DE202005008801U1

DE202005008801U1 - Target changing unit for magnetron glass coating assembly has two pick-up claws that simultaneously lift and transport one or more targets

Info

Publication number: DE202005008801U1
Application number: DE200520008801
Authority: DE
Original assignee: Applied Films GmbH and Co KG
Current assignee: Applied Materials GmbH and Co KG
Priority date: 2005-06-06
Filing date: 2005-06-06
Publication date: 2005-08-11
Anticipated expiration: 2015-06-07

Abstract

An assembly changes laterally extended targets (4) in a treatment assembly for round targets containing a magnetron system. The unit has a cooling system and link fittings forming part of a magnetron glass coating assembly. The unit has two pick-up claws that simultaneously lift and transport one or more targets (4).

Description

Die vorliegende Neuerung bezieht sich auf eine Targetwechselvorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 und eine Glasbeschichtungsanlage gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 15.The present innovation relates to a target change device according to the generic term of claim 1 and a glass coating plant according to the preamble of claim 15.

In Behandlungsanlagen, insbesondere in Glasbeschichtungsanlagen, kommen lateral ausgedehnte Kathoden mit einer Länge von 3m und mehr zum Einsatz, mit denen Targets für die Magnetronbeschichtung von großflächigen Substraten verwendet werden. In solchen Glasbeschichtungsanlagen z. B. sind mehrere Behandlungskammern vorgesehen, in denen üblicherweise zwei Rundtargets horizontal angeordnet und drehbar mit einer Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit verbunden sind. Mit Hilfe dieser Einheit werden die Targets um ein in ihrem Inneren verlaufendes Magnetfeld gedreht und so eine gleichmäßige Targetausnutzung erreicht, was zudem zu einer Erhöhung der Lebensdauer der Targets beiträgt.In Treatment plants, especially in glass coating plants, come laterally extended cathodes with a length of 3m and more are used with those targets for the magnetron coating of large area substrates are used. In such glass coating systems z. B. are several treatment chambers provided in which usually two round targets horizontally arranged and rotatable with a drive, Control and cooling unit are connected. With the help of this unit, the targets become one rotated inside her magnetic field and so a uniform target utilization achieved, which also leads to an increase contributes to the lifetime of the targets.

Bisher war ein Auswechseln dieser lateral ausgedehnten Targets nur einzeln mit Hilfe von Seilschlaufen möglich, die an einem Kran befestigt werden. Zum einen ist dadurch der Targetwechsel jedoch wegen der Pendelbewegungen des Seils, die von Bedienern unterdrückt werden müssen, sehr gefahrvoll und gemäß den Unfallverhütungsvorschriften eigentlich auf diese Weise auch nicht zulässig. Ein weiterer gravierender Nachteil dieser Targetwechselmethode besteht darin, dass aufgrund der Pendelbewegungen das Target an anderen Bauteilen anstoßen kann, wodurch es zu einer Beschädigung, wenn nicht gar einer Zerstörung des Targets kommen kann. Solche Beschädigungen sind mit großen Kosten verbunden, wenn man bedenkt, dass z. B. ein einzelnes Target in Sispa^TM (Targetmaterial ist dabei eine Silizium-Aluminium-Legierung)-Ausführung derzeit ca. 8.000,-- EUR kostet. Ein zusätzlicher Nachteil besteht darin, dass mit Hilfe der Seilschlaufen nur jeweils ein Target zur selben Zeit gewechselt werden kann und somit der Targetwechsel z. B. für eine Glasbeschichtungsanlage, die durchaus eine zweistellige Kathodenzahl beinhalten kann, relativ lang dauert.Previously, replacement of these laterally extended targets was only possible individually with the help of rope loops, which are attached to a crane. On the one hand, however, the target change is very dangerous because of the pendulum movements of the rope, which must be suppressed by operators and according to the accident prevention regulations actually not allowed in this way. Another serious disadvantage of this Targetwechselmethode is that due to the oscillations, the target can abut other components, which can lead to damage, if not destruction of the target. Such damages are associated with great costs, considering that z. B. a single target in Sispa ^TM (target material is doing a silicon-aluminum alloy) execution currently about 8,000, - EUR costs. An additional disadvantage is that with the help of the rope loops only one target at a time can be changed and thus the target change z. B. for a glass coating plant, which may well include a two-digit number of cathodes takes relatively long.

Aufgabe der vorliegenden Neuerung ist es deshalb, eine Vorrichtung zum Wechseln von lateral ausgedehnten Targets in Behandlungsanlagen aufzuzeigen, die eine einfache Handhabung des Targetwechsels ermöglicht und dabei gleichzeitig die oben genannten Nachteile vermeidet. Weiterhin soll eine Glasbeschichtungsanlage aufgezeigt werden, die diese Vorrichtung umfasst.task It is therefore the object of the present invention to provide a device for changing show laterally extended targets in treatment plants, which allows easy handling of the target change and while avoiding the above-mentioned disadvantages. Farther to show a glass coating system, this device includes.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und eine Glasbeschichtungsanlage gemäß Anspruch 15 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Vorrichtung sind Gegenstand der abhängigen Unteransprüche.These The object is achieved by a device according to claim 1 and a glass coating system according to claim 15 solved. Advantageous developments of the device are the subject of dependent Dependent claims.

Die Targetwechselvorrichtung weist mindestens zwei Aufnahmeklauen auf, die mit Hebemitteln, insbesondere Stahlseilen oder Stahlketten, verbindbar sind und zum gleichzeitigen Transportieren von ein oder mehreren Targets geeignet sind. Mit einer solchen Targetwechselvorrichtung wird der Wechsel von nebeneinander in einer Kammer angeordneten Targets beschleunigt, da diese gleichzeitig in den Aufnahmeklauen aufgenommen werden. Zusätzlich werden durch die steif ausgeführten Aufnahmeklauen definierte Griffe an den Targets erhalten, wodurch Pendelbewegungen und damit verbundene Gefährdungen sowie Beschädigungen vermieden werden.The Target exchange device has at least two receiving claws, with lifting equipment, in particular steel cables or steel chains, are connectable and for simultaneously transporting one or multiple targets are suitable. With such a target changing device is the change of juxtaposed in a chamber targets accelerated as they are simultaneously recorded in the recording claw become. In addition will be through the stiff running Pickup claws get defined handles on the targets, causing pendulum movements and related hazards as well as damage be avoided.

Bevorzugt sind die Aufnahmeklauen an einem Rahmen aufgenommen, wobei dieser Rahmen mit den Hebemitteln verbindbar ist. Durch diesen Rahmen wird die Targetwechselvorrichtung vorteilhaft versteift, ist dadurch unanfälliger gegenüber Pendelbewegungen und kann leichter manövriert werden.Prefers the recording claws are added to a frame, this being Frame is connectable to the lifting means. Through this frame will the target changing device advantageously stiffened is characterized unsusceptible towards oscillations and can be maneuvered more easily.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung sind die Aufnahmeklauen durch Ablagen und Auflagen gebildet, wobei diese gegeneinander verspannbar sind und so die Targets umgriffen und in ihrer Lage fixiert werden können. Diese Maßnahme trägt ebenfalls zur Stabilisierung der Lage der Targets bei.In In an advantageous embodiment, the receiving claws are through Trays and cushions formed, which can be braced against each other and so the targets are encompassed and fixed in their position can. This measure also contributes to stabilize the position of the targets.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung sind die Aufnahmeklauen zwischen einer Aufnahmeposition, die senkrecht zur lateral ausgedehnten Längsseite der Targets orientiert ist, und einer Manövrierposition, die parallel zur Längsseite der Targets orientiert ist, um eine senkrechte Achse verdreh- bzw. schwenkbar. Auf diese Weise kann die Targetwechselvorrichtung direkt in den Kammerraum zwischen den Targets eingeführt werden und nach dem Verschwenken der Aufnahmeklauen in eine Orientierung senkrecht zur Längsseite der Targets können diese von den Ablagen und Auflagen umgriffen werden. Die Targetwechselvorrichtung kann so während des gesamten Targetwechsels als Einheit verbleiben und es müssen keine zusätzlichen Montagearbeiten an ihr vorgenommen werden.In In another advantageous embodiment, the receiving claws are between a receiving position perpendicular to the laterally extended longitudinal side the target is oriented, and a maneuvering position parallel to the long side oriented to the targets to a vertical axis twisting or pivotable. In this way, the target changing device can directly be introduced into the chamber space between the targets and after pivoting the receiving claws in an orientation perpendicular to the longitudinal side the targets can do this be seized by the filing and circulation. The target exchange device so can during the entire target change remain as a unit and there is no need additional Assembly work will be done on her.

Zum Ausgleich der jeweils unterschiedlichen Targetdurchmesser bei gleicher Einbauhöhe muss die senkrechte Achse justierbar sein. Bevorzugt wird diese senkrechte Achse durch eine Spindel gebildet, wobei die Auflage an einer auf der Spindel drehbaren Spindelmutter, insbesondere über einen Freilauf, befestigt ist und mittels dieser Spindelmutter in Bezug auf die Ablage sowohl positionierbar als auch gegen diese und das zwischen der Ablage und der Auflage befindliche Target verspannbar ist. Weiterhin bevorzugt ist die Spindel in dein Rahmen gelagert und es sind Mittel, wie z. B. eine weitere Spindelmutter, vorgesehen, die Spindel vertikal und/oder azimutal gegenüber dem Rahmen auszurichten. Auf diese Weise sind die Aufnahmeklauen sehr flexibel gestaltet und können leicht in Bezug auf die Targets positioniert werden. Diese Spindelmuttern können dabei für einen Handbetrieb vorgesehen sein, jedoch ist es auch möglich sie z. B. mit Hilfe von Elektromotoren vollmechanisch zu betätigen.To compensate for the different target diameter at the same installation height, the vertical axis must be adjustable. Preferably, this vertical axis is formed by a spindle, wherein the support is attached to a rotatable on the spindle spindle nut, in particular via a freewheel, and by means of this spindle nut with respect to the tray both positionable and against this and between the tray and the Pad located target is clamped. Further preferably, the spindle is stored in your frame and there are means such. B. another spindle nut, provided to align the spindle vertically and / or azimuthally relative to the frame. In this way The recording claws are very flexible and can be easily positioned in relation to the targets. These spindle nuts can be provided for a manual operation, but it is also possible z. B. with the help of electric motors fully mechanically.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist an den Längsseiten des Rahmens, die im Wesentlichen parallel zur Targetausrichtung verlaufen, jeweils mindestens ein drehbar gelagertes Rad vorgesehen, dass in Richtung der Längsseite des Rahmens orientiert ist. Dadurch ist die Targetwechselvorrichtung nach Auflage auf dem Kammerdach, wobei die Räder jeweils auf einer der Dachseiten zu liegen kommen, parallel in Bezug zur Targetausrichtung auf dem Kammerdach verschiebbar. Diese Ausgestaltung ist z. B. bei Glasbehandlungsanlagen besonders vorteilhaft, da in diesen Anlagen die Behandlungskammern konstruktiv bedingt eine durch einen Kammerdeckel verschlossene Öffnung im Kammerdach aufweisen, die in ihrer Länge kleiner ist als das in der Kammer befindliche Target zusammen mit den daran befestigten Kupplungen. Mit Hilfe der an dem Rahmen angebrachten Räder kann nun die Targetwechselvorrichtung auf dem Kammerdach verschoben werden, wodurch das Target durch eine einseitige vertikale Hebung der Targetwechselvorrichtung auf einer Seite aus der Behandlungskammer heraushebbar ist. Danach kann dann nach einem Verschieben des in der Kammer verbliebenen Teils des Targets mit Hilfe der Targetwechselvorrichtung auf dem Kammerdach in Richtung zur Mitte der Behandlungskammer auch dieser verbliebene Teil aus der Kammer herausgehoben werden und somit das Target vollständig aus der Kammer entfernt werden. Diese quasi zwangsgeführte Bewegung zum Wechseln des Targets verhindert einen Zusammenstoß des Targets mit anderen Bauteilen, wodurch Beschädigungen des Targets wirkungsvoll unterbunden werden. Zusätzlich wird die Betriebssicherheit bei dem Manövrieren der schweren Targets erhöht.In An advantageous development is on the longitudinal sides of the frame, the run substantially parallel to the target orientation, respectively at least one rotatably mounted wheel provided in that direction the long side the frame is oriented. This is the target change device after resting on the chamber roof, with the wheels each on one of the roof sides lie parallel to the target orientation on the Slidable chamber roof. This embodiment is z. B. in glass processing plants particularly advantageous because in these plants the treatment chambers structurally conditioned by a closed chamber lid opening in Have chamber roof, which is smaller in length than that in the chamber located target together with the clutches attached thereto. With the help of attached to the frame wheels now the target changing device be moved on the chamber roof, causing the target through a one-sided vertical lifting of the target changing device on one Side is lifted out of the treatment chamber. Then then can after a displacement of the remaining part of the chamber in the chamber Targets using the target changing device on the chamber roof toward the center of the treatment chamber also this remaining Part are lifted out of the chamber and thus the target completely off removed from the chamber. This almost forced movement to change the target prevents a collision of the target with other components, causing damage to the target effective be prevented. additionally The operational safety in maneuvering the heavy targets elevated.

Alternativ kann auch der Rahmen ortsfest auf dem Kammerdach verbleiben, wenn Führungsmittel in dem Rahmen vorgesehen sind, die eine separate Verschiebung der Aufnahmeklauen zum Rahmen in Bezug auf die Targetlängsachse ermöglichen.alternative Also, the frame can remain stationary on the chamber roof, if Guide means in the frame are provided, a separate displacement of the receiving claws to enable the frame with respect to the target longitudinal axis.

Vorteilhaft können die Aufnahmeklauen in Richtung der Targetlängsachse verschoben werden. Dadurch ist die Targetwechselvorrichtung an verschiedene Targetlängen anpassbar.Advantageous can the receiving claws are moved in the direction of the target longitudinal axis. Thereby the target changer is adaptable to different target lengths.

Weiterhin vorteilhaft sind die Hebemittel zum einseitigen Absenken und Anheben der Vorrichtung eingerichtet. Dies kam z. B. dadurch ermöglicht werden, dass Stahlseile in einem Kranhaken aufgenommen sind und der Haltepunkt des Kranhakens gegenüber den Stahlseilen verschoben werden kann. Natürlich kann auch jede Seite der Targetwechselvor richtung einer eigenen Hebevorrichtung zugeordnet sein und somit selektiv vertikal einstellbar sein.Farther advantageous are the lifting means for one-sided lowering and lifting set up the device. This came z. B. be enabled thereby that steel cables are housed in a crane hook and the breakpoint of the crane hook opposite the steel cables can be moved. Of course, every page can also be be associated with the Targetwechselvor direction of its own lifting device and thus be selectively vertically adjustable.

Bevorzugt weisen die Ablagen und Auflagen der Aufnahmeklauen Vorsprünge zum Umgreifen der Targets auf. Dadurch wird zum einen verhindert, dass die Targets beim Manövrieren seitlich aus den Aufnahmeklauen heraus gleiten können, und zum anderen, dass mehrere nebeneinander liegende Targets zusammenstoßen. Wenn nun die Flächen der Ablagen und Auflagen, an denen die Targets anliegen, mit einer Polsterung versehen sind, werden Beschädigungen der Targets beim Auswechseln weiter minimiert. Zusätzlich kann zur Sicherheit der Spindelabschnitt, der zwischen der Auflage und der Ablage angeordnet ist und sich somit beim Manövrieren der Targetwechselvorrichtung in der Nähe der Targets befindet, mit einer Polsterung versehen sein.Prefers have the shelves and supports the receiving claws projections Encompassing the targets. This prevents on the one hand that the Targets while maneuvering can slide sideways out of the receiving claws, and on the other, that collide with multiple adjacent targets. If now the surfaces the shelves and pads to which the targets are attached, with a Padding are provided, damage to the targets when replacing further minimized. additionally can for safety the spindle section, which is between the pad and the tray is arranged and thus maneuvering the target exchange device is located near the targets, with be provided with a padding.

Für eine Glasbeschichtungsanlage, die die Targetwechselvorrichtung umfasst, wird selbständiger Schutz beansprucht.For a glass coating plant, which includes the target changing device becomes independent protection claimed.

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Neuerung werden bei der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels deutlich. Die Figuren zeigen dabei in schematischer Weise inFurther Advantages, characteristics and features of the present invention in the following description of a preferred embodiment clear. The figures show in a schematic manner in

1 eine Kammer einer Glasbehandlungsanlage, in der eine Anordnung mit einer Rohrkathode mit drehbarem Target enthalten ist, 1 a chamber of a glass processing plant, which contains an arrangement with a tubular cathode with a rotatable target,

2 ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Targetwechselvorrichtung, 2 a preferred embodiment of the target changing device,

3 eine perspektivische Darstellung des Ausführungsbeispiels der 2 im Zusammenhang mit Hebemitteln und aufgenommenen Targets, 3 a perspective view of the embodiment of 2 in connection with lifting means and recorded targets,

4 das Abnehmen des Kammerdeckels, 4 removing the chamber lid,

5a und 5b das Einbringen der Targetwechselvorrichtung gemäß 2 und 3, 5a and 5b the introduction of the target changing device according to 2 and 3 .

6a bis 6c das Verspannen der Aufnahmeklauen um die Targets, 6a to 6c the distortion of the receiving claws around the targets,

7 das Verschieben der Targets in Bezug auf die Kammeröffnung, 7 moving the targets in relation to the chamber opening,

8 das einseitige Herausheben der Targets aus der Kammer und 8th the one-sided lifting of the targets out of the chamber and

9 die vollständige Entnahme der Targets aus der Kammer. 9 the complete removal of the targets from the chamber.

In 1 ist eine Kammer 1, die aus einer umlaufenden Kammerwand 2 und einem Kammerdeckel 3 besteht, einer Glasbeschichtungsanlage gezeigt, die eine Rohrkathodenanordnung mit drehbaren Rundtargets 4 enthält. Im Inneren der Kammer 1 ist ein Rundtarget 4 einer Rohrkathode über zwei Kupplungen 5, 6 mit einer Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit 7 verbunden und liegt auf einem Lager 8 auf. Im unteren Bereich der Kammer 1 wird ein zu beschichtendes Glassubstrat 9 über eine Transporteinheit 10, in diesem Falle eine Vielzahl von Transportwalzen, geführt. Im Inneren des Rundtargets 4 befindet sich ein in Richtung des Glassubstrates 9 weisendes Magnetsystem (nicht gezeigt), um mit Hilfe des Magnetroneffekts Material von dem Rundtarget 4 auf dem Glassubstrat 9 abzuscheiden. In der Kammer 1 befinden sich zwei parallel nebeneinander liegende Rundtargets 4, die zusammen mit den Kupplungen 5, 6 konstruktionsbedingt eine größere Länge aufweisen als die lichte Weite der von dem Kammerdeckel 3 verschlossenen Öffnung 11.In 1 is a chamber 1 coming from a circumferential chamber wall 2 and a chamber ckel 3 shown a glass coater, which has a tube cathode assembly with rotatable round targets 4 contains. Inside the chamber 1 is a round target 4 a tube cathode via two couplings 5 . 6 with a drive, control and cooling unit 7 connected and lies on a warehouse 8th on. In the lower part of the chamber 1 becomes a glass substrate to be coated 9 via a transport unit 10 , in this case a plurality of transport rollers, led. Inside the roundtarget 4 is located in the direction of the glass substrate 9 pointing magnet system (not shown) to use the magnetron effect material from the round target 4 on the glass substrate 9 deposit. In the chamber 1 There are two parallel adjacent round targets 4 that together with the couplings 5 . 6 by design have a greater length than the inside diameter of the chamber lid 3 closed opening 11 ,

Folgende Maße sind in einer Glasbeschichtungsanlage üblich. Die Öffnung 11 weist eine Länge von 3330 mm und eine Breite von 400 mm auf, die Rundtargets haben je nach Targetmaterial einen Durchmesser von 140 mm bis 163 mm und eine Länge von 3100 mm. Durch die auf beiden Seiten zusätzlich erforderlichen Bauteile zur Lagerung und Ankopplung an Antrieb und Kühlung weisen die zwei Rundtargets 4 eine Gesamtlänge von 3385 mm auf. Es können sich jedoch auch nur ein oder mehrere Rundtargets 4 in der Kammer 1 befinden. Die Rundtargets 4 sind in einem Abstand von 242 mm zueinander parallel angeordnet. Daraus folgt, dass die Maße der Rundtragets 4 die der Kammeröffnung 11 in Länge und Breite jeweils übertreffen und zwar 55 mm in der Länge und z. B. bei Rundtargets 4 mit einem Durchmesser von 163 mm um mindestens 5 mm, je nach dem Durchmesser der weiteren Bauteile.The following dimensions are common in a glass coating plant. The opening 11 has a length of 3330 mm and a width of 400 mm, the round targets have a diameter of 140 mm to 163 mm and a length of 3100 mm, depending on the target material. Due to the additionally required on both sides components for storage and coupling to drive and cooling, the two round targets 4 a total length of 3385 mm. However, there may be only one or more round targets 4 in the chamber 1 are located. The round targets 4 are arranged parallel to each other at a distance of 242 mm. It follows that the dimensions of roundtragets 4 the chamber opening 11 in length and width each exceed 55 mm in length and z. B. at round targets 4 with a diameter of 163 mm by at least 5 mm, depending on the diameter of the other components.

2 zeigt eine an die Rohrkathodenanordnung in Kammer 1 angepasste Ausführungsform der Targetwechselvorrichtung 30, die in 3 in Perspektive gezeigt ist. Die Targetwechselvorrichtung 30 umfasst einen Rahmen 31 an dem zwei Aufnahmeklauen 32, 33 angeordnet sind, wobei die Aufnahmeklauen 32, 33 aus einer oberen Auflage 34 und einer unteren Ablage 35 gebildet sind. Die Auflage 34 und Ablage 35 der Aufnahmeklauen 32, 33 sind an einer Spindel 36 angeordnet, die mit Hilfe der Spindelmutter 37 in Bezug zu Rahmen 31 vertikal positioniert werden kann. Die Auflage 34 ist an einer Spindelmutter 38 angeordnet und kann mit Hilfe dieser Spindelmutter 38 in Bezug zur Spindel 36 vertikal positioniert und gegenüber der Ablage 35 verspannt werden. Die Ablage 35 ist mit einer Hülse 39 verbunden, die an der Spindel 36 befestigt ist. Das Gesamtgewicht eines Rundtargets 4 mit dem innen liegenden Magnetsystem und den Anschlussbauteilen beträgt etwa 130 kg. Die Targetwechselvorrichtung 30 ist bei zwei aufzunehmenden Rundtargets 4 für maximal 800 kg ausgelegt. 2 shows one to the tube cathode assembly in the chamber 1 adapted embodiment of the target changing device 30 , in the 3 shown in perspective. The target exchange device 30 includes a frame 31 at the two receiving claws 32 . 33 are arranged, wherein the receiving claws 32 . 33 from an upper edition 34 and a lower shelf 35 are formed. The edition 34 and storage 35 the reception claws 32 . 33 are on a spindle 36 arranged using the spindle nut 37 in relation to frame 31 can be positioned vertically. The edition 34 is on a spindle nut 38 arranged and can with the help of this spindle nut 38 in relation to the spindle 36 positioned vertically and opposite the shelf 35 be tense. Filing 35 is with a sleeve 39 connected to the spindle 36 is attached. The total weight of a round target 4 with the internal magnet system and the connection components is about 130 kg. The target exchange device 30 is at two recorded round targets 4 designed for a maximum of 800 kg.

Auflage 34 und Ablage 35 weisen seitliche Vorsprünge 40 und 41 auf, die zum Umgreifen der Rundtargets 4 vorgesehen sind. Damit Beschädigungen an den Rundtargets 4 verhindert werden, weisen die Auflage 34, die Ablage 35 und die Hülse 39 an den Flächen, die mit den Rundtargets 4 in Kontakt kommen können, eine geeignete Polsterung, z. B. eine Gummierung, auf. Die Aufnahmeklauen 32 und 33 können jeweils mit Hilfe eines Handrades 42 in Bezug auf die durch die Spindel 36 gebildete senkrechte Achse verdreht oder geschwenkt werden, wie der Doppelpfeil A andeutet. Zusätzlich weist die Targetwechselvorrichtung 30 Räder 43 auf, die wie 3 zu entnehmen ist, in den Längsseiten des Rahmens 31 jeweils an den Enden angeordnet sind.edition 34 and storage 35 have lateral projections 40 and 41 on, to surround the round targets 4 are provided. Thus damage to the round targets 4 prevent the circulation 34 , filing 35 and the sleeve 39 on the surfaces with the round targets 4 can come into contact, a suitable padding, z. As a gum on. The reception claws 32 and 33 can each use a handwheel 42 in terms of through the spindle 36 formed vertical axis to be twisted or pivoted, as indicated by the double arrow A. In addition, the target exchange device 30 bikes 43 on that like 3 it can be seen in the longitudinal sides of the frame 31 are each arranged at the ends.

Der Rahmen 31 selbst wird durch zwei Längsseiten 50, 51 und zwei Verbindungsstege der Längsseiten 52, 53 gebildet, die jeweils eine Aufnahme 54 aufweisen, in der die Spindel 36 gelagert ist. Zur Versteifung weist der Rahmen 31 zwischen den Längsseiten 50, 51 angeordnete Versteifungselemente 55, 56 auf. Weiterhin sind an den Längsseiten 50, 51 jeweils zwei Ösen 57 angebracht, an denen die als Stahlseile oder Stahlketten ausgebildeten Hebemittel 58, 59 befestigt werden können. Die Hebemittel 58, 59 werden beispielsweise von dem Haken 60 einer Krananlage gehalten und können in Bezug auf den Kranhaken 60 durch Verschieben so ausgerichtet werden, dass die Targetwechselvorrichtung 30 horizontal ausgerichtet ist oder eine der Aufnahmeklauen 32, 33 in Bezug auf die andere Aufnahmeklaue 33, 32 angehoben oder abgesenkt ist. Es sind jedoch grundsätzlich auch alle anderen geeigneten Hebemittel verwendbar, wenn diese ein solches einseitiges Absenken gestatten.The frame 31 itself is through two long sides 50 . 51 and two connecting webs of the long sides 52 . 53 formed, each one a shot 54 in which the spindle 36 is stored. To stiffen the frame 31 between the long sides 50 . 51 arranged stiffening elements 55 . 56 on. Furthermore, on the long sides 50 . 51 two eyelets each 57 attached to which designed as steel cables or steel chains lifting means 58 . 59 can be attached. The lifting equipment 58 . 59 for example, from the hook 60 a crane attachment and can with respect to the crane hook 60 be aligned by moving so that the target changing device 30 is oriented horizontally or one of the receiving claws 32 . 33 in relation to the other pickup claw 33 . 32 raised or lowered. However, in principle, all other suitable lifting means are usable, if they allow such a one-sided lowering.

Im Folgenden wird nun schrittweise die Entnahme der Rundtargets 4 aus der Kammer 1 beschrieben werden. In 4 ist gezeigt, wie der Kammerdeckel 3 mit Hilfe daran befestigter Stahlseile 70, die an dem Kranhaken 60 aufgenommen sind, von der Kammer 1 abge nommen wird. Nachdem so über die Öffnung 11 ein Zugang zur Kammer 1 geschaffen ist, werden die Kupplungshülsen 71, 72 der Kupplungen 5, 6 entfernt und die Kupplungseinheiten 73, 74 freigelegt.The following is now gradually the removal of the round targets 4 out of the chamber 1 to be discribed. In 4 is shown as the chamber lid 3 with the help of attached steel cables 70 on the crane hook 60 are taken from the chamber 1 is accepted. After doing so over the opening 11 an access to the chamber 1 is created, the coupling sleeves 71 . 72 the couplings 5 . 6 removed and the coupling units 73 . 74 exposed.

In den 5a und 5b ist gezeigt, wie die Targetwechselvorrichtung 30 an den Hebelmitteln 58, 59 mit Hilfe des Kranhakens 60 über der Öffnung 11 der Kammer 1 positioniert wird. Vor dem Einführen der Aufnahmeklauen 32, 33 der Targetwechselvorrichtung 30 werden diese mit Hilfe der Handräder 42 so orientiert, dass ihre Auflagen 34 und Ablagen 35 parallel zur Längsachse der Rundtargets 4 ausgerichtet sind. Der Abstand der Spindeln 36 ist dabei so dimensioniert, dass in dieser Phase die Aufnahmeklauen 32, 33 durch die Öffnung 11 in die Kammer 1 berührungslos eingeführt werden können. Nach dem Absenken des Rahmens 31 kommen die Räder 43 auf dem Kammerdach 2 der Kammer 1 zur Auflage und zwar seitlich versetzt neben der Kammeröffnung 11. Somit kann die Targetwechselvorrichtung 30 auf dem Kammerdach 2 der Kammer 1 parallel zur Längsachse der Rundtargets 4 mühelos verschoben werden. Die Eintauchtiefe der Targetwechselvorrichtung 30 beträgt im obigen Beipspiel etwa 310 mm.In the 5a and 5b is shown as the target changing device 30 at the lever means 58 . 59 with the help of the crane hook 60 over the opening 11 the chamber 1 is positioned. Before inserting the picking claws 32 . 33 the target exchange device 30 These are done with the help of handwheels 42 so oriented that their requirements 34 and shelves 35 parallel to the longitudinal axis of the round targets 4 are aligned. The distance of the spindles 36 is like that dimensioned that at this stage the receiving claws 32 . 33 through the opening 11 in the chamber 1 can be introduced without contact. After lowering the frame 31 come the wheels 43 on the chamber roof 2 the chamber 1 to rest and although laterally offset next to the chamber opening 11 , Thus, the target exchange device 30 on the chamber roof 2 the chamber 1 parallel to the longitudinal axis of the round targets 4 be easily moved. The immersion depth of the target changing device 30 is about 310 mm in the example above.

Die Aufnahmeklauen 32, 33 deren Auflagen 34 und Ablagen 35 einen solchen Abstand aufweisen, dass sie sich vertikal gesehen oberhalb bzw. unterhalb der Rundtargets 4 befinden, werden nun mit Hilfe des Handrads 42 in eine in Bezug auf die Längsachse der Rundtargets 4 senkrechte Orientierung gebracht (vgl. 6a). Danach werden die Ablagen 35 mit Hilfe der Spindelmuttern 37 zur Anlage an die Rundtargets 4 gebracht (vgl. 6b) und anschließend die Auflagen 34 mit Hilfe der Spindelmuttern 38 ebenfalls zur Anlage an die Rundtargets 4 gebracht, somit die Auflagen 34 gegenüber den jeweiligen Ablagen 35 verspannt und so die Rundtargets 4 in den Aufnahmeklauen 32, 33 fixiert (vgl. 6c). Die Polsterung der Aufnahmeklauen verhindert, dass die Rundtargets 4 durch diese Fixierung beschädigt werden.The reception claws 32 . 33 their requirements 34 and shelves 35 have a distance such that they are vertically above or below the round targets 4 are now using the handwheel 42 in one with respect to the longitudinal axis of the round targets 4 vertical orientation (cf. 6a ). After that, the shelves become 35 with the help of spindle nuts 37 for attachment to the round targets 4 brought (cf. 6b ) and then the conditions 34 with the help of spindle nuts 38 likewise to the plant to the round targets 4 brought, so the conditions 34 opposite the respective shelves 35 strained and so the round targets 4 in the reception claws 32 . 33 fixed (cf. 6c ). The upholstery of the receiving claws prevents the round targets 4 damaged by this fixation.

Nach dem Lösen der Kupplungseinrichtungen 73 von der Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit 7 werden die Rundtargets 4, die nur noch lose mit den Kupplungseinrichtungen 74 auf den Lagern 8 aufliegen, in Richtung B auf die Lager 8 zu verschoben und zwar im obigen Beispiel um mindestens 55 mm, üblicherweise um 100 mm, wobei die Räder 43 der Tar getwechselvorrichtung 30 auf dem Kammerdach 2 entlang rollen (vgl. 7). Auf diese Weise sind die Kupplungseinrichtungen 73 der Rundtargets 4 in Bezug auf die Öffnung 11 der Kammer 1 so positioniert, dass durch ein verschwenkendes Anheben der Targetwechselvorrichtung 30 die Rundtargets 4 einseitig auf der Seite der Kupplungseinrichtungen 73 aus der Kammer 1 herausgehoben werden können (vgl. 8). Dieses einseitige Herausheben erfolgt durch eine asymmetrische Verschiebung des Aufnahmepunkts des Kranhakens 60 an den Hebemitteln 58, 59 und kann entweder manuell oder durch geeignete maschinelle Einrichtungen und Steuerungen geschehen. Nachdem die Kupplungseinrichtungen 73 der Rundkathoden 4 sich außerhalb der Kammer 1 befinden, wird die Targetwechselvorrichtung 30 von der Seite der Kupplungseinrichtungen 74 in Richtung zur Mitte der Öffnung 11 gerollt und aus der Kammer 1 herausgehoben, wodurch die Rundtargets 4 vollständig aus der Kammer 1 entfernt werden (vgl. 9). Sie können dann z. B. in geeigneten Transportbehältern abgelegt werden oder direkt einer Aufarbeitung zugeführt werden, wobei die Kupplungseinrichtung 73, 74 entweder in den Targets 4 verbleiben oder von diesen entfernt werden.After loosening the coupling devices 73 from the drive, control and cooling unit 7 become the round targets 4 that are only loose with the coupling devices 74 on the camps 8th lie in the direction of B on the camp 8th to be shifted in the above example by at least 55 mm, usually by 100 mm, the wheels 43 the Tar change device 30 on the chamber roof 2 roll along (cf. 7 ). In this way, the coupling devices 73 the round targets 4 in terms of the opening 11 the chamber 1 positioned so that by a pivotal lifting of the target changing device 30 the roundtables 4 one-sided on the side of the coupling devices 73 out of the chamber 1 can be lifted out (cf. 8th ). This one-sided lifting is done by an asymmetric displacement of the receiving point of the crane hook 60 on the lifting equipment 58 . 59 and can be done either manually or by suitable machinery and controls. After the coupling devices 73 the round cathodes 4 outside the chamber 1 will be the target change device 30 from the side of the coupling devices 74 towards the middle of the opening 11 rolled and out of the chamber 1 highlighted, making the roundtables 4 completely out of the chamber 1 be removed (cf. 9 ). You can then z. B. are stored in suitable transport containers or fed directly to a workup, wherein the coupling device 73 . 74 either in the targets 4 remain or be removed from them.

Für den Fall, dass der Gesamtbreite der beiden Rundtargets 4 größer als die der Kammeröffnung 11 ist, ist es erforderlich, die Rundtragets 4 aufeinander zu zu bewegen, um diese Geamtbreite so zu reduzieren, dass die Targetwechselvorrichtung 30 aus der Kammeröffnung 11 zusammen mit den Rundtargets 4 herausgehoben werden kann. Dazu müssen zuerst die Kupplungseinrichtungen 73 von der Antriebs-, Steuer- und Kühleinheit 7 gelöst werden und die Rundtargets 4 dann auf der Ablage 35 zur Spindel 36 hin verschoben bzw. gerollt werden. Diese Bewegung wird durch die seitlichen Vorsprünge 41 der Ablage 35 unterstützt, die die Rundtargets 4 zur Spindel 36 hin abweisen und so gleichzeitig ein Herunterfallen der Rundtargets 4 verhindern, wenn die Kupplungseinrichtungen 73 gelöst sind.In the event that the total width of the two round targets 4 larger than the chamber opening 11 is, it is necessary, the Rundtragets 4 towards each other to reduce this total width so that the target changing device 30 from the chamber opening 11 together with the round targets 4 can be lifted out. For this purpose, first the coupling devices 73 from the drive, control and cooling unit 7 be solved and the roundtables 4 then on the shelf 35 to the spindle 36 shifted or rolled. This movement is due to the lateral projections 41 the filing 35 supports the roundtables 4 to the spindle 36 reject and thus at the same time dropping the round targets 4 prevent when the coupling devices 73 are solved.

Der Einbau der Rundtargets 4 in die Kammer 1 erfolgt durch Umkehrung der beim Ausbau beschriebenen Vorgehensweise.The installation of the round targets 4 in the chamber 1 is done by reversing the procedure described during the removal.

Auf diese Weise ist gezeigt, dass die Targetwechselvorrichtung 30 auf eine konstruktiv relativ einfache An und Weise einen sicheren Ein- und Ausbau sowie Transport der empfindlichen Rundtargets 4 ermöglicht. Mit der Targetwechselvorrichtung 30 wird durch die zwangsgeführten Bewegungen beim Targetwechsel nicht nur eine Beschädigung oder Zerstörung der Targets 4 vermieden, sondern durch die einfache Handhabung der Targets 4 ist auch ein schnellerer Targetwechsel möglich, bei dem zudem die Sicherheitsanforderungen eingehalten werden. Und schließlich ist der Targetwechsel auch besonders ökonomisch durchführbar, da mehrere Targets 4 gleichzeitig gewechselt werden können.In this way it is shown that the target exchange device 30 in a structurally relatively simple way and a safe installation and removal and transport of sensitive round targets 4 allows. With the target changing device 30 The forcibly guided movements during the target change not only damage or destroy the targets 4 avoided, but by the easy handling of the targets 4 A faster target change is also possible, which also complies with the safety requirements. And finally, the target change is also particularly economically feasible, as several targets 4 can be changed at the same time.

Claims

Contraption ( 30 ) for changing laterally extended targets ( 4 ) in treatment plants, in particular round targets with a magnet system located therein, a part of the cooling and connection components in glass coating plants, characterized by at least two receiving claws ( 32 . 33 ) for simultaneously transporting one or more targets ( 4 ).

Contraption ( 30 ) according to claim 1, wherein the receiving claws ( 32 . 33 ) on a frame ( 31 ) are included.

Contraption ( 30 ) according to claim 1 or 2, further lifting means ( 58 . 59 ), in particular steel cables or steel chains.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 1 to 3, wherein the receiving claws ( 32 . 33 ) by Ab lay ( 35 ) and against these braceable pads ( 34 ) are formed to surround the targets ( 4 ).

Contraption ( 30 ) according to one of the preceding claims, wherein the receiving claws ( 32 . 33 ) between a perpendicular to the laterally extended longitudinal side of the target ( 4 ) oriented recording position and one parallel to the longitudinal side of the targets ( 4 ) oriented maneuvering position can be rotated or swiveled about a vertical axis.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 4 or 5, wherein the vertical axis through a spindle ( 36 ) is formed, wherein the support ( 34 ) on one on the spindle ( 36 ) running spindle nut ( 38 ), in particular via a freewheel, and by means of this spindle nut ( 38 ) in relation to the filing ( 35 ) can be positioned and clamped.

Contraption ( 30 ) according to claim 6, wherein the spindle ( 36 ) in the framework ( 31 ) and means ( 37 . 42 ) are provided, the spindle ( 36 ) vertically and / or azimuthally.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 6 or 7, wherein the tray ( 35 ) fixed to the spindle ( 36 ) and together with the spindle ( 36 ) is rotatable.

Contraption ( 30 ) according to any one of claims 2 to 8, wherein at the substantially parallel to the laterally extended targets ( 4 ) aligned longitudinal sides of the frame ( 31 ) at least one in the direction of the long sides of the targets ( 4 ) rotatable wheel ( 43 ) is provided, which can be placed on a roof side of the treatment plant, so that the frame ( 31 ) is laterally displaceable with respect to the treatment plant.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 1 to 9, wherein the receiving claws ( 32 . 33 ) are displaceable in the direction of the target axis for adaptation to different target lengths.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 3 to 10, wherein the lifting means ( 58 . 59 ) for lateral one-sided raising and lowering of the device ( 30 ) are set up.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 4 to 11, wherein the shelves ( 35 ) and / or requirements ( 34 ) Projections ( 40 . 41 ) for embracing the targets ( 4 ) exhibit.

Contraption ( 30 ) according to one of claims 4 to 12, wherein the surfaces of the pads ( 35 ) and the shelves ( 34 ) on which the targets ( 4 ), are provided with a padding.

Contraption ( 30 ) according to any one of claims 6 to 13, wherein the spindle section extending between the support ( 34 ) and the filing ( 35 ) is covered with a padding.

Glass coating plant, characterized in that it comprises a device ( 30 ) according to one of the preceding claims.