DE202014006417U1 - Vorrichtung zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuum-Beschichtungsanlagen - Google Patents

Abstract

Vorrichtung zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuum-Beschichtungsanlagen die aus einer Abfolge von Sputter-Segmenten (3) und Gas-Trennsegmenten (2) mit einer durchlaufenden Substrat-Ebene (1) bestehen, mit den folgenden Merkmalen: a) die Sputter-Segmente (3) bestehen jeweils aus einer Kessel-Wanne (12) mit einer innenliegenden Transporteinrichtung (11) zum Transport von Substraten (1) und mindestens einem Kesseldeckel (4) der mittels eines Kessel-Flanschs (6) mit der Kessel-Wanne (4) verbunden ist, wobei der Kessel-Flansch (6) in unmittelbarer Nähe über der Substrat-Ebene (1) angesetzt ist und wobei sich ein Kathoden-Lagerblock (5) mit Targets (8) und Gas-Einlasskanälen (10) in unmittelbarer Substratnähe mit Spritzblechen (9) im Kessel-Deckel (4) befinden, b) die Gas-Trennsegmente (2) weisen im Bereich der Substrat-Ebene (1) einen, über die gesamte Länge des Gas-Trennsegments (2) verlaufenden, Tunneldeckel (14) auf, der mittels mehrerer Hub- und Absenkelemente (17) so an die Dicke des jeweiligen Substrats (1) angepasst werden kann, dass zwischen dem Substrat (1) und dem Tunneldeckel (14) in der Höhe nur ein geringer Freiraum-Spalt (18) verbleibt, c) die Evakuierung von Sputter-Segmenten (3) und/oder Gas-Trennsegmenten (2) erfolgt mittels einer oder mehrerer Vakuumpumpen (15), wobei die dabei geförderte Luft in einem volumenveränderlichen Luftspeicher (25) aufgefangen wird und beim anschließenden Wiederbelüften des betreffenden Segments (3, 2) wieder in dieses Segment (3, 2) befördert wird.

Description

• Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuum-Beschichtungsanlagen
• Die magnetfeldunterstützte Kathodenzerstäubung (Magnetron Suttering) hat Eingang gefunden in viele Bereiche der modernen Oberflächentechnik. Ausgehend von Anwendungen in der Mikroelektronik ist die magnetfeldunterstützte Kathodenzerstäubung heute als industrielles Beschichtungsverfahren für Architekturglas, Flachbildschirme, Brillengläser, Bandmaterialien, Werkzeug, dekorative Gegenstände und funktionelle Bauteile etabliert. Dabei werden funktionelle Bauteile oft mit Korrosionsschutz oder Hartstoffschichten aus Nitriden wie TIN, TANN, VN, ZrN oder Karbonitriden wie TICN in Ein- oder Mehrlagentechnik versehen. Zunehmend finden auch superharte Schichten auf Basis von Nano-Mehrlagenschichten mit Härtewerten bis zu 50 GPa Anwendung. In der Automobilindustrie sind reibungs- und verschleißmindernde Metall-Kohlestoff-Schichten bestens bewährt. Die größten Vakuumbeschichtungsanlagen, und damit oftmals auch die Anlagen mit dem höchsten Energiebedarf, sind die typischen horizontalen In-Line-Anlagen für die Architekturglasbbeschichtung.
• Aus dem Stand der Technik wird auf die folgenden Druckschriften verwiesen
• Aus der DE 10 2012 110 334 B3 ist ein Planarmagnetron bekannt, dem die Zielsetzung zugrunde liegt ein Planarmagnetron zu schaffen, das die Nachteile des Standes der Technik nicht aufweist und mit dem insbesondere ein gleichmäßigeres Magnetfeld erzielt wird. Die aufgezeigten achteile beziehen sich hierbei auf den Stand der Technik wie er in der US 5 407 551 A offenbart wird. Der Patentanspruch 1 bezieht sich hier auf ein Planarmagnetron für Vakuumbeschichtungsanlagen zur Beschichtung von Glasplatten oder anderen flächigen Substraten, mit einer Magnetanordnung, bestehend aus einer magnetisierbaren Rückschlussplatte, mit daran angeformten längs verlaufenden Polschuhen und zugehörigen Permanentmagneten, sowie mit mindestens einem Target an der Magnetanordnung, sowie Kühlkanälen zum Hindurchleiten einer Kühlflüssigkeit durch das Planarmgnetron. Gekennzeichnet ist dieses Planarmagnetron dadurch, dass die Rückschlussplatte über deren gesamten Länge einen gleichbleibenden Querschnitt aufweist und mit sich längs in der Rückschlussplatte erstreckenden Aufnahmen zur Befestigung von Anbauteilen, wie mindestens einem Kühlkanal mit Vor- und Rücklauf und Pratzleisten zur Befestigung von mindestens einem Target versehen ist.
• Weiter beschreibt die DE 101 22 310 A1 eine längserstreckte Vakuumbeschichtungsanlage der die Zielsetzung zugrunde liegt, die Zugänglichkeit zur Glastransportebene in längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlagen zu verbessern, um die Wartung einfacher und kostengünstiger zu gestalten.
• Diese Zielsetzung wird bei einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage zur Beschichtung von in einer Transportrichtung bewegten flachen Substraten mit mindestens einem Beschichtungsmodul, welches mindestens zwei Beschichtungssektionen aufweist, die in Transportrichtung hintereinander liegen, und einem Transportsystem, über dem sich ein Transportraum für die Substrate befindet, erreicht Hierbei recht der Transportraum über Substratführungsschlitze in den Wandungen der Beschichtungssektionen durch die Beschichtungssektionen hindurch, wobei die Beschichtungssektionen je einen eine Deckelöffnung verschließenden Deckel aufweisen, an dem mindestens ein Magnetron derart befestigt ist, dass es über dem Transportraum angeordnet ist und wobei die Beschichtungssektionen mittels Vakuumpumpen über Vakuumführungskanäle evakuierbar sind. Gekennzeichnet ist diese Vakuumbeschichtungsanlage dadurch, dass die Vakuumbeschichtungsanlage oberhalb des Transportraums in ein für alle Beschichtungssektionen eines Beschichtungsmoduls gemeinsames Kammerunterteil und ein für alle Beschichtungssektionen eines Beschichtungsmoduls gemeinsames Kammeroberteil geteilt ist, beide Kammerteile in Arbeitsstellung miteinander vakuumdicht verschließbar und in Wartungsstellung relativ zueinander bewegbar sind.
• Entscheidend für stabile und effiziente Prozessführung ist die Anordnung der Kathode relativ zum Substrat. Die gesamte Geometrie der Anordnung beeinflusst die Qualität und die Produktivität der Beschichtung. Hier sind vor allem die Anordnung der Kathoden und Anoden, die Apertur-Blenden, die Transportrollen, die Gasverteilung und die Magnetfeld-Anordnung zu nennen. Bekannte Lösungen für energiesparende Beschichtungsanlagen weisen oftmals den Nachteil auf, dass sie bei mindestens einem der obigen Merkmale auf die technisch beste Lösung verzichten. Speziell die Gasführung wird oftmals nicht direkt und oberhalb des Substrates angeordnet, da die Zugänglichkeit und Wartung dieser Gasführungssysteme durch die Nähe zum Substrat und zum Transportsystem stark eingeschränkt ist.
• Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuumbeschichtungsanlagen anzugeben. Hiermit soll die Produktivität und die Standzeit einer solchen Anlage erhöht werden.
• Diese Aufgabe wird durch die Vorrichtung nach Anspruch 1 gelöst.
• Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben.
• Es zeigen im Einzelnen:
• 1: den prinzipiellen Aufbau einer Vakuum-Beschichtungsanlage
• 2: eine Gegenüberstellung zweier Anordnungen von Kesseln
• 3: eine Detail-Ansicht typischer Segmente aus der 1
• 4: den prinzipiellen Aufbau eines Vakuum-Speichers 25
• 5: einen Luftspeicher 25 und ein Sputter-Segment
• 6: einen Querschnitt durch einen Target-Bereich
• 7: die Darstellung einer Mehrfach-Kathode
• 8: die Abdichtung einzelner Kessel-Wannen 12
• Die 1 zeigt den prinzipiellen Aufbau einer Vakuum-Beschichtungsanlage. Eine Vakuum-Beschichtungsanlage besteht im Wesentlichen aus einer Abfolge von Sputter-Segmenten 3 und Gas-Trennsegmenten 2. Die zu beschichtenden Substrate werden hierbei auf der dargestellten Substrat-Ebene 1 von einem Segment zu dem nächsten Segment befördert.
• Die 2 zeigt eine Gegenüberstellung zweier Anordnungen von Kesseln. In der 2a) ist hierbei die konventionelle Bauform eines Sputter-Kessels im Querschnitt dargestellt, während in der 2b) die erfindungsgemäße Bauform im Querschnitt gezeigt ist. Augenfällig ist hierbei der Unterschied beider Bauformen in Bezug zu der Ebene des jeweiligen Deckel-Flanschs 6. Während bei der konventionellen Bauform auf der linken Seite der Deckel-Flansch 6 relativ hoch angesetzt ist, ist dies bei der Bauform auf der rechten Seite nicht der Fall. Der Grund hierfür ist darin zu sehen, dass bei der konventionellen Bauform die auf der linken und auf der rechten Seite gezeigten Spritzbleche 9 der Sputter-Bereichsabschirmung bei einem Wechsel des Kessel-Deckels 4 mit den beiden Kathoden-Lagerblöcken 5 von den beiden Lager-Flanschen 6 abgenommen werden, jedoch die, links und rechts gezeigten, Gas-Einlasskanäle 10 im Grundkörper des Beschichtungs-Kessels verbleiben. Da bei jedem Wechsel des Kessel-Deckels 4 umfangreiche und zeitraubende Reinigungsarbeiten anstehen, ist bei der konventionellen Bauweise nach der 2a) ein hoher Kostenfaktor einzuplanen. Bei der erfindungsgemäßen Bauform nach der 2b) kann der Wechsel eines Kessel-Deckels 4 jedoch viel schneller erfolgen, da die Gas-Einlasskanäle als integrierter Bestandteil eines Kessel-Deckels 4 während eines vorhergehenden oder eines nachfolgenden Sputter-Prozesses mitsamt den anderen Bestandteilen eines Kessel-Deckels sorgfältig, in Ruhe und kostengünstig gereinigt werden können. Weiter sind in der 2 die jeweilige Kessel-Wanne 12 und die Transporteinrichtung 11 zum Transport der Substrate 1 bezeichnet. Ferner sind die Target-Einheiten 8 mit den zugehörigen Plasma-Bereichen 7 und die jeweilige Magnetbar 13 in der konventionellen Bauform eingezeichnet.
• Die 3 zeigt eine Detail-Ansicht typischer Segmente aus der 1. Die hier gezeigten Segmente bestehen links und rechts aus jeweils einem Sputter-Segment, wobei diese beiden Sputter-Segmente durch ein Gas-Trennsegment getrennt sind. Auf der allen Segmenten gemeinsamen Substrat-Ebene 1 werden diese Segmente von dem jeweils zu beschichtenden Substrat durchlaufen. Da in jedem Sputter-Segment im Allgemeinen ein anderer Beschichtungsprozess mit einem anderen Target und einem anderen Gasgemisch stattfindet, ist in dem gezeigten Beispiel zwischen den beiden Sputter-Segmenten ein Gas-Trennsegment zwischengeschaltet um zu verhindern, dass die Gasmischung aus dem einen Sputter-Segment mit dem Gasgemisch aus dem anderen Sputter-Segment in Berührung kommt. Im linken Sputter-Segment der 3 sind die beiden Targets 8 und die beiden Gas-Einlasskanäle 10 bezeichnet. Im rechten Sputter-Segment sind die beiden Spitzbleche der Sputter-Bereichsabschirmung 9 und zwei Laufrollen der Transporteinrichtung 11 für den Transport des betreffenden Substrats besonders gekennzeichnet. Im mittleren Gas-Trennsegment sind im Kessel-Deckel zwei, mittels eines Trennblechs dem jeweiligen angrenzenden Sputter-Segment durch Zuströmkanäle zugeordneten, Vakuumpumpen 15 gezeigt. Als Besonderheit sind hier im Bereich der Substrat-Ebene 1 zwei Hub- und Absenkelemente 17 für einen so genannten Tunneldeckel 14 dargestellt. Hierbei handelt es sich um eine Anordnung die es ermöglicht den Tunneldeckel 14, der das durchlaufende Substrat auf der gesamten Länge und Breite des Substrats vom übrigen Raum des Gas-Trennsegments abzuschirmen und entsprechend der unterschiedlichen Dicke des jeweils durchlaufenden Substrats soweit anzuheben oder abzusenken, dass der so genannte Freiraum-Spalt minimal wird. Bei dem Freiraum-Spalt 18 handelt es sich somit um den Abstand zwischen dem Substrat und dem das Substrat abdeckenden Tunneldeckel 14 der für einen ungestörten Durchlauf des jeweiligen Substrats absolut notwendig ist. Die Dicke des jeweils durchlaufenden Substrats wird hierbei von einem, nicht näher bezeichneten, Sensor rechtzeitig ermittelt und das somit gewonnene Steuersignal wird zur Steuerung der Hub- und Absenkelemente 17 verwendet. Im Bereich der Trennwände des gezeigten Gas-Trennsegments befindet sich auf der Höhe der Substrat-Ebene jeweils eine Tunneldeckel-Klappe in der Funktion eines Rückschlagventils um das Einströmen von Mischgas aus dem jeweils benachbarten Segment zu verhindern.
• Die 4 zeigt den prinzipiellen Aufbau eines Vakuum-Speichers 25. In der 4a) ist hier beispielhaft eine technische Ausführung des in der 4b) gezeigten prinzipiellen Funktionsprinzips gezeigt. Die jeweilige Vakuum-Kammer 27 wird mittels einer oder mehrerer Vakuumpumpen 15 evakuiert. Die dabei durch die Vakuumpumpe 15 geförderte Luft wird in einem volumenveränderlichen Luftspeicher 25 aufgefangen. In der Regel wird der volumenveränderliche Luftspeicher 25 so ausgelegt, dass dieser durch den erzeugten Druck der Vakuumpumpe 15 aufgeblasen wird. Beim anschließenden Belüften der Vakuum-Kammer 27 wird die im volumenveränderlichen Luftspeicher 25 gespeicherte Luft durch den Unterdruck wieder in die Vakuum-Kammer 27 befördert. Der Vorteil der in der 4b) dargestellten Lösung liegt darin, dass schon einmal konditionierte Luft eines bestimmten Trocknungsgrads wieder verwendet wird und damit auf eine Ausrüstung zum Trockenlüften neuer Luft verzichtet werden kann. Die dargestellten Absperrventile 28 dienen der Steuerung der Luftströme. Der Einströmvorgang der im volumenveränderlichen Luftspeicher 25 gespeicherten Luft bei dem Belüften der Vakuum-Kammer 27 kann durch eine, auf den Luftspeicher 25 wirkende Kraft, die die Verkleinerung seines Volumens unterstützt, gefördert werden. Dies wird beispielhaft mittels eines, im oberen Bereich des Luftspeichers 25 am Speicherdeckel 20 angebrachtes Deckelkreuz 22 erreicht, wobei dieses Deckelkreuz 22 durch ein Zugseil 23, das durch ein Zugseil-Dichtelement 29 im Boden des Luftspeichers 25 und eine weitere, nicht näher bezeichnete Umlenkrolle verläuft, nach unten gezogen wird und zu einem Zugseil Antriebselement 24 zurück läuft. Der Luftspeicher 25 kann hierbei beispielhaft mittels einer, an einem Speicher-Portal 19 befestigten Umlenkrolle 21 in seiner Lage fixiert sein. Zur zusätzlichen Kraftunterstützung bei dem Vorgang einer wiederum später folgenden Evakuierung der Vakuum-Kammer 27 können im unteren Bereich des Luftspeichers 25 vier Federelemente 26 vorgesehen sein, die in ihrer Lage mit dem Deckelkreuz 22 in der Weise zusammen arbeiten, dass sie mittels des Zugseils 23 zusammen gedrückt werden und somit als Energiespeicher wirken. Die auf diese Weise in den Federelementen 26 gespeicherte Energie kann somit die Arbeit der Vakuumpumpe 15 im folgen Evakuierungsprozess unterstützen.
• Die 5 zeigt einen Luftspeicher 25 und ein Sputter-Segment. Hier wird ein Sputter-Segment dargestellt auf dem ein volumenveränderlicher Luftspeicher 25 integriert ist. Als neue Bezugszeichen sind hier auf der linken und der rechten Seite des Kessels jeweils eine Absaugöffnung 30 dargestellt die zu jeweils einer Vakuumpumpe 15 führen. Die übrigen Bezugszeichen wurden schon beschrieben. Als besondere Ausgestaltung ist ferner auf der rechten Seite des Kessels ein Verschiebe-Einrichtung 31 für die genaue Justierung der Lage eines speziellen Spritzblechs 9 zu erkennen. Diese Einrichtung 31 befindet sich auch auf der linken Seite des Kessels. Ein solcher Luftspeicher kann bevorzugt auch einer Eintritts-Kammer oder einer Transfer-Kammer angeordnet sein.
• Die 6 zeigt einen Querschnitt durch einen Target-Bereich. In dieser 6 ist die flache Bauart des erfindungsgemäßen Kessels im Querschnitt besonders gut zu erkennen. Neben dem Kessel-Deckel 4, der Kessel-Wanne 12 sind auch ein Deckel-Flansch 6 und die Substrat-Ebene 1 bezeichnet. Zur Beförderung der Substrate dienen die im Schnitt dargestellten Rollen der Transportvorrichtung 11 mit ihrem Transportrollen-Antrieb 36. Die Lagerung des zylinderförmigen Targets 8 erfolgt auf der rechten Seite durch den Kathoden-Lagerblock 5 und auf der linken Seite durch eine entsprechende Lagerung im Kessel. Der Target-Antrieb 33 wird gekühlt mittels eines Kühlwasser-Kreislaufs 34. In diesem Bereich befindet sich auch die elektrische Energieversorgung 35. Hier liegt eine Gleichspannung bis zu 100 Volt an, wobei der positive Pol am Gehäuse anliegt und der negative Pol am Target 8. Zur Überwachung des Ergebnisses des Beschichtungsprozesses dienen die Detektions-Elemente 32. Hierbei können die Detektionselemente 32 auf ihrer Lage-Einrichtung verschoben werden und hinsichtlich ihres Erfassungsbereichs lageunabhängig gedreht werden. Die entsprechenden Vorrichtungen sind aus Gründen der aufwendigen Darstellung nicht gezeichnet.
• Die 7 zeigt die Darstellung einer Mehrfach-Kathode. Hier ist eine Kessel-Wanne 12 mit einem Substrat 1, der Transporteinrichtung 11 und einer Vakuumpumpe 15, im Querschnitt dargestellt, die im Kessel-Deckel 4 eine spezielle Ausgestaltung eines Kathoden-Lagerblocks 5 aufweist. In der Mitte des hier gezeigten Kessels befindet sich ein Lagerblock 5 der eine Mehrfach-Kathode in der Form zweier normaler übereinander liegender Doppel-Targets aufweist, wobei diese mitsamt ihren Spritzblechen 9 um eine gemeinsame Drehachse 37 drehbar gelagert sind. Dies ermöglicht einen Wechsel zweier Targets nach erfolgter Abnutzung ohne den jeweiligen Kessel öffnen zu müssen. Es wird aber auch möglich, ohne den Gesichtspunkt einer eventuellen Abnutzung, verschiedenartige Targets während eines Beschichtungsprozesses zum Einsatz zu bringen. Die Gas-Einlasskanäle 10 bleiben hiervon unberührt. Diese Anordnung ermöglicht 4 Einrastpositionen und damit vier verschiedene Beschichtungskonfigurationen, jeweils um 90° zueinander versetzt, ohne das Spritzblech und Beschichtungs-Kathode miteinander gekoppelt wären.
• Die 8 zeigt die Abdichtung einzelner Kessel-Wannen 12. Zur Aufrechterhaltung der Vakuum-Bedingungen während des Beschichtungsprozesses ist es notwendig zwischen den einzelnen Sputter-Segmenten 3 und/oder den Gas-Trennsegmenten 2 eine sichere Abdichtung zu schaffen die eine ununterbrochene Verbindung der einzelnen Tor-Öffnungen 43 der Substratebene beim Durchgang der zu beschichtenden Segment gewährleistet. Beispielhaft ist hier in der 8 die Verbindung zwischen zwei Kammern 41 und 42 in der Form zweier Kessel gezeigt, wobei die räumlich dargestellte Kessel-Wanne 12 mit den einzelnen Laufachsen ihrer Transporteinrichtung 11 einen außen, am gesamten Umfang umlaufenden, die Tor-Öffnung 43 abdichtenden, Dichtring 40 aufweist. In der ebenfalls gezeigten Detailzeichnung der 8 ist der Eckbereich zweier nebeneinander liegender Kammern 41 und 42 zu erkennen, die mittels des Dichtrings 40 von dem, unter Normal-Luftdruck beherrschten, Außenbereich abgedichtet sind. Zusätzlich ist hier ein äußeres Dichtband 39 vorgesehen, wobei der Raum zwischen dem Dichtring 40 und dem Dichtband 39, hier stilisiert dargestellt von einem Vakuum-Sensor 38 überwacht wir
• Bezugszeichenliste

1

Substrat, Substrat-Ebene

2

Gas-Trennsegmente

3

Sputter-Segmente

4

Kessel-Deckel

5

Kathoden-Lagerblock

6

Deckel-Flansch

7

Plasma-Bereich

8

Target

9

Spritzblech, Sputter-Bereichsabschirmung

10

Gas-Einlasskanäle

11

Transporteinrichtung

12

Kessel-Wanne

13

Magnetbar

14

Tunneldeckel

15

Vakuumpumpe

16

Tunneldeckel-Klappe

17

Hub- und Absenkelemente für einen Tunneldeckel

18

Freiraum-Spalt

19

Speicher-Portal

20

Speicher-Deckel

21

Umlenkrolle

22

Deckelkreuz, Anschlag für Federelemente 26

23

Zugseil

24

Zugseil-Antriebselement

25

volumenveränderlicher Luftspeicher

26

Federelement, Kraftverstärker bei Vakuumbetrieb

27

Vakuum-Kammer (Kessel)

28

Absperrventil

29

Zugseil-Dichtelement

30

Absaugöffnung

31

Verschiebe-Einrichtung für Spritzblech 9

32

Detektions-Element zur Kontrolle der Beschichtung

33

Traget-Antrieb

34

Kühlwasser-Kreislauf

35

Anschluß der elektrischen Energieversorgung

36

Transportrollen-Antrieb

• ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
• Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
• Zitierte Patentliteratur
• DE 102012110334 B3 [0004]
• US 5407551 A [0004]
• DE 10122310 A1 [0005]

Claims (4)

1. Vorrichtung zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuum-Beschichtungsanlagen die aus einer Abfolge von Sputter-Segmenten (3) und Gas-Trennsegmenten (2) mit einer durchlaufenden Substrat-Ebene (1) bestehen, mit den folgenden Merkmalen: a) die Sputter-Segmente (3) bestehen jeweils aus einer Kessel-Wanne (12) mit einer innenliegenden Transporteinrichtung (11) zum Transport von Substraten (1) und mindestens einem Kesseldeckel (4) der mittels eines Kessel-Flanschs (6) mit der Kessel-Wanne (4) verbunden ist, wobei der Kessel-Flansch (6) in unmittelbarer Nähe über der Substrat-Ebene (1) angesetzt ist und wobei sich ein Kathoden-Lagerblock (5) mit Targets (8) und Gas-Einlasskanälen (10) in unmittelbarer Substratnähe mit Spritzblechen (9) im Kessel-Deckel (4) befinden, b) die Gas-Trennsegmente (2) weisen im Bereich der Substrat-Ebene (1) einen, über die gesamte Länge des Gas-Trennsegments (2) verlaufenden, Tunneldeckel (14) auf, der mittels mehrerer Hub- und Absenkelemente (17) so an die Dicke des jeweiligen Substrats (1) angepasst werden kann, dass zwischen dem Substrat (1) und dem Tunneldeckel (14) in der Höhe nur ein geringer Freiraum-Spalt (18) verbleibt, c) die Evakuierung von Sputter-Segmenten (3) und/oder Gas-Trennsegmenten (2) erfolgt mittels einer oder mehrerer Vakuumpumpen (15), wobei die dabei geförderte Luft in einem volumenveränderlichen Luftspeicher (25) aufgefangen wird und beim anschließenden Wiederbelüften des betreffenden Segments (3, 2) wieder in dieses Segment (3, 2) befördert wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im oberen Bereich des Kessel-Deckels (4) zur Überwachung des Beschichtungsprozesses mehrere Detektions-Elemente (32) auf einer Lage-Einrichtung verschoben werden können und hinsichtlich ihres Erfassungsbereichs lageunabhängig gedreht werden können.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Lagerblock (5) eine Mehrfach-Kathode in der Form zweier übereinander liegender Doppel-Targets aufweist, wobei diese mitsamt ihren Spritzblechen (9) um eine gemeinsame Drehachse (37) drehbar gelagert sind, und wobei vier verschiedene Beschichtungs-Konfigurationen ermöglicht werden.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils zwei nebeneinander liegende Kammern (41, 42) mittels eines, den gesamten umfang umlaufenden Dichtrings (40) gegen den Außenbereich abgedichtet sind, wobei zusätzlich in diesem Bereich ein äußeres Dichtband (39) vorgesehen ist, und wobei der Raum zwischen dem Dichtring (40) und dem Dichtband (39) von einem Vakuum-Sensor (38) überwacht wird.

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