DD285120A5 - Bandventil - Google Patents

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DD285120A5
DD285120A5 DD32974189A DD32974189A DD285120A5 DD 285120 A5 DD285120 A5 DD 285120A5 DD 32974189 A DD32974189 A DD 32974189A DD 32974189 A DD32974189 A DD 32974189A DD 285120 A5 DD285120 A5 DD 285120A5
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DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
sealing
cavities
band valve
rollers
belt
Prior art date
Application number
DD32974189A
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English (en)
Inventor
Gerhard Kuehn
Guenter Jaesch
Karl Schmidt
Joachim Senf
Horst Schmidt
Wolfgang Erbkamm
Original Assignee
Fi Manfred Von Ardenne,Dd
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Publication date
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Abstract

Das Bandventil dient zum Verschlieszen des Vakuumteiles von Bandbehandlungsanlagen bei Bandstillstand und Stoerungen. Erfindungsgemaesz sind in die elastischen Dichtwalzen, die gegen die Dichtflaeche druecken und seitlich mit Formstuecken abschlieszen, axial verlaufende Hohlraeume eingebracht. Gegen jede Dichtwalze drueckt eine exzentrisch verstellbare Stuetzwalze. Vorteilhafterweise sind die Stuetzwalzen ballig ausgefuehrt. In den Hohlraeumen herrscht Atmosphaeren- oder UEberdruck. Figur{Bandventil; Bandbehandlungsanlagen; Bandstillstand; Dichtwalzen; Dichtflaeche; Formstueck; Hohlraeume; Stuetzwalze}

Description

Hierzu 1 Seite Zeichnungen
Anwendungsgebiet der Erfindung
Das Bandventil wird in Vakuumbehandlungsanlagen eingesetzt, in denen bandförmiges Material, wie z. B. Metallband oder Folie, behandelt wird. Es dient dazu, den Vakuumteil der Anlage bei Bandstillstand oder Störungen, und wenn sich kein Band in der Anlage befindet, dicht zu verschließen.
Charakteristik dor bekannten technischen Lösungen
Bei kontinuierlich arbeitenden Anlagen ist es erforderlich, das bandförmige Material in den Vakuumteil ein- und wieder auszuschleusen. Dazu dienen im Eingang und Ausgang der Anlage Bandschleusen, in denen über Strömungswiderstände durch Vakuumpumpen der Atmosphärendruck bis zum erforderlichen Arbeitsdruck reduziert wird.
Bei einem Ausfall von Schleusenpumpen oder durch Störungen in der Anlage würde die Anlage belüftet werden. Das bedeutet, die Vakuumpumpen sind teilweise ganz außer Betrieb zu setzen, z.B. Diffusionspumpen und Wälzkolbenpumpen, und nach der Beseitigung der Störung wieder neu anzufahren. Bei größeren Anlagen sind damit mehrere Stunden Produktionsverlust verbunden. Mit Hilfe von Bandventilen ist jedoch ein abschnittsweises Belüften der Anlage möglich. Die Wiederinbetriebnahme der Anlage kann in Abhängigkeit von der jeweiligen Stelle der Störung in kürzet Zeit erfolgen. Für bandförmige Materialien sind Bandventile bekannt, die mit Hilfe von Dichtwalzen, die gegen das Band und eine Dichtfläche gedrückt werden, Dichtkörpern und entsprechende Antriebe das abschnittsweise Abdichten von Anlagenteilen ermöglichen (DD-PS 77 384). Dieses Bandventil ist in einem getrennten Gehäuse untergebracht, in dem beiderseitig von einem in einem Flansch befindlichen Schlitz Formstücke angebracht sind. Parallel zum Schlitz befindet sich oberhalb und unterhalb derselben eine Walze mit einem elastischen Belag. Bei Stillstand der Anlage werden diese Walzen zur Mitte des Schlitzes hin und gegen die Formstücke zusammengedrückt, unabhängig davon, ob sich bandförmiges Material dazwischen befindet oder nicht. Diese Ventile sind bis zu handbreiten <500mm und Banddickten <0,5mm einsetzbar.
Bei größeren Bandbreiten und Banddicken wachsen die Undichtheiten der Ventile sowohl im Bereich der Kanten des bandförmigen Materials als auch infolge der Durchbiegung der Dichtwalze.
Größere Dichtwalzen zur Verhinderung der Durchbiegung erfordern jedoch einen größeren Platzbedarf und stärkere Antriebe und erzeugen gleichzeitig größere Dichtlängen. Größere Undichtheiten führen zum Abschalten der Pumpen, da der erforderliche Druckbereich z. B. in den Arbeitskammern der Anlage nicht mehr aufrechterhalten werden kann.
Ziel der Erfindung
Es ist ein Bandventil zu schaffen, welches die Mängel der bekannten Einrichtungen vermeidet und an den bestehenden Anlagen nachrüstbar ist. Der apparative Aufwand soll nicht wesentlich höher sein, als bei den bekannten Bandventilen.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Bandventil zu schaffen, das für Bandbreiten > 500 mm und Banddicken > 0,5 mm geeignet ist und eine hohe Dichtwirkung besitzt. Insbesondere ist die Dichtheit über seine Länge zu verbessern. Der Durchmesser der Walzen darf sich nicht erhöhen.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mittels zwei elastischen Dichtwalzen, die gegen die Dichtfläche, in welcher sich die Öffnung für die Durchführung des Bindmaterials befindet, gedrückt werden und seitlich durch Formstücke abgedichtet sind, dadurch
gelöst, daß die aus elastischem Material bestehenden Dichtwalzen mehrere axial verlaufende Hohlräume aufweist, die an beiden Stirnseiten offen sind. Zwei Stützwalzen, die exzentrisch verstellbar sind, drücken gegen die Dichtwalzen, um den Anpreßdruck gegen die Dichtfläche zu erzeugen.
Zur Erhöhung der Dichtwirkung der Dichtwalzen sind die Stützwalzen ballig in axialer Richtung ausgeführt.
Weiterhin ist es vorteilhaft, zur Erhöhung des Anpreßdruckrs in den Hohlräumen einen Überdruck zu erzeugen. Das kann derart erfolgen, daß in dem Gehäuse des Bandventils Überdruck herrscht, oder daß an die Hohlräume eine Druckleitung angeschlossen
Durch die erfindungsgemäße Ausführung der Dichtwalzen wird erreicht, daß die Dichtfläche entlang der Dichtlinie entscheidend vergrößert wird, da sich im Bereich der Hohlräume infolge des Atmosphären- oder Überdruckes die Dichtwalze verformt.
Dadurch werden kleinere Durchbiegungen infolge der Anpreßkraft korrigiert.
Ausfuhrungsbeispiel
Die zugehörige Zeichnung zeigt ein Bandventil im Längsschnitt.
In einem Gehäuse befindet sich der mit einem der Bandbreite angepaßten Schlitz 1 versehene Flansch 2. Durch den Schlitz 1
läuft dab Band 3. Der Flansch 2 besitzt ober- und unterhalb des Schlitzes 1 eine Dichtfläche 4 und seitlich davon zur
Seitenabdichtung je ein Formstück 5. An den Dichtflächen 4 und Formstücken 5 liegen die Dichtwalzen 6 aus elastischem
Material an, die mittels eines Hebelsystems (nicht gezeichnet) und exzentrisch gelagerten Stützwalzon 7 gegeneinander und an die Dichtflächen 4 gepreßt werden und den Schlitz 1 bei Bandstillstand schließen.
In die Dichtwalzen 6 sind Hohlräume 8,eingebracht, die sich vorzugsweise im Dichtbereich derselben befinden, d. h. im Bereich des im Vakuum liegenden Teils der Fläche der Dichtwalzen 6.

Claims (6)

1. Bandventil, bestehorid aus zwei gegen eine Dichtfläche drückende elastische Dichtwalzen, die seitlich mittels Formstücken gegen die Dichtfläche abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß in die Dichtwalzen (6) axial verlaufende Hohlräume (8) eingebracht sind ι nd daß an jede Oichtwalze (6) anliegend und exzentrisch verstellbar eine Stützwalze (7) ί ngeordnet ist.
2. Ldndventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlräume (8) in ihrer Lage und Größe so gewählt sind, daß der Umgebungsdruck in den Hohlräumen (8) die Abdichtung unterstützend ist.
3. Bandventil nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß in den Hohlräumen (8) Überdruck ist.
4. Bandventil nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Gehäuse des Bandventils Überdruck ist.
5. Bandventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß an die Hohlräume (8) ein Druckerzeuger angeschlossen ist.
6. Bandventil nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützwalzen (7) in axialer Richtung ballig ausgeführt sind.
DD32974189A 1989-06-20 1989-06-20 Bandventil DD285120A5 (de)

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DD285120A5 true DD285120A5 (de) 1990-12-05

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4240488C1 (de) * 1992-12-02 1994-04-14 Ardenne Anlagentech Gmbh Anordnung zur Evakuierung von Bandschleusen
EP2374914A1 (de) * 2010-04-07 2011-10-12 Applied Materials, Inc. Vorrichtung zum Abdichten von einem Kammereinlass oder einem Kammerauslass für ein flexibles Substrat, Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Anordnung solch einer Vorrichtung

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