JP2023511650A

JP2023511650A - ガス放電チャンバ支持デバイスでのフレッチング腐食の低減

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Publication number: JP2023511650A
Application number: JP2022535907A
Authority: JP
Inventors: スタイガー，トーマス，ディクソン
Original assignee: サイマーリミテッドライアビリティカンパニー
Priority date: 2020-02-21
Filing date: 2021-01-26
Publication date: 2023-03-22
Anticipated expiration: 2041-01-26
Also published as: US20230087803A1; TWI781520B; KR20220116264A; TW202144923A; CN115023788A; WO2021167760A1; JP7386346B2

Abstract

光源装置（１００）が、開口（１０７）を画定するチャンバ壁（１０３）を有するチャンバ（１０１）と、チャンバ壁の開口内に位置決めされた支持デバイス（１１１）を含む支持装置（１１０）と、を含む。支持デバイスは、可動装置を保定するように構成された内面（１１４）及び第１の外径を有する外面（１１６）を有するカップ（１１２）と、カップの外面に配置された複数のロッド（１１８）であって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッド（１１８）と、を含む。チャンバ壁は、支持デバイスがチャンバ壁の開口内に位置決めされるときに、チャンバ壁が複数のロッドに接触し、カップの外面がチャンバ壁に接触しないように、支持デバイスを保持するように構成される。【選択図】図１Ｂ

Description

関連出願の相互参照
[0001] 本出願は、２０２０年２月２１日出願の「REDUCING CORROSION IN A GAS DISCHARGE CHAMBER SUPPORT DEVICE」という名称の米国特許出願第６２／９７９，５２２号の優先権を主張し、上記特許文献の全体が参照により本明細書に組み込まれる。

[0002] 本開示の主題は、ガス放電チャンバの壁内の支持デバイスであって、軸受を支持するように構成され、支持デバイスとガス放電チャンバ壁との間での腐食を低減するように設計された支持デバイスに関する。

[0003] エキシマ光源を使用して、リソグラフィ露光装置に光ビームを供給することができる。エキシマ光源から発生される光ビームは、深紫外（ＤＵＶ）波長などの紫外（ＵＶ）波長を有することができる。エキシマ光源は、単一のガス放電チャンバを使用して、又は複数のガス放電チャンバを使用して構築することができる。

[0004] ガス放電チャンバの本体は、任意の形状でよく、そのキャビティ内に利得媒体を含むガス混合物を収容するように構成することができる。エネルギー源（本体のキャビティ内の電極を含むことができる）によって十分なエネルギーが提供されると、利得媒体で光増幅が生じる。ガス混合物は、所要の波長及び帯域幅付近で光ビーム（又はレーザビーム）を発生するように構成された任意の適切なガス混合物でよい。例えば、ガス混合物は、約１９３ｎｍの波長で光を放出するフッ化アルゴン（ＡｒＦ）、又は約２４８ｎｍの波長で光を放出するフッ化クリプトン（ＫｒＦ）を含むことができる。さらに、光フィードバック機構を本体に対して配置又は構成して、光共振器を提供することができる。ガス放電チャンバの本体は、電極間でガス混合物を循環させる回転可能なファンを収容することもできる。

[0005] いくつかの全般的な態様では、光源装置は、開口を画定するチャンバ壁を有するチャンバと、チャンバ壁の開口内に位置決めされた支持デバイスを含む支持装置と、を含む。支持デバイスは、可動装置を保定するように構成された内面及び第１の外径を有する外面を有するカップと、カップの外面に配置された複数のロッドであって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を含む。チャンバ壁は、支持デバイスがチャンバ壁の開口内に位置決めされるときに、チャンバ壁が複数のロッドに接触し、カップの外面がチャンバ壁に接触しないように、支持デバイスを保持するように構成される。

[0006] いくつかの実装形態は、以下の特徴の１つ又は複数を含むことができる。例えば、可動装置は、カップの内面内に保定されるように構成された軸受を含むことができる。軸受は玉軸受でよい。軸受は、回転可能なファンのポストを受け入れるように構成することができる。チャンバ壁の開口は円筒形状にすることができ、ファンの回転軸は、開口の軸に平行にすることができる。可動装置は、回転可能なファンを含むことができる。

[0007] カップの外面が複数の長手方向に延びる穴を含むことができ、穴がそれぞれ、複数のロッドの１つをそれぞれ受け入れるように構成される。

[0008] 複数のロッドが３つのロッドを含むことができ、各ロッドが、カップの外面の周りで他の各ロッドから１２０度に配置される。複数のロッドはそれぞれ、焼入れされて研磨された鋼で作ることができる。

[0009] 支持デバイスは、チャンバ壁の開口内で第１の方向に自由に移動するように構成することができ、第１の方向が開口の軸に平行である。

[00010] 粒子は、支持デバイスの複数のロッドとチャンバ壁との接触による摩擦係合によって生成されることがあり、生成された粒子は、複数のロッドとチャンバ壁との間の領域から移動して離れ、チャンバ壁とカップの外面との間のチャンバ壁の開口内に存在することができる。カップの外面の第１の外径と、複数のロッドによって定義される第２の外径との間の距離は、粒子それぞれの直径よりも大きくてよい。第１の外径と第２の外径との距離は、約１００～約４０００マイクロメートルの範囲内でよい。

[00011] 開口は円筒形状でよく、支持デバイスは、開口の軸に平行な方向に開口内で自由に移動するように構成することができる。

[00012] 支持装置は、チャンバの別のチャンバ壁の開口内に固定された拘束された支持デバイスを含むことができる。拘束された支持デバイスは、可動装置を保定するように構成された内面、及び外面を有する第２のカップを含むことができる。別のチャンバ壁の開口は、第２のカップを保持するように構成することができ、別のチャンバ壁は、第２のカップが第２のチャンバ壁の第２の開口内に位置決めされるときに第２のカップの外面に接触する。

[00013] 複数のロッドはそれぞれ、カップの外面に拘束することができる。複数のロッドはそれぞれ、外面への各ロッドの圧入又は熱的嵌め込みの一方によって、外面に拘束することができる。

[00014] 他の全般的な態様では、紫外光源が、ガス状利得媒体を保持し、光ビームを発生するように構成された少なくとも１つの放電チャンバを含む光発生装置であって、少なくとも１つの放電チャンバがそれぞれ、内部キャビティを画定するチャンバ壁を備える、光発生装置と、支持装置と、を含む。支持装置は、放電チャンバに関連付けられ、放電チャンバのチャンバ壁の１つの開口内に位置決めされた、部分的に拘束された支持デバイスを含む。部分的に拘束された支持デバイスは、可動装置を保定するように構成された内面、及び第１の外径を有する外面を有するカップと、カップの外面に配置された複数のロッドであって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を含む。部分的に拘束された支持デバイスが開口内に位置決めされるとき、チャンバ壁の開口の内面が、部分的に拘束された支持デバイスの複数のロッドと接触する。部分的に拘束された支持デバイスのカップの外面は、チャンバ壁の開口の内面に接触しない。

[00015] いくつかの実装形態は、以下の特徴の１つ又は複数を含むことができる。例えば、支持装置は、第２のカップを有する完全に拘束された支持デバイスを含むこともできる。第２のカップは、可動装置を保定するように構成された内面と、外面と、を含むことができる。完全に拘束された支持デバイスは、完全に拘束された支持デバイスの外面が第２のチャンバ壁の開口の内面に接触するように、放電チャンバの第２のチャンバ壁の開口内に位置決めすることができる。部分的に拘束された支持デバイスを有するチャンバ壁は、部分的に拘束された支持デバイスを有するチャンバ壁の開口が第２のチャンバ壁の第２の開口と対称に配置されるように、第２のチャンバ壁の反対側に位置決めすることができる。可動装置はファンを含むことができ、ファンが、ファンの回転軸の周りを回転するように構成される。完全に拘束された支持デバイスは、第２のチャンバ壁の第２の開口内に固定することができ、部分的に拘束された支持デバイスは、部分的に拘束された支持デバイスを保持するチャンバ壁の開口内でファンの回転軸に沿って移動するように構成することができる。

[00016] 放電チャンバのチャンバ壁は、動作時に内部キャビティが気密封止されるように封止可能であり得る。

[00017] 光源は、光路を画定する１つ又は複数の光学コンポーネントを含むことができ、光路の少なくとも一部が放電チャンバを通過する。放電チャンバは、内部キャビティ内のガス混合物であって、利得媒体を含むガス混合物と、利得媒体にエネルギーを供給するように構成されたエネルギー源と、を含むことができる。光学コンポーネントは、光共振器を形成する光学要素の一セットを含むことができる。

[00018] 光源は、光発生装置の別の放電チャンバに関連付けられた別の支持装置も含むことができ、別の支持装置は、別の放電チャンバの内部キャビティ内に延びる可動装置を保持するように構成される。別の支持装置は、別の放電チャンバの第１のチャンバ壁の開口内に位置決めされた部分的に拘束された支持デバイスと、別の放電チャンバの第２のチャンバ壁の開口内に固定された完全に拘束された支持デバイスと、を含むことができる。

[00019] 他の全般的な態様では、光源装置の転がり軸受の腐食を低減する方法が述べられている。この方法は、支持デバイスの複数の軸方向に延びるロッドが壁開口の内面に接触し、複数のロッドが配置されて保定される支持デバイスのカップが壁開口の内面と接触しないように、ガス放電チャンバの壁の円筒形状の壁開口内に支持デバイスを摩擦係合することを含む。この方法は、壁開口の軸と整列される軸受軸を有する転がり軸受をカップの内面内に保定すること、及び、ポストが軸受軸の周りで回転するように拘束されるように、転がり軸受を介してチャンバの内部に延びる回転可能な要素のポストに係合すること、をさらに含む。ロッドと壁開口の内面との間の摩擦係合により生成された粒子は、ロッドと壁開口の内面との間の空間から出て、カップの外面と壁開口の内面との間の体積に入る。

[00020] さらに全般的な態様では、光源は、ガス状利得媒体を保持し、光ビームを発生するように構成された放電チャンバであって、内部キャビティを画定するチャンバ壁を含み、少なくとも１つの窓が少なくとも１つのチャンバ壁に固定された、放電チャンバと、内部キャビティを通って延びる回転可能なファンであって、内部キャビティ内でガス状利得媒体を循環させるように構成され、使用時にファン軸の周りで回転する回転可能なファンと、回転可能なファンを保持するように構成された支持装置と、を含む。支持装置は、第１の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされ、回転可能なファンの第１の端部を受け入れる部分的に拘束された支持デバイスであって、ファン軸に沿って移動することができる部分的に拘束された支持デバイスと、第１の支持チャンバ壁の反対側にある第２の支持チャンバ壁の開口内に固定され、回転可能なファンの第２の端部を受け入れる完全に拘束された支持デバイスと、を含む。

[00021] いくつかの実装形態は、以下の特徴の１つ又は複数を含むことができる。例えば、部分的に拘束された支持デバイスは、軸受を保定するように構成された内面及び第１の外径を有する外面を有するカップと、カップの外面に配置された複数のロッドであって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を含むことができる。部分的に拘束された支持デバイスが第１の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされるとき、第１の支持チャンバ壁の開口の内面が複数のロッドに接触し、カップの外面が第１の支持チャンバ壁の開口の内面に接触しない。

[00022] 完全に拘束された支持デバイスは、第２のカップを含むことができる。第２のカップは、軸受を保定するように構成された内面及び外面を含むことができる。完全に拘束された支持デバイスは、完全に拘束された支持デバイスの外面が第２のチャンバ壁の開口の内面に接触するように、第２の支持チャンバ壁の開口内に位置決めすることができる。

[00023] 他の全般的な態様では、光源装置は、開口を画定するチャンバ壁を有するチャンバと、チャンバ壁の開口内に位置決めされた支持デバイスを含む支持装置と、を含む。支持デバイスは、軸受を保定するように構成された内面と、第１の外径を有する外面と、外面に配置された複数の隆起した稜部と、を画定し、隆起した縁部の配置が第２の外径を定義する。第２の外径は第１の外径よりも大きく、隆起した縁部の表面積は外面の表面積よりも小さい。チャンバ壁は、支持デバイスを保持するように構成され、支持デバイスがチャンバ壁の開口内に位置決めされるとき、チャンバ壁は隆起した縁部に接触し、外面はチャンバ壁に接触しない。

[00024] いくつかの実装形態は、以下の特徴の１つ又は複数を含むことができる。例えば、各隆起した縁部は、支持デバイスの外面に拘束された細長いロッドから形成することができる。複数の隆起した稜部はそれぞれ、焼入れされて研磨された鋼であり得る焼入れ材料で作ることができる。

[00025]内部キャビティを画定する壁を有するチャンバと、チャンバ壁の開口内に配置された支持デバイスとを含む光源装置の斜視図である。 [00026]図１Ａの光源装置の分解図である。 [00027]支持デバイスが配置されるチャンバ壁内の平面に沿って取られた、図１Ｂの光源装置のＸ－Ｙ平面における断面図である。 [00028]チャンバ及び支持デバイスを含む図１Ｃの平面Ｄ－Ｄに沿った整列された断面図である。 [00029]チャンバ壁と、チャンバ壁の開口内に配置された支持デバイスと、を含む図１Ｃの挿入図である。 [00030]チャンバ壁の一部及び支持デバイスを示す、図１Ｄの整列された断面図の挿入図である。 [00031]カップと、カップの外面に配置された複数のロッドと、を含む支持デバイスの斜視図である。 [00032]図２Ｃの支持デバイスのＸ－Ｙ平面で取られた断面図である。 [00033]支持デバイスと、支持デバイスが配置されるチャンバ壁の内面と、の界面の詳細を示す、図２Ａの領域２Ｅの挿入図である。 [00034]内部キャビティを画定するチャンバ壁を有するチャンバと、チャンバ壁の開口内に配置された支持装置と、支持装置によって支持される回転可能なファンと、を含む光源のＸ－Ｚ平面での断面図である。 [00035]内部キャビティを画定するチャンバ壁と、部分的に拘束された支持デバイスと、部分的に拘束された支持デバイスによって支持される回転可能なファンと、をそれぞれ含む２つのチャンバを含む紫外光源のＸ－Ｚ平面での断面図である。 [00036]光源装置内での支持デバイスとチャンバのチャンバ壁との間でのフレッチング腐食を低減するための手順を示すフローチャートである。 [00037]図１の支持デバイスの別の実装形態の斜視図である。 [00038]図１の支持デバイスの別の実装形態の斜視図である。

[00039] 図１Ａ～１Ｄを参照すると、光源装置１００は、内部キャビティ１０２を画定するチャンバ１０１と、チャンバ１０１の壁１０３の開口１０７内に配置された支持装置１１０と、を含む。光源装置１００は、図４に示されるように、パルス光ビーム４７６を供給するガス放電システム４８０など、ガス放電システムの一部であるように構成される。支持装置１１０は、支持デバイス１１１内に受け入れられる可動装置１６０を保持及び支持するように構成された少なくとも１つの支持デバイス１１１を含む。可動装置１６０は、チャンバ１０１のキャビティ１０２内に延びる。

[00040] 可動装置１６０は、支持デバイス１１１の外面と壁１０３の開口１０７の内面１０８との間の望ましくない摩擦係合を生じ得る様式で、チャンバの壁１０３に対して移動することができる任意のコンポーネント又は要素である。

[00041] いくつかの実装形態では、本明細書で論じられるように、可動装置１６０は、キャビティ１０２内に又はキャビティ１０２を通って延びる回転可能なファン（図３に示される回転可能なファン３６０など）である。そのような実装形態では、回転可能なファン３６０は、軸受（図１Ｄに示される軸受１６２など）によって支持デバイス１１１内で支持することができる。

[00042] 可動装置１６０及びチャンバ１０１の動作中、振動が発生し得る。そのような振動により、支持デバイス１１１の外面とチャンバ１０１の壁１０３の開口１０７の内面１０８との間で望ましくない摩擦係合を引き起こす様式で（例えば可動装置１６０の回転軸に平行な長手方向に沿って）支持デバイス１１１が移動されることがある。この望ましくない摩擦係合はフレッチング腐食を生じるおそれがあり、フレッチング腐食は、支持デバイス１１１と壁１０３との間で生じる小さな振動運動による、それらの界面での材料の劣化である。このフレッチング又は擦れ作用により、支持デバイス１１１と壁１０３との材料の一方又は両方から微粒子破片が擦過生成される。さらに、これらの破片は次いで酸化して、硬い研磨粒子になることがあり、これは、支持デバイス１１１と壁１０３とのいずれか又は両方の表面をさらに摩耗及び破壊する可能性がある。焼入れ及び酸化された粒子による金属の引っかき及び擦過により、支持デバイス１１１と壁１０３との間の寸法公差から外れることがあり、これにより、チャンバ壁１０３内の支持デバイス１１１の振動が増加され得る。振動の増加は、チャンバ１０１全体の不安定性、及びチャンバ１０１内で発生される光ビーム（光ビーム４７６など）のスペクトル特性の望ましくない不安定性につながる可能性がある。さらに、擦過生成された硬い酸化された粒子が支持デバイス１１１と壁１０３との間の領域に蓄積すると、軸受１６２又は支持される可動装置１６０は、その予荷重を失うことがあり、これは最終的に軸受１６２の壊滅的な故障につながるおそれがある。これにより、チャンバ１０１全体が機能しなくなる可能性がある。

[00043] さらなる例として、チャンバ１０１は、ガス混合物を収容するガス放電チャンバであり得る。ガス混合物は、フッ化アルゴン又はフッ化クリプトンなどのフッ化物成分を含むことができる。材料は、支持デバイス１１１と壁１０３とのいずれか又は両方の表面から擦過されて、粒子破片を生成する可能性がある。支持デバイス１１１がニッケル合金で作られており、チャンバ壁１０３がニッケルめっき金属で作られている場合、粒子破片は、ニッケルを含む金属破片であり得る。したがって、支持デバイス１１１及び／又はチャンバ壁１０３の擦過生成された金属破片と、チャンバ１０１内のガス混合物のフッ化物成分と、から金属フッ化物（フッ化ニッケルなど）の粒子が生成されることがある。金属フッ化物の粒子は、壁１０３と支持デバイス１１１との間の領域又は界面に入ることがあり、これらの金属フッ化物粒子は、酸化又は焼入れして、ざらざらした研磨粒子を形成することがある。

[00044] したがって、本明細書で論じるように、支持デバイス１１１とチャンバ１０１の壁１０３との界面は、支持デバイス１１１と壁１０３との接触界面でのフレッチング腐食を低減するように設計される。第１に、係合面の少なくとも一方が、焼入れ材料（焼入れ鋼など）で作られる。第２に、界面での係合面積が大幅に減少される。すなわち、支持デバイス１１１と壁１０３との接触界面が制限される。以前の設計では、支持デバイスの外面は円筒形状を有し、壁１０３の開口１０７の内面１０８も円筒形状を有し、したがって、係合面積は、支持デバイスの外面の総表面積又は壁１０３の総表面積の１００％又はほぼ１００％であった。新規の設計では、この接触界面は大幅に小さい。第３に、支持デバイス１１１と壁１０３との接触の表面積が制限又は限定されるので、そのより小さい接触界面で生成される任意の粒子は、接触界面間に捕捉されずに接触界面から自由に落下する又は接触界面から離れるように向けられ、したがって、焼入れ及び酸化された粒子により生じ得る引っかき及び擦過が低減される。次に詳細を述べる。

[00045] 再び図１Ａ～１Ｄを参照すると、チャンバ１０１は、開口１０７を画定するチャンバ壁１０３を含めた、内部キャビティ１０２を画定する複数の壁を含む。開口１０７は、チャンバ壁１０３を通ってＺ方向と整列された長手方向に沿って延びる円筒形の領域であり得る。開口１０７は、支持デバイス１１１がチャンバ壁１０３の開口１０７内に位置決めされている間、支持デバイス１１１を保持し、支持デバイス１１１の動きを部分的に拘束するように構成される。

[00046] 支持デバイス１１１は、カップ１１２と複数のロッド１１８とを含む。カップ１１２は、壁１０３の開口１０７内に挿入及び保持されるとき、Ｚ方向に沿って長手方向に延びる円筒形構造を含む。カップ１１２の円筒形構造は、カップ１１２の外面１１６を画定する。カップ１１２は、カップ１１２の長手方向軸に沿って延びる円筒形の中空領域又は開口１１３も含む。開口１１３は、軸受１６２を保持するように構成されたカップ１１２の内面１１４を画定する。カップ１１２は、例えばニッケル合金などの剛性材料で作ることができる。ニッケル合金は、ニッケル、銅、並びに少量の鉄、マンガン、炭素、及びシリコンの組成を含む。例えば、カップ１１２はモネル（Monel）で作ることができる。

[00047] 複数のロッド１１８はそれぞれ、カップ１１２の長手方向軸に沿って各ロッド１１８の長さがカップ１１２の長さにほぼ等しくなるように、Ｚ方向に沿って延びる円筒形構造を含む。複数のロッド１１８はそれぞれ、各ロッド１１８が外面１１６を越えて径方向に延びるように、カップ１１２の外面１１６に配置される。このようにすると、支持デバイス１１１がチャンバ壁１０３の開口１０７内に位置決めされるとき、複数のロッド１１８それぞれの外面はチャンバ壁１０３に接触し、カップ１１２の外面１１６はチャンバ壁１０３に接触しない。複数のロッド１１８はそれぞれ、例えば焼入れされて研磨された鋼などの焼入れ材料で作ることができる。

[00048] 動作中、軸受１６２は、カップ１１２の内面１１４内に保定される。カップ１１２の内面１１４は、軸受１６２の外面の直径よりもわずかに小さい直径を有することがある。例えば、カップ１１２を加熱することができ、カップ１１２が熱膨張により膨張し、カップ１１２の内面１１４の直径を、軸受１６２の外面の直径よりもわずかに大きい直径に増加させる。したがって、カップ１１２の内面１１４が熱膨張された状態で、軸受１６２をカップ１１２の内面１１４内に配置することができる。カップ１１２が冷却されるとき、カップ１１２の内面１１４の直径は減少し、カップ１１２は、軸受１６２をカップ１１２の内面１１４内の所定位置にしっかりとクランプする。軸受１６２は、可動装置１６０の相対的な動きを所望の動きのみに拘束するように働く１つ又は複数の剛性部品で作られる。さらに、軸受１６２は、可動装置１６０とチャンバ壁１０３との間の摩擦を低減するデバイスである。いくつかの実装形態では、軸受１６２は、Ｚ方向に沿った可動装置１６０の自由な直線運動を提供することができる。他の実装形態では、軸受１６２は、可動装置１６０が、チャンバ壁１０３の開口１０７の長手方向軸に平行な回転軸Θの周りで自由に回転できるようにする。いくつかの実装形態では、軸受１６２は、可動装置１６０を保持し、回転軸Θの周りでの可動装置１６０の回転を可能にする転がり軸受である。軸受１６２は、すべり軸受、玉軸受、又はころ軸受でよく、１つ又は複数の潤滑剤を利用することができる。

[00049] いくつかの実装形態では、軸受１６２は含まれず、可動装置１６０は、カップ１１２の内面１１４内に直接保定される。これらの実装形態では、可動装置１６０は、その動きがカップ１１２とチャンバ壁１０３の内面１０８との望ましくない摩擦係合を引き起こす任意の装置でよい。

[00050] 軸受１６２は、支持デバイス１１１によって支持され、チャンバ１０１の内部キャビティ１０２内に延びる可動装置１６０を保持する。例えば、図３に示されるように、軸受３６２は、チャンバ３０１の内部キャビティ３０２内に回転可能なファン３６０を保持し、軸受３６２及び回転可能なファン３６０が支持デバイス３１１によって支持され、ファン３６０が回転軸Θの周りで自由に回転できるようにする。

[00051] 図２Ａ～２Ｄも参照すると、支持デバイス１１１は、チャンバ壁１０３内で及びチャンバ壁１０３に対して、（回転軸Θと整列された）Ｚ方向に沿って自由に動くことができる。上で論じたように、可動装置１６０及びチャンバ１０１の動作中、振動により支持デバイス１１１がＺ方向に沿って移動されることがある。支持デバイス１１１がＺ方向に移動するとき、複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３との接触は、複数のロッド１１８と、開口１０７を画定するチャンバ壁１０３の内面１０８との摩擦係合をもたらす。したがって、チャンバ壁１０３内での支持デバイス１１１の運動は、チャンバ壁１０３に直接接触する複数のロッド１１８の表面材料のフレッチング腐食を引き起こすことがある。表面材料の腐食は、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との摩擦係合によって表面材料の粒子が生成されることを含む。支持デバイス１１１の設計により、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との界面で生成される任意の粒子は、複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３との間の領域から落下する又は離れるように向けることができる。そのような粒子は、チャンバ壁１０３の内面１０８とカップ１１２の外面１１６との間で開口１０７内に留まることがあり、又は開口１０７から落下することがある。

[00052] 図２Ｅをさらに参照すると、支持デバイス１１１のカップ１１２の外面１１６は、第１の外径１１５によって定義される。複数のロッド１１８がカップ１１２の外面１１６に配置されて、複数のロッド１１８が第２の外径１１７を定義する。第２の外径１１７は第１の外径１１５よりも大きく、支持デバイス１１１の複数のロッド１１８がチャンバ壁１０３の内面１０８に接触するが、カップ１１２の外面１１６はチャンバ壁１０３の内面１０８に接触しないようにする。さらに、各ロッド１１８は、界面１１９でチャンバ壁１０３の内面１０８と接触する。界面１１９において、各ロッド１１８の外面の小さな部分又は最小部分がチャンバ壁１０３の内面１０８に接触し、ロッド１１８がＺ方向に沿って延びるので、界面１１９もＺ方向に沿って延びる。このようにすると、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３の内面１０８との接触界面積は、（内面１０８全体ではなく）界面１１９での面積まで減少される。

[00053] カップ１１２の外面１１６の第１の外径１１５と複数のロッド１１８によって画定される第２の外径１１７との間の距離Δ（図２Ｄ及び２Ｅに示されている）は、支持デバイス１１１がチャンバ壁１０３内の（Ｚ方向に平行である）回転軸Θに沿って移動するときに支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との表面材料の一方又は両方の擦過によって生成される各粒子Ｐの直径よりも大きくすることができる。例えば、第１の外径１１５と第２の外径１１７との距離Δは、約１００～約４０００マイクロメートル（μｍ）の範囲内でよい。このようにすると、カップ１１２の外面１１６とチャンバ壁１０３の内面１０８との間の領域は十分に大きく、摩擦係合により生成された粒子Ｐが複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３との界面１１９から移動して離れることができ、チャンバ壁１０３とカップ１１２の外面１１６との間でチャンバ壁１０３の開口１０７内に存在することができる。したがって、複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３との間でのフレッチング腐食を低減することができる。

[00054] 支持デバイス１１１は、カップ１１２の外面１１６の周りに等間隔に配置された３つのロッド１１８を含む。例えば、３つのロッド１１８はそれぞれ、カップ１１２の外面１１６の周りで他の各ロッドから１２０度に配置することができる。他の実装形態では、支持デバイス１１１は、２つ又は４つ以上のロッド１１８を含むことができる。例えば、支持デバイス１１１は、（例えば図６に示されるように）４つのロッド１１８を含むことができ、４つのロッド１１８はそれぞれ、カップ１１２の外面１１６の周りで他の各ロッドから９０度に配置される。複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３の内面１０８との接触界面積を減少するために、より少ない量のロッド１１８を使用することができる。例えば、複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３の内面１０８との接触界面積は、４つ以上のロッド１１８が支持デバイス１１１に含まれるときよりも、３つのロッド１１８が支持デバイス１１１に含まれるときに減少される。複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３の内面１０８との接触界面積を減少すると、支持デバイス１１１がチャンバ壁１０３内で第１の方向Θに沿って移動するときにフレッチング腐食が発生する表面積が減少される。したがって、可動装置１６０及びチャンバ１０１の動作中、より少数のロッド１１８が支持デバイス１１１に含まれるとき、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との表面材料の一方又は両方から擦過生成される粒子Ｐの量が減少される。

[00055] 複数のロッド１１８はそれぞれ、取付け機構又はプロセスによってカップ１１２の外面１１６に取り付けられる。一実装形態では、カップ１１２の外面１１６は、複数の長手方向に延びる窪み又は穴１２０（図１Ｂでは露出されて示されている）を含むことができる。穴１２０はそれぞれ、複数のロッド１１８のうちの１つをそれぞれ受け入れるように構成される。例えば、支持デバイス１１１は３つの穴１２０を含むことができ、各穴１２０は、カップ１１２の外面１１６の周りに他の各穴１２０から１２０度に配置され、各穴１２０が複数のロッド１１８のうちの１つをそれぞれ受け入れる。いくつかの実装形態では、製造プロセスによって、複数のロッド１１８それぞれをカップ１１２の外面１１６に拘束することができる。例えば、複数のロッド１１８はそれぞれ、各ロッド１１８を外面１１６に圧入する又は熱的に嵌め込むことによって、カップ１１２の外面１１６に拘束することができる。さらに、ロッド１１８が拘束された後、ロッド１１８が固定されて移動できないことが望ましいことがある。他の実装形態では、複数の穴１２０のうちの１つにそれぞれ配置される各ロッド１１８は、例えば接着剤によって又はろう付けによってカップ１１２の外面１１６に恒久的に取り付けることができる。

[00056] 上述したように、複数のロッド１１８は、例えば研磨された焼入れ鋼など、研磨された焼入れ材料で作ることができる。研磨された材料の使用は、複数のロッド１１８の材料の表面でのマイクロスケールの不整合性を低減することによって、複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３との摩擦係合により生じ得る粒子Ｐの数を減少する。焼入れ材料の使用は、複数のロッド１１８の表面材料の腐食に対する抵抗を高めることによって、生じ得る粒子Ｐの数をさらに減少する。したがって、チャンバ壁１０３に接触する複数のロッド１１８の表面材料の腐食は、研磨されて焼入れされた材料を使用することによって低減される。

[00057] 図３を参照すると、光源装置１００は、光源３８０の一部でよい。光源３８０は、光ビーム３７６を発生するように構成された光発生装置と、光発生装置に関連付けられた支持装置３１０と、を含む。光発生装置は、光ビーム３７６を発生するためのガス状利得媒体３８９を含むガス混合物を保持するように構成された気密封止された内部キャビティ１０２を画定する放電チャンバ３０１によって画定される。光発生装置は、放電チャンバ３０１の内部キャビティ３０２を通って延びる回転可能なファン３６０も含み、回転可能なファン３６０は、キャビティ３０２内でガス混合物を循環させるように構成される。

[00058] 支持装置３１０は、回転可能なファン３６０のそれぞれの端部（又はポスト）を保持するようにそれぞれ構成された、部分的に拘束された支持デバイス３１１及び完全に拘束された支持デバイス３４１を含む。放電チャンバ３０１は、第１のチャンバ壁３０３及び第２のチャンバ壁３０４を含む。第１のチャンバ壁３０３は開口３０７を含み、第２のチャンバ壁３０４は開口３４７を含む。開口３０７及び開口３４７の中心軸は、回転可能なファン３６０の回転軸Θに沿って位置決めされる。

[00059] 回転可能なファン３６０は、中央部分３６６、第１の端部３６３、及び第２の端部３６４を含む。中央部分３６６は、回転軸Θに沿って延びる円筒形状を含むことができる。中央部分３６６は、回転可能なファン３６０に沿ってＺ方向に延びる複数のブレードを含むことができる。第１の端部３６３は、中央部分３６６から－Ｚ方向に延び、部分的に拘束された支持デバイス３１１内に保持される軸受３６２内に保定されるように構成される。第２の端部３６４は、中央部分３６６から＋Ｚ方向に延び、完全に拘束された支持デバイス３４１内に保定されるように構成される。第１の端部３６３及び第２の端部３６４はそれぞれ、ポストなどの円筒形状を有することができる。第１の端部３６３及び第２の端部３６３は、中央部分３６６が回転軸Θの周りで回転されるときに第１の端部３６３及び第２の端部３６４が中央部分３６６に対して回転しないように、中央部分３６６に取り付けられる若しくは固定される、又は中央部分３６６と一体である。言い換えると、回転可能なファン３６０は単体構造であり、回転可能なファン３６０の動作中に、中央部分３６６、第１の端部３６３、及び第２の端部３６４が一緒に回転する。動作使用中、回転可能なファン３６０は、回転軸Θの周りを回転することによって、内部キャビティ３０２内でガス混合物のガス状利得媒体を循環させるように構成される。

[00060] 部分的に拘束された支持デバイス３１１は、図２Ａ～２Ｄに示される支持デバイス１１１の一実装形態である。部分的に拘束された支持デバイス３１１は、第１のチャンバ壁３０３の開口３０７内に位置決めされ、回転可能なファン３６０の第１の端部３６３を受け入れるように構成される。部分的に拘束された支持デバイス３１１は、チャンバ壁３０３内に及びチャンバ壁３０３に対して回転軸Θに沿って移動するように構成される。例えば、光ビーム３７６を発生するための回転可能なファン３６０及び放電チャンバ３０１の動作中、振動により、部分的に拘束された支持デバイス３１１が回転軸Θに沿って移動することがある（この動きは両方向矢印３６５によって示される）。

[00061] 部分的に拘束された支持デバイス３１１は、支持デバイス１１１のように、内面及び外面を有するカップと、カップの外面に配置された複数のロッドと、を含むように設計することができる。カップの内面は、軸受３６２を保定するように構成され、軸受３６２は、回転可能なファン３６０の第１の端部３６３を保定するように構成される。部分的に拘束された支持デバイス３１１が第１のチャンバ壁３０３の開口３０７内に位置決めされるとき、支持デバイス１１１の複数のロッドが第１のチャンバ壁３０３の内面に接触し、カップの外面は第１のチャンバ壁３０３の内面に接触しない。

[00062] 完全に拘束された支持デバイス３４１は、内面及び外面を有する第２のカップを含むことができる。内面は、第２の軸受を保定するように構成され、軸受は、回転可能なファン３６０の第２の端部３６４を保定するように構成される。第２のカップは、完全に拘束された支持デバイス３４１が第２のチャンバ壁３０４内に固定されるように、すなわち支持デバイス３４１が回転軸Θに沿って移動又は並進しないように、第２のチャンバ壁３０４の開口３４７内に位置決めされるように構成される。第２のカップの外面は、開口３４７内の第２のチャンバ壁３０４の内面に恒久的に取り付けることができる。したがって、第２のカップの外面は、第２のチャンバ壁３０４の開口３４７の直径にほぼ等しい直径によって定義することができる。したがって、完全に拘束された支持デバイス３４１は、第２のチャンバ壁３０４内で又は第２のチャンバ壁３０４に対して移動しない。回転可能なファン３６０及び放電チャンバ３０１の動作中、完全に拘束されたデバイス３４１が第２のチャンバ壁３０４内で固定されたままであるので、完全に拘束された支持デバイス３４１で生じ得る振動により完全に拘束された支持デバイス３４１が回転軸Θに沿って移動することはない。

[00063] したがって、部分的に拘束された支持デバイス３１１は、回転可能なファン３６０の第１の端部３６３を受け入れ、完全に拘束された支持装置３４１は、回転可能なファン３６０の第２の端部３６４を受け入れる。このようにして、支持装置３１１は、放電チャンバ３０１の内部キャビティ３０２内に回転可能なファン３６０を保持する。

[00064] 部分的に拘束された支持デバイス３１１のカップ、及び完全に拘束された支持デバイス３４１の第２のカップは、例えばモネルを含むニッケル合金などの剛性材料で作ることができる。部分的に拘束された支持デバイス３１１の複数のロッド１１８はそれぞれ、例えば焼入れされ研磨された鋼などの焼入れ材料で作ることができる。放電チャンバ３０１は、例えばニッケルめっきアルミニウムなどの剛性材料で作ることもできる。回転可能なファン３６０は、例えばニッケルめっきアルミニウムなど、放電チャンバ３０１の壁と同じ材料で作ることができる。

[00065] 上で論じたように、放電チャンバ３０１は、光ビーム３７６を発生するためのガス混合物を保持するように構成される。このために、第１のチャンバ壁３０３は第１の光学要素３５０も保定又は保持し、第２のチャンバ壁３０４は第２の光学要素３５２も保定又は保持する。第１の光学要素３５０及び第２の光学要素３５２は、光ビーム３７６のための光路を形成することができる。例えば、光学要素３５０、３５２はそれぞれ、光ビーム３７６が放電チャンバ３０１の内部キャビティ３０２に出入りすることを可能にする窓を含むことができる。いくつかの実装形態では、放電チャンバ３０１は、内部キャビティ３０２内のガス状利得媒体３８９にエネルギーを供給するように構成されたエネルギー源３８４を含むことができる。これらの実装形態では、放電チャンバ３０１がガス状利得媒体３８９を含むとき、光学要素３５０、３５２の１つ又は複数は、光共振器の少なくとも一部を形成することができ、又は光共振器内に位置決めすることができる。例えば、光学要素３５０は、部分的に反射性の入力／出力窓でよく、したがって、キャビティ３０２内で発生された光の一部が光ビーム３７６として向けられることを可能にする。

[00066] 光源３８０の動作使用中、放電チャンバ３０１の内部キャビティ３０２の温度は変動することがあり、温度の上昇は、回転可能なファン３６０の熱膨張、及び放電チャンバ３０１の熱膨張を引き起こすことがある。放電チャンバ３０１の熱膨張は、第１及び第２のチャンバ壁３０３及び３０４の運動を引き起こすことがある。回転可能なファン３６０の熱膨張は、少なくとも回転軸Θに沿って膨張する回転可能なファン３６０を含むことができる。したがって、回転可能なファン３６０が回転軸Θに沿って熱膨張するとき、第１の端部３６３は－Ｚ方向に移動することがあり、第２の端部３６４は第２のチャンバ壁３０４内の位置に固定されたままである。このようにして、第１の端部３６３が回転軸Θに沿って移動することにより、部分的に拘束された支持デバイス３１１も回転軸Θに沿って－Ｚ方向に移動する。

[00067] 回転可能なファン３６０の熱膨張は、第１及び第２のチャンバ壁３０３、３０４の熱膨張よりも急速である傾向がある。第１に、回転可能なファン３６０は、ガス状利得媒体３８９にエネルギーを付与することによって熱を発生する。第２に、回転可能なファン３６０は、（チャンバ壁３０３及び３０４と比較して）開いた（高表面積の）構造である。第３に、回転可能なファン３６０は、チャンバ壁３０３、３０４よりもはるかに軽量である。これらの要因により、回転可能なファン３６０は、第１及び第２のチャンバ壁３０３及び３０４それぞれよりも速く温度が上昇することがある。したがって、回転可能なファン３６０の温度は、第１及び第２のチャンバ壁３０３及び３０４の温度よりも速く上昇し、それにより、回転可能なファン３６０は、第１及び第２のチャンバ壁３０３及び３０４よりも大きく－Ｚ方向に熱膨張する。回転可能なファン３６０と放電チャンバ３０１との温度の違いにより、部分的に拘束された支持デバイス３１１は、第１のチャンバ壁３０３に対して及び第１のチャンバ壁３０３内で移動される。さらに、支持デバイス３１１と第１のチャンバ壁３０３との間の運動は、環境の温度が変動するときに回転軸Θに沿って前後に並進することができる。例えば、支持デバイス３１１は、回転軸Θに沿って前後に振動することができる。

[00068] 部分的に拘束された支持デバイス３１１と第１のチャンバ壁３０３との間のこの運動は、部分的に拘束された支持デバイス３１１の複数のロッドと第１のチャンバ壁３０３の内面との摩擦係合を引き起し、上で論じたようにフレッチング腐食をもたらすことがある。部分的に拘束された支持デバイス３１１と第１のチャンバ壁３０３との界面は、カップの外面全体ではなく、複数のロッドが第１のチャンバ壁３０３の内面と接触する領域に限定され、これにより接触界面のフレッチング腐食が低減される。さらに、部分的に拘束された支持デバイス３１１の複数のロッドは、焼入れされて研磨された材料で作ることができ、複数のロッドの表面材料の擦過をさらに低減する。さらに、複数のロッドと第１のチャンバ壁３０３の内面との間で表面材料の腐食により生成される粒子（図２Ｅに示される粒子Ｐなど）は、図２Ｅに示されるように、接触界面の間に捕捉されずに、支持デバイス３１１の複数のロッドと第１のチャンバ壁３０３との接触界面から自由に落下する又は接触界面から離れるように向けられる。このようにして、回転可能なファン３６０の第１の端部３６３を放電チャンバ３８２内に保持するために部分的に拘束された支持デバイス３１１を含むことによって、複数のロッドと第１のチャンバ壁３０３の内面との間のフレッチング腐食が低減される。

[00069] 図４を参照すると、他の実装形態では、光源３８０は、２つの放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂ、及びそれぞれの放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂに関連付けられた支持装置４１０Ａ、４１０Ｂを含むデュアルチャンバ紫外光源４８０であり得る。各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、放電チャンバ３０１（図３）の一実装形態である。各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、ガス状利得媒体４８９Ａ、４８９Ｂをそれぞれの内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂ内に保持するように構成され、各内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂは、それぞれのチャンバ壁の一セットによって画定される。各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、それぞれの第１のチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂ及びそれぞれの第２のチャンバ壁４０４Ａ、４０４Ｂを含む。各支持装置４１０Ａ、４１０Ｂは、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂのチャンバ壁の１つの開口内に位置決めされるように構成された部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂを含む。各部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂは、図２Ａ～２Ｅに示される支持デバイス１１１の一実装形態である。各部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂは、支持デバイス１１１のように、内面及び外面を有するカップ１１２と、カップ１１２の外面に配置された複数のロッド１１８とを含むように設計することができる。各部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂは、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの第１のチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂのそれぞれの開口４０７Ａ、４０７Ｂ内に位置決めされ、支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂの複数のロッド１１８が第１のチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂのそれぞれの開口４０７Ａ、４０７Ｂの内面に接触し、カップ１１２の外面は、開口４０７Ａ、４０７Ｂの内面に接触しない。

[00070] 紫外光源４８０は、例えば半導体基板又はウェハ４８６をパターン形成するためのリソグラフィ露光装置４８５によって使用するために、紫外範囲内の光ビーム４７６を発生するように構成される。例えば、光源４８０として深紫外（ＤＵＶ）光源を含む実装形態では、放電チャンバ４０１Ａは、電力増幅器の一部である、放電チャンバ４０１Ｂに供給されるシード光ビーム４７５を発生するマスタ発振器の一部でよい。光源４８０の他の実装形態も可能である。それぞれの放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂで使用されるガス状利得媒体４８９Ａ、４８９Ｂは、所要の波長、帯域幅、及びエネルギー付近のそれぞれの光ビーム４７５、４７６を発生するための適切なガスの組合せでよい。例えば、ガス混合物４８９Ａ、４８９Ｂは、約１９３ｎｍの波長で光を放出するフッ化アルゴン（ＡｒＦ）、又は約２４８ｎｍの波長で光を放出するフッ化クリプトン（ＫｒＦ）を含むことができる。

[00071] 上述したように、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、チャンバ壁によって画定される。動作中、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂのチャンバ壁は、各内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂが気密封止されるように封止可能であり得る。各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、各内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂ内のガス状利得媒体４８９Ａ、４８９Ｂにエネルギーを供給するようにそれぞれ構成されたエネルギー源４８４Ａ、４８４Ｂを含むことができる。例えば、各エネルギー源４８４Ａ、４８４Ｂは、電位差を生じ、動作時にガス状利得媒体４８９Ａ、４８９Ｂを励起する１対の電極を含むことができる。各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、それぞれの内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂ内に、回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂを含むこともできる。各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂは、回転可能なファン３６０（図３）の一実装形態である。各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂは、回転可能なファン３６０のように、それぞれ中央部分４６６Ａ、４６６Ｂ、第１の端部４６３Ａ、４６３Ｂ、及び第２の端部４６４Ａ、４６４Ｂを含むように設計することができる。各中央部分４６６Ａ、４６６Ｂ、第１の端部４６３Ａ、４６３Ｂ、及び第２の端部４６４Ａ、４６４Ｂは、円筒形状を含むことができる。各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂの第１の端部４６３Ａ、４６３Ｂは、部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂ内に保定されるように構成される。動作使用中、各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂは、それぞれの回転軸ΘＡ、ΘＢの周りを回転することによって、各内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂ内でガス状利得媒体４８９Ａ、４８９Ｂを循環させるように構成される。

[00072] いくつかの実装形態では、各支持装置４１０Ａ、４１０Ｂは、（図３の）完全に拘束された支持デバイス３４１など、それぞれの完全に拘束された支持デバイスも含む。完全に拘束された支持デバイスは、第２のカップの外面が各第２のチャンバ壁の第２の開口の内面に接触するように、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの第２のチャンバ壁４０４Ａ、４０４Ｂの第２の開口内に位置決めすることができる。各第１のチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂ内に位置決めされる部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂは、第２のチャンバ壁４０４Ａ、４０４Ｂとは反対側に位置決めすることができ、部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂが第２のチャンバ壁４０４Ａ、４０４Ｂの第２の開口と対称に配置される。例えば、完全に拘束された支持デバイスは、第２のカップの中心軸がそれぞれの回転軸ΘＡ、ΘＢと整列されるように位置決めすることができる。さらに、各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂの第２の端部４６４Ａ、４６４Ｂは、完全に拘束された支持デバイス内に位置決めされるように構成することができる。このようにして、これらの実装形態では、部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂ及び完全に拘束された支持デバイスは、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂ内で、回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂを支持することができる。

[00073] 各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂは、１つ又は複数の光学コンポーネントを含むことができる。例えば、放電チャンバ４０１Ａは、光学要素４５０Ａ及び４５２Ａを含む。光学要素４５０Ａ、４５２Ａは、光ビームが放電チャンバ４０１Ａの内部キャビティ４０２Ａに出入りすることを可能にする窓を含むことができる。光学要素４５０Ａは、シード光ビーム４７５が放電チャンバ４０１Ａから出ることができるように、部分的に反射性／部分的に透過性の光カプラでよい。さらに、紫外光源４８０は、放電チャンバ４０１Ａから出力されるシード光ビーム４７５の波長及び／又は帯域幅を選択するスペクトル特性モジュールに対応する光学要素４５５Ａなど、放電チャンバ４０１Ａの外部の他の光学要素をさらに含むことができる。この例では、光学要素４５０Ａはチャンバ壁４０３Ａ内に保持され、光学要素４５２Ａはチャンバ壁４０４Ａ内に保持されている。

[00074] 放電チャンバ４０１Ｂは、光学要素４５０Ｂ及び４５２Ｂを含む。光学要素４５０Ｂ、４５２Ｂは、光ビーム（シード光ビーム４７５及び光ビーム４７６など）が放電チャンバ４０１Ｂの内部キャビティ４０２Ｂに出入りすることを可能にする窓を含むことができる。さらに、紫外光源４８０は、放電チャンバ４０１Ｂを通して光ビーム４７６を戻すように構成されたビームリバーサ又はターナに対応する光学要素４５５Ｂなど、放電チャンバ４０１Ｂの外部にある他の光学要素をさらに含むことができる。図４の例では、光学要素４５０Ｂはチャンバ壁４０３Ｂ内に保持され、光学要素４５２Ｂはチャンバ壁４０４Ｂ内に保持されている。

[00075] 光源４８０の動作使用中、各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの内部キャビティ４０２Ａ、４０２Ｂの温度は変動することがあり、温度の上昇は、回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂの熱膨張、及び各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの熱膨張を引き起こすことがある。放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの熱膨張は、第１及び第２のチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂ及び４０４Ａ、４０４Ｂの運動を引き起こすことがある。回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂの熱膨張は、回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂが少なくともそれぞれの回転軸ΘＡ、ΘＢに沿って膨張することを含むことができる。したがって、各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂが回転軸ΘＡ、ΘＢに沿って熱膨張するときに、各第１の端部４６３Ａ、４６３Ｂは（チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの座標系に関連する）－Ｚ方向に移動することがあり、各第２の端部４６４Ａ、４６４Ｂは第２のチャンバ壁４０４Ａ、４０４Ｂ内の所定位置に固定されたままである。さらに、各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂ及び各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂの動作は、紫外光源４８０の望ましくない振動を引き起こすことがある。各回転可能ファン４６０Ａ、４６０Ｂを支持するために部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂを含むことによって、各部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂと各開口４０７、４０７Ｂの各内面との接触界面は減少され、複数のロッドのみが開口４０７Ａ、４０７Ｂの内面に接触し、フレッチング腐食が発生し得る接触界面積を減少させる。さらに、部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂは、焼入れされて研磨された材料で作ることができ、複数のロッドの表面材料の擦過をさらに低減する。さらに、複数のロッドと開口４０７Ａ、４０７Ｂの内面との間で表面材料の腐食により生成される粒子（図２Ｅに示される粒子Ｐなど）は、接触界面の間に捕捉されずに、複数のロッドと開口４０７Ａ、４０７Ｂの内面との接触界面から自由に落下する又は接触界面から離れるように向けられる。このようにして、紫外光源４８０の動作中、光源４８０の各放電チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂ内に各回転可能なファン４６０Ａ、４６０Ｂを保持するために部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂを含むことによって、各チャンバ４０１Ａ、４０１Ｂにおいて、特に各部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂと各第１のチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂの開口４０７Ａ、４０７Ｂの内面との間でフレッチング腐食が低減される。

[00076] 図５を参照すると、支持デバイス１１１と光源のチャンバ壁１０３との間のフレッチング腐食を低減するための手順５９０が行われる。手順５９０は、支持デバイス１１１及びチャンバ壁１０３（図１Ａ～１Ｄ及び図２Ａ～２Ｅ）、部分的に拘束された支持デバイス３１１及びチャンバ壁３０３（図３）、又は各部分的に拘束された支持デバイス４１１Ａ、４１１Ｂ及びそれぞれのチャンバ壁４０３Ａ、４０３Ｂ（図４）に関して行うことができる。手順５９０を、（図１Ａ～１Ｄ及び図２Ａ～２Ｅを参照して）光源装置１００の支持デバイス１１１及びチャンバ壁１０３に関して論じる。

[00077] 支持デバイス１１１は、支持デバイス１１１の複数のロッド１１８がチャンバ壁１０３の開口１０７の内面１０８に接触するように、チャンバ壁１０３の開口１０７内に摩擦係合される（５９２）。複数のロッド１１８はカップ１１２の外面１１６を越えて延び、支持デバイス１１１がチャンバ壁１０３の開口１０７内に位置決めされたときにカップ１１２はチャンバ壁１０３に接触しない。例えば、支持デバイス１１１が複数のロッド１１８を含まない場合、カップ１１２とチャンバ壁１０３との接触領域は、カップ１１２の外面１１６の領域の少なくとも一部分を含む。一方、各ロッド１１８は、（図２Ｅに示されるように）各ロッド１１８の界面１１９でチャンバ壁１０３の内面１０８に接触する。したがって、各ロッド１１８の外面の小さな部分又は最小部分は、チャンバ壁１０３の内面１０８に接触する。このようにすると、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３の内面１０８との接触界面積は、各ロッド１１８の界面１１９での面積まで減少される。

[00078] 軸受１６２は、軸受１６２の軸がチャンバ壁１０３の開口１０７の軸と整列するように、支持デバイス１１１のカップ１１２の内面１１４内に保定される（５９４）。例えば、軸受１６２の軸及び開口１０７の軸は、回転軸Θと整列することができる。上述したように、カップ１１２の内面１１４は、軸受１６２の外面の直径よりもわずかに小さい直径を有することがある。カップ１１２を加熱することができ、カップ１１２が熱膨張により膨張し、カップ１１２の内面１１４の直径を、軸受１６２の外面の直径よりもわずかに大きい直径に増加させる。したがって、カップ１１２の内面１１４が熱膨張された状態で、軸受１６２をカップ１１２の内面１１４内に配置することができる。カップ１１２が冷却されるとき、カップ１１２の内面１１４の直径は減少し、カップ１１２は、軸受１６２をカップ１１２の内面１１４内の所定位置にしっかりとクランプする。軸受１６２は、回転軸Θの周りで回転する装置を保定するように構成された転がり軸受でよい。

[00079] チャンバ１０１の内部１０２内に延びる可動装置１６０の端部は、可動装置１６０が軸受１６２の軸の周りで回転することができるように、軸受１６２内に係合される（５９６）。例えば、軸受１６２の軸が回転軸Θと整列するとき、可動装置１６０は、可動装置１６０の回転軸も回転軸Θと整列するように軸受１６２内に係合される。可動装置１６０は、回転可能なファン３６０（図３）、又は回転可能なファン４６０Ａ及び４６０Ｂ（図４）のいずれかでよい。回転可能なファン３６０、４６０Ａ、４６０Ｂはそれぞれ、各回転可能なファン３６０、４６０Ａ、４６０Ｂの第１の端部３６３、４６３Ａ、４６３Ｂを軸受１６２内に係合することによって、軸受１６２内に係合することができる。回転可能なファン３６０、４６０Ａ、４６０Ｂはそれぞれ、それぞれのチャンバ３０１、４０１Ａ、４０１Ｂの内部３０７、４０７Ａ、４０７Ｂ内に延び、各回転可能なファン３６０、４６０Ａ、４６０Ｂは、それぞれの回転軸ΘＡ、ΘＢの周りで回転することによって、各内部キャビティ３０２、４０２Ａ、４０２Ｂ内でガス状利得媒体３８９、４８９Ａ、４８９Ｂを循環させることができる。さらに、軸受１６２は、可動装置１６０の相対的な動きを所望の動きのみに拘束するように構成することができる。さらに、軸受１６２は、可動装置１６０とチャンバ壁１０３との間の摩擦を低減するように構成することができる。

[00080] いくつかの実装形態では、軸受１６２は含まれず、可動装置１６０の端部は、カップ１１２の内面１１４内に直接係合される。これらの実装形態では、可動装置１６０は、カップ１１２と長手方向で係合し、チャンバ壁１０３内で前後に移動する任意の装置でよい。

[00081] 光源装置１００の動作使用中、内部キャビティ１０２の温度は変動することがあり、温度の上昇は、可動装置１６０の熱膨張、及び放電チャンバ１０１の熱膨張を引き起こす。さらに、可動装置１６０及び放電チャンバ４０１の動作は、光源装置１００の望ましくない振動を引き起こすことがある。可動装置１６０及びチャンバ１０１の熱膨張、並びに動作振動により、支持デバイス１１１が回転軸Θに沿ってＺ方向に移動することがある。そのような動きは、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との摩擦係合を引き起こすことがある。支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との摩擦係合により、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３との接触領域における表面材料の擦過によって粒子（図２Ｅに示される粒子Ｐなど）が生成されることがある。

[00082] 複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３の開口１０７の内面１０８との間の摩擦係合により生成された粒子が複数のロッド１１８とチャンバ壁１０３の開口１０７の内面１０８との間の空間又は界面１１９から出て、カップ１１２の外面１１６と、チャンバ壁１０３の開口１０７の内面１０８との間の体積内に入る（５９８）。具体的には、カップ１１２の外面１１６を越えて延びる複数のロッド１１８を支持デバイス１１１に含めることにより、カップ１１２の外面１１６と開口１０７の内面１０８との間の体積を画定することができる。このようにして、支持デバイス１１１は、粒子が複数のロッド１１８と開口１０７の内面１０８との間の空間から出て、カップ１１２の外面１１６と開口１０７の内面１０８との間の体積に入ることを可能にする。このようにすると、可動装置１６０をチャンバ１０１内に保持するために支持デバイス１１１を含めることによって、光発生装置１００の動作中、支持デバイス１１１とチャンバ壁１０３の開口１０７の内面１０８との間のフレッチング腐食が低減される。

[00083] 例えば、支持デバイス７１１の別の実装形態が図７に示されている。この実装形態において、円筒形の中空領域７１３は、支持デバイス７１１の内面７１４によって画定され、領域７１３及び内面７１４は、軸受１６２を保定するように構成される。支持デバイス７１１は、第１のより小さい外径を有する外面７１６と、外面７１６に配置された複数の隆起した稜部７１８とを有する。隆起した縁部７１８の構成は、第２のより大きい外径を画定する。隆起した縁部７１８の表面積は、外面７１６の表面積よりも小さく、さらに、支持デバイス７１１とチャンバ壁１０３の内面との界面は、隆起した縁部７１８の（Ｚ方向に沿って）長手方向に延びる稜部に制限される。この実装形態では、隆起した縁部７１８を含む支持デバイス７１１全体が焼入れ材料で作られることが可能である。

[00084] 本発明の他の態様は、番号を付された以下の条項に記載する。
１．開口を画定するチャンバ壁を備えるチャンバと、チャンバ壁の開口内に位置決めされた支持デバイスを備える支持装置と、を備える光源装置であって、
支持デバイスが、
可動装置を保定するように構成された内面、及び第１の外径を有する外面を有するカップと、
カップの外面に配置された複数のロッドであって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を備え、
チャンバ壁は、支持デバイスがチャンバ壁の開口内に位置決めされるときにチャンバ壁が複数のロッドに接触し、カップの外面がチャンバ壁に接触しないように、支持デバイスを保持するように構成される、光源装置。
２．可動装置が、カップの内面内に保定されるように構成された軸受を備える、条項１に記載の光源装置。
３．軸受が玉軸受である、条項２に記載の光源装置。
４．軸受が、回転可能なファンのポストを受け入れるように構成され、開口が円筒形であり、ファンの回転軸が、開口の軸に平行である、条項２に記載の光源装置。
５．可動装置が回転可能なファンを備える、条項１に記載の光源装置。
６．開口がチャンバ壁を通って延び、回転可能なファンがチャンバ内に配設される、条項５に記載の光源装置。
７．カップの外面が複数の穴をさらに備え、穴がそれぞれ、複数のロッドの１つをそれぞれ受け入れるように構成される、条項１に記載の光源装置。
８．複数のロッドが３つのロッドを含み、各ロッドが、カップの外面の周りで他の各ロッドから１２０度に配置される、条項１に記載の光源装置。
９．複数のロッドがそれぞれ、焼入れされて研磨された鋼を含む、条項１に記載の光源装置。
１０．支持デバイスが、チャンバ壁の開口内で第１の方向に自由に移動するように構成され、第１の方向が開口の軸に平行である、条項１に記載の光源装置。
１１．カップの外面の第１の外径と、複数のロッドによって定義される第２の外径との間の距離が、粒子それぞれの直径よりも大きい、条項１に記載の光源装置。
１２．第１の外径と第２の外径との距離が、約１００～約４０００マイクロメートルの範囲内にある、条項１１に記載の光源装置。
１３．開口が円筒形状であり、カップが円筒形状であり、ロッドは、支持デバイスが開口の軸に平行な方向に開口内で自由に移動するように構成されるように、カップの円筒軸に平行に配設される、条項１に記載の光源装置。
１４．支持装置が、チャンバの別のチャンバ壁の開口内に固定された拘束された支持デバイスをさらに備える、条項１に記載の光源装置。
１５．拘束された支持デバイスが、可動装置を保定するように構成された内面、及び外面を備える第２のカップを備え、別のチャンバ壁の開口が、第２のカップを保持するように構成され、別のチャンバ壁は、第２のカップが第２のチャンバ壁の第２の開口内に位置決めされるときに第２のカップの外面に接触する、条項１４に記載の光源装置。
１６．複数のロッドがそれぞれ、カップの外面に拘束される、条項１に記載の光源装置。
１７．ガス状利得媒体を保持し、光ビームを発生するように構成された少なくとも１つの放電チャンバを備える光発生装置であって、少なくとも１つの放電チャンバがそれぞれ、内部キャビティを画定するチャンバ壁を備える、光発生装置と、
放電チャンバに関連付けられ、放電チャンバのチャンバ壁の１つの開口内に位置決めされた、部分的に拘束された支持デバイスを備える支持装置と、
を備える紫外光源であって、
部分的に拘束された支持デバイスが、
可動装置を保定するように構成された内面、及び第１の外径を有する外面を有するカップと、
カップの外面に配置された複数のロッドであって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を備え、
部分的に拘束された支持デバイスが開口内に位置決めされるとき、チャンバ壁の開口の内面が、部分的に拘束された支持デバイスの複数のロッドと接触し、部分的に拘束された支持デバイスのカップの外面が、チャンバ壁の開口の内面に接触しない、紫外光源。
１８．支持装置が、第２のカップを備える完全に拘束された支持デバイスをさらに備え、第２のカップが、可動装置を保定するように構成された内面、及び外面を含み、
完全に拘束された支持デバイスが、完全に拘束された支持デバイスの外面が第２のチャンバ壁の開口の内面に接触するように、放電チャンバの第２のチャンバ壁の開口内に位置決めされる、条項１７に記載の紫外光源。
１９．部分的に拘束された支持デバイスを有するチャンバ壁が、部分的に拘束された支持デバイスを有するチャンバ壁の開口が第２のチャンバ壁の第２の開口と対称に配置されるように、第２のチャンバ壁の反対側に位置決めされる、条項１８に記載の紫外光源。
２０．可動装置がファンを含み、ファンが、ファンの回転軸の周りを回転するように構成される、条項１９に記載の紫外光源。
２１．完全に拘束された支持デバイスが、第２のチャンバ壁の第２の開口内に固定され、部分的に拘束された支持デバイスが、部分的に拘束された支持デバイスを保持するチャンバ壁の開口内でファンの回転軸に沿って移動するように構成される、条項２０に記載の紫外光源。
２２．放電チャンバのチャンバ壁は、動作時に内部キャビティが気密封止されるように封止可能である、条項１７に記載の紫外光源。
２３．光路を画定する１つ又は複数の光学コンポーネントをさらに備え、光路の少なくとも一部が、放電チャンバのチャンバ壁によって保持される光学コンポーネントを通って放電チャンバを通過する、条項１７に記載の紫外光源。
２４．放電チャンバが、内部キャビティ内にガス混合物であって、利得媒体を含むガス混合物と、利得媒体にエネルギーを供給するように構成されたエネルギー源とを含む、条項２３に記載の紫外光源。
２５．光学コンポーネントが、光共振器を形成する光学要素の一セットを含む、条項２４に記載の紫外光源。
２６．光発生装置の別の放電チャンバに関連付けられた別の支持装置をさらに備え、
別の支持装置が、別の放電チャンバの内部キャビティ内に延びる可動装置を保持するように構成され、別の支持装置が、別の放電チャンバの第１のチャンバ壁の開口内に位置決めされた部分的に拘束された支持デバイスと、別の放電チャンバの第２のチャンバ壁の開口内に固定された完全に拘束された支持デバイスと、を備える、条項１７に記載の紫外光源。
２７．光源装置の転がり軸受の腐食を低減する方法であって、
支持デバイスの複数の軸方向に延びるロッドが壁開口の内面に接触し、複数のロッドがその周囲に配置されて保定される支持デバイスのカップが壁開口の内面と接触しないように、ガス放電チャンバの壁の円筒形状の壁開口内に支持デバイスを摩擦係合すること、
壁開口の軸と整列される軸受軸を有する転がり軸受をカップの内面内に保定すること、及び
ポストが軸受軸の周りで回転するように拘束されるように、転がり軸受を介してチャンバの内部に延びる回転可能な要素のポストに係合することを含み、
ロッドと壁開口の内面との間の摩擦係合により生成された粒子が、ロッドと壁開口の内面との間の空間から出て、カップの外面と壁開口の内面との間の体積に入る、方法。
２８．複数のロッドのそれぞれを、各ロッドを外面に圧入する及び／又は熱的に嵌め込むことによって、カップの外面に拘束することをさらに含む、条項２７に記載の方法。
２９．ガス状利得媒体を保持し、光ビームを発生するように構成された放電チャンバであって、内部キャビティを画定するチャンバ壁と、第１の光学要素を保持する第１のチャンバ壁と、第２の光学要素を保持する第２のチャンバ壁とを備える、放電チャンバと、
内部キャビティを通って延びる回転可能なファンであって、内部キャビティ内でガス状利得媒体を循環させるように構成され、使用時にファン軸の周りで回転する回転可能なファンと、
回転可能なファンを保持するように構成された支持装置と、
を備える光源であって、
支持装置が、
第１の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされ、回転可能なファンの第１の端部を受け入れる部分的に拘束された支持デバイスであって、ファン軸に沿って移動することができる部分的に拘束された支持デバイスと、
第１の支持チャンバ壁の反対側にある第２の支持チャンバ壁の開口内に固定され、回転可能なファンの第２の端部を受け入れる完全に拘束された支持デバイスと、
を備える、光源。
３０．部分的に拘束された支持デバイスが、
軸受を保定するように構成された内面及び第１の外径を有する外面を有するカップと、
カップの外面に配置された複数のロッドであって、複数のロッドの配置が第２の外径を定義し、第２の外径が第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を備え、
部分的に拘束された支持デバイスが第１の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされるとき、第１の支持チャンバ壁の開口の内面が複数のロッドに接触し、カップの外面が第１の支持チャンバ壁の開口の内面に接触しない、条項２９に記載の光源。
３１．完全に拘束された支持デバイスが第２のカップを備え、第２のカップが、軸受を保定するように構成された内面及び外面を備え、完全に拘束された支持デバイスが、第２の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされ、完全に拘束された支持デバイスの外面が第２の支持チャンバ壁の開口の内面に接触する、条項２９に記載の光源。
３２．開口を画定するチャンバ壁を備えるチャンバと、チャンバ壁の開口内に位置決めされた支持デバイスを備える支持装置と、を備える光源装置であって、
支持デバイスが、軸受を保定するように構成された内面と、第１の外径を有する外面と、外面に配置された複数の隆起した稜部と、を画定し、隆起した稜部の構成が第２の外径を画定し、第２の外径が第１の外径よりも大きく、隆起したエッジの表面積が外面の表面積よりも小さく、
チャンバ壁が、支持デバイスを保持するように構成され、支持デバイスがチャンバ壁の開口内に位置決めされるとき、チャンバ壁が隆起した縁部に接触し、外面がチャンバ壁に接触しない、光源装置。
３３．各隆起した縁部が、支持デバイスの外面に拘束された細長いロッドから形成される、条項３２に記載の光源装置。
３４．複数の隆起した稜部がそれぞれ、焼入れ材料を含む、条項３２に記載の光源装置。
３５．材料は、焼入れされて研磨された鋼である、条項３４に記載の光源装置。

[00085] 他の実装形態は、以下の特許請求の範囲の範囲内にある。

Claims

開口を画定するチャンバ壁を備えるチャンバと、前記チャンバ壁の前記開口内に位置決めされた支持デバイスを備える支持装置と、を備える光源装置であって、
前記支持デバイスが、
可動装置を保定するように構成された内面、及び第１の外径を有する外面を有するカップと、
前記カップの前記外面に配置された複数のロッドであって、前記複数のロッドの前記配置が第２の外径を定義し、前記第２の外径が前記第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を備え、
前記チャンバ壁は、前記支持デバイスが前記チャンバ壁の前記開口内に位置決めされるときに、前記チャンバ壁が前記複数のロッドに接触し、前記カップの前記外面が前記チャンバ壁に接触しないように、前記支持デバイスを保持するように構成される、光源装置。
前記可動装置が、前記カップの前記内面内に保定されるように構成された軸受を備える、請求項１に記載の光源装置。
前記軸受が、玉軸受である、請求項２に記載の光源装置。
前記軸受が、回転可能なファンのポストを受け入れるように構成され、
前記開口が、円筒形であり、
前記ファンの回転軸が、前記開口の軸に平行である、請求項２に記載の光源装置。
前記可動装置が、回転可能なファンを備える、請求項１に記載の光源装置。
前記開口が、前記チャンバ壁を通って延び、
前記回転可能なファンが、前記チャンバ内に配設される、請求項５に記載の光源装置。
前記カップの前記外面が、複数の穴をさらに備え、
前記穴がそれぞれ、前記複数のロッドの１つをそれぞれ受け入れるように構成される、請求項１に記載の光源装置。
前記複数のロッドが、３つのロッドを含み、
各ロッドが、前記カップの前記外面の周りで他の各ロッドから１２０度に配置される、請求項１に記載の光源装置。
前記複数のロッドが、それぞれ、焼入れされて研磨された鋼を含む、請求項１に記載の光源装置。
前記支持デバイスが、前記チャンバ壁の前記開口内で第１の方向に自由に移動するように構成され、
前記第１の方向が、前記開口の軸に平行である、請求項１に記載の光源装置。
前記カップの前記外面の前記第１の外径と、前記複数のロッドによって定義される前記第２の外径と、の間の距離が、前記粒子それぞれの直径よりも大きい、請求項１に記載の光源装置。
前記第１の外径と前記第２の外径との距離が、約１００～約４０００マイクロメートルの範囲内にある、請求項１１に記載の光源装置。
前記開口が、円筒形状であり、
前記カップが、円筒形状であり、
前記ロッドは、前記支持デバイスが前記開口の軸に平行な方向に前記開口内で自由に移動するように構成されるように、前記カップの円筒軸に平行に配設される、請求項１に記載の光源装置。
前記支持装置が、前記チャンバの別のチャンバ壁の開口内に固定された拘束された支持デバイスをさらに備える、請求項１に記載の光源装置。
前記拘束された支持デバイスが、前記可動装置を保定するように構成された内面及び外面を備える第２のカップを備え、
前記別のチャンバ壁の前記開口が、前記第２のカップを保持するように構成され、
前記別のチャンバ壁は、前記第２のカップが前記第２のチャンバ壁の前記第２の開口内に位置決めされるときに前記第２のカップの前記外面に接触する、請求項１４に記載の光源装置。
前記複数のロッドがそれぞれ、前記カップの前記外面に拘束される、請求項１に記載の光源装置。
ガス状利得媒体を保持し、光ビームを発生するように構成された少なくとも１つの放電チャンバを備える光発生装置であって、前記少なくとも１つの放電チャンバがそれぞれ、内部キャビティを画定するチャンバ壁を備える、光発生装置と、
放電チャンバに関連付けられ、前記放電チャンバの前記チャンバ壁の１つの開口内に位置決めされた、部分的に拘束された支持デバイスを備える支持装置と、
を備える紫外光源であって、
前記部分的に拘束された支持デバイスが、
可動装置を保定するように構成された内面、及び第１の外径を有する外面を有するカップと、
前記カップの前記外面に配置された複数のロッドであって、前記複数のロッドの前記配置が第２の外径を定義し、前記第２の外径が前記第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を備え、
前記部分的に拘束された支持デバイスが前記開口内に位置決めされるとき、前記チャンバ壁の前記開口の内面が、前記部分的に拘束された支持デバイスの前記複数のロッドと接触し、前記部分的に拘束された支持デバイスの前記カップの前記外面が、前記チャンバ壁の前記開口の前記内面に接触しない、紫外光源。
前記支持装置が、第２のカップを備える完全に拘束された支持デバイスをさらに備え、
前記第２のカップが、前記可動装置を保定するように構成された内面及び外面を含み、
前記完全に拘束された支持デバイスが、前記完全に拘束された支持デバイスの前記外面が前記第２のチャンバ壁の前記開口の内面に接触するように、前記放電チャンバの第２のチャンバ壁の開口内に位置決めされる、請求項１７に記載の紫外光源。
前記部分的に拘束された支持デバイスを有する前記チャンバ壁が、前記部分的に拘束された支持デバイスを有する前記チャンバ壁の前記開口が前記第２のチャンバ壁の前記第２の開口と対称に配置されるように、前記第２のチャンバ壁の反対側に位置決めされる、請求項１８に記載の紫外光源。
前記可動装置が、ファンを含み、
前記ファンが、前記ファンの回転軸の周りを回転するように構成される、請求項１９に記載の紫外光源。
前記完全に拘束された支持デバイスが、前記第２のチャンバ壁の前記第２の開口内に固定され、
前記部分的に拘束された支持デバイスが、前記部分的に拘束された支持デバイスを保持する前記チャンバ壁の前記開口内で前記ファンの前記回転軸に沿って移動するように構成される、請求項２０に記載の紫外光源。
前記放電チャンバの前記チャンバ壁は、動作時に前記内部キャビティが気密封止されるように封止可能である、請求項１７に記載の紫外光源。
光路を画定する１つ又は複数の光学コンポーネントをさらに備え、
前記光路の少なくとも一部が、前記放電チャンバのチャンバ壁によって保持される光学コンポーネントを通って前記放電チャンバを通過する、請求項１７に記載の紫外光源。
前記放電チャンバが、前記内部キャビティ内のガス混合物であって利得媒体を含むガス混合物と、前記利得媒体にエネルギーを供給するように構成されたエネルギー源と、を含む、請求項２３に記載の紫外光源。
前記光学コンポーネントが、光共振器を形成する光学要素の一セットを含む、請求項２４に記載の紫外光源。
前記光発生装置の別の放電チャンバに関連付けられた別の支持装置をさらに備え、
前記別の支持装置が、前記別の放電チャンバの前記内部キャビティ内に延びる可動装置を保持するように構成され、
前記別の支持装置が、前記別の放電チャンバの第１のチャンバ壁の開口内に位置決めされた部分的に拘束された支持デバイスと、前記別の放電チャンバの第２のチャンバ壁の開口内に固定された完全に拘束された支持デバイスと、を備える、請求項１７に記載の紫外光源。
光源装置の転がり軸受の腐食を低減する方法であって、
支持デバイスの複数の軸方向に延びるロッドが壁開口の内面に接触し、前記複数のロッドがその周囲に配置されて保定される前記支持デバイスのカップが前記壁開口の前記内面と接触しないように、ガス放電チャンバの壁の円筒形状の前記壁開口内に前記支持デバイスを摩擦係合することと、
前記壁開口の前記軸と整列される軸受軸を有する転がり軸受を前記カップの内面内に保定することと、
ポストが前記軸受軸の周りで回転するように拘束されるように、前記転がり軸受を介してチャンバの内部に延びる回転可能な要素の前記ポストに係合することと、を含み、
前記ロッドと前記壁開口の前記内面との間の前記摩擦係合により生成された粒子が、前記ロッドと前記壁開口の前記内面との間の空間から出て、前記カップの外面と前記壁開口の前記内面との間の体積に入る、方法。
前記複数のロッドのそれぞれを、各ロッドを前記外面に圧入する及び／又は熱的に嵌め込むことによって、前記カップの外面に拘束することをさらに含む、請求項２７に記載の方法。
ガス状利得媒体を保持し、光ビームを発生するように構成された放電チャンバであって、内部キャビティを画定するチャンバ壁と、第１の光学要素を保持する第１のチャンバ壁と、第２の光学要素を保持する第２のチャンバ壁と、を備える、放電チャンバと、
前記内部キャビティを通って延びる回転可能なファンであって、前記内部キャビティ内で前記ガス状利得媒体を循環させるように構成され、使用時にファン軸の周りで回転する回転可能なファンと、
前記回転可能なファンを保持するように構成された支持装置と、
を備える光源であって、
前記支持装置が、
第１の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされ、前記回転可能なファンの第１の端部を受け入れる部分的に拘束された支持デバイスであって、前記ファン軸に沿って移動することができる部分的に拘束された支持デバイスと、
前記第１の支持チャンバ壁の反対側にある第２の支持チャンバ壁の開口内に固定され、前記回転可能なファンの第２の端部を受け入れる完全に拘束された支持デバイスと、
を備える、光源。
前記部分的に拘束された支持デバイスが、
軸受を保定するように構成された内面及び第１の外径を有する外面を有するカップと、
前記カップの前記外面に配置された複数のロッドであって、前記複数のロッドの前記配置が第２の外径を定義し、前記第２の外径が前記第１の外径よりも大きい、複数のロッドと、を備え、
前記部分的に拘束された支持デバイスが前記第１の支持チャンバ壁の前記開口内に位置決めされるとき、前記第１の支持チャンバ壁の前記開口の内面が前記複数のロッドに接触し、前記カップの前記外面が前記第１の支持チャンバ壁の前記開口の前記内面に接触しない、請求項２９に記載の光源。
前記完全に拘束された支持デバイスが、第２のカップを備え、
前記第２のカップが、軸受を保定するように構成された内面及び外面を備え、
前記完全に拘束された支持デバイスが、第２の支持チャンバ壁の開口内に位置決めされ、前記完全に拘束された支持デバイスの前記外面が前記第２の支持チャンバ壁の前記開口の内面に接触する、請求項２９に記載の光源。
開口を画定するチャンバ壁を備えるチャンバと、前記チャンバ壁の開口内に位置決めされた支持デバイスを備える支持装置と、を備える光源装置であって、
前記支持デバイスが、軸受を保定するように構成された内面と、第１の外径を有する外面と、前記外面に配置された複数の隆起した稜部と、を画定し、
前記隆起した稜部の前記構成が、第２の外径を画定し、
前記第２の外径が、前記第１の外径よりも大きく、
前記隆起したエッジの表面積が、前記外面の表面積よりも小さく、
前記チャンバ壁が、前記支持デバイスを保持するように構成され、
前記支持デバイスが前記チャンバ壁の前記開口内に位置決めされるとき、前記チャンバ壁が前記隆起した縁部に接触し、前記外面が前記チャンバ壁に接触しない、光源装置。
各隆起した縁部が、前記支持デバイスの前記外面に拘束された細長いロッドから形成される、請求項３２に記載の光源装置。
前記複数の隆起した稜部が、それぞれ、焼入れ材料を含む、請求項３２に記載の光源装置。
前記材料は、焼入れされて研磨された鋼である、請求項３４に記載の光源装置。