CN100436356C - 可转换的维修阀 - Google Patents

Abstract

一种真空处理单元，特别用于对经过的基材做连续喷涂，优选玻璃涂层单元，该单元具有至少两个，优选的是多个相邻布置的间室(20，30)或间室区域(21，22，31，32，33)，这些间室或间室区域通过一个或多个间室壁和/或分隔壁被相互隔开，并通过所述间室壁和/或分隔壁内的开口(4)相互连接，优选的是所述基材通道的开槽锁，并且至少一个开口可以借助用于间室和/或间室区域的真空密闭分隔的一个阀单元(5)以真空密闭的形式关闭，该阀单元可分离地附于间室内部，尤其是间室壁和/或分隔壁的内部。

Description

可转换的维修阀

技术领域

本发明涉及一种真空处理单元，用于对经过的基材做连续喷涂，该单元具有至少两个相邻布置的间室20、30或间室区域21、22、31、32、33，这些间室或间室区域通过一个或多个间室壁23、34、35和/或分隔壁24、36、37被相互隔开，并通过所述间室壁和/或分隔壁内的用于基材通过的开口4被相互连接，并且至少一个开口是通过用于间室和/或间室区域的真空密闭分隔的一个阀单元的方式可关闭的开口。

背景技术

真空加工设备被广泛的应用，尤其是本发明的玻璃涂敷设备，其中准备被涂覆的玻璃基材被连续引导通过多个相邻布置的间室或间室区域(间隔室)，在其中它们经历不同的工艺。

为了避免在不同间室区域(间隔室)内所进行的工艺间的相互干扰，所述间隔室或区域通常以真空密闭的方式被相互隔开成不同的间隔室，并分别被抽空，在间隔室即间室之间，仅所述的开槽锁被连为一体，以便可以将用于涂敷的基材从一个间隔室移至另一间隔室。借助于这些开槽的锁，一方面不需任何附加的阀或锁的激活，就实现在相应的传输单元诸如滚筒式运输机上，以窗格的形式不断地移动所述的玻璃基材；另一方面，可以避免相邻的间隔室之间的不需要的空气交换，上述的锁必须在所述的间隔室之间，即间室之间，以如槽状开口形式制造。

然而，通常在某些间隔室或间室之间，附加的分隔阀被连为一体，它使得所述间隔室或间室的完全的气密或真空密闭分隔成为可能，以便在维修活动或更换进料阴极时，整个涂层单元不必暴露于空气中，而仅仅是维修或更换工作的部分受影响。

基于所述间隔室内所述的分隔阀所要求的真空密闭处理，以及所述间隔室内包含工艺或测量用具所需的调节，分隔阀的空间和布置在玻璃涂层单元的构建过程中是预先确定并固定的，使得它被精确限定，该区域通过分隔阀被相互锁住。

发明内容

本发明的目的包括提供一种真空涂敷单元，尤其是一种连续操作的玻璃涂敷单元，该单元使得所述玻璃涂敷单元的有效的、可变的使用及其产品成为可能。

这个问题将通过一种真空处理单元得以解决，该真空处理单元用于对经过的基材做连续喷涂，该单元具有至少两个相邻布置的间室或间室区域，这些间室或间室区域通过一个或多个间室壁和/或分隔壁被相互隔开，并通过所述间室壁和/或分隔壁内的用于基材通过的开口被相互连接，并且至少一个开口是通过用于间室和/或间室区域的真空密闭分隔的一个阀单元的方式可关闭的开口，其中，所述阀单元被可分离地附于所述间室的内部，位于间室壁和/或分隔壁的内侧，其中在安装或移动所述阀单元的过程中，间室的相对位置不需要发生变化。优选实施例是从属权利要求的目的。

发明人认识到玻璃涂敷单元，其中分隔阀在所述玻璃涂敷单元的构建过程中被稳固地连为一体，在可变化的、有效的利用上显示出相当多的缺点，因为在涂层工艺的变化过程中，例如由于层序的改变，可能发生具有可变的涂层或工艺的间隔室的变化划分，因此所述分隔阀预先确定的位置，对于变化的涂层工艺的维护任务来说不再适当。

根据本发明，由于所述分隔阀被分离地附于不同的间室或间室区域内部，这个问题可以被解决，因此，在需要的情况下，所述分隔阀可以在任何时候在它们的处理中被取代或改变，以便在玻璃涂敷单元或真空处理单元内产生其它的可分离开的区域。

特别的是，并不要求将所述分隔阀，即阀单元，与在相邻的间室之间的单独壳相连接，这会额外需要相当大的空间，但是该阀单元优选地附于所述间室壁和/或分隔壁的内部，由于中间的分隔阀的一体化，使得相邻间室的较远分布得到有效地避免。

有利地，阀单元和间室以下述的方式制造，无需在它们所依附的间室壁和/或分隔壁上必要的变化，该阀单元可安装在所述部分内或它们可从该阀单元再次移动。

当一方面所述的阀单元，以及另一方面具有连为一体的基材的工艺用具和传输单元的间室以下述的方式相互同步是有利的，该方式为所述阀单元可独立于间室内的工艺用具和传输单元被安装，即在间室壁和/或分隔壁上。尤其在分隔阀，即所述的阀单元，具有特别小的尺寸并以特定的平面方式制造时实现，以避免工艺用具和/或传输单元的碰撞。

由于间室内的阀单元(分隔阀)的可移动式附着部署，安装或移动一个分隔阀因而主要意味着，至少在安装或移动后，间室或者间室内的工艺用具或传输单元的部署没有变化，并且意味着间室的相对位置没有变化，这些通常不能在一起实现。也从而省去了在所述间室之间附加地集成单独分隔阀壳。

优选地，所述阀单元具有一个壳，借助于该壳，阀单元可以在真空即气密形式在间室或间隔室壁被集成。这种情况下，气密装置，特别是起始于用于所述基材的通道开口的径向装置，在连接处提供密封并带有关闭的阀盖以保证气密性，即间隔室也即间隔区域的气密性分离，从而保证沿阀壳的分隔壁或间室壁的紧密。

优选地，所述阀单元，即分隔阀和它的壳，被通过位于间室的所述开槽锁的区域内的装配支持来放置，即带有所述安装支持的分隔壁，优选地以夹钳的形式，环抱所述相邻间室壁或围绕通道开口的分隔壁。这保证了一个特别简单的附着且避免了在间室或间隔室的巨大变化。

优选地，所述安装支持和分隔即间室壁具有互补的啮合步骤，以便在这个端点创造一个特别紧密的连接。

优选地，所述分隔阀，该阀可以被认为是一个滑阀或瓣阀，也可以是在关闭步骤中具有转动或平移运动的滑板特征，还可以被建造为滑阀，该滑阀可以在两个方向关闭所述开口，因此阀单元可以在真空或者大气条件下被安装在一边或者另一边。在相应的形式中，从传输方向看，阀单元可以被变化地放置在一个间室壁或分隔壁的之前或之后。

附图说明

本发明的细节和优点将结合具体实施例的附图以及随后的描述进行阐述。

图1示意性地示出了具有不同间室和间室区域(间隔室)的玻璃涂敷单元的纵向剖视图。

图2示意性地示出了根据本发明处于滑板的操作位置的滑阀的剖视图。

图3示出了处于滑板停止位置的对照剖视图。

具体实施方式

图1示出了具有两个相邻间室20，30的玻璃涂敷单元的一部分的横截面，该相邻的间室被细分为不同的间隔室21，22，31，32和33。

在基材前进的方向，间室30受限于间室壁34和35，该间室壁被建造为间室的边缘，同时，与间室30的间室壁34相邻的间室20具有间室边缘形式的间室壁23。

在间室20，30内，通过分隔壁24，36和37，间隔室21，22，31，32和33被相互真空密闭地隔开，该间隔壁突起直至所述的开口4，作为基材通道的开槽的锁。

在间室20和30的上部有抽空单元40，该单元设计为抽空间隔室21，22和31直至33，以便调节涂敷程序的真空条件。

在间隔室内部，该间隔室即间室建造本质上是一致的，可以实现不同的方法和工作步骤，例如，涂覆工艺、测量或者类似举动，或者它们可以被用作带有不同涂覆工具的间室之间的气体分隔步骤。例如间隔室22被建造为一个测量间隔室，同时间隔室31和33作为带有可枢转双磁电管阴极50的涂覆间隔室，同时间隔室32被例如建造为一个抽空间隔室。

基材沿着位于输送单元上的点线60移动，优选地输送单元不同间隔室装备有不同输送机滚筒61，带有从一个间隔室到另一个间隔室的转移，即以开锁槽的形式，通过开口4，在间室之间发生。

特别在建造作为涂覆间隔室的间隔室31和33，一个隔膜装置80可以在分隔壁36、37和/或间室壁34、35处被集成。

不同的间室区域(间隔室)或间室可以借助分隔阀5的不同位置以真空密闭形式被锁住，以便可以在维修时只将所述玻璃涂敷单元一部分暴露于空气中。例如，一方面，带有位于分隔壁36的分隔阀5的间隔室31，和另一方面间室壁23和34可以被锁为真空密闭，以便，例如更换内部阴极50，而不必暴露单元的其他部分。

由于，根据本发明，所述分隔阀5被分开地附在分隔壁24，36，37或者间室壁23，34，35上，在涂敷工艺的变化过程中，该工艺可能最后为了维修任务需要整个单元的另一个分离，它们可能被从所述分隔或者间室壁移开，并被附到其它分隔或者间室壁上。最重要的是分隔阀5可以被放置在每个间室壁和/或分隔壁上，以便涂覆单元的每个随机组件可以在真空密闭的条件下被随机地关闭。

基于下面描述的一个优选分隔阀5的安置，更适宜地，也可以在基材的传送方向集成所述分隔阀，该阀可以在所述间室即间隔室壁之前或者之后，该壁进一步确保密封方向在两个密封方向都是可行的，以便在分隔阀5的一边和另一边大气或真空条件可以实现。

图2示出了，在放大的尺寸下，一个带有通道开口4从间隔室22到间隔室31的过渡点的横截面，该截面垂直地朝向附图平面，可以在比它现在可见高度更大的尺寸下变得更加清晰，即，它可以被当作处于开槽的形式，但是，整体上，它以最小的可能自由横截面被建造。在最优使用的情况下，它必须精确地足够大以便允许超过3m宽度的光滑玻璃面板通过。

可以在开口4的区域看到两个间隔室，当这个开口4被滑阀关闭时，该滑阀详见下述，和当诸如在也可以被作为模块的间隔室31中存在一个真空时，该开口被相当紧密和坚固地相互连接，以避免任何类型的间接气流的形成，同时模块或间隔室22处于被曝气工艺。

起初，所述滑阀5环绕带有2个壳部分6.1和6.2的壳6。可以理解，由不同组件构成的所述壳6密封非常良好。由此技术人员可以意识到，例如在两个壳部分6.1和6.2之间的槽中的一个密封环6D，和在壳部分6.2和固定壁70之间的槽中的另一个密封环79上，壳6作为一个整体固定到开口区域4中。

壳6作为一个整体，被开口4相等地贯穿，即它具有一个通道，该通道形成带有自由和连续横截面的所述开口4的延伸。

技术人员可以意识到，与最初所述的现有技术相反，本滑阀不是必须被安装在间隔室22和31之间，但是它的壳6可能被单侧地设置在间隔室22的内侧部分。

壳部分6.1和6.2一起在它们之间形成了一个引导槽6S，该引导槽内有一个滑板7，该滑板被以减少的侧隙下垂的形式被安装，即在朝向它主要区域的正常方向中所看到的那样。它被悬挂在一个平移促动器7A上，未详细示出。它的调节组件，此处未详细示出，被充分地与所述滑板7相连接，以便使得侧向偏移成为可能。在促动器7A和所述滑板7之间的该连接贯穿了壳6。

该(垂直的)导向槽6S，以与在此处被连为一体的所述滑板同样的方式，在运输面60的两边上的片段上，在朝向开口4的(一个水平的)通道装置横向地伸出。它的基本纵断面位于所述运输面60之上，但是一小部分也可以在其下。

在引导槽6S的内部，滑板7可以在非活动位置(参见图3)和工作或关闭位置之间，通过促动器7A被反向促动。其中，处于非活动位置时，开口4完全打开且基材可以在其中穿过；而处于工作或关闭位置时，如图所示，滑板7完全覆盖了开槽的开口4。

在非活动的位置，滑板7是整个集成到导向槽6S的上部，在工作位置，滑板的下部边缘以刀片状的方式穿入导向槽6S的下部，同时滑板的上部仍然保持在导向槽的上部。重要的是，滑板7覆盖了开口4的全部边界。

滑板7借助促动器7A的可逆移动最初是自由发生的，不需要导向槽6S中的一个过于紧密的导向运动，即同样带有可忽略的摩擦率。因此，促动器7A不是必须提供非常大的调节功率。它可以是，例如一个气动或液压升降汽缸，一个齿轮齿条式驱动器或一个电磁线性发动机。它不必执行一个长冲程(几厘米)但是它必须可以在它的工作位置相对表面地放置密封板。

在任何情况下，如已经描述的那样，促动器与滑板的连接要求某种程度的弹性或清晰，这是由于滑板7，如下述，必须是垂直地朝向线性驱动器7A的调整方向也可移动的，甚至仅在几个冲程的情况下。为了这个目的，例如，在促动器7A的调节组件的末端，可以放置一个叉形物，该叉形物的两个齿通过一个、两个或更多的轴互相连接，在该轴上所述滑板7被可移动地以要求的方式悬挂。

值得注意的是，当滑板7垂直地朝向附图平面最终延伸超过数米时，促动器7A代表了各种类似同步地受控促动器，该促动器将被在需要时使用。

在壳6.1的左半部分提供一个第一关闭装置8。它优选地被制造为一个被引入到壳壁的一个圆周环状槽内的膨胀密封，在它转动时，环抱开口4的整个圆周。与在此为一关闭驱动器的该关闭装置8功能相对应，提供一个环状的密封9，该密封位于壳6.2的对面半部分壁中也被插入到一个环状槽中，该密封也完全地环抱着开口4。

与所述关闭装置8精确相对(相对于导向槽6S和滑板7的中间平面)，在所示例子中，与关闭装置8形式相同的一个第二关闭装置10被插入壳部分6.2的相对壁中。它位于由环状密封9环绕的区域的内部。

对于关闭装置10，密封环形式的一个环状密封11功能性相对，该环状密封被插入到壳部分6.1的壁中，再次处于也为密封环形式的环状密封9的对面的方向，圆周地包括关闭装置8。

在实施例中，关闭装置8和10被放置在由环状密封9和11环绕的区域之内还是之外实际上是偶然事件。在后一种情况下，关闭装置在抵抗真空影响的关闭端被保护。在第一种情况下，关闭装置避免对位于同一侧的环状密封的超范围喷涂，例如避免不希望的涂敷颗粒的沉积，该颗粒在真空间室产生，可以到达开口和阀门。

如已描述的那样，并不强制要求将关闭装置8和/或10制造为一个与管式轮胎相似的、一体的圆周形间室。特别地，它可能也被当作只提供如位于开口4的两侧的两个平行的长的且延伸的部分的关闭装置，而不是以圆周的方式提供它们。这还将保证基本上保护环状密封不被超范围的喷涂。

另外，很多单独的间室可以统一地沿着密封表面的外围分布，显然这些间室可以互通消息并必须被同步地暴露在压力中。

可以预见，在本发明的内容中，当滑板必须仅在一个方向的密封位置被准备时，就会只有一个关闭装置。

如此处所解释的，关闭装置8和10的圆周状配置提供了以下优点，通过它们外部的恰当配置，它们被支起作为滑板7的光滑表面的第二密封，因此，只要它们内部区域是受压的，就可以增强环状密封9、11的密封措施。

在运输面60之下，在开口4和导向槽6S的区域中，永久弹性材料制成的条12被可替换地附加在壳内。它关闭了导向槽6S的位于运输面下的部分，并避免了颗粒进入导向槽6S的下部。它被建造为一个唇形密封，同时一旦该条移动到工作位置，允许该条自由穿透滑板7。

可以理解，环状密封9和11以及关闭装置8和10以这样的程度被引入到单独的壳壁中，即可能在那里最后通过暴露于负压被引入，以便可以在非运动和工作位置之间的转换运动时，通过与滑板7的接触排除损害或仅是摩擦。

另外，通过足够的保护措施，当关闭装置8和10中的一个受压时，促动器7A的活动当然应该被避免。由于强大的压力，在关闭装置8或10之一的活动条件下，滑板7的一个仅仅手动的活动应该是无论如何不可能的。

可以看出，与壳组件6.1和6.2的厚度相比，滑板7可以以一个相当纤细和轻质的形式被制造。由关闭装置器8、10引起，与一个可能均匀分布的关闭力量的联合，甚至在发生理想的密封板的小的长波背离时，滑板7将可以将自身调节为正好适合环状密封9或者11的规格。

在调节的情况下，当将相互分离的两个间隔室内的气压相同时(仍然或再次)例如在两边施以大气压或真空时，滑板7将被促动器7A激活。

一旦达到它的操作位置时(它的下边被淹没在导向槽6S的下部)，随后根据还要被中和的压力差异(将被形成)的方向(例如，间隔室31中真空，间隔室22中为空气气压，或者反之)，当优选地非面对低气压层的关闭装置被促动时，关闭装置8或10之一被施加以/收到内部压力。

例如，如果在滑阀5的关闭位置，间隔室31中应该为真空，(左)关闭装置8将被促动。由于在它的横向管部分产生的膨胀，滑板7将被强迫靠紧(右)环状密封9。

另一方面，如果在滑阀5的关闭位置，间隔室22中的压力应该变得小于间隔室31中的气压，(右)关闭装置10将被促动以便可移动地强迫滑板7靠紧该(左)环状密封11。

通过这些措施，可以避免带有过度压力差异(内部气压相对于真空)的关闭装置8及10的灵活凸面的设置。

显然，由于在滑板7的一边的较强的压力将在环状密封9和11上施加更大的压力，带有间隔室22和31之间压力差异的增长信息的关闭装置器8和10的压缩力将额外加强。

进而，可以理解关闭装置8和10是有效的阀驱动装置，该驱动装置确保密封功能。促动器7A仅被预见用于将所述滑板放置在其完全操作位置，该位置独立于压差方向。因此，滑阀5即整体滑板7的有效密封功能，在此处可以通过选择性地促动关闭装置8或10之一，在两个方向上使用。

可以看出，上述实施例和示出的滑阀5，特征在于其密封功能的组件，被以镜面对称建立，因此其倾向于在滑阀7的平面双向地维持一个高的压差。然而，当去掉关闭装置8和环状密封9或者关闭装置10和环状密封11时，人们也可以设想仅有一个密封方向的实施例。

在压差下降将被滑阀5清除后，最终也在以前促动的关闭装置8或10的主动回复之后，促动器7A可以再次将滑板朝向其非活动位置移动。最终，通过环状密封9或11放松滑板7从可以通过平式或杯式弹簧(未示出)加强，该弹簧的回复力必须通过关闭装置自然地克服。

图2还以剖视图形式体现了所述固定器70，借助该固定器所述分离阀即滑阀5被放置，该阀的壳6位于所述邻近间隔室22和31的间室壁23和34中。

固定器70环绕一个第一阶梯板71、72，该板在基材通道方向具有不同的纵向和横向尺寸的两个不同区域71和72，因此第一阶梯板71、72可以被引入到开口4和间室壁23的一个阶梯型的凹槽中。在这个过程中，圆周地被放置在槽开口4的一个密封78将在所述阶梯区域内被支撑在间室壁23上，以便获得第一阶梯板71、72面对间室壁23的径向密封。如现在所示，第一阶梯板71、72可能被建造为带有分离区域71和72的一个整体的或分开的单元。

通过一个螺纹连接75，该连接可能包括各种围绕开口4的螺纹，该第一阶梯板71、72是与分隔阀即滑阀5的壳6联为一体的。在第一阶梯板71、72和壳6特别是壳部分6.2之间的一个普通制动面上，还可以预见到一个围绕着所述开口的密封79，以便在壳6和第一阶梯板71、72之间提供一个径向真空密闭连接。

在第一阶梯板71、72旁边，提供一个第二阶梯板73、74，插入到间室壁34的相应阶梯状的凹槽中，该阶梯板也具有一个相对于第一阶梯板71、72为镜面对称的阶梯状的配置。在制动或密封表面81上，第一和第二阶梯板在该表面上产生相互接触，也环绕开口4提供了一个密封78，因此还在第一阶梯板71、72和第二阶梯板73、74之间提供一个径向真空密闭连接。第二阶梯板73、74，该板可能也通过一个螺纹连接被建造在具有区域73、74的两个部分中，该螺纹连接也最好具有围绕所述开口的不同螺钉76，该连接与第一阶梯板71、72连接并附加地通过螺纹连接77，该连接也具有围绕所述开口的不同螺钉并与间隔室壁34连接，从而通过螺纹连接76，所述在开口4中的固定器70夹状环抱着间隔室壁23和34的边缘部分，以便以这种方式在间隔室壁23和34真空密闭地放置固定器和分隔阀5。

在阀关闭的位置，即图2中滑板7的位置，在间隔室22和31之间的一个气密的分隔将以任何方式被建立，且密封方向可以自由地选择，从而，在分隔阀5的一边以及在另一边获得大气或真空条件。

借助分隔阀5的平面配置，该阀可以被放置在间室壁23和34上，与运输单元60及61独立，即不需要运输单元的变化。另外，在需要的情况下，通过放松螺纹连接77、76和最终的75，所述分隔阀5可以被简便地移开或从新安装。这允许了分隔阀在单元的全部区域的可变化使用。

Claims (17)

1.一种真空处理单元，用于对经过的基材做连续喷涂，该单元具有至少两个相邻布置的间室(20，30)或间室区域(21，22，31，32，33)，这些间室或间室区域通过一个或多个间室壁(23，34，35)和/或分隔壁(24，36，37)被相互隔开，并通过所述间室壁和/或分隔壁内的用于基材通过的开口(4)被相互连接，并且至少一个开口是通过用于间室和/或间室区域的真空密闭分隔的一个阀单元(5)的方式可关闭的开口，其特征在于，所述阀单元被可分离地附于所述间室的内部，位于间室壁和/或分隔壁的内侧，其中在安装或移动所述阀单元的过程中，间室的相对位置不需要发生变化。

2.根据权利要求1所述的真空处理单元，其特征在于，阀单元(5)以下述方式附于间室壁或分隔壁，该方式为在基本不改变间室壁或分隔壁的情况下进行附着和/或移动。

3.根据权利要求1或2所述的真空处理单元，其特征在于，一方面，所述阀单元(5)，另一方面，所述具有内部处理工艺用具和基材传输单元的间室，均通过下述方式相互调节，该方式为间室壁或分隔壁上的阀单元的处理或移动，在不改变间室和/或改变工艺用具的处理和/或所述间室内的传输单元的情况下完成，至少在再活化/去活化的操作条件下和/或不改变相互间室位置的情况下完成。

4.根据权利要求1所述的真空处理单元，其特征在于，阀单元(5)包括一个壳(6)和一个在壳内部可移动的滑板(7)，用于开口(4)的真空密闭关闭，借助关闭的滑板，所述壳是真空密闭的，并可分开地附于间室壁或分隔壁上。

5.根据权利要求1所述的真空处理单元，其特征在于，所述位于开口(4)的阀单元(5)是依靠固定器(70)被可分离地附着，特别是所述固定器是以夹钳的形式制造，该夹钳以真空密闭的方式环绕所述相邻的间室壁，或一个沿着所述开口四周部分的单独的分隔壁。

6.根据权利要求5所述的真空处理单元，其特征在于，所述的阀单元(5)以真空密闭的方式附于固定器(70)上。

7.根据权利要求6所述的真空处理单元，其特征在于，所述的阀单元(5)可分离地附于固定器(70)上

8.根据权利要求5所述的真空处理单元，其特征在于，所述的固定器(70)包括在两个部分中的一个第一(71，72)和一个第二(73，74)阶梯型板，该板具有中心槽状开口，该开口在通道方向上，有两个具有组成一个阶梯的不同长度和/或宽度的区域，带有阀单元(5)的壳(6)的第一阶梯型板，和带有从阀单元移开的间室壁或分隔壁的第二阶梯型板，以及阶梯型板被可分离地相互连接，并且在阀壳和第一阶梯型板之间，第二阶梯型板和间室壁或分隔壁之间，以及所述阶梯型板之间设有止动面，其中密封装置连为一体。

9.根据权利要求8所述的真空处理单元，其特征在于，所述的固定器(70)包括：在位于通道方向上的两个部分中的一个第一(71，72)和一个第二(73，74)阶梯型板。

10.根据权利要求8所述的真空处理单元，其特征在于，所述的第二阶梯型板是相邻间室的间室壁(34)。

11.根据权利要求8所述的真空处理单元，其特征在于，间室壁(23，34)在其内部具有一个阶梯型的凹槽，或所述分隔壁具有双侧的阶梯型凹槽，所述阶梯型板穿入该凹槽。

12.根据上述权利要求8所述的真空处理单元，其特征在于，所述的可分离的连接是螺纹连接(75，76，77)。

13.根据上述权利要求1所述的真空处理单元，其特征在于，所述的阀单元是滑阀(5)或瓣阀。

14.根据上述权利要求1所述的真空处理单元，其特征在于，阀单元(5)易于在两个密封方向上关闭所述的开口(4)，并因此独立于大气侧和真空侧。

15.根据权利要求1所述的真空处理单元，其特征在于，所述阀单元(5)具有分为两部分的壳(6)，并且壳部分(6.1，6.2)被径向真空密闭且相互连接作为通道的开口，该开口容装在壳内，并在两部分之间形成可移动的滑板(7)的导向槽(6S)，所述可移动的滑板在关闭所述通道开口的位置和开启所述通道开口的位置之间移位，并且通过一个在通道方向上的关闭装置(8)，被压迫到至少一个密封面上，并且所述关闭装置通过液压操作，充当弹性可移动元件操作。

16.根据权利要求15所述的真空处理单元，其特征在于，所述可移动的滑板，通过两个关于导线槽对称设置的在通道方向上的关闭装置(8，10)，被压迫到两个密封面上，并且所述关闭装置通过液压操作。

17.根据权利要求15所述的真空处理单元，其特征在于，所述的至少一个密封面具有环状密封(9，11)。

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