JP2018020921A - オゾン発生装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 オゾンに対して適量な窒素酸化物を発生させることができるオゾン発生装置を提供する。【解決手段】 オゾン発生装置は、誘電体と、誘電体と離間して配置される第１電極と、第１電極との間に誘電体を配置し、酸素をオゾン化するために、少なくとも第１電極と誘電体との間で放電させるべく、前記第１電極との間で電圧が印加される第２電極と、少なくとも前記誘電体と前記第１電極との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを供給する供給部と、を備え、前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度よりも、遅い。【選択図】 図３

Description

本発明は、オゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。

従来、オゾン発生装置として、エキシマランプと、エキシマランプの外部又は内部に配置されたガス導管とを備えるオゾン発生装置が、知られている（例えば、特許文献１）。ガス導管の内部に、酸素が供給され、該酸素は、エキシマランプからの光により、オゾンになる。

特許文献１に係るオゾン発生装置においては、不純物である窒素酸化物（ＮＯｘ）の発生を防止するために、ガス導管の内部が、エキシマランプと隔離されている。これにより、ガス導管の内部からは、高純度のオゾンが発生する。なお、エキシマランプにおいては、放電効率（発光効率）を向上させるために、各電極は、ランプのガラス管に密着している。ところで、例えば、水耕栽培のように、オゾンだけでなく、適度な窒素酸化物が必要な使用用途も出現している（例えば、特許文献２）。

特開２００３−１６５７１１号公報 特開平４−４８１８号公報

そこで、課題は、オゾンに対して適量な窒素酸化物を発生させることができるオゾン発生装置を提供することである。

オゾン発生装置は、誘電体と、前記誘電体と離間して配置される第１電極と、前記第１電極との間に前記誘電体を配置し、酸素をオゾン化するために、少なくとも前記第１電極と前記誘電体との間で放電させるべく、前記第１電極との間で電圧が印加される第２電極と、少なくとも前記誘電体と前記第１電極との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを供給する供給部と、を備え、前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度よりも、遅い。

また、オゾン発生装置においては、前記供給部は、ファンを備え、前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、前記ファンの回転速度で制御される、という構成でもよい。

また、オゾン発生装置においては、前記供給部は、圧縮エアを供給し、前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、前記圧縮エアの圧力で制御される、という構成でもよい。

また、オゾン発生方法は、誘電体と、前記誘電体と離間して配置される第１電極と、前記第１電極との間に前記誘電体を配置する第２電極と、を備えるオゾン発生装置を用いる、オゾン発生方法であって、前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することで、少なくとも前記第１電極と前記誘電体との間で放電することと、酸素をオゾン化するために、少なくとも前記誘電体と前記第１電極との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを供給部から供給すること、とを含み、前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度よりも、遅い。

以上の如く、オゾン発生装置は、オゾンに対して適量な窒素酸化物を発生させることができる、という優れた効果を奏する。

一実施形態に係るオゾン発生装置の全体概略断面図である。 同実施形態に係るオゾン発生装置の原理を説明する図であって、図１のII領域拡大図である。 同実施形態に係るオゾン発生装置の原理を説明する図であって、原料ガスの供給速度とオゾン及び窒素酸化物の濃度との関係を示す図である。 他の実施形態に係るオゾン発生装置の全体概略断面図である。 さらに他の実施形態に係るオゾン発生装置の全体概略断面図である。 さらに他の実施形態に係るオゾン発生装置の全体概略断面図である。

以下、オゾン発生装置における一実施形態について、図１〜図３を参酌して説明する。なお、各図（図４〜図６も同様）において、図面の寸法比と実際の寸法比とは、必ずしも一致しておらず、また、各図面の間での寸法比も、必ずしも一致していない。

図１に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置１は、内部にガスが充填される管体（誘電体）２１を有する発光管２を備えている。オゾン発生装置１は、管体２１の外部に配置される外部電極（第１電極）３と、管体２１の内部に配置される内部電極（第２電極）４とを備えている。

オゾン発生装置１は、発光管２及び各電極３，４を収容する筐体５と、筐体５の内部に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１を供給する供給部６とを備えている。オゾン発生装置１は、外部電極３と内部電極４との間に電圧（例えば、交流の高電圧）を印加させる電源７を備えている。

発光管２は、両端に、管体２１の内部を気密にする第１及び第２封止部２２，２３と、第１封止部２２に埋設される金属箔２４と、第１封止部２２に一部が埋設される外部リード２５とを備えている。そして、金属箔２４は、内部電極４と外部リード２５とにそれぞれ連結されているため、内部電極４、金属箔２４、及び外部リード２５は、電気的に接続されている。なお、管体２１は、誘電体であって、例えば、ガラスで形成されている。

管体２１の内部に充填されるガスは、内部電極４と管体２１との間で放電（具体的には、グロー放電）することによって、酸素をオゾン化する光を管体２１の内部から放射する放電ガスである。本実施形態においては、当該放電ガスは、当該放電によって、酸素をオゾン化する紫外光（例えば、波長が２００ｎｍ以下の光であって、例えば、１７２ｎｍの光）を放射するキセノンガスとしている。

外部電極３は、筒状に形成されており、管体２１は、外部電極３の内部に挿入されている。そして、外部電極３は、管体２１の内部から放射された光を、通過（又は透過）させる光路部３１を備えている。本実施形態においては、光路部３１は、貫通孔としている。

例えば、外部電極３は、板状の部材に複数の貫通孔を有するように形成されてもよく、また、複数の棒状の部材を格子状や網目状に配置して形成されてもよく、また、棒状の部材を螺旋状に配置して形成されてもよい。また、光路部３１は、透光性を有する部材で構成されていてもよい。

また、外部電極３は、管体２１と離間して配置されている。図示していないが、外部電極３と発光管２との間に配置されるスペーサ等により、外部電極３は、管体２１との離間距離が一定となるように、発光管２に固定されている。なお、外部電極３と管体２１との離間距離は、外部電極３の厚み寸法（管体２１の径方向の寸法）よりも、大きくなっている。

内部電極４は、棒状に形成されている。そして、内部電極４は、管体２１の内部に配置されているため、外部電極３との間に管体２１を配置している。なお、内部電極４の端部が、それぞれ発光管２の封止部２２，２３に埋設されているため、内部電極４は、発光管２に固定されている。

筐体５は、原料ガスＧ１を内部に流入するための入口部５１と、少なくともオゾンを含むオゾン化ガスＧ２を外部に流出するための出口部５２とを備えている。供給部６は、筐体５の入口部５１から内部に、原料ガスＧ１となる空気を供給するファン６１を備えている。そして、供給部６は、入口部５１での原料ガスＧ１の単位時間当たりの供給量、即ち、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度（流速）を、ファン６１の回転速度で制御している。なお、ファン６１は、筐体５の入口部５１に配置されている。

本実施形態に係るオゾン発生装置１の構成については以上の通りであり、次に、本実施形態に係るオゾン発生装置１の原理について、図１及び図２を参酌して説明する。

図１及び図２に示すように、原料ガスＧ１は、筐体５の入口部５１から筐体５の内部に供給されると、外部電極（第１電極）３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１と、管体（誘電体）２１と外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２とに分かれる。そして、外部電極３と内部電極（第２電極）４との間に電圧が印加される。

これにより、管体２１と内部電極４との間に放電（具体的には、グロー放電）Ｄ１が起きるため、管体２１の内部から外部に向けて、酸素をオゾン化する光Ｌ１が放射される。また、管体２１と外部電極３との間にも、放電（具体的には、コロナ放電）Ｄ２が起きている。

外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１が、酸素を含んでいるため、その原料ガスＧ１１の一部は、管体２１の内部から放射され且つ光路部３１を通過した光Ｌ１により、オゾンとなる。なお、当該原料ガスＧ１１は、酸素だけでなく窒素を含んでいるが、当該光Ｌ１により、窒素酸化物にはならない。また、管体２１と外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２が、酸素と窒素とを含んでいるため、その原料ガスＧ１２の一部は、管体２１と外部電極３との間の放電Ｄ２により、オゾンと窒素酸化物とになる。

そして、外部電極３と筐体５との間で、一部がオゾンになったガスＧ２１と、管体２１と外部電極３との間で、一部がオゾン及び窒素酸化物になったガスＧ２２とは、混合されて、出口部５２から流出される。このようにして、酸素と窒素とを含む原料ガスＧ１は、オゾンと窒素酸化物を含むオゾン化ガスＧ２となって、出口部５２から流出される。なお、原料ガスＧ１１，Ｇ１２が、光路部３１を通過することもある。

次に、本実施形態に係るオゾン発生装置１の原料ガスＧ１の供給速度について、図３を参酌して説明する。

入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が遅くなればなるほど、原料ガスＧ１が筐体５の内部で滞在する時間は、長くなる。したがって、図３に示すように、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が遅くなればなるほど、窒素と酸素との衝突頻度が多くなるため、出口部５２での窒素酸化物の濃度Ｃ１は、高くなる。なお、窒素酸化物は、熱であまり分解しないため、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度と出口部５２での窒素酸化物の濃度Ｃ１との関係は、ほぼ負の比例関係になる。

一方、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が遅くなればなるほど、オゾンが他の分子と衝突することにより分解したり、オゾンが熱分解したりするため、出口部５２でのオゾンの濃度Ｃ２は、低くなる。但し、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が極端に速い（例えば、第１供給速度Ｖ１よりも速い）場合には、酸素がオゾン化できないため、出口部５２でのオゾンの濃度Ｃ２は、低くなる。

図３において、入口部５１での原料ガスＧ１の第１供給速度Ｖ１は、出口部５２でのオゾンの濃度Ｃ２が最大となる供給速度である。また、入口部５１での原料ガスＧ１の第２供給速度Ｖ２（＜Ｖ１）は、出口部５２での窒素酸化物の濃度Ｃ１とオゾンの濃度Ｃ２とが同じとなる供給速度である。そして、入口部５１での原料ガスＧ１の第３供給速度Ｖ３（＜Ｖ２）は、出口部５２でのオゾンの濃度Ｃ２が最大濃度（第１速度Ｖ１におけるオゾンの濃度Ｃ２）に対して２％となる供給速度である。

そして、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が、出口部５２でのオゾン濃度Ｃ２が最大となる第１供給速度Ｖ１よりも遅くなるように、ファン６１の回転速度が設定されている。本実施形態に係るオゾン発生装置１においては、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が、出口部５２でのオゾン濃度Ｃ２が最大濃度に対して２％となる第３供給速度Ｖ３よりも速くなるように、ファン６１の回転速度が設定されている。

したがって、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が、第１供給速度Ｖ１よりも遅く、且つ、第３供給速度Ｖ３よりも速くなるように、ファン６１の回転速度が設定されている。本実施形態においては、ファン６１の回転速度が一定速度に設定されているため、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度は、一定となっている。なお、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度が、第３供給速度Ｖ３よりも遅くなるように、ファン６１の回転速度が設定されていてもよい。

ところで、例えば、出口部５２から流出されたオゾン化ガスＧ２が水耕栽培の供給水の処理に使用される際に、菌や有機物が供給水の中に多く、植物の栄養分が供給水の中に充分にある場合は、オゾンを多く必要とするため、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度は、第１供給速度Ｖ１よりも遅く、且つ、第２供給速度Ｖ２よりも速い方が好ましい。反対に、菌や有機物が供給水の中に少なく、植物の栄養分が供給水の中に少ない場合は、窒素酸化物を多く必要とするため、入口部５１での原料ガスＧ１の供給速度は、第２供給速度Ｖ２よりも遅く、且つ、第３供給速度Ｖ３よりも速い方が好ましい。

以上より、本実施形態に係るオゾン発生方法は、誘電体（本実施形態では、管体）２１と、前記誘電体２１と離間して配置される第１電極（本実施形態では、外部電極）３と、前記第１電極３との間に前記誘電体２１を配置する第２電極（本実施形態では、内部電極）４と、を備えるオゾン発生装置１を用いる、オゾン発生方法であって、前記第１電極３と前記第２電極４との間に電圧を印加することで、少なくとも前記第１電極３と前記誘電体２１との間で放電することと、酸素をオゾン化するために、少なくとも前記誘電体２１と前記第１電極３との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１を供給部６から供給すること、とを含み、前記供給部６の前記原料ガスＧ１の供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度Ｖ１よりも、遅い。

また、本実施形態に係るオゾン発生装置１は、誘電体（本実施形態では、管体）２１と、前記誘電体２１と離間して配置される第１電極（本実施形態では、外部電極）３と、前記第１電極３との間に前記誘電体２１を配置し、酸素をオゾン化するために、少なくとも前記第１電極３と前記誘電体２１との間で放電させるべく、第１電極３との間で電圧が印加される第２電極（本実施形態では、内部電極）４と、少なくとも前記誘電体２１と前記第１電極３との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１を供給する供給部６と、を備え、前記供給部６の前記原料ガスＧ１の供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度Ｖ１よりも、遅い。

斯かる構成によれば、誘電体２１は、第１電極３と第２電極４との間に配置されている。また、供給部６は、少なくとも、離間して配置される誘電体２１と第１電極３との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１を供給する。そして、少なくとも第１電極３と誘電体２１との間で、放電が起こると、酸素は、オゾン化し、また、窒素は、酸素と反応し、窒素酸化物となる。

ところで、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度（流速）は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度Ｖ１よりも、遅くなっている。これにより、窒素酸化物の濃度Ｃ１を、必要な濃度まで高くすることができる。したがって、オゾンに対して適量な窒素酸化物を発生させることができる。

また、本実施形態に係るオゾン発生装置１においては、前記供給部６は、ファン６１を備え、前記供給部６の前記原料ガスＧ１の供給速度は、前記ファン６１の回転速度で制御される、という構成である。

斯かる構成によれば、供給部６は、ファン６１を備えている。これにより、ファン６１の回転速度が所定の回転速度に設定されることで、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度は、制御される。したがって、オゾンに対して適量な窒素酸化物を容易に発生させることができる。

なお、オゾン発生装置及び方法は、上記した実施形態の構成に限定されるものではなく、また、上記した作用効果に限定されるものではない。また、オゾン発生装置及び方法は、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、下記する各種の変更例に係る構成や方法等を任意に一つ又は複数選択して、上記した実施形態に係る構成や方法等に採用してもよいことは勿論である。

上記実施形態に係るオゾン発生装置１においては、供給部６は、ファン６１を備え、ファン６１は、筐体５の入口部５１に配置されている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置は、斯かる構成に限られない。例えば、ファン６１は、筐体５の出口部５２に配置されている、という構成でもよく、また、筐体５の入口部５１と出口部５２とにそれぞれ配置されている、という構成でもよい。

また、例えば、図４に示すように、前記供給部６は、圧縮エアを供給し、前記供給部６の前記原料ガスＧ１の供給速度は、前記圧縮エアの圧力で制御される、という構成でもよい。斯かる構成によれば、供給部６は、圧縮エアを供給している。そして、圧縮エアの圧力が所定の圧力に設定されることで、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度は、制御される。これにより、オゾンに対して適量な窒素酸化物を容易に発生させることができる。

図４に係る供給部６は、圧縮ガスを供給するガス源６２を備えている。例えば、ガス源６２は、さまざまな圧力の圧縮ガスを製造できる圧縮ガス製造装置（コンプレッサ）を備える、という構成でもよい。また、例えば、ガス源６２は、一定圧力の圧縮ガスを供給するガスボンベと、ガスボンベから流出された圧縮ガスの圧力を変更する圧力変更部（例えば、圧力調整弁）とを備えている、という構成でもよい。

また、上記実施形態に係るオゾン発生装置１及び方法においては、発光管２は、誘電体である一重構造の管体２１を備えている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置及び方法は、斯かる構成に限られない。例えば、図５に示すように、発光管２は、誘電体である外管２６ａ及び誘電体である内管２６ｂを有する二重構造である二重管体２６を備えている、という構成でもよい。

図５に係るオゾン発生装置１においては、発光管２は、誘電体である外管２６ａ及び誘電体である内管２６ｂを有する二重管体２６と、外管２６ａ及び内管２６ｂ間を気密にするための環状の封止端部２７，２７とを備えている。そして、外管２６ａ及び内管２６ｂ間には、ガスが充填されている。なお、当該ガスは、外管２６ａ及び内管２６ｂ間で放電することによって、酸素をオゾン化する光を二重管体２６の内部から放射する放電ガスである。

外部電極（第１電極）３は、二重管体２６（外管２６ａ）と離間して配置されている。これにより、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１が、外部電極３と二重管体２６（外管２６ａ）との間に、供給される。なお、二重管体２６の径方向における、外部電極３と二重管体２６（外管２６ａ）との離間距離は、外部電極３の厚み寸法（二重管体２６の径方向の寸法）よりも、大きくなっている。

内部電極（第２電極）４は、筒状に形成されている。そして、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）の内部に配置されているため、外部電極３との間に二重管体２６（外管２６ａ及び内管２６ｂ）を配置している。なお、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）と接するようにして、発光管２に固定されている。

斯かる構成によれば、原料ガスＧ１は、筐体５の入口部５１から筐体５の内部に供給されると、外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１と、二重管体２６と外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２と、内部電極４の内部を流れる原料ガスＧ１３とに分かれる。そして、外部電極３と内部電極４との間に電圧が印加される。

これにより、外管２６ａと内管２６ｂとの間に放電（具体的には、グロー放電）が起きるため、二重管体２６の内部から光が放射される。また、二重管体２６と離間している外部電極３と二重管体２６の外管２６ａとの間にも、放電（具体的には、コロナ放電）が起きている。

外部電極３と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１が、酸素を含んでいるため、その原料ガスＧ１１の一部は、二重管体２６の内部から放射され且つ光路部３１を通過した光により、オゾンとなる。なお、当該原料ガスＧ１１は、酸素だけでなく窒素を含んでいるが、当該光により、窒素酸化物にはならない。また、二重管体２６の外管２６ａと外部電極３との間を流れる原料ガスＧ１２が、酸素と窒素とを含んでいるため、その原料ガスＧ１２の一部は、外管２６ａと外部電極３との間の放電により、オゾンと窒素酸化物とになる。

そして、外部電極３と筐体５との間で、一部がオゾンになったガスＧ２１と、二重管体２６と外部電極３との間で、一部がオゾン及び窒素酸化物になったガスＧ２２とは、混合されて、出口部５２から流出される。このようにして、酸素と窒素とを含む原料ガスＧ１は、オゾンと窒素酸化物を含むオゾン化ガスＧ２となって、出口部５２から流出される。なお、内部電極４の内部を流れる原料ガスＧ１３は、オゾン化することなく、原料ガスＧ２３のまま流出される。また、原料ガスＧ１１，Ｇ１２が、光路部３１を通過することもある。

なお、図５に係るオゾン発生装置１に対して、例えば、外部電極３は、二重管体２６（外管２６ａ）と接して配置され、内部電極４は、二重管体２６（内管２６ｂ）と離間して配置されている、という構成を採用してもよい。また、例えば、外部電極３は、二重管体２６（外管２６ａ）と離間して配置され、内部電極４も、二重管体２６（内管２６ｂ）と離間して配置されている、という構成を採用してもよい。

また、上記実施形態に係るオゾン発生装置１及び方法は、酸素をオゾン化する光を放射する発光管２を備えている、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置及び方法は、斯かる構成に限られない。例えば、図６に示すように、オゾン発生装置１及び方法は、光を放射しない誘電体８を備えている、という構成でもよい。

図６に係るオゾン発生装置１においては、誘電体８は、筒状に形成されている。なお、誘電体８は、例えば、ガラスで形成されている。

内部電極（第１電極）９は、誘電体８の内部に配置されている。そして、内部電極（第１電極）９は、誘電体８と離間して配置されている。これにより、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスＧ１が、内部電極９と誘電体８との間に、供給される。そして、誘電体８の径方向における、内部電極９と誘電体８との離間距離は、内部電極９の厚み寸法（誘電体８の径方向の寸法）よりも、大きくなっている。図６に係る内部電極９は、棒状の部材を螺旋状に配置して形成されている。

外部電極（第２電極）１０は、筒状に形成されている。そして、外部電極１０は、誘電体８の外部に配置されているため、内部電極９との間に誘電体８を配置している。なお、外部電極１０は、誘電体８と接するようにして、誘電体８に固定されている。

斯かる構成によれば、原料ガスＧ１は、筐体５の入口部５１から筐体５の内部に供給されると、外部電極１０と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１と、誘電体８と内部電極９との間を流れる原料ガスＧ１２と、内部電極９の内部を流れる原料ガスＧ１３とに分かれる。そして、外部電極１０と内部電極９との間に電圧が印加されると、誘電体８と内部電極９との間に放電（具体的には、コロナ放電）が起きる。

そして、誘電体８と内部電極９との間を流れる原料ガスＧ１２が、酸素と窒素とを含んでいるため、その原料ガスＧ１２の一部は、誘電体８と内部電極９との間の放電により、オゾンと窒素酸化物とになって、出口部５２から流出される。このようにして、酸素と窒素とを含む原料ガスＧ１は、オゾンと窒素酸化物を含むオゾン化ガスＧ２として、出口部５２から流出される。

なお、外部電極１０と筐体５との間を流れる原料ガスＧ１１と、内部電極４の内部を流れる原料ガスＧ１３とは、オゾン化することなく、それぞれ原料ガスＧ２１，Ｇ２３のまま流出される。なお、原料ガスＧ１２，Ｇ１３が、内部電極９を通過して、内部電極９の内部から外部へ（又は外部から内部へ）流通することもある。

また、図６に係るオゾン発生装置１に対して、例えば、内部電極９は、誘電体８と接して配置され、外部電極１０は、誘電体８と離間して配置されている、という構成を採用してもよい。また、例えば、内部電極９は、誘電体８と離間して配置され、外部電極１０も、誘電体８と離間して配置されている、という構成を採用してもよい。

また、図６に係るオゾン発生装置１に対して、例えば、誘電体８、第１電極９、第２電極１０は、それぞれ平板状に形成され、第１電極９と第２電極１０とは、誘電体８を挟むように配置されている、という構成を採用してもよい。斯かる構成においては、少なくとも第１電極９が、誘電体８と離間して配置されている。

また、上記実施形態に係るオゾン発生装置１及び方法においては、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度は、一定である、という構成である。しかしながら、オゾン発生装置及び方法は、斯かる構成に限られない。例えば、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度は、可変されている、という構成でもよい。そして、フィードバック制御を行うことで、所望のオゾンの濃度又は窒素酸化物の濃度にすることができる。

例えば、オゾン発生装置１は、出口部５２にオゾン及び窒素酸化物の少なくとも一方の濃度を検出する濃度検出部と、濃度検出部で検出した濃度に基づいて、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度を変更させるように、供給部６を制御する制御部とを備えている、という構成でもよい。また、例えば、オゾン発生装置１は、入口部５１及び出口部５２の少なくとも一方のガス流速（又は流量）を検出する流速検出部と、流速検出部で検出した流速に基づいて、供給部６の原料ガスＧ１の供給速度を変更させるように、供給部６を制御する制御部とを備えている、という構成でもよい。

オゾン発生装置１は、水耕栽培に利用可能である。また、オゾン発生装置１は、それに限られず、オゾンだけでなく、適度な窒素酸化物が必要な他の使用用途にも利用可能である。

１…オゾン発生装置、２…発光管、３…外部電極（第１電極）、４…内部電極（第２電極）、５…筐体、６…供給部、７…電源、８…誘電体、９…内部電極（第１電極）、１０…外部電極（第２電極）、２１…管体（誘電体）、２２…第１封止部、２３…第２封止部、２４…金属箔、２５…外部リード、２６…二重管体、２６ａ…外管（誘電体）、２６ｂ…内管（誘電体）、２７…封止端部、３１…光路部、５１…入口部、５２…出口部、６１…ファン、６２…ガス源

Claims (4)

1. 誘電体と、
   前記誘電体と離間して配置される第１電極と、
   前記第１電極との間に前記誘電体を配置し、酸素をオゾン化するために、少なくとも前記第１電極と前記誘電体との間で放電させるべく、前記第１電極との間で電圧が印加される第２電極と、
   少なくとも前記誘電体と前記第１電極との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを供給する供給部と、を備え、
   前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度よりも、遅い、オゾン発生装置。
2. 前記供給部は、ファンを備え、
   前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、前記ファンの回転速度で制御される、請求項１に記載のオゾン発生装置。
3. 前記供給部は、圧縮エアを供給し、
   前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、前記圧縮エアの圧力で制御される、請求項１に記載のオゾン発生装置。
4. 誘電体と、
   前記誘電体と離間して配置される第１電極と、
   前記第１電極との間に前記誘電体を配置する第２電極と、を備えるオゾン発生装置を用いる、オゾン発生方法であって、
   前記第１電極と前記第２電極との間に電圧を印加することで、少なくとも前記第１電極と前記誘電体との間で放電することと、
   酸素をオゾン化するために、少なくとも前記誘電体と前記第１電極との間に、少なくとも酸素及び窒素を含む原料ガスを供給部から供給すること、とを含み、
   前記供給部の前記原料ガスの供給速度は、装置外部に流出する際のオゾン濃度が最大となる供給速度よりも、遅い、オゾン発生方法。
   

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