KR100659746B1 - 진공 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 통과 기지의 연속 코팅용 진공 처리 장치, 바람직하게는 적어도 2개, 바람직하게는 다양한 인접 배치 챔버(20, 30) 또는 챔버 영역(21, 22, 31, 32, 33)을 구비하고, 하나 또는 다양한 챔버 격벽 및/또는 분리 격벽에 의해 서로 분리되고 상기 챔버 격벽 및/또는 분리 격벽에 존재하는 개구부(4), 바람직하게는 상기 기지의 통과를 위한 슬롯화 잠금장치를 통해 서로 연결된 유리 코팅 장치에 관한 것으로, 상기 적어도 하나의 개구부가 챔버 및/또는 챔버 영역의 진공 밀봉 분리용 밸브 장치(5)에 의해 진공 밀봉 방식으로 폐쇄될 수 있고, 상기 밸브 장치가, 상기 챔버 격벽 및/또는 분리 격벽 내부상의 챔버 내부에 분리가능하게 부착되며, 개구부(4)의 진공 밀봉 폐쇄를 위하여 하우징(6) 및 내부에서 이동할 수 있는 밸브 리드(7)를 포함하고, 상기 하우징(6)이 상기 챔버 격벽 또는 분리 격벽에 분리가능하게 부착된다.

진공 처리 장치, 유지 밸브, 연속 코팅, 밸브 장치

Description

진공 처리 장치{VACUUM TREATMENT UNIT}

도 1은 상이한 챔버 및 챔버 영역(구획)을 구비한 유리 코팅 장치의 길이 절단 개략도이다.

도 2는 슬라이드 판의 작동 위치에서 관찰된 본 발명에 따른 슬라이드 밸브의 교차 단면 개략도이다.

도 3은 슬라이드 판의 비활성 위치에서 관찰된 비교 교차 단면 개략도이다.

본 발명은 아래에 기재된 특징에 따른 진공 처리 설비에 관한 것이다.

진공 처리 설비, 특히 상이한 공정이 수행될 수 있는, 인접하여 위치한 다양한 챔버 또는 챔버 영역(구획)을 통하여 코팅되어질 유리 기지가 연속적으로 전해지는 본 발명 용기의 유리 코팅 설비가 널리 사용되고 있다.

상이한 챔버 영역(구획)에서 수행되는 공정들간의 상호 간섭을 방지하기 위하여 상기 구획 또는 영역은 일반적으로 상이한 구획을 보유하고 개별적으로 펌핑 되는 진공-밀봉 방식으로 서로 분리되어지고, 상기 코팅되어질 기지를 한 구획에서 또 다른 구획으로 이동할 수 있도록 소위 슬롯화 잠금장치(slotted locks)가 구획, 즉 챔버들 사이에 통합된다. 상기 구획, 즉 챔버들 사이에서 슬롯형 개구부(opening) 형태로 본질적으로 제조되는 이와 같은 슬롯화 잠금장치를 사용함으로써, 한 측면상에서는 상기 유리 기지를 밸브 또는 잠금장치의 어떠한 부가적인 활성화 과정없이 해당 컨베이어 장치, 예를 들면 로울러 컨베이어상에서 창유리(pane) 형태로 계속적으로 이동시키는 것을 가능하게 하고, 다른 측면상에서는 인접한 구획들간의 바람직하지 않은 대기 변화를 방지한다.

그럼에도 불구하고, 공급자 캐소드(feeder cathode)의 유지 보수 또는 교환시 코팅 장치 전체를 통기시키지 않으면서, 유지 보수 또는 교환 작업에 영향을 받는 부위만 통기시키기 위하여, 일반적으로 특정 구획 또는 챔버 사이에 추가의 분리 밸브를 통합시키며, 이는 상기 구획 또는 챔버의 전체 기체 밀봉 또는 진공 밀봉 분리를 가능하게 한다.

요구되는 상기 분리 밸브의 진공 밀봉 배치 및 상기 구획에 포함된 처리 또는 측정 도구를 이용한 필요한 조정에 기초하여, 유리 코팅 장치의 제조과정중에 분리 밸브의 공간 및 배치가 미리 결정되고 고정되어, 정교하게 한정되며, 이들 영역들이 분리 밸브를 통하여 순차적으로 상호 잠금될 수 있다.

본 발명의 목적은 진공 코팅 장치, 특히 자체의 제조 뿐만 아니라 이의 효과 적이고 다양한 사용을 가능하게 하는 연속적으로 작동하는 유리 코팅 장치를 제공하는 것으로 구성된다.

이와 같은 과제는 청구항 1의 특징을 갖는 진공 처리 장치, 및 이의 종속항들의 목적에 부합하는 바람직한 실시예들로 해결된다.

발명자들은 예를 들면, 적층 순서를 변경함으로써 발생된 코팅 공정의 변화기간동안 다양한 코팅 또는 처리 도구를 구비한 구획들의 가능한 다양한 점유가 일어나야 하고, 결과적으로 상기 분리 밸브의 미리 결정된 배치가 변화된 코팅 공정에 적합한 유지 보수 작업에 더 이상 적합하지 않으므로 다양하고 효과적인 사용과 관련된 상당한 단점이 분리 밸브가 제조시 단단하게 고정 통합된 유리 코팅 장치에 존재한다는 것을 인식하였다.

본 발명에 따르면, 상기 분리 밸브가 상이한 챔버 또는 챔버 영역 내부에 개별적으로 부착되어 필요한 경우 유리 코팅 장치 또는 진공 처리 장치에서 다른 분리 영역을 생성하도록 상기 분리 밸브가 언제나 자신의 배치를 바꾸거나 변경할 수 있다는 사실에 기인하여 이와 같은 문제점이 해결될 수 있다.

상기 분리 밸브, 즉 밸브 장치를 상당한 공간을 추가로 요구하는 인접 챔버 사이의 분리 하우징(housing)으로 통합할 필요는 특별히 없지만, 상기 밸브 장치가 상기 챔버 및/또는 분리 격벽의 내부에 바람직하게 부착되어 중간의 분리 밸브의 통합으로 인한 인접 챔버의 거리를 둔 배치를 효과적으로 억제된다.

바람직하게는, 밸브 장치와 챔버가 부착되는 챔버 및/또는 분리 격벽상의 본질적인 변화없이 밸브 장치가 상기 섹션으로 장착될 수 있거나 이로부터 다시 제거될 수 있는 방식으로 밸브 장치와 챔버 모두가 제조된다.

일 측면상에 위치한 상기 밸브 장치, 및 다른 측면에 위치한 이에 통합된 기지 처리 도구 및 기지 수송 장치를 구비한 챔버가 챔버 내부, 즉 챔버 또는 분리 격벽에 위치한 처리 도구 및 수송 장치와는 독립적으로 상기 밸브 장치가 장착될 수 있도록 서로 동조되는 방식으로 존재할 경우 또한 유리하다. 이는 분리 밸브, 즉 상기 밸브 장치가 특히 작은 치수를 특징으로 하고, 처리 도구 및/또는 수송 장치와의 충돌을 예방하기 위하여 특별히 평면 방식으로 제조될 경우 특히 달성될 수 있다.

챔버 내부에 밸브 장치(분리 밸브)가 이동가능하게 부착 배치되기 때문에, 분리 밸브의 조립 또는 제거가 챔버의 무변화를 의미하거나, 적어도 이의 조립 또는 제거 후 처리 도구 및 수송 장치의 챔버 내부 배치를 의미할 뿐만 아니라, 챔버의 상호 위치 변화를 의미하며, 이들은 일반적으로 함께 구현될 수 없다. 또한, 상기 챔버 사이로 개개의 분리 밸브 하우징을 추가로 통합하는 과정이 삭제된다.

바람직하게는, 상기 밸브 장치가 하우징을 특징으로 하며, 상기 하우징을 이용하여 밸브 장치가 챔버 내부, 즉 챔버 격벽 또는 구획 격벽에서 진공 밀봉 방식, 즉 기체 밀봉 방식으로 통합될 수 있다. 이와 같은 경우, 진공 밀봉(Vacuum-tight)이란 폐쇄 밸브 리드(lid)를 사용하여 구획, 즉 챔버 영역의 진공 밀봉 분리, 즉, 기체 밀봉 분리를 보증함으로써 밸브 하우징과 나란한 분리 격벽 또는 챔버 격벽의 견고성을 보증하기 위하여, 밀봉이 특히 상기 기지의 통과 개구부로부터 방사방향으로 출발하고, 연결부에 제공되는 것을 의미한다.

바람직하게는, 상기 밸브 장치, 즉 자체 하우징을 구비한 분리 밸브가 상기 슬롯화 잠금장치의 영역에 존재하는 설치 지지대를 관통하여 챔버, 즉, 분리 격벽에 배치되고, 집게형이 바람직한 상기 설치 지지대가 상기 인접 챔버 격벽 또는 통과 개구부 근처의 분리 격벽을 수용한다. 이것은 챔버 또는 구획에서의 대규모의 변화없이 매우 간단한 부착을 보증한다.

바람직하게는, 상기 설치 지지대 및 분리 격벽, 즉, 챔버 격벽이 이와 같은 지점에서 특히 밀봉된 결합을 형성하기 위하여 보완적 상호 맞물림 계단을 특징으로 한다.

바람직하게는, 슬라이드 밸브 또는 플랩(flap) 밸브로서 예상될 수 있는 상기 분리 밸브가 폐쇄 단계중 회전 운동 또는 활주 운동을 수행하는 밸브 플랩을 특징으로 할 수 있으며, 양 방향으로 상기 개구부를 폐쇄할 수 있어서 상기 밸브 장치를 진공 또는 대기압 조건하에서 한 측면 또는 다른 측면상에 장착할 수 있는 슬라이드 밸브로 제조될 수 있다. 부합된 방식으로, 도시된 바와 같이 수송 방향으로 밸브 장치가 챔버 격벽 또는 분리 격벽의 전방 또는 후방에 다양하게 설치될 수 있다.

본 발명의 보다 상세한 설명과 유리한 효과는 아래에 기술한 바람직한 실시예를 도시한 도면과 이들의 상세한 설명을 통하여 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 상이한 구획들(21, 22, 31, 32, 33)로 세분화되는 2개의 인접 챔버(20, 30)를 구비한 유리 코팅 장치의 일부 교차 단면을 도시하고 있다.

기지의 진행 방향으로, 챔버(30)가 챔버 플랜지(flange)로서 제조된 챔버 격벽(34, 35)으로 제한되고, 반면에 챔버(30)의 챔버 격벽(34)에 인접한 챔버(20)는 챔버 플랜지 형태의 챔버 격벽(23)을 특징으로 한다.

구획들(21, 22, 31, 32, 33)은 상기 개구부(4)가 기지 통과용 슬롯화 잠금장치로 작용할 때까지 돌출된 분리 격벽(24, 36, 37)에 의해 챔버(20, 30) 내부에서 서로 진공 밀봉 분리된다.

코팅 절차를 위한 진공 조건을 조절하기 위하여 구획들(21, 22, 31, 32, 33)을 펌핑하도록 설계된 상부 섹션 펌핑 장치(40)가 챔버(20, 30)에 제공된다.

구획, 즉 챔버 제조가 본질적으로 동일한 구획 내부에서, 예를 들면 코팅 공정, 측정 또는 유사 행위와 같은 상이한 공정 또는 작업 단계가 실현될 수 있거나, 이들이 상이한 코팅 도구를 구비한 구획들 사이에서 기체 분리 단계로 사용될 수 있다. 예를 들면, 구획(22)은 측정 구획으로 제조되고, 구획(31, 33)은 회전가능한 이중 마그네트론 캐소드(cathode)(50)를 구비한 코팅 구획으로 제조되는 반면에 구획(30)은 예를 들면 펌프 구획으로 제조된다.

기지는 슬롯화 잠금장치 형태로 개구부(4)를 관통하여 발생하는, 한 구획에서 또 다른 구획으로, 즉 챔버 사이로 전이하면서 바람직하게는 상이한 컨베이어 롤러(61)를 구비한 컨베이어 장치에서 상이한 구획을 관통하여 점선(60)을 따라 이동한다.

특히 코팅 구획으로 제조된 구획(31, 33)에서, 칸막이 장치(80)가 분리 밸브(36, 37) 및/또는 챔버 격벽(34, 35)에 통합될 수 있다.

유지 보수 작업시, 상기 유리 코팅 장치의 일부분에만 통기할 수 있도록 분리 밸브(5)의 다양한 배치를 통하여 진공 밀봉 방식으로 상이한 챔버 영역(구획) 또는 챔버를 잠금할 수 있다. 예를 들면, 장치의 잔여 섹션을 통기할 필요없이 내부 캐소드(50)를 교환할 수 있도록 예를 들면, 일 측면상의 분리 격벽(36) 및 다른 측면상의 챔버 격벽(23, 24)에 분리 밸브(5)를 구비한 구획(31)을 진공 밀봉 잠금할 수 있다.

유지 보수 작업을 위한 전체적인(global) 장치의 추가의 분리를 궁극적으로 요구할 수 있는 코팅 공정의 변화중 본 발명에 따른 상기 분리 밸브(5)가 분리 격벽(24, 36, 37) 또는 챔버 격벽(23, 34, 35)에 분리가능하게 부착되기 때문에, 상기 분리 밸브들이 상기 분리 격벽 또는 챔버 격벽으로부터 제거되어, 다른 분리 격벽 또는 챔버 격벽에 부착될 수 있다. 분리 밸브(5)가 각각의 챔버 격벽 및/또는 분리 격벽상에 개별적으로 배치될 수 있어서, 코팅 장치의 임의의 각 성분들이 진공 밀봉 조건에서 임의로 폐쇄될 수 있다는 것이 필수적이다.

바람직한 분리 밸브(5)의 이후 기술된 배치에 기초하여, 상기 분리 밸브를 상기 챔버 격벽, 즉 구획 격벽의 전방 또는 후방에 기지의 수송 방향으로 통합하는 것이 또한 바람직하게 가능하며, 이는 양쪽 밀봉 방향 모두로의 밀봉 방향을 가능하여 분리 밸브(5)의 일 측면 및 다른 측면 모두에서 대기압 또는 진공 조건이 우세할 수 있다는 것을 추가로 보증한다.

도 2는 보다 확장된 규모에서 구획(22)에서 도면 평면을 수직으로 향하는 통 과 개구부(4)를 구비한 구획(31)까지의 전이 지점에 위치한 교차 단면이 육안으로 관찰되는 높이보다 큰 치수를 갖는다는 것을 분명하게 증명할 수 있다, 즉 슬롯화 형태로 간주될 수 있지만, 전체적으로는 가장 작은 가능한 자유 교차 단면으로 제조된다는 것을 도시하고 있다. 바람직한 사용의 경우, 폭이 3m 이상인 매끄러운 유리 패널을 통과시킬 수 있도록 충분히 커야만 한다.

하기에 기술될 개구부(4)가 슬라이드 밸브로 닫혀져 있을 경우 및 예를 들면 모듈(31) 안이 진공 상태인 반면에, 모듈(22)은 통기될 경우, 어떠한 형태의 측부전류(collateral current) 형성을 억제하기 위하여 2개의 챔버 모두가 밀봉되어 단단하게 상호연결된 개구부(4) 영역에서 관찰될 수 있다.

처음에는, 상기 슬라이드 밸브(5)가 2개의 하우징 섹션(6.1, 6.2)으로 하우징(6)을 둘러싼다. 상기 하우징(6)이 특히 우수하게 밀봉되고, 상이한 성분으로 구성되어 있는 것은 물론이다. 여기서 예를 들면 2개의 하우징 섹션(6.1, 6.2) 사이의 슬롯에 위치한 밀봉 링(6D), 및 대체적으로 개구부(4) 영역에서 하우징(6)이 부착되어 있는 하우징 섹션(6.2)과 보유 격벽(70) 사이의 슬롯에 위치한 또 다른 밀봉 링(79)을 당업자가 인식할 수 있다.

대체적으로 하우징(6)은 개구부(4)에 의해 동등하게 고정된다. 즉, 이는 자유 및 연속 교차 단면을 갖는 상기 개구부(4)의 확장을 형성하는 채널을 특징으로 한다.

당업자는 관련기술에 대한 최초의 지적 상태와는 대조적으로 본 발명의 슬라이드 밸브가 2개의 모듈(22, 31) 사이에 조립될 필요는 없지만, 이의 하우징(6)은 모듈(22)의 내부 섹션의 일측에 배치될 수 있다는 것을 인식할 수 있다.

2개의 하우징 섹션(6.1, 6.2)이 섹션 사이에 안내 슬롯(6S)을 형성하며, 상기 안내슬롯에서 슬라이드 판(7)이 감소된 측면 간극으로 매달림 방식, 즉 이의 주요 영역을 향하여 수직 방향으로 관찰되는 방식으로 조립된다. 이것은 활주 작동기(7a)상에 매달려있지만, 자세히 표시하지는 않았다. 측면 편향을 가능하게 하기 위하여 여기에 자세히 도시되지는 않은 이의 조절 성분이 상기 슬라이드 판(7)과 충분하게 연결된다. 작동기(7a)와 상기 슬라이드 판(7) 사이의 이와 같은 연결은 하우징(6)을 고정시킨다.

(수직) 안내 슬롯(6S)은 상기 통합 슬라이드 판과 동일한 방식으로 수송판(60)의 양 측면상의 구획에서 개구부(4)의 (수평) 통과 장치를 향하여 횡단하여 연장된다. 이의 본질적인 세로 섹션은 상기 수송판(60) 상부에 위치하지만, 작은 섹션이 또한 이의 하부에 위치할 것으로 예상된다.

안내 슬롯(6S) 내부에서 슬라이드 판(7)은 개구부(4)가 완전히 개방되고 기지가 통과할 수 있는 비활성 위치와 슬라이드 판(7)이 슬롯화 개구부(4)을 완전히 덮고 있는 여기에 도시된 작동 위치 또는 폐쇄 위치 사이에서(도 3 참조) 작동기(7a)에 의해 가역적으로 활성화될 수 있다.

비활성 위치에서, 슬라이드 판(7)은 안내 슬롯(6S)의 상부 섹션으로 완전히 통합되고, 작동 위치에서 하부 가장자리는 안내 슬롯(6S)의 하위 섹션으로 칼날과 유사한 방식으로 통과하며, 반면에 이의 상부는 여전히 상부 섹션에 남아있다. 어떠한 곳에서라도 슬라이드 판(7)이 개구부의 경계를 커버하는 것이 필수적이다.

작동기(7a)에 의한 슬라이드 판(7)의 가역적 운동은 안내 슬롯(6S)에서 매우 촘촘한 안내 작용없이, 즉 무시할 수 있는 마찰율로 최초에는 자유롭게 발생한다. 결과적으로, 작동기(7a)에 너무 격렬한 조절 동력을 적용해서는 안된다. 이것은 예를 들면, 공기 또는 수력 리프팅 실린더, 랙-및-피니언 드라이브(rack-and-pinion drive) 또는 전자기장 선형 엔진일 수 있다. 이것은 긴 행정(stroke)(몇 센티미터)을 수행하여서는 안되며, 자체의 작업 위치에서 비교적 표면적으로만 밀봉판을 위치시킬 수 있어야 한다.

기술되어질 슬라이드 판(7)이 심지어 오직 일부의 행정을 위해서라도 선형 드라이브(7a)의 조정 방향을 향하여 수직으로 이동가능할 수 있어야만 하기 때문에 슬라이드 판과 작동기의 결합은 이미 약술한 바와 같이 어떠한 경우에서도 특정 정도의 신축성 또는 분절성을 요구한다. 이를 위하여, 예를 들면 작동기(7a)의 조정 성분 말단에 2개의 측면이 하나 또는 2개 이상의 축을 통하여 서로 연결되어 있고, 축상에 상기 슬라이드 판(7)이 요구되는 방식으로 이동가능하게 매달려있는 포크가 배치될 수 있다.

슬라이드 판(7)이 도면 평면을 수직으로 향하여 다양한 미터 길이에 걸쳐 최종적으로 연장될 경우 작동기(7a)가 다양한 유사 동시간적 명령 작동기를 나타내는 것으로 이해되어야 한다.

하우징(6.1)의 왼쪽 절반 부분에 일차 폐쇄 장치(8)가 제공된다. 이것은 바람직하게는 개구부(4)의 전체 외주면을 감싸는 하우징 격벽의 외주형 환상 슬롯으로 주입되는 부풀릴 수 있는 밀봉으로 제조된다. 이와 같은 폐쇄 드라이브(8)와 기 능적으로 부합하는 환상 밀봉(9)이 제공되며, 상기 환상 밀봉(9)은 하우징(6.2)의 반대편 절반 부분의 격벽에서 환상 슬롯으로 삽입되고, 개구부(4)를 전체적으로 감싼다.

도시된 실시예에서, 상기 폐쇄 장치(8)에 대하여 정확하게 반대되는 (안내 슬롯(6S) 및 슬라이드 판(7)의 중간 평면에 대하여), 하우징 섹션(6.2)의 반대 격벽에서 폐쇄 장치(8)와 동일한 형태의 이차 폐쇄 장치(10)가 삽입된다. 이차 폐쇄 장치(10)는 환상 밀봉(9)으로 둘러싸인 영역 내부에 위치한다.

폐쇄 장치(10)를 사용하여 하우징 섹션(6.1)의 격벽으로 삽입되는 환상 밀봉(11)은 폐쇄 장치를 외주면에 포함한 환상 밀봉(9)과 정확하게 반대방향으로 다시 기능적으로 부합한다.

폐쇄 장치(8, 10)가 밀봉링(9, 11)으로 둘러싸인 영역의 내부 또는 외부에 위치하는지 여부는 실질적으로 실시예를 조건으로 한다. 마지막 경우, 폐쇄 장치는 폐쇄 측면상에서 진공 영향으로부터 보호된다. 첫 번째 경우, 폐쇄 장치는 즉, 진공 챔버에서 발생되어 개구부 및 밸브까지 도달할 수 있는 코팅 입자의 바람직하지 않은 증착물을 방지하기 위하여 동일한 측면에 위치한 폐쇄링의 과다 분사로부터 보호한다.

앞서 지적한 바와 같이, 튜브 타이어와 유사한 동일한 외주 챔버로서 폐쇄 장치(8 및/또는 10)를 제조할 강제적인 필요성은 없다. 특히, 주변을 둘러싸는 방식으로 폐쇄 장치를 제공하는 대신에 오직 개구부(4)의 양 측면상에 2개의 평행한 길고 연장된 구획으로서 폐쇄 장치를 제공하는 것이 고려될 수 있다. 이는 또한 과 다분사에 대한 밀봉링의 본질적인 보호를 보장한다.

또한, 많은 수의 각 챔버들이 명백하게 유체학적으로 서로 연결되고, 압력에 동시간적으로 노출되는 밀봉 표면의 외주면을 따라서 균이하게 분포될 수 있다.

슬라이드 판이 오직 한 방향으로 밀봉 위치에 준비되어야 할 경우 오직 하나의 폐쇄 드라이브가 예상될 수 있다는 것이 본 발명의 문맥에서 예상된다.

본 명세서에서 설명된 폐쇄 드라이브들(8, 10)의 원주 배치는 그들의 외부 섹션의 적당한 배치를 통하여 이들이 슬라이드 판(7)의 매끄러운 표면상에서 이차 밀봉으로서 지지되어, 이들의 내부 영역이 압력을 받는한 밀봉링(9, 11)의 밀봉 작용을 강화시킨다는 장점을 제공한다.

수송판(60) 하부, 개구부(4) 및 안내 슬롯(6S) 영역에서 하우징 내부에 영구적으로 탄력적인 물질로 이루어진 스트립(12)이 상호 교환가능하게 부착된다. 이는 수송판 하부에 위치된 안내 슬롯(6S) 섹션을 폐쇄하고, 안내 슬롯(6S)의 하부 섹션으로의 입자 통과를 억제한다. 일단 이것이 작업 위치로 이동되면 립(lip) 밀봉으로 구분되어 제조되고, 슬라이드 판(7)의 자유로운 통과가 허용된다.

폐쇄 드라이브(8, 10) 뿐만 아니라 밀봉링(9, 11)이 어느 정도로 각각의 하우징 격벽에 도입되고, 즉 최종적으로 하위 압력(subpressure)에 노출되어 이에 주입될 수 있어서, 비활성 및 작업 위치간의 역 운동중에 슬라이드 판(7)과의 접촉에 의한 손상 또는 마찰만을 배제시킬 수 있다는 것은 당연하다.

또한, 폐쇄 드라이드(8, 10)중 하나에 압력이 가해질때 적당한 보호 측정을 통하여 작동자(7a)의 활성화가 당연하게 억제되어져야 한다. 폐쇄 드라이브(8, 10) 중 하나의 활성화 조건에서 슬라이드 판(7)의 단순한 수동 활성화는 어떠한 경우에도 강한 압축력에 기인하여 불가능하게 되어야 한다.

하우징 성분(6.1, 6.2)의 두께와 비교하여 슬라이드 판(7)이 매우 얇고 가벼운 방식으로 제조될 수 있다고 사료된다. 심지어 이들이 이상적인 밀봉판으로부터의 작고 긴 파형 이탈을 증명하여야 할 경우라도 폐쇄 드라이브(8, 10)에 의해 유발된 폐쇄력의 가능한 균일한 분포와 협력하여 슬라이드 판(7)이 밀봉링(9) 각각(11)의 경로에 대하여 자체적으로 정확하게 조절할 수 있을 것이다.

조절할 경우, 서로 분리된(여전히 또는 다시) 2개의 모듈 압력이 동일할 때, 즉 예를 들면 양 측면상에 대기압 또는 진공이 적용될 때, 슬라이드 판(7)이 작동자(7a)에 의해 활성화될 것이다.

일단 이의 작동 위치에 도달하면(이의 하부 가장자리가 안내 슬롯(6S)의 하부에 가려지고), 이후 (여전히 형성되어질) 여전히 중성화되어질 압력 차이의 방향에 따라서(예를 들면 모듈(31)에서는 진공이고, 모듈(22)에서는 대기압이거나, 반대의 경우), 바람직하게는 낮은 압력 수준에 직면하지 않는 폐쇄 장치가 활성화될 때 폐쇄 드라이브(8, 10)중 어느 하나가 내부 압력이 되기 쉽다.

예를 들면, 만일 슬라이드 밸브(5)의 폐쇄 위치에서 진공이 모듈(31)에 적용되어야 한다면, (왼쪽) 폐쇄 장치(8)가 활성화될 것이다. 이의 횡단 튜브 섹션의 결과적인 인플레이션 때문에 슬라이드 판(7)이 (오른쪽) 환상 밀봉(9)에 대항하여 힘을 받게 될 것이다.

반면에 만일 슬라이드 밸브(5)의 폐쇄 위치에서 모듈(22)의 압력이 모듈(31) 의 압력보다 작게 되어야 한다면, (왼쪽) 환상 밀봉(11)에대항하여 슬라이드 판(7)을 이동가능하게 힘을 가하기 위하여 (오른쪽) 폐쇄 드라이브(10)가 활성화될 것이다.

이와 같은 측정으로, 과도한 압력 차이(진공에 대한 내부 압력)를 갖는 폐쇄 드라이브(8) 각각(10)의 연질 볼록 표면의 하중이 억제된다.

분명히, 슬라이드 판(7)의 한쪽 측면상의 보다 강한 압력이 환상 밀봉(9) 각각(11) 상에서 여전히 보다 강한 압력을 발휘하게 하기 때문에 모듈(22, 31)간의 압력 차이가 증대 형성되고 있는 폐쇄 드라이브(8) 각각(10)의 압축력이 보다 강화되고 있다.

또한, 밀봉 드라이브(8, 10)가 밀봉 작용을 보증하는 효과적인 밸브 드라이브라는 것이 자명하다. 작동자(7A)는 압력 차이의 방향과는 별개로 이의 전체 작업 위치로 상기 슬라이드 판을 위치시킬 것을 사료된다. 결론적으로, 즉 폐쇄 드라이브(8, 10)중 하나를 선택적으로 활성화시킴으로써 통합 슬라이드 판(7)의 슬라이드 밸브(5)의 효과적인 밀봉 작용이 여기서 양쪽 방향으로 사용될 수 있다.

밀봉 기능을 갖는 성분들로 특징되는 상기 기술되고 슬라이드 밸브(5)에 도시된 시행예가 반사 대칭형으로 제조되고, 이로써, 슬라이드 판(7)의 평면상에서 높은 압력 차이를 양쪽 방향으로 지탱하기 쉽다는 것을 알 수 있다. 그러나, 폐쇄 드라이브(8) 및 환상 밀봉(10) 또는 폐쇄 드라이브(9) 및 환상 밀봉(11)이 제거될 경우 오직 하나의 밀봉 방향에 대한 실시예를 상상할 수 있다.

슬라이드 밸브(5)에 의해 제거되어지는 압력 차이의 감소 후, 마침내 또한 앞서 활성화된 폐쇄 드라이브(8 또는 10)의 활성화 수축후 작동자(7a)가 이의 비활성 위치쪽으로 슬라이드 판을 다시 이동시킬 수 있다. 결국, 환상 밀봉(9 또는 11)로부터의 슬라이드 판(7)의 완화는 여기에는 도시되지 않은 평평하거나 컵 모양의 스프링에 의해 강화될 수 있으며, 이의 복원력은 폐쇄 드라이브에 의해 자연적으로 회복되어져야 한다.

도 2의 단면도에 이를 이용하여 상기 분리 밸브, 즉 슬라이드 밸브(5)가 배치되고, 상기 인접 구획(22, 31)의 챔버 격벽(23, 34)에 이의 하우징(6)을 갖는 상기 리테이너(70)가 도시되어 있다.

리테이너(70)는 일차 계단판(71, 72)을 포함하고, 상기 판은 기지 통과 방향으로 상이한 세로 및 넓이 치수를 갖는 2개의 상이한 영역(71, 72)을 특징으로 하여, 상기 일차 계단판(71, 72)이 개구부(4) 및 챔버 격벽(23)의 계단형 홈(recess)으로 주입될 수 있다.

이와 같은 절차중에 슬롯 개구부(4) 주위에 외주 배치된 밀봉(78)이 챔버 격벽(23)에 관한 상기 일차 계단판(71, 72)의 방사상 밀봉를 획득하기 위하여 상기 계단 영역에서 챔버 격벽(23)에 대항하여 지지될 것이다. 도시된 바와 같이, 상기 일차 계단판(71, 72)은 분리된 영역(71, 72)를 갖는 통합 또는 세분화 장치로서 제조될 수 있다.

개구부를 포위하고 있는 다양한 스크류를 둘러쌀 수 있는 스크류 연결(75)를 통하여 상기 일차 계단판(71, 72)이 분리 밸브, 즉 슬라이드 밸브(5)의 하우징(6)과 결합된다. 상기 일차 계단판(71, 72)과 하우징(6), 특히 하우징 섹션(6.2) 사이 의 일상적인 정지면상에 밀봉(79)이 예상되며, 밀봉은 상기 개구부를 포위하여 하우징(6)과 상기 일차 계단판(71, 72) 사이에 방사상으로 진공 밀봉 연결이 제공된다.

상기 일차 계단판(71, 72) 이후, 이차 계단판(73, 74)이 제공되며, 이차 계단판은 상기 일차 계단판(71, 72)에 대하여 반사 대칭적인 계단형 배치를 특징으로 하고, 챔버 격벽(34)의 해당 계단형 홈을 통과한다. 상기 일차 및 이차 계단판이 상호 접촉하는 정지 표면 또는 밀봉 표면(81)상에 밀봉(78)이 제공되며, 밀봉은 개구부(4)를 포위하여 상기 일차 계단판(71, 72)과 이차 계단판(73, 74) 사이에 방사상으로 진공 밀봉 연결이 제공된다. 상기 개구부를 포함하는 바람직하게는 상이한 스크류(76)로 특징되는 스크류 연결을 통하여 영역들(73, 74)을 갖는 2개의 섹션에서 제조될 수 있는 상기 이차 계단판(73, 74)이 또한 상기 개구부를 포위하는 다양한 스크류로 특징될 수 있는 스크류 연결(77)을 통하여 상기 일차 계단판(71, 72)에 연결되고, 상기 스크류가 챔버 격벽(34)에 연결됨으로써 이와 같은 방식으로 상기 리테이너 및 분리 밸브(5) 진공 밀봉를 챔버 격벽(23, 34)에 배치시키기 위하여 개구부(4)에 존재하는 상기 리테이너(70)가 스크류 연결(76)을 통하여 챔버 격벽(23, 34)의 클램프(clamp)형 가장자리 구획을 포함한다.

폐쇄 밸브 위치에서, 즉, 도 2의 슬라이드 판(7) 위치에서 구획들(22, 31) 사이의 기체 밀봉 분리가 어떠한 방식으로 설정될 수 있고, 밀봉 방향을 자유롭게 선택할 수 있어서, 분리 밸브(5)의 한 측면 및 또 다른 측면상 모두 대기압 또는 진공 조건이 우세할 수 있다.

분리 밸브(5)의 평면 배치를 사용하여 이와 같은 밸브가 챔버 격벽(23, 34)에 수송 장치(60, 61)로부터 독립적으로, 즉 수송 장치를 변경할 필요없이 배치될 수 있다.

또한, 필요한 경우, 스크류 연결(77, 76, 75)을 느슨하게 함으로써 상기 분리 밸브(5)를 간단히 제거하고 재설치할 수 있다. 이것은 장치의 모든 영역에서 분리 밸브의 다양한 사용을 가능하게 한다.

본 발명에 따라 진공 코팅 장치, 특히 자체의 제조 뿐만 아니라 이의 효과적이고 다양한 사용을 가능하게 하는 연속적으로 작동하는 유리 코팅 장치가 제공된다. 진공 처리 설비, 특히 상이한 공정이 수행될 수 있는, 인접하여 위치한 다양한 챔버 또는 챔버 영역(구획)을 통하여 코팅되어질 유리 기지가 연속적으로 전해지고 상기 진공 코팅 장치에 의해 연속적인 유리 기지의 코팅 공정이 수행될 수 있다.

Claims (16)

1. 통과 기지의 연속 코팅용 진공 처리 장치, 바람직하게는 서로 분리된 하나 또는 다양한 챔버 격벽(23, 34, 35) 또는 분리 격벽(24, 36, 37)을 통하여, 및 상기 챔버 격벽 또는 분리 격벽, 바람직하게는 기지 통과용 슬롯화 잠금장치의 개구부(4)를 통하여 상호 연결되어있는 적어도 2개의 바람직하게는 인접 배치된 다양한 챔버(20, 30) 또는 챔버 영역(21, 22, 31, 32, 33), 및 챔버 또는 챔버 영역의 진공 밀봉 분리용 밸브 장치에 의해 폐쇄될 수 있는 적어도 하나의 개구부를 구비한 유리 코팅 장치에 있어서,

   상기 밸브 장치가, 상기 챔버 격벽 또는 분리 격벽 내부상의 챔버 내부에 분리가능하게 부착되며, 상기 개구부(4)의 진공 밀봉 폐쇄를 위하여 하우징(6) 및 내부에서 이동할 수 있는 밸브 리드(7)를 포함하고,

   상기 하우징(6)이 상기 챔버 격벽 또는 분리 격벽에 분리가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 밸브 장치(5)가 챔버 격벽 또는 분리 격벽의 변경없이 부착 또는 제거를 수행할 수 있는 방식으로 챔버 격벽 또는 분리 격벽에 부착되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 일측면에 존재하는 상기 밸브 장치(5), 및 다른 측면에 존재하는 내부 배치된 처리 도구 및 기지 수송 장치를 구비한 상기 챔버가 챔버 격벽 또는 분리 격벽상 밸브 장치의 배치 또는 제거를 챔버 변경 또는 상기 챔버 내부의 처리 도구 또는 수송 장치의 배치 변경없이, 적어도 재활성화/비활성화 작업 조건에서 또는 상호 챔버 위치 변경 없이 달성할 수 있는 방식으로 상호 조절되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 하우징이 폐쇄 밸브 리드를 통하여 진공 밀봉되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 개구부(4)에 위치한 밸브 장치(5)가 리테이너(70)에 의해 분리가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 밸브 장치(5)가 진공 밀봉 방식으로 리테이너(70)상에 부착되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 리테이너(70)가 일차(71, 72) 및 이차(73, 74) 계단판을 2개의 섹션에 포함하고, 계단, 및 밸브 장치(5)의 하우징(6)을 구비한 상기 일차 계단판, 및 챔버 격벽 또는 분리 격벽을 구비한 이차 계단판를 구성하고 있는, 상이한 길이 또는 넓이를 갖는 2개의 영역을 특징으로 하는 중앙 슬롯형 개구부가 통과 방향으로 이에 제공되고, 상기 계단판이 분리가능하게 상호연결되어 있고 정지면이 밸브 하우징과 일차 계단판 사이, 이차 계단판과 챔버 격벽 또는 분리 격벽 사이 및 상기 계단판 사이에 제공되고, 밀봉 수단이 통합되어있는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 챔버 격벽(23,34)이 이의 내부에 계단형 홈을 특징으로 하거나, 상기 분리 격벽이 계단판이 관통되는 양면 계단형 홈을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 분리가능한 연결이 스크류 연결(75, 76, 77)인 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밸브 장치가 슬라이드 밸브(5) 또는 플랩 밸브인 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밸브 장치(5)가 양쪽 밀봉 방향으로 상기 개구부(4)를 폐쇄할 수 있고, 이리하여 대기압 측면 및 진공 측면과 독립되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밸브 장치(5)가 2개 섹션에 존재하는 하우징(6)을 특징으로 하고, 하우징 섹션(6.1, 6.2)이 하우징에서 예견되는 통과 개구부에 대하여 방사상으로 진공 밀봉 상호 연결되어 있으며, 상기 하우징 섹션은 이동가능한 밸브 플랩(7)을 위한 안내 슬롯(6S)을 이들 사이에 형성하고, 상기 이동가능한 밸브 플랩이 상기 통과 개구부를 폐쇄하는 위치와 상기 통과 개구부를 방출하는 위치 사이에 배치될 수 있고, 안내 슬롯에 관하여 대칭적으로 제공된 하나, 바람직하게는 2개의 작동기(8, 10)에 의해 바람직하게는 밀봉 수단(9, 11)이 제공된, 적어도 하나, 바람직하게는 2개의 밀봉면에 대항하여 밸브 플랩이 통과 방향으로 힘을 받을 수 있고, 상기 작동자들이 유체 압력에 의해 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
13. 제5항에 있어서, 상기 리테이터가 인접 챔버 격벽, 또는 상기 개구부의 외주 섹션을 따라서 개개의 분리 격벽을 진공 밀봉 방식으로 포함하는 클렘프로 제조되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
14. 제7항에 있어서, 상기 리테이너(70)가 상기 일차(71, 72) 및 이차(73, 74) 계단판을 통과 방향으로 2개의 섹션에 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
15. 제7항에 있어서, 상기 이차 계단판은 상기 밸브 장치로부터 제거된 인접 챔버의 챔버 격벽(34)을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
16. 제12항에 있어서, 상기 작동자들이 탄성적으로 이동가능한 요소에 대하여 작용하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.

Images