KR101869525B1 - 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치, 기판 처리 기구 및 이러한 장치를 조립하기 위한 방법 - Google Patents

가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치, 기판 처리 기구 및 이러한 장치를 조립하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

본 개시내용은 가요성 기판(16)용 챔버 입구(18) 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치(100)에 관한 것이며, 상기 장치는 밀봉면(108)을 갖는 본체(104)와, 본체 내에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된 기판 개구(106)와, 적어도 부분적으로 밀봉면을 대면하는 탄성 튜브(116)를 포함하고, 탄성 튜브는, 가스 공급부(136)에 연결하기 위한 연결부를 갖고, 동작 동안 팽창 및 수축에 적합하다. 또한, 본 개시내용은 가요성 기판(16)용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은, 밀봉면(108)을 갖는 본체(104)를 제공하고, 기판 개구(106)가 상기 본체에 형성되어 상기 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성되는 단계와; 탄성 튜브(116)가 적어도 부분적으로 상기 밀봉면(108)을 대면하도록 상기 탄성 튜브(116)를 상기 본체 내로 삽입하고, 탄성 튜브는 연결부를 갖고 동작 동안 팽창 및 수축에 적합한 단계와; 그리고 상기 탄성 튜브의 연결부를 가스 공급부(136)에 연결하는 단계를 포함한다.

Description

가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치, 기판 처리 기구 및 이러한 장치를 조립하기 위한 방법{A DEVICE FOR SEALING A CHAMBER INLET OR A CHAMBER OUTLET FOR A FLEXIBLE SUBSTRATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD FOR ASSEMBLING SUCH A DEVICE}
본 개시내용은 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용은 본체 및 본체에 형성되는 기판 개구를 갖는 장치에 관한 것이다.
또한, 본 개시내용은 가요성 기판을 처리하기 위한 기판 처리 기구에 관한 것으로서, 상기 기판 처리 기구는 제1 챔버 및 제1 챔버로부터 분리된 제2 챔버를 포함한다.
또한, 본 개시내용은 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하기 위한 방법에 관한 것이다.
많은 응용예들에서, 박층들을 가요성 기판상에 증착하는 것이 필요하다.
전형적으로, 가요성 기판들은 가요성 기판 코팅 기구의 상이한 챔버들에서 코팅된다. 또한, 가요성 기판의 스톡(stock), 예를 들어 가요성 기판의 롤(roll)이 기판 코팅 기구의 하나의 챔버에 배치될 수 있다. 전형적으로, 가요성 기판들은 기상 증착 기술, 예를 들어 물리적 기상 증착법 또는 화학적 기상 증착법을 사용하여 진공에서 코팅된다. 그러나, 챔버들 내의 일부 장치들을 보수하거나 교체하기 위해, 또는 가요성 기판의 스톡을 재충전하거나 보충하기 위해, 사람이 챔버에 접근할 수 있거나, 가요성 기판의 스톡이 재충전될 수 있거나 회수될 수 있도록, 챔버들 중 적어도 하나가 대기압까지 가압될 수 있다. 다른 예들에서, 증착 기구가 점검되어야 할 때, 예를 들어 스퍼터링 기구의 목표물이 변경될 필요가 있을 때, 가요성 기판의 스톡은 진공 상태로 유지될 수 있다. 그러나, 기판 코팅 기구의 다른 챔버들은 여전히 소개된(evacuated) 상태일 수 있다. 이를 위해, 특히, 가요성 기판이 2개의 챔버들 사이의 벽을 횡단하고 있을 때, 챔버는 다른 챔버로부터 밀봉될 수 있다.
따라서, 가요성 기판이 2개의 챔버들 사이의 벽을 횡단하고 있는 경우라도, 하나의 챔버가 매우 낮은 압력을 갖는 반면, 다른 챔버는 상대적으로 높은 압력을 갖는 것이 가능하다.
전술한 내용을 고려하여, 청구항 제1항에 따른 챔버 입구를 밀봉하기 위한 장치, 청구항 제1O항에 따른 기판 처리 기구, 및 청구항 제11항에 따른 방법이 제공된다.
전술한 내용을 고려하여, 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치가 제공되고, 이 장치는 밀봉면을 갖는 본체, 본체에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된 기판 개구, 및 밀봉면을 적어도 부분적으로 대면하는 탄성 튜브를 포함하며, 탄성 튜브는 가스 공급부를 연결하기 위한 연결부를 갖고 동작 중에 팽창 및 수축에 적합하다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 장치는 밀봉면에 대향하여 본체 내에 형성되는 리세스(recess)를 더 포함하고, 특히 리세스는 실질적으로 U자 형상이거나, 탄성 튜브의 종방향 축선에 직교하는 부분에서 실질적인 반-원형인 단면을 갖는다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 리세스는 특히 홈(groove)의 형태를 갖는다.
예를 들어, 일 실시예에서, 리세스는 탄성 튜브의 종방향 축선에 실질적으로 평행한 종방향 축선을 갖는다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브는 적어도 부분적으로 리세스 내에 배열된다.
예를 들어, 일 실시예에서, 밀봉면은 기판 개구에 형성된다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브의 종방향 축선은 가요성 기판의 이송 방향에 실질적으로 직교한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 강성 바아, 특히 강성 튜브가 탄성 튜브 내에 배치되고, 특히 강성 튜브의 내부는 강성 튜브와 탄성 튜브 사이의 공간과 유체 연결(fluid connection)된다. 전형적인 실시예에서, 강성 바아는 금속, 예를 들어 강으로 제조될 수 있다. 전형적인 실시예에서, 강성 바아는 강성 튜브의 형태이다.
예를 들어, 일 실시예에서, 본체는 탄성 튜브 및 강성 바아로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 하나의 요소를 장착하기 위해, 리세스의 종방향 축선의 방향으로 리세스를 연장시키는 적어도 하나의 튜브 장착 개구를 포함한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 적어도 하나의 튜브 장착 개구는 원주 방향(circumferential) 튜브 장착 개구 밀봉면을 갖고, 탄성 튜브는 적어도 하나의 튜브 장착 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 튜브 장착 개구 밀봉면에 대해 가압되며, 특히 공급 개구 밀봉면은 실질적으로 원뿔형이다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 장치는 튜브 장착 개구에 각각 배치되는 적어도 하나의 플러그를 더 포함하고, 플러그는 장착 개구 밀봉면에 대해 탄성 튜브를 가압하며, 특히 적어도 하나의 플러그는 실질적으로 원뿔형이다.
전형적인 실시예에서, 플러그는 장착 개구 밀봉면에 적합하다.
예를 들어, 일 실시예에서, 적어도 하나의 플러그는 강성 바아, 특히 강성 튜브를 유지한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 적어도 하나의 플러그는 탄성 튜브의 내부를 압력 소스 및 진공 소스로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 소스에 연결시키기 위한 유체 채널을 포함한다.
예를 들어, 일 실시예에서, 팽창 상태에 있을 때, 탄성 튜브의 일부는 기판 개구 밀봉면을 대면하는 리세스의 표면에 대해 가압된다.
추가적인 양태에 따라, 가요성 기판을 처리하기 위한 기판 처리 기구가 제공되고, 상기 기판 처리 기구는 제1 챔버 및 제1 챔버로부터 분리된 제2 챔버와, 본 명세서에 개시된 실시예에 따른 장치를 포함하고, 상기 장치는 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 유체 연결을 선택적으로 개방 또는 폐쇄한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 장치는 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 벽에 제공된다.
추가적인 양태에 따르면, 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법이 제공되고, 이 방법은, 밀봉면을 갖는 본체를 제공하고 기판 개구가 상기 본체에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성되는 단계와; 탄성 튜브가 밀봉면을 적어도 부분적으로 대면하도록 본체 내로 탄성 튜브를 삽입하고, 탄성 튜브는 연결부를 갖고 동작 중에 팽창 및 수축에 적합한 단계와; 탄성 튜브의 연결부를 가스 공급부에 연결하는 단계를 포함한다.
추가적인 양태에 따르면, 상기 장치는 밀봉면에 대향하여 본체 내에 형성되는 리세스를 더 포함하고, 상기 방법은 탄성 튜브를 적어도 부분적으로 리세스에 삽입하는 단계를 포함한다.
예를 들어, 일 실시예에서, 본체는 종방향 축선의 방향으로 리세스를 연장시키는 적어도 하나의 튜브 공급 개구를 포함하고, 탄성 튜브는 튜브 공급 개구를 통해 리세스 내로 도입된다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에서, 상기 방법은 적어도 하나의 튜브 공급 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 적어도 하나의 튜브 공급 개구의 원주 방향 튜브 공급 개구 밀봉면에 대해 탄성 튜브를 가압하는 단계를 더 포함한다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 상기 방법은 탄성 튜브를 강성 바아 주위에 배열하고, 특히 상기 강성 바아는 강성 튜브의 형태인 단계를 포함할 수 있다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 밀봉면은 종방향 축선을 갖고, 특히 탄성 튜브 또는 탄성 튜브의 종방향 축선에 실질적으로 평행한 중심부를 포함한다. 또한, 밀봉면은 밀봉면의 각각의 종방향 극단부(extremity)의 측방부(lateral portion), 및 각각의 측방부와 중심부 사이의 개재부(intermediate portion)를 포함할 수 있으며, 특히 탄성 튜브는 특히, 탄성 튜브가 팽창 또는 수축될 때, 측방부들에 대해 영구적으로 가압된다.
예를 들어, 일 실시예에서, 측방부들과 각각의 인접한 개재부들 사이의 전이부(transition)의 곡률 반경은 80 mm보다 크고, 특히 90 mm보다 크다. 예를 들어, 곡률 반경은 90 mm 내지 120 mm일 수 있다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 중심부와 개재부들 사이의 전이부의 곡률 반경은 각각 80 mm보다 크며, 특히 90 mm보다 크다. 예를 들어, 곡률 반경은 90 mm 내지 120 mm일 수 있다.
예를 들어, 일 실시예에서, 중심부와 개재부 사이의 전이부의 원호의 각도는 각각 15° 보다 작고, 특히 10° 미만이다. 예를 들어, 중심부와 개재부 사이의 전이부의 각도는 5° 내지 10° 이다.
본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 측방부와 각각의 인접한 개재부들 사이의 전이부의 원호의 각도는 15° 보다 작고, 특히 10° 미만이다. 예를 들어, 측방부와 각각의 인접한 개재부 사이의 전이부의 각도는 5° 내지 10° 이다.
예를 들어, 일 실시예에서, 개재부들은 밀봉면의 종방향 연장부에서 개구의 연장부의 5% 내지 15%이다.
당업자에게 완전하고 가능한, 본 개시내용의 최상의 모드를 포함하는 개시내용이 이하의 첨부 도면들에 대한 참조를 포함하여, 명세서의 나머지 부분에서 보다 상세하게 설명된다.
도 1은 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 포함하는 벽의 단면도를 개략적으로 도시한다.
도 2는 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치의 도 3의 B-B 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 3은 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치의 도 2의 A-A 종방향 단면을 개략적으로 도시한다.
도 4는 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법의 흐름도를 도시한다.
이제, 하나 또는 둘 이상의 예들이 도면에 예시되어 있는 여러 실시예들을 상세하게 참조할 것이다. 각각의 예는 설명을 통해 제공되며, 본 발명에 대한 제한으로서 의미되지는 않는다. 도면들에 대한 이하의 기술 내에서, 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 일반적으로, 각각의 실시예에 대한 차이점들만이 설명된다.
도 1은 제1 챔버(12)와 제2 챔버(14) 사이의 벽(10)의 단면의 측면도를 개략적으로 도시한다. 양 챔버들(12, 14)에서, 가요성 기판(16)이 처리된다. 전형적으로, 처리 동안, 챔버들(12, 14)은 약 10-4 mbar 또는 약 10-5 mbar의 압력을 갖는다. 예를 들어, 제1 챔버(12)에서 가요성 기판(16)은 코팅 장치(20)에 의해 코팅될 수 있다. 챔버(14)에서 가요성 기판은 가요성 기판 롤(22) 상에 권취되거나 풀릴 수 있다. 전형적으로, 가요성 기판(16)은 벽 개구(18)를 통해 벽(10)을 횡단한다. 제1 챔버(12) 및 제2 챔버(14)는 예를 들어, 롤(22)이 새로운 롤(22)로 교체될 때, 상이한 압력들을 가질 수 있다. 그런 다음에, 벽 개구(18)는 가요성 기판(16)의 일부가 벽 개구(18)를 횡단하고 있는 경우라도 긴밀하게 밀봉될 수 있다.
이를 위해, 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치(100)가 벽 개구(18)에 또는 벽 개구 내에 배치된다. 가요성 기판(16)이 장치(100)를 횡단한다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 추가적인 실시예들에서, 장치(100)는 벽(10)에 통합될 수 있거나, 벽(10)의 일부일 수 있으며, 이로써 벽 개구는 장치(100)의 기판 개구에 대응할 수 있다. 일부 실시예들에서, 장치(100)는 예를 들어, 나사들 또는 볼트들에 의해 벽(10)에 단단히 고정된다.
도 2는 장치(100)의 횡단면도를 개략적으로 도시한다. 장치(100)는 가요성 기판의 이송 방향(102)으로 가요성 기판(16)에 의해 전형적으로 횡단되는 기판 개구(106)를 갖는 본체(104)를 포함한다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 본체(104)는 강성 재료, 전형적으로는 금속, 예를 들어, 강 또는 스테인리스 강으로 제조된다. 예를 들어, 일 실시예에서, 본체(104)는 부조립체들로부터 제조될 수 있고, 이때 부조립체들은 각각 본체(104)의 절반부에 대응할 수 있다.
기판 개구(106)는, 장치(100)의 종방향을 따라 전형적으로 연장되는 밀봉면(108)을 가지며, 밀봉면(108)에 대향하여 홈 또는 리세스(110)가 배치된다. 도 3에 도시된 장치(100)의 종방향 단면에서 볼 수 있는 바와 같이, 기판 개구(106)는 장치(100)의 종방향(X)으로 제1 단부(112) 및 제2 단부(114)를 갖는다. 도 3에서, 장치(100)는 횡단하는 가요성 기판 없이 도시된다.
탄성 튜브(116)가 리세스(110)에 배열된다. 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브(116)는 고무, 바이턴, 실리콘(silicone), 및/또는 니트릴부타디엔 고무(NBR)로 제조될 수 있다. 탄성 튜브는 일 실시예에서, 탄성 튜브(116)의 표면의 일부가 밀봉면(108)에 대해 가압되도록 팽창될 수 있다. 가요성 기판(16)이 기판 개구(106)를 횡단하고 있는 경우에, 팽창된 탄성 튜브가 가요성 기판(16)에 대해 가압된다.
전형적으로, 수축된 탄성 튜브는 약 25 mm 내지 약 50 mm, 특히 30 mm 내지 45 mm의 외경을 가질 수 있다. 또한, 수축된 탄성 튜브는 2 mm 내지 약 8 mm, 특히 약 3 mm 내지 약 7 mm의 두께를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 탄성 튜브(116)는 종방향(X)으로 기판 개구(106)를 넘어선다. 따라서, 탄성 튜브(116)의 종방향 연장부는 기판 개구(106)의 종방향 연장부보다 크다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브(116)는 압력 소스에 의해 팽창될 수 있다.
밀봉면은 전형적으로, 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에서 탄성 튜브(116)의 종방향 축선(X)과 일치할 수 있는 장치(100)의 종방향 축선(X)에 실질적으로 평행한 종방향 축선을 갖는다.
전형적으로, 리세스(110)는 팽창된 탄성 튜브(116)가 리세스(110)의 벽에 대해 긴밀하게 가압될 수 있도록, 횡단면에서 실질적으로 U자 형상이다. 다른 실시예에서, 리세스(110)는 횡단면이 실질적으로 반원 또는 반타원 형상일 수 있다. 전형적인 실시예에서, 리세스(110)의 횡방향 연장부는 수축된 탄성 튜브(116)의 외경에 실질적으로 대응한다. 예를 들어, U자 형상 단면의 반원부의 반경은 수축된 탄성 튜브의 외부 반경에 대응하거나 또는 이를 약간 초과하는 반경을 가질 수 있다. 예를 들어, 리세스의 반원부의 반경은 수축된 탄성 튜브의 외측 반경의 5%를 초과할 수 있다. 다른 실시예에서, 수축된 탄성 튜브는 리세스의 벽과 접촉할 수 있다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에서, 리세스의 반원부의 반경은 약 15 mm 내지 약 30 mm, 특히 약 20 mm일 수 있다.
전형적으로, 팽창된 탄성 튜브(116)의 인접부로서, 특히 종방향 축선(X)을 따라 배치되는 인접부는 리세스의 벽에 대해 가압된다. 전형적으로, 인접부는 적어도, 기판 개구(106)의 제1 단부(112)와 제2 단부(114) 사이에서 연장된다. 따라서, 팽창된 탄성 튜브의 경우에, 심지어 큰 압력 차이들의 경우에도 리세스를 통과하는 제1 챔버(12)와 제2 챔버(14) 사이의 유체 소통(fluid communication)이 실질적으로 방지된다.
다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 강성 튜브(124)는 탄성 튜브(116) 내에 배치되고, 강성 튜브(124)는 전형적인 실시예에서, 적어도 기판 개구(106)의 길이를 갖는다. 전형적인 실시예에서, 장치(100)의 종방향 축선(X)으로 강성 튜브(124)가 기판 개구(106)의 종방향 연장부를 초과하는 길이를 가질 수 있다. 또한, 일 실시예에서, 탄성 튜브(116)의 종방향 연장부는 강성 튜브(124)의 종방향 연장부보다 크다. 예를 들어, 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에서, 강성 튜브는 수축된 탄성 튜브의 내경보다 약간 더 작은, 예를 들어 5% 내지 20% 더 작은 외경을 가질 수 있다. 따라서, 수축된 탄성 튜브와 강성 튜브 사이에 공간이 형성된다.
일부 실시예들에서, 강성 바아, 특히 원통형 강성 바아가 탄성 튜브(116) 내에 배치될 수 있다. 강성 바아는 일부 실시예들에서 강성 튜브 대신 사용될 수 있다. 전형적으로, 강성 튜브는 강성 바아의 일 실시예일 수 있다. 강성 바아는 전형적인 실시예에서, 적어도 기판 개구(106)의 길이를 가질 수 있다. 전형적인 실시예에서, 강성 바아는 장치의 종방향 축선(X)으로 기판 개구(106)의 종방향 연장부를 초과하는 길이를 가질 수 있다. 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브(116)의 종방향 연장부는 강성 바아의 종방향 연장부보다 크다. 예를 들어, 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에서, 강성 바아는 수축된 탄성 튜브의 내경보다 약간 더 작은, 예를 들어 5% 내지 20% 더 작은 외경을 가질 수 있다. 따라서, 수축된 탄성 튜브와 강성 바아 사이에 공간이 형성된다. 전형적으로, 강성 바아는 탄성 튜브보다 더 강성이다. 예를 들어, 강성 바아는 금속, 예를 들어 강으로 제조될 수 있다.
일 실시예에서, 강성 튜브(124) 및/또는 강성 바아는 장치(100)의 리세스(110) 내의 고정 위치에 유지된다. 따라서, 탄성 튜브(116)는 강성 튜브 또는 강성 바아에 의해 장치(100) 내의 고정 위치에 유지된다. 따라서, 수축된 상태에서라도, 탄성 튜브가 리세스 내로 또는 리세스의 방향으로 들어감으로써(retract), 수축된 탄성 튜브(116)가 기판 개구(106)를 횡단하는 가요성 기판(116)에 손상을 가하지 않을 수 있다. 따라서, 수축된 탄성 튜브(116)는 가요성 기판에 흠을 내지 않을 수 있다.
전형적으로, 강성 튜브(124) 또는 강성 바아는, 특히 이들이 수축된 탄성 튜브를 리세스에 유지시키도록 구성되기 때문에, 탄성 튜브(116)보다 더 강성이다. 예를 들어, 강성 튜브는 금속, 예를 들어 알루미늄, 스테인리스 강 또는 강으로 제조될 수 있다.
본 발명에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 리세스(110)는 개구의 각각의 극단부(112, 114)에서 종방향 축선(X)의 방향으로 튜브 장착 개구(126)에 의해 연장된다. 튜브 장착 개구(126)는 탄성 튜브(116) 및 강성 튜브(124)를 리세스(110) 내로 삽입하는데 사용된다. 전형적으로, 튜브 장착 개구(126)들은 실질적으로 원뿔형 표면(128)을 구비한 측방부를 각각 갖는다. 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 탄성 튜브는 튜브 장착 개구(126)의 원뿔형 표면(128)에 대해 플러그(130)에 의해 가압된다. 전형적인 실시예에서, 플러그(130)는 튜브 장착 개구(126)를 통한 리세스의 종방향의 유체 유동이 방지되도록, 원주 방향 돌출부(132)를 가질 수 있다. 또한, 플러그(130)는 일 실시예에서, 강성 튜브(124)를 지지하기 위한 지지 돌출부(134)를 가질 수 있다. 따라서, 강성 튜브(124)는 리세스(110)에서 제 위치에 고정된다. 전형적으로, 플러그(130)들은 예를 들어, 나사 또는 볼트에 의해 장치(100)의 본체(104)에 고정된다.
플러그는 탄성 튜브(116)의 내부와 유체 공급부(136) 사이에 유체 연결부(138)를 제공하도록 더 설계된다. 예를 들어, 각각의 플러그는 이러한 유체 연결부(138)를 가질 수 있다. 추가적인 실시예에서, 제1 플러그는 탄성 튜브를 소개하거나 수축시키기 위한 펌프와 연결될 수 있으며, 다른 유체 연결부(138)는 압력 소스(136)와 연결될 수 있다. 본 명세서에 개시된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 전형적인 실시예에서, 유체 공급부는 강성 튜브(124)의 내부에 연결된다. 강성 튜브와 탄성 튜브(116) 사이의 공간에 압력을 제공하기 위해, 강성 튜브는 강성 튜브(124)와 탄성 튜브(116) 사이의 공간과 강성 튜브(124)의 내부 사이에서 유체 연결이 가능하도록, 개구(140)들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 탄성 튜브(116)는 팽창된 탄성 튜브(116)의 내부가 약 6 bar의 압력을 갖도록 팽창될 수 있다.
일부 실시예들에서, 유체 연결부(138)는 압축 공기가 강성 튜브(124)와 탄성 튜브(116) 사이의 공간에 직접 제공되도록 배치될 수 있다.
탄성 튜브(116)가 튜브 장착 개구(126)의 밀봉면에 대해 기계적이고 긴밀하게 가압되기 때문에, 탄성 튜브(116)는 전형적으로 본체(104)에 가황처리 또는 아연도금 처리되지 않는다. 따라서, 탄성 튜브(116)는 장치(100)에서 용이하게 대체될 수 있다.
전형적인 실시예에서, 밀봉면은 중심부(118)를 포함한다. 전형적인 실시예에서, 측방부(120)는 밀봉면(108)의 각각의 종방향 극단부에 각각 배치된다. 일부 실시예들에서, 측방부(120)들은 적어도 부분적으로 튜브 장착 개구(126)에 배치될 수 있다.
또한, 밀봉면(108)은 각각의 측방부와 중심부(118) 사이에 개재부(122)를 포함할 수 있다. 전형적으로, 측방부(120)들은 밀봉면(108)의 제1 단부(112) 및 제2 단부(114)에 배치된다. 전형적인 실시예에서, 중심부 및/또는 측방부(120)들은 장치(100) 또는 탄성 튜브(116)의 종방향 축선(X)에 실질적으로 평행하다.
전형적으로, 중심부와 개재부들 사이, 및 개재부들과 각각의 측방부들 사이에 완만한 전이부가 있다. 예를 들어, 측방부와 각각의 인접 개재부들 사이 또는 개재부들과 중심부 사이의 전이부들의 캐비티의 반경은 80 mm보다 클 수 있고, 특히 90 mm보다 클 수 있다. 예를 들어, 곡률 반경은 90 mm 내지 120 mm일 수 있다.
또한, 밀봉면의 부분들 사이의 전이부들의 원호들(circular segments)은 15°보다 작을 수 있고, 특히 10° 미만일 수 있다. 예를 들어, 밀봉면의 부분들 사이의 전이부의 각도는 5° 내지 10°일 수 있다.
따라서, 탄성 튜브가 가압되고, 밀봉면(108)에 대해 기판을 가압하는 경우라도, 긴밀한 연결이 실현될 수 있다.
본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 장치는 가요성 기판이 기판 개구 내에 존재하는 경우라도, 상이한 공기 압력을 갖는 챔버들의 신뢰할 수 있는 분리가 실현될 수 있도록 매우 긴밀하다. 특히, 견고하고 둥근 튜브 설계는 높은 수준의 긴밀성(tightness)을 가능하게 한다.
따라서, 팽창된 탄성 튜브의 경우에, 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 유체 소통은 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 압력 차이들이 큰 경우에도 실질적으로 방지된다. 예를 들어, 챔버는 가요성 기판 처리 장치의 권출(unwinding) 또는 권취 챔버일 수 있으며, 권출 또는 권취 챔버는 증착 챔버에 인접한다. 일 실시예에 따라, 권출 또는 권취 챔버는 증착 챔버에 대해 진공 기밀하게 밀봉될 수 있다. 따라서, 예를 들어, 물리적 기상 증착 기구의 목표물은 작은 입자를 함유할 수 있는 대기에 다른 챔버 내의 가요성 기판을 노출시키지 않고서 변경될 수 있다.
따라서, 장치(100)는 가요성 기판이 장치(100)를 횡단하는 경우라도, 제1 챔버와 제2 챔버 사이의 개구를 진공 기밀 밀봉한다. 전형적으로, 가요성 기판은 심지어 가요성 기판이 기판 개구에 존재하더라도 장치의 긴밀성에 해를 미치지 않는다. 개시된 실시예들에 따르면, 탄성 튜브는, 팽창되어 가요성 기판용 개구를 폐쇄시키도록, 리세스에 배치되어 가압된 공기로 가압될 수 있다. 탄성 튜브는 실질적으로 밀봉면의 방향으로만 확장될 수 있어서, 기판은 대면하는 밀봉면에 대해 가압된다. 개방 상태에서, 탄성 튜브는 리세스 내로 들어가 기판 개구를 비워둔다.
도 4는 가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법의 개략적인 도면을 도시한다. 박스(1000)에서, 본체가 제공된다. 본체는 밀봉면을 갖고, 기판 개구는 본체에 형성되어 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된다. 전형적인 실시예에서, 리세스는 밀봉면에 대향해서 본체 내에 형성된다. 박스(1010)에서, 탄성 튜브는 탄성 튜브가 부분적으로 밀봉면을 대면하도록, 본체 내로, 예를 들어 본체의 리세스에 삽입된다. 예를 들어, 탄성 튜브는 본체에 제공되는 튜브 장착 개구를 통해 제공될 수 있다. 추가적인 실시예에서, 강성 튜브는 탄성 튜브 내에 제공될 수 있다. 전형적으로, 박스(1020)에서, 탄성 튜브, 특히 탄성 튜브의 내부는 가스 공급부, 예를 들어 가압된 공기 소스에 연결된다. 따라서, 탄성 튜브는 기판 개구를 폐쇄하기 위해 팽창될 수 있다.
전형적인 실시예에서, 리세스는 실질적으로 코너(corner)들이 없다. 예를 들어, 특히 기판 개구의 제1 단부와 기판 개구의 제2 단부 사이에서 연장되는 탄성 튜브의 인접부는 리세스의 벽에 대해 가압된다.
기술된 설명은, 최상의 모드를 포함하여 본 발명을 개시하기 위해, 그리고 또한 임의의 장치들 또는 시스템들을 제조 및 사용하는 것, 및 임의의 통합된 방법들을 실행하는 것을 포함하여, 당업자가 설명된 주제를 실현할 수 있게 하기 위해 예들을 사용한다. 다양한 특정 실시예들이 앞서 개시되었지만, 당업자는 청구항들의 사상 및 범주가 동등하게 유효한 변형예들을 허용한다는 점을 인식할 것이다. 특히, 전술된 실시예들의 상호 비-배타적인 특징들은 서로 조합될 수 있다. 특허 가능한 범주는 청구항들에 의해 정의되며, 당업자가 도출해 내는 다른 예들과 이러한 변형예들을 포함할 수 있다. 청구항들의 문자 언어와 다르지 않는 구조적 요소들을 갖거나, 청구항들의 문자 언어와 거의 차이가 없는 동등한 구조적 요소들을 포함한다면, 이러한 다른 예들은 청구항들의 범주 내에 있는 것으로 의도된다.

Claims (15)

  1. 가요성 기판(16)용 챔버 입구(18) 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치(100)로서,
    밀봉면(108)을 갖는 본체(104),
    상기 본체에 형성되어, 상기 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성된 기판 개구(106), 및
    상기 밀봉면을 적어도 부분적으로 바라보는 탄성 튜브(116)를 포함하며,
    상기 탄성 튜브는, 가스 공급부(136)를 연결하기 위한 연결부를 가지며 동작 동안 팽창 및 수축하도록 구성되고,
    강성 바아(124)가 상기 탄성 튜브(116) 내에 배치되고, 상기 강성 바아(124)는 강성 튜브이며,
    상기 탄성 튜브(116)는 상기 강성 바아(124)에 의해 상기 장치(100) 내의 고정된 위치에 유지되고, 상기 강성 튜브의 내부는 상기 강성 튜브 및 상기 탄성 튜브 사이의 공간과 유체 연결되는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밀봉면에 대향하여 상기 본체 내에 형성되는 리세스(110)를 더 포함하고, 상기 리세스(110)는 U자 형상이거나 상기 탄성 튜브의 종방향 축선에 직교하는 부분에서 반-원 단면을 가지는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    튜브 장착 개구에 각각 배치되는 하나 이상의 플러그(130)를 더 포함하고, 상기 하나 이상의 플러그는 장착 개구 밀봉면에 대해 상기 탄성 튜브(116)를 가압하는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하나 이상의 플러그는 강성 바아(124)를 유지하는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 탄성 튜브(116)는 상기 리세스에 적어도 부분적으로 배열되는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 밀봉면(108)은 상기 기판 개구(106)에 형성되는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  7. 삭제
  8. 제2항에 있어서,
    상기 본체(104)는, 상기 탄성 튜브와 상기 강성 바아로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 요소를 장착하기 위해, 상기 리세스(110)의 종방향 축선(X)의 방향으로 상기 리세스를 연장시키는 하나 이상의 튜브 장착 개구(126)를 포함하는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 하나 이상의 튜브 장착 개구(126)는 원주 방향 튜브 장착 개구 밀봉면(128)을 갖고, 상기 탄성 튜브는 상기 하나 이상의 튜브 장착 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록 상기 튜브 장착 개구 밀봉면(128)에 대해 가압되는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치.
  10. 가요성 기판을 처리하기 위한 기판 처리 기구로서,
    제 1 챔버(12) 및 상기 제 1 챔버로부터 분리된 제2 챔버(14); 및
    제1항 또는 제2항에 따른 장치;를 포함하고,
    상기 장치는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이의 유체 연결을 선택적으로 개방 또는 폐쇄하는,
    기판 처리 기구.
  11. 가요성 기판(16)용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법으로서,
    밀봉면(108)을 갖는 본체(104)를 제공하는 단계 ― 기판 개구(106)는 상기 본체에 형성되어 상기 가요성 기판에 의해 횡단되도록 구성됨 ― ;
    탄성 튜브(116)가 적어도 부분적으로 상기 밀봉면(108)을 향하도록, 상기 탄성 튜브(116)를 상기 본체 내로 삽입하는 단계 ― 상기 탄성 튜브는 연결부를 갖고 동작 동안 팽창 및 수축하도록 구성됨 ― ;
    상기 탄성 튜브를 강성 바아(124) 주위에 배열하는 단계 ― 상기 강성 바아(124)는 강성 튜브이며, 상기 탄성 튜브(116)는 상기 강성 바아(124)에 의해 장치(100) 내의 고정된 위치에 유지되며, 상기 강성 튜브의 내부는 상기 강성 튜브 및 상기 탄성 튜브 사이의 공간과 유체 연결됨 ― ; 및
    상기 탄성 튜브의 상기 연결부를 가스 공급부(136)에 연결하는 단계;를 포함하는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 장치는 상기 밀봉면에 대향하여 상기 본체 내에 형성되는 리세스(110)를 더 포함하고,
    상기 방법은,
    상기 탄성 튜브(116)를 상기 리세스 내로 적어도 부분적으로 삽입하는 단계를 포함하는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 본체는 상기 리세스를 상기 리세스의 종방향 축선의 방향으로 연장시키는 하나 이상의 튜브 공급 개구(126)를 포함하고, 상기 탄성 튜브는 상기 튜브 공급 개구를 통해 상기 리세스에 도입되는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 하나 이상의 튜브 공급 개구를 통과하는 방향으로의 유체 유동이 방지되도록, 상기 탄성 튜브를 상기 하나 이상의 튜브 공급 개구의 원주 방향 튜브 공급 개구 밀봉면(128)에 대해 가압하는 단계를 더 포함하는,
    가요성 기판용 챔버 입구 또는 챔버 출구를 밀봉하기 위한 장치를 조립하는 방법.
  15. 삭제
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