DE202006008808U1

DE202006008808U1 - Rohrtarget-Wechselvorrichtung

Info

Publication number: DE202006008808U1
Application number: DE200620008808
Authority: DE
Original assignee: Applied Films GmbH and Co KG
Current assignee: Applied Materials GmbH and Co KG
Priority date: 2006-06-03
Filing date: 2006-06-03
Publication date: 2006-08-17
Anticipated expiration: 2016-06-04

Abstract

Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1), enthaltend
a) eine Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3),
b) eine Rohrtarget-Transportvorrichtung (2) sowie
c) eine Magnetsystem-Wechselvorrichtung (4).

Description

Die Erfindung betrifft eine Rohrtarget-Wechselvorrichtung nach dem Oberbegriff des Schutzanspruchs 1.
Das Wechseln von Rohrtargets ist relativ aufwändig, da zum einen die verbrauchten Rohrtargets aus der Beschichtungsanlage herausgenommen und zum anderen neue Rohrtargets in diese Anlage eingesetzt werden müssen.
Der Ausbau der Rohrtargets erfolgt in der Weise, dass diese, nachdem sie von der Beschichtungsanlage gelöst worden sind, mittels eines Krans herausgehoben werden müssen. Die Rohrtargets werden dabei mittels Seilschlaufen an dem Kran befestigt und auf den Boden oder auf bereitstehende Böcke gelegt. Dadurch dass die Rohrtargets nur an Seilschlaufen befestigt sind, besteht die Gefahr, dass diese durch starke Pendelbewegungen nicht nur an in der Nähe stehende Anlagen und Gegenstände schlagen und diese somit beschädigen oder auch selbst beschädigt werden, sondern es besteht auch eine erhebliche Verletzungsgefahr für das Personal.
Liegen die Rohrtargets auf Böcken, müssen die Magnetsysteme aus den gebrauchten Rohrtargets aus- und in die neuen Rohrtargets eingebaut werden. Meist liegen die Rohrtargets auch nicht sicher auf den Böcken, sodass die Gefahr besteht, dass die Rohrtargets herunterfallen.
Da das Wechseln der Magnetsysteme per Hand geschieht, ist die Gefahr groß, dass die sehr teuren Magnetsysteme durch das Personal fallengelassen werden und so auf dem Boden aufschlagen, wodurch sie beschädigt werden können.
Sind die Magnetsysteme einmal in die neuen Rohrtargets eingebaut worden, müssen die neuen Rohrtargets wieder in die Anlage eingesetzt werden. Dabei werden die Rohrtargets durch einen Kran in die Anlage befördert. Da die Rohrtargets jedoch wiederum nur an Seilschlaufen an dem Kran befestigt sind, besteht nicht nur Gefahr, dass außer den in der Nähe stehenden Anlagen auch noch die Rohrtargets selbst beschädigt werden.
Daneben besteht natürlich auch weiterhin die Verletzungsgefahr für das Personal.
Die vorstehend beschriebene Art des Ein- und Ausbaus von Rohrtargets ist somit nicht nur sehr zeitaufwändig, sondern auch gefährlich.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Rohrtarget-Wechselvorrichtung bereitzustellen, die ein schnelles und sicheres Wechseln von Rohrtargets ermöglicht.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Schutzanspruchs 1 gelöst.
Der Vorteil der Rohrtarget-Wechselvorrichtung besteht darin, dass gebrauchte Rohrtargets schnell und sicher aus einer Beschichtungsanlage ausgebaut und durch neue ungebrauchte Rohrtargets ersetzt werden können.
Die Rohrtarget-Wechselvorrichtung weist neben einer Transportvorrichtung eine Rohrtarget-Auflagevorrichtung und eine Magnetsystem-Wechselvorrichtung auf. Mittels der Transportvorrichtung können die ausgebauten gebrauchten Rohrtargets einfach aus der Beschichtungsanlage herausgenommen werden und auf die Rohrtarget-Auflagevorrichtung aufgelegt werden. Eine Verletzungsgefahr für das Personal ist dabei nahezu ausgeschlossen.
Auf der Rohrtarget-Auflagevorrichtung liegen die Rohrtargets sicher und können dort weder verrutschen noch herunterfallen.
Vorteilhaft ist auch, dass die Rohrtargets eine optimale Arbeitshöhe aufweisen, wenn sie auf der Rohrtarget-Auflagevorrichtung angeordnet sind.
Ein Vorteil besteht auch darin, dass die ungebrauchten neuen Rohrtargets neben die gebrauchten Rohrtargets auf die Rohrtarget-Auflagevorrichtung gelegt werden können. Dadurch dass sie dort sicher aufliegen, ist ein Herunterfallen der ungebrauchten Rohrtargets nicht möglich, ihre Beschädigung somit ausgeschlossen.
Ein weiterer Vorteil der Rohrtarget-Auflagevorrichtung liegt darin, dass die Auflageflächen für die Rohrtargets dem Umfang der Rohrtargets angepasst werden können, womit Rohrtargets jeden Umfangs auf der Rohrtarget-Auflagefläche angeordnet werden können.
Liegen die gebrauchten und ungebrauchten neuen Rohrtargets neben einander, so können mittels einer Magnetsystem-Wechselvorrichtung die Magnetsysteme einfach und schnell gewechselt werden.
Vorteilhafterweise besitzt die Magnetsystem-Wechselvorrichtung eine Höhe, die der Arbeitshöhe der Rohrtarget-Auflagevorrichtung entspricht. Dadurch können die Magnetsysteme einfach auf die Magnetsystem-Wechselvorrichtung gebracht werden, ohne dass die Gefahr besteht, dass die Magnetsysteme durch diesen Wechsel beschädigt werden.
Auch können die Magnetsysteme ohne eine Verletzungsgefahr für das Personal schnell und sicher gewechselt werden. Die Zeit- sowie die Kosteneinsparungen bei dem Wechsel von Rohrtargets sind damit erheblich, verglichen mit den üblichen Wechseltechniken, wie zum Beispiel dem Wechsel von Rohrtargets nach Vanderstraeten.
Ein Ausführungsbeispiel ist in den Zeichnungen dargestellt und wird nachfolgend näher erläutert. Es zeigen:
1 eine perspektivische Ansicht einer Rohrtarget-Wechselvorrichtung mit einer Rohrtarget-Transportvorrichtung, einer Rohrtarget-Auflagevorrichtung sowie einer Magnetsystem-Wechselvorrichtung;
2 eine perspektivische Seitenansicht der in 1 gezeigte Anordnung nach Drehung um 90° im Uhrzeigersinn;
3 eine perspektivische Ansicht eines Ausschnitts der Magnetsystem-Wechselvorrichtung;
4 das Anheben der Magnetsystem-Wechselvorrichtung mittels eines Krans;
5 eine weitere perspektivische Ansicht der Magnetsystem-Wechselvorrichtung;
6 eine perspektivische Ansicht der Rohrtarget-Transportvorrichtung gemäß 1 mit zwei Rohrtargets;
7 eine Seitenansicht der Rohrtarget-Transportvorrichtung gemäß 6 nach Drehung um 90° entgegen dem Uhrzeigersinn.
In 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Rohrtarget-Wechselvorrichtung 1 dargestellt. Diese Rohrtarget-Wechselvorrichtung 1 weist eine Rohrtarget-Transportvorrichtung 2, eine Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 sowie eine Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 auf.
Die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 ist unterhalb der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 angeordnet.
Die Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 enthält zwei Grundeinheiten 5, 6, die über Streben miteinander verbunden sind, von denen nur eine Strebe 7 zu erkennen ist. Jede Grundeinheit 5, 6 weist einen Rahmen 8, 9 sowie daran angebrachte Beine auf, wobei jede Grundeinheit 5, 6 vier Beine besitzt, von denen in 1 nur die Beine 10 bis 14 zu erkennen sind. Diese Beine weisen Füße auf, wobei nur die Füße 15 bis 19 der Beine 10 bis 14 zu sehen sind. Diese Füße weisen jeweils eine Durchbohrung auf, durch die z. B. Schrauben geführt werden können, um die Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 fest mit dem Untergrund zu verbinden. Von diesen Durchbohrungen sind in 1 die Durchbohrungen 20, 21 zu erkennen.
In die Rahmen 8, 9 der Grundeinheiten 5, 6 ist jeweils eine Wanne 22, 23 eingelassen. Diese Wannen 22, 23 dienen zum Aufnehmen von Kühlflüssigkeit, die beim Entnehmen der Magnetsysteme aus den Rohrtargets anfällt. Dabei sind die Wannen 22, 23 vorzugsweise aus den Rahmen 8, 9 herausnehmbar und können zudem über eine Öffnung verfügen, die mit einem Stopfen verschlossen werden kann. Durch Entfernen des Stopfens kann dann die Kühlflüssigkeit aus der Wanne 22, 23 herausfließen. Es ist auch möglich, an die Öffnungen einen Schlauch anzuschließen, sodass die Kühlflüssigkeit zu einem Bodenabfluss geleitet werden kann.
Des Weiteren weist die Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 mehrere Auflageflächen 24 bis 29 auf, wobei ein Rohrtarget 30 auf den einander gegenüberliegenden Auflageflächen 24, 27 aufliegt, weshalb diese Auflageflächen 24, 27 nur teilweise zu sehen sind.
Zur Mitte der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 hin sind an dem Rahmen 8 und 9 jeweils vier solcher Auflageflächen in einer Reihe angeordnet. Dabei besitzt jede auf einem der Rahmen 8, 9 angeordnete Auflagefläche eine ihr gegenüberliegende Auflagefläche, sodass auf diese Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 insgesamt vier Rundtargets aufgelegt werden können.
An der Strebe 7 sind zwei Kurbeln 31, 32 zu erkennen, mittels derer die Auflageflächen 24 bis 29 dem Umfang der auf ihnen aufliegenden Rohrtargets angepasst werden können. Diese Kurbeln 31, 32 sind über Ketten, Seile oder Riemen 33, 34, 37, 38 miteinander verbunden. Vorzugsweise werden jedoch Zahnriemen 33, 34, 37, 38 eingesetzt, wobei der Zahnriemen 33 die Kurbel 31 mit dem Zahnrad 35 und der Zahnriemen 37 die Kurbel 31 mit dem Zahnrad 36 verbindet. Die Kurbel 32 wird hingegen mit dem Zahnrad 35 über den Zahnriemen 38 und mit dem Zahnrad 36 über den Zahnriemen 34 verbunden.
Eine solche Anordnung, bestehend aus Riemen, Kurbeln und Zahnrädern kann sich auch. auf der gegenüberliegenden Seite befinden. Die Kurbeln 31, 32 dienen nur der parallelen Höhenverstellung der Auflage und funktionieren paarweise für vorne und hinten.
Vorzugsweise kann an der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 noch eine Messvorrichtung mit einer Anzeige angebracht sein, die die Anzahl der Umdrehungen einer Kurbel misst und berechnet, welche Rohrtargets mit welchem Umfang nun auf der Auflagefläche liegen können. Dieser Wert wird sodann auf einer Anzeige angezeigt.
Auch ist vorstellbar, dass der Wert eines Umfangs eines bestimmten Rohrtargets auf elektronischem Wege eingegeben wird und die Auflageflächen dann dem Umfang dieser Rohrtargets automatisch angepasst werden.
Am Rahmen 8 sind des Weiteren zwei mit jeweils einer Öffnung 80, 81 versehene Stützen 78, 79 angeordnet. Diese Stützen 78, 79 dienen zum Befestigen der Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4. Auf das Befestigen der Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 wird später noch eingegangen.
An jedem der beiden Rahmen 8, 9 sind jeweils drei Pfeiler 39 bis 44 angeordnet. Diese Pfeiler 39 bis 44 dienen zum Auflegen der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2.
In 1 ist diese Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 zu sehen, wie sie auf den Pfeilern 40 bis 43 aufliegt. Sie weist mehrere Ösen 45 bis 48 auf, die zum Befestigen von Ketten oder Seilen einer Hebevorrichtung, z. B. eines Krans, dienen. Die vier äußeren Pfeiler 39, 41, 42, 44 sind jeweils mit einem kronenförmigen Ende versehen, wobei nur die kronenförmigen Enden 49 bis 51 zu sehen sind. Diese kronenförmigen Enden 49 bis 51 besitzen jeweils drei Zacken, wobei die Zacken bewirken, dass die Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 zentriert auf den Pfeilern 39 bis 44 aufliegt. In 1 sind nur die Zacken 52 bis 58 der kronenförmigen Enden 49, 51 zu erkennen. Der Abstand zwischen ihnen ist so gewählt, dass zwei Rohrtarget-Transportvorrichtungen 2 hinreichende Auflageflächen haben.
Die Pfeiler 39 bis 44 weisen zudem Verstellelemente, zum Beispiel Schrauben auf, von denen nur die Schrauben 59 bis 61, 75 zu erkennen sind. Diese Schrauben 59 bis 61, 75 dienen dazu, den Abstand zwischen den Auflageflächen 24 und 29 und der auf den Pfeilern 39 bis 44 aufliegenden Rohrtarget-Transporvorrichtung 2 einzustellen.
Unterhalb der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 ist die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 angeordnet. Diese Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 verfügt über einen unteren und einen oberen Rahmen 62, 63, wobei die Rahmen 62, 63 über Stege miteinander verbunden sind, von denen nur die Stege 64, 65 zu sehen sind. Am unteren Rahmen 62 weist die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 Räder auf, sodass die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 herausgezogen bzw. wieder hineingeschoben werden kann. In 1 sind nur die Räder 66, 67 zu erkennen.
Des Weiteren weist die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 zwei parallel zueinander verlaufende Schienen 76, 77 auf. Auf diesen Schienen 76, 77 sind mehrere Rollen 72, 73, 74, 87, 88 angeordnet.
2 zeigt eine perspektivische Seitenansicht der in 1 dargestellten Rohrtarget-Wechselvorrichtung 1. Zu erkennen ist wiederum die auf Pfeilern 40 bis 43 aufliegende Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 sowie die unterhalb der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 angeordnete Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4. In 2 sind nur die Pfeiler 40, 41 zu sehen.
Zu sehen sind zudem zwei Füße 68, 69, die am unteren Rahmen 62 der Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 angeordnet sind. Am Ende der Füße 68, 69 ist ein Kunststoff oder gummielastisches Material 70, 71 angebracht. Auf dem oberen Rahmen 63 sind außerdem die zwei mit Rollen 72, 86 bis 88 versehenen, parallel zueinander verlaufenden Schienen 76, 77 zu erkennen. Auf diesen Schienen 76, 77 befinden sich jeweils zwei Rollen (72, 86; 87, 88), die einander gegenüberliegen.
3 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Ausschnitts der Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4, nachdem sie herausgezogen wurde. Es ist wiederum der untere Rahmen 62, der über den Steg 65 mit dem oberen Rahmen 63 verbunden ist, zu erkennen. Dieser obere Rahmen 63 verfügt über mehrere Ösen 82 bis 85. Diese Ösen 82 bis 85 dienen zum Befestigen von Ketten einer Hebevorrichtung, z. B. eines Krans, mit welcher die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 angehoben werden kann.
Des Weiteren sind die beiden Schienen 76, 77 zu sehen, die parallel zueinander angeordnet sind. Diese Schienen 76, 77 verfügen über mehrere Rollen 74, 89 bis 97, die paarweise angeordnet sind. Diese paarweise angeordneten Rollen 74, 89 bis 97 dienen als Laufrollen, auf denen ein Magnetsystem zumindest teilweise aufliegt.
Neben diesen Rollen 74, 89 bis 97 sind an den Schienen 76, 77 noch Führungsrollen 98 bis 103 angebracht. Diese Führungsrollen 98 bis 103 sind zum Beispiel an Stäben 104 bis 109 befestigt und in einer bestimmten Höhe angebracht. Da diese Führungsrollen 98 bis 103 parallel zueinander angeordnet sind und auch einen Mindestabstand zueinander aufweisen, läuft ein auf den Rollen 74, 89 bis 97 bewegtes Magnetsystem an den Führungsrollen 98 bis 103 vorbei, wobei das Magnetsystem zwischen diesen Führungsrollen 98 bis 103 angeordnet ist. Damit wird verhindert, dass das Magnetsystem von den Rollen 74, 89 bis 97 rutscht und auf den Boden fällt, wodurch es beschädigt werden könnte.
In 4 ist das Anheben der Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 gezeigt, wobei nur ein Ausschnitt zu erkennen ist. Zu sehen ist auch ein Ausschnitt der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 sowie ein Ausschnitt der darauf angeordneten Rohrtarget-Transportvorrichtung 2.
Die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 wird dabei mittels eines hier nicht dargestellten Krans angehoben, wobei die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 über an den Ösen 82 bis 85 befestigte Ketten 110 bis 113 mit dem Kran verbunden ist. Die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 wird dabei auf eine Höhe gebracht, in der der obere Rahmen 63 auf die Stützen 78, 79 des Rahmens 8 der Grundeinheit 5 der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 angebracht werden kann. Zu sehen ist jedoch nur die Stütze 78 mit der Öffnung 80.
Ist diese Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 an dem Rahmen 8 der Grundeinheit 5 angebracht worden, so wird die Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4 mittels Verbindungselementen 114, 115, beispielsweise Schrauben, an dem Rahmen 8 befestigt.
5 zeigt eine weitere perspektivische Ansicht der Magnetsystem-Wechselvorrichtung 4.
Hierbei sind die Schienen 76, 77 auf zwei einander gegenüberliegenden Schwenkvorrichtungen 128, 129 angebracht, die auf dem unteren Rahmen 62 angeordnet sind.
Diese Schwenkvorrichtungen 128, 129 verfügen über jeweils einen Arm 130, 131, auf dem die Schienen 76, 77 angeordnet sind. Diese Arme 130, 131 sind jeweils schwenkbar mit einem auf dem unteren Rahmen 62 angeordneten Pfeiler 132, 133 verbunden und verfügen jeweils über eine Stütze 134, 135.
Die Schienen 76, 77 sind auf den Armen 130, 131 beweglich angeordnet, wobei die Arme 130, 131 eine solche Länge aufweisen, dass diese in dem Bereich 136 frei schwenkbar sind, wobei dieser Bereich 136 durch den oberen Rahmen 62 umgeben ist. Somit können die Magnetsysteme nach deren Ausbau aus bereits gebrauchten Targets nicht nur bequem auf die Rollen 72 bis 74, 86 bis 97, 117 bis 119 geschoben werden, sondern die Magnetsysteme können auch von diesen gebrauchten Rohrtargets weg bewegt werden. Liegen neben den gebrauchten Rohrtargets bereits ungebrauchte, neue Rohrtargets, so liegen die Magnetsysteme durch Schwenken der Schienen 76, 77 direkt vor diesen ungebrauchten Rohrtargets. Die Magnetsysteme können so direkt in die neuen Rohrtargets hineingeschoben und dort befestigt werden.
In 6 ist eine perspektivische Ansicht der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 gemäß 1 mit zwei daran angebrachten Rohrtargets 138, 137 gezeigt, wobei die Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 nicht mehr auf der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 aufliegt.
Diese Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 ist über die einen Enden von Ketten 139 bis 142 mit einem Haken 143 eines hier nicht dargestellten Krans verbunden. Dabei sind die Ketten 139 bis 142 mit ihren anderen Enden wiederum über Haken mit den Ösen der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 verbunden, wobei nur die Haken 144, 145 bzw. die Ösen 45, 48 zu erkennen sind.
Die Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 weist einen Rahmen 146 auf, an dem mehrere Halterungen angeordnet sind, an denen die Rohrtargets 137, 138 angeordnet sind. Von den Halterungen sind nur die Halterungen 147 bis 149 zu erkennen. Jedes Rohrtarget 137, 138 ist an den Enden mit jeweils zwei Befestigungsmöglichkeiten verbunden.
8 zeigt eine Seitenansicht der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 gemäß 6.
Das Rohrtarget 138 ist dabei mit den Halterungen 148, 147 verbunden, die wiederum mit dem Rahmen 146 der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 verbunden sind. Das Rohrtarget 138 weist an den Enden 150, 151 Schnellverschlüsse 152, 153 auf, über die das Rohrtarget 138 mit den Halterungen 147, 148 verbunden ist.
Weiterhin weist das Rohrtarget 138 zwei Abschirmringe 154, 155 auf, die das Targetmaterial 156 an den Enden 150, 151 des Rohrtargets 138 zumindest teilweise umgeben.
Soll bei einem solchen Rohrsystem ein Magnetsystem ein- bzw. ausgebaut werden, so müssen vorher die Schnellverschlüsse 152, 153 entfernt werden. Dazu werden die Rohrtargets zuerst mittels der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 auf die Auflageflächen 24 bis 29 der Rohrtarget-Auflagevorrichtung 3 gelegt und von der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 gelöst.
Sodann werden die Schnellverschlüsse 152, 153 gelöst. Handelt es sich zum Beispiel um Rohrtargets, die gerade aus der Beschichtungsanlage ausgebaut wurden, also um ge brauchte Rohrtargets, so fließt aus diesen Rohrtargets nach Lösen der Schnellverschlüsse 152, 153 Kühlflüssigkeit in die Wannen 22, 23.
Es werden dann die Magnetsysteme aus den gebrauchten Rohrtargets geholt und auf die mit Rollen 86 bis 97, 72 bis 74, 117 bis 119 versehenen Schienen 76, 77 geschoben. Die auf den Schwenkvorrichtungen 128, 129 angebrachten Schienen 76, 77 werden von den gebrauchten Rohrtargets weg und zu den ungebrauchten Rohrtargets hinbewegt. Diese noch unbenutzten neuen Rohrtargets liegen direkt neben den benutzten Rohrtargets, sodass die Magnetsysteme in diese neuen, ungebrauchten Rohrtargets lediglich hineingeschoben werden müssen. Anschließend werden auf diesen ungebrauchten Rohrtargets mit den darin befindlichen Magnetsystemen die Schnellverschlüsse angebracht.
Die unbenutzten Rohrtargets werden dann an der Rohrtarget-Transportvorrichtung 2 befestigt und zur Beschichtungsanlage hin befördert, wo sie schließlich eingebaut werden.

Claims

Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1), enthaltend a) eine Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3), b) eine Rohrtarget-Transportvorrichtung (2) sowie c) eine Magnetsystem-Wechselvorrichtung (4).
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3) mehrere Auflageflächen (24–29) für das Auflegen von mindestens einem Rohrtarget aufweist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3) Vorrichtungen zum Anpassen der Auflageflächen (24–29) an den Umfang der Rohrtargets aufweist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3) Stützen (39–44) aufweist, auf denen die Rohrtarget-Transportvorrichtung (2) aufliegt.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohrtarget-Transportvorrichtung (2) oberhalb der Auflageflächen (24–29) angeordnet ist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetsystem-Wechselvorrichtung (4) im Ruhezustand unterhalb der Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3) angeordnet ist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetsystem-Wechselvorrichtung (4) ein Rollensystem (76, 77, 72–74, 86–97, 117–119, 98–103, 120–123) aufweist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Rollensystem (76, 77, 72–74, 86–97, 117–119, 120–123, 98–103) zumindest eine mit Rollen (72–74, 86–97, 117–119) und Führungsrollen (98–103, 120–123) versehene Schiene (76, 77) aufweist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Rollen und Führungsrollen (72–74, 86–97, 117–119) jeweils paarweise vorgesehen sind.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Schiene (76, 77) jeweils mehrere solcher paarweise angeordneten Rollen (72–74, 86–97, 117–119) aufweist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsrollen (98–103, 120–123) paarweise an zumindest einer Schiene (76, 77) angeordnet sind.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils mehrere paarweise angeordneten Führungsrollen (98–103, 120–123) an zumindest einer Schiene (76, 77) angebracht sind.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Rollensystem (76, 77, 72–74, 86–97, 117, 119, 98–103, 120–123) auf zumindest einer Schwenkvorrichtung (128, 129) angebracht ist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetsystem-Wechselvorrichtung (4) bei einem Wechsel von Magnetsystemen an die Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3) angebracht und dort befestigt ist.
Rohrtarget-Wechselvorrichtung (1) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Rollensystem (76, 77, 72–74, 86–97, 117–119, 98–103, 120–123) die gleiche Arbeitshöhe wie die Auflageflächen (24–29) der Rohrtarget-Auflagevorrichtung (3) aufweist.