DE202005008801U1

DE202005008801U1 - Targetwechselvorrichtung

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Publication number: DE202005008801U1
Application number: DE200520008801
Authority: DE
Original assignee: Applied Films GmbH and Co KG
Current assignee: Applied Materials GmbH and Co KG
Priority date: 2005-06-06
Filing date: 2005-06-06
Publication date: 2005-08-11
Anticipated expiration: 2015-06-07

Abstract

Vorrichtung (30) zum Wechseln von lateral ausgedehnten Targets (4) in Behandlungsanlagen, insbesondere von Rundtargets mit einem darin befindlichen Magnetsystem, einem Teil der Kühlung und Verbindungsbauteilen in Glasbeschichtungsanlagen, gekennzeichnet durch mindestens zwei Aufnahmeklauen (32, 33) zum gleichzeitigen Transportieren von ein oder mehreren Targets (4).

Description

Die vorliegende Neuerung bezieht sich auf eine Targetwechselvorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 und eine Glasbeschichtungsanlage gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 15.
In Behandlungsanlagen, insbesondere in Glasbeschichtungsanlagen, kommen lateral ausgedehnte Kathoden mit einer Länge von 3m und mehr zum Einsatz, mit denen Targets für die Magnetronbeschichtung von großflächigen Substraten verwendet werden. In solchen Glasbeschichtungsanlagen z. B. sind mehrere Behandlungskammern vorgesehen, in denen üblicherweise zwei Rundtargets horizontal angeordnet und drehbar mit einer Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit verbunden sind. Mit Hilfe dieser Einheit werden die Targets um ein in ihrem Inneren verlaufendes Magnetfeld gedreht und so eine gleichmäßige Targetausnutzung erreicht, was zudem zu einer Erhöhung der Lebensdauer der Targets beiträgt.
Bisher war ein Auswechseln dieser lateral ausgedehnten Targets nur einzeln mit Hilfe von Seilschlaufen möglich, die an einem Kran befestigt werden. Zum einen ist dadurch der Targetwechsel jedoch wegen der Pendelbewegungen des Seils, die von Bedienern unterdrückt werden müssen, sehr gefahrvoll und gemäß den Unfallverhütungsvorschriften eigentlich auf diese Weise auch nicht zulässig. Ein weiterer gravierender Nachteil dieser Targetwechselmethode besteht darin, dass aufgrund der Pendelbewegungen das Target an anderen Bauteilen anstoßen kann, wodurch es zu einer Beschädigung, wenn nicht gar einer Zerstörung des Targets kommen kann. Solche Beschädigungen sind mit großen Kosten verbunden, wenn man bedenkt, dass z. B. ein einzelnes Target in Sispa^TM (Targetmaterial ist dabei eine Silizium-Aluminium-Legierung)-Ausführung derzeit ca. 8.000,-- EUR kostet. Ein zusätzlicher Nachteil besteht darin, dass mit Hilfe der Seilschlaufen nur jeweils ein Target zur selben Zeit gewechselt werden kann und somit der Targetwechsel z. B. für eine Glasbeschichtungsanlage, die durchaus eine zweistellige Kathodenzahl beinhalten kann, relativ lang dauert.
Aufgabe der vorliegenden Neuerung ist es deshalb, eine Vorrichtung zum Wechseln von lateral ausgedehnten Targets in Behandlungsanlagen aufzuzeigen, die eine einfache Handhabung des Targetwechsels ermöglicht und dabei gleichzeitig die oben genannten Nachteile vermeidet. Weiterhin soll eine Glasbeschichtungsanlage aufgezeigt werden, die diese Vorrichtung umfasst.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und eine Glasbeschichtungsanlage gemäß Anspruch 15 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Vorrichtung sind Gegenstand der abhängigen Unteransprüche.
Die Targetwechselvorrichtung weist mindestens zwei Aufnahmeklauen auf, die mit Hebemitteln, insbesondere Stahlseilen oder Stahlketten, verbindbar sind und zum gleichzeitigen Transportieren von ein oder mehreren Targets geeignet sind. Mit einer solchen Targetwechselvorrichtung wird der Wechsel von nebeneinander in einer Kammer angeordneten Targets beschleunigt, da diese gleichzeitig in den Aufnahmeklauen aufgenommen werden. Zusätzlich werden durch die steif ausgeführten Aufnahmeklauen definierte Griffe an den Targets erhalten, wodurch Pendelbewegungen und damit verbundene Gefährdungen sowie Beschädigungen vermieden werden.
Bevorzugt sind die Aufnahmeklauen an einem Rahmen aufgenommen, wobei dieser Rahmen mit den Hebemitteln verbindbar ist. Durch diesen Rahmen wird die Targetwechselvorrichtung vorteilhaft versteift, ist dadurch unanfälliger gegenüber Pendelbewegungen und kann leichter manövriert werden.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung sind die Aufnahmeklauen durch Ablagen und Auflagen gebildet, wobei diese gegeneinander verspannbar sind und so die Targets umgriffen und in ihrer Lage fixiert werden können. Diese Maßnahme trägt ebenfalls zur Stabilisierung der Lage der Targets bei.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung sind die Aufnahmeklauen zwischen einer Aufnahmeposition, die senkrecht zur lateral ausgedehnten Längsseite der Targets orientiert ist, und einer Manövrierposition, die parallel zur Längsseite der Targets orientiert ist, um eine senkrechte Achse verdreh- bzw. schwenkbar. Auf diese Weise kann die Targetwechselvorrichtung direkt in den Kammerraum zwischen den Targets eingeführt werden und nach dem Verschwenken der Aufnahmeklauen in eine Orientierung senkrecht zur Längsseite der Targets können diese von den Ablagen und Auflagen umgriffen werden. Die Targetwechselvorrichtung kann so während des gesamten Targetwechsels als Einheit verbleiben und es müssen keine zusätzlichen Montagearbeiten an ihr vorgenommen werden.
Zum Ausgleich der jeweils unterschiedlichen Targetdurchmesser bei gleicher Einbauhöhe muss die senkrechte Achse justierbar sein. Bevorzugt wird diese senkrechte Achse durch eine Spindel gebildet, wobei die Auflage an einer auf der Spindel drehbaren Spindelmutter, insbesondere über einen Freilauf, befestigt ist und mittels dieser Spindelmutter in Bezug auf die Ablage sowohl positionierbar als auch gegen diese und das zwischen der Ablage und der Auflage befindliche Target verspannbar ist. Weiterhin bevorzugt ist die Spindel in dein Rahmen gelagert und es sind Mittel, wie z. B. eine weitere Spindelmutter, vorgesehen, die Spindel vertikal und/oder azimutal gegenüber dem Rahmen auszurichten. Auf diese Weise sind die Aufnahmeklauen sehr flexibel gestaltet und können leicht in Bezug auf die Targets positioniert werden. Diese Spindelmuttern können dabei für einen Handbetrieb vorgesehen sein, jedoch ist es auch möglich sie z. B. mit Hilfe von Elektromotoren vollmechanisch zu betätigen.
In einer vorteilhaften Weiterbildung ist an den Längsseiten des Rahmens, die im Wesentlichen parallel zur Targetausrichtung verlaufen, jeweils mindestens ein drehbar gelagertes Rad vorgesehen, dass in Richtung der Längsseite des Rahmens orientiert ist. Dadurch ist die Targetwechselvorrichtung nach Auflage auf dem Kammerdach, wobei die Räder jeweils auf einer der Dachseiten zu liegen kommen, parallel in Bezug zur Targetausrichtung auf dem Kammerdach verschiebbar. Diese Ausgestaltung ist z. B. bei Glasbehandlungsanlagen besonders vorteilhaft, da in diesen Anlagen die Behandlungskammern konstruktiv bedingt eine durch einen Kammerdeckel verschlossene Öffnung im Kammerdach aufweisen, die in ihrer Länge kleiner ist als das in der Kammer befindliche Target zusammen mit den daran befestigten Kupplungen. Mit Hilfe der an dem Rahmen angebrachten Räder kann nun die Targetwechselvorrichtung auf dem Kammerdach verschoben werden, wodurch das Target durch eine einseitige vertikale Hebung der Targetwechselvorrichtung auf einer Seite aus der Behandlungskammer heraushebbar ist. Danach kann dann nach einem Verschieben des in der Kammer verbliebenen Teils des Targets mit Hilfe der Targetwechselvorrichtung auf dem Kammerdach in Richtung zur Mitte der Behandlungskammer auch dieser verbliebene Teil aus der Kammer herausgehoben werden und somit das Target vollständig aus der Kammer entfernt werden. Diese quasi zwangsgeführte Bewegung zum Wechseln des Targets verhindert einen Zusammenstoß des Targets mit anderen Bauteilen, wodurch Beschädigungen des Targets wirkungsvoll unterbunden werden. Zusätzlich wird die Betriebssicherheit bei dem Manövrieren der schweren Targets erhöht.
Alternativ kann auch der Rahmen ortsfest auf dem Kammerdach verbleiben, wenn Führungsmittel in dem Rahmen vorgesehen sind, die eine separate Verschiebung der Aufnahmeklauen zum Rahmen in Bezug auf die Targetlängsachse ermöglichen.
Vorteilhaft können die Aufnahmeklauen in Richtung der Targetlängsachse verschoben werden. Dadurch ist die Targetwechselvorrichtung an verschiedene Targetlängen anpassbar.
Weiterhin vorteilhaft sind die Hebemittel zum einseitigen Absenken und Anheben der Vorrichtung eingerichtet. Dies kam z. B. dadurch ermöglicht werden, dass Stahlseile in einem Kranhaken aufgenommen sind und der Haltepunkt des Kranhakens gegenüber den Stahlseilen verschoben werden kann. Natürlich kann auch jede Seite der Targetwechselvor richtung einer eigenen Hebevorrichtung zugeordnet sein und somit selektiv vertikal einstellbar sein.
Bevorzugt weisen die Ablagen und Auflagen der Aufnahmeklauen Vorsprünge zum Umgreifen der Targets auf. Dadurch wird zum einen verhindert, dass die Targets beim Manövrieren seitlich aus den Aufnahmeklauen heraus gleiten können, und zum anderen, dass mehrere nebeneinander liegende Targets zusammenstoßen. Wenn nun die Flächen der Ablagen und Auflagen, an denen die Targets anliegen, mit einer Polsterung versehen sind, werden Beschädigungen der Targets beim Auswechseln weiter minimiert. Zusätzlich kann zur Sicherheit der Spindelabschnitt, der zwischen der Auflage und der Ablage angeordnet ist und sich somit beim Manövrieren der Targetwechselvorrichtung in der Nähe der Targets befindet, mit einer Polsterung versehen sein.
Für eine Glasbeschichtungsanlage, die die Targetwechselvorrichtung umfasst, wird selbständiger Schutz beansprucht.
Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Neuerung werden bei der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels deutlich. Die Figuren zeigen dabei in schematischer Weise in
1 eine Kammer einer Glasbehandlungsanlage, in der eine Anordnung mit einer Rohrkathode mit drehbarem Target enthalten ist,
2 ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Targetwechselvorrichtung,
3 eine perspektivische Darstellung des Ausführungsbeispiels der 2 im Zusammenhang mit Hebemitteln und aufgenommenen Targets,
4 das Abnehmen des Kammerdeckels,
5a und 5b das Einbringen der Targetwechselvorrichtung gemäß 2 und 3,
6a bis 6c das Verspannen der Aufnahmeklauen um die Targets,
7 das Verschieben der Targets in Bezug auf die Kammeröffnung,
8 das einseitige Herausheben der Targets aus der Kammer und
9 die vollständige Entnahme der Targets aus der Kammer.
In 1 ist eine Kammer 1, die aus einer umlaufenden Kammerwand 2 und einem Kammerdeckel 3 besteht, einer Glasbeschichtungsanlage gezeigt, die eine Rohrkathodenanordnung mit drehbaren Rundtargets 4 enthält. Im Inneren der Kammer 1 ist ein Rundtarget 4 einer Rohrkathode über zwei Kupplungen 5, 6 mit einer Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit 7 verbunden und liegt auf einem Lager 8 auf. Im unteren Bereich der Kammer 1 wird ein zu beschichtendes Glassubstrat 9 über eine Transporteinheit 10, in diesem Falle eine Vielzahl von Transportwalzen, geführt. Im Inneren des Rundtargets 4 befindet sich ein in Richtung des Glassubstrates 9 weisendes Magnetsystem (nicht gezeigt), um mit Hilfe des Magnetroneffekts Material von dem Rundtarget 4 auf dem Glassubstrat 9 abzuscheiden. In der Kammer 1 befinden sich zwei parallel nebeneinander liegende Rundtargets 4, die zusammen mit den Kupplungen 5, 6 konstruktionsbedingt eine größere Länge aufweisen als die lichte Weite der von dem Kammerdeckel 3 verschlossenen Öffnung 11.
Folgende Maße sind in einer Glasbeschichtungsanlage üblich. Die Öffnung 11 weist eine Länge von 3330 mm und eine Breite von 400 mm auf, die Rundtargets haben je nach Targetmaterial einen Durchmesser von 140 mm bis 163 mm und eine Länge von 3100 mm. Durch die auf beiden Seiten zusätzlich erforderlichen Bauteile zur Lagerung und Ankopplung an Antrieb und Kühlung weisen die zwei Rundtargets 4 eine Gesamtlänge von 3385 mm auf. Es können sich jedoch auch nur ein oder mehrere Rundtargets 4 in der Kammer 1 befinden. Die Rundtargets 4 sind in einem Abstand von 242 mm zueinander parallel angeordnet. Daraus folgt, dass die Maße der Rundtragets 4 die der Kammeröffnung 11 in Länge und Breite jeweils übertreffen und zwar 55 mm in der Länge und z. B. bei Rundtargets 4 mit einem Durchmesser von 163 mm um mindestens 5 mm, je nach dem Durchmesser der weiteren Bauteile.
2 zeigt eine an die Rohrkathodenanordnung in Kammer 1 angepasste Ausführungsform der Targetwechselvorrichtung 30, die in 3 in Perspektive gezeigt ist. Die Targetwechselvorrichtung 30 umfasst einen Rahmen 31 an dem zwei Aufnahmeklauen 32, 33 angeordnet sind, wobei die Aufnahmeklauen 32, 33 aus einer oberen Auflage 34 und einer unteren Ablage 35 gebildet sind. Die Auflage 34 und Ablage 35 der Aufnahmeklauen 32, 33 sind an einer Spindel 36 angeordnet, die mit Hilfe der Spindelmutter 37 in Bezug zu Rahmen 31 vertikal positioniert werden kann. Die Auflage 34 ist an einer Spindelmutter 38 angeordnet und kann mit Hilfe dieser Spindelmutter 38 in Bezug zur Spindel 36 vertikal positioniert und gegenüber der Ablage 35 verspannt werden. Die Ablage 35 ist mit einer Hülse 39 verbunden, die an der Spindel 36 befestigt ist. Das Gesamtgewicht eines Rundtargets 4 mit dem innen liegenden Magnetsystem und den Anschlussbauteilen beträgt etwa 130 kg. Die Targetwechselvorrichtung 30 ist bei zwei aufzunehmenden Rundtargets 4 für maximal 800 kg ausgelegt.
Auflage 34 und Ablage 35 weisen seitliche Vorsprünge 40 und 41 auf, die zum Umgreifen der Rundtargets 4 vorgesehen sind. Damit Beschädigungen an den Rundtargets 4 verhindert werden, weisen die Auflage 34, die Ablage 35 und die Hülse 39 an den Flächen, die mit den Rundtargets 4 in Kontakt kommen können, eine geeignete Polsterung, z. B. eine Gummierung, auf. Die Aufnahmeklauen 32 und 33 können jeweils mit Hilfe eines Handrades 42 in Bezug auf die durch die Spindel 36 gebildete senkrechte Achse verdreht oder geschwenkt werden, wie der Doppelpfeil A andeutet. Zusätzlich weist die Targetwechselvorrichtung 30 Räder 43 auf, die wie 3 zu entnehmen ist, in den Längsseiten des Rahmens 31 jeweils an den Enden angeordnet sind.
Der Rahmen 31 selbst wird durch zwei Längsseiten 50, 51 und zwei Verbindungsstege der Längsseiten 52, 53 gebildet, die jeweils eine Aufnahme 54 aufweisen, in der die Spindel 36 gelagert ist. Zur Versteifung weist der Rahmen 31 zwischen den Längsseiten 50, 51 angeordnete Versteifungselemente 55, 56 auf. Weiterhin sind an den Längsseiten 50, 51 jeweils zwei Ösen 57 angebracht, an denen die als Stahlseile oder Stahlketten ausgebildeten Hebemittel 58, 59 befestigt werden können. Die Hebemittel 58, 59 werden beispielsweise von dem Haken 60 einer Krananlage gehalten und können in Bezug auf den Kranhaken 60 durch Verschieben so ausgerichtet werden, dass die Targetwechselvorrichtung 30 horizontal ausgerichtet ist oder eine der Aufnahmeklauen 32, 33 in Bezug auf die andere Aufnahmeklaue 33, 32 angehoben oder abgesenkt ist. Es sind jedoch grundsätzlich auch alle anderen geeigneten Hebemittel verwendbar, wenn diese ein solches einseitiges Absenken gestatten.
Im Folgenden wird nun schrittweise die Entnahme der Rundtargets 4 aus der Kammer 1 beschrieben werden. In 4 ist gezeigt, wie der Kammerdeckel 3 mit Hilfe daran befestigter Stahlseile 70, die an dem Kranhaken 60 aufgenommen sind, von der Kammer 1 abge nommen wird. Nachdem so über die Öffnung 11 ein Zugang zur Kammer 1 geschaffen ist, werden die Kupplungshülsen 71, 72 der Kupplungen 5, 6 entfernt und die Kupplungseinheiten 73, 74 freigelegt.
In den 5a und 5b ist gezeigt, wie die Targetwechselvorrichtung 30 an den Hebelmitteln 58, 59 mit Hilfe des Kranhakens 60 über der Öffnung 11 der Kammer 1 positioniert wird. Vor dem Einführen der Aufnahmeklauen 32, 33 der Targetwechselvorrichtung 30 werden diese mit Hilfe der Handräder 42 so orientiert, dass ihre Auflagen 34 und Ablagen 35 parallel zur Längsachse der Rundtargets 4 ausgerichtet sind. Der Abstand der Spindeln 36 ist dabei so dimensioniert, dass in dieser Phase die Aufnahmeklauen 32, 33 durch die Öffnung 11 in die Kammer 1 berührungslos eingeführt werden können. Nach dem Absenken des Rahmens 31 kommen die Räder 43 auf dem Kammerdach 2 der Kammer 1 zur Auflage und zwar seitlich versetzt neben der Kammeröffnung 11. Somit kann die Targetwechselvorrichtung 30 auf dem Kammerdach 2 der Kammer 1 parallel zur Längsachse der Rundtargets 4 mühelos verschoben werden. Die Eintauchtiefe der Targetwechselvorrichtung 30 beträgt im obigen Beipspiel etwa 310 mm.
Die Aufnahmeklauen 32, 33 deren Auflagen 34 und Ablagen 35 einen solchen Abstand aufweisen, dass sie sich vertikal gesehen oberhalb bzw. unterhalb der Rundtargets 4 befinden, werden nun mit Hilfe des Handrads 42 in eine in Bezug auf die Längsachse der Rundtargets 4 senkrechte Orientierung gebracht (vgl. 6a). Danach werden die Ablagen 35 mit Hilfe der Spindelmuttern 37 zur Anlage an die Rundtargets 4 gebracht (vgl. 6b) und anschließend die Auflagen 34 mit Hilfe der Spindelmuttern 38 ebenfalls zur Anlage an die Rundtargets 4 gebracht, somit die Auflagen 34 gegenüber den jeweiligen Ablagen 35 verspannt und so die Rundtargets 4 in den Aufnahmeklauen 32, 33 fixiert (vgl. 6c). Die Polsterung der Aufnahmeklauen verhindert, dass die Rundtargets 4 durch diese Fixierung beschädigt werden.
Nach dem Lösen der Kupplungseinrichtungen 73 von der Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit 7 werden die Rundtargets 4, die nur noch lose mit den Kupplungseinrichtungen 74 auf den Lagern 8 aufliegen, in Richtung B auf die Lager 8 zu verschoben und zwar im obigen Beispiel um mindestens 55 mm, üblicherweise um 100 mm, wobei die Räder 43 der Tar getwechselvorrichtung 30 auf dem Kammerdach 2 entlang rollen (vgl. 7). Auf diese Weise sind die Kupplungseinrichtungen 73 der Rundtargets 4 in Bezug auf die Öffnung 11 der Kammer 1 so positioniert, dass durch ein verschwenkendes Anheben der Targetwechselvorrichtung 30 die Rundtargets 4 einseitig auf der Seite der Kupplungseinrichtungen 73 aus der Kammer 1 herausgehoben werden können (vgl. 8). Dieses einseitige Herausheben erfolgt durch eine asymmetrische Verschiebung des Aufnahmepunkts des Kranhakens 60 an den Hebemitteln 58, 59 und kann entweder manuell oder durch geeignete maschinelle Einrichtungen und Steuerungen geschehen. Nachdem die Kupplungseinrichtungen 73 der Rundkathoden 4 sich außerhalb der Kammer 1 befinden, wird die Targetwechselvorrichtung 30 von der Seite der Kupplungseinrichtungen 74 in Richtung zur Mitte der Öffnung 11 gerollt und aus der Kammer 1 herausgehoben, wodurch die Rundtargets 4 vollständig aus der Kammer 1 entfernt werden (vgl. 9). Sie können dann z. B. in geeigneten Transportbehältern abgelegt werden oder direkt einer Aufarbeitung zugeführt werden, wobei die Kupplungseinrichtung 73, 74 entweder in den Targets 4 verbleiben oder von diesen entfernt werden.
Für den Fall, dass der Gesamtbreite der beiden Rundtargets 4 größer als die der Kammeröffnung 11 ist, ist es erforderlich, die Rundtragets 4 aufeinander zu zu bewegen, um diese Geamtbreite so zu reduzieren, dass die Targetwechselvorrichtung 30 aus der Kammeröffnung 11 zusammen mit den Rundtargets 4 herausgehoben werden kann. Dazu müssen zuerst die Kupplungseinrichtungen 73 von der Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit 7 gelöst werden und die Rundtargets 4 dann auf der Ablage 35 zur Spindel 36 hin verschoben bzw. gerollt werden. Diese Bewegung wird durch die seitlichen Vorsprünge 41 der Ablage 35 unterstützt, die die Rundtargets 4 zur Spindel 36 hin abweisen und so gleichzeitig ein Herunterfallen der Rundtargets 4 verhindern, wenn die Kupplungseinrichtungen 73 gelöst sind.
Der Einbau der Rundtargets 4 in die Kammer 1 erfolgt durch Umkehrung der beim Ausbau beschriebenen Vorgehensweise.
Auf diese Weise ist gezeigt, dass die Targetwechselvorrichtung 30 auf eine konstruktiv relativ einfache An und Weise einen sicheren Ein- und Ausbau sowie Transport der empfindlichen Rundtargets 4 ermöglicht. Mit der Targetwechselvorrichtung 30 wird durch die zwangsgeführten Bewegungen beim Targetwechsel nicht nur eine Beschädigung oder Zerstörung der Targets 4 vermieden, sondern durch die einfache Handhabung der Targets 4 ist auch ein schnellerer Targetwechsel möglich, bei dem zudem die Sicherheitsanforderungen eingehalten werden. Und schließlich ist der Targetwechsel auch besonders ökonomisch durchführbar, da mehrere Targets 4 gleichzeitig gewechselt werden können.

Claims

Vorrichtung (30) zum Wechseln von lateral ausgedehnten Targets (4) in Behandlungsanlagen, insbesondere von Rundtargets mit einem darin befindlichen Magnetsystem, einem Teil der Kühlung und Verbindungsbauteilen in Glasbeschichtungsanlagen, gekennzeichnet durch mindestens zwei Aufnahmeklauen (32, 33) zum gleichzeitigen Transportieren von ein oder mehreren Targets (4).
Vorrichtung (30) gemäß Anspruch 1, wobei die Aufnahmeklauen (32, 33) an einem Rahmen (31) aufgenommen sind.
Vorrichtung (30) gemäß Anspruch 1 oder 2, weiterhin Hebemittel (58, 59), insbesondere Stahlseile oder Stahlketten, umfassend.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Aufnahmeklauen (32,33) durch Ablagen (35) und gegen diese verspannbare Auflagen (34) gebildet sind zur Umfassung der Targets (4).
Vorrichtung (30) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Aufnahmeklauen (32, 33) zwischen einer senkrecht zur lateral ausgedehnten Längsseite der Targets (4) orientierte Aufnahmeposition und einer parallel zur Längsseite der Targets (4) orientierte Manövrierposition um eine senkrechte Achse verdreh- bzw. schwenkbar sind.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 4 oder 5, wobei die senkrechte Achse durch eine Spindel (36) gebildet ist, wobei die Auflage (34) an einer auf der Spindel (36) laufenden Spindelmutter (38), insbesondere über einen Freilauf, befestigt ist und mittels dieser Spindelmutter (38) in Bezug auf die Ablage (35) positionierbar und verspannbar ist.
Vorrichtung (30) gemäß Anspruch 6, wobei die Spindel (36) in dem Rahmen (31) gelagert ist und Mittel (37, 42) vorgesehen sind, die Spindel (36) vertikal und/oder azimutal auszurichten.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 6 oder 7, wobei die Ablage (35) fest mit der Spindel (36) verbunden ist und zusammen mit der Spindel (36) drehbar ist.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 2 bis 8, wobei an den im Wesentlichen parallel zu den lateral ausgedehnten Targets (4) ausgerichteten Längsseiten des Rahmens (31) jeweils mindestens ein in Richtung der Längsseiten der Targets (4) drehbares Rad (43) vorgesehen ist, das auf einer Dachseite der Behandlungsanlage auflegbar ist, so dass der Rahmen (31) lateral in Bezug zur Behandlungsanlage verschiebbar ist.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Aufnahmeklauen (32, 33) zu Anpassung an verschiedene Targetlängen in Richtung der Targetachse verschiebbar sind.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 3 bis 10, wobei die Hebemittel (58, 59) zum lateral einseitigen Anheben und Absenken der Vorrichtung (30) eingerichtet sind.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 11, wobei die Ablagen (35) und/oder Auflagen (34) Vorsprünge (40, 41) zum Umgreifen der Targets (4) aufweisen.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 12, wobei die Flächen der Auflagen (35) und der Ablagen (34), an denen die Targets (4) anliegen, mit einer Polsterung versehen sind.
Vorrichtung (30) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 13, wobei der Spindelabschnitt, der sich zwischen der Auflage (34) und der Ablage (35) befindet, mit einer Polsterung ummantelt ist.
Glasbeschichtungsanlage, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sie eine Vorrichtung (30) gemäß einem der vorherigen Ansprüche umfasst.