DE102011082900B4 - Substratbehandlungsanlage mit austauschbarem Rohrtarget und Rohrtarget-Hebezeug dazu - Google Patents
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Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Substratbehandlungsanlage mit austauschbarem Target. Die Erfindung betrifft des Weiteren ein zugehöriges Hebezeug zum Austauschen des Targets.
- Typische Substratbehandlungsanlagen zur Durchführung von Substratbehandlungen im Durchlaufverfahren umfassen eine langgestreckte Anlagenkammer mit einer Eingangsschleuse an einem Ende und einer Ausgangsschleuse am anderen Ende sowie dazwischen angeordnete Kammern, beispielsweise eine oder mehrere Prozesskammern mit jeweils mindestens einer Substratbehandlungseinrichtung, beispielsweise einer Beschichtungseinrichtung, einer Ätzeinrichtung, einer Heizeinrichtung oder dergleichen, eine oder mehrere Pumpkammern mit jeweils mindestens einer Pumpe zur Evakuierung oder/und zur Atmosphärentrennung zwischen davor und dahinter liegenden Kammern, Transferkammern zum Transfer der Substrate von einer Kammer zur nächsten Kammer, usw.
- Die durch ihre Funktion definierten Kammern können dabei physisch eigenständige Behälter bilden, die miteinander zu einer Anlagenkammer verbunden sind, oder innerhalb eines gemeinsamen Behälters angeordnet sein, der die Anlagenkammer bildet. Im letzteren Fall können die Kammern physisch durch Trennwände voneinander abgegrenzt sein, die typischerweise eine Substratpassage aufweisen, welche als Strömungswiderstand, d. h. als Öffnung mit einer die Passage der Substrate gerade noch zulassenden Größe, oder als Ventil, beispielsweise Klappen-, Walzen- oder Schieberventil, ausgeführt sein kann.
- In derartigen Substratbehandlungsanlagen, beispielsweise Anlagen zur Beschichtung oder/und zum Trockenätzen scheibenförmiger Substrate, sind Einrichtungen bekannt, die zum Herauslösen eines Beschichtungsmaterials aus einer Materialquelle, im Folgenden als Target bezeichnet, dienen. Derartige können in Form von Magnetrons ausgebildet sein, wobei das Material mittels Ionenbeschuss aus dem Target herausgelöst wird und aufgrund eines Potentialunterschieds zu dem zu beschichtenden Substrat wandert. Hierbei nutzt sich das Target über die Zeit ab. Daher ist es erforderlich, ein verbrauchtes Target austauschen zu können. Zudem ist ein Targetaustausch erforderlich, wenn die Beschichtung mit einem anderen Material erfolgen soll.
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DE 10 2009 038 369 A1 betrifft einen Substrathalter für scheiben- oder plattenförmige Substrate. Dieser umfasst eine Grundstruktur mit mindestens einer Substrataufnahme, die Aufnahmemittel für mindestens ein Substrat aufweist. Der Substrathalter umfasst ein unteres und oberes Führungselement. An der Grundstruktur ist mindestens ein Blendenelement so angeordnet, dass es ein Führungselement vollständig bedeckt. Bei einer Vakuumbehandlungsanlage mit mindestens einer Behandlungseinrichtung und mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung für scheiben- und plattenförmige Substrathalter, die einen Substrathalter der oben beschriebenen Art sowie eine Stützeinrichtung zur Stützung des unteren Führungselements des Substrathalters und eine Führungseinrichtung zur Führung des oberen Führungselements des Substrathalters aufweist, ist das Blendenelement des Substrathalters so angeordnet, dass es die Stützeinrichtung oder die Führungseinrichtung von der Behandlungseinrichtung aus gesehen zumindest teilweise bedeckt. -
DE 20 2005 008 801 U1 betrifft eine Vorrichtung zum Wechseln von lateral ausgedehnten Targets in Behandlungsanlagen, insbesondere von Rundtargets mit einem darin befindlichen Magnetsystem, einem Teil der Kühlung und Verbindungsbauteilen in Glasbeschichtungsanlagen, wobei mindestens zwei Aufnahmeklauen zum gleichzeitigen Transportieren von ein oder mehreren Targets vorgesehen sind. -
DE 20 2006 008 808 U1 betrifft eine Rohrtarget-Wechselvorrichtung. Diese enthält eine Rohrtarget-Auflagevorrichtung, eine Rohrtarget-Transportvorrichtung sowie eine Magnetsystem-Wechselvorrichtung. -
US 5,445,721 A betrifft ein drehbares Magnetron, dessen Target entnehmbar und austauschbar ist. Das Magnetron weist axial bewegliche Elemente zur Entkopplung des Targets bzw. der Kathode von der zugehörigen (Dreh-)Halterung auf. -
DE 84 30 419 U1 betrifft eine Greif- und Spannvorrichtung zum lösbaren Greifen und Festhalten einer Last, welche prinzipiell zum Greifen und Heben aller Arten von zylindrischen bzw. hohlzylindrischen Stückgütern geeignet ist. - Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Substratbehandlungsanlage mit einem Target bereitzustellen, bei der das Target leicht und zuverlässig austauschbar ist. Des Weiteren ist es Aufgabe der Erfindung, ein zugehöriges Werkzeug zum Targetaustausch bereitzustellen.
- Die Erfindung betrifft eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Beschichtung scheibenförmiger Substrate, umfassend eine von Kammerwänden begrenzte Anlagenkammer, die eine durch einen Kammerdeckel vakuumdicht verschließbare Öffnung aufweist, sowie innerhalb der Anlagenkammer eine zum senkrechten Transport scheibenförmiger Substrate ausgebildete Transporteinrichtung sowie mindestens eine Beschichtungseinrichtung mit einem vertikal angeordneten rohrförmigen Target, das an seinem unteren Ende in einer unteren Drehlagereinrichtung und an seinem oberen Ende in einer oberen Drehlagereinrichtung gelagert ist, wobei vorgesehen ist, dass die obere Drehlagereinrichtung eine mit dem rohrförmigen Target verbindbare Verbindungseinrichtung aufweist, die in der axialen Richtung des rohrförmigen Targets so verstellbar ist, dass sie in einer ersten Einstellung mit dem oberen Ende des rohrförmigen Targets verbunden ist und in einer zweiten Einstellung einen axialen Abstand zum oberen Ende des rohrförmigen Targets aufweist.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die untere Drehlagereinrichtung ein Medienendblock mit einem im Innern der Anlagenkammer angeordneten Gehäuse sowie einer im Gehäuse drehbar gelagerten Tragwelle ist, der von außerhalb der Anlagenkammer zugängliche Anschlüsse zur Versorgung des rohrförmigen Targets mit Kühlmittel und Elektroenergie aufweist.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die obere Drehlagereinrichtung einen Antriebsendblock mit einem im Innern der Anlagenkammer angeordneten Gehäuse sowie einer im Gehäuse drehbar gelagerten Tragwelle umfasst, der eine Antriebseinrichtung zum Antreiben des rohrförmigen Targets aufweist oder mit einer Antriebseinrichtung verbunden ist. Die Antriebseinrichtung kann im Gehäuse des Endblocks oder außerhalb der Anlagenkammer angeordnet sein und durch Übertragungsmittel wie Riemen, Ketten, Wellen usw. auf die Tragwelle wirken.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die obere Drehlagereinrichtung eine an einer Öffnung einer Kammerwand angeordnete Drehdurchführung mit einer drehbar gelagerten Tragwelle umfasst, die mit einer außerhalb der Anlagenkammer angeordneten Antriebseinrichtung zum Antreiben des rohrförmigen Targets verbunden ist.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die obere Drehlagereinrichtung und die untere Drehlagereinrichtung an einem entfernbaren Kammerdeckel der Anlagenkammer angebracht sind.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die obere Drehlagereinrichtung und die untere Drehlagereinrichtung an einer einem entfernbaren Kammerdeckel gegenüberliegenden Kammerwand der Anlagenkammer angebracht sind.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Kammerdeckel auf Schienen verfahrbar angeordnet und auf den Schienen zwischen einer Öffnungsposition und einer Schließposition hin und her bewegbar ist. Der Kammerdeckel kann dazu beispielsweise auf einem Grundgestell mit Rädern angeordnet sein, welches auf Schienen steht.
- Die Erfindung betrifft des Weiteren ein zugehöriges Rohrtarget-Hebezeug zum Anheben eines rohrförmigen Targets wahlweise in horizontaler oder vertikaler Ausrichtung, umfassend einen in vertikaler Richtung orientierten ersten Träger, der an seinem oberen Ende zum Anbringen des Rohrtarget-Hebezeugs an einen Kranhaken ausgebildet ist, sowie einen zweiten Träger, der an seinen beiden Enden Greifeinrichtungen wie Klauen, Schellen oder dergleichen zum Erfassen je eines Endes des rohrförmigen Targets aufweist, in seinem mittleren Bereich mit dem unteren Ende des ersten Trägers zwischen einer horizontalen Ausrichtung und einer vertikalen Ausrichtung hin und her schwenkbar verbunden und zumindest in der vertikalen Ausrichtung arretierbar ist.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der erste Träger und der zweite Träger durch eine Bremseinrichtung zum verlangsamten Schwenken des zweiten Trägers von der vertikalen Ausrichtung in die horizontale Ausrichtung verbunden sind. Die Bremseinrichtung kann beispielsweise als Gasdruckdämpfer oder Reibungsbremse, ggf. mit einem Freilauf, um nur in einer Schwenkrichtung eine Bremswirkung zu erzeugen, ausgebildet sein.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der erste Träger und der zweite Träger durch eine Antriebseinrichtung zum Schwenken des zweiten Trägers relativ zum ersten Träger verbunden sind. Die Antriebseinrichtung kann beispielsweise als elektromotorischer Spindeltrieb, Pneumatikzylinder oder dergleichen ausgebildet sein.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass das obere Ende des ersten Trägers in der vertikalen Ausrichtung des zweiten Trägers in der Verlängerung einer die beiden Greifeinrichtungen des zweiten Trägers verbindenden Geraden angeordnet ist. Dazu kann der erste Träger beispielsweise mindestens einmal abgewinkelt oder gekröpft sein.
- Im Folgenden wird die erfindungsgemäße Vorrichtung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen anhand von Ausführungsbeispielen detaillierter beschrieben. Darin zeigt
-
1 eine Vakuumbeschichtungsanlage sowie ein erstes Ausführungsbeispiel eines Hebezeugs zum Austausch des Targets, und -
2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Hebezeugs zum Austausch des Targets. -
1 zeigt eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Beschichtung scheibenförmiger Substrate11 , welche eine von Kammerwänden21 begrenzte Anlagenkammer2 umfasst, die eine durch einen Kammerdeckel23 vakuumdicht verschließbare Öffnung aufweist. Die Anlagenkammer2 steht im Ausführungsbeispiel auf einem Grundgestell22 . Der Kammerdeckel23 steht im Ausführungsbeispiel auf einem Grundgestell24 mit Rädern25 , die auf Schienen5 stehen. - Im Innern der Anlagenkammer
2 ist eine Transporteinrichtung4 angeordnet, die untere Transportrollen41 und obere Führungsrollen42 umfasst. Zwischen den Transportrollen und den Führungsrollen können Substrate11 , die in Substratträgern12 gehalten sind, durch die Anlagenkammer2 und damit an zwei Beschichtungseinrichtungen3 vorbei bewegt werden. - Dazu sind an der Innenseite des Kammerdeckels
23 sowie an der dem Kammerdeckel23 gegenüberliegenden Kammerwand21 je eine Beschichtungseinrichtung3 mit einem vertikal angeordneten rohrförmigen Target31 angeordnet, wobei das rohrförmige Target31 jeweils an seinem unteren Ende in einer unteren Drehlagereinrichtung32 und an seinem oberen Ende in einer oberen Drehlagereinrichtung35 gelagert ist. - Die obere Drehlagereinrichtung
35 weist eine in einer Drehdurchführung37 drehbar gelagerte Tragwelle36 auf, mit deren außerhalb der Anlagenkammer2 liegendem Ende eine Antriebseinrichtung38 verbunden ist. Das innerhalb der Anlagenkammer2 liegende Ende der Tragwelle36 weist eine mit dem rohrförmigen Target31 verbindbare Verbindungseinrichtung39 in Form einer Kupplung auf. Die Kupplung39 ist in der axialen Richtung des rohrförmigen Targets31 so verstellbar, dass sie in einer ersten Einstellung mit dem oberen Ende des rohrförmigen Targets31 verbunden ist und in einer zweiten Einstellung einen axialen Abstand zum oberen Ende des rohrförmigen Targets31 aufweist. Das obere Ende des rohrförmigen Targets31 weist einen Flansch auf, mit dem die Verbindungseinrichtung39 lösbar verbindbar ist. - Die untere Drehlagereinrichtung
32 der beiden Beschichtungseinrichtungen ist jeweils in Form eines im Innern der Anlagenkammer2 angeordneten Medienendblocks ausgeführt, der von außerhalb der Anlagenkammer2 zugängliche Versorgungsanschlüsse34 zur Versorgung des rohrförmigen Targets31 mit Kühlmittel und Elektroenergie aufweist. Der Medienendblock32 umfasst ein im Innern der Anlagenkammer2 angeordnetes Gehäuse. Innerhalb des Gehäuses ist eine drehbar gelagerte Tragwelle33 angeordnet, die das rohrförmige Target31 trägt. Die drehbar gelagerte Tragwelle33 weist einen Flansch auf, der mit einem am unteren Ende des rohrförmigen Targets31 angeordneten Flansch lösbar verbindbar ist. - Die obere Drehlagereinrichtung
35 und die untere Drehlagereinrichtung32 der einen Beschichtungseinrichtung sind an einem entfernbaren Kammerdeckel23 der Anlagenkammer2 angebracht, wobei der Kammerdeckel23 der Kammerwand21 , an der die andere Beschichtungseinrichtung3 angebracht ist, gegenüberliegt und auf Schienen5 verfahrbar angeordnet ist. -
1 zeigt zudem ein zum Targetaustausch geeignetes Hebezeug6 . Dieses umfasst einen ersten Träger61 , der an seinem oberen Ende eine Öse63 zum Anbringen des Hebezeugs an einem Kran aufweist, sowie einen zweiten Träger62 , der an seinen beiden Enden Greifeinrichtungen64 zum Erfassen je eines Endes des rohrförmigen Targets31 aufweist. - Der zweite Träger
62 ist in seinem mittleren Bereich mit dem unteren Ende des ersten Trägers61 durch ein Gelenk65 zwischen einer horizontalen Ausrichtung und einer vertikalen Ausrichtung hin und her schwenkbar verbunden. Zudem ist der zweite Träger62 in der vertikalen Ausrichtung durch ein Fixierelement relativ zum ersten Träger arretierbar. Das Gelenk65 zwischen erstem Träger61 und zweitem Träger62 ist gleichzeitig als Bremseinrichtung zum verlangsamten Schwenken des zweiten Trägers62 von der vertikalen Ausrichtung in die horizontale Ausrichtung ausgebildet. - Ein Target
31 wird wie folgt entfernt. Das an einem Kran befestigte Hebezeug6 wird in die Nähe des auszuwechselnden rohrförmigen Targets31 bewegt. Das rohrförmige Target31 wird mit den Greifeinrichtungen64 des Hebezeugs6 an seinen beiden Enden, d. h. außerhalb des Targetmaterials, ergriffen. Mittels der Kupplung39 wird die Verbindung zwischen der Tragwelle36 der oberen Drehlagereinrichtung35 und dem oberen Ende des rohrförmigen Targets31 gelöst. Die Verbindung zwischen der Tragwelle33 der unteren Drehlagereinrichtung32 und dem unteren Ende des rohrförmigen Targets31 wird ebenfalls gelöst. Das rohrförmige Target31 wird vertikal nach oben und anschließend horizontal bewegt, so dass es aus dem Kammerdeckel23 bzw. – im Fall der anderen Beschichtungseinrichtung3 – aus der Anlagenkammer2 entnommen wird. - Ist das auszutauschende rohrförmige Target
31 entfernt, so kann ein einzubringendes rohrförmiges Target31 im entkuppelten Zustand der Kupplung39 mittels des Hebezeugs6 durch eine horizontale Bewegung in eine Position senkrecht über der unteren Drehlagereinrichtung gebracht werden. - Der Einsatz des Hebezeugs
6 setzt voraus, dass die Anlagenkammer2 geöffnet wird. Hierzu wird der auf Schienen5 verfahrbare Kammerdeckel23 in eine Position gebracht, in der mittels des Hebezeugs6 das Target31 leicht austauschbar ist. Nach Austausch des Targets31 wird der Kammerdeckel23 auf den Schienen5 soweit in Richtung Anlagenkammer2 verfahren, dass ein vakuumfester Verschluss ermöglicht wird. -
2 zeigt dieselbe Ausgestaltung der Vakuumbeschichtungsanlage mit einem zweiten Ausführungsbeispiel des Hebezeugs. - Dabei ist das Gelenk
65 so ausgestaltet, dass eine Bremseinrichtung nicht benötigt wird, weil die Drehachse des Gelenks65 in dem Hebezeug6 waagerecht, d. h. quer zur Transportrichtung des Substrates11 verläuft. Diese Anordnung hat den weiteren Vorteil, dass beim Schwenken des Targets31 in die Horizontale sich der Schwerpunkt nicht verlagert. Im Unterschied zur1 , wo die Drehachse orthogonal zur Zeichnungsebene steht, liegt diese in der2 in der Zeichnungsebene. - Die Erfindung wurde anhand von Ausführungsbeispielen und Zeichnungen näher erläutert, wobei diese Darstellung die Erfindung nicht einschränken soll. Es versteht sich, dass Fachleute Änderungen und Abwandlungen machen können, ohne den Umfang der folgenden Ansprüche zu verlassen. Insbesondere umfasst die Erfindung Ausführungsformen mit jeglicher Kombination von Merkmalen verschiedener Ausführungsformen, die hier beschrieben sind.
- Bezugszeichenliste
-
- 11
- Substrat
- 12
- Substratträger
- 2
- Anlagenkammer
- 21
- Kammerwand
- 22
- Grundgestell
- 23
- Kammerdeckel
- 24
- Grundgestell
- 25
- Räder
- 3
- Beschichtungseinrichtung
- 31
- rohrförmiges Target
- 32
- untere Drehlagereinrichtung
- 33
- Tragwelle
- 34
- Versorgungsanschlüsse
- 35
- obere Drehlagereinrichtung
- 36
- Tragwelle
- 37
- Drehdurchführung
- 38
- Antriebseinrichtung
- 39
- Verbindungseinrichtung, Kupplung
- 4
- Transporteinrichtung
- 41
- Transportrollen
- 42
- Führungsrollen
- 5
- Schienen
- 6
- Hebezeug
- 61
- erster Träger
- 62
- zweiter Träger
- 63
- Öse
- 64
- Greifeinrichtung
- 65
- Gelenk, Bremseinrichtung
- 66
- Fixierelement
Claims (11)
- Vakuumbeschichtungsanlage zur Beschichtung scheibenförmiger Substrate (
11 ), umfassend eine von Kammerwänden (21 ) begrenzte Anlagenkammer (2 ), die eine durch einen Kammerdeckel (23 ) vakuumdicht verschließbare Öffnung aufweist, sowie innerhalb der Anlagenkammer (2 ) eine zum senkrechten Transport scheibenförmiger Substrate (11 ) ausgebildete Transporteinrichtung (4 ) sowie mindestens eine Beschichtungseinrichtung (3 ) mit einem vertikal angeordneten rohrförmigen Target (31 ), das an einem unteren Ende in einer unteren Drehlagereinrichtung (32 ) und an einem oberen Ende in einer oberen Drehlagereinrichtung (35 ) gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Drehlagereinrichtung (35 ) eine mit dem rohrförmigen Target (31 ) verbindbare Verbindungseinrichtung (39 ) aufweist, die in der axialen Richtung des rohrförmigen Targets (31 ) so verstellbar ist, dass sie in einer ersten Einstellung mit dem oberen Ende des rohrförmigen Targets (31 ) verbunden ist und in einer zweiten Einstellung einen axialen Abstand zum oberen Ende des rohrförmigen Targets (31 ) aufweist. - Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Drehlagereinrichtung (
32 ) ein Medienendblock mit einem im Innern der Anlagenkammer (2 ) angeordneten Gehäuse sowie einer im Gehäuse drehbar gelagerten Tragwelle (33 ) ist, der von außerhalb der Anlagenkammer (2 ) zugängliche Versorgungsanschlüsse (34 ) zur Versorgung des rohrförmigen Targets (31 ) mit Kühlmittel und Elektroenergie aufweist. - Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Drehlagereinrichtung (
35 ) einen Antriebsendblock mit einem im Innern der Anlagenkammer (2 ) angeordneten Gehäuse sowie einer im Gehäuse drehbar gelagerten Tragwelle umfasst, der eine Antriebseinrichtung zum Antreiben des rohrförmigen Targets (31 ) aufweist oder mit einer Antriebseinrichtung verbunden ist. - Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Drehlagereinrichtung (
35 ) eine an einer Öffnung einer Kammerwand (21 ) angeordnete Drehdurchführung (37 ) mit einer drehbar gelagerten Tragwelle (36 ) umfasst, die mit einer außerhalb der Anlagenkammer (2 ) angeordneten Antriebseinrichtung (38 ) zum Antreiben des rohrförmigen Targets (31 ) verbunden ist. - Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Drehlagereinrichtung (
35 ) und die untere Drehlagereinrichtung (32 ) an einem entfernbaren Kammerdeckel (23 ) der Anlagenkammer (2 ) angebracht sind. - Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Drehlagereinrichtung (
35 ) und die untere Drehlagereinrichtung (32 ) an einer einem entfernbaren Kammerdeckel (23 ) gegenüberliegenden Kammerwand (21 ) der Anlagenkammer (2 ) angebracht sind. - Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerdeckel (
23 ) auf Schienen (5 ) verfahrbar angeordnet und auf den Schienen (5 ) zwischen einer Öffnungsposition und einer Schließposition hin und her bewegbar ist. - Rohrtarget-Hebezeug (
6 ) zum Anheben eines rohrförmigen Targets (31 ) wahlweise in horizontaler oder vertikaler Ausrichtung, umfassend einen in vertikaler Richtung orientierten ersten Träger (61 ), der an einem oberen Ende zum Anbringen des Hebezeugs an einen Kranhaken ausgebildet ist, sowie einen zweiten Träger (62 ), der zwei Enden aufweist, die Greifeinrichtungen (64 ) zum Erfassen je eines Endes des rohrförmigen Targets (31 ) aufweisen und in einem mittleren Bereich mit einem unteren Ende des ersten Trägers (61 ) zwischen einer horizontalen Ausrichtung und einer vertikalen Ausrichtung hin und her schwenkbar verbunden und zumindest in der vertikalen Ausrichtung arretierbar ist. - Rohrtarget-Hebezeug nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Träger (
61 ) und der zweite Träger (62 ) durch eine Bremseinrichtung (65 ) zum verlangsamten Schwenken des zweiten Trägers von der vertikalen Ausrichtung in die horizontale Ausrichtung verbunden sind. - Rohrtarget-Hebezeug nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Träger (
61 ) und der zweite Träger (62 ) durch eine Antriebseinrichtung zum Schwenken des zweiten Trägers (62 ) relativ zum ersten Träger (61 ) verbunden sind. - Rohrtarget-Hebezeug nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das obere Ende des ersten Trägers (
61 ) in der vertikalen Ausrichtung des zweiten Trägers (62 ) in der Verlängerung einer die beiden Greifeinrichtungen (64 ) des zweiten Trägers (62 ) verbindenden Geraden angeordnet ist.
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