JP2012181999A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】内部に希ガスが封入された密閉空間を有する長尺な発光管と、該発光管の外表面に配置された外部電極と、前記発光管の内部に配置された内部電極とを備え、該内部電極から発光管外に突出する外部リードと給電リードを給電端子により接続してなるエキシマランプにおいて、前記給電リードが外部リードと偏芯して配置されたとき、前記給電リード軸方向の動きにより該給電リードが破損したり、封止部のガラスが損傷したり、あるいは、給電リードと外部リードを接続する給電端子との接合部位が剥離したりすることのない構造を提供することである。
【解決手段】前記給電リードが、前記発光管の外部リードとは偏芯して配置されており、該給電リードと前記外部リードを接続する給電端子が、丸みを帯びてジグザグ状に屈折していることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】前記給電リードが、前記発光管の外部リードとは偏芯して配置されており、該給電リードと前記外部リードを接続する給電端子が、丸みを帯びてジグザグ状に屈折していることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
この発明は、発光管内にキセノンなどの発光ガスを封入してなるエキシマランプに関し。特に、発光管の外表面に外部電極を有し、内部に内部電極を有するエキシマランプに係わる。
半導体や液晶基板の製造工程において、シリコンウエーハやガラス基板の表面に付着した有機化合物等の汚れを除去する方法として、紫外線を用いたドライ洗浄方法が広く利用されている。
特に、エキシマランプから放射される波長200nm以下の真空紫外線を放射するエキシマランプを用いてオゾン等の活性酸素により洗浄するためのエキシマ光照射装置が多用されている。そのようなエキシマ光照射装置は、例えば、特開2008−68155号公報(特許文献1)などが知られている。
特に、エキシマランプから放射される波長200nm以下の真空紫外線を放射するエキシマランプを用いてオゾン等の活性酸素により洗浄するためのエキシマ光照射装置が多用されている。そのようなエキシマ光照射装置は、例えば、特開2008−68155号公報(特許文献1)などが知られている。
図4にこの従来例が示されていて、筺体1内に複数のエキシマランプ2が並列配置され、その下方には、搬送手段3により搬送されるワークWが配置される。筺体1内の上方には、窒素ガス噴出手段4が配設されていて、窒素ガスが前記エキシマランプ2の周囲からワークW方向に流下している。
図4(B)に示すように、エキシマランプ2はランプ支持具5によって吊下支持されている。
また、該ランプ2の端部の下方には、ランプベースに付着したパーティクルが落下して、処理空間中に浮遊することを防止するために保護板6が設けられている。
図4(B)に示すように、エキシマランプ2はランプ支持具5によって吊下支持されている。
また、該ランプ2の端部の下方には、ランプベースに付着したパーティクルが落下して、処理空間中に浮遊することを防止するために保護板6が設けられている。
図5に示すように、前記ランプ2は、発光管21の外表面に外部電極22と、内部に内部電極23とを備え、該内部電極23は、封止部24において外部リード25と接続されている。そして、該封止部24にはベース26が設けられていて、電源からの給電リード27が該ベース26を貫通して、前記外部リード25と接続されている。そして、このベース26の下方に保護板6が配設されている。
一般的に、エキシマランプには非常に高圧の高周波電圧が印加される。そして、近時ではランプの高出力化の要請から一層の高電圧が印加さるようになってきた。
ところで、処理空間中には、洗浄処理によってワークより除去された有機汚染物であるパーティクルが浮遊することになるが、そのパーティクルの濃度はまちまちであり、濃度によって空間絶縁距離が変化して、短絡などの事故が発生する恐れがある。
このような短絡は給電リード27と金属製の保護板6との間でも発生し、かかる事故が発生しないように、該給電リード27と保護板6との絶縁距離を確実に保つ必要があり、図6に示すように、給電リード27を、ランプ2の管軸と偏芯させることによって、保護板6との間の離間距離Xを大きくとる対策がなされている。
ところで、処理空間中には、洗浄処理によってワークより除去された有機汚染物であるパーティクルが浮遊することになるが、そのパーティクルの濃度はまちまちであり、濃度によって空間絶縁距離が変化して、短絡などの事故が発生する恐れがある。
このような短絡は給電リード27と金属製の保護板6との間でも発生し、かかる事故が発生しないように、該給電リード27と保護板6との絶縁距離を確実に保つ必要があり、図6に示すように、給電リード27を、ランプ2の管軸と偏芯させることによって、保護板6との間の離間距離Xを大きくとる対策がなされている。
ところが、このように給電リード27がランプ軸心と偏芯していると、図7に示すように、該給電リード27が軸方向に動いた時、該給電リード27を折り曲げようとする曲げモーメントが作用して、これが損傷し断線に至るこという問題が生じている。
また、外部リード25にも同様に曲げモーメントが作用するので、ランプ2の封止部24の端部で、ガラスをこじるように擦過して破損させることがあり、更には、外部リード25と給電リード27を接続する接続端子28との溶接接合が離脱することもある。
また、外部リード25にも同様に曲げモーメントが作用するので、ランプ2の封止部24の端部で、ガラスをこじるように擦過して破損させることがあり、更には、外部リード25と給電リード27を接続する接続端子28との溶接接合が離脱することもある。
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、内部に希ガスが封入された密閉空間を有する長尺な発光管と、該発光管の外表面に配置された外部電極と、前記発光管の内部に配置された内部電極とを備え、該内部電極から発光管外に突出する外部リードと給電リードを給電端子により接続してなるエキシマランプにおいて、前記給電リードと外部リードを偏芯させた状態で接続するに当たり、給電リードが断線したり、ランプ封止部が外部リードによって損傷したりすることのないようにした構造を提供するものである。
上記課題を解決するために、この発明に係るエキシマランプは、前記給電リードが、前記発光管の外部リードとは偏芯して配置されており、該給電リードと前記外部リードを接続する給電端子が、丸みを帯びてジグザグ状に屈折していることを特徴とする。
また、記給電端子は、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、垂直方向にジグザグ状であることを特徴とする。
また、前記給電端子は、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、水平方向にジグザグ状であることを特徴とする。
また、記給電端子は、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、垂直方向にジグザグ状であることを特徴とする。
また、前記給電端子は、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、水平方向にジグザグ状であることを特徴とする。
この発明によれば、ランプの外部リードと、該外部リードと偏芯している電源からの給電リードとを接続する給電端子が、丸みを帯びてジグザグ状に屈折していることにより、給電リードの軸方向への動きがあっても、その動きはジグザグ状の給電端子によって緩衝されて、給電リードや外部リードに曲げモーメントが働くことがなく、それに伴う断線や損傷・破損といった事故が防止されるものである。
しかも、給電端子は丸みを帯びているので、緩衝作用がスムースで、どこにも無理な応力が掛かることもない。
これにより、保護板と給電リードとの離間距離を大きくとれてその間の短絡が防止できる。
しかも、給電端子は丸みを帯びているので、緩衝作用がスムースで、どこにも無理な応力が掛かることもない。
これにより、保護板と給電リードとの離間距離を大きくとれてその間の短絡が防止できる。
図1は、この発明のエキシマランプ2を示し、その基本的な構造は図5、図6のものと同様である。
電源からの給電リード27は、エキシマランプ2の軸心、即ち、外部リード25とは偏芯する状態でベース26を貫通している。前記外部リード25と給電リード27とを接続する給電端子10は金属の薄板からなる。
図2(A)に詳細が示されるように、給電端子10は丸みを帯びてジグザグ状に屈折していて、その両端でそれぞれ前記外部リード25と給電リードとが溶接等により接続されている。そして、図2(A)のX−X矢視図である図2(B)に示されるように、該給電端子10の先端はベース26の内壁に当接していて、給電リード27の軸方向左方への動きが規制されている。
電源からの給電リード27は、エキシマランプ2の軸心、即ち、外部リード25とは偏芯する状態でベース26を貫通している。前記外部リード25と給電リード27とを接続する給電端子10は金属の薄板からなる。
図2(A)に詳細が示されるように、給電端子10は丸みを帯びてジグザグ状に屈折していて、その両端でそれぞれ前記外部リード25と給電リードとが溶接等により接続されている。そして、図2(A)のX−X矢視図である図2(B)に示されるように、該給電端子10の先端はベース26の内壁に当接していて、給電リード27の軸方向左方への動きが規制されている。
前記図2のものは、給電端子10が該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、垂直方向にジグザグ状であるものを示したが、図3に示すように、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、水平方向にジグザグ状であるものであってもよい。
上記給電端子10の一具体例をあげると、その材質はSUSであり、板厚0.1mm、幅5mm、屈折部の曲率半径1.5mmである。
上記給電端子10の一具体例をあげると、その材質はSUSであり、板厚0.1mm、幅5mm、屈折部の曲率半径1.5mmである。
上記のように、ランプ2の外部リード25と、ランプ軸心と偏芯している電源からの給電リード27とを接続する給電端子10が、ジグザグ状に丸みを帯びてジグザグ状に屈折している形状であるので、前記給電リードが軸方向に動いたとしても、その動きは給電端子10の屈折部で緩衝吸収されて、給電リードや外部リード、更には給電端子とこれらとの接続部位にその動きが伝わることがなく、曲げモーメントが作用するようなこともないので、給電リードの損傷・断線や、ランプ封止部の破損、更には、給電リードや外部リードと給電端子との接合部位の剥離といった事態が防止されるものである。
1 筐体
2 エキシマランプ
21 発光管
22 外部電極
23 内部電極
24 封止部
25 外部リード
26 ベース
27 給電リード
3 搬送手段
4 窒素ガス噴出手段
10 給電端子
W ワーク
2 エキシマランプ
21 発光管
22 外部電極
23 内部電極
24 封止部
25 外部リード
26 ベース
27 給電リード
3 搬送手段
4 窒素ガス噴出手段
10 給電端子
W ワーク
Claims (3)
- 内部に希ガスが封入された密閉空間を有する長尺な発光管と、該発光管の外表面に配置された外部電極と、前記発光管の内部に配置された内部電極とを備え、該内部電極から発光管外に突出する外部リードと給電リードを給電端子により接続してなるエキシマランプにおいて、
前記給電リードが、前記発光管の外部リードとは偏芯して配置されており、該給電リードと前記外部リードを接続する給電端子が、丸みを帯びてジグザグ状に屈折していることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記給電端子は、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、垂直方向にジグザグ状であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記給電端子は、該給電端子と前記外部リードを含む平面内において、水平方向にジグザグ状であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011043770A JP2012181999A (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | エキシマランプ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012181999A true JP2012181999A (ja) | 2012-09-20 |
Family
ID=47013038
Family Applications (1)
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JP2011043770A Withdrawn JP2012181999A (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | エキシマランプ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2012181999A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104919566B (zh) * | 2013-01-30 | 2016-12-28 | 优志旺电机株式会社 | 准分子灯 |
JPWO2016063463A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2017-06-08 | 日本曹達株式会社 | 有機薄膜製造方法 |
KR101999486B1 (ko) * | 2018-07-26 | 2019-07-11 | 유니램 주식회사 | 엑시머 램프의 베이스 구조 |
-
2011
- 2011-03-01 JP JP2011043770A patent/JP2012181999A/ja not_active Withdrawn
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