｘ）の発生を防止するために、ガス導管の内部が、エキシマランプと隔離されている。これにより、ガス導管の内部からは、高純度のオゾンが発生する。なお、エキシマランプにおいては、放電効率（発光効率）を向上させるために、各電極は、ランプのガラス管に密着している。ところで、例えば、水耕栽培のように、オゾンだけでなく、適度な窒素酸化物が必要な使用用途も出現している（例えば、特許文献２）。

特開２００３−１６５７１１号公報 特開平４−４８１８号公報

そこで、課題は、光を放射してオゾンを発生させるだけでなく、適度な窒素酸化物も発生させることができるオゾン発生装置を提供することである。

オゾン発生装置は、誘電体であって且つ内部にガスが充填される管体と、前記管体の外部に配置される外部電極と、前記管体の内部に配置され、前記管体との間で放電することで前記管体の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極との間に電圧が印加される内部電極と、を備え、前記外部電極は、前記管体との間で放電し且つ少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスが前記外部電極と前記管体との間に供給されるべく、前記管体と離間して配置される。

また、オゾン発生装置は、前記外部電極と前記管体との離間距離を変更する変更機構を備える、という構成でもよい。

また、オゾン発生装置においては、前記外部電極と前記管体との離間距離は、前記外部電極の厚み寸法よりも、大きい、という構成でもよい。

また、オゾン発生装置は、誘電体である外管及び内管を有し且つ前記外管及び前記内管間にガスが充填される二重管体と、前記外管の外部に配置される外部電極と、前記内管の内部に配置され、前記外管と前記内管との間で放電することで前記二重管体の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極との間に電圧が印加される内部電極と、を備え、前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方は、前記二重管体との間で放電し且つ少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスが当該電極と前記二重管体との間に供給されるべく、前記二重管体と離間して配置される。

また、オゾン発生装置は、前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方と前記二重管体との離間距離を変更する変更機構を備える、という構成でもよい。

また、オゾン発生装置においては、前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方と前記二重管体との離間距離は、当該電極の厚み寸法よりも、大きい、という構成でもよい。

以上の如く、オゾン発生装置は、光を放射してオゾンを発生させるだけでなく、適度な窒素酸化物も発生させることができるという優れた効果を奏する。

一実施形態に係るオゾン発生装置の全体概略断面図である。 同実施形態に係るオゾン発生装置の原理を説明する図であって、図１のII領域拡大図である。 他の実施形態に係るオゾン発生装置の要部断面図である。 同実施形態に係るオゾン発生装置の要部断面図である。 さらに他の実施形態に係るオゾン発生装置の全体概略断面図である。

＜第１実施形態＞
以下、オゾン発生装置における第１の実施形態について、図１〜図４を参酌して説明する。なお、各図（図５も同様）において、図面の寸法比と実際の寸法比とは、必ずしも一致しておらず、また、各図面の間での寸法比も、必ずしも一致していない。

図１に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置１は、内部にガスが充填される誘電体の管体２１を有する発光管２を備えている。オゾン発生装置１は、管体２１の外部に配置される外部電極３と、管体２１の内部に配置される内部電極４とを備えている。

オゾン発生装置１は、発光管２及び各電極３，４を収容する筐体５と、筐体５の内部に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１を供給する供給部６とを備えている。オゾン発生装置１は、外部電極３と内部電極４との間に電圧（例えば、交流の高電圧）を印加させる電源７を備えている。

発光管２は、両端に、管体２１の内部を気密にする第１及び第２封止部２２，２３と、第１封止部２２に埋設される金属箔２４と、第１封止部２２に一部が埋設される外部リード２５とを備えている。そして、金属箔２４は、内部電極４と外部リード２５とにそれぞれ連結されているため、内部電極４、金属箔２４、及び外部リード２５は、電気的に接続されている。なお、管体２１は、例えば、ガラスで形成されている。

管体２１の内部に充填されるガスは、内部電極４と管体２１との間で放電（具体的には、グロー放電）することによって、酸素をオゾン化する光を管体２１の内部から放射する放電ガスである。本実施形態においては、当該放電ガスは、当該放電によって、酸素をオゾン化する紫外光（例えば、波長が２００ｎｍ以下の光であって、例えば、１７２ｎｍの光）を放射するキセノンガスとしている。

外部電極３は、筒状に形成されており、管体２１は、外部電極３の内部に挿入されている。そして、外部電極３は、管体２１の内部から放射された光を、通過（又は透過）させる光路部３１を備えている。本実施形態においては、光路部３１は、貫通孔としている。

例えば、外部電極３は、板状の部材に複数の貫通孔を有するように形成されてもよく、また、複数の棒状の部材を格子状や網目状に配置して形成されてもよく、また、棒状の部材を螺旋状に配置して形成されてもよい。また、光路部３１は、透光性を有する部材で構成されていてもよい。

また、外部電極３は、管体２１と離間して配置されている。図示していないが、外部電極３と発光管２との間に配置されるスペーサ等により、外部電極３は、管体２１との離間距離が一定（不変）となるように、発光管２に固定されている。なお、管体２１の径方向における外部電極３と管体２１との離間距離は、外部電極３の厚み寸法（管体２１の径方向の寸法）よりも、大きくなっている。

内部電極４は、棒状に形成されている。そして、内部電極４は、管体２１の内部に配置されているため、外部電極３との間に管体２１を配置している。なお、内部電極４の端部が、それぞれ発光管２の封止部２２，２３に埋設されているため、内部電極４は、発光管２に固定されている。

筐体５は、原料ガスＧ１を内部に流入するための入口部５１と、少なくともオゾンを含むオゾン化ガスＧ２を外部に流出するための出口部５２とを備えている。供給部６は、筐体５の入口部５１から内部に、原料ガスＧ１となる空気を供給するファン６１を備えている。そして、供給部６は、入口部５１での原料ガスＧ１の単位時間当たりの供給量、即ち、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度（流速）を、ファン６１の回転速度で制御している。なお、ファン６１は、筐体５の入口部５１に配置されている。

本実施形態に係るオゾン発生装置１の構成については以上の通りであり、次に、本実施形態に係るオゾン発生装置１の原理について、図１及び図２を参酌して説明する。

図１及び図２に示すように、原料ガスＧ１は、筐体５の入口部５１から筐体５の内部に供給されると、外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１と、管体２１と外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２とに分かれる。そして、外部電極３と内部電極４との間に電圧が印加される。

これにより、管体２１と内部電極４との間に放電（具体的には、グロー放電）Ｄ１が起きるため、管体２１の内部から外部に向けて、酸素をオゾン化する光Ｌ１が放射される。また、管体２１と外部電極３との間にも、放電（具体的には、コロナ放電）Ｄ２が起きている。

外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１が、酸素を含んでいるため、その原料ガスＧ１１の一部は、管体２１の内部から放射され且つ光路部３１を通過した光Ｌ１により、オゾンとなる。なお、当該原料ガスＧ１１は、酸素だけでなく窒素を含んでいるが、当該光Ｌ１により、窒素酸化物にはならない。また、管体２１と外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２が、酸素と窒素とを含んでいるため、その原料ガスＧ１２の一部は、管体２１と外部電極３との間の放電Ｄ２により、オゾンと窒素酸化物とになる。

そして、外部電極３と筐体５との間で、一部がオゾンになったガスＧ２１と、管体２１と外部電極３との間で、一部がオゾン及び窒素酸化物になったガスＧ２２とは、混合されて、出口部５２から流出される。このようにして、酸素と窒素とを含む原料ガスＧ１は、オゾンと窒素酸化物を含むオゾン化ガスＧ２となって、出口部５２から流出される。なお、原料ガスＧ１１，Ｇ１２が、光路部３１を通過することもある。

以上より、本実施形態に係るオゾン発生装置１は、誘電体であって且つ内部にガスが充填される管体２１と、前記管体２１の外部に配置される外部電極３と、前記管体２１の内部に配置され、前記管体２１との間で放電することで前記管体２１の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極３との間に電圧が印加される内部電極４と、を備え、前記外部電極３は、前記管体２１との間で放電し且つ少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１が前記外部電極３と前記管体２１との間に供給されるべく、前記管体２１と離間して配置される。

斯かる構成によれば、誘電体である管体２１が備えられており、管体２１の内部に、ガスが充填されている。そして、管体２１の外部に配置される外部電極３と、管体２１の内部に配置される内部電極４との間に、電圧が印加されることで、管体２１と内部電極４との間で放電が起こる。これにより、酸素をオゾン化するための光が管体２１の内部から放射されるため、酸素は、オゾン化する。

また、外部電極３が、管体２１と離間して配置されており、外部電極３と管体２１との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１が供給される。そして、外部電極３と管体２１との間で、放電が起きているため、酸素は、オゾン化し、また、窒素は、酸素と反応し、窒素酸化物となる。したがって、光を放射してオゾンを発生させるだけでなく、適度な窒素酸化物も発生させることができる。

また、本実施形態に係るオゾン発生装置１においては、前記外部電極３と前記管体２１との離間距離は、前記外部電極３の厚み寸法よりも、大きい、という構成である。

斯かる構成によれば、外部電極３と管体２１との離間距離が、外部電極３の厚み寸法よりも大きくなっているため、原料ガスＧ１２は、外部電極３と管体２１との間を十分に流通することができる。したがって、光を放射してオゾンを発生させるだけでなく、適度な窒素酸化物も確実に発生させることができる。

なお、オゾン発生装置１は、上記した第１実施形態に係るオゾン発生装置１の構成及び作用に限定されるものではない。例えば、上記した第１実施形態に係るオゾン発生装置１に対して、以下のような変更が行われてもよい。

上記第１実施形態に係るオゾン発生装置１においては、外部電極３は、管体２１との離間距離が一定（不変）となるように、発光管２に固定されている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。例えば、オゾン発生装置１は、図３及び図４に示すように、前記外部電極３と前記管体２１との離間距離を変更する変更機構８を備える、という構成でもよい。

斯かる構成によれば、変更機構８が、外部電極３と管体２１との離間距離を変更するため、窒素酸化物の濃度を変更（制御）することができる。これにより、オゾンに対して適量な窒素酸化物を発生させることができる。

また、斯かる構成においては、例えば、オゾン発生装置１は、出口部５２にオゾン及び窒素酸化物の少なくとも一方の濃度を検出する検出部と、当該検出部で検出した濃度に基づいて、外部電極３と管体２１との離間距離を変更させるように、変更機構８を制御する制御部とを備える、という構成を採用してもよい。斯かる構成によれば、フィードバック制御を行うことができるため、所望のオゾンの濃度又は窒素酸化物の濃度にすることができる。

図３及び図４に係るオゾン発生装置１においては、外部電極３は、周方向で分割される複数の電極片３２を備えており、変更機構８は、各電極片３２を、管体２１に対して管体２１の径方向に移動させる移動部８１を備えている。これにより、変更機構８は、図３に示すように、外部電極３が管体２１に近づく状態と、図４に示すように、外部電極３が管体２１から離れる状態とに切替え可能である。なお、変更機構８は、斯かる構成に限られないのは勿論である。

＜第２実施形態＞
次に、オゾン発生装置における第２の実施形態について、図５を参酌して説明する。なお、図５において、図１〜図４の符号と同一の符号を付した部分は、第１実施形態と略同様の構成又は略同様の機能（作用）を有する要素を表し、その説明は、繰り返さない。

図５に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置１は、第１実施形態に係るオゾン発生装置１に対して、発光管２と内部電極４が相違する構成である。したがって、発光管２と内部電極４の構成を中心に、以下に説明する。

発光管２は、誘電体である外管２６ａ及び誘電体である内管２６ｂを有する二重構造である二重管体２６と、外管２６ａ及び内管２６ｂ間を気密にするための環状の封止端部２７，２７とを備えている。そして、外管２６ａ及び内管２６ｂ間には、ガスが充填されている。なお、当該ガスは、外管２６ａ及び内管２６ｂ間で放電することによって、酸素をオゾン化する光を二重管体２６の内部から放射する放電ガスである。

外部電極３は、二重管体２６（外管２６ａ）と離間して配置されている。これにより、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１が、外部電極３と二重管体２６（外管２６ａ）との間に、供給される。なお、二重管体２６の径方向における、外部電極３と二重管体２６（外管２６ａ）との離間距離は、外部電極３の厚み寸法（二重管体２６の径方向の寸法）よりも、大きくなっている。

内部電極４は、筒状に形成されている。そして、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）の内部に配置されているため、外部電極３との間に二重管体２６（外管２６ａ及び内管２６ｂ）を配置している。なお、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）と接するようにして、発光管２に固定されている。

斯かる構成によれば、原料ガスＧ１は、筐体５の入口部５１から筐体５の内部に供給されると、外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１と、二重管体２６と外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２と、内部電極４の内部を流れる原料ガスＧ１３とに分かれる。そして、外部電極３と内部電極４との間に電圧が印加される。

これにより、外管２６ａと内管２６ｂとの間に放電（具体的には、グロー放電）が起きるため、二重管体２６の内部から光が放射される。また、二重管体２６と離間している外部電極３と二重管体２６の外管２６ａとの間にも、放電（具体的には、コロナ放電）が起きている。

外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１が、酸素を含んでいるため、その原料ガスの一部は、二重管体２６の内部から放射され且つ光路部３１を通過した光により、オゾンとなる。なお、当該原料ガスＧ１１は、酸素だけでなく窒素を含んでいるが、当該光により、窒素酸化物にはならない。また、二重管体２６の外管２６ａと外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２が、酸素と窒素とを含んでいるため、その原料ガスＧ１２の一部は、外管２６ａと外部電極３との間の放電により、オゾンと窒素酸化物とになる。

そして、外部電極３と筐体５との間で、一部がオゾンになったガスＧ２１と、二重管体２６と外部電極３との間で、一部がオゾン及び窒素酸化物になったガスＧ２２とは、混合されて、出口部５２から流出される。このようにして、酸素と窒素とを含む原料ガスＧ１は、オゾンと窒素酸化物を含むオゾン化ガスＧ２となって、出口部５２から流出される。なお、内部電極４の内部を流れる原料ガスＧ１３は、オゾン化することなく、原料ガスＧ２３のまま流出される。また、原料ガスＧ１１，Ｇ１２が、光路部３１を通過することもある。

以上より、本実施形態係るオゾン発生装置１は、誘電体である外管２６ａ及び内管２６ｂを有し且つ前記外管２６ａ及び前記内管２６ｂ間にガスが充填される二重管体２６と、前記外管２６ａの外部に配置される外部電極３と、前記内管２６ｂの内部に配置され、前記外管２６ａと前記内管２６ｂとの間で放電することで前記二重管体２６の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極３との間に電圧が印加される内部電極４と、を備え、前記外部電極３及び前記内部電極４の少なくとも一方（本実施形態では、外部電極３）は、前記二重管体２６との間で放電し且つ少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスが当該電極（本実施形態では、外部電極３）と前記二重管体２６との間に供給されるべく、前記二重管体２６と離間して配置される。

斯かる構成によれば、二重管体２６は、誘電体である外管２６ａ及び内管２６ｂを有し、また、外管２６ａ及び内管２６ｂ間に、ガスが充填されている。そして、外管２６ａの外部に配置される外部電極３と、内管２６ｂの内部に配置される内部電極４との間に、電圧が印加されることで、外管２６ａと内管２６ｂとの間で、放電が起こる。これにより、酸素をオゾン化するための光が二重管体２６の内部から放射されるため、酸素は、オゾン化する。

また、外部電極３及び内部電極４の少なくとも一方（本実施形態では、外部電極３）が、二重管体２６と離間して配置されており、当該電極（本実施形態では、外部電極３）と二重管体２６との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１２が供給されている。これにより、当該電極（本実施形態では、外部電極３）と二重管体２６との間で、放電が起きているため、酸素は、オゾン化し、また、窒素は、酸素と反応し、窒素酸化物となる。したがって、光を放射してオゾンを発生させるだけでなく、適度な窒素酸化物も発生させることができる。

また、本実施形態係るオゾン発生装置１においては、前記外部電極３及び前記内部電極４の少なくとも一方（本実施形態では、外部電極３）と前記二重管体２６との離間距離は、当該電極（本実施形態では、外部電極３）の厚み寸法よりも、大きい、という構成である。

斯かる構成によれば、外部電極３及び内部電極４の少なくとも一方（本実施形態では、外部電極３）と二重管体２６との離間距離が、当該電極（本実施形態では、外部電極３）の厚み寸法よりも大きくなっているため、原料ガスＧ１２は、当該電極（本実施形態では、外部電極３）と二重管体２６との間を十分に流通することができる。したがって、光を放射してオゾンを発生させるだけでなく、適度な窒素酸化物も確実に発生させることができる。

なお、オゾン発生装置は、上記した第２実施形態に係るオゾン発生装置１の構成及び作用に限定されるものではない。例えば、上記した第２実施形態に係るオゾン発生装置１に対して、以下のような変更が行われてもよい。

上記第２実施形態に係るオゾン発生装置１においては、外部電極３は、二重管体２６（外管２６ａ）と離間して配置され、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）と接して配置されている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。

例えば、外部電極３は、二重管体２６（外管２６ａ）と接して配置され、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）と離間して配置されている、という構成でもよい。また、例えば、外部電極３は、二重管体２６（外管２６ａ）と離間して配置され、内部電極４も、二重管体２６（内管２６ｂ）と離間して配置されている、という構成でもよい。

また、上記第２実施形態に係るオゾン発生装置１においては、外部電極３は、二重管体２６との離間距離が一定（不変）となるように、発光管２に固定されている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。例えば、オゾン発生装置１は、外部電極３と二重管体２６（外管２６ａ）との離間距離を変更する変更機構を備える、という構成でもよい。

また、例えば、内部電極４が、二重管体２６（内管２６ｂ）と離間して配置されている構成においては、オゾン発生装置１は、内部電極４と二重管体２６（内管２６ｂ）との離間距離を変更する変更機構を備える、という構成でもよい。また、例えば、外部電極３及び内部電極４が、それぞれ二重管体２６と離間して配置されている構成においては、オゾン発生装置１は、外部電極３及び内部電極４と二重管体２６（内管２６ｂ）との離間距離をそれぞれ変更する変更機構を備える、という構成でもよい。

即ち、第２実施形態係るオゾン発生装置１に対して、オゾン発生装置１は、前記外部電極３及び前記内部電極４の少なくとも一方と前記二重管体２６との離間距離を変更する変更機構を備える、という構成を採用してもよい。斯かる構成によれば、外部電極３及び内部電極４の少なくとも一方と二重管体２６との離間距離を変更することで、窒素酸化物の濃度を変更（制御）することができる。これにより、オゾンに対して適量な窒素酸化物を発生させることができる。

なお、オゾン発生装置は、上記した実施形態の構成に限定されるものではなく、また、上記した作用効果に限定されるものではない。また、オゾン発生装置は、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記した複数の実施形態の各構成や各方法等を任意に採用して組み合わせてもよく（１つの実施形態に係る各構成や各方法等を他の実施形態に係る構成や方法等に適用してもよく）、さらに、下記する各種の変更例に係る構成や方法等を任意に一つ又は複数選択して、上記した実施形態に係る構成や方法等に採用してもよいことは勿論である。

上記各実施形態に係るオゾン発生装置１は、外部電極３の外部の領域と、外部電極３及び内部電極４との間の領域とに、同じ原料ガスＧ１を供給する、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。例えば、放電が起きていない領域には、酸素を含み且つ窒素を含まない原料ガスを供給し、放電が起きている領域には、酸素及び窒素の両方を含む原料ガスを供給する、という構成でもよい。

また、上記各実施形態に係るオゾン発生装置１においては、発光管２から離間している電極（外部電極）３と発光管２（管体２１、二重管体２６）との離間距離は、当該電極（外部電極）３の厚みよりも、大きい、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。例えば、発光管２から離間している電極（外部電極）３と発光管２（管体２１、二重管体２６）との離間距離は、当該電極（外部電極）３の厚みよりも、小さい、という構成でもよい。

また、上記各実施形態に係るオゾン発生装置１においては、供給部６は、ファン６１を備え、ファン６１は、筐体５の入口部５１に配置されている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。例えば、ファン６１は、筐体５の出口部５２に配置されている、という構成でもよく、また、筐体５の入口部５１と出口部５２とにそれぞれ配置されている、という構成でもよい。また、例えば、供給部６は、圧縮ガスを供給するガス源を備え、ガス源は、圧縮ガスを筐体５の入口部５１から供給する、という構成でもよい。

オゾン発生装置１は、水耕栽培に利用可能である。また、オゾン発生装置１は、それに限られず、オゾンだけでなく、適度な窒素酸化物が必要な他の使用用途にも利用可能である。

１…オゾン発生装置、２…発光管、３…外部電極、４…内部電極、５…筐体、６…供給部、７…電源、８…変更機構、２１…管体、２２…第１封止部、２３…第２封止部、２４…金属箔、２５…外部リード、２６…二重管体、２６ａ…外管、２６ｂ…内管、２７…封止端部、３１…光路部、３２…電極片、５１…入口部、５２…出口部、６１…ファン、８１…移動部

Claims (6)

1. 誘電体であって且つ内部にガスが充填される管体と、
   前記管体の外部に配置される外部電極と、
   前記管体の内部に配置され、前記管体との間で放電することで前記管体の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極との間に電圧が印加される内部電極と、
   前記管体、前記外部電極及び前記内部電極を内部に収容する筐体と、を備え、
   前記筐体は、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを内部に流入するための入口部と、オゾン化されたオゾン化ガスを外部に流出するための出口部と、を備え、
   前記外部電極は、前記管体との間で放電し且つ原料ガスが前記外部電極と前記管体との間に供給されるべく、前記管体と離間して配置されると共に、原料ガスが前記外部電極と前記筐体との間に供給されるべく、前記筐体と離間して配置され、
   前記外部電極は、前記管体の内部から放射された光を通過又は透過させる光路部を備える、オゾン発生装置。
2. 誘電体であって且つ内部にガスが充填される管体と、
   前記管体の外部に配置される外部電極と、
   前記管体の内部に配置され、前記管体との間で放電することで前記管体の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極との間に電圧が印加される内部電極と、を備え、
   前記外部電極は、前記管体との間で放電し且つ少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスが前記外部電極と前記管体との間に供給されるべく、前記管体と離間して配置される、オゾン発生装置であって、
   前記外部電極と前記管体との離間距離を変更する変更機構を備える、オゾン発生装置。
3. 前記外部電極と前記管体との離間距離は、前記外部電極の厚み寸法よりも、大きい、請求項１又は２に記載のオゾン発生装置。
4. 誘電体である外管及び内管を有し且つ前記外管及び前記内管間にガスが充填される二重管体と、
   前記外管の外部に配置される外部電極と、
   前記内管の内部に配置され、前記外管と前記内管との間で放電することで前記二重管体の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極との間に電圧が印加される内部電極と、
   前記二重管体、前記外部電極及び前記内部電極を内部に収容する筐体と、を備え、
   前記筐体は、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを内部に流入するための入口部と、オゾン化されたオゾン化ガスを外部に流出するための出口部と、を備え、
   前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方は、前記二重管体との間で放電し且つ原料ガスが当該電極と前記二重管体との間に供給されるべく、前記二重管体と離間して配置され、
   前記外部電極は、原料ガスが前記外部電極と前記筐体との間に供給されるべく、前記筐体と離間して配置され、
   前記外部電極は、前記二重管体の内部から放射された光を通過又は透過させる光路部を備える、オゾン発生装置。
5. 誘電体である外管及び内管を有し且つ前記外管及び前記内管間にガスが充填される二重管体と、
   前記外管の外部に配置される外部電極と、
   前記内管の内部に配置され、前記外管と前記内管との間で放電することで前記二重管体の内部から酸素をオゾン化するための光を放射すべく、前記外部電極との間に電圧が印加される内部電極と、を備え、
   前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方は、前記二重管体との間で放電し且つ少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスが当該電極と前記二重管体との間に供給されるべく、前記二重管体と離間して配置される、オゾン発生装置であって、
   前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方と前記二重管体との離間距離を変更する変更機構を備える、オゾン発生装置。
6. 前記外部電極及び前記内部電極の少なくとも一方と前記二重管体との離間距離は、当該電極の厚み寸法よりも、大きい、請求項４又は５に記載のオゾン発生装置。

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