JP4095984B2 - スライド弁 - Google Patents
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Description
4 開口部
5 スライド弁
6 ハウジング
7 スライドプレート
8、10 封止駆動装置
9、11 シール面
Claims (18)
- 連続する2つのモジュール(1、2)或いはチャンバを分離するためのスライド弁(5)、特にコーティングユニット用のスライド弁(5)であって、前記モジュールは、内部を異なる圧力レベル、例えば真空と大気圧に調整できるものであり、開口部(4)が貫通するハウジング(6)内には少なくとも一枚のスライドプレート(7)が設けられ、該スライドプレート(7)は、開口部(4)を開放する非作動位置と、完全に開口部(4)を覆う動作位置との間を双方向に移動可能であり、スライドプレート(7)の面積は開口部(4)の自由横断方向断面より大きく、ハウジング(6)内の前記スライドプレート(7)の両側に、少なくとも1つずつ封止駆動装置(8、10)を有しており、該封止駆動装置(8、10)はそれぞれ、ハウジング(6)に強固に取付けられており、動作位置にあるスライドプレート(7)に作用するように作動させることができるスライド弁において、
ハウジング(6)は、前記スライドプレート(7)の両側に、1つずつシール面を有しており、該シール面は互いに対向し、それぞれ前記貫通開口部(4)を取り囲んでおり、封止駆動装置(8、10)の一方により、スライドプレート(7)を挟んで前記封止駆動装置(8、10)の反対側に設けられたシール面(11、9)に対し、動作位置にあるスライドプレート(7)を付勢することにより密閉接触するように構成されており、前記各封止駆動装置(8、10)は前記各シール面(9、11)の領域の内側に配置されていることを特徴とするスライド弁。 - 前記スライドプレート(7)が、上から吊設されており、封止動作方向に変位可能である、請求項1に記載のスライド弁。
- 前記スライドプレート(7)は、単純な、滑らかで薄いプレートとして形成されている、請求項1又は2のいずれか1項に記載のスライド弁。
- ハウジング(6)が少なくとも2つの好ましくは互いにねじ止めされる部分(6.1、6.2)を含み、該2つの部分の間にはスライドプレート(7)のためのガイドスロット(6S)が形成されており、前記ガイドスロット(6S)は前記開口部の軸に対して角度が付けられたもの、特に垂直に形成されたものであり、該スロットは、その片側において、開口部(4)を開放する非作動位置に置かれたスライドプレート(7)を十分収容できる開口部(4)の拡大部を含むと共に、その反対側において、スライドプレート(7)が適切に挿入されて動作位置となることを許容する開口部(4)の延長部を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 組み付けられた位置において、開口部(4)の下方に位置するガイドスロット(6S)の部分は、前記スライドプレート(7)の進入を許容するリップシール(12)により覆われている、請求項4に記載のスライド弁。
- 前記スライドプレート(7)のための各封止駆動装置(8、10)及び各シール面(9、11)は、ガイドスロット(6S)の壁に配置又は埋設されている、請求項4又は5に記載のスライド弁。
- 各封止駆動装置(8、10)は、流体の圧力により作動させることができ、少なくとも閉じた区画を有し、該区画は流体圧接続を有すると共に少なくとも1つの可動壁部分を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 前記封止駆動装置は、前記開口部の周縁に沿って均等に配置された複数の個別の閉じたチャンバである、請求項1〜7のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 封止駆動装置(8、10)は、開口部(4)の上下に配置された2つの閉じたセグメントからなる、請求項1〜7のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 封止駆動装置(8、10)は、前記開口部(4)の周りに延設された、円周状に閉じた個別のチャンバである、請求項1〜7のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 前記シール面(9、11)が環状シールを有し、該環状シールに対し前記スライドプレート(7)が前記封止駆動装置(8、10)により押圧される、請求項1〜10のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 前記環状シール(9、11)及び封止駆動装置(8、10)は、開口部(4)の境界の周りに、平行な経路で配置されている、請求項11に記載のスライド弁。
- 封止駆動装置(8、10)の前記可動壁は、加圧されると前記スライドプレート(7)に直接的に作用する、請求項1〜12のいずれか1項に記載のスライド弁。
- 前記スライドプレート(7)を非作動位置と動作位置との間で調節するための少なくとも1つのアクチュエータ(7A)、特に並進アクチュエータを有する、請求項1〜13のいずれか1項に記載のスライド弁。
- スライドプレート(7)が、調節方向に対して横断方向にフレキシブル且つ前記ハウジング(6)を貫通するような接続手段により、少なくとも1つのアクチュエータ(7A)に結合されている、請求項14に記載のスライド弁。
- 処理のための、特に通過する基材をコーティングするための装置であって、通路開口部(4)を介して相互接続された少なくとも2つのモジュール(1、2)と、前記開口部(4)を封止するための、請求項1〜15のいずれか1項に記載の少なくとも一つのスライド弁(5)とを含む装置。
- スライド弁(5)のハウジング(6)が、隣接するモジュール(1、2)の一方の内壁に取り付けられている、請求項16に記載の装置。
- スライド弁のハウジング(6)が、前記隣接する2つのモジュール間の溝に取り付けられている、請求項17に記載の装置。
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