JP2013069533A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外管30と内管40から成る発光管20、外側電極50A、50B、内側電極60とを備えたエキシマランプ10において、発光管20の開放空間80に内側電極60を非接触で配置する。点灯時、発光管20の壁中に密閉状態で形成された放電空間70に誘電体バリア放電が生じて紫外線が放射される一方、内管40と内側電極60との間でコロナ放電が生じ、オゾンが発生する。
【選択図】図2
Description
15 処理装置
20 発光管
30 外管
40 内管
50A、50B 外側電極
60 内側電極
70 放電空間
80 開放空間
Claims (17)
- 外管と、前記外管内に配置される内管とを有する発光管と、
前記外管の外周面側に配置される外側電極と、
前記内管内に形成される開放空間に、軸方向に沿って配置される内側電極とを備え、
前記外管と前記内管との間に、放電ガスが封入される放電空間が形成され、
前記放電空間において誘電体バリア放電が生じるとともに、
前記内管と前記内側電極との間においてコロナ放電が生じるように、前記内側電極が前記内管と非接触であることを特徴とするエキシマランプ。 - コロナ放電の生じる空間領域を変更可能であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極の位置が、軸方向に沿って変更可能であることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極が、開放空間に対して部分的に挿入されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極が、電極心棒と、前記電極心棒を挿通させた電極管とを有し、
前記電極管が、軸方向に沿って前記電極心棒に対し移動可能であることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記載のエキシマランプ。 - 前記内側電極の軸方向長さが、前記外側電極の軸方向長さよりも所定長さだけ短いことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極が、互いに径の異なる複数の電極部を軸方向に沿って並べて形成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極が、テーパー部分を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極の断面形状が、円状、楕円状、十字状、板状、多角形状のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記内管と前記内側電極との間に配置される補助電極をさらに有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記補助電極が、前記内管の内周面に配置されていることを特徴とする請求項10に記載のエキシマランプ。
- 前記補助電極が、前記内管と接触せずに配置されていることを特徴とする請求項10に記載のエキシマランプ。
- 前記発光管の一方の端部のみ、開口していることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記発光管の両端が、開口していることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 請求項1乃至14のいずれかに記載のエキシマランプを備えた殺菌、滅菌、除菌、および洗浄のうち少なくともいずれかを行なう処理装置。
- 放電ガスが封入される発光管と、前記発光管の外周面側に配置される外側電極と、前記発光管の内周面側に形成される開放空間内に配置される内側電極とを備えた放電ランプに対し、前記外側電極と前記内側電極との間に高周波電圧を印加することによって、前記発光管内に誘電体バリア放電を生じさせる放電ランプの点灯方法であって、
開放空間においてコロナ放電が生じるように、前記内側電極を前記発光管とは非接触で配置することを特徴とする放電ランプの点灯方法。 - コロナ放電の生じる空間領域を変更することにより、オゾン発生量を調整することを特徴とする請求項16に記載の放電ランプの点灯方法。
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